專利名稱：制造管理系統(tǒng)及方法
技術領域：
此發(fā)明是一種機臺管理技術，特別是一種關于工程變更的機臺管理方法及系統(tǒng)。
背景技術：
傳統(tǒng)上，半導體制造廠包含處理半導體晶圓時的必要制造機臺，于半導體制造時，半導體晶圓會經(jīng)過一連串使用各式各樣機臺的制造步驟，諸如曝光(photolithography)、化學機械研磨(chemical-mechanical polishing)或化學氣相沉積(chemicalvapor deposition)。舉例來說，一個集成半導體產(chǎn)品的制程可能會經(jīng)歷接近600道處理步驟。如何充分及有效率地監(jiān)督或控制制造流程，使得良品占所有制造產(chǎn)品的比率(亦即是良率)必須盡可能達到一個高標的水準，將影響自動化制造的成本。
制造流程、制程配方等的改變，可增進半導體制造良率。這些工程變更通常在客戶端的處理人員確認后，適用于特定晶圓批次上。傳統(tǒng)上，處理人員花費龐大時間與相關客戶進行工程變更的溝通，甚至會花費更多時間于處理相關的響應上。此種耗費勞力的管理方法嚴重地阻礙效率。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明提供半導體制造管理系統(tǒng)。所述系統(tǒng)包括一個通訊裝置及一個處理單元。處理單元接收含有將于一個晶圓批次執(zhí)行新工程作業(yè)的工程變更請求(engineering changerequest，ECR)，產(chǎn)生含有工程變更請求的工程變更請求提醒，透過通訊裝置傳遞工程變更請求提醒至一客戶端處理人員，接收相應于工程變更請求提醒的回復郵件，借由偵測回復郵件決定工程變更請求是否被接受的回復結(jié)果，以及傳遞回復結(jié)果至一個制造執(zhí)行系統(tǒng)(manufacturing execution system，MES)。使得制造執(zhí)行系統(tǒng)得以指示至少一部制造機臺于晶圓批次上執(zhí)行新工程作業(yè)。
本發(fā)明所述的制造管理系統(tǒng)，更包括一個儲存裝置。
本發(fā)明所述的制造管理系統(tǒng)，上述儲存裝置儲存一個提醒模板，上述處理單元根據(jù)上述提醒模板產(chǎn)生上述工程變更請求提醒，以及根據(jù)上述提醒模板取得上述回復結(jié)果。
本發(fā)明所述的制造管理系統(tǒng)，上述處理單元更產(chǎn)生一筆工程變更請求記錄，以及儲存上述工程變更記錄至上述儲存裝置，其中，上述工程變更請求記錄包含一個回復狀態(tài)、一個到期日以及一個生效條件，上述回復狀態(tài)指出上述工程變更請求尚未回復，以及上述生效條件指出，若此時超過上述到期日且上述工程變更請求尚未回復時，則接受上述工程變更請求。
本發(fā)明所述的制造管理系統(tǒng)，上述處理單元更于偵測到上述工程變更請求記錄后產(chǎn)生含有上述工程變更請求的一個工程變更通知，以及透過上述通訊裝置傳遞上述工程變更通知至上述客戶端操作人員。
本發(fā)明所述的制造管理系統(tǒng)，上述儲存裝置儲存一個工程變更通知模板。
本發(fā)明所述的制造管理系統(tǒng)，上述處理單元更產(chǎn)生一個工程變更請求記錄以及儲存上述工程變更請求記錄至上述儲存裝置，其中，上述工程變更請求記錄包含一個回復狀態(tài)，上述回復狀態(tài)指出上述工程變更請求尚未回復。
本發(fā)明所述的制造管理系統(tǒng)，上述儲存裝置用以儲存一個提醒模板，根據(jù)上述提醒模板產(chǎn)生上述工程變更請求提醒，以及根據(jù)上述提醒模板取得上述回復結(jié)果。
本發(fā)明更提供半導體制造管理方法。實施例的方法為接收含有將于一個晶圓批次執(zhí)行新工程作業(yè)的工程變更請求(engineering change request，ECR)，產(chǎn)生含有工程變更請求的工程變更請求提醒，透過通訊裝置傳遞工程變更請求提醒至一客戶端處理人員，接收相應于工程變更請求提醒的回復，借由偵測回復決定工程變更請求是否被接受的回復結(jié)果，以及傳遞回復結(jié)果至一個制造執(zhí)行系統(tǒng)(manufacturing execution system，MES)。而一個晶圓批次中至少一個半導體元件可使用上述所揭露的方法來制造。
