專利名稱：計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于半導(dǎo)體制造，特別是有關(guān)于處理半導(dǎo)體產(chǎn)品設(shè)計(jì)定案交付(tape out)的方法與系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
近年來，半導(dǎo)體集成電路(IC)快速發(fā)展隨著IC材料與設(shè)計(jì)的技術(shù)進(jìn)步，IC產(chǎn)品的電路設(shè)計(jì)也越來越精細(xì)復(fù)雜。然而這些進(jìn)步同時(shí)也使得IC的制造加工日益復(fù)雜。例如，單一IC上可能必須包含數(shù)個(gè)不同的電路裝置。當(dāng)這些電路裝置的大小降至次微米或深微米的階段，IC的裝置密度和功能密度都受到制程因素的限制。當(dāng)制程日趨復(fù)雜之時(shí)，制程步驟的排程和控制也日趨復(fù)雜。
而且，當(dāng)IC產(chǎn)業(yè)日趨成熟，制造IC產(chǎn)品所需執(zhí)行的制程步驟，可能在不同的地點(diǎn)執(zhí)行，其可能由單一廠商完成，或由多個(gè)具有不同制造專長(zhǎng)的廠商協(xié)同完成。這種制造的方式使得IC制造的過程更加復(fù)雜，不同的制造廠商不僅可能位于不同的地理位置，其所在的時(shí)區(qū)也可能不同，這使得協(xié)同廠商之間的溝通更加困難。例如，由第一廠商(例如IC設(shè)計(jì)廠商)設(shè)計(jì)新的IC產(chǎn)品，由第二廠商(例如晶圓廠)依據(jù)該設(shè)計(jì)制造IC產(chǎn)品，再由第三廠商負(fù)責(zé)組裝并測(cè)試該IC產(chǎn)品，再由第四廠商負(fù)責(zé)統(tǒng)合控制整個(gè)IC產(chǎn)品的制造，包括設(shè)計(jì)、制造、組裝以及測(cè)試的進(jìn)行。
不論IC產(chǎn)品的制造是在單一廠商或是由多個(gè)廠商協(xié)力完成，在IC產(chǎn)品制造過程中都需要各設(shè)計(jì)及制造單位之間頻繁的溝通討論與協(xié)調(diào)，例如在客戶端設(shè)計(jì)的IC產(chǎn)品要進(jìn)行制造時(shí)便需要多次的溝通協(xié)調(diào)才能依據(jù)設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)正確地制造出對(duì)應(yīng)的IC產(chǎn)品。例如，使用罩幕來制造如特殊應(yīng)用集成電路(Application specificintegrated circuits，ASICs)或多方案晶圓(multi-projectwafers，MPWs)的IC產(chǎn)品的IC制造程序時(shí)，就需要設(shè)計(jì)端和制造端的密切溝通。在準(zhǔn)備IC產(chǎn)品的罩幕設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)(例如設(shè)計(jì)定案交付(tape out)數(shù)據(jù))時(shí)，需要設(shè)計(jì)端和制造端的工程師共同參與。而客戶端通常以數(shù)種不同的數(shù)據(jù)格式，來提供設(shè)計(jì)定案交付數(shù)據(jù)。這些不同的數(shù)據(jù)格式，使得設(shè)計(jì)定案交付的處理過程更加復(fù)雜，而需要進(jìn)一步地以人工進(jìn)行數(shù)據(jù)比對(duì)，以確認(rèn)數(shù)據(jù)的正確性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是有關(guān)于半導(dǎo)體制造，特別是有關(guān)于處理半導(dǎo)體產(chǎn)品設(shè)計(jì)定案交付(tape out)的方法與系統(tǒng)。
本發(fā)明提供一種計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，其是用以接收集成電路設(shè)計(jì)定案交付(tape out)要求，并依據(jù)該要求產(chǎn)生定案交付數(shù)據(jù)。上述方法首先接收技術(shù)數(shù)據(jù)，其界定該定案交付要求所對(duì)應(yīng)的技術(shù)。并加載與該技術(shù)對(duì)應(yīng)的罩幕制具(mask tooling)樣版及特殊技術(shù)數(shù)據(jù)(special technology information，STI)樣版，其包含依據(jù)該接收數(shù)據(jù)而定的問題數(shù)據(jù)。該方法并接收金屬層數(shù)據(jù)，其定義該設(shè)計(jì)的至少一金屬層，并接收對(duì)應(yīng)于該問題數(shù)據(jù)的回復(fù)數(shù)據(jù)。再依據(jù)該金屬層數(shù)據(jù)及該回復(fù)數(shù)據(jù)，產(chǎn)生客制化(customize)的罩幕制具表格，并透過該客制化的罩幕制具表格，接收罩幕數(shù)據(jù)。繼之，依據(jù)接收的該罩幕數(shù)據(jù)，產(chǎn)生至少一邏輯操作。
本發(fā)明所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，進(jìn)一步依據(jù)該金屬層數(shù)據(jù)及該回復(fù)數(shù)據(jù)，將該罩幕制具樣版的至少一部分標(biāo)示為無作用部分。
本發(fā)明所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，該標(biāo)示步驟將該無作用部分反白，使得使用者無法更動(dòng)該部分的無作用標(biāo)示。
本發(fā)明所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，依據(jù)接收的該金屬層數(shù)據(jù)，將該罩幕制具樣版中顯示的未使用的金屬層標(biāo)示為無作用，并依據(jù)該回復(fù)數(shù)據(jù)，將特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版中未使用的隨選層(optionlayer)標(biāo)示為無作用。
本發(fā)明所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，進(jìn)一步接收客戶端要求，并依據(jù)該要求將該客制化的罩幕制具表格中的作用層改設(shè)為無作用層。
本發(fā)明所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，進(jìn)一步接收客戶端要求，并依據(jù)該要求將該最后客制化的罩幕制具表格中的某些作用層改設(shè)為無作用層，或?qū)⒃撟詈罂椭苹恼帜恢凭弑砀裰械哪承o作用層手動(dòng)改設(shè)為作用層。
本發(fā)明所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，進(jìn)一步從多個(gè)罩幕制具樣版中選取該罩幕制具樣版，其中該多個(gè)罩幕制具樣版是對(duì)應(yīng)于不同技術(shù)。
本發(fā)明所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，進(jìn)一步依據(jù)該技術(shù)，在加載該罩幕制具樣版之前產(chǎn)生該罩幕制具樣版。
本發(fā)明所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，進(jìn)一步依據(jù)該接收數(shù)據(jù)選取該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版。
本發(fā)明所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，進(jìn)一步依據(jù)該接收數(shù)據(jù)產(chǎn)生該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版，其是借由將該技術(shù)特有的問題數(shù)據(jù)整合于該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版中。
