專利名稱：：晶圓特性測試中探針卡測試儀和探針卡使用量的計數(shù)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種測試設(shè)備，尤其是一種晶圓特性測試中探針卡測試儀。本發(fā)明還設(shè)計一種晶圓特性測試中探針卡使用量的計數(shù)方法。
背景技術(shù)：
：在集成電路元器件測試過程中，經(jīng)常要用到探針對晶圓進(jìn)行測試?，F(xiàn)在使用的探針都是包裝在探針卡上的，探針卡用完之后需要及時更換，從而使測試工作能夠順利進(jìn)行?，F(xiàn)行的探針卡用量的計數(shù)系統(tǒng)如圖1所示，該系統(tǒng)是在探針卡測試儀外部建立探針卡用量計數(shù)數(shù)據(jù)庫，該數(shù)據(jù)庫直接與探針臺通信、接受數(shù)據(jù)，該數(shù)據(jù)庫中的內(nèi)容如表1所示，其預(yù)先設(shè)定產(chǎn)品類別及其所使用的探針卡型號和每次的用量等字段，通過從探針臺測試后得到的晶圓枚數(shù)與每次用量的乘積來實現(xiàn)對該探針卡實際用量的計數(shù)。<table>tableseeoriginaldocumentpage4</column></row><table>但是，該計數(shù)方法的準(zhǔn)確性完全建立在產(chǎn)品必須使用相同的測試條件(即相同的探針卡用量)的基礎(chǔ)上，若產(chǎn)品不斷變更測試條件，不同條件下探針卡的實際用量會因數(shù)據(jù)庫中探針卡用量字段設(shè)定的固定數(shù)值無法得到準(zhǔn)確的計算。即便在該數(shù)據(jù)庫中增加與產(chǎn)品類別關(guān)聯(lián)的測試條件字段來計算探針卡用量，也會因不同情況下測試條件的不斷變換而需經(jīng)常維護(hù)數(shù)據(jù)庫(修改探針卡用量的設(shè)定值)使整個計數(shù)過程無法適合實際生產(chǎn)需要。例如，在表1中，產(chǎn)品AAA事先設(shè)定了探針卡用量的次數(shù)50次，但若產(chǎn)品AM需經(jīng)常使用2個作業(yè)條件，其探針卡用量分別對應(yīng)為50次和100次，按照數(shù)據(jù)庫中探針卡用量的設(shè)定值，探針卡實際用量只能按照50次進(jìn)行計數(shù)。這就導(dǎo)致探針卡用量的計數(shù)不準(zhǔn)確，而探針卡是有一定的使用壽命的，如果探針卡的使用超過了使用壽命，就會影響測試效果；如果探針卡的使用尚未達(dá)到使用壽命就進(jìn)行了更換，又會造成浪費。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種晶圓特性測試中探針卡測試儀，以及采用上述探測卡測試儀實現(xiàn)的探針卡使用量的計數(shù)方法，能夠按照當(dāng)前測試條件的信息實時、正確的計算探針卡的用量。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明晶圓特性測試中探針卡測試儀的技術(shù)方案是，包括探針卡用量數(shù)據(jù)庫和測試條件數(shù)據(jù)庫，所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫中包含有探針卡型號信息，以及與所述探針卡型號相對應(yīng)的累計使用量信息；所述測試條件數(shù)據(jù)庫中包含有探針卡型號信息，以及與所述探針卡型號信息相對應(yīng)的各種測試條件的信息，以及與所述各種測試條件信息相對應(yīng)的在該測試條件下探針卡單次使用量的信息；所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫與所述測試條件數(shù)據(jù)庫通過探針卡型號信息相互關(guān)聯(lián)。本發(fā)明還提供了一種利用上述的晶圓特性測試中探針卡測試儀實現(xiàn)的晶圓特性測試中探針卡使用量的計數(shù)方法，其技術(shù)方案是，所述測試儀取得所述測試條件信息以及所使用的探針卡型號的信息，根據(jù)所述測試條件信息和所使用的探針卡型號的信息在所述測試條件數(shù)據(jù)庫中查詢到所述探針卡單次使用量的信息，然后通過所述探針卡型號的信息關(guān)聯(lián)到所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫，所述探針卡單次使用量乘以測試的晶圓數(shù)量就得到探針卡的實際使用量，對所述探針卡的實際使用量進(jìn)行累計，得到累計使用量信息，將所述累計使用量信息根據(jù)探針卡型號信息對應(yīng)的存儲到所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫中。本發(fā)明按照實際使用條件客觀地統(tǒng)計了探針卡的使用次數(shù)，起到了有效監(jiān)控探針卡使用狀態(tài)的作用，配合探針卡的定期維護(hù)和使用壽命管理，提高了自動化生產(chǎn)中探針卡的管理水平。