專利名稱：觸控面板自動化制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明為一種觸控面板自動化制造方法，可減少人力成本以及增加制程良率。
背景技術(shù)：
為了提升電容式觸控面板制程良率，以及減少電容式觸控面板的制造程序和減少貼合步驟，發(fā)明人經(jīng)由努力不懈的實(shí)驗(yàn)以及創(chuàng)新，而研發(fā)出一種觸控面板自動化制造方法， 可減少人力成本以及增加制程良率。為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明的觸控面板自動化制造方法，包括提供成卷的可饒式基材；將成卷的可饒式基材置于傳輸器，傳輸器提供卷對卷方式連續(xù)傳輸可饒式基材；以卷對卷方式連續(xù)提供可饒式基材于鍍膜制程區(qū)，于鍍膜制程區(qū)中形成透明導(dǎo)電層于可饒式基材；以及以卷對卷方式連續(xù)提供具有透明導(dǎo)電層的可饒式基材于半導(dǎo)體制程區(qū)，于半導(dǎo)體制程區(qū)中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材之上。為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明的觸控面板自動化制造方法，更包括卷對卷方式連續(xù)提供具有透明導(dǎo)電層的可饒式基材，形成光阻層于透明導(dǎo)電層之上；卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材于曝光區(qū)，曝光該光阻層；卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材于顯影區(qū)，形成圖案化光阻層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化的光阻層的該可饒式基材于蝕刻區(qū)，蝕刻該透明導(dǎo)電層，形成圖案化的透明導(dǎo)電層，并去除該光阻層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化透明導(dǎo)電層的可饒式基材，形成絕緣層于透明導(dǎo)電層之上；卷對卷方式連續(xù)提供具有絕緣層的可饒式基材，圖案化絕緣層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化絕緣層的可饒式基材，形成導(dǎo)電層于絕緣層之上；以及卷對卷方式連續(xù)提供具有導(dǎo)電層的可饒式基材，圖案化導(dǎo)電層。為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明的觸控面板自動化制造方法，更包括裁切具有復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)的可饒式基材。為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明的觸控面板自動化制造方法，其中傳輸器具有入料軸和出料軸，入料軸設(shè)于半導(dǎo)體制程區(qū)的入料端供成卷的可饒式基材入料，出料軸設(shè)于半導(dǎo)體制程區(qū)的出料端供卷收具有復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)的可饒式基材。為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明的觸控面板自動化制造方法，更包括提供成卷的可饒式基材；將成卷的可饒式基材置于傳輸器，傳輸器提供卷對卷方式連續(xù)傳輸可饒式基材； 以卷對卷方式連續(xù)提供可饒式基材于鍍膜制程區(qū)，于鍍膜制程區(qū)中依序形成透明導(dǎo)電層和金屬層于可饒式基材；以及以卷對卷方式連續(xù)提供具有透明導(dǎo)電層和金屬層的可饒式基材于半導(dǎo)體制程區(qū)，于半導(dǎo)體制程區(qū)中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材之上。為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明的觸控面板自動化制造方法，其中于該半導(dǎo)體制程區(qū)中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于該可饒式基材之上更包括卷對卷方式連續(xù)提供具有透明導(dǎo)電層和金屬層的可饒式基材，形成光阻層于金屬層之上；卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材于曝光區(qū)，曝光光阻層；卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材于顯影區(qū)，形成圖案化光阻層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化的光阻層的可饒式基材于蝕刻區(qū)，蝕刻金屬層和透明導(dǎo)電層，形成具有金屬層于其上的圖案化透明導(dǎo)電層，并去除光阻層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化透明導(dǎo)電層的可饒式基材，形成絕緣層于金屬層之上；卷對卷方式連續(xù)提供具有絕緣層的可饒式基材，圖案化絕緣層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化絕緣層的可饒式基材，形成導(dǎo)電層于絕緣層之上；以及卷對卷方式連續(xù)提供具有導(dǎo)電層的可饒式基材，圖案化導(dǎo)電層和金屬層。為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明的觸控面板自動化制造方法，其中于半導(dǎo)體制程區(qū)中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材之上包括卷對卷方式連續(xù)提供具有透明導(dǎo)電層和金屬層的可饒式基材，形成光阻層于金屬層之上；卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材于曝光區(qū)，曝光光阻層；卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材于顯影區(qū)，形成圖案化光阻層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化的光阻層的可饒式基材于蝕刻區(qū)，蝕刻金屬層， 形成圖案化金屬層，并去除光阻層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化金屬層的可饒式基材， 圖案化透明導(dǎo)電層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化透明導(dǎo)電層的可饒式基材，形成絕緣層于金屬層和透明導(dǎo)電層之上；卷對卷方式連續(xù)提供具有絕緣層的可饒式基材，圖案化絕緣層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化絕緣層的可饒式基材，形成導(dǎo)電層于絕緣層之上； 以及卷對卷方式連續(xù)提供具有導(dǎo)電層的可饒式基材，圖案化導(dǎo)電層。