專利名稱：半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理方法與系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種統(tǒng)計(jì)制程管制方法，且特別是涉及一種半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(Engineering Data Warehouse,簡稱為EDW)的處理方法與系 統(tǒng)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)今的12吋半導(dǎo)體廠為了生產(chǎn)資源共享的考慮，會將多個半導(dǎo)體的生 產(chǎn)動線予以機(jī)動調(diào)整混合，故一批晶片在A晶片廠進(jìn)入自動搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS ) 以在各機(jī)臺執(zhí)行制程時，可能需移動至B晶片廠的機(jī)臺執(zhí)行制程，而實(shí)際上 A晶片與B晶片廠為兩個獨(dú)立不相關(guān)的實(shí)體工廠。若再加上其它備援晶片廠， 則所有晶片廠可組合而成一個半導(dǎo)體廠生產(chǎn)聚落(Multi-Fab Cluster),如 圖1所示。在生產(chǎn)聚落中，與工程數(shù)據(jù)查詢與分析相關(guān)的技術(shù)因?yàn)榻Y(jié)構(gòu)上的復(fù)雜性 而衍生出不同問題。就工程數(shù)據(jù)分斗斤(Engineering Data Analysis,以下簡稱為EDA)而 言，每一晶片廠內(nèi)都有一套EDA系統(tǒng)，其用于提供晶片在制品(Wafer In Process,簡稱為WIP)、測量數(shù)據(jù)、機(jī)臺狀態(tài)...等數(shù)據(jù)查詢。然而，當(dāng)晶片 批量在各晶片廠交互運(yùn)行的過程中，若制程數(shù)據(jù)沒有經(jīng)過適當(dāng)?shù)恼恚瑢?產(chǎn)生如下問題。以晶片角度來看，若某批晶片在晶片廠A、 B交互運(yùn)行，但晶片廠A與 B都只有該批晶片與測量的片段數(shù)據(jù)。以產(chǎn)品良率分析來看，必須要能取得 該批晶片的全部生產(chǎn)歷程，才能前后關(guān)聯(lián)性間相互影響的完整數(shù)據(jù)。以設(shè)備 的角度來看，因某一晶片廠的設(shè)備負(fù)責(zé)制造或測量來自其它晶片廠的晶片， 所以各晶片廠的數(shù)據(jù)也必須反饋到該設(shè)備所在的數(shù)據(jù)倉儲，否則將無法完整 分析該設(shè)備的效能。以產(chǎn)品的角度來看，某一制程產(chǎn)品可能同時在晶片廠A、 B、 C都有數(shù)據(jù)，如要針對該制程產(chǎn)品做全面分析，則無法僅根據(jù)某個晶片廠 的EDA結(jié)果來得到完整數(shù)據(jù)。為了解決上述問題，各晶片廠的EDA數(shù)據(jù)庫仍僅儲存各晶片廠的實(shí)際執(zhí)行數(shù)據(jù)，即真正有在某一晶片廠的制造執(zhí)行系統(tǒng)(Manufacturing Execution System,簡稱為MES )執(zhí)行過的晶片批量才會產(chǎn)生制程數(shù)據(jù)，這樣可不必修 改相關(guān)硬件結(jié)構(gòu)，但卻無法完全解決上述問題，且應(yīng)用系統(tǒng)因?yàn)樾枰黾舆B 接不同數(shù)據(jù)庫的功能，同時讓使用者自已決定要去哪個晶片廠的數(shù)據(jù)庫找尋 數(shù)據(jù)，故會增加軟件層面的困難度。另 一方面，可將多廠聚落的各個數(shù)據(jù)庫完全復(fù)制到另 一集中的超大型數(shù) 據(jù)庫，而各應(yīng)用系統(tǒng)可向該超大型數(shù)據(jù)庫查詢完整數(shù)據(jù)。但其缺點(diǎn)為硬件成 本太高，且當(dāng)再擴(kuò)充晶片廠時，中央數(shù)據(jù)庫必須做相對應(yīng)的擴(kuò)充，這樣在執(zhí) 行效能上可能發(fā)生瓶頸，另外，在數(shù)據(jù)復(fù)制的過程中，相同數(shù)據(jù)的重復(fù)性太 高而導(dǎo)致判斷上的困難。因此，本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理方法與系統(tǒng)。