本發(fā)明所述的制造管理方法，更包括上述計算機產(chǎn)生一個工程變更請求記錄，上述工程變更請求記錄包含指出上述工程變更請求尚未被回復的回復狀態(tài)；以及上述計算機儲存上述工程變更請求記錄至上述計算機中的一個儲存裝置。
本發(fā)明還提供一種半導體元件，存在于一個晶圓批次中，使用一種半導體制造管理方法進行制造，其方法包括一部計算機接收一個含有將于上述晶圓批次執(zhí)行一個新工程作業(yè)的工程變更請求；上述計算機產(chǎn)生含有上述工程變更請求的一個工程變更請求提醒；上述計算機透過一個通訊裝置傳遞上述工程變更請求提醒至一客戶端處理人員；上述計算機接收相應于上述工程變更請求提醒的一個回復；上述計算機借由偵測上述回復決定上述工程變更請求是否被接受的一個回復結(jié)果；以及上述計算機傳遞上述回復結(jié)果至一個制造執(zhí)行系統(tǒng)，使得上述制造執(zhí)行系統(tǒng)得以指示至少一部制造機臺于上述晶圓批次上執(zhí)行上述新工程作業(yè)。
本發(fā)明另外揭露一種機器可讀取儲存媒體，用以儲存一計算機程序，該程序于執(zhí)行時得以實現(xiàn)上述的半導體制造管理方法。
本發(fā)明所述制造管理系統(tǒng)及方法可以縮短工作時間，降低錯誤率，進而提高工作效率。


圖1是表示依據(jù)本發(fā)明實施例的機臺管理系統(tǒng)中應用于計算機的硬件環(huán)境架構(gòu)圖；圖2是表示依據(jù)本發(fā)明實施例的機臺管理系統(tǒng)的軟件架構(gòu)圖；圖3A與圖3B是表示本發(fā)明實施例的工程變更提醒方法的方法流程圖；圖4A與圖4B為依據(jù)本發(fā)明實施例的第一提醒模板；圖5A與圖5B為依據(jù)本發(fā)明實施例的第二提醒模板；圖6A與圖6B為依據(jù)本發(fā)明實施例的最后提醒模板；圖7為依據(jù)本發(fā)明實施例的工程變更通知模板；圖8是表示依據(jù)本發(fā)明實施例的工程變更提醒的計算機可讀取儲存媒體示意圖；圖9是依據(jù)本發(fā)明實施例的回復檢驗方法的方法流程圖；圖10是表示本發(fā)明實施例的回復檢驗的儲存媒體示意圖；圖11是依據(jù)本發(fā)明實施例的機臺管理方法的方法流程圖。
具體實施例方式
圖1是表示依據(jù)本發(fā)明實施例的機臺管理系統(tǒng)中應用于計算機的硬件環(huán)境架構(gòu)圖。如圖1所示，系統(tǒng)包含一個處理單元11、一個存儲器12、一個儲存裝置13、一個輸入裝置14、一個輸出裝置15以及一個通訊裝置16。根據(jù)范紐曼(Bon Neumann)架構(gòu)，使用總線17將處理單元11、存儲器12、儲存裝置13、輸出裝置15、輸入裝置14以及通訊裝置16連接在一起。處理單元11可包含一個或多個處理器，使得計算機的處理單元可包含一個中央處理單元(CPU)、一個微處理單元(microprocessing unit，MPU)或關聯(lián)于一個平行運算環(huán)境的多處理單元。存儲器12于較佳的情況下為一動態(tài)存取存儲器(RAM)，但亦可為一只讀存儲器(ROM)或一快閃只讀存儲器(flash ROM)。于較佳的情況下，存儲器12儲存由處理單元11所執(zhí)行的程序模塊，用以實現(xiàn)數(shù)據(jù)存盤管理功能。一般而言，程序模塊包括常序(routines)、程序(programs)、對象(objects)、元件(components)等，用以執(zhí)行特定功能或?qū)嵶魈囟ǔ橄髷?shù)據(jù)型態(tài)(abstract data type)。除此之外，本領域技術人員也可將本發(fā)明實施于其它計算機系統(tǒng)配置(configuration)上，包括手持式設備(hand-held devices)、多處理器系統(tǒng)、以微處理器為基礎或可程序化的消費性電子產(chǎn)品(microprocessor-based or programmable consumer electronics)、網(wǎng)絡計算機、迷你計算機、大型主機以及類似的設備。