為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明的觸控面板自動化制造方法，其中于半導(dǎo)體制程區(qū)中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材之上包括卷對卷方式連續(xù)提供具有透明導(dǎo)電層和金屬層的可饒式基材，圖案化金屬層和透明導(dǎo)電層，形成具有金屬層于其上的圖案化透明導(dǎo)電層； 卷對卷方式連續(xù)提供具有金屬層于其上的圖案化透明導(dǎo)電層的可饒式基材，圖案化金屬層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化金屬層的可饒式基材，形成透明絕緣保護(hù)層于圖案化金屬層和圖案化透明導(dǎo)電層之上；對卷方式連續(xù)提供具有透明絕緣保護(hù)層的可饒式基材， 圖案化透明絕緣保護(hù)層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化透明絕緣保護(hù)層的可饒式基材， 形成導(dǎo)電層于透明絕緣保護(hù)層之上；以及卷對卷方式連續(xù)提供具有導(dǎo)電層的可饒式基材， 圖案化導(dǎo)電層。為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明的觸控面板自動化制造方法，更包括裁切具有該些感測結(jié)構(gòu)的該可饒式基材。為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明的觸控面板自動化制造方法，其中該傳輸器具有入料軸和出料軸，入料軸設(shè)于半導(dǎo)體制程區(qū)的入料端供成卷的可饒式基材入料，出料軸設(shè)于半導(dǎo)體制程區(qū)的出料端供卷收具有復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)的可饒式基材。

發(fā)明內(nèi)容
為了提升電容式觸控面板制程良率，以及減少電容式觸控面板的制造程序和減少貼合步驟，發(fā)明人經(jīng)由努力不懈的實(shí)驗(yàn)以及創(chuàng)新，而研發(fā)出一種觸控面板自動化制造方法， 可減少人力成本以及增加制程良率。為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明的觸控面板自動化制造方法，包括提供成卷的可饒式基材；將成卷的可饒式基材置于傳輸器，傳輸器提供卷對卷方式連續(xù)傳輸可饒式基材；以卷對卷方式連續(xù)提供可饒式基材于鍍膜制程區(qū)，于鍍膜制程區(qū)中形成透明導(dǎo)電層于可饒式基材；以及以卷對卷方式連續(xù)提供具有透明導(dǎo)電層的可饒式基材于半導(dǎo)體制程區(qū)，于半導(dǎo)體制程區(qū)中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材之上。
為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明的觸控面板自動化制造方法，更包括卷對卷方式連續(xù)提供具有透明導(dǎo)電層的可饒式基材，形成光阻層于透明導(dǎo)電層之上；卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材于曝光區(qū)，曝光該光阻層；卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材于顯影區(qū)，形成圖案化光阻層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化的光阻層的該可饒式基材于蝕刻區(qū)，蝕刻該透明導(dǎo)電層，形成圖案化的透明導(dǎo)電層，并去除該光阻層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化透明導(dǎo)電層的可饒式基材，形成絕緣層于透明導(dǎo)電層之上；卷對卷方式連續(xù)提供具有絕緣層的可饒式基材，圖案化絕緣層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化絕緣層的可饒式基材，形成導(dǎo)電層于絕緣層之上；以及卷對卷方式連續(xù)提供具有導(dǎo)電層的可饒式基材，圖案化導(dǎo)電層。為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明的觸控面板自動化制造方法，更包括裁切具有復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)的可饒式基材。為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明的觸控面板自動化制造方法，其中傳輸器具有入料軸和出料軸，入料軸設(shè)于半導(dǎo)體制程區(qū)的入料端供成卷的可饒式基材入料，出料軸設(shè)于半導(dǎo)體制程區(qū)的出料端供卷收具有復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)的可饒式基材。為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明的觸控面板自動化制造方法，更包括提供成卷的可饒式基材；將成卷的可饒式基材置于傳輸器，傳輸器提供卷對卷方式連續(xù)傳輸可饒式基材； 以卷對卷方式連續(xù)提供可饒式基材于鍍膜制程區(qū)，于鍍膜制程區(qū)中依序形成透明導(dǎo)電層和金屬層于可饒式基材；以及以卷對卷方式連續(xù)提供具有透明導(dǎo)電層和金屬層的可饒式基材于半導(dǎo)體制程區(qū)，于半導(dǎo)體制程區(qū)中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材之上。為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明的觸控面板自動化制造方法，其中于該半導(dǎo)體制程區(qū)中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于該可饒式基材之上更包括卷對卷方式連續(xù)提供具有透明導(dǎo)電層和金屬層的可饒式基材，形成光阻層于金屬層之上；卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材于曝光區(qū)，曝光光阻層；卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材于顯影區(qū)，形成圖案化光阻層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化的光阻層的可饒式基材于蝕刻區(qū)，蝕刻金屬層和透明導(dǎo)電層，形成具有金屬層于其上的圖案化透明導(dǎo)電層，并去除光阻層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化透明導(dǎo)電層的可饒式基材，形成絕緣層于金屬層之上；卷對卷方式連續(xù)提供具有絕緣層的可饒式基材，圖案化絕緣層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化絕緣層的可饒式基材，形成導(dǎo)電層于絕緣層之上；以及卷對卷方式連續(xù)提供具有導(dǎo)電層的可饒式基材，圖案化導(dǎo)電層和金屬層。為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明的觸控面板自動化制造方法，其中于半導(dǎo)體制程區(qū)中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材之上包括卷對卷方式連續(xù)提供具有透明導(dǎo)電層和金屬層的可饒式基材，形成光阻層于金屬層之上；卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材于曝光區(qū)，曝光光阻層；卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材于顯影區(qū)，形成圖案化光阻層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化的光阻層的可饒式基材于蝕刻區(qū)，蝕刻金屬層， 形成圖案化金屬層，并去除光阻層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化金屬層的可饒式基材， 圖案化透明導(dǎo)電層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化透明導(dǎo)電層的可饒式基材，形成絕緣層于金屬層和透明導(dǎo)電層之上；卷對卷方式連續(xù)提供具有絕緣層的可饒式基材，圖案化絕緣層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化絕緣層的可饒式基材，形成導(dǎo)電層于絕緣層之上； 以及卷對卷方式連續(xù)提供具有導(dǎo)電層的可饒式基材，圖案化導(dǎo)電層。
