專利名稱：作業(yè)者管理系統(tǒng)、作業(yè)者管理裝置和作業(yè)者管理方法
技術領域：
本發(fā)明涉及作業(yè)者管理系統(tǒng)、作業(yè)者管理裝置和作業(yè)者管理方法。
背景技術：
在例如半導體制造工廠等的作業(yè)地點中，在包含設置有半導體制造裝置等的凈化工作室的裝置室在內的各種各樣的區(qū)域進行各種各樣的作業(yè)。在例如凈化工作室中，在裝置室外進行用于半導體裝置的生產的輸入作業(yè)，在裝置室內進行半導體制造裝置的故障對應作業(yè)，另外，在凈化工作室外，也進行例如保管庫房的部件管理作業(yè)等。按照這些作業(yè)，由于進行該作業(yè)所需要的技能不同，所以，多數情況下需要具有各種各樣的技能的作業(yè)者。
然而，管理這樣的具有各種各樣的技能的作業(yè)者并不容易，如果作業(yè)的分配效率差，則作業(yè)者每1個人的作業(yè)效率將降低。因此，如何使作業(yè)者人盡其才配置在適當場所從而提高各作業(yè)者的作業(yè)效率就成了問題。理想的情況是在需要的時刻選擇最適合該作業(yè)的作業(yè)者并向其發(fā)出指示，但是，實際上是有困難的。
例如，在作業(yè)者正在進行作業(yè)的期間有了別的新的作業(yè)時，就不能向該作業(yè)者發(fā)出進行新的作業(yè)的指示。這時，如果不能把握作業(yè)者現在所進行的作業(yè)，就不能判斷是否可以中斷現在的作業(yè)而進行新的作業(yè)。另外，也可以考慮搜尋替代的作業(yè)者進行新的作業(yè)。然而，按照新的作業(yè)，具有進行該作業(yè)所需要的技能的作業(yè)者不一定有空。因此，必須首先確定作業(yè)者現在所進行的作業(yè)。
但是，如上所述，在半導體制造工廠等環(huán)境中，作業(yè)的種類很多，要確定各作業(yè)者正在進行的作業(yè)是非常困難的。為了進行作業(yè)的確定，例如特開平8-107096所述的那樣，只要根據口令預先決定了對各作業(yè)的種類可以輸入到操作面板的畫面中的人，就可以根據口令某種程度地確定作業(yè)者正在進行什么樣的作業(yè)。操作者可以進行操作者用畫面的輸入，工程技術人員也可以根據口令進行工程技術人員用畫面的輸入。
然而，在這樣的技術中，只知道操作者和工程技術人員這樣的作業(yè)者的種類(作業(yè)者分類)，不能檢測出確定的作業(yè)者正在進行什么樣的作業(yè)。如果預先對各作業(yè)者決定了ID并在輸入作業(yè)者ID之后操作該操作面板的畫面，就可以檢測出具有該ID的作業(yè)者正在進行什么樣的作業(yè)。然而，在這樣的作業(yè)者ID的輸入中，對于不進行畫面輸入等的操作的作業(yè)還是不能進行作業(yè)的確定。
另一方面，在作業(yè)者每次進行作業(yè)時，如果預先將作業(yè)內容輸入到操作面板的畫面等中并進行記錄，就可以確定各作業(yè)者的作業(yè)。然而，所有的作業(yè)者每次進行作業(yè)時都要輸入作業(yè)內容，非常繁瑣，有時作業(yè)效率反而會降低特別是在發(fā)生火災或故障等緊急情況時，作業(yè)者必須盡可能迅速地處理故障對應作業(yè)等，所以，為了作業(yè)者管理的需要而輸入作業(yè)內容就不恰當了。
在半導體制造工廠等環(huán)境中，凈化工作室內外、裝置室內外等的作業(yè)區(qū)域有很多，可以根據該作業(yè)區(qū)域而某種程度地確定作業(yè)。因此，本申請人認為如果可以確定作業(yè)者所在的區(qū)域，就可以確定該作業(yè)者的作業(yè)。本發(fā)明是鑒于可以根據這樣的半導體制造工廠等的作業(yè)區(qū)域而某種程度地確定作業(yè)的領域的特質提出來的。
因此，本發(fā)明就是鑒于這樣的問題而提案的，目的旨在提供容易進行作業(yè)者現在正在進行的作業(yè)的確定、增加作業(yè)的分配、作業(yè)的再分配等，可以指示使作業(yè)者人盡其才而配置在適當場所從而可以提高各作業(yè)者的作業(yè)效率的作業(yè)者管理系統(tǒng)、作業(yè)者管理裝置和作業(yè)者管理方法。

發(fā)明內容
為了解決上述問題，按照本發(fā)明的第一觀點，所提供的作業(yè)者管理系統(tǒng)的特征在于具有根據作業(yè)內容而分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點、存儲使上述作業(yè)地點的各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域所進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元、設置在上述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元、根據上述作業(yè)者檢測單元的輸出確定上述作業(yè)者處在什么樣的作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定單元、根據上述作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息并根據由上述作業(yè)者位置確定單元確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域而確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定單元、根據由上述現在作業(yè)確定單元確定的現在作業(yè)判斷是使該作業(yè)者繼續(xù)進行現在作業(yè)還是進行新的作業(yè)的判斷單元和根據上述判斷單元的判斷結果向該作業(yè)者發(fā)出作業(yè)執(zhí)行的指示的指示單元。
按照這樣的本發(fā)明的作業(yè)者管理系統(tǒng)，檢測作業(yè)者所在的區(qū)域(場所)，根據與該區(qū)域相關聯的作業(yè)可以很容易檢測出該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)。因此，在例如有新作業(yè)時，容易進行該新作業(yè)的分配和作業(yè)的再分配等，可以使作業(yè)者人盡其才在適當的場所進行作業(yè)，從而可以提高各作業(yè)者的作業(yè)效率。另外，由于省去了作業(yè)者每次進行作業(yè)時輸入作業(yè)內容的手續(xù)，所以，也提高了作業(yè)者的作業(yè)效率。
為了解決上述問題，按照本發(fā)明的另外的技術方案，所提供的作業(yè)者管理系統(tǒng)的特征在于具有根據作業(yè)內容而分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點、存儲使上述各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域所進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元、設置在上述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元、根據上述作業(yè)者檢測單元的輸出確定上述作業(yè)者處在什么樣的作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定單元、根據上述作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息并根據由上述作業(yè)者位置確定單元確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域而確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定單元、存儲使上述各作業(yè)者與該各作業(yè)者可以進行的作業(yè)相關聯的作業(yè)者技能信息的作業(yè)者技能信息存儲單元、存儲作業(yè)的優(yōu)先信息的作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元、檢測發(fā)生了新的作業(yè)的新作業(yè)檢測單元、在上述新作業(yè)檢測單元檢測到新作業(yè)時根據上述作業(yè)者技能信息存儲單元的作業(yè)者技能信息抽出可以進行上述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者抽出單元、由上述現在作業(yè)確定單元確定上述作業(yè)者抽出單元抽出的作業(yè)者的現在作業(yè)并根據上述作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元的作業(yè)優(yōu)先信息取得上述現在作業(yè)的優(yōu)先序位與上述新作業(yè)的優(yōu)先序位并進行比較而進行將上述新作業(yè)的優(yōu)先序位比上述現在作業(yè)高的作業(yè)者確定為上述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者確定處理的作業(yè)者確定單元和向由上述作業(yè)者確定單元確定的業(yè)者發(fā)出指示使其進行上述新作業(yè)的作業(yè)的指示單元。
按照這樣的本發(fā)明的作業(yè)者管理系統(tǒng)，比較檢測到的現在作業(yè)與新作業(yè)的優(yōu)先度，如果新作業(yè)的優(yōu)先度高，就向該作業(yè)者發(fā)出指示令其進行新作業(yè)。這樣，在有新作業(yè)時，可以根據與現在作業(yè)的優(yōu)先度判斷是否令該作業(yè)者進行新作業(yè)，所以，可以及時處理優(yōu)先度高的作業(yè)即重要的作業(yè)。這樣，可以指示作業(yè)者人盡其才配置到適當場所，從而可以實現作業(yè)分配的最佳化。
另外，上述作業(yè)者技能信息存儲單元設置了對各作業(yè)者存儲了作業(yè)者分類并存儲了使各作業(yè)與具有可以進行該各作業(yè)的技能的作業(yè)者分類相關聯的作業(yè)技能信息的作業(yè)技能信息存儲單元和對由上述作業(yè)者抽出單元抽出的各作業(yè)者取得由上述作業(yè)者技能信息存儲單元得到的作業(yè)者分類，同時，根據上述作業(yè)技能信息存儲單元的作業(yè)技能信息取得上述新作業(yè)的作業(yè)者分類，從而將優(yōu)先序位賦予作業(yè)者以使分別取得的作業(yè)者分類相同的作業(yè)者的優(yōu)先序位高的優(yōu)先序位賦予單元，上述作業(yè)者確定單元也可以根據由作業(yè)者抽出單元抽出的作業(yè)者中由上述優(yōu)先序位賦予單元賦予的作業(yè)者的優(yōu)先序位高的作業(yè)者順序進行作業(yè)者確定處理。
這樣，對于作為可以進行新作業(yè)的人而被抽出的作業(yè)者，進而可以為了使最適合該新作業(yè)的作業(yè)者分類(例如工程技術人員、操作者、定期作業(yè)者等)的優(yōu)先度高而賦予優(yōu)先序位，并根據優(yōu)先序位高的作業(yè)者比較現在作業(yè)與新作業(yè)的優(yōu)先度，從而決定進行新作業(yè)的作業(yè)者。這樣，可以很快找到最適合新作業(yè)的作業(yè)者，從而可以指示作業(yè)者人盡其才而配置到適當的場所。
為了解決上述問題，按照本發(fā)明的另外的技術方案，所提供的作業(yè)者管理系統(tǒng)的特征在于具有根據作業(yè)內容而分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點、存儲使上述作業(yè)地點的各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域所進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元、設置在上述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元、根據上述作業(yè)者檢測單元的輸出確定上述作業(yè)者處在什么樣的作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定單元、根據上述作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息并根據由上述作業(yè)者位置確定單元確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域確定該作業(yè)者現在進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定單元、存儲作業(yè)的優(yōu)先信息的作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元、檢測發(fā)生新的作業(yè)的新作業(yè)檢測單元、在上述新作業(yè)檢測單元檢測到新作業(yè)時由上述現在作業(yè)確定單元確定所有作業(yè)者的現在作業(yè)并對這些現在作業(yè)中包含新作業(yè)的全部作業(yè)，根據上述作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元的作業(yè)優(yōu)先信息賦予作業(yè)的優(yōu)先序位，從優(yōu)先度高的作業(yè)開始向所有作業(yè)者重新分配全部作業(yè)的作業(yè)再分配單元和向所有作業(yè)者指示由上述作業(yè)再分配單元分配的作業(yè)的指示單元。
按照這樣的本發(fā)明的作業(yè)者管理系統(tǒng)，在有新作業(yè)時，檢測所有作業(yè)者的現在作業(yè)，重新再分配包括現在作業(yè)和新作業(yè)的全部作業(yè)，所以，對包含新作業(yè)的全部作業(yè)可以分配更適當的作業(yè)者。這樣，可以指示作業(yè)者人盡其才而配置到適當的場所，從而可以實現作業(yè)分配的高效化和作業(yè)的高效化。
另外，上述作業(yè)再分配單元也可以設置存儲從作業(yè)的優(yōu)先序位高的作業(yè)開始作為新作業(yè)使上述各作業(yè)者與該作業(yè)者可以進行的作業(yè)相關聯的作業(yè)者技能信息的作業(yè)者技能信息存儲單元；根據上述作業(yè)者技能信息存儲單元的作業(yè)者技能信息抽出可以進行上述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者抽出單元；和由上述現在作業(yè)確定單元確定由上述作業(yè)者抽出單元抽出的作業(yè)者的現在作業(yè)，并根據上述作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元的作業(yè)優(yōu)先信息，獲取上述現在作業(yè)的優(yōu)先序位與上述新作業(yè)的優(yōu)先序位并進行比較，從而進行將上述新作業(yè)的優(yōu)先序位比上述現在作業(yè)高的作業(yè)者確定為上述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者確定處理的作業(yè)者確定單元。
這樣，在進行包含新作業(yè)的全部作業(yè)的再分配時，按作業(yè)的優(yōu)先度高的順序決定作業(yè)者，所以，可以對重要的作業(yè)很快決定作業(yè)者。另外，在進行包含新作業(yè)的全部作業(yè)的再分配時，比較檢測的現在作業(yè)與新作業(yè)的優(yōu)先度，只要新作業(yè)的優(yōu)先度高，就可以指示該作業(yè)者進行新作業(yè)。這樣，可以選擇最佳的作業(yè)者進行優(yōu)先度高的重要的作業(yè)，所以，可以指示作業(yè)者人盡其才而配置到適當的場所，從而可以實現作業(yè)分配的高效化和作業(yè)的高效化。
為了解決上述問題，按照本發(fā)明的另外的技術方案，所提供的作業(yè)者管理系統(tǒng)的特征在于具有根據作業(yè)內容而分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點；存儲使上述作業(yè)地點的各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域所進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元；設置在上述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元；根據上述作業(yè)者檢測單元的輸出確定上述作業(yè)者處在什么樣的作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定單元；根據上述作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息并根據由上述作業(yè)者位置確定單元確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域而確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定單元；每隔指定時間由上述現在作業(yè)確定單元確定所有作業(yè)者的現在作業(yè)，并對所有作業(yè)者存儲現在作業(yè)的作業(yè)信息存儲單元；和根據上述作業(yè)信息存儲單元的作業(yè)信息作成包含所希望的作業(yè)者每指定時間所進行的作業(yè)內容的作業(yè)報告書的作業(yè)報告書作成單元。
按照這樣的本發(fā)明的作業(yè)者管理系統(tǒng)，可以很容易地作成作業(yè)日報、作業(yè)月報等作業(yè)報告書。而且自動地檢測作業(yè)者的作業(yè)從而作成成為作業(yè)報告書的素材的作業(yè)信息，所以，作業(yè)者每次進行作業(yè)時可以省去從便攜式信息終端等進行輸入的手續(xù)，從而可以提高作業(yè)效率。另外，由于不需要依賴作業(yè)者的自己報告，所以，可以總是作成正確的作業(yè)報告。