本發(fā)明亦可以實施于分布式運算環(huán)境，其運算工作由一連結(jié)于通訊網(wǎng)路的遠程處理設備執(zhí)行。在分布式環(huán)境中，程序模塊可同時存在于本地以及遠程存儲裝置中，而遠程訪問架構(gòu)包含分布式元件對象模型(DCOM)、通用對象請求中介架構(gòu)(CORBA)、網(wǎng)頁元件(Web objects)、網(wǎng)絡服務(Web Services)或其它類似架構(gòu)。儲存裝置13可為一硬盤裝置、磁性裝置、光盤裝置、可攜式儲存裝置或非揮發(fā)存儲器裝置(nonvolatile memory drive)。這些裝置以及其相關的計算機可讀取媒體(computer-readable medium)提供計算機可讀取指令、數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)、程序模塊的非揮發(fā)儲存空間(nonvolatilestorage)。處理單元11從存儲器12或經(jīng)由一操作者透過輸入裝置接收程序模塊，用以執(zhí)行數(shù)據(jù)存盤管理功能。儲存裝置13可包含儲存各式各樣數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)(database managementsystem)、對象庫管理系統(tǒng)(object base management system)、文件管理系統(tǒng)(file management system)等。
一或多個晶圓通常被合并成一個“批次”，用以通過一連串制造機臺的制程，最后制作成為集成電路。每一制造機臺(未顯示)通常會在一個指定批次的晶圓上，執(zhí)行單一一道晶圓制造作業(yè)。例如，一個特定的制造機臺可于晶圓上執(zhí)行薄膜(layering)作業(yè)、圖案化(patterning)作業(yè)、摻雜(doping)作業(yè)或熱處理(thermaltreatment)作業(yè)。每一制造機臺根據(jù)已定義的程序(例如，已先行決定的一系列步驟或制程配方)執(zhí)行晶圓制造作業(yè)。
本發(fā)明實施例的儲存裝置13儲存批次基本數(shù)據(jù)記錄、批次工程記錄、工程變更請求(engineering change request，ECR)記錄、提醒模板(reminder templates)以及工程變更通知模板(engineering change notice templates)。每一批次基本數(shù)據(jù)記錄儲存特定晶圓批次的基本信息，于較佳的情況下包括擁有人識別碼、批次識別碼、產(chǎn)品編號以及聯(lián)絡信息。擁有人識別碼相應于客戶識別碼或名字，用以指出特定晶圓批次的擁有者。產(chǎn)品編號可包括半導體產(chǎn)品類型，諸如動態(tài)存取存儲器(RAM)、中央處理單元(CPU)、只讀存儲器(ROM)等、產(chǎn)品號碼或其它，用以指出產(chǎn)品規(guī)格。聯(lián)絡信息相應于處理特定晶圓批次的客戶端處理人員。每一批次工程記錄儲存特定晶圓批次的工程信息，于較佳的情況下包括制造流程、制造流程中的作業(yè)機臺以及使用于作業(yè)機臺的特定制程配方。
每一工程變更請求儲存一或多個晶圓批次的工程變更請求信息，于較佳的情況下包括至少一個批次識別碼(lot identity)、工程變更請求識別碼(ECR identity)、重要程度(significancelevel)、通知類型(notification type)、回復狀態(tài)(responsestatus)、生效條件(valid condition)、到期日(due date)以及工程變更的詳細描述。每一工程變更請求記錄透過批次識別碼或多種識別碼關聯(lián)于一或多個批次基本數(shù)據(jù)記錄。