本發(fā)明所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，進(jìn)一步依據(jù)預(yù)定的規(guī)則，確認(rèn)接收的該技術(shù)數(shù)據(jù)、該金屬層數(shù)據(jù)、該回復(fù)數(shù)據(jù)及該罩幕數(shù)據(jù)的至少一部分，以決定上述數(shù)據(jù)是否一致。
本發(fā)明所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，進(jìn)一步建立多個(gè)罩幕層和該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版中包含問題數(shù)據(jù)的關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)。
本發(fā)明所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，進(jìn)一步將該邏輯操作轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)的電路圖案號(hào)碼的邏輯操作。
上述處理方法是可以借由將儲(chǔ)存于一計(jì)算機(jī)可讀取儲(chǔ)存媒體的計(jì)算機(jī)程序加載計(jì)算機(jī)裝置中而實(shí)現(xiàn)。
本發(fā)明另提供一種儲(chǔ)存媒體，所述儲(chǔ)存媒體用以儲(chǔ)存一計(jì)算機(jī)程序，上述計(jì)算機(jī)程序可加載于一計(jì)算機(jī)系統(tǒng)并且執(zhí)行下述的數(shù)據(jù)處理方法，該方法是用以接收集成電路設(shè)計(jì)定案交付要求，并依據(jù)該要求產(chǎn)生定案交付數(shù)據(jù)，該方法包括接收技術(shù)數(shù)據(jù)，其界定該定案交付要求所對(duì)應(yīng)的技術(shù)；依據(jù)該接收數(shù)據(jù)，加載對(duì)應(yīng)的罩幕制具樣版；接收金屬層數(shù)據(jù)，其定義該設(shè)計(jì)的至少一金屬層；依據(jù)該金屬層數(shù)據(jù)，產(chǎn)生客制化的罩幕制具表格；透過該客制化的罩幕制具表格，接收罩幕數(shù)據(jù)；以及依據(jù)接收的該罩幕數(shù)據(jù)，產(chǎn)生至少一邏輯操作。
本發(fā)明還提供一種計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，所述計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法是用以依據(jù)定案交付要求產(chǎn)生定案交付數(shù)據(jù)，該方法包括接收來自客戶端的初始數(shù)據(jù)；依據(jù)該初始數(shù)據(jù)，加載對(duì)應(yīng)的罩幕制具樣版；依據(jù)該客戶端提供的金屬層數(shù)據(jù)以及提供給該客戶端的問題數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的回復(fù)數(shù)據(jù)，產(chǎn)生客制化的罩幕制具表格；以及透過該客制化的罩幕制具表格從該客戶端接收數(shù)據(jù)，并據(jù)以產(chǎn)生邏輯操作。


圖1顯示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的方法的流程圖；圖2顯示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的虛擬IC制造系統(tǒng)的示意圖；圖3顯示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的定案交付要求環(huán)境的操作示意圖；圖4顯示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的罩幕制具樣版的實(shí)施畫面；圖5顯示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版的實(shí)施畫面；圖6顯示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的罩幕制具表格的實(shí)施畫面；
圖7顯示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式
為了讓本發(fā)明的目的、特征及優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施例，并配合所附圖示圖1至圖7，做詳細(xì)的說明。本發(fā)明說明書提供不同的實(shí)施例來說明本發(fā)明不同實(shí)施方式的技術(shù)特征。其中，實(shí)施例中的各元件的配置是為說明之用，并非用以限制本發(fā)明。且實(shí)施例中圖式標(biāo)號(hào)的部分重復(fù)，是為了簡(jiǎn)化說明，并非意指不同實(shí)施例之間的關(guān)聯(lián)性。
在集成電路罩幕設(shè)計(jì)定案交付(tape out)的過程中，客戶可能要填寫許多種表格，例如罩幕制具(mask tooling)表格、晶圓廠服務(wù)要求表(foundry service request form，F(xiàn)SRF)、以及特殊技術(shù)數(shù)據(jù)(special technology information，STI)表格等。制造端中的類似如客服工程師或罩幕工程師等技術(shù)提供者，可能要協(xié)助將上述表格中的內(nèi)容轉(zhuǎn)換成定案交付(tape out)要求，使得能夠據(jù)以產(chǎn)生客戶要求的罩幕。
在類似如多項(xiàng)目晶圓(multi-project wafer，MPW)服務(wù)等生產(chǎn)制程中，制造端會(huì)為客戶準(zhǔn)備粗略的罩幕制具樣版表格。此種預(yù)先準(zhǔn)備的罩幕制具樣版表格可以提供客戶可得的整套罩幕相關(guān)數(shù)據(jù)以供選擇，不過客戶為了要提供其設(shè)計(jì)的特殊設(shè)定及數(shù)據(jù)等，仍舊需要填寫罩幕制具表格、晶圓廠服務(wù)要求表、以及特殊技術(shù)數(shù)據(jù)表格等。
參見圖1，其顯示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的方法的流程圖。本發(fā)明實(shí)施例的方法100是用以接收集成電路設(shè)計(jì)定案交付(tape out)要求，并依據(jù)該要求產(chǎn)生定案交付數(shù)據(jù)。上述集成電路設(shè)計(jì)定案交付(tape out)是表示某一集成電路的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)庫已經(jīng)可以轉(zhuǎn)換執(zhí)行晶片制造的操作。方法100是使得當(dāng)客戶提出集成電路設(shè)計(jì)定案交付(tape out)要求時(shí)，可以在人力(工程師)介入的程度降至最低的情況下，依據(jù)該要求產(chǎn)生定案交付數(shù)據(jù)。本說明書中所述的客戶，是指和定案交付有關(guān)或參與定案交付程序的任何使用者或程序。
在步驟S102中，接收來自客戶端的初始數(shù)據(jù)。該客戶在輸入該初始數(shù)據(jù)之前，可以先使用任何認(rèn)證辨識(shí)數(shù)據(jù)，來登入定案交付要求系統(tǒng)，例如使用者辨識(shí)碼及密碼等。該初始數(shù)據(jù)可以包括與某一目前訂單相關(guān)的數(shù)據(jù)，例如公司名稱、訂單辨識(shí)碼以及和該定案交付相關(guān)的技術(shù)數(shù)據(jù)。該技術(shù)數(shù)據(jù)可以界定該目前訂單的至少一細(xì)節(jié)數(shù)據(jù)，例如該定案交付要求是屬于0.13μm或0.18μm技術(shù)等。