發(fā)明內(nèi)容基于上述目的，本發(fā)明實(shí)施例披露了一種半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的 處理系統(tǒng)，包括一事實(shí)表派工器、 一維度表派工器、 一第一電子傳遞層、一 第二電子傳遞層、 一第一工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲、 一第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù) 倉儲以及一代理主機(jī)。該代理主機(jī)收到與一晶片批量相關(guān)的交易數(shù)據(jù)，根據(jù) 該交易數(shù)據(jù)與該晶片批量的母廠編號，利用該事實(shí)表派工器或該維度表派工 器，并經(jīng)由該第一或第二電子傳遞層將該交易數(shù)據(jù)加載該第一或第二工程數(shù) 據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲。本發(fā)明實(shí)施例還披露了 一種半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理方法，其 適用于一半導(dǎo)體聚落，其中該半導(dǎo)體聚落至少包括一第一晶片廠與一第二晶 片廠。該第一晶片廠至少包括一代理主機(jī)、 一事實(shí)表派工器、 一維度表派工 器、 一第一電子傳遞層與一第一EDA數(shù)據(jù)倉儲。該第二晶片廠至少包括一第 二電子傳遞層與一第二EDA數(shù)據(jù)倉儲。通過該代理主機(jī)收到與一晶片批量相 關(guān)的交易數(shù)據(jù)，并且根據(jù)該交易數(shù)據(jù)與該晶片批量的母廠編號，利用該事實(shí) 表派工器或該維度表派工器，并經(jīng)由該第一或第二電子傳遞層將該交易數(shù)據(jù)加載該第一或第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲。

圖1顯示本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體聚落的示意圖。
圖2顯示本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理系統(tǒng)的結(jié) 構(gòu)示意圖。
圖3顯示本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理方法的步 驟流程圖。
附圖符號說明 110-代理主機(jī)
120-事實(shí)表派工器
130-維度表派工器
140-第一電子傳遞層
150-第二電子傳遞層
160 第一EDA數(shù)據(jù)倉儲
170 第二EDA數(shù)據(jù)倉儲
具體實(shí)施例方式
為了使本發(fā)明的目的、特征、及優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施 例，并結(jié)合圖2至圖3，做詳細(xì)的說明。本發(fā)明說明書提供不同的實(shí)施例來 說明本發(fā)明不同實(shí)施方式的技術(shù)特征。其中，實(shí)施例中的各組件的配置為說 明之用，并非用以限制本發(fā)明。且實(shí)施例中附圖符號的部分重復(fù)，是為了簡 化說明，并非意指不同實(shí)施例的間的關(guān)4關(guān)性。
本發(fā)明實(shí)施例披露了一種半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理方法與系統(tǒng)。
本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理方法與系統(tǒng)是當(dāng)一 晶片廠在MES或其它前端交易(Transaction)系統(tǒng)(例如，Defect、 WAT、 CP、 AT...等等)接收某一晶片批量的數(shù)據(jù)時，刺用一代理主機(jī)(以下簡稱為 Proxy)統(tǒng)一判斷該晶片批量的母廠為何。當(dāng)該晶片批量的母廠編號與該晶 片廠的編號相同時(即，該晶片廠為該晶片批量的母廠)，則由該晶片廠的 電子傳遞層(Electron Transport Layer,以下簡稱為ETL )將該晶片批量 的制程數(shù)據(jù)加載其EDA數(shù)據(jù)倉儲。若該晶片母廠編號與該晶片廠的編號不相同，則利用該P(yáng)roxy將該晶片批量的制程數(shù)據(jù)傳送給該晶片批量的母廠所屬 的ETL，并同步由該母廠的ETL與該晶片廠的ETL加載所屬的EDA數(shù)據(jù)倉儲。 此外，利用該P(yáng)roxy將與該晶片批量相關(guān)的中繼數(shù)據(jù)(Meta Data)(即，與 全公司一致性的數(shù)據(jù)，例如，Product、 Route-Step、 Equipment、 Lot...等 等)復(fù)制到各晶片廠的EDA數(shù)據(jù)倉儲。