重要程度用以指出工程變更的影響程度，并且可由字母/數(shù)字字符(alphanumericcharacters)表示。例如，“1”或“A”代表最重要，“3”或“C”代表最不重要。通知類型用以指示工程變更是否經(jīng)客戶端處理人員確認請求，并且可由字母/數(shù)字字符表示。例如，“Y”可代表工程變更須經(jīng)確認，“N”代表工程變更不須確認?；貜蜖顟B(tài)用以指出一工程變更請求是否已經(jīng)回復、工程變更請求是否已經(jīng)被同意以及相應于工程變更請求的提醒是否已發(fā)出。例如，“Y”代表客戶已回復工程變更請求并且同意此工程變更，“N”代表客戶已回復工程變更請求并且拒絕此工程變更，“-”代表客戶尚未回復工程變更請求并且還未發(fā)出第一次提醒，“1”代表客戶尚未回復工程變更請求并且已發(fā)出第一次提醒，“2”代表客戶尚未回復工程變更請求并且已發(fā)出第二次提醒，“F”代表客戶尚未回復工程變更請求并且已發(fā)出最后的通知。生效條件用以指示于到期日后，若不存在任何回復時，工程變更請求自動同意或拒絕。例如，“Acc”代表若于到期日后不存在任何回復，則同意工程變更請求，另外，“Rej”代表若于到期日后不存在任何回復，則拒絕工程變更請求。詳細描述應用于特定晶圓批次的新工程信息，諸如新制造作業(yè)流程、制程配方或其它。批次基本數(shù)據(jù)記錄、批次工程記錄及工程變更請求記錄的實作不僅限于單一數(shù)據(jù)表、文件或數(shù)據(jù)對象中，亦可實作于多個相關連的數(shù)據(jù)表、文件或數(shù)據(jù)對象中。在不違背本發(fā)明的范圍及精神下，本領域技術人員可在批次基本數(shù)據(jù)記錄、批次工程記錄以及工程變更請求記錄，加上更多字段或使用不盡相同的字段名稱。
圖2是表示依據(jù)本發(fā)明實施例的機臺管理系統(tǒng)的軟件架構(gòu)圖。程序模塊包括儲存于存儲器12中的一個工程變更請求產(chǎn)生模塊21、一個通知控制模塊22、以及一個回復確認模塊23。
工程變更請求產(chǎn)生模塊21可由一個工作流程管理系統(tǒng)(workflow management system)或一個圖形化使用者界面(graphic user interface，GUI)接收工程變更請求，請求中包括新工程的規(guī)格、新工程的重要程度、影響的半導體產(chǎn)品、制造流程、機臺作業(yè)或其它信息。工程變更請求產(chǎn)生模塊21可由儲存裝置13取得新工程所影響的晶圓批次。借由發(fā)出一或多個數(shù)據(jù)庫檢索ANSI SQL指令至數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)，執(zhí)行數(shù)據(jù)對象方法(dataobject methods)或文件操作指令(file manipulationinstructions)，可由批次基本數(shù)據(jù)記錄及批次工程記錄取得影響的晶圓批次。產(chǎn)生相應于取得的一或多個晶圓批次的工程變更請求記錄，并且借由發(fā)出一或多個數(shù)據(jù)庫檢索指令至數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)，執(zhí)行數(shù)據(jù)對象方法或文件操作指令，儲存工程變更請求記錄至儲存裝置13。
通知控制模塊22可周期性地掃描工程變更請求記錄以產(chǎn)生工程變更請求提醒與工程變更通知，以及借由通訊裝置16傳送至相關的客戶端處理人員。于另一種情況下，通知控制模塊22于偵測到至少一個新工程變更請求記錄時，執(zhí)行上述所示作業(yè)。通知控制模塊22用以執(zhí)行以下的工程變更提醒。參考圖3A，如步驟S311，借由發(fā)出一或多個數(shù)據(jù)庫檢索指令至數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)，執(zhí)行數(shù)據(jù)對象方法或文件操作指令，從儲存裝置13取得一個工程變更請求記錄。如步驟S321，根據(jù)取得的工程變更請求記錄，決定此工程變更請求是否需要確認，若是，則程序進行至步驟S331，若否，則至步驟S381。此判斷可借由偵測所取得的工程變更請求的通知類型及回復狀態(tài)而得，例如，判斷通知類型是否為“Y”以及判斷回復狀態(tài)是否非“Y”或“N”。