在步驟S104中，依據(jù)步驟S102中接收的技術(shù)數(shù)據(jù)，選取并加載與該技術(shù)對(duì)應(yīng)的罩幕制具(mask tooling)樣版。如下文的所述的細(xì)節(jié)，該罩幕制具樣版可以提供客戶一個(gè)界面，使得其可以輸入或選取和罩幕制具相關(guān)的數(shù)據(jù)例如罩幕層次碼(layer code)、罩幕名稱敘述、及/或邏輯操作。此種罩幕制具樣版可以依據(jù)技術(shù)定義(例如該定案交付要求是屬于0.13μm或0.18μm技術(shù)等)而系統(tǒng)性地產(chǎn)生。依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，該罩幕制具樣版可以為數(shù)據(jù)超集合，而該客戶可以從該樣版中選取特定數(shù)據(jù)或另外輸入相關(guān)數(shù)據(jù)。依據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例，加載該罩幕制具樣版的罩幕數(shù)據(jù)可以為滿足特定客戶的需要而量身訂做。因此，就某一特定技術(shù)而言，該罩幕制具樣版中的某些項(xiàng)目可以具有默認(rèn)值或是有多種選項(xiàng)。當(dāng)有選項(xiàng)可供選擇時(shí)，該客戶可以從中選取信息；當(dāng)某一項(xiàng)目沒有符合客戶需求的默認(rèn)值時(shí)，或者該客戶也可以在特定項(xiàng)目自行輸入符合其需求的數(shù)據(jù)。
該方法亦可以加載及/或產(chǎn)生特殊技術(shù)數(shù)據(jù)(specialtechnology information，STI)樣版，其包含依據(jù)該接收數(shù)據(jù)而定的問題數(shù)據(jù)，而該問題數(shù)據(jù)需由對(duì)應(yīng)的客戶端來提供回復(fù)數(shù)據(jù)。該問題數(shù)據(jù)可以依據(jù)該客戶提供的該初始數(shù)據(jù)而產(chǎn)生或加載。如同罩幕制具樣版一般，該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版也可以是問題數(shù)據(jù)的超集合，而該客戶僅需回復(fù)相關(guān)的問題，或者，該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)也可以為特定客戶的需求而量身訂做。
在步驟S106中，依據(jù)該客戶在該罩幕制具樣版中加載的金屬層數(shù)據(jù)，選取或產(chǎn)生客制化的罩幕制具表格。該金屬層數(shù)據(jù)可用以將該罩幕制具表格中的罩幕數(shù)據(jù)加以客制化，其定義該設(shè)計(jì)的至少一金屬層。例如，可以依據(jù)客戶輸入的數(shù)據(jù)來更新該罩幕制具表格中定義的頂通孔(top via)及金屬層。為了消除或減少不必要的客戶互動(dòng)，可以將光學(xué)層間無須使用的金屬罩幕移除或?qū)⑵湓O(shè)定為無作用(inactive)。依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，當(dāng)金屬層罩幕和通孔罩幕配合使用時(shí)，可以依據(jù)客戶輸入的數(shù)據(jù)，將該金屬層和通孔一起移除。
也可以依據(jù)客戶提供的對(duì)應(yīng)于該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版中問題數(shù)據(jù)的回復(fù)數(shù)據(jù)，產(chǎn)生客制化的罩幕制具表格。該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版的問題數(shù)據(jù)中，至少有一部分可以由制造端的工程師事先定義，以確定制造過程中需要的技術(shù)數(shù)據(jù)。每一個(gè)特殊技術(shù)數(shù)據(jù)的問題數(shù)據(jù)可以和至少一罩幕層相關(guān)，其是用以取得和該特定罩幕層相關(guān)的技術(shù)數(shù)據(jù)。該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)的問題數(shù)據(jù)可以包括是否需要金屬-絕緣體-金屬(metal-insulator-metal，MIM)電容、是否需要靜電放電防護(hù)布植(ESD Implantation)、及是否允許純1.8V裝置等。當(dāng)可以使用選擇性罩幕時(shí)，該問題數(shù)據(jù)的回復(fù)數(shù)據(jù)可以指示該客戶的設(shè)計(jì)需要哪些選擇性罩幕，以及哪些選擇性罩幕是不需要的。
舉例而言，客制化罩幕制具表格中，可以借由反白(grey out)等方式，將該罩幕制具樣版的至少一部分標(biāo)示為無作用(inactive)部分，以避免客戶輸入不必要的數(shù)據(jù)而徒增困擾，因此而簡(jiǎn)化了和客戶之間的互動(dòng)以及數(shù)據(jù)整合的作業(yè)。如果在罩幕制具表格中提供客戶可供選擇的選項(xiàng)，也可以將不需要的選項(xiàng)事先移除或?qū)⒅O(shè)定為無作用，以避免客戶誤選了不適當(dāng)?shù)倪x項(xiàng)。該客制化罩幕制具表格產(chǎn)生的過程中，也可以依據(jù)客戶對(duì)于該問題數(shù)據(jù)的回復(fù)數(shù)據(jù)，自動(dòng)產(chǎn)生該罩幕制具表格中特定項(xiàng)目的適當(dāng)值。
在步驟S108中，依據(jù)該客戶在該罩幕制具表格中加載的數(shù)據(jù)，產(chǎn)生至少一邏輯操作。舉例而言，該產(chǎn)生的邏輯操作可以如下所示114＝(((((((NP NOT NW)NOT(OD2 SIZING-0.03))NOTRHDMY)NOT VARDMY)SIZING 0.14)SIZING-0.28)SIZING0.14)上述邏輯操作可以由不同來源自動(dòng)產(chǎn)生，包括廠商標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫、客戶輸入或是其結(jié)合。例如，可以借由該罩幕制具表格中的數(shù)據(jù)，從一數(shù)據(jù)庫中選取一邏輯操作。另一個(gè)邏輯操作則是由客戶輸入，而還有另一個(gè)邏輯操作是動(dòng)態(tài)產(chǎn)生。因此，可以依據(jù)該客戶所提供的數(shù)據(jù)及/或從一定案交付(tape out)系統(tǒng)中所得到的數(shù)據(jù)，來產(chǎn)生和每一罩幕相關(guān)的偏差邏輯操作(bias logicaloperation)。
上述方法100可以用以延伸客戶服務(wù)，使得客戶可以自行要求定案交付過程的進(jìn)行，亦即該定案交付要求對(duì)應(yīng)的定案交付數(shù)據(jù)，可以在無須制造端工程師協(xié)助(或是僅需少許協(xié)助)的狀況下完成。
參見圖2，其顯示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的虛擬IC制造系統(tǒng)(虛擬晶圓廠)200，其提供一個(gè)可以讓上述方法100實(shí)現(xiàn)的環(huán)境。制造系統(tǒng)200包含多個(gè)實(shí)體(如實(shí)體202及204)，其中各實(shí)體之間借由網(wǎng)絡(luò)接口206連接之。每一實(shí)體可以和其它實(shí)體互動(dòng)，并能夠提供其它實(shí)體服務(wù)或接受其它實(shí)體的服務(wù)。網(wǎng)絡(luò)接口206可以為單一網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，或包含多個(gè)網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)(例如局域網(wǎng)絡(luò)及因特網(wǎng))，其可以包含有線及無線的網(wǎng)絡(luò)設(shè)備。
實(shí)體202及204可以包含至少一計(jì)算機(jī)裝置，例如個(gè)人計(jì)算機(jī)、個(gè)人數(shù)字助理、呼叫器及有線或無線電話等。實(shí)體202可以包含中央處理單元208、存儲(chǔ)器單元210、輸出輸入裝置212、以及外部界面214。中央處理單元208、存儲(chǔ)器單元210、輸出輸入裝置212以及外部界面214是借由總線系統(tǒng)216連接之。