另外，上述作業(yè)報告書作成單元對于各作業(yè)也存儲進行該各作業(yè)時的作業(yè)單價，從而上述作業(yè)報告書作成單元也可以作成包含作業(yè)的作業(yè)單價及其作業(yè)單價的合計金額的作業(yè)報告書。另外，上述作業(yè)地點可以是半導體制造工廠，這時，上述作業(yè)者可以是從與具有作為上述作業(yè)地點的半導體制造工廠的企業(yè)不同的企業(yè)派遣來的作業(yè)者。這樣，在例如向派遣前往地的企業(yè)要求派遣作業(yè)者進行的作業(yè)的費用時，可以在作業(yè)報告書中印刷各作業(yè)的作業(yè)單價和合計金額，從而可以根據該合計金額要求與作業(yè)內容相應的費用。
為了解決上述問題，按照本發(fā)明的第二觀點，所提供的作業(yè)者管理裝置是管理在根據作業(yè)內容分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點進行作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者管理裝置，其特征在于，具有存儲使上述作業(yè)地點的各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域所進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元；根據設置在上述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元的輸出確定上述作業(yè)者處在什么樣的作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定單元；根據上述作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息并根據由上述作業(yè)者位置確定單元確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域而確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定單元；根據由上述現在作業(yè)確定單元確定的現在作業(yè)判斷是使該作業(yè)者繼續(xù)進行現在作業(yè)還是進行新的作業(yè)的判斷單元；和根據上述判斷單元的判斷結果向該作業(yè)者發(fā)出作業(yè)執(zhí)行的指示的指示單元。
按照這樣的本發(fā)明的作業(yè)者管理裝置，檢測作業(yè)者所在的區(qū)域(場所)，根據與該區(qū)域關聯的作業(yè)可以很容易地檢測該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)。因此，在例如有新作業(yè)時，容易進行該新作業(yè)的分配和作業(yè)的再分配等，可以使作業(yè)者人盡其才在適當的場所進行作業(yè)，從而可以提高各作業(yè)者的作業(yè)效率。
為了解決上述問題，按照本發(fā)明的另外的技術方案，所提供的作業(yè)者管理裝置是管理在根據作業(yè)內容分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點進行作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者管理裝置，其特征在于，具有存儲使上述各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域所進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元；根據設置在上述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元的輸出確定上述作業(yè)者處在什么樣的作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定單元；根據上述作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息，并根據由上述作業(yè)者位置確定單元確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域而確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定單元；存儲使上述各作業(yè)者與該各作業(yè)者可以進行的作業(yè)相關聯的作業(yè)者技能信息的作業(yè)者技能信息存儲單元；存儲作業(yè)的優(yōu)先信息的作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元；檢測發(fā)生了新的作業(yè)的新作業(yè)檢測單元；在上述新作業(yè)檢測單元檢測到新作業(yè)時，根據上述作業(yè)者技能信息存儲單元的作業(yè)者技能信息，抽出可以進行上述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者抽出單元；由上述現在作業(yè)確定單元確定上述作業(yè)者抽出單元抽出的作業(yè)者的現在作業(yè)，并根據上述作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元的作業(yè)優(yōu)先信息，獲取上述現在作業(yè)的優(yōu)先序位與上述新作業(yè)的優(yōu)先序位并進行比較，進行將上述新作業(yè)的優(yōu)先序位比上述現在作業(yè)高的作業(yè)者確定為上述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者確定處理的作業(yè)者確定單元；和向由上述作業(yè)者確定單元確定的作業(yè)者發(fā)出指示使其進行上述新作業(yè)的作業(yè)的指示單元。
按照這樣的本發(fā)明的作業(yè)者管理裝置，比較檢測的現在作業(yè)與新作業(yè)的優(yōu)先度，如果新作業(yè)的優(yōu)先度高，就指示該作業(yè)者進行新作業(yè)。這樣，在有新作業(yè)時，就可以根據與現在作業(yè)的優(yōu)先度判斷是否使該作業(yè)者進行新作業(yè)，所以，可以及時處理優(yōu)先度高的作業(yè)即重要的作業(yè)。這樣，可以指示作業(yè)者人盡其才而配置到適當場所，從而可以實現作業(yè)分配的最佳化。
另外，上述作業(yè)者技能信息存儲單元設置有對各作業(yè)者存儲了作業(yè)者分類，并存儲了使各作業(yè)與具有可以進行該各作業(yè)的技能的作業(yè)者分類相關聯的作業(yè)技能信息的作業(yè)技能信息存儲單元；和對由上述作業(yè)者抽出單元抽出的各作業(yè)者，取得由上述作業(yè)者技能信息存儲單元得到的作業(yè)者分類，并根據上述作業(yè)技能信息存儲單元的作業(yè)技能信息取得上述新作業(yè)的作業(yè)者分類，從而將優(yōu)先序位賦予作業(yè)者以使分別取得的作業(yè)者分類相同的作業(yè)者的優(yōu)先序位高的優(yōu)先序位賦予單元，上述作業(yè)者確定單元也可以根據由作業(yè)者抽出單元抽出的作業(yè)者中由上述優(yōu)先序位賦予單元賦予的作業(yè)者的優(yōu)先序位高的作業(yè)者順序進行作業(yè)者確定處理。這樣，可以盡快找到最適合新作業(yè)的作業(yè)者，從而可以指示作業(yè)者人盡其才而配置到適當的場所。
為了解決上述問題，按照本發(fā)明的另外的技術方案，所提供的作業(yè)者管理裝置是管理在根據作業(yè)內容分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點進行作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者管理裝置，其特征在于，具有存儲使上述作業(yè)地點的各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域所進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元；根據設置在上述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元的輸出確定上述作業(yè)者處在什么樣的作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定單元；根據上述作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息，并根據由上述作業(yè)者位置確定單元確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域而確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定單元；存儲作業(yè)的優(yōu)先信息的作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元；檢測發(fā)生了新的作業(yè)的新作業(yè)檢測單元；在上述新作業(yè)檢測單元檢測到新作業(yè)時，由上述現在作業(yè)確定單元確定所有作業(yè)者的現在作業(yè)，并對這些現在作業(yè)中包含新作業(yè)的全部作業(yè)，根據上述作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元的作業(yè)優(yōu)先信息賦予作業(yè)的優(yōu)先序位，從優(yōu)先度高的作業(yè)開始向所有作業(yè)者重新分配全部作業(yè)的作業(yè)再分配單元；和向所有作業(yè)者指示由上述作業(yè)再分配單元分配的作業(yè)的指示單元。
按照這樣的本發(fā)明的作業(yè)者管理裝置，在有新作業(yè)時，檢測所有作業(yè)者的現在作業(yè)，重新再分配包含該現在作業(yè)和新作業(yè)的全部作業(yè)，所以，對包含新作業(yè)的全部作業(yè)可以分配最適當的作業(yè)者。這樣，可以指示作業(yè)者使其人盡其才而配置到適當的場所，從而可以實現作業(yè)分配的高效化和作業(yè)的高效化。
另外，上述作業(yè)再分配單元也可以設置有存儲從作業(yè)的優(yōu)先序位高的作業(yè)開始作為新作業(yè)，使上述各作業(yè)者與該作業(yè)者可以進行的作業(yè)相關聯的作業(yè)者技能信息的作業(yè)者技能信息存儲單元；根據上述作業(yè)者技能信息存儲單元的作業(yè)者技能信息抽出可以進行上述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者抽出單元；和由上述現在作業(yè)確定單元確定由上述作業(yè)者抽出單元抽出的作業(yè)者的現在作業(yè)，并根據上述作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元的作業(yè)優(yōu)先信息，取得上述現在作業(yè)的優(yōu)先序位與上述新作業(yè)的優(yōu)先序位并進行比較，從而進行將上述新作業(yè)的優(yōu)先序位比上述現在作業(yè)高的作業(yè)者確定為上述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者確定處理的作業(yè)者確定單元。這樣，可以選擇最佳的作業(yè)者進行優(yōu)先度高的重要的作業(yè)，所以，可以指示作業(yè)者使其人盡其才而配置到適當的場所，從而可以實現作業(yè)分配的高效化和作業(yè)的高效化。
為了解決上述問題，按照本發(fā)明的另外的技術方案，所提供的作業(yè)者管理裝置是管理在根據作業(yè)內容分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點進行作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者管理裝置，其特征在于，具有存儲使上述作業(yè)地點的各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域所進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元；根據設置在上述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元的輸出確定上述作業(yè)者處在什么樣的作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定單元；根據上述作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息，并根據由上述作業(yè)者位置確定單元確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域而確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定單元；每隔指定時間由上述現在作業(yè)確定單元確定所有作業(yè)者的現在作業(yè)，并對所有作業(yè)者存儲現在作業(yè)的作業(yè)信息存儲單元；和根據上述作業(yè)信息存儲單元的作業(yè)信息作成包含所希望的作業(yè)者每指定時間所進行的作業(yè)內容的作業(yè)報告書的作業(yè)報告書作成單元。
按照這樣的本發(fā)明的作業(yè)者管理裝置，可以很容易地作成作業(yè)日報、作業(yè)月報等作業(yè)報告書。而且自動地檢測作業(yè)者的作業(yè)從而作成成為作業(yè)報告書的素材的作業(yè)信息，所以，作業(yè)者每次進行作業(yè)時可以省去從便攜式信息終端等進行輸入的手續(xù)，從而可以提高作業(yè)效率。另外，由于不需要依賴作業(yè)者的自己報告，所以，可以總是作成正確的作業(yè)報告。
另外，上述作業(yè)報告書作成單元對于各作業(yè)也存儲進行該各作業(yè)時的作業(yè)單價，從而上述作業(yè)報告書作成單元也可以作成包含作業(yè)的作業(yè)單價及其作業(yè)單價的合計金額的作業(yè)報告書。另外，上述作業(yè)地點可以是半導體制造工廠，這時，上述作業(yè)者可以是從與作為上述作業(yè)地點的半導體制造工廠所屬的企業(yè)不同的企業(yè)派遣來的作業(yè)者。這樣，在例如向派遣前往地的企業(yè)要求派遣作業(yè)者進行的作業(yè)的費用時，可以在作業(yè)報告書中印刷各作業(yè)的作業(yè)單價和合計金額，從而可以根據該合計金額要求與作業(yè)內容相應的費用。
為了解決上述問題，按照本發(fā)明的第三觀點，所提供的作業(yè)者管理方法是管理在根據作業(yè)內容分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點進行作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者管理方法，其特征在于，該方法包括根據設置在上述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元的輸出確定上述作業(yè)者處在什么樣的作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定工序；根據存儲使上述作業(yè)地點的各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息，并根據在上述作業(yè)者位置確定工序確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域，確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定工序；根據在上述現在作業(yè)確定工序確定的現在作業(yè)，判斷是使該作業(yè)者繼續(xù)進行現在作業(yè)還是進行新的作業(yè)的判斷工序；和根據上述判斷工序的判斷結果向該作業(yè)者發(fā)出作業(yè)執(zhí)行的指示的指示工序。
按照這樣的本發(fā)明的作業(yè)者管理方法，檢測作業(yè)者所在的區(qū)域(場所)，根據與該區(qū)域關聯的作業(yè)可以很容易地檢測該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)。因此，在例如有新作業(yè)時，容易進行該新作業(yè)的分配和作業(yè)的再分配等，可以使作業(yè)者人盡其才在適當的場所進行作業(yè)，從而可以提高各作業(yè)者的作業(yè)效率。
為了解決上述問題，按照本發(fā)明的另外的技術方案，所提供的作業(yè)者管理方法是管理在根據作業(yè)內容分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點進行作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者管理方法，其特征在于，該方法包括根據設置在上述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元的輸出確定上述作業(yè)者處在什么樣的作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定工序；根據存儲使上述各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息，并根據在上述作業(yè)者位置確定工序確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域，確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定工序；檢測發(fā)生新的作業(yè)的新作業(yè)檢測工序；在上述新作業(yè)檢測工序檢測新作業(yè)時，根據存儲使上述各作業(yè)者與該各作業(yè)者可以進行的作業(yè)相關聯的作業(yè)者技能信息的上述作業(yè)者技能信息存儲單元的作業(yè)者技能信息，抽出可以進行上述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者抽出工序；由上述現在作業(yè)確定工序確定上述作業(yè)者抽出工序抽出的作業(yè)者的現在作業(yè)，并根據存儲作業(yè)的優(yōu)先信息的作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元的作業(yè)優(yōu)先信息，獲取上述現在作業(yè)的優(yōu)先序位與上述新作業(yè)的優(yōu)先序位并進行比較，而進行將上述新作業(yè)的優(yōu)先序位比上述現在作業(yè)高的作業(yè)者確定為上述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者確定處理的作業(yè)者確定工序；和向由上述作業(yè)者確定工序確定的業(yè)者發(fā)出指示使其進行上述新作業(yè)的作業(yè)的指示工序。