為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明的觸控面板自動化制造方法，其中于半導(dǎo)體制程區(qū)中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材之上包括卷對卷方式連續(xù)提供具有透明導(dǎo)電層和金屬層的可饒式基材，圖案化金屬層和透明導(dǎo)電層，形成具有金屬層于其上的圖案化透明導(dǎo)電層； 卷對卷方式連續(xù)提供具有金屬層于其上的圖案化透明導(dǎo)電層的可饒式基材，圖案化金屬層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化金屬層的可饒式基材，形成透明絕緣保護(hù)層于圖案化金屬層和圖案化透明導(dǎo)電層之上；對卷方式連續(xù)提供具有透明絕緣保護(hù)層的可饒式基材， 圖案化透明絕緣保護(hù)層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化透明絕緣保護(hù)層的可饒式基材， 形成導(dǎo)電層于透明絕緣保護(hù)層之上；以及卷對卷方式連續(xù)提供具有導(dǎo)電層的可饒式基材， 圖案化導(dǎo)電層。為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明的觸控面板自動化制造方法，更包括裁切具有該些感測結(jié)構(gòu)的該可饒式基材。為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明的觸控面板自動化制造方法，其中該傳輸器具有入料軸和出料軸，入料軸設(shè)于半導(dǎo)體制程區(qū)的入料端供成卷的可饒式基材入料，出料軸設(shè)于半導(dǎo)體制程區(qū)的出料端供卷收具有復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)的可饒式基材。


圖1所示為本發(fā)明的一實(shí)施例的觸控面板自動化制造方法的示意圖加所示為本發(fā)明的--實(shí)施例所提供觸控面板自動化制造方法的剖面圖2b所示為本發(fā)明的--實(shí)施例所提供觸控面板自動化制造方法的流程圖3a所示為本發(fā)明的--實(shí)施例所提供觸控面板自動化制造方法的剖面圖: 所示，為本發(fā)明的一實(shí)施例所提供觸控面板自動化制造方法的流程圖
圖4a所示為本發(fā)明的--實(shí)施例所提供觸控面板自動化制造方法的剖面圖4b所示為本發(fā)明的--實(shí)施例所提供觸控面板自動化制造方法的流程圖5a所示為本發(fā)明的--實(shí)施例所提供觸控面板自動化制造方法的剖面圖恥所示為本發(fā)明的--實(shí)施例所提供觸控面板自動化制造方法的流程圖。
圖號說明
1制程區(qū)
12傳輸器
121入料軸
122出料軸
A入料側(cè)
B出料側(cè)
D傳輸方向
100、200、300、400 可饒式基材
220,320,420 透明導(dǎo)電層
330,430 金屬層
21、31、41、51 鍍膜制程區(qū)
22、32、42、52 半導(dǎo)體制程區(qū)
23、33、43、53 黏貼區(qū)
24、34、44、54 裁切區(qū)
2201,2210,3201,3210 光阻形成區(qū)
2202、2211、3202,3211 曝光區(qū)
2203、2212、3203,3212 顯影區(qū)
2204、2213、3204、3213 蝕刻區(qū)
2205,3205去光阻區(qū)
2206,3206絕緣層形成區(qū)
2207,3207曝光區(qū)
2208,3208顯影區(qū)
2209,3209鍍膜制程區(qū)
4201,5201光阻形成區(qū)
4202,5202曝光區(qū)
4203,5203顯影區(qū)
4204,5204蝕刻區(qū)
4205,5205去光阻區(qū)
4206,5206光阻形成區(qū)
4207,5207曝光區(qū)
4208,5208顯影區(qū)
4209,5209蝕刻區(qū)
4210,5210去光阻區(qū)
4211,5211透明絕緣保護(hù)層形成區(qū)
4212,5212曝光區(qū)
4213,5213顯影區(qū)
4214,5214鍍膜制程區(qū)
4215,5215光阻形成區(qū)
4216,5216曝光區(qū)
4217,5217顯影區(qū)
4218,5218蝕刻區(qū)
具體實(shí)施例方式
如圖1所示為本發(fā)明的一實(shí)施例所提供觸控面板自動化制造方法，以卷對卷方式 (roll to roll)提供可饒式基材100，為將成卷的可饒式基材置于一入料側(cè)A的傳輸器12 之上傳輸，傳輸器12具有入料軸121和出料軸122，入料軸121將可饒式基材100的一端以一傳輸方向D連續(xù)性延伸可饒式基材100并連續(xù)傳輸可饒式基材100進(jìn)入制程區(qū)1進(jìn)行制程，于可饒式基材100上形成感測結(jié)構(gòu)，然后將完成制程的可饒式基材于另一出料側(cè)B由出料軸122卷收成卷。傳輸器12的入料軸121和出料軸122可使可饒式基材100具有張力以確?？绅埵交?00不變形以及對位上的精準(zhǔn)度，并且可連續(xù)性生產(chǎn)。相較于傳統(tǒng)制造觸控面板的方法為裁切成片狀的基板一片一片由人工方式傳輸化費(fèi)大量人工及制作工時， 本發(fā)明的觸控面板自動化制造方法可節(jié)省相當(dāng)多的人力與工時。