內(nèi)部實(shí)體202可以借由有線或無線連接218及/或中介網(wǎng)絡(luò)220，而進(jìn)一步與網(wǎng)絡(luò)接口206連接。中介網(wǎng)絡(luò)220可以為完整的網(wǎng)絡(luò)或?yàn)閰^(qū)域性網(wǎng)絡(luò)、企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)、及/或因特網(wǎng)的子網(wǎng)絡(luò)。內(nèi)部實(shí)體202具有其地址或地址的集合(例如與網(wǎng)絡(luò)接口206相關(guān)的媒體控制地址(MAC)及網(wǎng)絡(luò)IP地址)，使得其可以被網(wǎng)絡(luò)接口206及220所辨識(shí)。由于內(nèi)部實(shí)體202可以和中介網(wǎng)絡(luò)220連接，其中所包含的單元有時(shí)候可以和其它內(nèi)部實(shí)體共享。因之，內(nèi)部實(shí)體202的組態(tài)是非常有彈性的。而且，在某些情況中，可以提供服務(wù)器222，以支持多個(gè)內(nèi)部實(shí)體的運(yùn)作。依據(jù)另一實(shí)施例，一個(gè)或以上的服務(wù)器和計(jì)算機(jī)裝置可以結(jié)合而成單一的實(shí)體。
依據(jù)本實(shí)施例，內(nèi)部實(shí)體202是代表與生產(chǎn)最終產(chǎn)品(例如晶圓或IC裝置)直接有關(guān)的實(shí)體。內(nèi)部實(shí)體202可以為工程人員、客戶服務(wù)人員、自動(dòng)系統(tǒng)流程、設(shè)計(jì)或制造設(shè)備及與晶圓廠相關(guān)的設(shè)備，例如原物料、運(yùn)送設(shè)備、組裝設(shè)備或測(cè)試設(shè)備等。外部實(shí)體204可以為客戶端、期貨交易者或投資者、設(shè)計(jì)服務(wù)提供者以及其它與晶圓廠不直接相關(guān)或不在晶圓廠控制下的實(shí)體。每一實(shí)體可以和其它實(shí)體互動(dòng)，并能夠提供其它實(shí)體服務(wù)或接受其它實(shí)體的服務(wù)。
上述實(shí)體202及204是可以集中配置或分散配置，且其中某一實(shí)體可以包含于另一實(shí)體中。上述實(shí)體202及204中每一實(shí)體均可以對(duì)應(yīng)一系統(tǒng)識(shí)別信息，用以控制其對(duì)于系統(tǒng)中各種數(shù)據(jù)的存取及使用權(quán)限。
虛擬晶圓廠200使得實(shí)體202及204可以就IC制造作業(yè)的相關(guān)事宜彼此互動(dòng)，并可以互相提供及接受服務(wù)。依據(jù)本實(shí)施例，所謂IC制造作業(yè)的相關(guān)事宜包括來自客戶的IC訂單、與該訂單對(duì)應(yīng)的IC制造程序以及將該IC產(chǎn)品運(yùn)送給該客戶的過程，以及與上述程序相關(guān)的設(shè)計(jì)、制造、測(cè)試及運(yùn)送的作業(yè)。尤其是內(nèi)部實(shí)體202可以為工程人員、客戶服務(wù)人員、自動(dòng)系統(tǒng)流程、設(shè)計(jì)或制造設(shè)備及與晶圓廠相關(guān)的設(shè)備，例如原物料、運(yùn)送設(shè)備、組裝設(shè)備或測(cè)試設(shè)備等。舉例而言，在設(shè)計(jì)端，客戶實(shí)體204可以透過內(nèi)部實(shí)體202，使用虛擬晶圓廠中與其產(chǎn)品設(shè)計(jì)相關(guān)的數(shù)據(jù)和工具。該工具可以用以執(zhí)行良率提升分析、察看布局?jǐn)?shù)據(jù)、以及得到其它相關(guān)的信息。在工程端，工程人員實(shí)體204可以與其它工程人員合作，以使用和試產(chǎn)制程、風(fēng)險(xiǎn)分析、品質(zhì)及可靠度等相關(guān)的制造數(shù)據(jù)。在物流端(圖未顯示)，虛擬晶圓廠200則將制造狀態(tài)、測(cè)試結(jié)果、訂單處理、以及運(yùn)送信息等信息提供給客戶實(shí)體204。
虛擬晶圓廠200亦可以提供各實(shí)體之間的整合服務(wù)。該整合服務(wù)使得各實(shí)體之間執(zhí)行的功能可以整合運(yùn)作。例如，IC設(shè)計(jì)及測(cè)試設(shè)備實(shí)體、制造設(shè)備實(shí)體、和IC設(shè)計(jì)知識(shí)產(chǎn)權(quán)廠商實(shí)體之間的整合，可以使得制造設(shè)備實(shí)體中制造過程產(chǎn)生的數(shù)據(jù)可以回饋到IC設(shè)計(jì)及測(cè)試設(shè)備實(shí)體，并傳送給IC設(shè)計(jì)知識(shí)產(chǎn)權(quán)廠商實(shí)體以供后續(xù)IC設(shè)計(jì)之用。
參見圖3，其顯示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的定案交付(tape out)要求環(huán)境300，其是可以實(shí)現(xiàn)于前述的虛擬晶圓廠200中。依據(jù)本實(shí)施例，定案交付要求環(huán)境300中包含定案交付要求系統(tǒng)202、客戶端204以及網(wǎng)絡(luò)接口206。需要注意的是，在本實(shí)施例中，定案交付要求系統(tǒng)202、客戶端204以及網(wǎng)絡(luò)接口206是互相分離，然而在實(shí)施上，上述各部分可以結(jié)合或是更進(jìn)一步地分離為多個(gè)單元。
定案交付要求環(huán)境300可以借由網(wǎng)絡(luò)接口206接取之，其可以將罩幕制具樣版、特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版、客制化罩幕制具表格，以及數(shù)據(jù)處理軟件及硬件提供給客戶端使用。依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，定案交付要求環(huán)境300包含技術(shù)主數(shù)據(jù)庫302、罩幕層及偏差文件數(shù)據(jù)庫304、罩幕制具樣版數(shù)據(jù)庫306以及特殊技術(shù)數(shù)據(jù)問題庫308。在本實(shí)施例中，上述數(shù)據(jù)庫是分離表示，然在實(shí)施上其也可以結(jié)合或是更進(jìn)一步地分離為多個(gè)分離的數(shù)據(jù)庫。上述數(shù)據(jù)庫可以是任何計(jì)算機(jī)可存取的存儲(chǔ)裝置，其是所儲(chǔ)存的數(shù)據(jù)是可以供定案交付要求系統(tǒng)202存取。數(shù)據(jù)庫302至308中至少一個(gè)可以進(jìn)一步包含規(guī)格數(shù)據(jù)及設(shè)計(jì)規(guī)則數(shù)據(jù)以供客戶及工程師使用，該等數(shù)據(jù)也可以另行儲(chǔ)存于其它裝置中。另外，定案交付要求系統(tǒng)202也可以進(jìn)一步包含一個(gè)以上的處理器，以提供接收和處理定案交付要求的各種功能。例如定案交付要求系統(tǒng)202可以包含用以一具各種不同標(biāo)準(zhǔn)(例如eXtensible MarkupLanguage(XML)及Hypertext Markup Language(HTML)等)動(dòng)態(tài)產(chǎn)生文件數(shù)據(jù)的程序軟件以及運(yùn)算裝置。
以下敘述的實(shí)施例，是描述在定案交付要求系統(tǒng)202和客戶端204之間的數(shù)據(jù)流。在步驟S310中，客戶端輸入數(shù)據(jù)。該數(shù)據(jù)可以包含商業(yè)數(shù)據(jù)(例如公司數(shù)據(jù)、聯(lián)絡(luò)窗口數(shù)據(jù)、以及訂單號(hào)碼數(shù)據(jù)等)以及技術(shù)數(shù)據(jù)(例如有關(guān)于產(chǎn)品、技術(shù)等數(shù)據(jù))。
定案交付要求系統(tǒng)202可以借由軟件指令及/或工程輸入等，來存取儲(chǔ)存于數(shù)據(jù)庫302至308中的數(shù)據(jù)。例如，在步驟S312中，定案交付要求系統(tǒng)202執(zhí)行下列功能保存與每一種技術(shù)對(duì)應(yīng)的罩幕制具(mask tooling)樣版、維持可以用以確認(rèn)數(shù)據(jù)及/或確定數(shù)據(jù)不兼容或不一致的確認(rèn)規(guī)則、及建立罩幕層和技術(shù)問題數(shù)據(jù)之間對(duì)應(yīng)關(guān)系。當(dāng)相關(guān)的數(shù)據(jù)庫更新時(shí)，可以同步更新這些確認(rèn)規(guī)則，其亦可以由使用者手動(dòng)定義或更新，或者當(dāng)接收定案交付要求時(shí)，動(dòng)態(tài)地更新之。而且，定案交付要求系統(tǒng)202可以接收及整合由工程人員或客戶端所輸入的數(shù)據(jù)。