按照這樣的本發(fā)明的作業(yè)者管理方法，比較檢測到的現在作業(yè)與新作業(yè)的優(yōu)先度，如果新作業(yè)的優(yōu)先度高，就指示該作業(yè)者進行新作業(yè)。這樣，在有新作業(yè)時，就可以根據與現在作業(yè)的優(yōu)先度判斷是否使該作業(yè)者進行新作業(yè)，所以，可以及時處理優(yōu)先度高的作業(yè)即重要的作業(yè)。這樣，可以指示作業(yè)者人盡其才而配置到適當場所，從而可以實現作業(yè)分配的最佳化。
另外，上述作業(yè)者技能信息存儲單元包括對各作業(yè)者存儲作業(yè)者分類，并對由上述作業(yè)者抽出工序抽出的各作業(yè)者取得由存儲使各作業(yè)與具有可以進行該各作業(yè)的技能的作業(yè)者分類相關聯的作業(yè)技能信息的作業(yè)者技能信息存儲單元得到的作業(yè)者分類，同時根據上述作業(yè)技能信息存儲單元的作業(yè)技能信息取得上述新作業(yè)的作業(yè)者分類，從而對作業(yè)者賦予優(yōu)先序位而使分別取得的作業(yè)者分類相同的作業(yè)者的優(yōu)先序位高的優(yōu)先序位賦予工序，上述作業(yè)者確定工序也可以進行從在上述作業(yè)者抽出工序抽出的作業(yè)者中的、由上述優(yōu)先序位賦予工序賦予的作業(yè)者的優(yōu)先序位高的作業(yè)者開始順序進行作業(yè)者確定處理。這樣，可以對新作業(yè)盡快找到最佳的作業(yè)者，從而可以指示作業(yè)者使其人盡其才而配置到適當的場所。
為了解決上述問題，按照本發(fā)明的另外的技術方案，所提供的作業(yè)者管理方法是管理在根據作業(yè)內容分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點進行作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者管理方法，其特征在于，該方法包括根據設置在上述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元的輸出確定上述作業(yè)者處在什么樣的作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定工序；根據存儲使上述作業(yè)地點的各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息，并根據在上述作業(yè)者位置確定工序確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定工序；檢測發(fā)生新的作業(yè)的新作業(yè)檢測工序；在上述新作業(yè)檢測工序檢測到新作業(yè)時，由上述現在作業(yè)確定工序確定所有作業(yè)者的現在作業(yè)，并對在這些現在作業(yè)中包含新作業(yè)的全部作業(yè)，根據存儲作業(yè)的優(yōu)先信息的作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元的作業(yè)優(yōu)先信息賦予作業(yè)的優(yōu)先序位，從而從優(yōu)先度高的作業(yè)開始對所有作業(yè)者重新分配全部作業(yè)的作業(yè)再分配工序；和向所有作業(yè)者指示由上述作業(yè)再分配工序分配的作業(yè)的指示工序。
按照這樣的板的作業(yè)者管理方法，在有新作業(yè)時，檢測所有作業(yè)者的現在作業(yè)，重新再分配包含該現在作業(yè)和新作業(yè)的全部作業(yè)，所以，對包含新作業(yè)的全部作業(yè)可以分配最適當的作業(yè)者。這樣，可以指示作業(yè)者使其人盡其才而配置到適當的場所，從而可以實現作業(yè)分配的高效化和作業(yè)的高效化。
另外，上述作業(yè)再分配工序也可以包括從作業(yè)的優(yōu)先序位高的作業(yè)開始作為新作業(yè)而根據存儲使上述各作業(yè)者與該作業(yè)者可以進行的作業(yè)相關聯的作業(yè)者技能信息的作業(yè)者技能信息存儲單元的作業(yè)者技能信息，抽出可以進行上述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者抽出工序；和由上述現在作業(yè)確定工序確定上述作業(yè)者抽出工序抽出的作業(yè)者的現在作業(yè)，并根據上述作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元的作業(yè)優(yōu)先信息，獲取上述現在作業(yè)的優(yōu)先序位與上述新作業(yè)的優(yōu)先序位并進行比較，從而進行將上述新作業(yè)的優(yōu)先序位比上述現在作業(yè)高的作業(yè)者確定為上述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者確定處理的作業(yè)者確定工序。這樣，可以選擇最佳的作業(yè)者進行優(yōu)先度高的重要的作業(yè)，所以，可以指示作業(yè)者使其人盡其才而配置到適當的場所，從而可以實現作業(yè)分配的高效化和作業(yè)的高效化。
為了解決上述問題，按照本發(fā)明的另外的技術方案，所提供的作業(yè)者管理方法是管理在根據作業(yè)內容分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點進行作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者管理方法，其特征在于，該方法包括根據設置在上述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元的輸出確定上述作業(yè)者處在什么樣的作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定工序；根據存儲使上述作業(yè)地點的各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息，并根據在上述作業(yè)者位置確定工序確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定工序；每指定時間由上述現在作業(yè)確定工序確定所有作業(yè)者的現在作業(yè)，并對所有作業(yè)者存儲現在作業(yè)的作業(yè)信息存儲工序；和根據由上述作業(yè)信息存儲工序存儲的作業(yè)信息作成包含所希望的作業(yè)者每指定時間所進行的作業(yè)內容的作業(yè)報告書的作業(yè)報告書作成工序。
按照這樣的本發(fā)明的作業(yè)者管理方法，可以很容易地作成作業(yè)日報、作業(yè)月報等作業(yè)報告書。而且自動地檢測作業(yè)者的作業(yè)從而作成成為作業(yè)報告書的素材的作業(yè)信息，所以，作業(yè)者每次進行作業(yè)時可以省去從便攜式信息終端等進行輸入的手續(xù)，從而可以提高作業(yè)效率。另外，由于不需要依賴作業(yè)者的自己報告，所以，可以總是作成正確的作業(yè)報告。
另外，上述作業(yè)報告書作成工序對于各作業(yè)也存儲進行該各作業(yè)時的作業(yè)單價，從而上述作業(yè)報告書作成工序也可以作成包含作業(yè)的作業(yè)單價及其作業(yè)單價的合計金額的作業(yè)報告書。另外，上述作業(yè)地點可以是半導體制造工廠，這時，上述作業(yè)者可以是從與作為上述作業(yè)地點的半導體制造工廠所屬的企業(yè)不同的企業(yè)派遣來的作業(yè)者。這樣，在例如向派遣前往地的企業(yè)要求派遣作業(yè)者進行的作業(yè)的費用時，可以在作業(yè)報告書中印刷各作業(yè)的作業(yè)單價和合計金額，從而可以根據該合計金額要求與作業(yè)內容相應的費用。
上述作業(yè)者管理系統(tǒng)、作業(yè)者管理裝置和作業(yè)者管理方法的作業(yè)者檢測單元設置接收來自各作業(yè)者所持的發(fā)信機的電磁波的接收機，上述發(fā)信機設定為根據各作業(yè)者發(fā)送不同頻率的電磁波，上述作業(yè)者位置確定單元查找接收了成為作業(yè)區(qū)域檢測的對象的作業(yè)者的頻率的電磁波的上述作業(yè)者檢測單元，可以將設置有該作業(yè)者檢測單元的作業(yè)區(qū)域確定為該作業(yè)者所在的作業(yè)區(qū)域。這樣，就可以很容易地檢測出確定的作業(yè)者處在哪個作業(yè)區(qū)域，從而可以很容易地根據該作業(yè)區(qū)域信息檢測出作業(yè)者現在進行的作業(yè)。
另外，上述作業(yè)者管理系統(tǒng)、作業(yè)者管理裝置和作業(yè)者管理方法的作業(yè)者檢測單元設置接收來自各作業(yè)者所持的發(fā)信機的電磁波的接收機，上述發(fā)信機設定為根據各作業(yè)者發(fā)送承載有識別作業(yè)者的識別信息的電磁波，上述作業(yè)者位置確定單元從上述作業(yè)者檢測單元取得作業(yè)者的識別信息，查找接收了成為作業(yè)區(qū)域檢測的對象的作業(yè)者的識別信息的上述作業(yè)者檢測單元，可以將設置有該作業(yè)者檢測單元的作業(yè)區(qū)域確定為該作業(yè)者所在的作業(yè)區(qū)域。這樣，也可以很容易地檢測出確定的作業(yè)者處在哪個作業(yè)區(qū)域，從而可以很容易地根據該作業(yè)區(qū)域信息檢測出作業(yè)者現在進行的作業(yè)。
另外，設置從上述作業(yè)者管理系統(tǒng)、作業(yè)者管理裝置和作業(yè)者管理方法的設置在作業(yè)區(qū)域的作業(yè)裝置取得作業(yè)者的作業(yè)信息的作業(yè)信息取得單元，上述現在作業(yè)確定單元除了作為上述作業(yè)者所在的作業(yè)區(qū)域而確定的作業(yè)區(qū)域信息外，從上述作業(yè)信息取得單元取得來自該作業(yè)者進行作業(yè)的作業(yè)裝置的作業(yè)信息(與裝置對應的作業(yè)信息，在本說明書中，也稱為「裝置信息」)，可以根據這些區(qū)域信息和作業(yè)信息確定該作業(yè)者的現在作業(yè)。這樣，可以根據作業(yè)者所在的作業(yè)區(qū)域信息檢測出某種程度的作業(yè)內容(例如，故障對應處理、通常操作作業(yè)等作業(yè)分類)，進而可以根據作業(yè)信息檢測出詳細的作業(yè)內容(例如，在故障對應處理中，還有電氣系統(tǒng)故障對應處理和機械系統(tǒng)故障對應處理)。


圖1是表示本發(fā)明的實施方式1的作業(yè)者管理系統(tǒng)的整體結構的框圖。
圖2是說明上述實施方式的凈化工作室的裝置室內的作用的圖。
圖3是表示上述實施方式的作業(yè)者管理裝置的結構的框圖。
圖4是表示圖3所示的各種數據庫的例子的框圖。
圖5是表示上述實施方式的作業(yè)確定信息數據庫的1例的圖。
圖6是表示上述實施方式的作業(yè)優(yōu)先信息數據庫的1例的圖。
圖7是表示上述實施方式的作業(yè)技能信息數據庫的1例的圖。
圖8是表示上述實施方式的作業(yè)者技能信息數據庫的1例的圖。
圖9是表示上述實施方式的錯誤代碼信息數據庫的1例的圖。
圖10是表示上述實施方式的檢查結果信息數據庫的1例的圖。
圖11是表示上述實施方式的新作業(yè)分配處理主程序的流程圖。
圖12是表示上述實施方式的作業(yè)者優(yōu)先序位賦予處理子程序的流程圖。
圖13是表示上述實施方式的作業(yè)者決定處理子程序的流程圖。
圖14是表示上述實施方式的作業(yè)者的作業(yè)檢測處理子程序的流程圖。
圖15是表示本發(fā)明的實施方式2的新作業(yè)分配處理主程序的流程圖。
圖16是表示上述實施方式的全部作業(yè)的再分配處理子程序的流程圖。
圖17是表示本發(fā)明的實施方式3的作業(yè)數據庫作成處理的流程圖。
圖18是表示上述實施方式的作業(yè)日報作成處理的流程圖。
圖19是表示上述實施方式作成的作業(yè)日報的1例的圖。
圖20是表示作業(yè)者管理系統(tǒng)的變形例的框圖。
具體實施例方式
下面，參照附圖詳細說明本發(fā)明的實施方式。在本說明書和圖中，對于實際上具有相同的功能結構的結構元素標以相同的符號并省略重復說明。
實施方式1.
首先，參照

將本發(fā)明應用于半導體制造工廠時的作業(yè)者管理系統(tǒng)的實施方式1。圖1是表示作為作業(yè)地點的1例的半導體制造工廠的作業(yè)者管理系統(tǒng)的整體結構的圖，100是半導體制造工廠，表示工廠100內的布置的1例。200是作業(yè)者管理裝置。
如圖1所示，半導體制造工廠100主要分為例如工廠內的凈化工作室區(qū)域110和凈化工作室以外的區(qū)域120(以下，稱為「凈化工作室外區(qū)域」)。
此外，凈化工作室區(qū)域110分為例如多個裝置室區(qū)域112和裝置室以外的區(qū)域114(以下，稱為“裝置室外區(qū)域”)。在裝置室區(qū)域112中，設置了處理裝置和測量裝置等半導體制造裝置140。作為處理裝置，有例如蝕刻裝置、CVD(Chemical vapor deposition化學氣相成長法)裝置、涂料顯影器、清洗裝置、CMP(Chemical MechanicalPolishing化學機械研磨)裝置、PVD(Physical Vapor Deposition物理氣相成長法)裝置、曝光裝置、離子注入器等。作為測量裝置，有例如膜厚裝置、ODP(Optical Digital Profiler)、FTIR等。在裝置室區(qū)域112中，可以對各裝置室區(qū)域112配置不同種類的半導體制造裝置140，也可以對相同裝置室區(qū)域112配置多個種類的半導體制造裝置140。
在上述裝置室區(qū)域112中，設置在進行維護或定期檢修等作業(yè)時從室內控制裝置室區(qū)域112內的各半導體制造裝置140的室內控制部116，由室內控制部116控制該裝置室內的半導體制造裝置140。也可以設置從裝置室的外側進行半導體制造裝置140的控制等的室外控制部118。另外，半導體制造裝置140的控制部也可以設置在各半導體制造裝置140本體中，由其控制部控制該半導體制造裝置140。上述室內控制部116、室外控制部118和其他控制部由例如操作面板構成。各控制部116、118和半導體制造裝置140通過通信線路等與作業(yè)者管理裝置200的輸入輸出部208電氣連接，可以收發(fā)存取信息、裝置的狀態(tài)信息等裝置信息(對裝置的作業(yè)信息)。由上述各控制部控制半導體制造裝置等時，根據該作業(yè)從控制部輸入并存取作業(yè)者的ID、口令。這樣，就可以確定哪個作業(yè)者正在控制。
裝置室外區(qū)域114，這里表示設置上述室外控制部118的區(qū)域。裝置室外區(qū)域114不限于室外控制部118的設置區(qū)域，也可以包含在裝置室區(qū)域112間形成的通路等。
凈化工作室外區(qū)域120表示凈化工作室以外的工廠內區(qū)域。例如，有中央監(jiān)控室區(qū)域122、工作室區(qū)域124、保管庫房區(qū)域126、辦公室區(qū)域128、休息室區(qū)域129(也可以包括衛(wèi)生間等)等。
在上述凈化工作室110內的裝置室區(qū)域112、裝置室外區(qū)域114、凈化工作室外區(qū)域120的中央監(jiān)控室區(qū)域122、工作室區(qū)域124、保管庫房區(qū)域126、辦公室區(qū)域128和休息室區(qū)域129的各區(qū)域中，設置了作為檢測作業(yè)者的作業(yè)者檢測單元的作業(yè)者檢測傳感器130。作業(yè)者檢測傳感器130通過通信電纜等與作業(yè)者管理裝置200的輸入輸出部208電氣連接，可以收發(fā)作業(yè)者檢測傳感器130的傳感器信息。
上述作業(yè)者檢測傳感器130由接收例如各作業(yè)者攜帶的發(fā)信機的電磁波(或電波)的傳感器構成。作業(yè)者檢測傳感器130安裝在例如各區(qū)域的天花板或墻壁等上。
圖2表示作為作業(yè)者傳感器130而將例如接收機134設置在凈化工作室區(qū)域110的裝置室區(qū)域112中的例子。接收機134安裝在成為裝置室區(qū)域112的分隔部的裝置室132的天花板上。另一方面，作業(yè)者136總是攜帶著發(fā)信機138進行半導體制造裝置140等的作業(yè)。作業(yè)者136應進行半導體制造裝置140的例如維護作業(yè)而進入裝置室132時，設置在天花板上的接收機134就接收作業(yè)者攜帶的發(fā)信機138的電磁波。這樣，就可以檢出作業(yè)者136處在裝置室區(qū)域112中。
這時，上述發(fā)信機138也可以向各作業(yè)者發(fā)送不同頻率(無線頻率)的電磁波。并且，使各作業(yè)者與各作業(yè)者的頻率相關聯的頻率信息預先存儲到作為頻率信息存儲單元的1例的頻率信息數據庫中。該頻率信息數據庫也可以包含在圖3所示的各種數據庫210中。根據該頻率信息數據庫的頻率信息，可以由從作業(yè)者檢測傳感器130接收的電磁波的頻率確定位于設置該作業(yè)者檢測傳感器130的作業(yè)區(qū)域內的作業(yè)者。作業(yè)者管理裝置200根據各作業(yè)者檢測傳感器130的傳感器信息找出接收成為作業(yè)區(qū)域檢測的對象的作業(yè)者的頻率的電磁波的作業(yè)者檢測傳感器130，將設置該作業(yè)者檢測傳感器130的作業(yè)區(qū)域確定為該作業(yè)者所在的作業(yè)區(qū)域。
