一種mfc的校準(zhǔn)系統(tǒng)及方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種MFC的校準(zhǔn)系統(tǒng)及方法，該方法包括如下步驟：將待校準(zhǔn)的所有MFC電壓接頭處全部引出至一集成控制器，由該集成控制器控制所有MFC的控制開關(guān)；該集成控制器逐一控制各MFC的控制開關(guān)以使各MFC逐一處于校準(zhǔn)工作狀態(tài)，并獲取各顆MFC測得的電壓值；將獲得的各顆MFC測得的電壓值分別與預(yù)設(shè)的設(shè)定值進(jìn)行比較，根據(jù)比較結(jié)果控制對應(yīng)MFC的控制開關(guān)，通過本發(fā)明，可有效地節(jié)省MFC的校準(zhǔn)時間。
【專利說明】
一種MFC的校準(zhǔn)系統(tǒng)及方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝控制技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種MFC(質(zhì)量流量控制器)的校準(zhǔn)系統(tǒng)及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體的生產(chǎn)工藝過程涉及氣體與半導(dǎo)體基片的反應(yīng)，氣體的流量將對工藝結(jié)果產(chǎn)生重要影響。因此，為了使生產(chǎn)的半導(dǎo)體能夠達(dá)到較高的良品率，必須對流入腔室氣體的流量進(jìn)行精確控制。特別是隨著半導(dǎo)體工藝集成度的不斷提高，對氣體流量的誤差要求也進(jìn)一步提尚O
[0003]其中，質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller，MFC)是一種用于對氣體流量進(jìn)行精確測量、控制的器件。在MFC的日常維護(hù)過程中，需要采用MFC校準(zhǔn)流程檢測MFC精確度是否下降，即對進(jìn)入半導(dǎo)體工藝設(shè)備的腔室氣體流量的精確度的測量計算，以探測MFC是否需要調(diào)整。
[0004]也就是說，半導(dǎo)體設(shè)備基本上都會配備MFC(氣體流量控制器)，來控制工藝氣體流量，以滿足工藝的要求，該部件每隔一段周期就需要校準(zhǔn)，否則氣體流量就會和設(shè)定值有偏差?，F(xiàn)階段MFC校準(zhǔn)的通常做法是，量測MFC工作電壓，如果高于一定的數(shù)值，就需要清零，實現(xiàn)校準(zhǔn)，而這個過程，尤其是量測電壓的步驟，需要很長時間，一臺設(shè)備，以有十顆MFC為例，該機(jī)臺MFC校準(zhǔn)時間需要10個小時，費時費力。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明之目的在于提供一種MFC的校準(zhǔn)系統(tǒng)及方法，其通過將所有MFC的電壓接頭處全部引出到集成控制器上，利用該控制器實現(xiàn)逐一控制每顆MFC，當(dāng)需要校準(zhǔn)某顆MFC時，利用控制器控制將該顆MFC的控制開關(guān)撥到” on”的狀態(tài)以實現(xiàn)該顆MFC的電壓測量，并于測得的電壓值高于設(shè)定值時，由該控制器端控制將該顆MFC的控制開關(guān)撥到“Zero”端實現(xiàn)清零，有效地節(jié)省了 MFC的校準(zhǔn)時間。
[0006]為達(dá)上述及其它目的，本發(fā)明提出一種MFC的校準(zhǔn)系統(tǒng)，包括:
[0007]N顆MFC，各顆MFC的電壓接頭全部接于集成控制器，并由該集成控制器控制各MFC的控制開關(guān)；
[0008]集成控制器，逐一控制各MFC的控制開關(guān)以使各MFC逐一處于校準(zhǔn)工作狀態(tài)，獲取各顆MFC測得的電壓值，并根據(jù)獲得的各顆MFC的電壓值控制對應(yīng)MFC的控制開關(guān)。
[0009]進(jìn)一步地，該集成控制器包括:
[0010]電壓值獲取單元，用于獲取各顆MFC測得的電壓值；
[0011 ]控制單元，逐一控制各顆MFC的控制開關(guān)以使各MFC逐一處于校準(zhǔn)工作狀態(tài)，并根據(jù)判斷單元的判斷結(jié)果控制MFC的控制開關(guān)；
[0012]判斷單元，將各顆MFC測得的電壓值與預(yù)設(shè)的設(shè)定值進(jìn)行比較，并將比較結(jié)果送至該控制單元。
