專利名稱：用于半導(dǎo)體制造自動(dòng)化的電子光掩模數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般來(lái)說(shuō)涉及一種電子光掩模數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)(electronic frame data management system, eFDMS)，且更具體地說(shuō)，涉及一種用于半導(dǎo)體制 造自動(dòng)化的eFDMS的系統(tǒng)和方法。
背景技術(shù)：
半個(gè)多世紀(jì)以來(lái)，集成電路(integrated circuit, IC)設(shè)計(jì)已從第一個(gè) 固態(tài)晶體管的發(fā)明發(fā)展到了當(dāng)今數(shù)百萬(wàn)晶體管電路。提供電路設(shè)計(jì)的這種顯著 進(jìn)展的是電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化(electronic design automation, EDA)行業(yè)。從 激烈競(jìng)爭(zhēng)的驅(qū)動(dòng)力到對(duì)摩耳定律的堅(jiān)持，EDA行業(yè)己提供了多種涵蓋大量規(guī)則 的技術(shù)革新。從硬件定義語(yǔ)言(hardware definition language, HDL)的發(fā) 明到半導(dǎo)體曝光系統(tǒng)的商品壽命的延長(zhǎng)，EDA行業(yè)己持續(xù)發(fā)展以滿足不斷增長(zhǎng) 的半導(dǎo)體行業(yè)需求。生產(chǎn)率、質(zhì)量和效率已成為EDA且特別是在與半導(dǎo)體制造 自動(dòng)化中的光掩模數(shù)據(jù)管理有關(guān)的"設(shè)計(jì)到制造"技術(shù)中各種改進(jìn)背后的主要 驅(qū)動(dòng)力。
參看圖1，用于管理具有(例如)GDS文件格式的光掩模制造數(shù)據(jù)的常規(guī) 方法包含下列步驟首先，在步驟S100處，在為光掩模制造之后，在工作站 處在門戶網(wǎng)站的網(wǎng)頁(yè)上在文本文件下且以附件文件格式存儲(chǔ)，所有數(shù)據(jù)不寫入 數(shù)據(jù)庫(kù)。接著，在步驟S102中，用戶可通過(guò)使用門戶網(wǎng)站來(lái)手動(dòng)下載多個(gè)文 本文件形式的光掩模配方數(shù)據(jù)，且下游用戶可通過(guò)手動(dòng)逐行搜索和數(shù)據(jù)傳送來(lái) 使用以上文本文件中所含有的數(shù)據(jù)。接著，在步驟S104中，在為工作站設(shè)置 新配方期間使用所述作為文本文件的光掩模制造數(shù)據(jù)的下游用戶將遇到數(shù)據(jù) 輸入錯(cuò)誤的風(fēng)險(xiǎn)，從而導(dǎo)致光掩模信息在機(jī)臺(tái)中的參數(shù)設(shè)定設(shè)置出現(xiàn)不準(zhǔn)確性 或偏差，導(dǎo)致產(chǎn)品出錯(cuò)。
在步驟S106中，在工作站處建立配方之后，如果需要檢查或改變當(dāng)前配
方設(shè)定，需要在機(jī)臺(tái)工作站的用戶界面處執(zhí)行手動(dòng)查詢或數(shù)據(jù)輸入，其中很可 能發(fā)生意外疏忽性輸入錯(cuò)誤。接著，在步驟S108中，將配方手動(dòng)輸入到工作
站中需要大量時(shí)間(每個(gè)配方通常花費(fèi)約7到8分鐘)，且還缺乏對(duì)所輸入的 產(chǎn)品配方的重復(fù)使用性。接著，在步驟S110中， 一旦產(chǎn)品配方被更新，用于 光掩模制造的所有歷史數(shù)據(jù)(包含新的和舊的)將被存儲(chǔ)在選定產(chǎn)品配方下， 且用戶很可能犯疏忽性錯(cuò)誤，例如下載并使用較舊版本的、不正確的配方數(shù)據(jù)。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問題，本發(fā)明提供一種用于半導(dǎo)體制造自動(dòng)化的電子光掩模數(shù)據(jù) 管理(eFDMS)的系統(tǒng)和方法，包含以下各項(xiàng)
1. 在完成光掩模之后，用eFDMS系統(tǒng)將數(shù)據(jù)傳送并存儲(chǔ)到第一數(shù)據(jù)庫(kù)(例 如MySQL數(shù)據(jù)庫(kù))中，以用于對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行集中管理，且用雙重核對(duì)UI檢查和 控制第一數(shù)據(jù)庫(kù)中的產(chǎn)品光掩模制造數(shù)據(jù)狀態(tài)以執(zhí)行產(chǎn)品光掩模制造數(shù)據(jù)管 理功能；
