專利名稱：并行化仿真多線程管理方法
技術領域：
本發(fā)明涉及計算機應用技術領域和集成電路裝備領域，特別涉及一種基于設備控 制軟件的面向半導體制造裝備功能仿真的并行化仿真多線程管理方法。
背景技術：
隨著集成電路芯片集成度的不斷提升和芯片功能的不斷提高，人們對工藝的要求 越來越高，這對半導體制造裝備是一個巨大的挑戰(zhàn)。在半導體制造裝備的研究、開發(fā)和測試 工作中，包括硬件和軟件的研發(fā)。而所開發(fā)軟件中絕大部分是設備控制軟件，這些軟件在進 行測試時，需要首先在仿真環(huán)境下進行驗證，而單純?yōu)槟骋粋€項目開發(fā)軟件測試平臺不僅 耗時過大而且可重用性很差，為了提高軟件測試的效率和準確定位系統(tǒng)所存在問題，迫切 需要一個通用的軟件測試平臺系統(tǒng)。它需要提供各項目使用的所有硬件的仿真程序，使開 發(fā)出來的軟件能在此基礎之上運行，從而進行測試。仿真平臺的使用，能夠準確測試設備 控制系統(tǒng)軟件，可以減少控制系統(tǒng)軟件執(zhí)行與集成電路制造工藝過程的失敗，能解決集成 電路工藝設備的工藝穩(wěn)定性，工藝可靠性，減少設備維修時間，最大程度的提高設備的利用 率。在實際的半導體制造裝備中，很多信息的交互，設備的行為，參數(shù)的改變等等都是 在同一時間同步并行完成的，而對于半導體仿真平臺而言，要做到這點必須運用并行的多 線程機制才能實現(xiàn)。所謂多線程，是在計算機編程中，一個基本的概念就是同時對多個任務加以控制。 許多程序設計問題都要求程序能夠停下手頭的工作，改為處理其他一些問題，再返回主進 程?？梢酝ㄟ^多種途徑達到這個目的。最開始的時候，那些掌握機器低級語言的程序員編 寫一些“中斷服務例程”，主進程的暫停是通過硬件級的中斷實現(xiàn)的。盡管這是一種有用的 方法，但編出的程序很難移植，由此造成了另一類的代價高昂問題。中斷對那些實時性很強 的任務來說是很有必要的。但對于其他許多問題，只要求將問題劃分進入獨立運行的程序 片斷中，使整個程序能更迅速地響應用戶的請求。最開始，線程只是用于分配單個處理器的 處理時間的一種工具。但假如操作系統(tǒng)本身支持多個處理器，那么每個線程都可分配給一 個不同的處理器，真正進入“并行運算”狀態(tài)。從程序設計語言的角度看，多線程操作最有 價值的特性之一就是程序員不必關心到底使用了多少個處理器。程序在邏輯意義上被分割 為數(shù)個線程；假如機器本身安裝了多個處理器，那么程序會運行得更快，毋需作出任何特殊 的調(diào)校。根據(jù)前面的論述，大家可能感覺線程處理非常簡單。但必須注意一個問題共享資 源！如果有多個線程同時運行，而且它們試圖訪問相同的資源，就會遇到一個問題。舉個例 子來說，兩個進程不能將信息同時發(fā)送給一臺打印機。為解決這個問題，對那些可共享的資 源來說(比如打印機)，它們在使用期間必須進入鎖定狀態(tài)。所以一個線程可將資源鎖定， 在完成了它的任務后，再解開(釋放)這個鎖，使其他線程可以接著使用同樣的資源。多線 程是為了同步完成多項任務，不是為了提高運行效率，而是為了提高資源使用效率來提高 系統(tǒng)的效率。線程是在同一時間需要完成多項任務的時候實現(xiàn)的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的旨在至少解決上述的技術缺陷，提出了一種基于設備控制軟件的面 向半導體制造裝備功能仿真的并行化仿真多線程管理方法。為達到上述目的，本發(fā)明一方面提出了一種面向半導體制造裝備功能仿真的并行 化仿真多線程管理方法，包括以下步驟將所有通訊方式實例為通訊對象分別用一個線程 承載，且托付給相應的設備對象；對所述所有通訊對象的接收和發(fā)送方法進行多線程管理； 將所有設備類實例為設備對象分別托付給相應的子系統(tǒng)對象；對所述設備對象命令的解 析，動作的執(zhí)行，條件的判斷進行多線程管理；將所有子系統(tǒng)類實例為子系統(tǒng)對象分別托付 給相應的系統(tǒng)對象；和對所述子系統(tǒng)對象包括的所述設備對象之間的邏輯關系進行多線程 管理。