筒言之，該代理主機(jī)接收與一晶片批量相關(guān)的交易數(shù)據(jù)時，根據(jù)該交易 數(shù)據(jù)與該晶片批量的母廠編號，利用一事實(shí)表派工器或一維度表派工器，并
經(jīng)由第一或第二電子傳遞層將該交易數(shù)據(jù)加載第一或第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù) 據(jù)倉儲。
圖2顯示本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理系統(tǒng)的結(jié) 構(gòu)示意圖。
該處理系統(tǒng)包括一代理主才幾110、 一事實(shí)表派工器(Fact Table Dispatcher) 120、 一維度表派工器(Dimension Table Dispatcher) 130、 一第一電子傳遞層140、 一第二電子傳遞層150、 一第一 EDA數(shù)據(jù)倉儲160 與一第二EDA數(shù)據(jù)倉儲170。代理主機(jī)110、事實(shí)表派工器120、維度表派工 器130、第一電子傳遞層140與第一EDA數(shù)據(jù)倉儲160設(shè)置于第一晶片廠(例 如,A廠)中。第二電子傳遞層150與第二EDA數(shù)據(jù)倉儲170設(shè)置于第二晶 片廠(例如，M廠)中。需注意到，在本實(shí)施例中，僅以兩個晶片廠來做說 明，但在實(shí)務(wù)應(yīng)用上則不以此為限，其可應(yīng)用于一半導(dǎo)體廠生產(chǎn)聚落。
第一晶片廠的代理主機(jī)110收到與一晶片批量相關(guān)的交易數(shù)據(jù) (Transaction Data)，該交易數(shù)據(jù)包括事實(shí)數(shù)據(jù)(Fact Data)或維度數(shù)據(jù) (Dimension Data )。事實(shí)數(shù)據(jù)包括ED、 Daily Check、 Inline QC、 Defect、 WAT、 CP/SP、 AP/FT.,.等制程數(shù)據(jù)。將事實(shí)數(shù)據(jù)中的所有制程數(shù)據(jù)經(jīng)由分類 后可產(chǎn)生維度數(shù)據(jù)，其至少包括設(shè)備數(shù)據(jù)與產(chǎn)品數(shù)據(jù)。
代理主機(jī)110判斷接收的交易數(shù)據(jù)為事實(shí)數(shù)據(jù)或維度數(shù)據(jù)。若該交易數(shù) 據(jù)為事實(shí)數(shù)據(jù)，則代理主機(jī)110接著判斷該晶片批量的母廠為何。若該晶片 批量的母廠編號與該第一晶片廠的編號相同(即，該第一晶片廠為該晶片批 量的母廠)，則代理主機(jī)11Q利用事實(shí)表派工器120并經(jīng)由該第一晶片廠的 第一電子傳遞層140將與該事實(shí)凄史據(jù)(即，A廠晶片數(shù)據(jù))加載該第一晶片 廠的第一EDA;.數(shù)據(jù)倉儲160。
若該晶片批量的母廠編號與該第一晶片廠的編號不相同時(即，該第一晶片廣非為該晶片批量的母廠，此時該晶片批量的母廠為該第二晶片廠，則 代理主機(jī)110利用事實(shí)表派工器120并經(jīng)由該第二晶片廠的第二電子傳遞層
150將與該晶片批量相關(guān)的該交易數(shù)據(jù)中的該事實(shí)數(shù)據(jù)(即，M廣晶片數(shù)據(jù)) 加載該第二晶片廠的第二EDA數(shù)據(jù)倉儲170,同時經(jīng)由該第一晶片廠的第一 電子傳遞層140將該事實(shí)數(shù)據(jù)(即，M廠晶片數(shù)據(jù))加載該第一晶片廠的第 一EDA數(shù)據(jù)倉儲160。
若該交易數(shù)據(jù)為維度數(shù)據(jù)，則代理主機(jī)110利用維度表派工器130并經(jīng) 由該第一晶片廠的第一電子傳遞層140與該第二晶片廠的第二電子傳遞層 150,將該維度數(shù)據(jù)分別加載該第一晶片廠的第一 EDA數(shù)據(jù)倉儲160與該第 二晶片廠的第二EDA數(shù)據(jù)倉儲170。
需注意到，在實(shí)務(wù)操作上，在同一時間點(diǎn)通常僅能處理某一晶片批量在 兩個晶片廠間的工程數(shù)據(jù)，故僅以兩個晶片廠的結(jié)構(gòu)來做說明，而多晶片廠 的硬件結(jié)構(gòu)的設(shè)置與圖1類似，故不再另行贅述。