另外，上述發(fā)信機138通過將作為識別各作業(yè)者的識別信息的ID的數據編碼調制等變換為電磁波而進行發(fā)送，接收機134將對從發(fā)信機138接收的電磁波進行解調并組合后的ID的數據作為傳感器信息向作業(yè)者管理裝置200輸出。該ID存儲在圖8所示的作業(yè)者技能信息數據250中。根據該作業(yè)者技能信息數據庫250的ID(識別信息)，可以由從作業(yè)者檢測傳感器130接收的ID(識別信息)確定位于設置該作業(yè)者檢測傳感器130的作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者。這樣，作業(yè)者管理裝置200就從各作業(yè)者檢測傳感器130的傳感器信息找出接收成為作業(yè)區(qū)域檢測的對象的作業(yè)者的ID(識別信息)的作業(yè)者檢測傳感器130，將設置該作業(yè)者檢測傳感器130的作業(yè)區(qū)域確定為該作業(yè)者所在的作業(yè)區(qū)域。發(fā)信機138可以由手機或后面所述的便攜式信息終端等構成。另外，接收機134、發(fā)信機138都可以作為收發(fā)機。這時的具體的例子，后面進行說明。
另外，作業(yè)者的ID(識別信息)也可以預先存儲到該作業(yè)者所攜帶的發(fā)信機138的存儲單元(圖中未示出)中，另外，也可以讀取條碼化的ID而存儲到發(fā)信機138的存儲單元中。具體而言，就是在由例如手機或便攜式信息終端等構成的發(fā)信機138中設置紅外線讀取單元等條碼讀取單元，由條碼讀取單元讀取條碼化的ID，存儲到發(fā)信機138的存儲單元中。
(作業(yè)者管理裝置)作業(yè)者管理裝置200輸入例如上述作業(yè)者檢測傳感器130的數據，根據來自該作業(yè)者檢測傳感器130的數據檢測各作業(yè)者所在的區(qū)域。如圖3所示，作業(yè)者管理裝置200除了具有包括CPU(中央處理裝置)、ROM(只讀存取器)、RAM(隨機存儲器)等存儲器的控制部202、顯示各種信息的顯示器等顯示部204、用于輸入各種數據的輸入部206、輸入來自上述作業(yè)者檢測傳感器130的數據的輸入輸出部208和各種數據庫210外，還具有圖中未示出的存儲程序等的硬盤裝置等存儲單元。上述控制部202的存儲器由于收存由CPU進行存取的程序或數據，例如根據需要讀出收存在上述硬盤裝置等記錄媒體存儲的程序。
作為上述各種數據庫210，如圖4所示，有作業(yè)確定信息數據庫220、作業(yè)優(yōu)先度信息數據庫230、作業(yè)技能信息數據庫240、作業(yè)者技能信息數據庫250、故障信息(異常信息)數據庫260等。
(作業(yè)確定信息數據庫)如圖5所示，作業(yè)確定信息數據庫220存儲使區(qū)域信息222和裝置信息(對裝置的作業(yè)信息)224以及作業(yè)內容226相關聯的作業(yè)確定信息。該作業(yè)確定信息在例如確定作業(yè)者所進行的作業(yè)時使用。具體而言，利用由作業(yè)者檢測傳感器130檢測的作業(yè)者所在的區(qū)域信息和半導體制造裝置140的存取信息等作業(yè)確定信息確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)(現在作業(yè))。
區(qū)域信息222是圖1所示的工廠的各區(qū)域的信息。在本實施方式中，將凈化工作室110內的裝置室區(qū)域112、裝置室外區(qū)域114、凈化工作室外區(qū)域120的中央監(jiān)控室區(qū)域122、工作室區(qū)域124、保管庫房區(qū)域126、辦公室區(qū)域128和休息室區(qū)域129作為各區(qū)域。
裝置信息224是例如對上述半導體制造裝置140的室內控制部116、室外控制部118等控制部的存取信息、異常時發(fā)生的半導體制造裝置140的報警或指示燈點亮等異常報告信息、需要維護時發(fā)生的半導體制造裝置140的報警或指示燈點亮等維護通知信息等。作為對控制部的存取信息，是是否有用于進行例如半導體制造裝置140的維護等各作業(yè)的存取的信息。作業(yè)內容226是在各區(qū)域進行的作業(yè)的種類。
下面，參照圖5說明對各區(qū)域判斷的作業(yè)內容226的1例。首先，作為凈化工作室110的裝置室區(qū)域112的作業(yè)，有故障對應作業(yè)(故障對應維護)和定期作業(yè)等。
上述裝置室區(qū)域112的作業(yè)內容的故障對應作業(yè)，是在裝置室區(qū)域112內的半導體制造裝置140發(fā)生故障時用于消除該故障的作業(yè)。故障對應作業(yè)有裝置的電氣系統(tǒng)發(fā)生異常時的電氣系統(tǒng)故障對應作業(yè)、裝置的機械系統(tǒng)發(fā)生異常時的機械系統(tǒng)故障對應作業(yè)、蝕刻處理等的處理過程發(fā)生異常時的處理系統(tǒng)(工藝系統(tǒng))故障對應作業(yè)等。半導體制造裝置140的故障，根據該裝置的報告單元的報警等通知或指示燈單元的指示燈的點亮等可以知道有無故障發(fā)生或故障的種類。
因此，在判定作業(yè)者位于裝置室區(qū)域112中時，如果進而根據作業(yè)確定信息發(fā)生了故障，就可以判定該作業(yè)者在進行故障對應作業(yè)。這時，可以根據作業(yè)確定信息的故障的種類(例如電氣系統(tǒng)、機械系統(tǒng)、處理系統(tǒng)等)判斷更詳細的故障對應作業(yè)。在有半導體制造裝置140的報告(報警)時，通常作業(yè)者就從室內控制部116等訪問該半導體制造裝置140，切換為維護模式，進行檢查動作等作業(yè)，所以，也可以根據這時的作業(yè)者的訪問信息判斷故障對應作業(yè)。
上述裝置室區(qū)域112的作業(yè)內容的定期作業(yè)是例如對半導體制造裝置140進行部件更換或濕法清洗的作業(yè)。濕法清洗，就是作業(yè)者在裝置室區(qū)域112中將半導體制造裝置140的處理室打開，使用藥液進行清洗。這里，由于是在裝置室區(qū)域112的作業(yè)，所以，作為清洗以濕法清洗為例，但是，本發(fā)明不限定一定如此。在進行部件更換或濕法清洗時，有時為了根據報告(報警)或指示燈的點亮等維護通知或由室內控制部116等切換為維護模式進行作業(yè)而訪問該半導體制造裝置140。因此，在判定作業(yè)者位于裝置室區(qū)域112中時，根據這些訪問信息或維護通知信息等作業(yè)確定信息可以判定該作業(yè)者正在進行定期作業(yè)。
其次，作為在凈化工作室110的裝置室外區(qū)域114中的作業(yè)，有通常操作作業(yè)、定期作業(yè)以及其他作業(yè)。通常操作作業(yè)是例如為了從室外控制部118進行半導體裝置的生產指示而進行工藝條件等的輸入、設置或移動收納半導體芯片的載體(FOUP)的作業(yè)。設置或移動載體(FOUP)的作業(yè)在裝置室區(qū)域112內進行，然后從室外控制部118進行半導體裝置的生產指示等，所以，包含在裝置室外區(qū)域114中的作業(yè)。但是，在裝置室區(qū)域112中進行這些作業(yè)時，也可以作為裝置室區(qū)域112的作業(yè)。
這樣，通常操作作業(yè)由于通常是從室外控制部118等訪問半導體制造裝置140，所以，在判定作業(yè)者位于裝置室區(qū)域112中時，根據訪問信息可以判定該作業(yè)者正在進行通常操作作業(yè)。裝置室外區(qū)域114的定期作業(yè)有例如對半導體制造裝置140的干法清洗或干燥等。干法清洗，通常是從室外控制部118等訪問半導體制造裝置140，通過輸入必要信息而清洗半導體制造裝置140的處理室等的作業(yè)。這里，由于是在裝置室外區(qū)域114中的作業(yè)，所以，作為清洗以干法清洗為例，但是，本發(fā)明不限定一定如此。
裝置室外區(qū)域114的其他裝置室外作業(yè)(包含在圖6的后面所述的作業(yè)分類中的區(qū)域作業(yè)中)有半導體制造裝置140的監(jiān)視或周圍的清掃等作業(yè)。在判定作業(yè)者位于裝置室外區(qū)域114中時，在沒有訪問信息、維護通知信息等作業(yè)確定信息時，就可以判定正在進行其他作業(yè)。為了更詳細地判斷這些作業(yè)，可以從例如作業(yè)者的便攜式信息終端輸入監(jiān)視、清掃等作業(yè)內容。也可以將輸入的作業(yè)內容的信息作為作業(yè)確定信息而判斷作業(yè)。
此外，作為凈化工作室外區(qū)域120的作業(yè)，有在中央監(jiān)控室區(qū)域122、工作室區(qū)域124、保管庫房區(qū)域126、辦公室區(qū)域128中的作業(yè)。這些作業(yè)都包含在圖6中的后面所述的作業(yè)分類中的其他作業(yè)中。另外，在休息室區(qū)域129，是進行休息或上衛(wèi)生間。作為上述中央監(jiān)控室區(qū)域122、工作室區(qū)域124、保管庫房區(qū)域126、辦公室區(qū)域128中的作業(yè)，有例如生產準備作業(yè)(也可以作為工程管理作業(yè))。作為生產準備作業(yè)，在中央監(jiān)控室區(qū)域122中，進行例如半導體裝置的生產全體的監(jiān)視或生產安排(生產工程計劃)的作業(yè)的變更等，在保管庫房區(qū)域126中，進行部件的管理作業(yè)等，在辦公室區(qū)域128中，進行部件的訂購發(fā)貨等其他雜務，在工作室區(qū)域124中，進行凈化工作室內的空氣凈化器等的故障等的故障對應作業(yè)或空氣凈化器等的定期維護等定期作業(yè)。這樣，根據作業(yè)者位于哪個區(qū)域可以判斷正在進行的作業(yè)。
在上述例中，說明了工廠內某一區(qū)域的作業(yè)，但是，在工廠外也進行將清洗等使用的藥品收容起來裝入藥品容器內的作業(yè)等工廠外區(qū)域的作業(yè)。因此，在檢測到作業(yè)者位于工廠外區(qū)域時，就可以判定正在進行工廠外作業(yè)。作業(yè)者是否位于工廠外區(qū)域，在例如不能利用設置在工廠內的作業(yè)者檢測傳感器130檢測出作業(yè)者所在的區(qū)域時，只要該作業(yè)者出勤了，也可以判定位于工廠外區(qū)域。
這樣，在本實施方式中，作為作業(yè)確定信息，利用區(qū)域信息222和裝置信息224確定作業(yè)者的現在作業(yè)。這是因為根據作業(yè)者位于哪個區(qū)域的區(qū)域信息222可以大致判斷該作業(yè)者正在進行的現在作業(yè)，而根據訪問信息等裝置信息224可以判斷大致的作業(yè)中更詳細的作業(yè)。但是，本發(fā)明不限定一定如此，作為作業(yè)確定信息，也可以僅根據區(qū)域信息222而確定現在作業(yè)。例如，通過更細致地區(qū)分工廠內外的區(qū)域，僅根據區(qū)域信息222就可以某種程度地詳細確定現在作業(yè)。另外，作為作業(yè)確定信息，也可以僅根據訪問信息等裝置信息224確定現在作業(yè)。
(作業(yè)優(yōu)先度信息數據庫)作業(yè)優(yōu)先度數據庫230存儲清楚劃分的作業(yè)分類和屬于該作業(yè)分類的作為作業(yè)的優(yōu)先度(優(yōu)先序位)信息的作業(yè)優(yōu)先度信息。例如，如圖6所示，從作為最高的優(yōu)先度的優(yōu)先度1到最低的優(yōu)先度5，由優(yōu)先度232和作業(yè)分類234構成。
優(yōu)先度最高的優(yōu)先度1的作業(yè)分類是非常時作業(yè)。作為非常時作業(yè)，有發(fā)生火災時的滅火作業(yè)和根據氣體檢測器的檢測報告而處置氣體泄漏的氣體泄漏對應作業(yè)等。這些作業(yè)的確定，根據例如設置在各裝置室區(qū)域112中的火災報警器等的災害用的傳感器等進行判斷。
優(yōu)先度2的作業(yè)分類是與設置在裝置室區(qū)域112中的半導體制造裝置140的故障對應的故障對應作業(yè)。故障對應作業(yè)包含圖5所示的凈化工作室區(qū)域110的裝置室區(qū)域112的故障對應作業(yè)。如上所述，該故障對應作業(yè)有例如與電氣系統(tǒng)故障、機械系統(tǒng)故障、處理系統(tǒng)故障等的故障對應的維護等。另外，故障對應作業(yè)也包含工作室區(qū)域124的空氣凈化器等的電氣系統(tǒng)故障、機械系統(tǒng)故障。這些作業(yè)妨礙半導體裝置的生產以及品質和起因于合格率降低等。因此，故障的對應作業(yè)在不是非常時的通常時的作業(yè)中最優(yōu)先。
優(yōu)先度3的作業(yè)分類，是通常操作作業(yè)。該通常操作作業(yè)包含圖5所示的凈化工作室區(qū)域110的裝置室外區(qū)域114的通常操作作業(yè)。通常操作作業(yè)是例如為了進行上述半導體裝置的生產指示而進行工藝條件等的輸入、設置或移動收納半導體芯片的載體(FOUP)的作業(yè)。在通常時，原則上只要沒有任何故障，通常操作作業(yè)就是優(yōu)先的。因為通常操作作業(yè)是半導體裝置的生產的作業(yè)。
優(yōu)先度4的作業(yè)分類是定期作業(yè)。定期作業(yè)包括圖5所示的凈化工作室區(qū)域110的裝置室區(qū)域112的定期作業(yè)和裝置室外區(qū)域114的定期作業(yè)。作為定期作業(yè)，如上所述，有例如濕法清洗、干法清洗、部件更換等維護作業(yè)。此外，也包含工作室區(qū)域124的空氣凈化器等的定期的維護。這些作業(yè)，原則上不是使半導體裝置的生產中止而進行的作業(yè)，所以，在本實施方式中，優(yōu)先度比通常操作作業(yè)低。但是，本發(fā)明不限于此，不論優(yōu)先度如何，在半導體裝置的生產過程中，在判斷全體或前后的生產安排認為最適當時也可以進行這些作業(yè)。這時，何時進入定期作業(yè)，具有工程管理的技能的作業(yè)者可以判斷全體或前后的生產安排而進行決定，隨時適當地變更上述優(yōu)先度。
優(yōu)先度5的作業(yè)分類是其他的作業(yè)。這里所說的其他作業(yè)，除了圖5所示的凈化工作室區(qū)域110的裝置室外區(qū)域114的其他的裝置室外作業(yè)外，還包括凈化工作室外區(qū)域120的中央監(jiān)控室區(qū)域122的作業(yè)、保管庫房區(qū)域126的作業(yè)、辦公室區(qū)域128的作業(yè)、休息室區(qū)域129的作業(yè)和工廠外區(qū)域的作業(yè)。因此，作為這里所說的其他作業(yè)，包含例如部件訂購發(fā)貨作業(yè)、半導體裝置的生產安排作業(yè)的調整、半導體制造裝置140的監(jiān)視、清掃等作業(yè)。
在本實施方式中，將作業(yè)的優(yōu)先度分為5個，但是，本發(fā)明不限于此，可以是6個以上的優(yōu)先度，也可以是4個以下的優(yōu)先度。另外，作業(yè)的分法也不限于此。
(作業(yè)技能信息數據庫)作業(yè)技能信息數據庫240存儲作業(yè)本身所需要的技能信息(作業(yè)技能信息)，與存儲作業(yè)者具有的技能信息(作業(yè)者技能信息)的后面所述的作業(yè)者技能信息數據庫250不同。具體而言，如圖7所示，作業(yè)技能信息數據庫240存儲使作業(yè)242與清楚劃分的作業(yè)者分類244相關聯的作業(yè)技能信息。
上述作業(yè)242進而分為作業(yè)分類246和包含在該作業(yè)分類246中的作業(yè)內容248。這里的作業(yè)分類246與圖6所示的作業(yè)分類234對應。使最適合進行該作業(yè)的作業(yè)者分類244與每個該作業(yè)分類246或每個屬于該作業(yè)分類的作業(yè)內容248相關聯。
首先，對火災的滅火作業(yè)等非常時對應作業(yè)與作業(yè)者分類244無關，全員進行是最合適的。故障對應作業(yè)，由工程技術人員進行是最合適的。此外，故障對應作業(yè)中的電氣系統(tǒng)故障對應作業(yè)由電氣系統(tǒng)工程技術人員進行是最合適的，機械系統(tǒng)故障對應作業(yè)由機械系統(tǒng)工程技術人員進行是最合適的，處理系統(tǒng)故障對應作業(yè)由處理系統(tǒng)工程技術人員進行是最合適的。這是因為，作業(yè)者為工程技術人員時，這些作業(yè)者具有專門的技術技能，由專門的工程技術人員進行該作業(yè)是最合適的。即，并不是意味著必須由專門的工程技術人員進行，即使是專門以外的工程技術人員，只要是可以處置該故障的工程技術人員，該作業(yè)者也可以進行該作業(yè)。
通常操作作業(yè)是為了使半導體制造裝置140進行半導體裝置的生產而操作上述控制部116等的作業(yè)。因此，作為操作者的作業(yè)者進行該作業(yè)是最合適的。通常操作作業(yè)也并不是意味著必須由操作者進行。例如，工程技術人員通常也具有作為操作者的技能，所以，工程技術人員也可以進行通常操作作業(yè)。
定期作業(yè)是例如清洗、部件更換等維護作業(yè)。因此，由定期作業(yè)者進行是最合適的。對于定期作業(yè)，也和上述一樣，并不是意味著必須由定期作業(yè)者進行。例如，工程技術人員、操作者通常也具有作為定期作業(yè)者的技能，所以，工程技術人員也可以進行通常作業(yè)。
其他作業(yè)，是例如半導體裝置的生產安排等作業(yè)。因此，其他作業(yè)由具有可以處理該作業(yè)的技能的其他的作業(yè)者進行是最合適的。
(作業(yè)者技能信息數據庫)如圖8所示，作業(yè)者技能信息數據庫250存儲作業(yè)者具有的作業(yè)者技能信息。該作業(yè)者技能信息按例如作業(yè)者的整理號碼251、姓名252、ID253、口令254、所屬255、作業(yè)者分類256、作業(yè)257等項目進行存儲。除了這些項目外，也可以存儲例如作業(yè)者的移動(時間)、半導體制造裝置的運轉安排等。另外，也可以對各作業(yè)分類存儲進行該作業(yè)時的單價。作業(yè)的單價在例如從別的公司將作業(yè)者派遣到某一工廠時可以用于根據作業(yè)決定費用。
整理號碼251是作業(yè)者的通行號碼，姓名252和ID253用于確定作業(yè)者。