在本發(fā)明的一個實施例中，所述將所有通訊方式實例為通訊對象分別用一個線程 承載，且托付給相應的設備對象，還包括所述不同的通訊對象有不同的通訊參數(shù)。在本發(fā)明的一個實施例中，所述對所述所有通訊對象的接收和發(fā)送方法進行多線 程管理，進一步包括所述通訊對象的接收和發(fā)送方法是唯一的；所述接收和發(fā)送方法為 一個互斥段，且同一時刻擁有互斥對象的線程具有訪問資源的權限；所述當前具有訪問資 源的權限的線程在任務處理完后將所述互斥對象交出，以為其它線程使用。在本發(fā)明的一個實施例中，所述互斥段為lock標記，所述lock把某一代碼定義為 互斥段，其中，所述互斥段在一個時刻內(nèi)只允許一個線程進入執(zhí)行。在本發(fā)明的一個實施例中，所述將所有設備類實例為設備對象分別托付給相應的 子系統(tǒng)對象，還包括解析所述通訊對象的各種信息；和分析所述設備對象的一些屬性行 為，以及根據(jù)所述各種信息執(zhí)行的相關動作。在本發(fā)明的一個實施例中，對所述設備對象命令的解析，動作的執(zhí)行，條件的判斷 進行多線程管理，進一步包括保證某段代碼在執(zhí)行的時候以某一設備線程獨占的方式執(zhí) 行；在所述某一設備線程獨占的方式執(zhí)行時，如果有另外的設備線程訪問所述代碼則會被 暫停，直到獨占的代碼執(zhí)行完畢。在本發(fā)明的一個實施例中，所述將所有子系統(tǒng)類實例為子系統(tǒng)對象分別托付給相 應的系統(tǒng)對象，其中，所述子系統(tǒng)還用于協(xié)調(diào)所述設備對象之間的操作。在本發(fā)明的一個實施例中，所述對所述子系統(tǒng)對象包括的所述設備對象之間的邏 輯關系進行多線程管理，進一步包括每一個設備線程表示為一個信號量；多個所述設備 線程同時使用共享資源，且標出同時訪問共享資源的所述設備線程最大數(shù)目；子系統(tǒng)層在 創(chuàng)建所述信號量時指出允許的最大資源計數(shù)和當前可用資源計數(shù)；線程在處理完共享資源 后，應在離開的同時將當前可用資源計數(shù)加1。在本發(fā)明的一個實施例中，在任何時候所述當前可用資源計數(shù)不能大于所述最大 資源計數(shù)。本發(fā)明的方法主要完成靈活管理仿真系統(tǒng)內(nèi)共享內(nèi)存和消息傳遞的各線程之間 的操作，避免線程之間共享資源時造成的線程沖突，使系統(tǒng)能夠清晰流暢的運行，并能最大 限度的節(jié)約開啟線程所使用的系統(tǒng)資源。且具有準確性、實時性的特點，可以與其他相關的 系統(tǒng)以及一個完整的半導體制造裝備功能仿真平臺配合使用。
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本發(fā)明附加的方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變 得明顯，或通過本發(fā)明的實踐了解到。


本發(fā)明上述的和/或附加的方面和優(yōu)點從下面結合附圖對實施例的描述中將變 得明顯和容易理解，其中圖1為本發(fā)明仿真系統(tǒng)并行化線程層次框圖舉例；圖2為本發(fā)明協(xié)議層的線程處理流程圖；圖3為本發(fā)明設備線程模塊；和圖4為本發(fā)明子系統(tǒng)層線程模塊。