如圖加和圖2b所示，為本發(fā)明的一實(shí)施例所提供觸控面板自動化制造方法的示意圖。提供成卷的可饒式基材200，其中可饒式透明基材200為可饒曲的材質(zhì)所構(gòu)成，可以卷曲成滾筒狀?？绅埵酵该骰?00的材質(zhì)例如可為PEN、PET、PES、可饒式玻璃、PMMA、PC 或PI之一，也可為上述材質(zhì)的多層復(fù)合材料，而前述材質(zhì)之上亦可形成有多層的透明堆疊結(jié)構(gòu)的基材，多層的透明堆疊結(jié)構(gòu)例如可為抗反射層。以卷對卷方式提供可饒式基材于鍍膜制程區(qū)21，于鍍膜制程區(qū)21中形成透明導(dǎo)電層220于可饒式基材200之上。其中透明導(dǎo)電層220的材質(zhì)可為透明導(dǎo)電材質(zhì)，例如可為銦錫氧化物、氧化銦、氧化鋅、氧化銦鋅、摻雜有鋁的氧化鋅、以及摻雜有銻的氧化錫中之一或其混合物。接著以卷對卷方式提供具有透明導(dǎo)電層220的可饒式基材200于半導(dǎo)體制程區(qū)22，于半導(dǎo)體制程區(qū)22中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材200之上。其中于半導(dǎo)體制程區(qū)22中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材200之上的制程包括以卷對卷方式連續(xù)提供具有該透明導(dǎo)電層220的可饒式基材200 于光阻形成區(qū)2201，形成光阻層于透明導(dǎo)電層220之上，光阻層可為液態(tài)光阻或干膜光阻， 形成光阻層的方法可使用狹縫涂布法或卷對卷貼合法。接著以卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材200于曝光區(qū)2202，以曝光光阻層于光罩圖形之下。若是前一步驟是以卷對卷貼合法形成光阻層于透明導(dǎo)電層之上，則可于進(jìn)行卷對卷方式連續(xù)輸入可饒式基材 200于曝光區(qū)2202之前以滾壓卷對卷方式貼合光阻層于可饒基材200之上，在同時輸入曝光區(qū)2202之中。再以卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材200于顯影區(qū)2203， 于顯影區(qū)2203中以顯影液顯影曝光后的光阻，形成圖案化的光阻層，由于可饒式基材200 為連續(xù)性輸入至顯影區(qū)2203之中，可饒式基材200輸入浸泡于顯影區(qū)2203的顯影時間可以依傳輸速度、顯影區(qū)2203長度和顯影液濃度的不同做調(diào)配。接著以卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化光阻層的可饒式基材200于蝕刻區(qū)2204，蝕刻透明導(dǎo)電層，形成圖案化的透明導(dǎo)電層。以卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化光阻于其上的圖案化透明導(dǎo)電層的可饒式基材200于去光阻區(qū)2205，去除殘余的光阻層。接著再以卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化透明導(dǎo)電層的可饒式基材200于絕緣層形成區(qū)2206，形成絕緣層于透明導(dǎo)電層之上。絕緣層的材質(zhì)可為二氧化硅、有機(jī)絕緣材質(zhì)、無機(jī)絕緣材質(zhì)或光阻，光阻例如可為液態(tài)光阻或干膜光阻。若是絕緣層為干膜光阻，則可以滾壓卷對卷方式貼合絕緣層于圖案化透明導(dǎo)電層之上。若絕緣層為液態(tài)光阻則可以狹縫涂布法或滾輪涂布法涂布絕緣層于圖案化透明導(dǎo)電層之上。若絕緣層為二氧化硅，則可以鍍膜法鍍二氧化硅于圖案化透明導(dǎo)電層之上。此實(shí)施例為使用干膜光阻為絕緣層的材質(zhì)。形成絕緣層之后，再以卷對卷方式連續(xù)提供具有絕緣層的可饒式基材200于曝光區(qū)2207，以曝光絕緣層于光罩圖形之下。再以卷對卷方式連續(xù)提供具有絕緣層的可饒式基材200于顯影區(qū)2208，于顯影區(qū)2208中以顯影液顯影曝光后的絕緣層，形成圖案化的絕緣層。以卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化絕緣層的可饒式基材200 于鍍膜制程區(qū)2209，形成導(dǎo)電層于絕緣層之上，導(dǎo)電層的材質(zhì)可為至少一層導(dǎo)電金屬層，或者多層導(dǎo)電金屬層。其材質(zhì)可為銅合金、鋁合金、金、銀、鋁、銅、鉬等導(dǎo)電金屬或?qū)щ姾辖稹?多層導(dǎo)電金屬層的結(jié)構(gòu)，例如可為鉬層/鋁層/鉬層的堆疊結(jié)構(gòu)，或者可為選自銅合金、鋁合金、金、銀、鋁、銅、鉬等導(dǎo)電金屬或?qū)щ姾辖鸬囊环N或多種材質(zhì)而堆疊的多層導(dǎo)電金屬層結(jié)構(gòu)。以及以卷對卷方式連續(xù)提供具有導(dǎo)電層的可饒式基材200，圖案化該導(dǎo)電層形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材200之上。其中圖案化導(dǎo)電層的步驟同上述圖案化透明導(dǎo)電層的步驟，依序于光阻形成區(qū)2210、曝光區(qū)2211、顯影區(qū)2212和蝕刻區(qū)2213進(jìn)行圖案化制程，得到圖案化導(dǎo)電層。接著以卷對卷方式連續(xù)提供具有復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)的可饒式基材200于黏貼區(qū)23，黏貼黏著層于復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)之上或可饒式基材200之下。最后于裁切區(qū)M裁切具有復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)的可饒式基材200，形成復(fù)數(shù)片狀感測基材。本發(fā)明以卷對卷方式形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材200之后才進(jìn)行裁切，可避免傳統(tǒng)觸控面板先將基材裁切成復(fù)數(shù)片狀基材，然后耗費(fèi)大量人力在搬運(yùn)以及形成感測結(jié)構(gòu)于每一片狀基材。由于上述制程為使用卷對卷方式來生產(chǎn)觸控面板，每道制程均可連續(xù)性在寬幅可饒性基材上運(yùn)作，將可節(jié)省大幅人力資源，并且以上述制程即可制作出所需的觸控面板，節(jié)省制作成本以及提升全制程良率。 如圖3a和圖北所示，為本發(fā)明的一實(shí)施例所提供觸控面板自動化制造方法的示意圖。提供成卷的可饒式基材300，其中可饒式透明基材300為可饒曲的材質(zhì)所構(gòu)成，可以卷曲成滾筒狀?？绅埵酵该骰?00的材質(zhì)例如可為PEN、PET、PES、可饒式玻璃、PMMA、PC 或PI之一，也可為上述材質(zhì)的多層復(fù)合材料，而前述材質(zhì)之上亦可形成有多層的透明堆疊結(jié)構(gòu)的基材，多層的透明堆疊結(jié)構(gòu)例如可為抗反射層。以卷對卷方式提供可饒式基材于鍍膜制程區(qū)31，于鍍膜制程區(qū)31中形成透明導(dǎo)電層320和金屬層330于可饒式基材300之上。其中透明導(dǎo)電層320的材質(zhì)可為透明導(dǎo)電材質(zhì)，例如可為銦錫氧化物、氧化銦、氧化鋅、 氧化銦鋅、摻雜有鋁的氧化鋅、以及摻雜有銻的氧化錫中之一或其混合物。金屬層330的材質(zhì)可為至少一層導(dǎo)電金屬層，或者多層導(dǎo)電金屬層。其材質(zhì)可為銅合金、鋁合金、金、銀、鋁、 銅、鉬等導(dǎo)電金屬或?qū)щ姾辖?。多層?dǎo)電金屬層的結(jié)構(gòu)，例如可為鉬層/鋁層/鉬層的堆疊結(jié)構(gòu)，或者可為選自銅合金、鋁合金、金、銀、鋁、銅、鉬等導(dǎo)電金屬或?qū)щ姾辖鸬囊环N或多種材質(zhì)而堆疊的多層導(dǎo)電金屬層結(jié)構(gòu)。以卷對卷方式連續(xù)提供具有透明導(dǎo)電層320和金屬層 330的可饒式基材300于半導(dǎo)體制程區(qū)32，于該半導(dǎo)體制程區(qū)32中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材300的上。于半導(dǎo)體制程區(qū)32中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材300之上的制程包括以卷對卷方式連續(xù)提供具有透明導(dǎo)電層320和金屬層330的可饒式基材300于光阻形成區(qū)3201，形成光阻層于金屬層330之上，光阻層可為液態(tài)光阻或干膜光阻，形成光阻層的方法可使用狹縫涂布法或卷對卷貼合法。