[0013]進(jìn)一步地，當(dāng)該判斷單元的判斷結(jié)果為某顆MFC測得的電壓值大于預(yù)設(shè)的設(shè)定值時，該控制單元控制對應(yīng)MFC的控制開關(guān)使該MFC由校準(zhǔn)工作狀態(tài)轉(zhuǎn)換為清零狀態(tài)。
[0014]進(jìn)一步地，該控制單元通過逐一控制將各顆MFC的控制開關(guān)撥到“0N”的狀態(tài)以實現(xiàn)每顆MFC的電壓測量。
[00?5]進(jìn)一步地，該控制單元通過控制將對應(yīng)MFC的控制開關(guān)撥到“Zero”的狀態(tài)以實現(xiàn)使該MFC由校準(zhǔn)工作狀態(tài)轉(zhuǎn)換為清零狀態(tài)。
[0016]進(jìn)一步地，該系統(tǒng)還包括電腦端，該電腦端連接該集成控制器，以獲取該集成控制器獲得的各MFC測得的電壓值，并予以顯示。
[0017]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明還提供一種MFC的校準(zhǔn)方法，包括如下步驟:
[0018]步驟一，將待校準(zhǔn)的所有MFC電壓接頭處全部引出至一集成控制器，由該集成控制器控制所有MFC的控制開關(guān)；
[0019]步驟二，該集成控制器逐一控制各MFC的控制開關(guān)以使各MFC逐一處于校準(zhǔn)工作狀態(tài)，并獲取各顆MFC測得的電壓值；
[0020]步驟三，將獲得的各顆MFC測得的電壓值分別與預(yù)設(shè)的設(shè)定值進(jìn)行比較，根據(jù)比較結(jié)果控制對應(yīng)MFC的控制開關(guān)。
[0021]進(jìn)一步地，于步驟三中，當(dāng)獲得的某顆MFC測得的電壓值高于預(yù)設(shè)的設(shè)定值時，控制對應(yīng)MFC的控制開關(guān)使該MFC處于清零狀態(tài)。
[0022]進(jìn)一步地，于步驟二中，通過逐一控制將各顆MFC的控制開關(guān)撥到“0N”的狀態(tài)以實現(xiàn)每顆MFC的電壓測量。
[0023]進(jìn)一步地，于步驟三中，通過控制將對應(yīng)MFC的控制開關(guān)撥到“Zero”的狀態(tài)以實現(xiàn)使該MFC由校準(zhǔn)工作狀態(tài)轉(zhuǎn)換為清零狀態(tài)。
[0024]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明一種MFC的校準(zhǔn)系統(tǒng)及方法通過將所有MFC的電壓接頭處全部引出到集成控制器上，利用該控制器實現(xiàn)逐一控制每顆MFC，當(dāng)需要校準(zhǔn)某顆MFC時，利用控制器控制將該顆MFC的控制開關(guān)撥到”on”的狀態(tài)以實現(xiàn)該顆MFC的電壓測量，并于測得的電壓值高于設(shè)定值時，由該控制器端控制將該顆MFC的控制開關(guān)撥到“Zero”端實現(xiàn)清零，有效地節(jié)省了 MFC的校準(zhǔn)時間。
【附圖說明】
[0025]圖1為本發(fā)明一種MFC的校準(zhǔn)系統(tǒng)的系統(tǒng)架構(gòu)圖；
[0026]圖2為本發(fā)明較佳實施例中集成控制器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖3為本發(fā)明一種MFC的校準(zhǔn)方法的步驟流程圖。
【具體實施方式】
[0028]以下通過特定的具體實例并結(jié)合【附圖說明】本發(fā)明的實施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭示的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其它優(yōu)點與功效。本發(fā)明亦可通過其它不同的具體實例加以施行或應(yīng)用，本說明書中的各項細(xì)節(jié)亦可基于不同觀點與應(yīng)用，在不背離本發(fā)明的精神下進(jìn)行各種修飾與變更。
[0029]圖1為本發(fā)明一種MFC的校準(zhǔn)系統(tǒng)的系統(tǒng)架構(gòu)圖。如圖1所示，本發(fā)明一種MFC的校準(zhǔn)系統(tǒng)，包括:N個MFC1-MFCN以及集成控制器10。