2. 使用動(dòng)態(tài)網(wǎng)站應(yīng)用技術(shù)(例如ASP.NET技術(shù))，其中光掩模制造數(shù)據(jù)同 步到在第二數(shù)據(jù)庫(kù)(Microsoft SQL數(shù)據(jù)庫(kù))下，且通過(guò)門戶網(wǎng)站的網(wǎng)頁(yè)提供 任何下游單位使用，其中所述下游單位無(wú)需手動(dòng)逐行搜索大量文本數(shù)據(jù)。另一 方面，僅需要選擇前述含有所需選項(xiàng)的網(wǎng)頁(yè)，以顯示所需選擇的信息。
3. 當(dāng)提供給下游用戶查詢功能時(shí)，eFDMS系統(tǒng)能夠獲得査詢結(jié)果以直接發(fā) 送，且輸出文檔格式可直接提供以便在機(jī)臺(tái)工作站使用，從而減少了人為失誤 所造成的手動(dòng)輸入錯(cuò)誤。
4. 將生成的產(chǎn)品配方存儲(chǔ)在第二數(shù)據(jù)庫(kù)中，且可遠(yuǎn)程在eFDMS系統(tǒng)上方便 地搜索用戶的歷史記錄，從而不需要在任何機(jī)臺(tái)工作站處搜索。
5. eFDMS系統(tǒng)自動(dòng)驗(yàn)證機(jī)制可執(zhí)行輸入過(guò)程設(shè)定的逐層準(zhǔn)確性驗(yàn)證。
6. 當(dāng)使用eFDMS系統(tǒng)時(shí)，默認(rèn)情況下，在每次搜索期間僅呈現(xiàn)產(chǎn)品最新版 本信息，從而將可能避免潛在的混亂。
以上用于半導(dǎo)體制造自動(dòng)化的電子光掩模數(shù)據(jù)管理(eFDMS)的系統(tǒng)和方 法能夠減少操作復(fù)雜性和周期時(shí)間，改善用戶界面友好性，并提供更好的數(shù)據(jù) 準(zhǔn)確性和產(chǎn)品質(zhì)量。


通過(guò)參考附圖來(lái)詳細(xì)描述本發(fā)明的示范性實(shí)施例，本發(fā)明的以上和其它特 征及優(yōu)勢(shì)將變得更明顯，在附圖中
圖1是說(shuō)明用于使用和管理光掩模制造數(shù)據(jù)的常規(guī)方法的流程圖。
圖2是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的用于半導(dǎo)體制造自動(dòng)化系統(tǒng)的eFDMS
的方框圖。
圖3是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的用于實(shí)施半導(dǎo)體制造自動(dòng)化的eFDMS 的方法的流程圖。
圖4是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的用于實(shí)施半導(dǎo)體制造自動(dòng)化的eFDMS 的方法的流程圖。
圖5是用于說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的可在黃光端口處獲得的操作的范 圍的大體工藝流程圖。
圖6說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的用于實(shí)施半導(dǎo)體制造自動(dòng)化的eFDMS的 WAT端口的工藝流程。
圖7說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的用于執(zhí)行eFDMS中的輸入過(guò)程設(shè)定的逐 層準(zhǔn)確性驗(yàn)證的方法。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)將參考附圖來(lái)描述本發(fā)明，附圖中繪示本發(fā)明的示范性實(shí)施例。然而， 本發(fā)明可以多種不同形式來(lái)實(shí)施，且不應(yīng)解釋為限于本文所陳述的實(shí)施例；而 是，提供這些實(shí)施例是為了使得本發(fā)明徹底且完整，且將本發(fā)明的概念完全傳 達(dá)給所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員。
在附圖中，每當(dāng)相同元件再次出現(xiàn)在隨后附圖中時(shí)，其由相同參考元件符 號(hào)表示。
為了便于理解，首先介紹一些有關(guān)術(shù)語(yǔ)。
"門戶網(wǎng)站，，是例如Internet Explorer 、 Netscape Navigator 、 Netscape Browser 、 Opera 、 Mozilla 、 Mozilla Firefox 等的網(wǎng)站瀏 覽器中的網(wǎng)頁(yè)、AdobeFlash —頁(yè)面或Adobe5110^^&￥6@頁(yè)面，其具有顯
示部分和用戶可執(zhí)行部分。
"服務(wù)器"是網(wǎng)站服務(wù)器、應(yīng)用服務(wù)器、對(duì)等服務(wù)器、數(shù)據(jù)庫(kù)服務(wù)器、移