如步驟S331，決定是否需要發(fā)出第一次提醒，若是，程序進行至步驟S332，若否，至步驟S341。此判斷可借由偵測所取得的工程變更請求的回復狀態(tài)決定是否需要第一次提醒，例如，判斷工程變更請求記錄的回復狀態(tài)是否為“-”。如步驟S332，根據(jù)第一提醒模板以及所取得的工程變更請求記錄，產(chǎn)生第一次提醒，并且傳遞第一次提醒給相應的批次基本數(shù)據(jù)記錄中儲存的一接收端。圖4A與圖4B為依據(jù)本發(fā)明實施例的第一提醒模板，此第一提醒模板包括通知區(qū)41描述工程變更細節(jié)，以及反饋區(qū)(feedback area)42描述反饋提示(feedback prompts)細節(jié)。第一提醒模板中的插入點的43a至43q的適當數(shù)據(jù)(如方框中所示的數(shù)據(jù))可由批次基本數(shù)據(jù)記錄、批次工程記錄、工程變更請求記錄、系統(tǒng)變量或其它類似數(shù)據(jù)取得。如步驟S341，決定是否需要發(fā)出第二次提醒，若是，則程序進行至步驟S342，若否，則至步驟S351。是否需要第二次提醒的決定可借由偵測是否已到第二提醒期限而得，例如在取得的工程變更請求記錄中所儲存的到期日二十天前。如步驟S342，根據(jù)第二提醒模板及取得的工程變更請求記錄，產(chǎn)生第二次提醒，并且傳遞第二次提醒給批次基本數(shù)據(jù)記錄中儲存的一接收端。圖5A與圖5B為依據(jù)本發(fā)明實施例的第二提醒模板，此第二提醒模板包括通知區(qū)51描述工程變更細節(jié)，以及反饋區(qū)52描述反饋提示細節(jié)。第二提醒模板中的插入點53a至53q的適當數(shù)據(jù)(如方框中所示的數(shù)據(jù))可由批次基本數(shù)據(jù)記錄、批次工程記錄、工程變更請求記錄、系統(tǒng)變量或其它類似數(shù)據(jù)取得。如步驟S351，決定是否需要發(fā)出最后提醒，若是，則程序進行至步驟S352，若否，則至步驟S361。是否需要最后提醒的決定可借由偵測是否已到最后提醒期限而得，例如在取得的工程變更請求記錄中所儲存的到期日五天前。如步驟S352，根據(jù)最后提醒模板及取得的工程變更請求記錄，產(chǎn)生最后提醒，并且傳遞最后提醒給批次基本數(shù)據(jù)記錄中所儲存的接收端，例如電子郵件地址(e-mail address)。圖6A與圖6B為依據(jù)本發(fā)明實施例的最后提醒模板，此最后提醒模板包括通知區(qū)61描述工程變更細節(jié)，以及反饋區(qū)62描述反饋提示細節(jié)。最后提醒模板中的插入點63a至63q的適當數(shù)據(jù)(如方框中所示的數(shù)據(jù))可由批次基本數(shù)據(jù)記錄、批次工程記錄、工程變更請求記錄、系統(tǒng)變量或其它類似數(shù)據(jù)取得。
如步驟S361，決定是否需要發(fā)出工程變更通知，若是，則程序進行至步驟S362，若否，至步驟S371。是否需要工程變更通知的決定可借由偵測取得的工程變更請求記錄中的回復狀態(tài)、到期日及生效條件而得，例如，當回復狀態(tài)為“F”，而現(xiàn)在已超過到期日，并且有效條件為“Acc”。如步驟S362及S381，根據(jù)工程變更模板及取得的工程變更請求記錄，產(chǎn)生工程變更通知，并且傳遞工程變更通知給批次基本數(shù)據(jù)記錄中儲存的一接收端。圖7為依據(jù)本發(fā)明實施例的工程變更通知模板。工程變更通知模板描述工程變更細節(jié)。工程變更通知模板的插入點71a至71q的適當數(shù)據(jù)(如方框中所示的數(shù)據(jù))可由批次基本數(shù)據(jù)記錄、批次工程記錄、工程變更請求記錄、系統(tǒng)變量或其它類似數(shù)據(jù)取得。