[0030]該N個MFC1-MFCN的電壓接頭全部接于集成控制器10，并由集成控制器10控制各MFC的控制開關(guān);集成控制器10逐一控制各MFC，逐一控制各MFC的控制開關(guān)以使各MFC逐一處于校準(zhǔn)工作狀態(tài)，即集成控制器10逐一控制將各顆MFC的控制開關(guān)撥到“0N”的狀態(tài)以實現(xiàn)每顆MFC的電壓測量，并獲取各顆MFC測得的電壓值，并于獲得的電壓值高于預(yù)設(shè)的設(shè)定值時，控制對應(yīng)MFC的控制開關(guān)使該MFC處于清零狀態(tài)，使該顆MFC的校準(zhǔn)結(jié)束，即，當(dāng)集成控制器10獲得的某顆MFC測得的電壓值對于預(yù)設(shè)值時，控制該顆MFC的控制開關(guān)撥到“Zero”端實現(xiàn)清零，對該顆MFC的校準(zhǔn)結(jié)束。
[0031]圖2為本發(fā)明較佳實施例中集成控制器的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，集成控制器10進(jìn)一步包括:電壓值獲取單元101、控制單元102以及判斷單元103，電壓值獲取單元101用于獲取各MFC測得的電壓值;控制單元102，逐一控制各MFC的控制開關(guān)以使各MFC逐一處于校準(zhǔn)工作狀態(tài)，并根據(jù)判斷單元103的判斷結(jié)果控制MFC的控制開關(guān)以使MFC由校準(zhǔn)工作狀態(tài)轉(zhuǎn)換為清零狀態(tài)，具體地說，當(dāng)判斷單元103的判斷結(jié)果為某顆MFC測得的電壓值大于預(yù)設(shè)的設(shè)定值時，控制單元102則控制對應(yīng)MFC的控制開關(guān)使該MFC由校準(zhǔn)工作狀態(tài)轉(zhuǎn)換為清零狀態(tài)，使該顆MFC的校準(zhǔn)結(jié)束;判斷單元103，將各MFC測得的電壓值與預(yù)設(shè)的設(shè)定值進(jìn)行比較，并將比較結(jié)果送至控制單元102。
[0032]較佳地，本發(fā)明之MFC的校準(zhǔn)系統(tǒng)還包括電腦端20，該電腦端20具有顯示裝置，與集成控制器10連接，以獲取集成控制器10獲得的各MFC測得的電壓值，并予以顯示。
[0033]圖3為本發(fā)明一種MFC的校準(zhǔn)方法的步驟流程圖。如圖3所示，本發(fā)明一種MFC的校準(zhǔn)方法，包括如下步驟:
[0034]步驟301，將待校準(zhǔn)的所有MFC電壓接頭處全部引出至一集成控制器，并由該集成控制器控制所有MFC的控制開關(guān)。
[0035]步驟302，該集成控制器逐一控制各MFC的控制開關(guān)以使各MFC逐一處于校準(zhǔn)工作狀態(tài)，并獲取各顆MFC測得的電壓值。即由該集成控制器逐一控制將各顆MFC的控制開關(guān)撥到“0N”的狀態(tài)以實現(xiàn)每顆MFC的電壓測量，并獲取各顆MFC測得的電壓值。
[0036]步驟303，將獲得的各顆MFC測得的電壓值分別與預(yù)設(shè)的設(shè)定值進(jìn)行比較，根據(jù)比較結(jié)果控制對應(yīng)MFC的控制開關(guān)。具體地說，當(dāng)獲得的某顆MFC測得的電壓值高于預(yù)設(shè)的設(shè)定值時，控制對應(yīng)MFC的控制開關(guān)使該MFC處于清零狀態(tài)，使該顆MFC的校準(zhǔn)結(jié)束，即，當(dāng)集成控制器獲得的某顆MFC測得的電壓值高于預(yù)設(shè)的設(shè)定值時，控制該顆MFC的控制開關(guān)撥到“Zero”端實現(xiàn)清零，即對該顆MFC的校準(zhǔn)結(jié)束。
[0037]可見，本發(fā)明一種MFC的校準(zhǔn)系統(tǒng)及方法通過將所有MFC的電壓接頭處全部引出到集成控制器上，利用該控制器實現(xiàn)逐一控制每顆MFC，當(dāng)需要校準(zhǔn)某顆MFC時，利用控制器控制將該顆MFC的控制開關(guān)撥到”on”的狀態(tài)以實現(xiàn)該顆MFC的電壓測量，并于測得的電壓值高于設(shè)定值時，由該控制器端控制將該顆MFC的控制開關(guān)撥到“Zero”端實現(xiàn)清零，有效地節(jié)省了MFC的校準(zhǔn)時間，實驗證明，通過本發(fā)明，十顆MFC的校準(zhǔn)僅需要兩個小時，相比現(xiàn)有技術(shù)校準(zhǔn)方式所需的10小時，本發(fā)明有效地節(jié)省了MFC的校準(zhǔn)時間。