動(dòng)服務(wù)器、代理服務(wù)器、重定向服務(wù)器或能處理eFDMS所需的必要功能性的任 何其它類似類型的裝置。
"工作站"是計(jì)算機(jī)、膝上型計(jì)算機(jī)、至少具有處理器、顯示器和存儲(chǔ)器 的裝置、桌上型計(jì)算機(jī)、大型計(jì)算機(jī)、PDA、黑莓型裝置、服務(wù)器、網(wǎng)站主機(jī) 或能執(zhí)行eFDMS下所需功能的任何其它類似類型的有線或無(wú)線聯(lián)網(wǎng)裝置。
"應(yīng)用程序"被界定為軟件程序、小java應(yīng)用程序(javaapplet)、 Java 應(yīng)用程序、activeX控制對(duì)象、Javascript對(duì)象、Vbscript對(duì)象、Microsoft ASP.NET網(wǎng)站服務(wù)或能提供一種或一種以上功能性的任何其它類似類型的軟件 對(duì)象。
"主程序"被界定為軟件程序、Java bean、 Microsoft ASP.NET網(wǎng)站服 務(wù)或能管理、相互作用且支持eFDMS系統(tǒng)的多個(gè)工作站和服務(wù)器的任何其它全 功能軟件解決方案。
"數(shù)據(jù)庫(kù)"被界定為經(jīng)設(shè)計(jì)以滿足一個(gè)或一個(gè)以上用戶的信息需要的邏輯 相關(guān)數(shù)據(jù)集合，且其包含商業(yè)和非商業(yè)數(shù)據(jù)庫(kù)，例如0racl^數(shù)據(jù)庫(kù)、 Microsoft Access 、 Microsoft SQL服務(wù)器、MySQL⑧數(shù)據(jù)庫(kù)、PostgreSQL、 Ingres 、 Firebird⑧數(shù)據(jù)庫(kù)、Berkeley DB Java版本、SQLite、 IBM Informix 數(shù)據(jù)庫(kù)和其它類似系統(tǒng)。
如本文中所使用，應(yīng)以開放式、非限制性方式來(lái)解釋詞"可"或"可為"。 在最小程度上，"可"和"可為"應(yīng)解釋為肯定包含所敘述的結(jié)構(gòu)或行為。
可在半導(dǎo)體鑄造中利用根據(jù)本發(fā)明第一到第五實(shí)施例的eFDMS系統(tǒng)，以用 于集成光掩模制造、光刻曝光和WAT測(cè)試過(guò)程以在EDA中形成集成自動(dòng)生產(chǎn)系 統(tǒng)。
上文所提到的三個(gè)生產(chǎn)過(guò)程，即用于ic半導(dǎo)體行業(yè)的鑄造中的光掩模制 造過(guò)程、光刻曝光過(guò)程和WAT測(cè)試過(guò)程，通常將使用相同的數(shù)據(jù)，且存在流水 線上下游單位關(guān)系，因此可共享的使用eFDMS系統(tǒng)。
根據(jù)本發(fā)明的第一到第五實(shí)施例，eFDMS的主要功能包含以下各項(xiàng)光掩 模制造數(shù)據(jù)管理、光掩模制造數(shù)據(jù)搜索/查詢和光掩模制造數(shù)據(jù)使用。根據(jù)本發(fā)明的第一到第五實(shí)施例，門戶網(wǎng)站可包含任何可能組合形式的以 下各項(xiàng)中任何一者或一者以上(在正常使用期間)供光刻部門或人員接入的 黃光端口；(在正常使用期間)供WAT部門或人員接入的WAT端口；和供光掩模
工廠接入的光掩模工廠端口 (本發(fā)明暫時(shí)閑置光掩模工廠端口，因?yàn)橥ǔ９庋?br> 模工廠為外包形式，不在公司內(nèi)部，這就涉及到Internet咨詢安全問題。且一 般光掩模工廠有多家，很難統(tǒng)一輸出文件的格式，所以建議通過(guò)另外渠道提供 標(biāo)準(zhǔn)格式的文件。當(dāng)然，也可以利用本發(fā)明的系統(tǒng)為每家光掩模公司提供其特 定格式的輸出資料文件)。
根據(jù)本發(fā)明的第一到第五實(shí)施例，采取由門戶網(wǎng)站的工作站為特定產(chǎn)品產(chǎn) 生配方，且將產(chǎn)生配方傳遞到機(jī)臺(tái)工作站的方式，來(lái)設(shè)計(jì)用戶界面。用戶界面 具有使用視窗型操作系統(tǒng)的人員所熟悉的各種界面特征。這些特征或圖形用戶 界面包含數(shù)據(jù)輸入框、下拉菜單、選擇按鈕和滾動(dòng)條。
第一實(shí)施例