在上述所屬255中，存儲該作業(yè)者所屬的工廠名、事務所名、公司名等。例如，作業(yè)者是具有本發(fā)明的作業(yè)者管理系統(tǒng)的工廠的作業(yè)者時，所屬255就存儲該工廠名。另外，在屬于別的工廠的作業(yè)者向具有本發(fā)明的作業(yè)者管理系統(tǒng)的工廠派遣時，所屬255就存儲該所屬的別的工廠名。此外，如后面所述，有銷售半導體制造裝置140的公司(銷售公司)和購入該半導體制造裝置140的作為顧客的公司(購入公司)時，銷售公司的從業(yè)員作為作業(yè)者向銷售公司的工廠派遣時，所屬255就存儲該銷售公司名。
作業(yè)者分類256存儲該作業(yè)者的圖7所示的作業(yè)者分類。該作業(yè)者具有操作者的技能時，就作為操作者使用，該作業(yè)者具有進行定期作業(yè)的技能時，就作為定期作業(yè)者使用。另外，如果作業(yè)者是工程技術人員，就如機械系統(tǒng)工程技術人員那樣，優(yōu)選連其專業(yè)也進行記錄。
上述作業(yè)257存儲該作業(yè)者具有技能的作業(yè)。上述作業(yè)257與圖7所示的作業(yè)242對應。具體而言，作業(yè)257分為作業(yè)分類和作業(yè)內容。作業(yè)者是否可以進行該作業(yè)，用例如○、△、×表示。○是該作業(yè)者可以進行的作業(yè)，△是該作業(yè)者進行很難但不是不能進行的作業(yè)，×是該作業(yè)者不能進行的作業(yè)。
作業(yè)242不僅存儲作業(yè)者本身的專業(yè)的作業(yè)，而且也可以存儲實際可以進行的作業(yè)。例如，如果該作業(yè)者的作業(yè)者分類是機械系統(tǒng)工程技術人員，屬于本身的專業(yè)的機械系統(tǒng)故障對應作業(yè)就是○，但是，通常只要是工程技術人員，也可以進行通常操作作業(yè)，所以，通常操作作業(yè)也是○。另外，即使該作業(yè)者是電氣系統(tǒng)工程技術人員，有時也可以進行不是自己的專業(yè)的機械系統(tǒng)故障對應作業(yè)。這時，不僅將電氣系統(tǒng)故障對應作業(yè)，而且也將機械系統(tǒng)故障對應作業(yè)表示為○。
(故障信息數據庫)故障信息(異常信息)數據庫260包括存儲半導體制造裝置140的錯誤代碼引起的故障信息的錯誤代碼信息數據庫262和存儲半導體裝置的檢查結果引起的故障信息的檢查結果信息數據庫264。
如圖9所示，錯誤代碼信息數據庫262存儲半導體制造裝置140有故障(異常)時的錯誤代碼、該錯誤代碼的內容、將具有可以處置該錯誤的技能的作業(yè)者分類加以關聯的錯誤代碼信息。例如，錯誤代碼“AABB01”是作為半導體制造裝置140利用例如加高頻電力而在處理室內發(fā)生的等離子體而進行蝕刻處理的等離子體蝕刻裝置的處理室內的高頻反射波超過上限值時的錯誤。這時，設置在等離子體蝕刻裝置中的高頻發(fā)生器或匹配器等就成為錯誤對象部位。因此，具有可以進行該錯誤的故障對應作業(yè)的技能的作業(yè)者分類就是電氣系統(tǒng)工程技術人員。與此相反，錯誤代碼“CCDD01”是泵的冷卻水的流量降低引起的錯誤。這時，泵單元等就成為了錯誤對象部位。因此，具有可以進行該錯誤的故障對應作業(yè)的技能的作業(yè)者分類就是機械系統(tǒng)工程技術人員。
如圖10所示，檢查結果信息數據庫264在由等離子體蝕刻裝置等半導體制造裝置140制造的半導體裝置有檢查異常時，存儲使檢查結果與具有可以處置基于該檢查結果的異常的技能的作業(yè)者分類相關聯的檢查結果信息。例如，由半導體制造裝置140制造的晶片等利用檢查裝置進行各種各樣的檢查。基于這些檢查結果的故障，主要是由處理系統(tǒng)工程技術人員進行故障對應作業(yè)。利用這樣的故障信息數據庫260，可以根據故障的種類決定進行該故障對應作業(yè)的最佳的作業(yè)者分類。
(作業(yè)者管理裝置進行的處理)下面，參照圖11～圖14說明作業(yè)者管理裝置200進行的新作業(yè)分配處理的具體例子。本實施方式的處理，典型地可以利用硬盤裝置等記錄媒體記錄的程序而實施。
本實施方式的新作業(yè)分配處理，在有新的作業(yè)時，根據作業(yè)者的現在作業(yè)判斷(判斷單元)是使該作業(yè)者繼續(xù)進行現在作業(yè)還是進行新的作業(yè)，根據上述判斷單元的判斷結果向該作業(yè)者發(fā)出作業(yè)執(zhí)行的指示(指示單元)。是考慮新作業(yè)的作業(yè)內容和作業(yè)者的技能以及現在所進行的作業(yè)與新作業(yè)的優(yōu)先度等而選擇最佳的作業(yè)者并發(fā)出指示的處理。
新作業(yè)分配處理，具體而言，如圖11所示，首先在步驟S110判斷是否有新的作業(yè)。例如，對于半導體制造裝置140，除了錯誤信息外，根據通知(報警)信息等進行判斷，并確定新作業(yè)。
例如，在半導體制造裝置140發(fā)生故障時，作業(yè)者管理裝置200從半導體制造裝置140接收報警，同時接收包含錯誤代碼的錯誤信息。利用故障信息數據庫260中的錯誤代碼信息數據庫262，根據上述錯誤信息的錯誤代碼可以確定該新作業(yè)是對什么樣的故障的作業(yè)(電氣系統(tǒng)故障對應作業(yè)、機械系統(tǒng)故障對應作業(yè))。
另外，接收半導體制造裝置140中的檢查裝置的檢查結果，該檢查結果有異常時，利用故障信息數據庫260中的檢查結果信息數據庫264，可以確定新作業(yè)是處理系統(tǒng)故障對應作業(yè)，此外，可以取得該故障的詳細情況。
另外，在半導體制造裝置140的一批結束時，有一批結束的通知。這樣，就可以確定新作業(yè)是FOUP的移動等、對下一批的準備作業(yè)等定期作業(yè)、通常操作作業(yè)等。在從半導體制造裝置140有清洗等的通知時，就可以確定新作業(yè)是定期作業(yè)。
其次，在步驟S120，抽出可以進行該新作業(yè)的作業(yè)者(作業(yè)者抽出單元的例子)。例如，根據作業(yè)技能信息數據庫240檢索進行該新作業(yè)最佳的作業(yè)者分類，根據作業(yè)者技能信息數據庫250抽出具有該作業(yè)者分類的作業(yè)者。另外，即使不是屬于進行該新作業(yè)最佳的作業(yè)者分類的作業(yè)者，在作業(yè)者技能信息數據庫250的作業(yè)257的欄內標了○和△的作業(yè)者也可以進行新作業(yè)。因此，這些作業(yè)者也是抽出的對象。
在作業(yè)者技能信息數據庫250的作業(yè)257的欄內，例如電氣系統(tǒng)工程技術人員如對電氣系統(tǒng)故障對應作業(yè)一定標為○那樣，對作業(yè)者分類的專業(yè)的作業(yè)也一定標為○。另外，有時也有對專業(yè)以外的作業(yè)標為○的作業(yè)者，而在專業(yè)以外的作業(yè)不是不能進行時就標為△。因此，不論作業(yè)者分類如何，可以僅根據作業(yè)者技能信息數據庫250的作業(yè)257的欄抽出標為○和△的作業(yè)者。
然后，在步驟S130，對作業(yè)者賦予優(yōu)先序位(優(yōu)先序位賦予單元)。根據作業(yè)技能和作業(yè)者技能從最佳的作業(yè)者開始賦予優(yōu)先序位。例如，使作業(yè)者信息數據庫250的作業(yè)的欄內標為○的作業(yè)者的優(yōu)先序位高。這是為了使對該作業(yè)具有專業(yè)技能的作業(yè)者優(yōu)先擔當該作業(yè)。向作業(yè)者賦予優(yōu)先序位的處理的詳細情況，后面進行說明。
然后，在步驟S140，決定進行作業(yè)的作業(yè)者。作業(yè)者的決定，從例如優(yōu)先序位高的作業(yè)者開始順序根據該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)與新的作業(yè)的優(yōu)先度進行。決定該作業(yè)者的處理的詳細情況，后面進行說明。
其次，在步驟S150，向在步驟S140決定的作業(yè)者發(fā)出執(zhí)行新作業(yè)的指示(指示單元)。這時，也可以向例如該作業(yè)者攜帶的便攜式信息終端發(fā)出執(zhí)行新作業(yè)的指示。
然后，在步驟S160，判斷該作業(yè)者是否有現在作業(yè)。由于在步驟S140的作業(yè)者決定處理中檢測現在作業(yè)(圖13所示的步驟S320)，所以，利用該結果進行判斷。這是因為，在指示進行新作業(yè)的作業(yè)者有現在作業(yè)時，需要對該現在作業(yè)選擇替代的作業(yè)者并向其發(fā)出指示。在步驟S160判定該作業(yè)者有現在作業(yè)時，在步驟S170，就將現在作業(yè)作為新作業(yè)返回到步驟S120的處理，決定替代進行該作業(yè)的作業(yè)者。另外，在步驟S160判定該作業(yè)者沒有現在作業(yè)時，就結束該處理。
下面，參照圖12所示的子程序說明上述步驟S130的作業(yè)者的優(yōu)先序位賦予處理(作業(yè)者優(yōu)先序位賦予單元)的1例。在步驟S210對作為新作業(yè)的作業(yè)把在作業(yè)者技能信息數據庫250的作業(yè)257的欄內標為○作為第一關鍵，使這樣的作業(yè)者的優(yōu)先序位高。然后，在步驟S220，將新作業(yè)的作業(yè)者分類作為第二關鍵，使與作業(yè)者分類一致的作業(yè)分類的作業(yè)者的優(yōu)先序位最高。
這樣，在作業(yè)者技能信息數據庫250的作業(yè)的欄內標為○的并且新作業(yè)的作業(yè)者分類一致的作業(yè)者，優(yōu)先序位最高。例如，具有該新作業(yè)的作業(yè)技能的作業(yè)者的作業(yè)者分類為電氣系統(tǒng)工程技術人員時，即使在抽出的作業(yè)者包含機械系統(tǒng)工程技術人員，也是電氣系統(tǒng)工程技術人員的優(yōu)先序位高。這樣，在步驟S140決定作業(yè)者時，可以從最適合新作業(yè)的作業(yè)者開始順序判斷是否可以擔當新作業(yè)。這樣，就可以更迅速地找到最適合新作業(yè)的作業(yè)者。
下面，參照圖13所示的子程序說明在步驟S150決定作業(yè)者的處理的1例。首先，在步驟S310，令在圖13所示的步驟S140得到的作業(yè)者的優(yōu)先序位k＝1，按優(yōu)先序位高的順序進行作業(yè)者決定處理。其次，在步驟S320，檢測作業(yè)者現在所進行的作業(yè)(現在作業(yè))(現在作業(yè)確定單元的例子)。作業(yè)者的現在作業(yè)的檢測，根據例如該作業(yè)者位于哪個區(qū)域等進行。
對于檢測該作業(yè)者的作業(yè)的處理，按照例如圖14所示的子程序進行(現在作業(yè)確定單元的例子)。首先，在步驟S410，檢測存在該作業(yè)者的區(qū)域信息。這樣，可以檢測某種程度的作業(yè)(作業(yè)分類)。具體而言，根據作業(yè)者檢測傳感器130的傳感器信息檢測作業(yè)者位于凈化工作室110內的裝置室區(qū)域112等上述各區(qū)域中的哪個區(qū)域。例如，將檢測到該作業(yè)者的頻率的作業(yè)者檢測傳感器130的設置區(qū)域作為作業(yè)者所在的區(qū)域。如果設置在凈化工作室110內的裝置室區(qū)域112中的作業(yè)者檢測傳感器130檢測到了該作業(yè)者的頻率，就判定該作業(yè)者位于裝置室區(qū)域112中，如果設置在裝置室外區(qū)域114中的作業(yè)者檢測傳感器130檢測到了該作業(yè)者的頻率，就判定該作業(yè)者位于裝置室外區(qū)域114。
其次，在步驟S420，檢測對半導體制造裝置140的訪問信息等的裝置信息。這樣，可以檢測更詳細的作業(yè)。從半導體制造裝置140或控制部116、118等得到的裝置信息，由作業(yè)者管理裝置200接收。根據訪問信息，由ID和口令確定該作業(yè)者，并判斷該作業(yè)者正在進行什么樣的作業(yè)。另外，半導體制造裝置140的報警信息等裝置信息也由作業(yè)者管理裝置200接收。也可以根據報警信息檢測作業(yè)。
然后，在步驟S430，利用上述區(qū)域信息和上述裝置信息，根據圖5所示的作業(yè)確定信息數據庫220的作業(yè)確定信息確定該作業(yè)者的現在作業(yè)。例如，作為區(qū)域信息，判斷該作業(yè)者位于凈化工作室110的裝置室區(qū)域112中，此外，作為裝置信息，判定有報警信息和故障對應訪問時，作為現在作業(yè)的作業(yè)內容，就判定進行故障對應作業(yè)。
其次，在圖13所示的步驟S330，判斷是否有該作業(yè)者的現在作業(yè)。在由步驟S320確定了作業(yè)時，就判定有現在作業(yè)，未確定作業(yè)時，就判定沒有現在作業(yè)。在步驟S330，判定沒有現在作業(yè)時，在步驟S400，就將該作業(yè)者決定為進行新作業(yè)的作業(yè)者(作業(yè)者確定單元)。
與此相反，在步驟S330判定有現在作業(yè)時，在步驟S340，根據作業(yè)優(yōu)先度信息數據庫230的作業(yè)優(yōu)先度信息取得現在作業(yè)的優(yōu)先度，在步驟S350取得新作業(yè)的優(yōu)先度。然后，在步驟S360，判斷現在作業(yè)的優(yōu)先度(U1)是否比現在優(yōu)先度(U2)高或者是否優(yōu)先度相同。在步驟S350判定現在作業(yè)的優(yōu)先度比現在優(yōu)先度高時或優(yōu)先度相同時，在步驟S370，就將優(yōu)先序位k增加1(k＝k+1)。然后，在步驟S380，判斷是否對賦予了優(yōu)先序位的所有的作業(yè)者進行處理。例如，設抽出的賦予了優(yōu)先序位的作業(yè)者數為N，判斷優(yōu)先序位是否成為k＝N+1。在步驟S380判定還未對賦予了優(yōu)先序位的所有的作業(yè)者進行了處理時，例如判定優(yōu)先序位還未成為k＝N+1時，就返回步驟S320的處理，對下一個優(yōu)先序位的作業(yè)者進行處理。
在上述步驟S350判定該作業(yè)者的現在作業(yè)的優(yōu)先度比現在優(yōu)先度低時，在步驟S400，就將該作業(yè)者決定為進行新作業(yè)的作業(yè)者。這樣，就由圖11所示的步驟S150指示所決定的作業(yè)者進行新作業(yè)。
這樣，比較檢測的現在作業(yè)與新作業(yè)的優(yōu)先度，如果新作業(yè)的優(yōu)先度高，就指示該作業(yè)者進行新作業(yè)。這樣，在有新作業(yè)時，就可以根據與現在作業(yè)的優(yōu)先度判斷是否使該作業(yè)者進行新作業(yè)，所以，可以非常迅速地處理優(yōu)先度高的作業(yè)即重要的作業(yè)。這樣，就可以實現作業(yè)分配的最佳化。
另外，在上述步驟S380判定對賦予了優(yōu)先序位的所有的作業(yè)者進行了處理時，例如在判定優(yōu)先序位已成為k＝N+1時，在步驟S390，進行錯誤處理。作為錯誤處理，在顯示部204上進行例如未找到相應的作業(yè)者的顯示。這時，也可以例如將該信息通知可以進行該作業(yè)的作業(yè)者。按照上述這樣的處理，越是優(yōu)先度高的處理，找到作業(yè)者的情況越多，所以，未找到作業(yè)者的處理，是優(yōu)先度低的處理的可能性高。因此，也可以例如錯開時間再次進行上述處理。
在步驟S390的錯誤處理中，根據作業(yè)技能信息數據庫240的作業(yè)技能信息，從未找到作業(yè)者的作業(yè)檢索具有該作業(yè)所需要的技能的作業(yè)者的作業(yè)者分類，也可以利用運行記錄文件等存儲上述作業(yè)、作業(yè)者分類、日期等。例如，未找到作業(yè)者的作業(yè)是機械系統(tǒng)故障對應作業(yè)時，作為具有該作業(yè)所需要的技能的作業(yè)者的作業(yè)者分類，可以檢索機械系統(tǒng)工程技術人員，所以，將機械系統(tǒng)故障對應作業(yè)、機械系統(tǒng)工程技術人員等存儲到運行記錄文件中。這樣，就可以知道該工廠有可能機械系統(tǒng)工程技術人員不足。
這樣，上述運行記錄文件可以作為該工廠是否需要增減作業(yè)者的判斷材料。例如，在頻繁發(fā)生錯誤處理時，就可以推測作業(yè)者不足以及哪個作業(yè)者分類的作業(yè)者不足。另外，不發(fā)生錯誤處理時，通過削減作業(yè)者可以削減多余的作業(yè)者。這樣，可以使該工廠安排所需數量的需要的作業(yè)者分類的作業(yè)者，所以，不僅可以實現每1個作業(yè)者的作業(yè)的高效化，而且也可以實現作業(yè)者數的高效化。
按照這樣的處理，例如作為新作業(yè)而發(fā)生了機械系統(tǒng)故障對應作業(yè)，設作為可以進行該新作業(yè)的作業(yè)者而抽出的是電氣系統(tǒng)工程技術人員A、機械系統(tǒng)工程技術人員B和操作者C時，這些作業(yè)者的優(yōu)先序位是機械系統(tǒng)工程技術人員B、電氣系統(tǒng)工程技術人員A、操作者C的順序，按該順序進行處理。這時，如果沒有B的現在作業(yè)，則新作業(yè)的作業(yè)者就決定為B。
另外，即使B有現在作業(yè)時，該現在作業(yè)是例如通常操作作業(yè)時，按照圖6所示的作業(yè)優(yōu)先度信息數據庫230，由于作為新作業(yè)的機械系統(tǒng)故障對應作業(yè)的優(yōu)先度比作為B的現在作業(yè)的通常操作作業(yè)的優(yōu)先度高，所以，這時新作業(yè)的作業(yè)者也決定為B。
這時，作為B的現在作業(yè)的通常操作作業(yè)就作為新作業(yè)反復進行處理。這時的作業(yè)者的優(yōu)先序位就是操作者C、電氣系統(tǒng)工程技術人員A、機械系統(tǒng)工程技術人員B的順序，按該順序進行處理。這時，如果操作者C沒有現在作業(yè)，則新作業(yè)的作業(yè)者就決定為C。
另外，即使C有現在作業(yè)，該現在作業(yè)是定期作業(yè)時，按照圖6所示的作業(yè)優(yōu)先度信息數據庫230，由于作為新作業(yè)的通常操作作業(yè)的優(yōu)先度比作為C的現在作業(yè)的定期作業(yè)的優(yōu)先度高，所以，這時新作業(yè)的作業(yè)者也決定為C。
然而，在C的現在作業(yè)是在別的區(qū)域中的通常操作作業(yè)時，按照圖6所示的作業(yè)優(yōu)先度信息數據庫230，由于現在作業(yè)和新作業(yè)在優(yōu)先度方面不分優(yōu)劣，所以，C繼續(xù)進行現在作業(yè)。如果沒有電氣系統(tǒng)工程技術人員A的現在作業(yè)，則新作業(yè)的作業(yè)者就決定為A。
實施方式2.