具體實施例方式下面詳細描述本發(fā)明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終 相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附 圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能解釋為對本發(fā)明的限制。該面向半導體制造裝備功能仿真的并行化仿真多線程管理方法主要是實現(xiàn)在一 個仿真系統(tǒng)中各線程之間并行化運行的管理機制，簡單來說，就是使系統(tǒng)內(nèi)各個設備在接 收消息和執(zhí)行行為時能夠同時同步的執(zhí)行，在同時同步執(zhí)行期間，不會產(chǎn)生任何操作之間 的沖突。當然，必要的操作等待時間是存在的。該面向半導體制造裝備功能仿真的并行化仿真多線程管理方法是只針對半導體 制造裝備功能仿真平臺使用的，前提是建立在已經(jīng)完成的功能仿真平臺上的，我們將該系 統(tǒng)運用到已經(jīng)開發(fā)完成的一套的半導體制造裝備功能仿真平臺上，但是考慮到將來的開發(fā) 和發(fā)展，需要做到通用性和可擴展的要求，方便用戶的操作和使用，也便于和其他廠商或自 身其他產(chǎn)品兼容。在面向半導體制造裝備功能仿真的并行化仿真多線程管理方法的實現(xiàn)過程中，完 全是按照仿真平臺的層次來搭建的。由于仿真平臺分為了協(xié)議層，設備層，系統(tǒng)層3個層 次，在每個層次中都建立一套并行化仿真多線程機制，便于對個層次線程并行化的管理和 操作，由于該套管理方法和系統(tǒng)都是在后臺執(zhí)行的，因此沒有可視化界面給用戶操作，但是 考慮到將來的開發(fā)和兼容性問題，預留出了程序接口函數(shù)便于再次開發(fā)。當然，在實際系統(tǒng)中，會分為若干個子系統(tǒng)，而這些子系統(tǒng)又包含了若干種設備， 這些設備的通訊方式也有若干種，在實際運行時，所有的通訊方式、設備以及子系統(tǒng)都是同 步運行，并行的實時執(zhí)行操作的，仿真平臺為了滿足這個要求，我們分別對每個子系統(tǒng)、子 系統(tǒng)包含的設備和設備需要使用的協(xié)議都單獨運用一個線程來運行仿真，以保證和實際系 統(tǒng)相接近。具體地，在本發(fā)明的一個實施例中，面向半導體制造裝備功能仿真的并行化仿真 多線程管理方法的并行化線程層次框圖如圖1所示，圖1為本發(fā)明仿真系統(tǒng)并行化線程層 次框圖舉例。針對每一層來說，每個線程里面還會包含了新的線程關系，例如對于一個設備線 程，當設備接收到不同的控制命令時，需要執(zhí)行各種不同的行為，這些行為也是由線程控制并統(tǒng)一管理的，為了盡量的接近實際設備的情況，在設計的時候考慮了多線程的并行化實 現(xiàn)。由前面可知，該管理方法以系統(tǒng)分為了協(xié)議層、設備層、子系統(tǒng)層3層來分別管 理，但是在每一層之間都會有上下傳遞消息的接口用來系統(tǒng)內(nèi)，避免各層之間的脫節(jié)，下面 分別做詳細介紹。在本發(fā)明的實施例中，協(xié)議層線程管理對于整個系統(tǒng)而言，協(xié)議層是系統(tǒng)的最底 層，它是系統(tǒng)與外界通信的關鍵層次，在協(xié)議層中，會不停的出現(xiàn)接收和發(fā)送事件以及無數(shù) 的通訊信息，如果不能實時準確的處理好這些邏輯，仿真平臺就不能實現(xiàn)該有的功能。因 此，采用了一種多線程并行的管理方法來實現(xiàn)。首先，將通訊類實例成一個個的對象交給上層的設備，簡單來說就是該設備對象 需要什么通訊方式，就將該通訊方式的實例用一個線程承載，托付給該設備對象，這樣就如 同實際設備一樣，不同的仿真設備能在同一時間并行的接收和發(fā)送信息，避免了上層仿真 設備線程同時訪問一個通訊對象，發(fā)生沖突。前提是這些通訊類對象需要有不同的通訊參 數(shù)，如果通訊參數(shù)相同則會出現(xiàn)通訊沖突。在每一個通訊對象中，所做的主要工作就是按照協(xié)議格式在設備與控制系統(tǒng)或者 設備與設備之間接收和發(fā)送各種信息，當設備在同一時間接受或者發(fā)送命令的時候就會出 現(xiàn)沖突，因此對接收和發(fā)送的方法采用了一種線程管理方法。如圖2所示，為本發(fā)明協(xié)議層 的線程處理流程圖。每個線程都有自己的資源，但是代碼區(qū)是共享的，即每個線程都可以執(zhí)行相同的 函數(shù)。