本發(fā)明實施例另揭露一用以儲存工程變更提醒方法的計算機程序820的儲存媒體。圖8是表示依據(jù)本發(fā)明實施例的工程變更提醒的計算機可讀取儲存媒體示意圖。此計算機程序產(chǎn)品包括一個可使用于計算機系統(tǒng)并含有計算機可讀取程序的儲存媒體80。計算機可讀取程序包含接收工程變更請求記錄邏輯821，決定是否需要發(fā)出提醒邏輯822，產(chǎn)生及傳遞提醒邏輯823，決定是否需要發(fā)出工程變更通知邏輯824，產(chǎn)生及傳遞工程變更通知邏輯825，決定是否存在未處理的工程變更請求記錄邏輯826。
回復確認模塊23可接收一相應于工程變更通知提醒的回復，取得此工程變更被接收或被拒絕的回復結(jié)果，并且傳遞回復結(jié)果至制造執(zhí)行系統(tǒng)(manufacturing execution system，MES)?；貜痛_認模塊23用以執(zhí)行回復檢驗。圖9是依據(jù)本發(fā)明實施例的回復檢驗方法的方法流程圖。如步驟S911，接收相應于工程變更請求提醒的回復。如步驟S921，依據(jù)提醒模板，由回復中取得工程變更請求識別碼。例如，由句子“ECR NO.”后的字母/數(shù)字字符串(alphanumeric string)可摘錄出工程變更請求識別碼。如步驟S931，依據(jù)提醒模板，由回復中取得指出工程變更被接受或被拒絕的回復結(jié)果。例如，由詢問句子“Do you agree to thechange？(Y/N)”后的字母數(shù)字/字符串，可摘錄出回復結(jié)果。例如，若摘錄出的字母/數(shù)字字符串為“Y”、“Yes”或其它類似的字符串，則回復結(jié)果指出工程變更被接受，相反地，若摘錄出的字母/數(shù)字字符串為“N”、“No”或其它類似的字符串，則回復結(jié)果指出此工程變更被拒絕。如步驟S941，依據(jù)回復結(jié)果，決定相應于工程變更請求識別碼的工程變更紀錄中的回復狀態(tài)。工程變更請求紀錄中的回復狀態(tài)的更新可借由發(fā)出一或多個數(shù)據(jù)庫檢索指令至數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)、執(zhí)行數(shù)據(jù)對象方法或文件操作指令。如步驟S951，將回復結(jié)果傳遞至制造執(zhí)行系統(tǒng)(manufacturingexecution system，MES，未顯示)。
制造執(zhí)行系統(tǒng)(未顯示)可為一整合的計算機系統(tǒng)，提供方法及工具用以完成整個生產(chǎn)作業(yè)。制造執(zhí)行系統(tǒng)(未顯示)的范例包括Promis(Brooks Automation公司)、Workstream(Applied Materials公司)、Poseidon(IBM公司)以及Mirl-Mes(臺灣機械工業(yè)研究所)。每一制造執(zhí)行系統(tǒng)可能擁有不同的應用。例如，Mirl-MES可應用于封裝(packaging)、液晶顯示器(Liquid crystal displays，LCDs)以及印刷電路板(printed circuit boards，PCBs)等產(chǎn)品制造，而Promis、Workstream以及Poseidon可應于集成電路制造(IC fabrication)以及薄膜晶體管液晶顯示器(thin film transistor LCD，TFT-LCD)等產(chǎn)品制造。若接收到的回復結(jié)果指出工程變更被客戶端操作者接受，則制造執(zhí)行系統(tǒng)將指示一或多個制造機臺于相應的晶圓批次上執(zhí)行新工程作業(yè)。
本發(fā)明實施例另揭露一用以儲存回復檢驗方法的計算機程序920的儲存媒體。圖10是表示依據(jù)本發(fā)明實施例的回復檢驗的計算機可讀取儲存媒體示意圖。此計算機程序產(chǎn)品包括一個可使用于計算機系統(tǒng)并含有計算機可讀取程序的儲存媒體90。計算機可讀取程序包含接收相應于工程變更請求提醒的回復邏輯921，依據(jù)提醒模板從回復中取得工程變更請求識別碼邏輯922，取得指出工程變更被接受或被拒絕的回復結(jié)果邏輯923，依據(jù)回復結(jié)果決定相應于工程變更請求識別碼的工程變更請求記錄中的回復狀態(tài)邏輯924，傳遞回復結(jié)果至制造執(zhí)行系統(tǒng)邏輯925。