參看圖2，根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的用于半導(dǎo)體制造自動(dòng)化的eFDMS包含 多個(gè)工作站2、多個(gè)入口網(wǎng)站4、 6(包括光掩模黃光入口 4/WAT入口 6/或光掩 模工廠入口)、 一個(gè)或一個(gè)以上服務(wù)器20、多個(gè)機(jī)器18和常駐在一個(gè)或一個(gè)以 上服務(wù)器20上的主程序10，圖2的運(yùn)作機(jī)制可參考以下敘述在Unix工作站 2制作光掩模后，系統(tǒng)會(huì)將光掩模數(shù)據(jù)都存入第一數(shù)據(jù)庫(kù)(MySQL) 12中，使 用Unix工作站2的UI來(lái)控制產(chǎn)品數(shù)據(jù)的狀態(tài)(Draft/Release/History)。第 一數(shù)據(jù)庫(kù)12的數(shù)據(jù)會(huì)定時(shí)同步到第二數(shù)據(jù)庫(kù)14中(Microsoft SQL)。其實(shí)， 若能僅使用一個(gè)數(shù)據(jù)庫(kù)(比如取消第一數(shù)據(jù)庫(kù)12，直接寫入第二數(shù)據(jù)庫(kù)14 Microsoft SQL)，可達(dá)到更佳效果，因?yàn)檫@樣就不需要執(zhí)行兩個(gè)數(shù)據(jù)庫(kù)的定時(shí) 同步了。然而，在建立此系統(tǒng)時(shí)，我們預(yù)先考慮到系統(tǒng)將設(shè)計(jì)為跨平臺(tái)式 (Unix/Windows):在Unix工作站2中MySQL通用性兼容性比較好且授權(quán)為免 費(fèi)，在Windows上則Microsoft SQL通用性兼容性較高。所以，最終考慮選擇 適用于兩種不同開發(fā)環(huán)境下相應(yīng)的數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行配合以達(dá)到方便系統(tǒng)程序的開 發(fā)以及保證數(shù)據(jù)的正確與穩(wěn)定目的。綜上所述，若不考慮通用性兼容性問題， 僅使用一個(gè)數(shù)據(jù)庫(kù)當(dāng)然是最好的。數(shù)據(jù)同步到第二數(shù)據(jù)庫(kù)之后，用戶通過(guò)網(wǎng)頁(yè)
使用的是第二數(shù)據(jù)庫(kù)14內(nèi)的數(shù)據(jù)。用戶在網(wǎng)頁(yè)上直接對(duì)第二數(shù)據(jù)庫(kù)14提供的
數(shù)據(jù)進(jìn)行操作，并將處理結(jié)果仍儲(chǔ)存在第二數(shù)據(jù)庫(kù)14內(nèi)，以供歷史査詢及機(jī)
臺(tái)生產(chǎn)使用。
參看圖3，其為說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的用于實(shí)施用于半導(dǎo)體制造自 動(dòng)化的電子光掩模數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)(eFDMS)的方法的流程圖，請(qǐng)同時(shí)參考圖2， 該方法包括以下步驟首先，在步驟S200中，將光掩模數(shù)據(jù)都存入具有高度 數(shù)據(jù)穩(wěn)定性、使用方便性和恰當(dāng)拓展性的第一數(shù)據(jù)庫(kù)(例如MySQL數(shù)據(jù)庫(kù))。 接著，在步驟S202中，使用Unix工作站2的UI來(lái)控制產(chǎn)品的狀態(tài)，在步驟 S204中，第一數(shù)據(jù)庫(kù)(MySQL數(shù)據(jù)庫(kù))以(例如)5分鐘的預(yù)定時(shí)間間隔使其 儲(chǔ)存的數(shù)據(jù)在第二數(shù)據(jù)庫(kù)(Microsoft SQL數(shù)據(jù)庫(kù))處自動(dòng)同步復(fù)制，從而允 許使用ASP. NET技術(shù)的入口網(wǎng)站處理來(lái)自第二數(shù)據(jù)庫(kù)(Microsoft SQL數(shù)據(jù)庫(kù)) 的數(shù)據(jù)，通過(guò)入口網(wǎng)站向用戶提供存取。接著，在步驟S206中，使用者通過(guò) 使用入口網(wǎng)站、因特網(wǎng)連接和網(wǎng)站瀏覽器，使用者(不必安裝任何額外軟件) 能從第二數(shù)據(jù)庫(kù)(例如Microsoft SQL數(shù)據(jù)庫(kù))處存取數(shù)據(jù)，該第二數(shù)據(jù)庫(kù)具
有較好的執(zhí)行效率。
在步驟S208中，用戶在網(wǎng)頁(yè)上直接對(duì)第二數(shù)據(jù)庫(kù)14提供的數(shù)據(jù)進(jìn)行操作。 接著，在步驟S210中，將處理結(jié)果儲(chǔ)存在第二數(shù)據(jù)庫(kù)14內(nèi)，以供歷史查詢及 機(jī)臺(tái)生產(chǎn)使用。
第二實(shí)施例
參看圖4，根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的用于實(shí)施半導(dǎo)體制造自動(dòng)化的光刻過(guò) 程的eFDMS的方法包含以下各項(xiàng) 1.數(shù)據(jù)管理