但是多線程環(huán)境下，可能帶來的問題就是幾個線程同時執(zhí)行一個函數(shù)，導致數(shù)據(jù)的混 亂，產(chǎn)生不可預料的結果，因此必須避免這種情況的發(fā)生。C#提供了一個關鍵字lock，它可 以把一段代碼定義為互斥段(critical section)，互斥段在一個時刻內(nèi)只允許一個線程進 入執(zhí)行，而其他線程必須等待。更為具體地在每一個通訊實例中，接收和發(fā)送方法是唯一的，當不同的接收和發(fā) 送線程同時調(diào)用接收和發(fā)送方法時，就需要保證在某一時刻只有一個線程能訪問數(shù)據(jù)。接 收和發(fā)送方法就是一個互斥段，只有擁有互斥對象的線程才具有訪問資源的權限，由于互 斥對象只有一個，因此就決定了任何情況下此共享資源都不會同時被多個線程所訪問。當 前占據(jù)資源的線程在任務處理完后應將擁有的互斥對象交出，以便其他線程在獲得后得以 訪問資源。因為使用互斥不僅僅能夠在同一應用程序不同線程中實現(xiàn)資源的安全共享，而 且可以在不同應用程序的線程之間實現(xiàn)對資源的安全共享。因為當接收線程接收到一個信 息之后，會馬上將該信息傳遞到通往上層的接口處，然后釋放掉了該線程，發(fā)送也是相同的 操作，是個很短暫的過程，因此在接收和發(fā)送的時候不會出現(xiàn)太大的延遲狀況甚至丟失信 息的情況。在本發(fā)明的實施例中，設備層線程管理對于設備層而言，是整個仿真平臺的靈魂 所在，需要在軟件層次模擬出實際設備的種種行為。在設備層，不但需要解析協(xié)議層傳遞過 來的各種信息，還有自己本身的一些屬性行為以及根據(jù)信息執(zhí)行的相關動作。對于如此繁 雜的邏輯，也采用一種多線程機制進行管理。設備層與協(xié)議層相同，將設備類實例成一個個的對象交給上層的子系統(tǒng)，簡單來 說就是該子系統(tǒng)包含了多少設備對象，就將這些設備對象用線程承載運行，托付給上層子系統(tǒng)，這樣就如同實際系統(tǒng)一樣，不同的仿真設備能在同一時間實現(xiàn)不同的功能，避免了不 同子系統(tǒng)同時訪問一個設備對象，發(fā)生沖突。在設備對象中，命令的解析，動作的執(zhí)行，條件的判斷等等邏輯都是需要同步同時 執(zhí)行的，對于這些功能我們都開啟了線程來同步執(zhí)行，同時，設備對象中也存在很多共享資 源，例如設備的參數(shù)，設備的命令等等，不同的線程會在同一時間訪問這些共享資源，因此 會出現(xiàn)線程之間的沖突情況出現(xiàn)，于是用一種方法來避免這種情況的發(fā)生，該線程管理方 法用來保護某段代碼在執(zhí)行的時候以獨占的方式執(zhí)行，這時如果有第二個線程想訪問這個 對象時就會被暫停。一直等到獨占的代碼執(zhí)行為止。設備線程模塊如圖3所示，為本發(fā)明 設備線程模塊。更為具體地，正常來說，被允許執(zhí)行的線程首先會擁有對變量或對象的排他性訪 問權。當?shù)谝粋€線程訪問對象時，第一個線程會給訪問對象加鎖，而這個鎖會導致其它也想 訪問同一對象的線程被阻塞，直至第一個線程釋放它加在對象上的鎖。因此在線程之間要 相互通信、相互協(xié)調(diào)才能完成任務。舉例說明當有多個線程共同訪問同一個資源時，就必 須保證第一個線程在正讀取這個資源數(shù)據(jù)的時候，其它線程不能夠修改它，這就需要線程 之間相互通信。再有當一個線程要準備執(zhí)行下一個任務之前，它必須等待另一個線程終止 才能運行，這也需要彼此相互通信。該共享資源就是一個臨界區(qū)(Critical Section)，是保 證在某一時刻只有一個線程能訪問數(shù)據(jù)的簡便辦法。在任意時刻只允許一個線程對共享資 源進行訪問。如果有多個線程試圖同時訪問臨界區(qū)，那么在有一個線程進入后其他所有試 圖訪問此臨界區(qū)的線程將被掛起，并一直持續(xù)到進入臨界區(qū)的線程離開。臨界區(qū)在被釋放 后，其他線程可以繼續(xù)搶占，并以此達到用原子方式操作共享資源的目的。