下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明圖1為現(xiàn)有的探針卡測試系統(tǒng)的示意圖；圖2為采用本發(fā)明探針卡測試儀的測試系統(tǒng)的示意圖。具體實施例方式本發(fā)明晶圓特性測試中探針卡測試儀，包括探針卡用量數(shù)據(jù)庫和測試條件數(shù)據(jù)庫，所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫中包含有探針卡型號信息，以及與所述探針卡型號相對應(yīng)的累計使用量信息；所述測試條件數(shù)據(jù)庫中包含有探針卡型號信息，以及與所述探針卡型號信息相對應(yīng)的各種測試條件的信息，以及與所述各種測試條件信息相對應(yīng)的在該測試條件下探針卡單次使用量的信息；所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫與所述測試條件數(shù)據(jù)庫通過探針卡型號信息相互關(guān)聯(lián)。所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫中還包含有與所述探針卡型號相對應(yīng)的探針卡使用壽命的信息。所述測試條件數(shù)據(jù)庫還包括產(chǎn)品類別的信息，所述產(chǎn)品類別的信息與所述探針卡型號信息、測試條件信息以及探針卡單次使用量信息相互對應(yīng)。所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫內(nèi)數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)可參見表2所示:<table>tableseeoriginaldocumentpage7</column></row><table>表2所述測試條件數(shù)據(jù)庫內(nèi)數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)可參見表3所示:<table>tableseeoriginaldocumentpage7</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage8</column></row><table>本發(fā)明晶圓特性測試中探針卡測試儀在使用時如圖2所示，所述探針卡測試儀連接到探針臺上，及時獲取諸如晶圓數(shù)量、測試條件等的各種需要的數(shù)據(jù)信息。本發(fā)明還提供了一種利用上述晶圓特性測試中探針卡測試儀實現(xiàn)的晶圓特性測試中探針卡使用量的計數(shù)方法，所述測試儀取得所述測試條件信息以及所使用的探針卡型號的信息，根據(jù)所述測試條件信息和所使用的探針卡型號的信息在所述測試條件數(shù)據(jù)庫中査詢到所述探針卡單次使用量的信息，然后通過所述探針卡型號的信息關(guān)聯(lián)到所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫，所述探針卡單次使用量乘以測試的晶圓數(shù)量就得到探針卡的實際使用量，對所述探針卡的實際使用量進(jìn)行累計，得到累計使用量信息，將所述累計使用量信息根據(jù)探針卡型號信息對應(yīng)的存儲到所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫中。所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫中相對應(yīng)的累計使用量信息大于或等于使用壽命信息時，所述探針卡測試儀發(fā)出更換探針卡的提示。所述測試儀取得所述測試條件信息以及所使用的探針卡型號的信息，并且還取得所述產(chǎn)品類別的信息，根據(jù)所述測試條件信息和所使用的探針卡型號的信息，以及產(chǎn)品類別的信息，在所述測試條件數(shù)據(jù)庫中査詢到所述探針卡單次使用量的信息。結(jié)合圖2、表2和表3的內(nèi)容，現(xiàn)舉一例說明本發(fā)明晶圓特性測試中探針卡使用量的計數(shù)方法的具體實施過程。所述探針卡測試儀獲取信息，得知探針卡型號為A卡，產(chǎn)品類別為AAA，測試條件為條件2，晶圓數(shù)量為7，所述探針卡測試儀在所述測試條件數(shù)據(jù)庫中査詢，得到單次使用量為50，經(jīng)過計算得到本次測試的實際使用量為單次使用量50X晶圓數(shù)量7=實際使用量350，在此之前，所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫中的A卡的累計使用量為500，因此探針卡測試儀就將探針卡用量數(shù)據(jù)庫中的A卡的累計使用量更新為500+350=850。當(dāng)累計使用量大于或等于使用壽命時，所述探針卡測試儀發(fā)出更換探針卡的提示。