圖3顯示本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理方法的步 驟流程圖。
本發(fā)明實(shí)施例的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理方法適用于多晶片廣的半導(dǎo)體聚 落，該半導(dǎo)體聚落至少包括一第一晶片廠與一第二晶片廠。第一晶片廠至少 包括一代理主機(jī)、 一事實(shí)表派工器、 一維度表派工器、 一第一電子傳遞層與 一第一EDA數(shù)據(jù)倉儲。第二晶片廠至少包括一第二電子傳遞層與一第二EDA 數(shù)據(jù)倉儲。
該代理主機(jī)收到與一晶片批量相關(guān)的交易數(shù)據(jù)(步驟S21),該交易數(shù) 據(jù)為事實(shí)數(shù)據(jù)或?qū)⑹聦?shí)數(shù)據(jù)經(jīng)由分類后所產(chǎn)生的維度數(shù)據(jù)。該代理主機(jī)判斷 接收的交易數(shù)據(jù)為事實(shí)數(shù)據(jù)或維度數(shù)據(jù)(步驟S22 )。若該交易數(shù)據(jù)為事實(shí)數(shù) 據(jù)，則該代理主機(jī)接著判斷該晶片批量的母廠編號與該第 一 晶片廠的編號是 否相同(步驟S23)。若該晶片批量的母廠編號與該第一晶片廠的編號相同 (即，該第一晶片廠為該晶片批量的母廠)，則該代理主機(jī)利用該事實(shí)表派 工器并經(jīng)由該第一電子傳遞層將該事實(shí)數(shù)據(jù)(即，A廠晶片數(shù)據(jù))加載該第 一EDA數(shù)據(jù)倉儲(步驟S24)。
若該晶片批量的母廠編號與該第一晶片廠的編號不相同時(即，該第一 :晶片廠非為孩晶片批量的母廠，此時該晶片批量的母廠為該第二晶-片廠-.(-例 如，M廠))，則該代理主機(jī)利用該事實(shí)表派工器并經(jīng)由該第二電子傳遞層將
8該事實(shí)數(shù)據(jù)加載該第二 EDA數(shù)據(jù)倉儲，同時經(jīng)由該第 一電子傳遞層將該事實(shí) 數(shù)據(jù)加載該第一EDA數(shù)據(jù)倉儲(步驟S25)。若該交易數(shù)據(jù)為維度數(shù)據(jù)，則該 代理主機(jī)利用該維度表派工器并經(jīng)由該第一電子傳遞層與該第二電子傳遞 層，將該維度數(shù)據(jù)分別加載該第一 EDA數(shù)據(jù)倉儲與該第二 EDA數(shù)據(jù)倉儲(步 驟S26 )。
本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理方法與系統(tǒng)只在ETL 的最前端與MES或各交易系統(tǒng)橋接部分架上Proxy,以應(yīng)用于各晶片廠的MES 與交易系統(tǒng)，而原本數(shù)據(jù)倉儲的ETL運(yùn)算邏輯不會受到影響。此外，只有數(shù) 據(jù)量極小的中繼數(shù)據(jù)(Meta Data)會重復(fù)放置到各廠的數(shù)據(jù)倉儲，故不需 要重復(fù)且昂貴的硬件投資及管理負(fù)擔(dān)，而可以最低的成本發(fā)揮最大的效益， 同時每一晶片廠的工程數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)即使在其晶片廠與外界網(wǎng)絡(luò)中斷情形 下，依舊能完成99%的工作。
完整的中繼數(shù)據(jù)在各廠都有一份完整數(shù)據(jù)，如此各廠的應(yīng)用系統(tǒng)，都能 夠只面對單一數(shù)據(jù)庫，就能清楚的查到完整的基本數(shù)據(jù)，例如，公司所有的 產(chǎn)品信息，所有的晶片批量識別碼，都能直接查詢到。同時在晶片批量的中 繼數(shù)據(jù)中并建有晶片批量的工程履歷(Lot-Passport )，清楚標(biāo)示某批晶片 過去跑過哪些晶片廠。若應(yīng)用面需要了解別廠某批晶片的數(shù)據(jù)，也能很清楚 的知道要將數(shù)據(jù)庫聯(lián)機(jī)到哪些晶片廠。
晶片在制品及所有測量數(shù)據(jù)，因數(shù)據(jù)量極大，故分散放置于各晶片廠。 如此一來，該批量晶片不管跑到哪一個晶片廠，其完整的制程數(shù)據(jù)都可以在 母廠被查詢并做交叉分析(Correlation Analysis )。同時，若以才幾臺為出 發(fā)角度，則該機(jī)臺所有執(zhí)行過制程的晶片， 一樣可以被簡單的查詢到。