而不同的線程之 間則是運用了線程池來管理，對于運行邏輯而言，訪問共享資源是個非常短暫的間隔時間， 因此并不會妨礙整個系統(tǒng)運行的效率，該多線程管理方法的運用使得多個線程并行的工作 以完成多項任務，提高了系統(tǒng)的效率和資源的利用率。在本發(fā)明的實施例中，子系統(tǒng)層線程管理子系統(tǒng)層對整個仿真平臺而言，就是將 整個半導體制造裝備按照功能細化為一塊一塊的功能模塊，每個功能模塊都是有若干個設 備組合而成的，因此子系統(tǒng)還需要協(xié)調(diào)這些設備之間的操作，保證這些設備能夠整合成一 個整體準確的實現(xiàn)功能，所以清晰的子系統(tǒng)層線程管理方法是必要的。在本發(fā)明的實施例中，將子系統(tǒng)類實例成一個個的對象，這些對象里面包含了許 多設備之間的邏輯關系，簡單來說就是該系統(tǒng)包含了多少子系統(tǒng)對象，就將這些子系統(tǒng)對 象用線程承載運行，這樣就如同實際系統(tǒng)一樣，不同的子系統(tǒng)以及其包含的設備能在同一 時間實現(xiàn)不同的功能，避免了不同子系統(tǒng)同時訪問一個設備對象，發(fā)生沖突。在子系統(tǒng)層中，包含了很多設備之間的邏輯關系，例如當一個設備執(zhí)行什么動作 或者該設備的屬性達到某個臨界值時，另一個設備會執(zhí)行相關的動作或者其屬性發(fā)生改 變，或者幾個設備控制著另一個設備的狀態(tài)改變等等，這些設備之間的邏輯關系往往是比 較復雜的，我們都將它們儲存在子系統(tǒng)層中，作為一個共享資源供子系統(tǒng)包含的設備訪問， 為了達到設備并行訪問的目的，我們設計了一套并行化的實現(xiàn)方法。子系統(tǒng)層線程模塊如 圖4所示，為本發(fā)明子系統(tǒng)層線程模塊。更為具體地在本發(fā)明的實施例中，子系統(tǒng)層就是一個共享資源，包含了若干設備 之間的邏輯關系，每一個設備線程就是一個信號量，子系統(tǒng)層允許多個線程同時使用共享資源。它指出了同時訪問共享資源的線程最大數(shù)目。它允許多個線程在同一時刻訪問同一 資源，但是需要限制在同一時刻訪問此資源的最大線程數(shù)目。子系統(tǒng)層在創(chuàng)建信號量時即 要同時指出允許的最大資源計數(shù)和當前可用資源計數(shù)。一般是將當前可用資源計數(shù)設置 為最大資源計數(shù)，每增加一個線程對共享資源的訪問，當前可用資源計數(shù)就會減1，只要當 前可用資源計數(shù)是大于0的，就可以發(fā)出信號量信號。但是當前可用計數(shù)減小到0時則說 明當前占用資源的線程數(shù)已經(jīng)達到了所允許的最大數(shù)目，不能在允許其他線程的進入，此 時的信號量信號將無法發(fā)出。線程在處理完共享資源后，應在離開的同時將當前可用資源 計數(shù)加1。在任何時候當前可用資源計數(shù)決不可能大于最大資源計數(shù)。因為一個子系統(tǒng)涉 及的設備數(shù)是固定的，在已知設備數(shù)的前提下，線程數(shù)目是已知的，同時為了便于以后的開 發(fā)，我們也預留了線程數(shù)目接口，方便用戶在需要添加設備的情況下增加線程數(shù)目。本發(fā)明主要在于，為了解決半導體制造裝備控制軟件測試的效率和準確定位系統(tǒng) 所存在問題，而提出一種基于設備控制軟件的面向半導體制造裝備功能仿真的并行化仿真 多線程管理方法以及其系統(tǒng)。盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實施例，對于本領域的普通技術人員而言，可以 理解在不脫離本發(fā)明的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換 和變型，本發(fā)明的范圍由所附權利要求及其等同限定。
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權利要求