綜上所述，本發(fā)明按照實際使用條件客觀地統(tǒng)計了探針卡的使用次數(shù)，起到了有效監(jiān)控探針卡使用狀態(tài)的作用，配合探針卡的定期維護(hù)和使用壽命管理，提高了自動化生產(chǎn)中探針卡的管理水平。權(quán)利要求1.一種晶圓特性測試中探針卡測試儀，其特征在于，包括探針卡用量數(shù)據(jù)庫和測試條件數(shù)據(jù)庫，所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫中包含有探針卡型號信息，以及與所述探針卡型號相對應(yīng)的累計使用量信息；所述測試條件數(shù)據(jù)庫中包含有探針卡型號信息，以及與所述探針卡型號信息相對應(yīng)的各種測試條件的信息，以及與所述各種測試條件信息相對應(yīng)的在該測試條件下探針卡單次使用量的信息；所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫與所述測試條件數(shù)據(jù)庫通過探針卡型號信息相互關(guān)聯(lián)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓特性測試中探針卡測試儀，其特征在于，所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫中還包含有與所述探針卡型號相對應(yīng)的探針卡使用壽命的信息。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓特性測試中探針卡測試儀，其特征在于，所述測試條件數(shù)據(jù)庫還包括產(chǎn)品類別的信息，所述產(chǎn)品類別的信息與所述探針卡型號信息、測試條件信息以及探針卡單次使用量信息相互對應(yīng)。4.一種利用如權(quán)利要求1至3任意一項所述的晶圓特性測試中探針卡測試儀實現(xiàn)的晶圓特性測試中探針卡使用量的計數(shù)方法，其特征在于，所述測試儀取得所述測試條件信息以及所使用的探針卡型號的信息，根據(jù)所述測試條件信息和所使用的探針卡型號的信息在所述測試條件數(shù)據(jù)庫中査詢到所述探針卡單次使用量的信息，然后通過所述探針卡型號的信息關(guān)聯(lián)到所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫，所述探針卡單次使用量乘以測試的晶圓數(shù)量就得到探針卡的實際使用量，對所述探針卡的實際使用量進(jìn)行累計，得到累計使用量信息，將所述累計使用量信息根據(jù)探針卡型號信息對應(yīng)的存儲到所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫中。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓特性測試中探針卡使用量的計數(shù)方法，其特征在于，所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫中相對應(yīng)的累計使用量信息大于或等于使用壽命信息時，所述探針卡測試儀發(fā)出更換探針卡的提示。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓特性測試中探針卡使用量的計數(shù)方法，其特征在于，所述測試儀取得所述測試條件信息以及所使用的探針卡型號的信息，并且還取得所述產(chǎn)品類別的信息，根據(jù)所述測試條件信息和所使用的探針卡型號的信息，以及產(chǎn)品類別的信息，在所述測試條件數(shù)據(jù)庫中査詢到所述探針卡單次使用量的信息。全文摘要本發(fā)明公開了一種晶圓特性測試中探針卡測試儀，包括探針卡用量數(shù)據(jù)庫和測試條件數(shù)據(jù)庫，所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫與所述測試條件數(shù)據(jù)庫通過探針卡型號信息相互關(guān)聯(lián)。本發(fā)明還公開了一種利用上述探針卡測試儀實現(xiàn)的晶圓特性測試中探針卡使用量的計數(shù)方法，所述測試儀取得所述測試條件信息以及所使用的探針卡型號的信息，在所述測試條件數(shù)據(jù)庫中查詢到所述探針卡單次使用量的信息，然后通過所述探針卡型號的信息關(guān)聯(lián)到所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫，得到累計使用量信息，并進(jìn)行存儲。本發(fā)明按照實際使用條件客觀地統(tǒng)計了探針卡的使用次數(shù)，起到了有效監(jiān)控探針卡使用狀態(tài)的作用，配合探針卡的定期維護(hù)和使用壽命管理，提高了自動化生產(chǎn)中探針卡的管理水平。文檔編號G06F17/30GK101441625SQ20071009427公開日2009年5月27日申請日期2007年11月23日優(yōu)先權(quán)日2007年11月23日發(fā)明者偉戴申請人:上海華虹Nec電子有限公司