接著以卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材300于曝光區(qū)3202，以曝光光阻層于光罩圖形之下。若是前一步驟是以卷對卷貼合法形成光阻層于金屬層330之上，則可于進(jìn)行卷對卷方式連續(xù)輸入可饒式基材于曝光區(qū) 3202之前以滾壓卷對卷方式貼合光阻層于可饒基材300之上，并同時輸入曝光區(qū)3202之中。再以卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材300于顯影區(qū)3203，于顯影區(qū)3203 中以顯影液顯影曝光后的光阻，形成圖案化的光阻層，由于可饒式基材300為連續(xù)性輸入至顯影區(qū)3203之中，可饒式基材300輸入浸泡于顯影區(qū)3203的顯影時間可以依傳輸速度、 顯影區(qū)3203長度和顯影液濃度的不同做調(diào)配。接著以卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化光阻層的可饒式基材300于蝕刻區(qū)3204，蝕刻金屬層330和透明導(dǎo)電層320，形成具有金屬層 330于其上的圖案化透明導(dǎo)電層320。以卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化光阻于其上的圖案化透明導(dǎo)電層和金屬層的可饒式基材300于去光阻區(qū)3205，去除殘余的光阻層。接著再以卷對卷方式連續(xù)提供具有金屬層330于其上的圖案化透明導(dǎo)電層320的可饒式基材于絕緣層形成區(qū)3206，形成絕緣層于金屬層330之上。絕緣層之材質(zhì)可為二氧化硅、有機(jī)絕緣材質(zhì)、無機(jī)絕緣材質(zhì)或光阻，光阻例如可為液態(tài)光阻或干膜光阻。若是絕緣層為干膜光阻， 則可以滾壓卷對卷方式貼合絕緣層于圖案化透明導(dǎo)電層之上。若絕緣層為液態(tài)光阻則可以狹縫涂布法或滾輪涂布法涂布絕緣層于圖案化透明導(dǎo)電層之上。若絕緣層為二氧化硅，則可以鍍膜法鍍二氧化硅于圖案化透明導(dǎo)電層之上。此實(shí)施例為使用干膜光阻為絕緣層的材質(zhì)。形成絕緣層之后，再以卷對卷方式連續(xù)提供具有絕緣層的可饒式基材于曝光區(qū)3207， 以曝光絕緣層于光罩圖形之下。再以卷對卷方式連續(xù)提供具有絕緣層的可饒式基材于顯影區(qū)3208，于顯影區(qū)3208中以顯影液顯影曝光后的絕緣層，形成圖案化的絕緣層。再以卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化絕緣層的可饒式基材于鍍膜制程區(qū)3209，形成導(dǎo)電層于絕緣層之上，導(dǎo)電層的材質(zhì)可為至少一層導(dǎo)電金屬層，或者多層導(dǎo)電金屬層。其材質(zhì)可為銅合金、 鋁合金、金、銀、鋁、銅、鉬等導(dǎo)電金屬或?qū)щ姾辖稹６鄬訉?dǎo)電金屬層的結(jié)構(gòu)，例如可為鉬層/ 鋁層/鉬層的堆疊結(jié)構(gòu)，或者可為選自銅合金、鋁合金、金、銀、鋁、銅、鉬等導(dǎo)電金屬或?qū)щ姾辖鸬囊环N或多種材質(zhì)而堆疊的多層導(dǎo)電金屬層結(jié)構(gòu)。以及以卷對卷方式連續(xù)提供具有導(dǎo)電層的可饒式基材300，圖案化導(dǎo)電層和金屬層330形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材300之上。以及以卷對卷方式連續(xù)提供具有導(dǎo)電層和金屬層330的可饒式基材300，圖案化導(dǎo)電層和金屬層330形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材300之上。其中圖案化導(dǎo)電層和金屬層的步驟同上述圖案化透明導(dǎo)電層的步驟，依序于光阻形成區(qū)3210、曝光區(qū)3211、顯影區(qū)3212和蝕刻區(qū)3213進(jìn)行圖案化制程，得到圖案化導(dǎo)電層和金屬層330。接著以卷對卷方式連續(xù)提供具有復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)的可饒式基材300于黏貼區(qū)33，黏貼黏著層于復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)之上或可饒式基材300之下。最后于裁切區(qū)34裁切具有復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)的可饒式基材300，形成復(fù)數(shù)片狀感測基材。本發(fā)明以卷對卷方式形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材之后才進(jìn)行裁切，可避免傳統(tǒng)觸控面板先將基材裁切成復(fù)數(shù)片狀基材，然后耗費(fèi)大量人力在搬運(yùn)以及形成感測結(jié)構(gòu)于每一片狀基材。由于上述制程為使用卷對卷方式來生產(chǎn)觸控面板，每道制程均可連續(xù)性在寬幅可饒性基材上運(yùn)作，將可節(jié)省大幅人力資源，并且以上述制程即可制作出所需的觸控面板，節(jié)省制作成本以及提升全制程良率。 如圖如和圖4b所示，本發(fā)明的一實(shí)施例所提供觸控面板自動化制造方法，提供成卷的可饒式基材400，其中可饒式透明基材400為可饒曲的材質(zhì)所構(gòu)成，可以卷曲成滾筒狀?？绅埵酵该骰?00的材質(zhì)例如可為PEN、PET、PES、可饒式玻璃、PMMA, PC或PI之一，也可為上述材質(zhì)的多層復(fù)合材料，而前述材質(zhì)之上亦可形成有多層的透明堆疊結(jié)構(gòu)的基材，多層的透明堆疊結(jié)構(gòu)例如可為抗反射層。以卷對卷方式提供可饒式基材400于鍍膜制程區(qū)41，于鍍膜制程區(qū)41中依序形成透明導(dǎo)電層420和金屬層430于可饒式基材400之上。其中透明導(dǎo)電層420的材質(zhì)可為透明導(dǎo)電材質(zhì)，例如可為銦錫氧化物、氧化銦、氧化鋅、 氧化銦鋅、摻雜有鋁的氧化鋅、以及摻雜有銻的氧化錫中之一或其混合物。金屬層430的材質(zhì)可為至少一層導(dǎo)電金屬層，或者多層導(dǎo)電金屬層。其材質(zhì)可為銅合金、鋁合金、金、銀、鋁、 銅、鉬等導(dǎo)電金屬或?qū)щ姾辖?。多層?dǎo)電金屬層的結(jié)構(gòu)，例如可為鉬層/鋁層/鉬層的堆疊結(jié)構(gòu)，或者可為選自銅合金、鋁合金、金、銀、鋁、銅、鉬等導(dǎo)電金屬或?qū)щ姾辖鸬囊环N或多種材質(zhì)而堆疊的多層導(dǎo)電金屬層結(jié)構(gòu)。以卷對卷方式連續(xù)提供具有透明導(dǎo)電層420和金屬層 430的可饒式基材400于半導(dǎo)體制程區(qū)42，于半導(dǎo)體制程區(qū)42中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材400之上。其中于半導(dǎo)體制程區(qū)42中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材400之上的制程包括以卷對卷方式連續(xù)提供具有透明導(dǎo)電層420和金屬層430的可饒式基材400于光阻形成區(qū)4201，形成光阻層于金屬層430之上，光阻層可為液態(tài)光阻或干膜光阻，形成光阻層的方法可使用狹縫涂布法、滾輪涂布法或卷對卷貼合法。