在步驟S314中，定案交付要求系統(tǒng)202依據(jù)步驟S310中接收的技術(shù)數(shù)據(jù)，選取并加載與該技術(shù)對(duì)應(yīng)的罩幕制具(masktooling)樣版及特殊技術(shù)數(shù)據(jù)(special technology information，STI)樣版。例如，定案交付要求系統(tǒng)202可以選取或產(chǎn)生與該技術(shù)對(duì)應(yīng)的罩幕制具樣版及特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版。依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，該罩幕制具樣版可以為數(shù)據(jù)超集合，而該客戶可以從該樣版中選取特定數(shù)據(jù)或另外輸入相關(guān)數(shù)據(jù)。依據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例，加載該罩幕制具樣版的罩幕數(shù)據(jù)可以為滿足特定客戶的需要而量身訂做。因此，就某一特定技術(shù)而言，該罩幕制具樣版中的某些項(xiàng)目可以具有默認(rèn)值或是有多種選項(xiàng)。當(dāng)有選項(xiàng)可供選擇時(shí)，該客戶可以從中選取信息； 當(dāng)某一項(xiàng)目沒有符合客戶需求的默認(rèn)值時(shí)，或者該客戶也可以在特定項(xiàng)目自行輸入符合其需求的數(shù)據(jù)。同樣地，特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版包含依據(jù)該接收數(shù)據(jù)而定的問題數(shù)據(jù)，而該問題數(shù)據(jù)需由對(duì)應(yīng)的客戶端來提供回復(fù)數(shù)據(jù)。該問題數(shù)據(jù)可以依據(jù)該客戶提供的該初始數(shù)據(jù)而產(chǎn)生或加載。如同罩幕制具樣版一般，該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版也可以是問題數(shù)據(jù)的超集合，而該客戶僅需回復(fù)相關(guān)的問題，或者，該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)也可以為特定客戶的需求而量身訂做。
罩幕制具樣版可以包含內(nèi)建的技術(shù)特異性確認(rèn)規(guī)則，其是依據(jù)由數(shù)據(jù)庫302至308中所取得數(shù)據(jù)而定。罩幕制具樣版可以提供客戶一個(gè)界面，使得其可以輸入或選取和罩幕制具相關(guān)的數(shù)據(jù)例如罩幕層次碼(layer code)、罩幕名稱敘述、及/或邏輯操作。而且，罩幕制具樣版中所加載的罩幕制具相關(guān)的數(shù)據(jù)可以為符合客戶要求的數(shù)據(jù)集合。例如罩幕制具樣版可以提供默認(rèn)值、預(yù)定選項(xiàng)的選單、以及確認(rèn)規(guī)則。其中該確認(rèn)規(guī)則是用以確定數(shù)據(jù)是否有抵觸(例如，輸入數(shù)據(jù)和特殊計(jì)數(shù)之間是否兼容)、輸入數(shù)據(jù)和系統(tǒng)需求是否有不兼容(例如，確認(rèn)沒有默認(rèn)值的手動(dòng)輸入數(shù)據(jù)之間的兼容性)、以及當(dāng)提供的默認(rèn)值數(shù)據(jù)不能符合客戶端需要時(shí)，輸入數(shù)據(jù)之間的相同性。
特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版則包含依據(jù)制造數(shù)據(jù)及接收的數(shù)據(jù)而設(shè)計(jì)的問題數(shù)據(jù)，而該問題數(shù)據(jù)需由對(duì)應(yīng)的客戶端來提供回復(fù)數(shù)據(jù)。每一問題數(shù)據(jù)可以和至少一罩幕層相關(guān)聯(lián)，其是借由技術(shù)主數(shù)據(jù)庫302和罩幕層及偏差文件數(shù)據(jù)庫304為之。舉例而言，該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)的問題數(shù)據(jù)可以包括是否需要金屬-絕緣體-金屬(metal-insulator-metal，MIM)電容、是否需要靜電放電防護(hù)布植(ESD Implantation)、及是否允許純1.8V裝置等。
在步驟S316中，該客戶在該罩幕制具樣版中加載金屬層數(shù)據(jù)。該金屬層數(shù)據(jù)可用以將該罩幕制具表格中的罩幕數(shù)據(jù)加以客制化，其定義該設(shè)計(jì)的至少一金屬層。例如，該金屬層數(shù)據(jù)可以設(shè)定該客戶端需要的金屬層以及不需要的金屬層。
在步驟S318中，定案交付要求系統(tǒng)202依據(jù)在步驟S316中該客戶在該罩幕制具樣版中加載的金屬層數(shù)據(jù)，將罩幕制具樣版中不需使用的金屬層標(biāo)示為無作用(inactive)部分。如此一來，可以避免客戶在不需要的罩幕層欄位或選項(xiàng)中，輸入不必要的數(shù)據(jù)而徒增困擾，因此而簡(jiǎn)化了和客戶之間的互動(dòng)以及數(shù)據(jù)整合的作業(yè)?？梢詫o作用的罩幕層移除，或者將該部分借由反白等方式標(biāo)示無作用部分，使得客戶無法編輯該被標(biāo)示為無作用的部分。定案交付要求系統(tǒng)202可以借由上述確認(rèn)規(guī)則，來確定從客戶端接收的關(guān)于需要使用的罩幕層數(shù)據(jù)為正確，且沒有任何不兼容或不符合的狀況發(fā)生。而且，該確認(rèn)規(guī)則也可以用以依據(jù)客戶選取的項(xiàng)目，自動(dòng)選取特定罩幕層或禁止某些罩幕層被選取。上述確認(rèn)作業(yè)是可以于客戶輸入數(shù)據(jù)時(shí)執(zhí)行，或者在定案交付要求的每一步驟或全部步驟完成后執(zhí)行。該確認(rèn)規(guī)則可以包含于罩幕制具樣版中，或是由不同來源自動(dòng)產(chǎn)生，并于該罩幕制具樣版中執(zhí)行。依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，每當(dāng)客戶端輸入一筆數(shù)據(jù)，就將該罩幕制具樣版更新，以實(shí)時(shí)反映定案交付要求中不同罩幕層的最新狀態(tài)。
在步驟S320中，客戶提供對(duì)應(yīng)于該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版中問題數(shù)據(jù)的回復(fù)數(shù)據(jù)。該回復(fù)數(shù)據(jù)是用以使得定案交付要求系統(tǒng)202可以依據(jù)該回復(fù)數(shù)據(jù)，決定在可選取的罩幕層中有哪些是需要的，有哪些是不需要的，進(jìn)而產(chǎn)生客制化的罩幕制具表格。在該問題數(shù)據(jù)中，有些問題是客戶必須要提供答案的，有些則是客戶選答，還有一些是依據(jù)客戶先前提供的某個(gè)回復(fù)數(shù)據(jù)，來決定其是必答或是選答的問題數(shù)據(jù)。