使用數(shù)據(jù)庫(kù)界面語(yǔ)言(例如Perl DBI)。 Perl DBI是用于Perl的數(shù)據(jù)庫(kù) 獨(dú)立界面。Perl DBI和Perl編程語(yǔ)言是標(biāo)準(zhǔn)API。 DBI定義一組參數(shù)、變量和 統(tǒng)一數(shù)據(jù)庫(kù)界面，其可滿足eFDMS的需要。Perl是實(shí)用摘錄和報(bào)告語(yǔ)言 (Practical Extraction and R印ort Language)的縮寫。此外，eFDMS的編 程可在UNIX環(huán)境下執(zhí)行。
首先，在步驟S301中，多個(gè)數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)在工作站(例如光刻工作站和光
掩模制造工作站)處的第一數(shù)據(jù)庫(kù)(MySQL數(shù)據(jù)庫(kù))處(使用UNIX系統(tǒng))。Perl 和DBI被用于將光掩模制造數(shù)據(jù)記錄到第一數(shù)據(jù)庫(kù)(MySQL數(shù)據(jù)庫(kù))中。接著， 在步驟S302中，在UNIX環(huán)境下執(zhí)行編程。在制造光掩模之后，主程序(其可 以perl書寫)自動(dòng)將數(shù)據(jù)寫入到第一數(shù)據(jù)庫(kù)(MySQL數(shù)據(jù)庫(kù))中。接著，在步 驟S303中，當(dāng)寫入數(shù)據(jù)時(shí)，主程序可自動(dòng)判斷是否已在第一數(shù)據(jù)庫(kù)中找到相 同產(chǎn)品，相同ID的"舊"數(shù)據(jù)，其中首先刪除第一數(shù)據(jù)庫(kù)中的所述相同產(chǎn)品， 相同ID的"舊"數(shù)據(jù)。接著，在步驟S304中，接著將"新"數(shù)據(jù)記錄到第一 數(shù)據(jù)庫(kù)中，且在步驟S305中，相同產(chǎn)品，不同ID的光掩模制造數(shù)據(jù)可以同時(shí) 存在。(本發(fā)明中，TD記錄的是產(chǎn)品的一系列關(guān)鍵信息，是唯一的。本發(fā)明的 設(shè)計(jì)是，相同產(chǎn)品中相同ID的數(shù)據(jù)可以被最新版的取代掉，但是相同產(chǎn)品中 不同ID的數(shù)據(jù)需要和最新版數(shù)據(jù)同時(shí)存在，以備參考或其他特定用途)。 2.產(chǎn)品配方狀態(tài)控制和管理
在步驟S306中，使用UNIX中的Tcl/Tk語(yǔ)言GUI且以perl DBI連接以與第一 數(shù)據(jù)庫(kù)(MySQL數(shù)據(jù)庫(kù))鏈接，以執(zhí)行工作站中的MySQL數(shù)據(jù)庫(kù)中的多個(gè)產(chǎn)品配 方的狀態(tài)更新，產(chǎn)品配方狀態(tài)控制和管理系統(tǒng)包含至少四個(gè)功能，即發(fā)表、廢 棄、檢索和移除，如下文所示 "發(fā)表"功能
在步驟S307中，將列出MySQL數(shù)據(jù)庫(kù)中的所有"草稿"列表中的產(chǎn)品光掩 模制造數(shù)據(jù)，且在選擇"(1)讀取文件"后，從列表中選擇所需產(chǎn)品光掩模制 造數(shù)據(jù)項(xiàng)；選擇"(2)選擇產(chǎn)品"；且最后選擇"(3)發(fā)表"以將產(chǎn)品狀態(tài)變 換到"正式發(fā)表"列表。 "廢棄"功能
在步驟S308中，產(chǎn)品配方狀態(tài)從"正式發(fā)表"列表變換到"歷史"列表， 從而不允許在門戶網(wǎng)站上顯示或公布該項(xiàng)數(shù)據(jù)。 "檢索"功能
在步驟S309中，產(chǎn)品配方狀態(tài)從"歷史"列表更新到"草稿"列表。 "移除"功能
在步驟S310中，從第一數(shù)據(jù)庫(kù)和第二數(shù)據(jù)庫(kù)處清除"歷史"列表中的經(jīng)確 認(rèn)的可永久刪除的產(chǎn)品光掩模制造數(shù)據(jù)。 第三實(shí)施例
參看圖7，根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例，用于實(shí)施eFDMS的主程序中包含用 于執(zhí)行輸入過(guò)程設(shè)定的逐層準(zhǔn)確性驗(yàn)證或用于在數(shù)據(jù)輸入期間檢驗(yàn)錯(cuò)誤的方 法?？蛇m用于產(chǎn)品發(fā)表GUI、產(chǎn)品廢棄GUI、產(chǎn)品檢索GUI和產(chǎn)品移除GUI中， 用以確保正確的輸入次序的前述方法描述為如下首先，在步驟S401中，必 須先選擇"讀取文件"，否則系統(tǒng)產(chǎn)生提示來(lái)要求選擇。接著，在步驟S402中， 必須在讀到的產(chǎn)品列表中選擇產(chǎn)品，否則系統(tǒng)產(chǎn)生第二提示來(lái)要求如此操作。 接著，在步驟S403中，選擇"發(fā)表"該產(chǎn)品信息或者"廢棄"該產(chǎn)品信息， 否則系統(tǒng)產(chǎn)生第三提示來(lái)要求如此操作。