本發(fā)明還提供一種記錄媒體(例如光盤片、磁盤片與抽取式硬盤等等)， 其記錄一計(jì)算機(jī)可讀取的權(quán)限簽核程序，以便執(zhí)行上述的半導(dǎo)體聚落的工程 數(shù)據(jù)倉儲的處理方法。在此，儲存于記錄媒體上的權(quán)限簽核程序，基本上是 由多數(shù)個程序代碼片段所組成的(例如建立組織圖程序代碼片段、簽核窗體 程序代碼片段、設(shè)定程序代碼片段、以及部署程序代碼片段)，并且這些程 序代碼片段的功能對應(yīng)到上述方法的步驟與上述系統(tǒng)的功能方塊圖。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上，但其并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng) 域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的前提下，當(dāng)可作若-干的更改與 修飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以本發(fā)明的權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1. 一種半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理系統(tǒng)，包括一事實(shí)表派工器；一維度表派工器；一第一電子傳遞層，耦接于該事實(shí)表派工器；一第二電子傳遞層，耦接于該維度表派工器；一第一工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲，耦接于該第一電子傳遞層；一第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲，耦接于該第二電子傳遞層；以及一代理主機(jī)，耦接于該事實(shí)表派工器與該維度表派工器，其收到與一晶片批量相關(guān)的交易數(shù)據(jù)，根據(jù)該交易數(shù)據(jù)與該晶片批量的母廠編號，利用該事實(shí)表派工器或該維度表派工器，并經(jīng)由該第一或第二電子傳遞層將該交易數(shù)據(jù)加載該第一或第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲，其中，該代理主機(jī)、該事實(shí)表派工器、該維度表派工器、該第一電子傳遞層與該第一工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲設(shè)置于第一晶片廠中，而該第二電子傳遞層與該第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲設(shè)置于第二晶片廠中。
2. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理系統(tǒng)，其中， 該代理主機(jī)判斷該交易數(shù)據(jù)為事實(shí)數(shù)據(jù)或維度數(shù)據(jù)，若該交易數(shù)據(jù)為該事實(shí) 數(shù)據(jù)，則判斷該晶片批量的母廠編號與該第一晶片廠的編號是否相同，若該 晶片批量的母廠編號與該第一晶片廠的編號不相同但與該第二晶片廣的編 號相同，則利用該事實(shí)表派工器并經(jīng)由該第二電子傳遞層將該事實(shí)數(shù)據(jù)加載 該第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲，同時經(jīng)由該第一電子傳遞層將該事實(shí)數(shù)據(jù)加 載該第一工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲。
3. 如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理系統(tǒng)，其中， 若該晶片批量的母廠編號與該第 一晶片廠的編號相同，則該代理主機(jī)利用該 事實(shí)表派工器并經(jīng)由該第一電子傳遞層將該事實(shí)數(shù)據(jù)加載該第一工程數(shù)據(jù) 分析數(shù)據(jù)倉儲。
4. 如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理系統(tǒng)，其中， 若該交易數(shù)據(jù)為維度數(shù)據(jù)，則該代理主機(jī)利用該維度表派工器并經(jīng)由該第一 電子傳遞層與該第二電子傳遞層，將該維度數(shù)據(jù)分別加載該第一工程數(shù)據(jù)分 析數(shù)據(jù)倉儲與該第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲。
5. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理系統(tǒng)，其中， 該代理主機(jī)設(shè)置以與 一制造執(zhí)行系統(tǒng)或其它前端交易系統(tǒng)連接，以接收該'交 易數(shù)據(jù)。
6. —種半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理方法，其適用于一半導(dǎo)體聚 落，其中該半導(dǎo)體聚落至少包括一第一晶片廠與一第二晶片廠，該第一晶片 廠至少包括一代理主機(jī)、 一事實(shí)表派工器、 一維度表派工器、 一第一電子傳遞層與一第一EDA數(shù)據(jù)倉儲，該第二晶片廠至少包括一第二電子傳遞層與一第二EDA數(shù)據(jù)倉儲，該方法包括下列步驟通過該代理主機(jī)收到與 一晶片批量相關(guān)的交易數(shù)據(jù)；以及 根據(jù)該交易數(shù)據(jù)與該晶片批量的母廠編號，利用該事實(shí)表派工器或該維度表派工器，并經(jīng)由該第 一或第二電子傳遞層將該交易數(shù)據(jù)加載該第 一或第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲
7. 如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理方法，其中， 利用該代理主機(jī)判斷該交易數(shù)據(jù)為事實(shí)數(shù)據(jù)或維度數(shù)據(jù)；. 若該交易數(shù)據(jù)為該事實(shí)數(shù)據(jù)，則該代理主機(jī)判斷該晶片批量的母廠編號 與該第一晶片廠的編號是否相同；以及若該晶片批量的母廠編號與該第一晶片廠的編號不相同但與該第二晶 片廠的編號相同，則該代理主機(jī)利用該事實(shí)表派工器并經(jīng)由該第二電子傳遞 層將該事實(shí)數(shù)據(jù)加載該第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲，同時經(jīng)由該第 一 電子傳 遞層將該事實(shí)數(shù)據(jù)加載該第 一 工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲。
8. 如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理系統(tǒng)，其中， 若該晶片批量的母廣編號與該第 一晶片廠的編號相同，則該代理主機(jī)利用該 事實(shí)表派工器并經(jīng)由該第 一 電子傳遞層將該事實(shí)數(shù)據(jù)加載該第 一 工程數(shù)據(jù) 分析數(shù)據(jù)倉儲。
9. 如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理系統(tǒng)，其中， 若該交易數(shù)據(jù)為維度數(shù)據(jù)，則該代理主機(jī)利用該維度表派工器并經(jīng)由該第一 電子傳遞層與該第二電子傳遞層，將該維度數(shù)據(jù)分別加載該第一工程數(shù)據(jù)分 析數(shù)據(jù)倉儲與該第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲。
10. 如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理系統(tǒng)，其中， -該代理主機(jī)系設(shè)置以與一制造執(zhí)行系統(tǒng)或其它前端交易系統(tǒng)連接，以接收該交易數(shù)據(jù)。
全文摘要
一種半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲的處理系統(tǒng)。一代理主機(jī)收到與一晶片批量相關(guān)的交易數(shù)據(jù)，根據(jù)該交易數(shù)據(jù)與該晶片批量的母廠編號，利用一事實(shí)表派工器(dispatcher)或一維度表派工器，并經(jīng)由第一或第二電子傳遞層將該交易數(shù)據(jù)加載第一或第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲。
文檔編號G06Q10/00GK101504644SQ200810005448
公開日2009年8月12日 申請日期2008年2月4日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月4日
發(fā)明者何煜文, 張仕昌 申請人:力晶半導(dǎo)體股份有限公司