[0038]上述實施例僅例示性說明本發(fā)明的原理及其功效，而非用于限制本發(fā)明。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員均可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下，對上述實施例進(jìn)行修飾與改變。因此，本發(fā)明的權(quán)利保護(hù)范圍，應(yīng)如權(quán)利要求書所列。
【主權(quán)項】
1.一種MFC的校準(zhǔn)系統(tǒng)，包括: N顆MFC，各顆MFC的電壓接頭全部接于集成控制器，并由該集成控制器控制各MFC的控制開關(guān)； 集成控制器，逐一控制各MFC的控制開關(guān)以使各MFC逐一處于校準(zhǔn)工作狀態(tài)，獲取各顆MFC測得的電壓值，并根據(jù)獲得的各顆MFC的電壓值控制對應(yīng)MFC的控制開關(guān)。2.如權(quán)利要求1所述的一種MFC的校準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，該集成控制器包括: 電壓值獲取單元，用于獲取各顆MFC測得的電壓值； 控制單元，逐一控制各顆MFC的控制開關(guān)以使各MFC逐一處于校準(zhǔn)工作狀態(tài)，并根據(jù)判斷單元的判斷結(jié)果控制MFC的控制開關(guān)； 判斷單元，將各顆MFC測得的電壓值與預(yù)設(shè)的設(shè)定值進(jìn)行比較，并將比較結(jié)果送至該控制單元。3.如權(quán)利要求2所述的一種MFC的校準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于:當(dāng)該判斷單元的判斷結(jié)果為某顆MFC測得的電壓值大于預(yù)設(shè)的設(shè)定值時，該控制單元控制對應(yīng)MFC的控制開關(guān)使該MFC由校準(zhǔn)工作狀態(tài)轉(zhuǎn)換為清零狀態(tài)。4.如權(quán)利要求3所述的一種MFC的校準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于:該控制單元通過逐一控制將各顆MFC的控制開關(guān)撥到“ON”的狀態(tài)以實現(xiàn)每顆MFC的電壓測量。5.如權(quán)利要求3所述的一種MFC的校準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于:該控制單元通過控制將對應(yīng)MFC的控制開關(guān)撥到“Zero”的狀態(tài)以實現(xiàn)使該MFC由校準(zhǔn)工作狀態(tài)轉(zhuǎn)換為清零狀態(tài)。6.如權(quán)利要求1所述的一種MFC的校準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于:該系統(tǒng)還包括電腦端，該電腦端連接該集成控制器，以獲取該集成控制器獲得的各MFC測得的電壓值，并予以顯示。7.一種MFC的校準(zhǔn)方法，包括如下步驟: 步驟一，將待校準(zhǔn)的所有MFC電壓接頭處全部引出至一集成控制器，由該集成控制器控制所有MFC的控制開關(guān)； 步驟二，該集成控制器逐一控制各MFC的控制開關(guān)以使各MFC逐一處于校準(zhǔn)工作狀態(tài)，并獲取各顆MFC測得的電壓值； 步驟三，將獲得的各顆MFC測得的電壓值分別與預(yù)設(shè)的設(shè)定值進(jìn)行比較，根據(jù)比較結(jié)果控制對應(yīng)MFC的控制開關(guān)。8.如權(quán)利要求7所述的一種MF C的校準(zhǔn)方法，其特征在于:于步驟三中，當(dāng)獲得的某顆MFC測得的電壓值高于預(yù)設(shè)的設(shè)定值時，控制對應(yīng)MFC的控制開關(guān)使該MFC處于清零狀態(tài)。9.如權(quán)利要求8所述的一種MFC的校準(zhǔn)方法，其特征在于:于步驟二中，通過逐一控制將各顆MFC的控制開關(guān)撥到“ON”的狀態(tài)以實現(xiàn)每顆MFC的電壓測量。10.如權(quán)利要求8所述的一種MFC的校準(zhǔn)方法，其特征在于:于步驟三中，通過控制將對應(yīng)MFC的控制開關(guān)撥到“Zero”的狀態(tài)以實現(xiàn)使該MFC由校準(zhǔn)工作狀態(tài)轉(zhuǎn)換為清零狀態(tài)。
【文檔編號】G05B23/02GK106054855SQ201610355240
【公開日】2016年10月26日
【申請日】2016年5月25日
【發(fā)明人】劉濤, 文強(qiáng), 黃彪
【申請人】上海華力微電子有限公司