接著以卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材400于曝光區(qū)4202，以曝光光阻層于光罩圖形之下。若是前一步驟是以卷對卷貼合法形成光阻層于金屬層430之上，則可于進(jìn)行卷對卷方式連續(xù)輸入可饒式基材于曝光區(qū)4202之前以滾壓卷對卷方式貼合光阻層于金屬層430之上，并同時輸入曝光區(qū)4202之中。再以卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材于顯影區(qū)4203，于顯影區(qū)4203中以顯影液顯影曝光后的光阻，形成圖案化的光阻層，由于可饒式基材為連續(xù)性輸入至顯影區(qū)4203之中，可饒式基材輸入浸泡于顯影區(qū)4203的顯影時間可以依傳輸速度、顯影區(qū)長度和顯影液濃度的不同做調(diào)配。接著以卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化光阻層的可饒式基材400于蝕刻區(qū)4204，蝕刻金屬層430，形成圖案化金屬層430。以卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化金屬層430的可饒式基材400于去光阻區(qū)4205，去除圖案化光阻。再以卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化金屬層430的可饒式基材400于光阻形成區(qū)4206，形成光阻層于圖案化金屬層430和不具圖案化金屬層430之上。再以卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材400于曝光區(qū)4207，以及以卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材 400于顯影區(qū)4208，形成圖案化光阻層于透明導(dǎo)電層之上。接著以卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化光阻層的可饒式基材于蝕刻區(qū)4209，蝕刻透明導(dǎo)電層，形成圖案化透明導(dǎo)電層。以卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化光阻于其上的圖案化金屬層430和圖案化透明導(dǎo)電層420 的可饒式基材400于去光阻區(qū)4210，去除殘余的光阻層。以卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化金屬層430和圖案化透明導(dǎo)電層420的可饒式基材400于絕緣層形成區(qū)4211，形成絕緣層于圖案化金屬層之上。絕緣層的材質(zhì)可為二氧化硅、有機(jī)絕緣材質(zhì)、無機(jī)絕緣材質(zhì)或光阻，光阻例如可為液態(tài)光阻或干膜光阻。若是絕緣層為干膜光阻，則可以滾壓卷對卷方式貼合絕緣層于圖案化透明導(dǎo)電層之上。若絕緣層為液態(tài)光阻則可以狹縫涂布法或滾輪涂布法涂布絕緣層于圖案化透明導(dǎo)電層之上。若絕緣層為二氧化硅，則可以鍍膜法鍍二氧化硅于圖案化透明導(dǎo)電層之上。此實(shí)施例為使用干膜光阻為絕緣層的材質(zhì)。形成絕緣層之后，再以卷對卷方式連續(xù)提供具有絕緣層的可饒式基材于曝光區(qū)4212，以曝光絕緣層于光罩圖形之下。再以卷對卷方式連續(xù)提供具有絕緣層的可饒式基材400于顯影區(qū)4213，于顯影區(qū)4213 中以顯影液顯影曝光后的絕緣層，形成圖案化的絕緣層。再以卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化絕緣層的可饒式基材400于鍍膜制程區(qū)4214，形成導(dǎo)電層于絕緣層之上，導(dǎo)電層的材質(zhì)可為至少一層導(dǎo)電金屬層，或者多層導(dǎo)電金屬層。其材質(zhì)可為銅合金、鋁合金、金、銀、鋁、 銅、鉬等導(dǎo)電金屬或?qū)щ姾辖?。多層?dǎo)電金屬層的結(jié)構(gòu)，例如可為鉬層/鋁層/鉬層的堆疊結(jié)構(gòu)，或者可為選自銅合金、鋁合金、金、銀、鋁、銅、鉬等導(dǎo)電金屬或?qū)щ姾辖鸬囊环N或多種材質(zhì)而堆疊的多層導(dǎo)電金屬層結(jié)構(gòu)。以及以卷對卷方式連續(xù)提供具有導(dǎo)電層的可饒式基材 400，圖案化導(dǎo)電層形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材400之上。其中圖案化導(dǎo)電層的步驟同上述圖案化透明導(dǎo)電層的步驟，依序于光阻形成區(qū)4215、曝光區(qū)4216、顯影區(qū)4217和蝕刻區(qū)4218進(jìn)行圖案化制程，得到圖案化導(dǎo)電層。接著以卷對卷方式連續(xù)提供具有復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)的可饒式基材400于黏貼區(qū)43，黏貼黏著層于復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)之上或可饒式基材400之下。 最后于裁切區(qū)裁切具有復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)的可饒式基材，形成復(fù)數(shù)片狀感測基材。本發(fā)明以卷對卷方式形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材之后才進(jìn)行裁切，可避免傳統(tǒng)觸控面板先將基材裁切成復(fù)數(shù)片狀基材，然后耗費(fèi)大量人力在搬運(yùn)以及形成感測結(jié)構(gòu)于每一片狀基材。由于上述制程為使用卷對卷方式來生產(chǎn)觸控面板，每道制程均可連續(xù)性在寬幅可饒性基材上運(yùn)作，將可節(jié)省大幅人力資源，并且以上述制程即可制作出所需的觸控面板，節(jié)省制作成本以及提升全制程良率。由于上述制程為使用卷對卷方式來生產(chǎn)觸控面板，每道制程均可連續(xù)性在寬幅可饒性基材上運(yùn)作，將可節(jié)省大幅人力資源，并且以上述制程即可制作出所需的觸控面板，節(jié)省制作成本以及提升全制程良率。 如圖fe和圖恥所示，本發(fā)明的一實(shí)施例所提供觸控面板自動化制造方法，提供成卷的可饒式基材500，其中可饒式透明基材500為可饒曲的材質(zhì)所構(gòu)成，可以卷曲成滾筒狀?？绅埵酵该骰?00的材質(zhì)例如可為PEN、PET、PES、可饒式玻璃、PMMA, PC或PI之一，也可為上述材質(zhì)的多層復(fù)合材料，而前述材質(zhì)之上亦可形成有多層的透明堆疊結(jié)構(gòu)的基材，多層的透明堆疊結(jié)構(gòu)例如可為抗反射層。以卷對卷方式提供可饒式基材500于鍍膜制程區(qū)51，于鍍膜制程區(qū)51中依序形成透明導(dǎo)電層520和金屬層530于可饒式基材500之上。其中透明導(dǎo)電層520的材質(zhì)可為透明導(dǎo)電材質(zhì)，例如可為銦錫氧化物、氧化銦、氧化鋅、 氧化銦鋅、摻雜有鋁的氧化鋅、以及摻雜有銻的氧化錫中之一或其混合物。金屬層530的材質(zhì)可為至少一層導(dǎo)電金屬層，或者多層導(dǎo)電金屬層。其材質(zhì)可為銅合金、鋁合金、金、銀、鋁、 銅、鉬等導(dǎo)電金屬或?qū)щ姾辖?。多層?dǎo)電金屬層的結(jié)構(gòu)，例如可為鉬層/鋁層/鉬層的堆疊結(jié)構(gòu)，或者可為選自銅合金、鋁合金、金、銀、鋁、銅、鉬等導(dǎo)電金屬或?qū)щ姾辖鸬囊环N或多種材質(zhì)而堆疊的多層導(dǎo)電金屬層結(jié)構(gòu)。