下面，參照

將本發(fā)明應用于半導體制造工廠時的作業(yè)者管理系統(tǒng)的實施方式2。在實施方式2中，圖1～圖10的結構相同，所以，省略其詳細的說明。另外，對于與實施方式1相同的部分標以相同的符號，并省略其詳細的說明。
下面，參照圖15和圖16說明實施方式2的作業(yè)者管理裝置200進行的新作業(yè)分配處理的其他具體例。本實施方式的處理，典型地可以利用記錄在硬盤裝置等記錄媒體上的程序實施。
在實施方式2的新作業(yè)分配處理中，與實施方式1的圖11所示的情況不同的地方是，在有新作業(yè)時對包含該新作業(yè)和所有的作業(yè)者的現在作業(yè)的全部作業(yè)考慮各作業(yè)的優(yōu)先度、作業(yè)技能、作業(yè)者技能等而進行作業(yè)的再分配，以便可以使最佳的作業(yè)者進行作業(yè)。
具體而言，如圖15所示，首先在步驟S510判斷是否有新的作業(yè)。與上述步驟S310一樣，根據例如半導體制造裝置140發(fā)生了故障時的錯誤信息、報警信息等進行判斷。其次，在步驟S520，檢測所有的作業(yè)者的現在作業(yè)。該作業(yè)者的現在作業(yè)的檢測，對所有作業(yè)者反復進行例如圖14所示的子程序。
然后，在步驟S530，對包含新作業(yè)和現在作業(yè)的全部作業(yè)進行再分配(作業(yè)再分配單元)。這樣，在有新作業(yè)時，檢測所有作業(yè)者的現在作業(yè)，重新再分配包含該現在作業(yè)和新作業(yè)的全部作業(yè)，所以，可以對包含新作業(yè)的全部作業(yè)分配更適當的作業(yè)者。這樣，可以實現作業(yè)分配的高效化和作業(yè)的高效化。作業(yè)的再分配的處理的詳細情況，后面進行說明。
然后，在S540，向各作業(yè)者發(fā)出指示，指示其進行分配給該作業(yè)者的作業(yè)。例如，可以向各作業(yè)者攜帶的便攜式信息終端發(fā)出指示，指示其進行相應的作業(yè)。
其次，在步驟S550，判斷是否還有未分配的作業(yè)。在步驟S550判定還有未分配的作業(yè)時，在步驟S560對可以對應的作業(yè)者還有未分配的作業(yè)，所以，就通知其進行該作業(yè)，并結束處理。在步驟S550判定已沒有了未分配的作業(yè)時，就直接結束處理。
下面，參照圖16所示的子程序說明步驟S530的作業(yè)再分配處理(作業(yè)再分配單元)的1例。首先，在步驟S610，對包含新作業(yè)和現在作業(yè)的所有的作業(yè)，根據作業(yè)優(yōu)先度信息數據庫230的作業(yè)優(yōu)先度信息決定優(yōu)先度高的順序。設這時的作業(yè)的優(yōu)先度為W。然后，在步驟S620，令優(yōu)先序位W＝1，從優(yōu)先序位最高的作業(yè)開始，通過以下的處理決定最佳的作業(yè)者。
其次，在步驟S630，抽出可以進行該作業(yè)的作業(yè)者。然后，在步驟S640，對作業(yè)者賦予優(yōu)先序位。該優(yōu)先序位賦予的處理，利用例如圖12所示的子程序進行。然后，在步驟S650，決定作業(yè)者。該作業(yè)者決定的處理，利用例如圖13所示的子程序進行。
其次，在步驟S660，將作業(yè)的優(yōu)先序位W增加1(W＝W+1)，在步驟S670，判斷是否對所有的作業(yè)進行了處理。這樣，原則上對所有的作業(yè)決定了作業(yè)者。但是，有時有的作業(yè)還是找不到適當的作業(yè)者。這時，就通過圖15所示的步驟S550、S560，作為未分配的作業(yè)而通知可以進行該作業(yè)的作業(yè)者。
按照這樣的處理，在例如有新作業(yè)時，就檢測所有作業(yè)者的現在作業(yè)，對包含新作業(yè)的所有的作業(yè)，根據作業(yè)優(yōu)先度信息數據庫230賦予優(yōu)先序位。從優(yōu)先序位高的作業(yè)開始決定進行該作業(yè)的作業(yè)者。例如，設所有的作業(yè)的優(yōu)先序位是機械系統(tǒng)故障對應作業(yè)、通常操作作業(yè)時，首先從機械系統(tǒng)故障對應作業(yè)開始決定作業(yè)者。
對于作為最初的作業(yè)的機械系統(tǒng)故障對應作業(yè)，設作為可以進行該作業(yè)的作業(yè)者而抽出的是電氣系統(tǒng)工程就A、機械系統(tǒng)工程技術人員B、操作者C時，這些作業(yè)者的優(yōu)先序位就是機械系統(tǒng)工程技術人員B、電氣系統(tǒng)工程技術人員A、操作者C的順序，按該順序進行處理。這時，如果沒有B的現在作業(yè)，則機械系統(tǒng)故障對應作業(yè)的作業(yè)者就決定為B。
其次，對通常操作作業(yè)決定作業(yè)者。這時的作業(yè)者的優(yōu)先序位就成了操作者C、電氣系統(tǒng)工程技術人員A、機械系統(tǒng)工程技術人員B的順序，按該順序進行處理。這時，如果操作者C沒有現在作業(yè)，則新作業(yè)的作業(yè)者就決定為C。
這樣，在有新作業(yè)時，就進行包含新作業(yè)的全部作業(yè)的再分配，這時，按作業(yè)的優(yōu)先度高的順序決定作業(yè)者，所以，可以迅速地對重要的作業(yè)決定作業(yè)者。另外，在進行包含新作業(yè)的全部作業(yè)的再分配時，比較檢測的現在作業(yè)與新作業(yè)的優(yōu)先度，如果新作業(yè)的優(yōu)先度高，就可以指示該作業(yè)者進行新作業(yè)。這樣，就可以對優(yōu)先度高的重要的作業(yè)選擇最佳的作業(yè)者，所以，可以實現作業(yè)分配的最佳化和作業(yè)的高效化。
實施方式3下面，參照

將本發(fā)明應用于半導體制造工廠時的作業(yè)者管理系統(tǒng)的實施方式3。在實施方式3中，圖1～圖10的結構相同，省略其詳細的說明。另外，對于與實施方式1相同的部分標以相同的符號，省略其詳細的說明。本實施方式的處理，典型地可以利用記錄在硬盤裝置等記錄媒體上的程序實施。
下面，參照圖16說明作為實施方式3的作業(yè)者管理裝置200進行的作業(yè)信息存儲單元的1例的作業(yè)數據庫的作成處理。作業(yè)數據庫是成為用于作成后面所述的各作業(yè)者的作業(yè)日報的素材的數據庫。因此，作業(yè)數據庫中預先存儲各作業(yè)者在各指定時間進行的作業(yè)。因此，該作業(yè)數據庫的作成處理根據作業(yè)日報記載的時間在各指定時間進行。例如，作成每隔1小時的作業(yè)日報時，就每1小時進行上述作業(yè)數據庫的作成處理，作成每隔30分鐘的作業(yè)日報時，就每30分鐘進行上述作業(yè)數據庫的作成處理。
作業(yè)數據庫的作成處理，首先，在步驟S710檢測所有的作業(yè)者現在所進行的作業(yè)(現在作業(yè))。各作業(yè)者的現在作業(yè)的檢測處理，對所有作業(yè)者按照每個作業(yè)者反復進行例如圖14所示的子程序。在步驟S720，存儲對各作業(yè)者檢測到的現在作業(yè)。這樣，只要每隔指定時間檢測并存儲了作業(yè)者的現在作業(yè)，就可以對各作業(yè)者作成作業(yè)數據庫。該作業(yè)數據庫也可以包含在例如圖3所示的各種數據庫210中。
下面，參照圖18說明作為作業(yè)者管理裝置200進行的作業(yè)報告書作成單元的1例的作業(yè)日報作成處理。作業(yè)日報作成處理，是對各作業(yè)者自動地作成作業(yè)日報的處理。
首先，在步驟S810，進行作業(yè)者的確定。確定作成作業(yè)日報的作業(yè)者。這里，在操作畫面上輸入作業(yè)者，可以作成確定的作業(yè)者的作業(yè)日報，另外，也可以自動地逐個確定各作業(yè)者，從而可以對所有的作業(yè)者作成作業(yè)日報。
其次，在步驟S820，根據通過圖17所示的處理而作成的作業(yè)數據庫作成該作業(yè)者的作業(yè)日報數據。作業(yè)日報數據，通過抽出該作業(yè)者的當日的作業(yè)而作成。
然后，在步驟S830，印刷作業(yè)日報。例如，利用與作業(yè)者管理裝置200連接的打印機，印刷而輸出作業(yè)日報，并結束該處理。這樣作成的作業(yè)日報的1例示于圖19。該作業(yè)日報是作為指定時間每隔1小時進行圖17所示的作業(yè)數據庫作成處理而檢測作業(yè)者的現在作業(yè)時的例子。
該作業(yè)日報在例如從別的公司向某一工廠派遣作業(yè)者時可以用于根據作業(yè)決定費用。在作業(yè)者技能信息數據庫250中存儲了作業(yè)單價時，檢索并印刷各作業(yè)的作業(yè)單價，根據其合計金額就可以要求與作業(yè)內容對應的費用。
另外，如果從作業(yè)數據庫中取出了每月的數據，也可以作成并印刷作業(yè)月報。這樣，按照本實施方式，可以很容易地作成作業(yè)日報、作業(yè)月報等作業(yè)報告書。而且，自動地檢測作業(yè)者的作業(yè)，作成成為作業(yè)者報告書的素材的作業(yè)數據庫，所以，可以省去作業(yè)者每次進行作業(yè)時從便攜式信息終端等輸入的麻煩，從而可以提高作業(yè)效率。另外，沒有必要依賴作業(yè)者的自己報告，所以，可以總是作成正確的作業(yè)報告。
按照這樣的本發(fā)明，可以很容易地確定作業(yè)者現在所進行的作業(yè)，所以，在有例如新的作業(yè)時，考慮現在的作業(yè)與新作業(yè)的預先度，可以選擇最佳的作業(yè)者使其進行作業(yè)。這樣，可以使各作業(yè)者人盡其才配置在適當的場所，從而可以提高各作業(yè)者的作業(yè)效率。
在上述實施方式中，如圖1所示，作為作業(yè)者檢測傳感器130，說明了設置在各區(qū)域110、120中的例如接收機134通過通信電纜等與作業(yè)者管理裝置200連接的情況，但是，本發(fā)明不限于此，也可以通過網絡取代通信電纜等進行連接。另外，圖2所示的接收機134可以是具有收發(fā)功能的收發(fā)機，發(fā)信機138可以是具有收發(fā)功能的便攜式信息終端。這時，可以在便攜式信息終端中設置臭氣傳感器等各種傳感器，根據這些傳感器的檢測值進行異常判斷。
具體而言，如圖20所示，在例如裝置室區(qū)域112中設置具有網絡連接功能例如路線程序功能的帶網絡連接功能的收發(fā)機320。帶網絡連接功能的收發(fā)機320通過網絡300與作業(yè)者管理裝置200連接。作業(yè)者管理裝置200通過具有網絡連接功能例如路線程序功能的網絡連接裝置340與網絡300連接。
作業(yè)者攜帶的圖2所示的發(fā)信機138可以由具有收發(fā)功能的便攜式信息終端360構成。作為這樣的便攜式信息終端360，有例如PDA(Personal Digital Assistant個人數字輔助器)、筆記本電腦、可以用筆輸入的電腦(例如圖形輸入PC)等。
便攜式信息終端360為了檢測異常除了檢測聲音或臭氣等的臭氣傳感器、高頻傳感器、低頻傳感器等各種傳感器362外，還具有控制部364、調制解調部366、通信接口368等。調制解調部366將通過通信接口368發(fā)送來的數據調制為例如無線信號，將通過通信接口368接收的數據解調。
網絡300可以是因特網等公眾線路網，也可以是WAN(Wide AreaNetwork廣域網)、LAN(Local Area Network局域網)、IP-VPN(Internet Protocol-Virtual Private Network網際協(xié)議-虛擬個人網絡)等閉環(huán)線路網。另外，連接媒體可以是FDDI(Fiber Distributed DataInterface光纖分布式數據接口)等光纖電纜、基于Ethernet(以太網)的同軸電纜或對絞電纜或者IEEE802.11b等無線，不論有線無線都可以，也可以是衛(wèi)星網絡等。
上述帶網絡連接功能的收發(fā)機320具有例如無線路線程序功能，便攜式信息終端360的通信接口368由無線LAN卡等構成，帶網絡連接功能的收發(fā)機320與便攜式信息終端360之間可以利用無線LAN收發(fā)數據。
便攜式信息終端360的各種傳感器362，可以是對聲音檢測例如人不能聽到的頻率、周期等的傳感器。另外，作為各種傳感器362而設置臭氣傳感器時，可以通過例如臭的成分吸附在傳感器表面而進行檢測。臭氣傳感器由例如氣體檢測傳感器構成，可以檢測CO、C1等鹵素氣體等對人體有害的氣體。另外，也可以根據對半導體制造裝置的處理室進行排氣的排氣泵的油的蒸汽檢測油的摩擦度和粘度。
具體而言，作為各種傳感器362，有示波器、頻譜分析器、快速傅立葉變換器(FFT)、振動分析器、振動晶體傳感器、半導體傳感器、光傳感器等。便攜式信息終端360具有各種傳感器362的切換開關(圖中未示出)，作業(yè)者可以利用切換開關選擇所希望的傳感器進行使用。
也可以將作業(yè)者從設置在便攜式信息終端360上的輸入單元輸入的數據(外部環(huán)境信息)作為傳感器數據。作為外部環(huán)境信息，可以將例如作業(yè)者使用測量器測量的數據或由操作面板顯示的數據等各種各樣的數據作為傳感器數據而輸入。輸入單元可以是鍵輸入、觸摸屏輸入等眾所周知的輸入單元。
便攜式信息終端360的控制部364根據例如各種傳感器362的檢測值進行半導體制造裝置等的異常判斷。例如，檢測到聲音或臭氣時，就可以判定發(fā)生了異常，另外，預先將是否異常的閾值存儲到存儲部(圖中未示出)等中，如果檢測到了超過該閾值的聲音或臭氣，就判定發(fā)生了異常。這樣，就可以在例如發(fā)生圖9所示的錯誤之前判斷異常。
并且，在判定發(fā)生了異常時，便攜式信息終端360就通過網絡300將各種傳感器362中相應的傳感器的數據向作業(yè)者管理裝置200傳送。在作業(yè)者管理裝置200中，根據從便攜式信息終端360接收的傳感器數據判斷是否發(fā)生了例如圖11所示的步驟S110、圖15所示的步驟S510的新作業(yè)。
具體而言，在各種數據庫210中設置將發(fā)生圖9所示的錯誤之前的征兆作為事前信息而存儲的例如錯誤事前信息數據庫(圖中未示出)，根據錯誤事前信息數據庫存儲的征兆綜合地確定作業(yè)，判斷發(fā)生了新作業(yè)。這時，作業(yè)者管理裝置200訪問被判定為異常的半導體制造裝置140，可以利用報警單元進行報警或利用指示燈單元將燈點亮。
錯誤事前信息數據庫存儲的具體例有如下情況。在錯誤事前信息數據庫中，例如作為真空側錯誤事前信息，存儲了泄漏率增大(征兆1)和底板壓力上升(征兆2)，作為大氣側錯誤事前信息，存儲了異常聲音(征兆3)和振動增大(征兆4)。泄漏率增大(征兆1)是由于在例如半導體制造裝置的處理室設置的O環(huán)的劣化而大氣流入處理室內時的征兆。底板壓力上升(征兆2)是例如將處理室內抽真空的真空泵的疲勞或由于異物的堆積抽真空的能力不足時的征兆。異常聲音(征兆3)是例如除了真空泵的劣化外發(fā)生了軸承的劣化從而發(fā)生了半導體制造裝置的平衡不良時的征兆。振動增大(征兆4)是例如除了異物的堆積、真空泵的劣化等外發(fā)生了軸承的劣化從而發(fā)生了半導體制造裝置的平衡不良時的征兆。征兆1、2可以根據例如由作業(yè)者輸入便攜式信息終端360的外部環(huán)境信息進行判斷。征兆3、4可以根據由各種傳感器362檢測的傳感器數據進行判斷。
這樣的征兆存儲到錯誤事前信息數據庫中時，根據例如由作業(yè)者輸入便攜式信息終端360的外部環(huán)境信息可以判定僅是征兆1，沒有征兆3、4時，則真空泵正常的可能性高，而腔室泄漏(處理室內發(fā)生泄漏)的可能性高，所以，就根據腔室泄漏判定發(fā)生了進行維護的新作業(yè)。因此，就向根據圖11和圖15按照進行該新作業(yè)而確定的作業(yè)者發(fā)出進行新作業(yè)的指示。具體而言，例如作業(yè)者管理裝置200通過網絡300向該作業(yè)者的便攜式信息終端360發(fā)送指示。
由圖20所示的便攜式信息終端360檢測的或輸入的傳感器數據可以每次向作業(yè)者管理裝置200發(fā)送，另外，也可以在檢測到圖14所示的步驟S410的區(qū)域信息時與作業(yè)者的識別信息一起向作業(yè)者管理裝置200發(fā)送。并且，也可以在作業(yè)者管理裝置200中進行是否有異常的判斷，從而判斷新作業(yè)的發(fā)生。
另外，上述帶網絡連接功能的收發(fā)機320、便攜式信息終端360的收發(fā)功能不限于基于無線的收發(fā)功能，也可以應用基于紅外線的收發(fā)功能等各種各樣的收發(fā)功能。此外，也可以在便攜式信息終端360中設置GPS(Global Positioning System)，根據GPS檢測作業(yè)者的位置。
以上，參照

了本發(fā)明的極好的實施方式，但是，本發(fā)明不限定這些實施方式。本領域技術人員在權利要求的范圍內可以想到各種變更例或修正例，這些當然也屬于本發(fā)明的技術范圍。
例如，本發(fā)明可以作為管理具有半導體制造工廠的企業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者管理系統(tǒng)而應用，另外，也可以在從與具有半導體制造工廠的企業(yè)不同的企業(yè)向該半導體制造工廠派遣作業(yè)者時作為包含該作業(yè)者而進行管理的作業(yè)者管理系統(tǒng)而應用。特別是對于作為購入或使用半導體制造裝置的企業(yè)的客戶，將制造或銷售該半導體制造裝置的企業(yè)的從業(yè)員作為作業(yè)者進行派遣而進行半導體制造裝置的維護或半導體制造等的作業(yè)時，也可以作為管理該作業(yè)者的作業(yè)者管理系統(tǒng)而應用。這樣，可以最大限度地提高派遣的每1個作業(yè)者的作業(yè)效率，從而可以根據該派遣的工廠的特質決定作業(yè)者分類和作業(yè)者數。
這樣，對半導體制造裝置的制造或銷售的企業(yè)而言，可以將向購入或使用半導體制造裝置的客戶企業(yè)派遣的作業(yè)者限制到所需的最小限度。另一方面，對購入或使用半導體制造裝置的客戶企業(yè)而言，可以將從半導體制造裝置的制造或銷售的企業(yè)派遣的作業(yè)者的人工費抑制到所需的最小限度。