在步驟S404中，在選擇"發(fā)表"之后，產(chǎn)品配方被變換到"正式發(fā)表"列 表中，為了防止相同產(chǎn)品、不同ID的新數(shù)據(jù)和舊數(shù)據(jù)同時(shí)被存儲(chǔ)在"正式發(fā)表" 列表，在步驟S405中，判斷對(duì)于"正式發(fā)表"列表中的產(chǎn)品配方是否已存在相 同產(chǎn)品、不同ID的"舊"數(shù)據(jù)；如果發(fā)現(xiàn)答案為"是"，那么在步驟S406中， 主程序接著要求用戶將該"舊"數(shù)據(jù)變換到"歷史"列表中，此后在步驟S407 中，允許發(fā)表新版本的產(chǎn)品光掩模制造數(shù)據(jù)。且如果發(fā)現(xiàn)答案為"否"，那么 在步驟S407中，直接允許新的產(chǎn)品光掩模制造數(shù)據(jù)變換到"正式發(fā)表"列表中。
以上步驟1到3可適用于產(chǎn)品發(fā)表GUI、產(chǎn)品廢棄GUI、產(chǎn)品檢索GUI和產(chǎn)品
移除GUI中。
參考圖5，黃光端口25包括一系列功能，其使用多個(gè)菜單按鈕，即新建按 鈕30、更新按鈕32、復(fù)制按鈕34、報(bào)表按鈕36和廢棄按鈕38。黃光端口25進(jìn)一 步包括配方列表40、多個(gè)配方操作42和配方下載功能44。
根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例，黃光端口25可包含被稱為"PU類型"的項(xiàng)。當(dāng) 選擇了各種不同PU類型中的一者(例如，KSCAN、 ILSTEP、 OLSTEP)時(shí)，可產(chǎn) 生具有不同格式的產(chǎn)品配方并將其存儲(chǔ)在第二數(shù)據(jù)庫(kù)中，用戶能下載門戶網(wǎng)站 中的報(bào)表頁(yè)面中的所需產(chǎn)品配方，以提供給機(jī)臺(tái)工作站使用。
第四實(shí)施例
參看圖6，根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的用于實(shí)施半導(dǎo)體制造自動(dòng)化的eFDMS的
WAT端口的工藝流程包括以下步驟首先，在步驟S501中，開始登錄。接著， 在步驟S502中，搜索所需產(chǎn)品配方。接著，在步驟S503中，通過(guò)按壓"初始" 按鈕來(lái)初始化產(chǎn)品配方。接著，在步驟S504中，通過(guò)選擇"加載"按鈕來(lái)加載 曝光偏移量(map shot offset)。接著，在步驟S505中，選擇多個(gè)測(cè)試芯片 (testkey)。接著，在步驟S506中，選擇"提交"按鈕。接著，在步驟S507中， 完成并查看測(cè)試芯片配方表。接著，在步驟S508中，查看測(cè)試芯片歷史的歷史 列表，且在步驟S509中，以電子表格文件格式(例如EXCEL文件格式)輸出WAT 產(chǎn)品配方。
第五實(shí)施例
根據(jù)本發(fā)明的第五實(shí)施例，大約30到40層光掩模用于特定產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò) 程，(更高階的產(chǎn)品會(huì)包含更多層光掩模)。其中每層光掩模需要一種產(chǎn)品配 方。結(jié)果，在第五實(shí)施例中產(chǎn)生30到40種配方。與使用手動(dòng)方法時(shí)相比，在30 到40種配方上實(shí)施eFDMS方法能節(jié)約40X到60X的設(shè)置時(shí)間量。根據(jù)本發(fā)明的 第五實(shí)施例，其可僅需要約3小時(shí)來(lái)設(shè)置30到40種配方。另外，還可為下游用 戶實(shí)現(xiàn)額外縮短的周期時(shí)間，因?yàn)椴槐貙?duì)配方設(shè)定進(jìn)行人工雙重核對(duì)。
所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員易于了解，在不脫離本發(fā)明的范圍或精神的情況下可 對(duì)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)作出各種修改和變化。