以卷對卷方式連續(xù)提供具有透明導(dǎo)電層520和金屬層 530的可饒式基材500于半導(dǎo)體制程區(qū)52，于半導(dǎo)體制程區(qū)52中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材500之上。其中于半導(dǎo)體制程區(qū)52中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材400之上的制程包括以卷對卷方式連續(xù)提供具有透明導(dǎo)電層520和金屬層530的可饒式基材500于光阻形成區(qū)5201，形成光阻層于金屬層530之上，光阻層可為液態(tài)光阻或干膜光阻，形成光阻層的方法可使用狹縫涂布法、滾輪涂布法或卷對卷貼合法。接著以卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材500于曝光區(qū)5202，以曝光光阻層于光罩圖形之下。若是前一步驟是以卷對卷貼合法形成光阻層于金屬層530之上，則可于進(jìn)行卷對卷方式連續(xù)輸入可饒式基材于曝光區(qū)5202之前以滾壓卷對卷方式貼合光阻層于金屬層530之上，并同時輸入曝光區(qū)5202之中。再以卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材于顯影區(qū)5203，于顯影區(qū)5203中以顯影液顯影曝光后的光阻，形成圖案化的光阻層，由于可饒式基材為連續(xù)性輸入至顯影區(qū)5203之中，可饒式基材輸入浸泡于顯影區(qū)5203的顯影時間可以依傳輸速度、 顯影區(qū)長度和顯影液濃度的不同做調(diào)配。接著以卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化光阻層的可饒式基材500于蝕刻區(qū)5204，蝕刻金屬層530和透明導(dǎo)電層520，形成具金屬層530于其上的圖案化透明導(dǎo)電層520。以卷對卷方式連續(xù)提供具有金屬層530于其上的圖案化透明導(dǎo)電層520的可饒式基材500于去光阻區(qū)5205，去除圖案化光阻。再以卷對卷方式連續(xù)提供具有金屬層530于其上的圖案化透明導(dǎo)電層520的可饒式基材500于光阻形成區(qū)5206， 形成光阻層于圖案化金屬層530和不具圖案化金屬層530之上。再以卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材500于曝光區(qū)5207，以及依序以卷對卷方式連續(xù)提供具有光阻層的可饒式基材500于顯影區(qū)5208，形成圖案化光阻層于金屬層530之上。接著以卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化光阻層的可饒式基材于蝕刻區(qū)5209，蝕刻金屬層530，形成圖案化金屬層530。以卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化光阻于其上的圖案化金屬層5300的可饒式基材500于去光阻區(qū)5210，去除殘余的光阻層。以卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化金屬層530和圖案化透明導(dǎo)電層520的可饒式基材500于透明絕緣保護(hù)層形成區(qū)5211，形成透明絕緣保護(hù)層于圖案化金屬層和圖案化透明導(dǎo)電層之上。透明絕緣保護(hù)層的材質(zhì)可為二氧化硅、有機(jī)絕緣材質(zhì)、無機(jī)絕緣材質(zhì)或光阻，光阻例如可為液態(tài)光阻或干膜光阻。若是透明絕緣保護(hù)層為干膜光阻，則可以滾壓卷對卷方式貼合透明絕緣保護(hù)層于圖案化透明導(dǎo)電層之上。若透明絕緣保護(hù)層為液態(tài)光阻則可以狹縫涂布法或滾輪涂布法涂布絕緣層于圖案化透明導(dǎo)電層之上。若透明絕緣保護(hù)層為二氧化硅，則可以鍍膜法鍍二氧化硅于圖案化透明導(dǎo)電層之上。此實(shí)施例為使用干膜光阻為絕緣層的材質(zhì)。形成透明絕緣保護(hù)層之后，再以卷對卷方式連續(xù)提供具有透明絕緣保護(hù)層的可饒式基材于曝光區(qū)5212，以曝光絕緣層于光罩圖形之下。再以卷對卷方式連續(xù)提供具有透明絕緣保護(hù)層的可饒式基材500于顯影區(qū) 5213，于顯影區(qū)5213中以顯影液顯影曝光后的透明絕緣保護(hù)層，形成圖案化的透明絕緣保護(hù)層。再以卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化透明絕緣保護(hù)層的可饒式基材500于鍍膜制程區(qū)5214，形成導(dǎo)電層于透明絕緣保護(hù)層之上，導(dǎo)電層的材質(zhì)可為至少一層導(dǎo)電金屬層，或者多層導(dǎo)電金屬層。其材質(zhì)可為銅合金、鋁合金、金、銀、鋁、銅、鉬等導(dǎo)電金屬或?qū)щ姾辖?。多層?dǎo)電金屬層的結(jié)構(gòu)，例如可為鉬層/鋁層/鉬層的堆疊結(jié)構(gòu)，或者可為選自銅合金、鋁合金、金、銀、鋁、銅、鉬等導(dǎo)電金屬或?qū)щ姾辖鸬囊环N或多種材質(zhì)而堆疊的多層導(dǎo)電金屬層結(jié)構(gòu)。以及以卷對卷方式連續(xù)提供具有導(dǎo)電層的可饒式基材500，圖案化導(dǎo)電層形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材500之上。其中圖案化導(dǎo)電層的步驟為依序于光阻形成區(qū)5215、曝光區(qū) 5216、顯影區(qū)5217和蝕刻區(qū)5218進(jìn)行圖案化制程，得到圖案化導(dǎo)電層。接著以卷對卷方式連續(xù)提供具有復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)的可饒式基材500于黏貼區(qū)53，黏貼黏著層于復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)之上或可饒式基材500之下。最后于裁切區(qū)裁切具有復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)的可饒式基材，形成復(fù)數(shù)片狀感測基材。本發(fā)明以卷對卷方式形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材之后才進(jìn)行裁切，可避免傳統(tǒng)觸控面板先將基材裁切成復(fù)數(shù)片狀基材，然后耗費(fèi)大量人力在搬運(yùn)以及形成感測結(jié)構(gòu)于每一片狀基材。由于上述制程為使用卷對卷方式來生產(chǎn)觸控面板，每道制程均可連續(xù)性在寬幅可饒性基材上運(yùn)作，將可節(jié)省大幅人力資源，并且以上述制程即可制作出所需的觸控面板，節(jié)省制作成本以及提升全制程良率。由于上述制程為使用卷對卷方式來生產(chǎn)觸控面板，每道制程均可連續(xù)性在寬幅可饒性基材上運(yùn)作，將可節(jié)省大幅人力資源，并且以上述制程即可制作出所需的觸控面板，節(jié)省制作成本以及提升全制程良率。
由于上述各實(shí)施例全制程均使用roll to roll的生產(chǎn)方式，全制程的時程掌控以及制程參數(shù)條件均為自動化，相較于傳統(tǒng)觸控面板的制造方式需要大量人力于各個站別進(jìn)行運(yùn)送，不但簡化制程而且節(jié)省人力成本，更可使良率提升。
權(quán)利要求