本發(fā)明可以應用于作業(yè)者管理系統(tǒng)、作業(yè)者管理裝置和作業(yè)者管理方法。
權利要求
1.一種作業(yè)者管理系統(tǒng)，其特征在于，包括根據作業(yè)內容而分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點；存儲使所述作業(yè)地點的各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域所進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元；設置在所述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元；根據所述作業(yè)者檢測單元的輸出確定所述作業(yè)者處在哪一個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定單元；根據所述作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息并根據由所述作業(yè)者位置確定單元確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域而確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定單元；根據由所述現在作業(yè)確定單元確定的現在作業(yè)判斷是使該作業(yè)者繼續(xù)進行現在作業(yè)還是進行新的作業(yè)的判斷單元；和根據所述判斷單元的判斷結果向該作業(yè)者發(fā)出作業(yè)執(zhí)行的指示的指示單元。
2.根據權利要求1所述的作業(yè)者管理系統(tǒng)，其特征在于所述作業(yè)者檢測單元設置接收來自各作業(yè)者攜帶的發(fā)信機的電磁波的接收機，所述發(fā)信機設定為按照各作業(yè)者發(fā)送不同頻率的電磁波，所述作業(yè)者位置確定單元找出接收到成為作業(yè)區(qū)域檢測的對象的作業(yè)者的頻率的電磁波的所述作業(yè)者檢測單元，將設置該作業(yè)者檢測單元的作業(yè)區(qū)域確定為該作業(yè)者所在的作業(yè)區(qū)域。
3.根據權利要求1所述的作業(yè)者管理系統(tǒng)，其特征在于所述作業(yè)者檢測單元設置接收來自各作業(yè)者攜帶的發(fā)信機的電磁波的接收機，所述發(fā)信機設定為按照各作業(yè)者發(fā)送承載有識別作業(yè)者的識別信息的電磁波，所述作業(yè)者位置確定單元從所述作業(yè)者檢測單元取得作業(yè)者的識別信息，找出接收到成為作業(yè)區(qū)域檢測的對象的作業(yè)者的識別信息的所述作業(yè)者檢測單元，將設置有該作業(yè)者檢測單元的作業(yè)區(qū)域確定為該作業(yè)者所在的作業(yè)區(qū)域。
4.根據權利要求1所述的作業(yè)者管理系統(tǒng)，其特征在于設置從所述作業(yè)區(qū)域所設置的作業(yè)裝置取得作業(yè)者的作業(yè)信息的作業(yè)信息取得單元，所述現在作業(yè)確定單元除了作為所述作業(yè)者所在的作業(yè)區(qū)域而確定的作業(yè)區(qū)域信息外，從所述作業(yè)信息取得單元取得來自該作業(yè)者進行作業(yè)的作業(yè)裝置的作業(yè)信息，根據這些區(qū)域信息和作業(yè)信息確定該作業(yè)的現在作業(yè)。
5.一種作業(yè)者管理系統(tǒng)，其特征在于，包括根據作業(yè)內容而分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點；存儲使所述各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域所進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元；設置在所述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元；根據所述作業(yè)者檢測單元的輸出確定所述作業(yè)者處在哪一個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定單元；根據所述作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息，并根據由所述作業(yè)者位置確定單元確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域而確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定單元；存儲使所述各作業(yè)者與該各作業(yè)者可以進行的作業(yè)相關聯的作業(yè)者技能信息的作業(yè)者技能信息存儲單元；存儲作業(yè)的優(yōu)先信息的作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元；檢測發(fā)生了新的作業(yè)的新作業(yè)檢測單元；在所述新作業(yè)檢測單元檢測到新作業(yè)時，根據所述作業(yè)者技能信息存儲單元的作業(yè)者技能信息，抽出可以進行所述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者抽出單元；由所述現在作業(yè)確定單元確定所述作業(yè)者抽出單元抽出的作業(yè)者的現在作業(yè)，并根據所述作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元的作業(yè)優(yōu)先信息，取得所述現在作業(yè)的優(yōu)先序位與所述新作業(yè)的優(yōu)先序位并進行比較，進行將所述新作業(yè)的優(yōu)先序位比所述現在作業(yè)高的作業(yè)者確定為所述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者確定處理的作業(yè)者確定單元；和向由所述作業(yè)者確定單元確定的業(yè)者發(fā)出指示使其進行所述新作業(yè)的作業(yè)的指示單元。
6.根據權利要求5所述的作業(yè)者管理系統(tǒng)，其特征在于所述作業(yè)者技能信息存儲單元按照各作業(yè)者存儲作業(yè)者分類，設有存儲使各作業(yè)與具有可以進行該各作業(yè)的技能的作業(yè)者分類相關聯的作業(yè)技能信息的作業(yè)技能信息存儲單元；和對由所述作業(yè)者抽出單元抽出的各作業(yè)者取得由所述作業(yè)者技能信息存儲單元得到的作業(yè)者分類，并根據所述作業(yè)技能信息存儲單元的作業(yè)技能信息取得所述新作業(yè)的作業(yè)者分類，從而將優(yōu)先序位賦予作業(yè)者以使分別取得的作業(yè)者分類相同的作業(yè)者的優(yōu)先序位高的優(yōu)先序位賦予單元，所述作業(yè)者確定單元從由作業(yè)者抽出單元抽出的作業(yè)者中由所述優(yōu)先序位賦予單元賦予的作業(yè)者的優(yōu)先序位高的作業(yè)者順序進行作業(yè)者確定處理。
7.根據權利要求5所述的作業(yè)者管理系統(tǒng)，其特征在于所述作業(yè)者檢測單元設置接收來自各作業(yè)者攜帶的發(fā)信機的電磁波的接收機，所述發(fā)信機設定為按照各作業(yè)者發(fā)送不同頻率的電磁波，所述作業(yè)者位置確定單元找出接收到成為作業(yè)區(qū)域檢測的對象的作業(yè)者的頻率的電磁波的所述作業(yè)者檢測單元，將設置有該作業(yè)者檢測單元的作業(yè)區(qū)域確定為該作業(yè)者所在的作業(yè)區(qū)域。
8.根據權利要求5所述的作業(yè)者管理系統(tǒng)，其特征在于所述作業(yè)者檢測單元設置接收來自各作業(yè)者攜帶的發(fā)信機的電磁波的接收機，所述發(fā)信機設定為按照各作業(yè)者發(fā)送承載有識別作業(yè)者的識別信息的電磁波，所述作業(yè)者位置確定單元從所述作業(yè)者檢測單元取得作業(yè)者的識別信息，找出接收到成為作業(yè)區(qū)域檢測的對象的作業(yè)者的識別信息的所述作業(yè)者檢測單元，將設置有該作業(yè)者檢測單元的作業(yè)區(qū)域確定為該作業(yè)者所在的作業(yè)區(qū)域。
9.根據權利要求5所述的作業(yè)者管理系統(tǒng)，其特征在于設置從所述作業(yè)區(qū)域設置有的作業(yè)裝置取得作業(yè)者的作業(yè)信息的作業(yè)信息取得單元，所述現在作業(yè)確定單元除了作為所述作業(yè)者所在的作業(yè)區(qū)域而確定的作業(yè)區(qū)域信息外，從所述作業(yè)信息取得單元取得來自該作業(yè)者進行作業(yè)的作業(yè)裝置的作業(yè)信息，根據這些區(qū)域信息和作業(yè)信息確定該作業(yè)的現在作業(yè)。
10.一種作業(yè)者管理系統(tǒng)，其特征在于，包括根據作業(yè)內容而分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點；存儲使所述作業(yè)地點的各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域所進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元；設置在所述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元；根據來自所述作業(yè)者檢測單元的輸出確定所述作業(yè)者處在哪一個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定單元；根據所述作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息，并根據由所述作業(yè)者位置確定單元確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域確定該作業(yè)者現在進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定單元；存儲作業(yè)的優(yōu)先信息的作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元；檢測發(fā)生新的作業(yè)的新作業(yè)檢測單元；在所述新作業(yè)檢測單元檢測到新作業(yè)時由所述現在作業(yè)確定單元確定所有作業(yè)者的現在作業(yè)，并對將新作業(yè)包含在這些現在作業(yè)中的全部作業(yè)，根據所述作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元的作業(yè)優(yōu)先信息賦予作業(yè)的優(yōu)先序位，從優(yōu)先度高的作業(yè)開始向所有作業(yè)者重新分配全部作業(yè)的作業(yè)再分配單元；和向所有作業(yè)者指示由所述作業(yè)再分配單元分配的作業(yè)的指示單元。
11.根據權利要求10所述的作業(yè)者管理系統(tǒng)，其特征在于所述作業(yè)再分配單元從作業(yè)的優(yōu)先序位高的作業(yè)開始作為新作業(yè)，設有存儲使所述各作業(yè)者與該作業(yè)者可以進行的作業(yè)相關聯的作業(yè)者技能信息的作業(yè)者技能信息存儲單元；根據所述作業(yè)者技能信息存儲單元的作業(yè)者技能信息抽出可以進行所述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者抽出單元；和由所述現在作業(yè)確定單元確定由所述作業(yè)者抽出單元抽出的作業(yè)者的現在作業(yè)，并根據所述作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元的作業(yè)優(yōu)先信息，取得所述現在作業(yè)的優(yōu)先序位與所述新作業(yè)的優(yōu)先序位并進行比較，從而進行將所述新作業(yè)的優(yōu)先序位比所述現在作業(yè)高的作業(yè)者確定為所述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者確定處理的作業(yè)者確定單元。
12.根據權利要求10所述的作業(yè)者管理系統(tǒng)，其特征在于所述作業(yè)者檢測單元設置接收來自各作業(yè)者攜帶的發(fā)信機的電磁波的接收機，所述發(fā)信機設定為按照各作業(yè)者發(fā)送不同頻率的電磁波，所述作業(yè)者位置確定單元找出接收到成為作業(yè)區(qū)域檢測的對象的作業(yè)者的頻率的電磁波的所述作業(yè)者檢測單元，將設置有該作業(yè)者檢測單元的作業(yè)區(qū)域確定為該作業(yè)者所在的作業(yè)區(qū)域。
13.根據權利要求10所述的作業(yè)者管理系統(tǒng)，其特征在于所述作業(yè)者檢測單元設置接收來自各作業(yè)者攜帶的發(fā)信機的電磁波的接收機，所述發(fā)信機設定為按照各作業(yè)者發(fā)送承載有識別作業(yè)者的識別信息的電磁波，所述作業(yè)者位置確定單元從所述作業(yè)者檢測單元取得作業(yè)者的識別信息，找出接收到成為作業(yè)區(qū)域檢測的對象的作業(yè)者的頻率的電磁波的所述作業(yè)者檢測單元，將設置有該作業(yè)者檢測單元的作業(yè)區(qū)域確定為該作業(yè)者所在的作業(yè)區(qū)域。
14.根據權利要求10所述的作業(yè)者管理系統(tǒng)，其特征在于設有從所述作業(yè)區(qū)域設置的作業(yè)裝置取得作業(yè)者的作業(yè)信息的作業(yè)信息取得單元，所述現在作業(yè)確定單元除了作為所述作業(yè)者所在的作業(yè)區(qū)域而確定的作業(yè)區(qū)域信息外，從所述作業(yè)信息取得單元取得來自該作業(yè)者進行作業(yè)的作業(yè)裝置的作業(yè)信息，根據這些區(qū)域信息和作業(yè)信息確定該作業(yè)的現在作業(yè)。
15.一種作業(yè)者管理系統(tǒng)，其特征在于，包括根據作業(yè)內容而分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點；存儲使所述作業(yè)地點的各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域所進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元；設置在所述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元；根據來自所述作業(yè)者檢測單元的輸出確定所述作業(yè)者處在哪一個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定單元；根據所述作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息，并根據由所述作業(yè)者位置確定單元確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域而確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定單元；每指定時間由所述現在作業(yè)確定單元確定所有作業(yè)者的現在作業(yè)，并對所有作業(yè)者存儲現在作業(yè)的作業(yè)信息存儲單元；和根據所述作業(yè)信息存儲單元的作業(yè)信息作成包含所希望的作業(yè)者每指定時間所進行的作業(yè)內容的作業(yè)報告書的作業(yè)報告書作成單元。
16.根據權利要求15所述的作業(yè)者管理系統(tǒng)，其特征在于所述作業(yè)報告書作成單元對于各作業(yè)也存儲進行該各作業(yè)時的作業(yè)單價，所述作業(yè)報告書作成單元作成包含作業(yè)的作業(yè)單價及其作業(yè)單價的合計金額的作業(yè)報告書。
17.根據權利要求10所述的作業(yè)者管理系統(tǒng)，其特征在于所述作業(yè)地點是半導體制造工廠。
18.根據權利要求17所述的作業(yè)者管理系統(tǒng)，其特征在于所述作業(yè)者是從與具有作為所述作業(yè)地點的半導體制造工廠的企業(yè)不同的企業(yè)派遣來的作業(yè)者。
19.一種作業(yè)者管理裝置，管理在根據作業(yè)內容分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點進行作業(yè)的作業(yè)者，其特征在于，該作業(yè)者管理裝置包括存儲使所述作業(yè)地點的各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域所進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元；根據來自設置在所述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元的輸出，確定所述作業(yè)者處在哪一個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定單元；根據所述作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息，并根據由所述作業(yè)者位置確定單元確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域而確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定單元；根據由所述現在作業(yè)確定單元確定的現在作業(yè)判斷是使該作業(yè)者繼續(xù)進行現在作業(yè)還是進行新的作業(yè)的判斷單元；和根據所述判斷單元的判斷結果向該作業(yè)者發(fā)出作業(yè)執(zhí)行的指示的指示單元。