通知控制模塊22以及回復確認模塊23用以執(zhí)行機臺管理功能。圖11是依據(jù)本發(fā)明實施例的機臺管理方法流程圖。如步驟S1010，接收工程變更請求，此工程變更請求含有于一個晶圓批次上所施行的新工程作業(yè)的信息。如步驟S1020，產(chǎn)生包含工程變更請求信息的工程變更請求提醒。如步驟S1030，透過通訊裝置傳遞工程變更請求提醒至客戶端處理人員。如步驟S1040，接收相應于工程變更請求提醒的回復。如步驟S1050，借由偵測此回復來決定此工程變更請求為接受或拒絕的回復結(jié)果。如步驟S1060，傳遞回復結(jié)果至制造執(zhí)行系統(tǒng)，讓制造執(zhí)行系統(tǒng)得以指示至少一個制造機臺于晶圓批次上進行新工程作業(yè)。一個晶圓批次中至少一個半導體元件使用上述所揭露的方法來制造。
以上所述僅為本發(fā)明較佳實施例，然其并非用以限定本發(fā)明的范圍，任何熟悉本項技術的人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，可在此基礎上做進一步的改進和變化，因此本發(fā)明的保護范圍當以本申請的權(quán)利要求書所界定的范圍為準。
附圖中符號的簡單說明如下11處理單元
12存儲器13儲存裝置14輸入裝置15輸出裝置16通訊裝置17總線21工程變更請求產(chǎn)生模塊22通知控制模塊23回復確認模塊S311、S321、…、S362、S371流程步驟41通知區(qū)42反饋區(qū)43a、…、43q插入點51通知區(qū)52反饋區(qū)53a、…、53q插入點61通知區(qū)62反饋區(qū)63a、…、63q插入點71a、…、71g插入點80儲存媒體820工程變更提醒計算機程序821接收工程變更請求記錄邏輯822決定是否需要發(fā)出提醒邏輯823產(chǎn)生及傳遞提醒邏輯824決定是否需要發(fā)出工程變更通知邏輯825產(chǎn)生及傳遞工程變更通知邏輯
826決定是否存在未處理的工程變更請求記錄邏輯S911、S921、S931、S941、S951流程步驟90儲存媒體920回復檢驗計算機程序921接收相應于工程變更請求提醒的回復邏輯922依據(jù)提醒模板從回復中取得工程變更請求識別碼邏輯923取得指出工程變更被接受或被拒絕的回復結(jié)果邏輯924依據(jù)回復結(jié)果決定相應于工程變更請求識別碼的工程變更請求記錄中的回復狀態(tài)邏輯925傳遞回復結(jié)果至制造執(zhí)行系統(tǒng)邏輯S1010、S1020、S1030、S1040、S1050、S1060流程步驟
權(quán)利要求
1.一種制造管理系統(tǒng)，所述制造管理系統(tǒng)包括一個通訊裝置；以及一個處理單元用以接收一個含有將于一個晶圓批次執(zhí)行一個新工程作業(yè)的工程變更請求，產(chǎn)生含有上述工程變更請求的一個工程變更請求提醒，透過上述通訊裝置傳遞上述工程變更請求提醒至一客戶端處理人員，接收相應于上述工程變更請求提醒的一個回復，借由偵測上述回復決定上述工程變更請求是否被接受的一個回復結(jié)果，以及傳遞上述回復結(jié)果至一個制造執(zhí)行系統(tǒng)，使得上述制造執(zhí)行系統(tǒng)得以指示至少一部制造機臺于上述晶圓批次上執(zhí)行上述新工程作業(yè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造管理系統(tǒng)，其特征在于更包括一個儲存裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造管理系統(tǒng)，其特征在于上述儲存裝置儲存一個提醒模板，上述處理單元根據(jù)上述提醒模板產(chǎn)生上述工程變更請求提醒，以及根據(jù)上述提醒模板取得上述回復結(jié)果。