1.一種觸控面板自動化制造方法，其特征在于，包括 提供成卷的一可饒式基材；將成卷的該可饒式基材置于一傳輸器，該傳輸器提供卷對卷方式連續(xù)傳輸該可饒式基材；以卷對卷方式連續(xù)提供該可饒式基材于一鍍膜制程區(qū)，于該鍍膜制程區(qū)中形成一透明導(dǎo)電層于該可饒式基材；以及以卷對卷方式連續(xù)提供具有該透明導(dǎo)電層的該可饒式基材于一半導(dǎo)體制程區(qū)，于該半導(dǎo)體制程區(qū)中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于該可饒式基材之上。
2.如權(quán)利要求1所述的觸控面板自動化制造方法，其特征在于，于該半導(dǎo)體制程區(qū)中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于該可饒式基材之上包括卷對卷方式連續(xù)提供具有該透明導(dǎo)電層的該可饒式基材，圖案化該透明導(dǎo)電層； 卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化透明導(dǎo)電層的該可饒式基材，形成一絕緣層于該透明導(dǎo)電層之上；卷對卷方式連續(xù)提供具有該絕緣層的該可饒式基材，圖案化該絕緣層； 卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化絕緣層的該可饒式基材，形成一導(dǎo)電層于該絕緣層之上；以及卷對卷方式連續(xù)提供具有該導(dǎo)電層的該可饒式基材，圖案化該導(dǎo)電層。
3.如權(quán)利要求1所述的觸控面板自動化制造方法，其特征在于，更包括接著以卷對卷方式連續(xù)提供具有該些感測結(jié)構(gòu)的該可饒式基材于一黏貼區(qū)，黏貼一黏著層于該可饒基材之上；以及裁切具有該黏著層的該可饒式基材。
4.如權(quán)利要求1所述的觸控面板自動化制造方法，其特征在于，該傳輸器具有一入料軸和一出料軸，該入料軸設(shè)于該半導(dǎo)體制程區(qū)的一入料端供成卷的該可饒式基材入料，該出料軸設(shè)于該半導(dǎo)體制程區(qū)的一出料端供卷收具有復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)的該可饒式基材。
5.一種觸控面板自動化制造方法，其特征在于，包括 提供成卷的一可饒式基材；將成卷的該可饒式基材置于一傳輸器，該傳輸器提供卷對卷方式連續(xù)傳輸該可饒式基材；以卷對卷方式連續(xù)提供該可饒式基材于一鍍膜制程區(qū)，于該鍍膜制程區(qū)中依序形成一透明導(dǎo)電層和一金屬層于該可饒式基材；以及以卷對卷方式連續(xù)提供具有該透明導(dǎo)電層和該金屬層的該可饒式基材于一半導(dǎo)體制程區(qū)，于該半導(dǎo)體制程區(qū)中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于該可饒式基材之上。
6.如權(quán)利要求5所述的觸控面板自動化制造方法，其特征在于，于該半導(dǎo)體制程區(qū)中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于該可饒式基材之上包括卷對卷方式連續(xù)提供具有該透明導(dǎo)電層和該金屬層的該可饒式基材，圖案化該金屬層和該透明導(dǎo)電層，形成具有該金屬層于其上的圖案化透明導(dǎo)電層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化透明導(dǎo)電層的該可饒式基材，形成一絕緣層于該金屬層之上；卷對卷方式連續(xù)提供具有該絕緣層的該可饒式基材，圖案化該絕緣層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化絕緣層的該可饒式基材，形成一導(dǎo)電層于該絕緣層之上；以及卷對卷方式連續(xù)提供具有該導(dǎo)電層的該可饒式基材，圖案化該導(dǎo)電層和該金屬層。
7.如權(quán)利要求5所述的觸控面板自動化制造方法，其特征在于，于該半導(dǎo)體制程區(qū)中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于該可饒式基材之上包括卷對卷方式連續(xù)提供具有該透明導(dǎo)電層和該金屬層的該可饒式基材，圖案化該金屬層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化金屬層的該可饒式基材，圖案化該透明導(dǎo)電層； 卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化透明導(dǎo)電層的該可饒式基材，形成一絕緣層于該金屬層和該透明導(dǎo)電層之上；卷對卷方式連續(xù)提供具有該絕緣層的該可饒式基材，圖案化該絕緣層； 卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化絕緣層的該可饒式基材，形成一導(dǎo)電層于該絕緣層之上；以及卷對卷方式連續(xù)提供具有該導(dǎo)電層的該可饒式基材，圖案化該導(dǎo)電層。
8.如權(quán)利要求5所述的觸控面板自動化制造方法，其特征在于，于該半導(dǎo)體制程區(qū)中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于該可饒式基材之上包括卷對卷方式連續(xù)提供具有該透明導(dǎo)電層和該金屬層的該可饒式基材，圖案化該金屬層和該透明導(dǎo)電層，形成具有該金屬層于其上的圖案化透明導(dǎo)電層；卷對卷方式連續(xù)提供具有該金屬層于其上的圖案化透明導(dǎo)電層的該可饒式基材，圖案化該金屬層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化金屬層的該可饒式基材，形成一透明絕緣保護(hù)層于圖案化金屬層和圖案化透明導(dǎo)電層之上；對卷方式連續(xù)提供具有該透明絕緣保護(hù)層的該可饒式基材，圖案化該透明絕緣保護(hù)層；卷對卷方式連續(xù)提供具有圖案化透明絕緣保護(hù)層的該可饒式基材，形成一導(dǎo)電層于該透明絕緣保護(hù)層之上；以及卷對卷方式連續(xù)提供具有該導(dǎo)電層的該可饒式基材，圖案化該導(dǎo)電層。
9.如權(quán)利要求5所述的觸控面板自動化制造方法，其特征在于，更包括接著以卷對卷方式連續(xù)提供具有該些感測結(jié)構(gòu)的該可饒式基材于一黏貼區(qū)，黏貼一黏著層于該可饒基材之上；以及裁切具有該黏著層的該可饒式基材。
10.如權(quán)利要求5所述的觸控面板自動化制造方法，其特征在于，該傳輸器具有一入料軸和一出料軸，該入料軸設(shè)于該半導(dǎo)體制程區(qū)的一入料端供成卷的該可饒式基材入料，該出料軸設(shè)于該半導(dǎo)體制程區(qū)的一出料端供卷收具有復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)的該可饒式基材。
全文摘要
本發(fā)明一種觸控面板自動化制造方法，包括提供成卷的可饒式基材。以卷對卷方式(roll to roll)提供可饒式基材于鍍膜制程，于鍍膜制程區(qū)中形成透明導(dǎo)電層于可饒式基材。以卷對卷方式提供具有透明導(dǎo)電層的可饒式基材于半導(dǎo)體制程區(qū)，于半導(dǎo)體制程區(qū)中形成復(fù)數(shù)感測結(jié)構(gòu)于可饒式基材之上。
文檔編號G06F3/044GK102279661SQ20101019885
公開日2011年12月14日 申請日期2010年6月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月12日
發(fā)明者陳維釧 申請人:陳維釧