20.一種作業(yè)者管理裝置，管理在根據作業(yè)內容分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點進行作業(yè)的作業(yè)者，其特征在于，該作業(yè)者管理裝置包括存儲使所述各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域所進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元；根據來自設置在所述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元的輸出確定所述作業(yè)者處在哪一個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定單元；根據所述作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息，并根據由所述作業(yè)者位置確定單元確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域而確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定單元；存儲使所述各作業(yè)者與該各作業(yè)者可以進行的作業(yè)相關聯的作業(yè)者技能信息的作業(yè)者技能信息存儲單元；存儲作業(yè)的優(yōu)先信息的作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元；檢測發(fā)生了新的作業(yè)的新作業(yè)檢測單元；在所述新作業(yè)檢測單元檢測到新作業(yè)時，根據所述作業(yè)者技能信息存儲單元的作業(yè)者技能信息，抽出可以進行所述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者抽出單元；由所述現在作業(yè)確定單元確定所述作業(yè)者抽出單元抽出的作業(yè)者的現在作業(yè)，并根據所述作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元的作業(yè)優(yōu)先信息，取得所述現在作業(yè)的優(yōu)先序位與所述新作業(yè)的優(yōu)先序位并進行比較，從而進行將所述新作業(yè)的優(yōu)先序位比所述現在作業(yè)高的作業(yè)者確定為所述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者確定處理的作業(yè)者確定單元；和向由所述作業(yè)者確定單元確定的作業(yè)者發(fā)出指示使其進行所述新作業(yè)的作業(yè)的指示單元。
21.一種作業(yè)者管理裝置，管理在根據作業(yè)內容分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點進行作業(yè)的作業(yè)者，其特征在于，該作業(yè)者管理裝置包括存儲使所述作業(yè)地點的各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域所進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元；根據來自設置在所述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元的輸出確定所述作業(yè)者處在哪一個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定單元；根據所述作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息，并根據由所述作業(yè)者位置確定單元確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域而確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定單元；存儲作業(yè)的優(yōu)先信息的作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元；檢測發(fā)生了新的作業(yè)的新作業(yè)檢測單元；在所述新作業(yè)檢測單元檢測到新作業(yè)時，由所述現在作業(yè)確定單元確定所有作業(yè)者的現在作業(yè)，并對將新作業(yè)包含在這些現在作業(yè)中的全部作業(yè)，根據所述作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元的作業(yè)優(yōu)先信息賦予作業(yè)的優(yōu)先序位，從優(yōu)先度高的作業(yè)開始向所有作業(yè)者重新分配全部作業(yè)的作業(yè)再分配單元；和向所有作業(yè)者指示由所述作業(yè)再分配單元分配的作業(yè)的指示單元。
22.根據權利要求21所述的作業(yè)者管理裝置，其特征在于所述作業(yè)再分配單元從作業(yè)的優(yōu)先序位高的作業(yè)開始作為新作業(yè)，設有存儲使所述各作業(yè)者與該作業(yè)者可以進行的作業(yè)相關聯的作業(yè)者技能信息的作業(yè)者技能信息存儲單元；根據所述作業(yè)者技能信息存儲單元的作業(yè)者技能信息，抽出可以進行所述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者抽出單元；和由所述現在作業(yè)確定單元確定由所述作業(yè)者抽出單元抽出的作業(yè)者的現在作業(yè)，并根據所述作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元的作業(yè)優(yōu)先信息，取得所述現在作業(yè)的優(yōu)先序位與所述新作業(yè)的優(yōu)先序位并進行比較，從而進行將所述新作業(yè)的優(yōu)先序位比所述現在作業(yè)高的作業(yè)者確定為所述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者確定處理的作業(yè)者確定單元。
23.根據權利要求21所述的作業(yè)者管理裝置，其特征在于所述作業(yè)者檢測單元設置接收來自各作業(yè)者攜帶的發(fā)信機的電磁波的接收機，所述發(fā)信機設定為按照各作業(yè)者發(fā)送不同頻率的電磁波，所述作業(yè)者位置確定單元找出接收到成為作業(yè)區(qū)域檢測的對象的作業(yè)者的頻率的電磁波的所述作業(yè)者檢測單元，將設置有該作業(yè)者檢測單元的作業(yè)區(qū)域確定為該作業(yè)者所在的作業(yè)區(qū)域。
24.根據權利要求21所述的作業(yè)者管理系統(tǒng)，其特征在于所述作業(yè)者檢測單元設置接收來自各作業(yè)者攜帶的發(fā)信機的電磁波的接收機，所述發(fā)信機設定為按照各作業(yè)者發(fā)送承載有識別作業(yè)者的識別信息的電磁波，所述作業(yè)者位置確定單元從所述作業(yè)者檢測單元取得作業(yè)者的識別信息，找出接收到成為作業(yè)區(qū)域檢測的對象的作業(yè)者的識別信息的所述作業(yè)者檢測單元，將設置有該作業(yè)者檢測單元的作業(yè)區(qū)域確定為該作業(yè)者所在的作業(yè)區(qū)域。
25.根據權利要求21所述的作業(yè)者管理系統(tǒng)，其特征在于設置從所述作業(yè)區(qū)域設置的作業(yè)裝置取得作業(yè)者的作業(yè)信息的作業(yè)信息取得單元，所述現在作業(yè)確定單元除了作為所述作業(yè)者所在的作業(yè)區(qū)域而確定的作業(yè)區(qū)域信息外，從所述作業(yè)信息取得單元取得來自該作業(yè)者進行作業(yè)的作業(yè)裝置的作業(yè)信息，根據這些區(qū)域信息和作業(yè)信息確定該作業(yè)者的現在作業(yè)。
26.一種作業(yè)者管理裝置，管理在根據作業(yè)內容分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點進行作業(yè)的作業(yè)者，其特征在于，該作業(yè)者管理裝置包括存儲使所述作業(yè)地點的各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域所進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元；根據來自設置在所述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元的輸出確定所述作業(yè)者處在哪一個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定單元；根據所述作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息，并根據由所述作業(yè)者位置確定單元確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域而確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定單元；每隔指定時間由所述現在作業(yè)確定單元確定所有作業(yè)者的現在作業(yè)，并對所有作業(yè)者存儲現在作業(yè)的作業(yè)信息存儲單元；和根據所述作業(yè)信息存儲單元的作業(yè)信息作成包含所希望的作業(yè)者每隔指定時間所進行的作業(yè)內容的作業(yè)報告書的作業(yè)報告書作成單元。
27.一種作業(yè)者管理方法，管理在根據作業(yè)內容分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點進行作業(yè)的作業(yè)者，其特征在于，該作業(yè)者管理方法包括根據來自設置在所述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元的輸出確定所述作業(yè)者處在哪一個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定工序；根據存儲使所述作業(yè)地點的各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息，并根據在所述作業(yè)者位置確定工序確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定工序；根據在所述現在作業(yè)確定工序確定的現在作業(yè)判斷是使該作業(yè)者繼續(xù)進行現在作業(yè)還是進行新的作業(yè)的判斷工序；和根據所述判斷工序的判斷結果向該作業(yè)者發(fā)出作業(yè)執(zhí)行的指示的指示工序。
28.一種作業(yè)者管理方法，管理在根據作業(yè)內容分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點進行作業(yè)的作業(yè)者，其特征在于，該作業(yè)者管理方法包括根據來自設置在所述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元的輸出確定所述作業(yè)者處在哪一個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定工序；根據存儲使所述各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息，并根據在所述作業(yè)者位置確定工序確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定工序；檢測發(fā)生了新的作業(yè)的新作業(yè)檢測工序；在所述新作業(yè)檢測工序檢測到新作業(yè)時，根據存儲使所述各作業(yè)者與該各作業(yè)者可以進行的作業(yè)相關聯的作業(yè)者技能信息的所述作業(yè)者技能信息存儲單元的作業(yè)者技能信息，抽出可以進行所述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者抽出工序；由所述現在作業(yè)確定工序確定所述作業(yè)者抽出工序抽出的作業(yè)者的現在作業(yè)，并根據存儲作業(yè)的優(yōu)先信息的作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元的作業(yè)優(yōu)先信息，取得所述現在作業(yè)的優(yōu)先序位與所述新作業(yè)的優(yōu)先序位并進行比較，從而進行將所述新作業(yè)的優(yōu)先序位比所述現在作業(yè)高的作業(yè)者確定為所述新作業(yè)的作業(yè)者的作業(yè)者確定處理的作業(yè)者確定工序；和向由所述作業(yè)者確定工序確定的作業(yè)者發(fā)出指示使其進行所述新作業(yè)的作業(yè)的指示工序。
29.一種作業(yè)者管理方法，管理在根據作業(yè)內容分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點進行作業(yè)的作業(yè)者，其特征在于，該作業(yè)者管理方法包括根據來自設置在所述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元的輸出確定所述作業(yè)者處在哪一個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定工序；根據存儲使所述作業(yè)地點的各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息，并根據在所述作業(yè)者位置確定工序確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定工序；檢測發(fā)生了新的作業(yè)的新作業(yè)檢測工序；在所述新作業(yè)檢測工序檢測到新作業(yè)時，由所述現在作業(yè)確定工序確定所有作業(yè)者的現在作業(yè)，并對將新作業(yè)包含在這些現在作業(yè)中的全部作業(yè)，根據存儲作業(yè)的優(yōu)先信息的作業(yè)優(yōu)先信息存儲單元的作業(yè)優(yōu)先信息，賦予作業(yè)的優(yōu)先序位從而從優(yōu)先度高的作業(yè)開始對所有作業(yè)者重新分配全部作業(yè)的作業(yè)再分配工序；和向所有作業(yè)者指示由所述作業(yè)再分配工序分配的作業(yè)的指示工序。
30.一種作業(yè)者管理方法，管理在根據作業(yè)內容分為多個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)地點進行作業(yè)的作業(yè)者，其特征在于，該作業(yè)者管理方法包括根據來自設置在所述各作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者檢測單元的輸出確定所述作業(yè)者處在哪一個作業(yè)區(qū)域的作業(yè)者位置確定工序；根據存儲使所述作業(yè)地點的各作業(yè)區(qū)域與在該各作業(yè)區(qū)域進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息存儲單元的作業(yè)確定信息，并根據在所述作業(yè)者位置確定工序確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的現在作業(yè)確定工序；每隔指定時間由所述現在作業(yè)確定工序確定所有作業(yè)者的現在作業(yè)，并對所有作業(yè)者存儲現在作業(yè)的作業(yè)信息存儲工序；和根據由所述作業(yè)信息存儲工序存儲的作業(yè)信息作成包含所希望的作業(yè)者每隔指定時間所進行的作業(yè)內容的作業(yè)報告書的作業(yè)報告書作成工序。
全文摘要
設置根據作業(yè)內容分為多個作業(yè)區(qū)域的工廠(100)存儲使各作業(yè)區(qū)域(112)等與在該各作業(yè)區(qū)域進行的作業(yè)內容相關聯的作業(yè)確定信息的作業(yè)確定信息數據庫(220)和各作業(yè)區(qū)域設置的作業(yè)者檢測傳感器(130)，根據作業(yè)者檢測單元的輸出確定作業(yè)者位于哪個作業(yè)區(qū)域，根據作業(yè)確定信息數據庫的作業(yè)確定信息，由確定的作業(yè)者的作業(yè)區(qū)域確定該作業(yè)者現在所進行的作業(yè)。根據這樣確定的現在作業(yè)判斷是使該作業(yè)者繼續(xù)進行現在作業(yè)還是使其進行新的作業(yè)，并根據判斷結果向該作業(yè)者發(fā)出作業(yè)執(zhí)行的指示。這樣，就很容易進行作業(yè)者現在所進行的作業(yè)的確定、新作業(yè)的分配、作業(yè)的再分配等，可以使各作業(yè)者人盡其才而配置到適當的場所，從而可以提高各作業(yè)者的作業(yè)效率。
文檔編號G06Q10/00GK1708738SQ20038010242
公開日2005年12月14日 申請日期2003年10月29日 優(yōu)先權日2002年10月29日
發(fā)明者巖崎賢也, 西川浩 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社