鑒于前述內(nèi)容，希望本發(fā)明涵蓋本發(fā)明 的修改和變化，只要其屬于所附權(quán)利要求書和其等效物的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種用于半導(dǎo)體制造自動(dòng)化的電子光掩模數(shù)據(jù)管理方法，包括傳送多個(gè)數(shù)據(jù)并將其存儲(chǔ)到第一數(shù)據(jù)庫(kù)中；在完成光掩模制造數(shù)據(jù)處理之后，通過(guò)使用雙重核對(duì)UI來(lái)檢查和控制所述第一數(shù)據(jù)庫(kù)中的光掩模制造數(shù)據(jù)的狀態(tài)；通過(guò)門戶網(wǎng)站直觀地、有篩選并有整理地呈現(xiàn)所述光掩模制造數(shù)據(jù)，其中用戶不需要執(zhí)行大量文本數(shù)據(jù)的人工搜索；具有提供特定格式產(chǎn)品配方的功能，該產(chǎn)品配方可以在機(jī)臺(tái)工作站處直接使用；在第二數(shù)據(jù)庫(kù)處同步復(fù)制來(lái)自服務(wù)器處的所述第一數(shù)據(jù)庫(kù)中的所述光掩模制造數(shù)據(jù)，并存儲(chǔ)來(lái)自所述每個(gè)工作站產(chǎn)生的所述產(chǎn)品配方；遠(yuǎn)程查詢所述工作站的多個(gè)歷史記錄；以及確保僅正確呈現(xiàn)所述產(chǎn)品配方的最新版本數(shù)據(jù)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的方法，其特征在于，進(jìn)一步包括 選擇并呈現(xiàn)包括所需選項(xiàng)的所述門戶網(wǎng)站的網(wǎng)頁(yè)，其中自動(dòng)獲得并顯示所需選項(xiàng)；獲得針對(duì)所述第一數(shù)據(jù)庫(kù)的多個(gè)請(qǐng)求結(jié)果，且向用戶提供多種請(qǐng)求能 力；以及執(zhí)行所述輸入過(guò)程設(shè)定的多個(gè)逐層準(zhǔn)確性驗(yàn)證。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述輸入過(guò)程設(shè)定的所述逐 層準(zhǔn)確性驗(yàn)證包括在選擇"讀取檔"之前，通過(guò)第一提示來(lái)提示用戶正確操作順序； 在選擇列表中選擇所需產(chǎn)品配方之前，通過(guò)第二提示來(lái)提示用戶正確操作 順序；在選"選擇"選項(xiàng)之前，通過(guò)第三提示來(lái)提示用戶正確操作順序； 將產(chǎn)品光掩模制造數(shù)據(jù)狀態(tài)從"草稿"列表改變到"正式發(fā)表"列表時(shí)， 為了防止相同產(chǎn)品、不同ID的新數(shù)據(jù)和舊數(shù)據(jù)同時(shí)存在于"正式發(fā)表"列表， 處于可查訊狀態(tài)，系統(tǒng)自動(dòng)判斷"正式發(fā)表"列表中是否已存在相同產(chǎn)品不 同ID的舊數(shù)據(jù)，其中如果是，那么系統(tǒng)將要求用戶把舊數(shù)據(jù)狀態(tài)改變到"歷 史"列表中，然后才允許發(fā)表新數(shù)據(jù)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一數(shù)據(jù)庫(kù)是MySQL數(shù) 據(jù)庫(kù)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二數(shù)據(jù)庫(kù)是Microsoft SQL數(shù)據(jù)庫(kù)，且ASP.NET技術(shù)經(jīng)配置以用于所述工作站的每一處的數(shù)據(jù)傳送和 管理功能。
6. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的方法，其特征在于，第二數(shù)據(jù)庫(kù)以5分鐘間隔來(lái) 連續(xù)自動(dòng)同步復(fù)制在所述第一數(shù)據(jù)庫(kù)處的所述數(shù)據(jù)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的方法，其特征在于，所述入U(xiǎn)網(wǎng)站是光掩模黃光 入口、 WAT入口或光掩模工廠入口。
8. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的方法，其特征在于，所述門戶網(wǎng)站的網(wǎng)頁(yè)包括多 個(gè)圖形用戶界面。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述圖形用戶界面選自由一 個(gè)或一個(gè)以上數(shù)據(jù)輸入框、下拉菜單、選擇按鈕和滾動(dòng)條構(gòu)成的群組。
10. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的方法，其特征在于，所述第一數(shù)據(jù)庫(kù)通過(guò)使用 perl和DBI而將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在所述工作站處。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，用于所述門戶網(wǎng)站的所述產(chǎn)品光掩模制造數(shù)據(jù)狀態(tài)控制和管理系統(tǒng)的多個(gè)功能包括發(fā)表，其中所述產(chǎn)品光掩模制造數(shù)據(jù)發(fā)表到正式發(fā)表列表；廢棄，其中所述產(chǎn)品光掩模制造數(shù)據(jù)狀態(tài)從發(fā)表列表變換到歷史列表，從而不允許顯示或公布所述數(shù)據(jù)；回收，其中所述產(chǎn)品光掩模制造數(shù)據(jù)狀態(tài)從所述歷史列表更新到草稿列表；以及移除，歷史列表中所述的經(jīng)確認(rèn)可永久刪除的產(chǎn)品光掩模制造數(shù)據(jù)，其 狀態(tài)從所述第一數(shù)據(jù)庫(kù)和所述第二數(shù)據(jù)庫(kù)處清除。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，主程序經(jīng)配置以執(zhí)行以下功傳送多個(gè)產(chǎn)品光掩模制造數(shù)據(jù)并將其存儲(chǔ)到第一數(shù)據(jù)庫(kù)中； 自動(dòng)判斷相同產(chǎn)品、相同ID的舊數(shù)據(jù)是否已存在于所述第一數(shù)據(jù)庫(kù)中， 其中如果存在，將刪除所述舊數(shù)據(jù)，且在所述第一數(shù)據(jù)庫(kù)中記錄所述新數(shù)據(jù)。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，對(duì)于相同產(chǎn)品、不同ID的 舊數(shù)據(jù)和新數(shù)據(jù)，由產(chǎn)品不同狀態(tài)來(lái)控制。
14. 一種根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于所述門戶M站的黃光端口，其包括 新建配方按鈕，其中點(diǎn)選該新建配方按鈕，以新建該產(chǎn)品的機(jī)臺(tái)配方； 更新配方按鈕，其中點(diǎn)選該更新配方按鈕以更新該產(chǎn)品已經(jīng)建立的配方； 復(fù)制配方按鈕，其中點(diǎn)選該復(fù)制配方按鈕以復(fù)制該產(chǎn)品相似配方于新建配方中；報(bào)表按鈕，其中點(diǎn)選該報(bào)表按鈕以查看該產(chǎn)品配方報(bào)表； 廢棄按鈕，其中點(diǎn)選該廢棄按鈕以廢棄該產(chǎn)品配方； 配方列表，其中配方列表用于列舉該產(chǎn)品配方；多個(gè)配方操作，其中該多個(gè)配方操作用于操作該產(chǎn)品配方；以及 配方下載功能，其中該配方下載功能用于下載該產(chǎn)品配方。
15. —種根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于所述門戶網(wǎng)站的WAT端口的方法，其包括開始登錄；搜索所需產(chǎn)品；載入曝光偏移量；選擇多個(gè)測(cè)試芯片；點(diǎn)選提交菜單按鈕；完成并査看測(cè)試芯片配方表； 查看最新選擇提交的測(cè)試芯片的歷史列表；以及以特定格式輸出WAT配方。
全文摘要
本發(fā)明提供一種用于半導(dǎo)體制造自動(dòng)化的電子光掩模數(shù)據(jù)管理的系統(tǒng)和方法。其包含以下功能步驟傳送數(shù)據(jù)，并將其存儲(chǔ)到第一數(shù)據(jù)庫(kù)中；通過(guò)雙重核對(duì)UI來(lái)查看及設(shè)置光掩模制造數(shù)據(jù)的狀態(tài)；通過(guò)數(shù)據(jù)庫(kù)鏡像復(fù)制，將第一數(shù)據(jù)庫(kù)中數(shù)據(jù)定時(shí)同步到第二數(shù)據(jù)庫(kù)；通過(guò)網(wǎng)頁(yè)直觀地將自動(dòng)篩選整理過(guò)的各項(xiàng)光掩模制造數(shù)據(jù)呈現(xiàn)出來(lái)，而無(wú)需人工從文件中逐行搜索大量數(shù)據(jù)；通過(guò)系統(tǒng)生成的結(jié)果文檔(產(chǎn)品配方)可提供生產(chǎn)機(jī)臺(tái)直接使用；對(duì)于結(jié)果文檔提供歷史查詢功能；結(jié)果文檔正式生效之前，系統(tǒng)自動(dòng)執(zhí)行配方的制程正確性驗(yàn)證；系統(tǒng)確保只呈現(xiàn)產(chǎn)品最新版本的光掩模數(shù)據(jù)。
文檔編號(hào)G06Q10/00GK101183442SQ20071010265
公開日2008年5月21日 申請(qǐng)日期2007年4月25日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月17日
發(fā)明者彭明鈞, 喆 許 申請(qǐng)人:和艦科技(蘇州)有限公司