在步驟S322中，定案交付要求系統(tǒng)202依據(jù)客戶提供的對(duì)應(yīng)于該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版中問題數(shù)據(jù)的回復(fù)數(shù)據(jù)，將該罩幕制具樣版及/或特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版的至少一部分標(biāo)示為無作用部分，以避免客戶輸入不必要的數(shù)據(jù)而徒增困擾，因此而簡(jiǎn)化了和客戶之間的互動(dòng)以及數(shù)據(jù)整合的作業(yè)?？梢詫o作用的罩幕層移除，或者將該部分借由反白等方式標(biāo)示無作用部分，使得客戶無法編輯該被標(biāo)示為無作用的部分。定案交付要求系統(tǒng)202可以借由上述確認(rèn)規(guī)則，來確定從客戶端接收的關(guān)于需要使用的罩幕層數(shù)據(jù)為正確，且沒有任何不兼容或不符合的狀況發(fā)生。而且，該確認(rèn)規(guī)則也可以用以依據(jù)客戶選取的項(xiàng)目，自動(dòng)選取特定罩幕層或禁止某些罩幕層被選取。上述確認(rèn)作業(yè)是可以于客戶輸入數(shù)據(jù)時(shí)執(zhí)行，或者在定案交付要求的每一步驟或全部步驟完成后執(zhí)行。該確認(rèn)規(guī)則可以包含于特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版中，或是由不同來源自動(dòng)產(chǎn)生，并于該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版中執(zhí)行。依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，每當(dāng)客戶端輸入一筆數(shù)據(jù)，就將該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版更新，以實(shí)時(shí)反映定案交付要求中不同罩幕層的最新狀態(tài)。
在步驟S324中，定案交付要求系統(tǒng)202依據(jù)步驟S310中接收的技術(shù)數(shù)據(jù)，產(chǎn)生與該技術(shù)對(duì)應(yīng)的客制化罩幕制具樣版及特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版。在該客制化的罩幕制具樣版中，可以包含客戶需要的或選取的罩幕層數(shù)據(jù)，以及其它可以選取的罩幕層數(shù)據(jù)。就每一罩幕層而言，該客制化的罩幕制具樣版可以包含其對(duì)應(yīng)的罩幕層識(shí)別數(shù)據(jù)和其名稱數(shù)據(jù)。
在步驟S326中，客戶端可以針對(duì)每一罩幕層輸入相關(guān)的必要數(shù)據(jù)，例如電路圖案層號(hào)碼、制程關(guān)鍵層號(hào)碼、以及罩幕明暗狀態(tài)數(shù)據(jù)(例如以C表示透明，以D表示暗色)?？蛻粢部梢暂斎脒壿嫴僮鲾?shù)據(jù)。
在步驟S328中，當(dāng)客戶選取廠商標(biāo)準(zhǔn)或其它預(yù)定或動(dòng)態(tài)產(chǎn)生的邏輯操作設(shè)定時(shí)，定案交付要求系統(tǒng)202針對(duì)每一罩幕層自動(dòng)產(chǎn)生邏輯操作數(shù)據(jù)。依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，客戶可以對(duì)該產(chǎn)生的邏輯操作數(shù)據(jù)進(jìn)行修改。
客戶輸入或修改的偏差及邏輯操作數(shù)據(jù)則可以借由確認(rèn)規(guī)則確認(rèn)之。該確認(rèn)規(guī)則可以包含于罩幕制具樣版中，或是由不同來源自動(dòng)產(chǎn)生，并于該罩幕制具樣版中執(zhí)行。依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，每當(dāng)客戶端輸入一筆數(shù)據(jù)，就將該罩幕制具樣版更新，以實(shí)時(shí)反映定案交付要求中不同罩幕層的最新狀態(tài)。
當(dāng)必須的數(shù)據(jù)都加載之后，定案交付要求系統(tǒng)202使用罩幕制具表格中的數(shù)據(jù)，自動(dòng)將每一罩幕層的該邏輯操作數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)的邏輯操作，以供罩幕制造時(shí)使用。在上述轉(zhuǎn)換過程中，定案交付要求系統(tǒng)202自動(dòng)將邏輯操作中的制程罩幕層識(shí)別碼置換為對(duì)應(yīng)的電路圖案圖號(hào)碼。繼之，將完成的罩幕制具表格傳送至客戶端工程人員。
上述樣版及表格是為舉例，其并非用以限制本發(fā)明，上述數(shù)據(jù)可以任何形式呈現(xiàn)給客戶端。而且，客戶端也不限于將數(shù)據(jù)輸入上述的表格中，其可以加載定案交付要求系統(tǒng)202能夠處理并用以產(chǎn)生邏輯操作的各種數(shù)據(jù)。
參見圖4，其顯示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的罩幕制具樣版的實(shí)施畫面。界面400包含罩幕制具樣版，其是提供客戶端與定案交付要求系統(tǒng)(例如圖3中所示的定案交付要求系統(tǒng)202)互動(dòng)的界面。在此需了解可以有多種界面呈現(xiàn)給客戶端，例如用來確認(rèn)身份的登入界面以及提供操作說明的說明界面等。當(dāng)客戶端登入定案交付要求系統(tǒng)202之后，界面400可以提供客戶端多個(gè)選項(xiàng)。依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，界面400包含加載罩幕選鈕402、儲(chǔ)存特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版選鈕404。界面400亦包含樣版406，其提供一表格給客戶，使得當(dāng)該客戶提出定案交付要求時(shí)，能夠加載罩幕相關(guān)數(shù)據(jù)。樣版406可以包含下列至少一罩幕識(shí)別碼、罩幕代碼、制程層次、DGTA明暗狀態(tài)數(shù)據(jù)(例如以C表示透明，以D表示暗色)、及/或邏輯操作數(shù)據(jù)等。如前所述，定案交付要求系統(tǒng)202可以借由上述確認(rèn)規(guī)則，來確定從客戶端接收的關(guān)于需要使用的罩幕層數(shù)據(jù)為正確，且沒有任何不兼容或不符合的狀況發(fā)生。界面400的呈現(xiàn)方式以及所包含的內(nèi)容是可以依據(jù)實(shí)際需要而設(shè)計(jì)，使得在客戶提出定案交付要求時(shí)，能夠提供輔助及支持的工具。
參見圖5，其顯示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版的實(shí)施畫面。界面500包含特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版，其是提供客戶端與定案交付要求系統(tǒng)(例如圖3中所示的定案交付要求系統(tǒng)202)互動(dòng)的界面。在此需了解可以有多種界面呈現(xiàn)給客戶端，例如用來確認(rèn)身份的登入界面、以及提供操作說明的說明界面等。當(dāng)客戶端登入定案交付要求系統(tǒng)202之后，界面500可以提供客戶端多個(gè)選項(xiàng)。依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，界面500包含刪除選鈕502、提升選鈕504以及下降選鈕506。界面500亦包含樣版508，其提供表格給客戶，使得當(dāng)該客戶提出定案交付要求時(shí)，能夠提供依據(jù)該接收數(shù)據(jù)而定的問題數(shù)據(jù)。該問題數(shù)據(jù)可以依據(jù)該客戶提供的該初始數(shù)據(jù)而產(chǎn)生或加載。如同罩幕制具樣版一般，該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版也可以是問題數(shù)據(jù)的超集合，而該客戶僅需回復(fù)相關(guān)的問題，或者，該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)也可以為特定客戶的需求而量身訂做。樣版508可以包含下列至少一特殊要求、問題名稱、問題敘述、勾選欄位、及影響的罩幕代碼等。如前所述，定案交付要求系統(tǒng)202可以借由從數(shù)據(jù)庫中擷取的確認(rèn)規(guī)則，來確定樣版508為正確，且沒有任何不兼容或不符合的狀況發(fā)生。界面500的呈現(xiàn)方式以及所包含的內(nèi)容是可以依據(jù)實(shí)際需要而設(shè)計(jì)，使得在客戶提出定案交付要求時(shí)，能夠提供輔助及支持的工具。