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造管理系統(tǒng)，其特征在于上述處理單元更產(chǎn)生一筆工程變更請求記錄，以及儲存上述工程變更記錄至上述儲存裝置，其中，上述工程變更請求記錄包含一個回復狀態(tài)、一個到期日以及一個生效條件，上述回復狀態(tài)指出上述工程變更請求尚未回復，以及上述生效條件指出，若此時超過上述到期日且上述工程變更請求尚未回復時，則接受上述工程變更請求。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制造管理系統(tǒng)，其特征在于上述處理單元更于偵測到上述工程變更請求記錄后產(chǎn)生含有上述工程變更請求的一個工程變更通知，以及透過上述通訊裝置傳遞上述工程變更通知至上述客戶端操作人員。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制造管理系統(tǒng)，其特征在于上述儲存裝置儲存一個工程變更通知模板。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造管理系統(tǒng)，其特征在于上述處理單元更產(chǎn)生一個工程變更請求記錄以及儲存上述工程變更請求記錄至上述儲存裝置，其中，上述工程變更請求記錄包含一個回復狀態(tài)，上述回復狀態(tài)指出上述工程變更請求尚未回復。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造管理系統(tǒng)，其特征在于上述儲存裝置用以儲存一個提醒模板，根據(jù)上述提醒模板產(chǎn)生上述工程變更請求提醒，以及根據(jù)上述提醒模板取得上述回復結(jié)果。
9.一種制造管理方法，由一部計算機執(zhí)行，所述制造管理方法包括上述計算機接收一個含有將于一個晶圓批次執(zhí)行一個新工程作業(yè)的工程變更請求；上述計算機產(chǎn)生含有上述工程變更請求的一個工程變更請求提醒；上述計算機透過一個通訊裝置傳遞上述工程變更請求提醒至一客戶端處理人員；上述計算機接收相應于上述工程變更請求提醒的一個回復；上述計算機借由偵測上述回復決定上述工程變更請求是否被接受的一個回復結(jié)果；以及上述計算機傳遞上述回復結(jié)果至一個制造執(zhí)行系統(tǒng)，使得上述制造執(zhí)行系統(tǒng)得以指示至少一部制造機臺于上述晶圓批次上執(zhí)行上述新工程作業(yè)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制造管理方法，其特征在于更包括上述計算機產(chǎn)生一個工程變更請求記錄，上述工程變更請求記錄包含指出上述工程變更請求尚未被回復的回復狀態(tài)；以及上述計算機儲存上述工程變更請求記錄至上述計算機中的一個儲存裝置。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種制造管理系統(tǒng)及方法，所述半導體制造管理系統(tǒng)，包括一個處理單元接收含有將于一個晶圓批次執(zhí)行新工程作業(yè)的工程變更請求，產(chǎn)生含有工程變更請求的工程變更請求提醒，透過通訊裝置傳遞工程變更請求提醒至一客戶端處理人員，接收相應于工程變更請求提醒的回復，借由偵測回復決定工程變更請求是否被接受的回復結(jié)果，以及傳遞回復結(jié)果至一個制造執(zhí)行系統(tǒng)。本發(fā)明所述制造管理系統(tǒng)及方法可以縮短工作時間，降低錯誤率，進而提高工作效率。
文檔編號G06Q10/00GK1786998SQ200510073529
公開日2006年6月14日 申請日期2005年6月2日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月6日
發(fā)明者黃承渠, 丁友貞, 李啟豪 申請人:臺灣積體電路制造股份有限公司