一種并行化仿真多線程管理方法，包括以下步驟將所有通訊方式實例為通訊對象分別用一個線程承載，且托付給相應的設備對象；對所述所有通訊對象的接收和發(fā)送方法進行多線程管理；將所有設備類實例為設備對象分別托付給相應的子系統(tǒng)對象；對所述設備對象命令的解析，動作的執(zhí)行，條件的判斷進行多線程管理；將所有子系統(tǒng)類實例為子系統(tǒng)對象分別托付給相應的系統(tǒng)對象；和對所述子系統(tǒng)對象包括的所述設備對象之間的邏輯關系進行多線程管理。
2.如權利要求1所述的并行化仿真多線程管理方法，其特征在于，所述將所有通訊方 式實例為通訊對象分別用一個線程承載，且托付給相應的設備對象，還包括所述不同的通訊對象有不同的通訊參數(shù)。
3.如權利要求1所述的并行化仿真多線程管理方法，其特征在于，所述對所述所有通 訊對象的接收和發(fā)送方法進行多線程管理，進一步包括所述通訊對象的接收和發(fā)送方法是唯一的；所述接收和發(fā)送方法為一個互斥段，且同一時刻擁有互斥對象的線程具有訪問資源的 權限；所述當前具有訪問資源的權限的線程在任務處理完后將所述互斥對象交出，以為其它 線程使用。
4.如權利要求3所述的并行化仿真多線程管理方法，其特征在于，所述互斥段為lock 標記，所述lock把某一代碼定義為互斥段，其中，所述互斥段在一個時刻內(nèi)只允許一個線 程進入執(zhí)行。
5.如權利要求1所述的并行化仿真多線程管理方法，其特征在于，所述將所有設備類 實例為設備對象分別托付給相應的子系統(tǒng)對象，還包括解析所述通訊對象的各種信息；和分析所述設備對象的一些屬性行為，以及根據(jù)所述各種信息執(zhí)行的相關動作。
6.如權利要求1所述的并行化仿真多線程管理方法，其特征在于，對所述設備對象命 令的解析，動作的執(zhí)行，條件的判斷進行多線程管理，進一步包括保證某段代碼在執(zhí)行的時候以某一設備線程獨占的方式執(zhí)行； 在所述某一設備線程獨占的方式執(zhí)行時，如果有另外的設備線程訪問所述代碼則會被 暫停，直到獨占代碼執(zhí)行完畢。
7.如權利要求1所述的并行化仿真多線程管理方法，其特征在于，所述將所有子系統(tǒng) 類實例為子系統(tǒng)對象分別托付給相應的系統(tǒng)對象，其中，所述子系統(tǒng)還用于協(xié)調(diào)所述設備 對象之間的操作。
8.如權利要求1所述的并行化仿真多線程管理方法，其特征在于，所述對所述子系統(tǒng) 對象包括的所述設備對象之間的邏輯關系進行多線程管理，進一步包括每一個設備線程表示為一個信號量；多個所述設備線程同時使用共享資源，且標出同時訪問共享資源的所述設備線程最大 數(shù)目；子系統(tǒng)層在創(chuàng)建所述信號量時指出允許的最大資源計數(shù)和當前可用資源計數(shù)； 線程在處理完共享資源后，應在離開的同時將當前可用資源計數(shù)加1。
9.如權利要求8所述的并行化仿真多線程管理方法，其特征在于，在任何時候所述當 前可用資源計數(shù)不能大于所述最大資源計數(shù)。
全文摘要
本發(fā)明提出一種并行化仿真多線程管理方法，包括以下步驟將所有通訊方式實例為通訊對象分別用一個線程承載；對所述所有通訊對象的接收和發(fā)送方法進行多線程管理；將所有設備類實例為設備對象；對所述設備對象命令的解析，動作的執(zhí)行，條件的判斷進行多線程管理；將所有子系統(tǒng)類實例為子系統(tǒng)對象；和對所述子系統(tǒng)對象包括的所述設備對象之間的邏輯關系進行多線程管理。通過該方法能夠解決半導體制造裝備控制軟件測試的效率和準確定位系統(tǒng)所存在問題，該裝置能夠決集成電路工藝設備的工藝穩(wěn)定性，工藝可靠性，減少設備維修時間，最大程度的提高設備的利用率。
文檔編號G06F9/46GK101976203SQ201010291919
公開日2011年2月16日 申請日期2010年9月26日 優(yōu)先權日2010年9月26日
發(fā)明者徐華, 李壘, 王巍, 高士云 申請人:清華大學