參見圖6，其顯示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的罩幕制具表格的實(shí)施畫面。界面600包含罩幕制具表格，其是提供客戶端與定案交付要求系統(tǒng)(例如圖3中所示的定案交付要求系統(tǒng)202)互動(dòng)的界面。當(dāng)客戶端登入定案交付要求系統(tǒng)202之后，界面600可以提供客戶端多個(gè)選項(xiàng)。依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，界面600包含公司欄位602。產(chǎn)品欄位604、聯(lián)絡(luò)窗口欄位606、電話欄位608、電子郵件欄位610、草稿儲(chǔ)存選鈕612、確認(rèn)選鈕614、儲(chǔ)存選鈕616以及倒退選鈕618。界面600亦包含樣版620，其提供用以加載客制化罩幕制具數(shù)據(jù)的表格給客戶，樣版620可以包含下列至少一罩幕層識(shí)別碼、制程層次、CAD層號(hào)碼、制程關(guān)鍵CAD層號(hào)碼、DGTA明暗狀態(tài)、邏輯操作、及邏輯操作轉(zhuǎn)換等。如前所述，定案交付要求系統(tǒng)202可以借由從數(shù)據(jù)庫中擷取的確認(rèn)規(guī)則，來確定樣版620為正確，且沒有任何不兼容或不符合的狀況發(fā)生。界面600的呈現(xiàn)方式以及所包含的內(nèi)容是可以依據(jù)實(shí)際需要而設(shè)計(jì)，使得在客戶提出定案交付要求時(shí)，能夠提供輔助及支持的工具。
參見圖7，其顯示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的方法的流程圖。圖7所示的方法是可以于圖3所示的定案交付要求系統(tǒng)202中實(shí)現(xiàn)之。
方法700首先執(zhí)行步驟S702，接收來自客戶端的數(shù)據(jù)。該數(shù)據(jù)可以包含商業(yè)數(shù)據(jù)(例如公司數(shù)據(jù)、聯(lián)絡(luò)窗口數(shù)據(jù)、以及訂單號(hào)碼數(shù)據(jù)等)以及技術(shù)數(shù)據(jù)(例如有關(guān)于產(chǎn)品、技術(shù)等數(shù)據(jù))。例如，上述數(shù)據(jù)可以確定一技術(shù)或技術(shù)細(xì)節(jié)，以協(xié)助確認(rèn)罩幕制具樣版。
在步驟S704中，定案交付要求系統(tǒng)202可以依據(jù)步驟S702中接收的技術(shù)數(shù)據(jù)，加載并呈現(xiàn)與該技術(shù)對(duì)應(yīng)的罩幕制具樣版及特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版。如前所述，罩幕制具樣版可以提供默認(rèn)值、包含多個(gè)預(yù)定選項(xiàng)的選單以及確認(rèn)規(guī)則。上述確認(rèn)規(guī)則可用以確定從客戶端接收的關(guān)于需要使用的罩幕層數(shù)據(jù)為正確，且沒有任何不兼容或不符合的狀況發(fā)生。
在步驟S706中，接收客戶在該罩幕制具樣版中加載的金屬層數(shù)據(jù)?？蛻羲虞d或選取的數(shù)據(jù)可以包含金屬種類及厚度等。
在步驟S708中，依據(jù)該客戶在該罩幕制具樣版中加載的金屬層數(shù)據(jù)，選取或產(chǎn)生客制化的罩幕制具表格。為了消除或減少不必要的客戶互動(dòng)，可以將不需要的層間金屬罩幕除去或?qū)⑵湓O(shè)定為無作用(inactive)。而且，當(dāng)目前罩幕型態(tài)允許最多8層金屬層，而該客戶選取了6層金屬層，則可將2層金屬層和對(duì)應(yīng)的通孔一起移除或?qū)⒌臉?biāo)示為無作用，以避免客戶輸入不必要的數(shù)據(jù)而徒增困擾，因此而簡(jiǎn)化了和客戶之間的互動(dòng)以及數(shù)據(jù)整合的作業(yè)。
在步驟S710中，接收特殊技術(shù)數(shù)據(jù)。該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)包含客戶提供的對(duì)應(yīng)于該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版中問題數(shù)據(jù)的回復(fù)數(shù)據(jù)。該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版的問題數(shù)據(jù)中，至少有一部分可以由制造端的工程師事先定義，以確定制造過程中需要的技術(shù)數(shù)據(jù)。每一個(gè)特殊技術(shù)數(shù)據(jù)的問題數(shù)據(jù)可以和至少一罩幕層相關(guān)，其是用以取得和該特定罩幕層相關(guān)的技術(shù)數(shù)據(jù)。
在步驟S712中，將該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)整合于罩幕制具樣版中，例如，可以借由反白等方式，將該罩幕制具樣版的至少一部分標(biāo)示為無作用(inactive)部分?？蛻艨梢酝瑫r(shí)加載該金屬層數(shù)據(jù)和該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)，使得能夠?qū)⒄帜恢凭邩影嬷胁恍枰倪x項(xiàng)移除或?qū)⒅O(shè)定為無作用，以避免客戶誤選了不適當(dāng)?shù)倪x項(xiàng)。
在步驟S714中，依據(jù)客戶提供的金屬層數(shù)據(jù)和該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)，產(chǎn)生客制化的罩幕制具表格。就每一罩幕層而言，客制化的罩幕制具樣版必須包含用以加載電路圖案層號(hào)碼及名稱等數(shù)據(jù)的欄位。
在步驟S716中，透過客制化的罩幕制具表格，接收客戶加載的罩幕數(shù)據(jù)。例如，客戶端可以針對(duì)每一罩幕層輸入相關(guān)的必要數(shù)據(jù)，例如電路圖案層號(hào)碼、制程關(guān)鍵層號(hào)碼、以及罩幕明暗狀態(tài)數(shù)據(jù)(例如以C表示透明，以D表示暗色)。客戶也可以輸入邏輯操作數(shù)據(jù)。
在步驟S718中，當(dāng)客戶選取廠商標(biāo)準(zhǔn)或其它預(yù)定或動(dòng)態(tài)產(chǎn)生的邏輯操作設(shè)定時(shí)，定案交付要求系統(tǒng)202針對(duì)每一罩幕層自動(dòng)產(chǎn)生邏輯操作數(shù)據(jù)。依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，客戶可以對(duì)該產(chǎn)生的邏輯操作數(shù)據(jù)進(jìn)行修改?？蛻糨斎牖蛐薷牡钠罴斑壿嫴僮鲾?shù)據(jù)則可以借由確認(rèn)規(guī)則確認(rèn)之。當(dāng)確認(rèn)程序完成之后，定案交付要求系統(tǒng)202使用罩幕制具表格中的數(shù)據(jù)，自動(dòng)將每一罩幕層的該邏輯操作數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)的邏輯操作。在上述轉(zhuǎn)換過程中，定案交付要求系統(tǒng)202自動(dòng)將邏輯操作中的制程罩幕層識(shí)別碼置換為對(duì)應(yīng)的電路圖案圖號(hào)碼。
在步驟S720中，將完成的罩幕制具表格傳送至客戶端工程人員，使得客戶端能夠確認(rèn)該罩幕制具表格及其中的數(shù)據(jù)為正確。
上述處理方法是可以借由將儲(chǔ)存于一計(jì)算機(jī)可讀取儲(chǔ)存媒體的計(jì)算機(jī)程序加載計(jì)算機(jī)裝置中而實(shí)現(xiàn)。
以上所述僅為本發(fā)明較佳實(shí)施例，然其并非用以限定本發(fā)明的范圍，任何熟悉本項(xiàng)技術(shù)的人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，可在此基礎(chǔ)上做進(jìn)一步的改進(jìn)和變化，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)以本申請(qǐng)的權(quán)利要求書所界定的范圍為準(zhǔn)。
附圖中符號(hào)的簡(jiǎn)單說明如下200虛擬IC制造系統(tǒng)202、204實(shí)體206網(wǎng)絡(luò)接口208中央處理單元210存儲(chǔ)器單元212輸出輸入裝置214外部界面216總線系統(tǒng)218有線或無線連接220中介網(wǎng)絡(luò)222服務(wù)器300定案交付要求環(huán)境302技術(shù)主數(shù)據(jù)庫304罩幕層及偏差文件數(shù)據(jù)庫306罩幕制具樣版數(shù)據(jù)庫308特殊技術(shù)數(shù)據(jù)問題庫400界面
402載入罩幕選鈕404儲(chǔ)存特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版選鈕406樣版500界面502刪除選鈕504提升選鈕506下降選鈕508樣版600界面602公司欄位604產(chǎn)品欄位606聯(lián)絡(luò)窗口欄位608電話欄位610電子郵件欄位612草稿儲(chǔ)存選鈕614確認(rèn)選鈕616儲(chǔ)存選鈕618倒退選鈕620樣版
權(quán)利要求
1.一種計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，其特征在于所述計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法是用以接收集成電路設(shè)計(jì)定案交付要求，并依據(jù)該要求產(chǎn)生定案交付數(shù)據(jù)，該方法包括接收技術(shù)數(shù)據(jù)，其界定該定案交付要求所對(duì)應(yīng)的技術(shù)；加載與該技術(shù)對(duì)應(yīng)的罩幕制具樣版及特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版，其包含依據(jù)該接收數(shù)據(jù)而定的問題數(shù)據(jù)；接收金屬層數(shù)據(jù)，其定義該設(shè)計(jì)的至少一金屬層，并接收對(duì)應(yīng)于該問題數(shù)據(jù)的回復(fù)數(shù)據(jù)；依據(jù)該金屬層數(shù)據(jù)及該回復(fù)數(shù)據(jù)，產(chǎn)生客制化的罩幕制具表格；透過該客制化的罩幕制具表格，接收罩幕數(shù)據(jù)；以及依據(jù)接收的該罩幕數(shù)據(jù)，產(chǎn)生至少一邏輯操作。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，其特征在于進(jìn)一步依據(jù)該金屬層數(shù)據(jù)及該回復(fù)數(shù)據(jù)，將該罩幕制具樣版的至少一部分標(biāo)示為無作用部分。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，其特征在于該標(biāo)示步驟將該無作用部分反白，使得使用者無法更動(dòng)該部分的無作用標(biāo)示。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，其特征在于依據(jù)接收的該金屬層數(shù)據(jù)，將該罩幕制具樣版中顯示的未使用的金屬層標(biāo)示為無作用，并依據(jù)該回復(fù)數(shù)據(jù)，將特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版中未使用的隨選層標(biāo)示為無作用。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，其特征在于進(jìn)一步接收客戶端要求，并依據(jù)該要求將該客制化的罩幕制具表格中的作用層改設(shè)為無作用層。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，其特征在于進(jìn)一步接收客戶端要求，并依據(jù)該要求將該最后客制化的罩幕制具表格中的某些作用層改設(shè)為無作用層，或?qū)⒃撟詈罂椭苹恼帜恢凭弑砀裰械哪承o作用層手動(dòng)改設(shè)為作用層。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，其特征在于進(jìn)一步從多個(gè)罩幕制具樣版中選取該罩幕制具樣版，其中該多個(gè)罩幕制具樣版是對(duì)應(yīng)于不同技術(shù)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，其特征在于進(jìn)一步依據(jù)該技術(shù)，在加載該罩幕制具樣版之前產(chǎn)生該罩幕制具樣版。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，其特征在于進(jìn)一步依據(jù)該接收數(shù)據(jù)選取該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，其特征在于進(jìn)一步依據(jù)該接收數(shù)據(jù)產(chǎn)生該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版，其是借由將該技術(shù)特有的問題數(shù)據(jù)整合于該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版中。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，其特征在于進(jìn)一步依據(jù)預(yù)定的規(guī)則，確認(rèn)接收的該技術(shù)數(shù)據(jù)、該金屬層數(shù)據(jù)、該回復(fù)數(shù)據(jù)及該罩幕數(shù)據(jù)的至少一部分，以決定上述數(shù)據(jù)是否一致。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，其特征在于進(jìn)一步建立多個(gè)罩幕層和該特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版中包含問題數(shù)據(jù)的關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，其特征在于進(jìn)一步將該邏輯操作轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)的電路圖案號(hào)碼的邏輯操作。
14.一種計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，其特征在于所述計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法是用以依據(jù)定案交付要求產(chǎn)生定案交付數(shù)據(jù)，該方法包括接收來自客戶端的初始數(shù)據(jù)；依據(jù)該初始數(shù)據(jù)，加載對(duì)應(yīng)的罩幕制具樣版；依據(jù)該客戶端提供的金屬層數(shù)據(jù)以及提供給該客戶端的問題數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的回復(fù)數(shù)據(jù)，產(chǎn)生客制化的罩幕制具表格；以及透過該客制化的罩幕制具表格從該客戶端接收數(shù)據(jù)，并據(jù)以產(chǎn)生邏輯操作。
全文摘要
本發(fā)明是一種計(jì)算機(jī)執(zhí)行方法，其是用以接收集成電路設(shè)計(jì)定案交付要求，并依據(jù)該要求產(chǎn)生定案交付數(shù)據(jù)。上述方法首先接收技術(shù)數(shù)據(jù)，其界定該定案交付要求所對(duì)應(yīng)的技術(shù)。并加載與該技術(shù)對(duì)應(yīng)的罩幕制具樣版及特殊技術(shù)數(shù)據(jù)樣版，其包含依據(jù)該接收數(shù)據(jù)而定的問題數(shù)據(jù)。該方法并接收金屬層數(shù)據(jù)，其定義該設(shè)計(jì)的至少一金屬層，并接收對(duì)應(yīng)于該問題數(shù)據(jù)的回復(fù)數(shù)據(jù)。再依據(jù)該金屬層數(shù)據(jù)及該回復(fù)數(shù)據(jù)，產(chǎn)生客制化的罩幕制具表格，并透過該客制化的罩幕制具表格，接收罩幕數(shù)據(jù)。繼之，依據(jù)接收的該罩幕數(shù)據(jù)，產(chǎn)生至少一邏輯操作。
文檔編號(hào)G06F19/00GK1696942SQ200510067900
公開日2005年11月16日 申請(qǐng)日期2005年4月29日 優(yōu)先權(quán)日2004年5月11日
發(fā)明者曹標(biāo)灼, 馮淑玲, 曾乙弘 申請(qǐng)人:臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司