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      超越探針臺排列方式的方法

      文檔序號:6352643閱讀:339來源:國知局
      專利名稱:超越探針臺排列方式的方法
      技術領域
      本發(fā)明涉及一種超越探針臺排列方式的方法。
      背景技術
      目前在硅片量產(chǎn)測試中,探針臺針對探針卡信息及硅片信息會存放在一個叫品種參數(shù)的文件中,其中探針卡信息包括同測數(shù)、排列方式、被測器件(DUT)相對位置等信息,存儲在位置名變量中,如圖1所示,測試時,測試機通過GPIB讀取探針臺的位置名變量LocationName,通過在位置名變量LocationName配置文件中查找對應的名稱,解析該位置名變量LocationName,從而得到探針卡信息,計算出此次測試接觸中每個被測器件DUT的坐標信息,測試程序接收該計算得到的坐標信息并用于序列碼的寫入等操作。隨著現(xiàn)在同測數(shù)的不斷提高和芯片測試壓焊點排列復雜性的提升,對探針卡廠商也是極大的挑戰(zhàn),常規(guī)的探針卡排列已經(jīng)無法滿足要求,為了滿足同測數(shù),探針卡只有使用超常規(guī)的方式,比如隔列、隔行、夾花等形式才能做出滿足一定同測數(shù)要求的探針卡。但問題也隨之而來,因為目前探針臺的位置名變量(LocationName)沒有諸如隔列、隔行等特殊排列的信息,所以當兩張?zhí)结樋ǖ耐瑴y數(shù)一樣、水平方向與豎直方向的被測器件數(shù)一樣、參考被測器件位置一樣、其它被測器件與參考被測器件的相對位置一樣時,無法分辨出哪張是特殊排列,哪張是常規(guī)排列,所以無法使用超越目前探針臺排列方式以外的排列進行測試。例如,位置名變量LocationName為“F0816LUY”時,表示探針卡為08 X 16排列的128同測,如圖2所示,其中參考被測器件1在左上角,被測器件2在被測器件1的Y方向。而當探針卡排列為08X16排列,參考被測器件1同樣在左上角,被測器件2同樣在被測器件1的Y方向,但為每列兩兩相隔的時候,如圖3所示,僅靠當前系統(tǒng)提供的位置名變量LocationName已無法提供隔列的信息。如果要實現(xiàn)隔列的測試,一個方案是需要探針臺升級操作系統(tǒng),提供測試機能夠描述隔列信息的參數(shù),但開發(fā)升級操作系統(tǒng),費用巨大,而且還要考慮新系統(tǒng)與現(xiàn)有系統(tǒng)的兼容問題,十分復雜。另一個方案是針對特殊排列的探針卡,購買能夠支持多種排列方式的探針臺,但這需要十分昂貴的購機費用,增加了測試成本。

      發(fā)明內容
      本發(fā)明要解決的技術問題是提供一種超越探針臺排列方式的方法,它能夠在不改變探針臺的情況下,正常使用超常規(guī)排列方式的探針卡,突破同測時探針臺對排列方式的限制。為解決上述技術問題,本發(fā)明的超越探針臺排列方式的方法包括以下步驟步驟一明確需要測試的探針卡的排列方式,并自定義一能夠描述該排列方式的新位置名
      變量;在測試機的位置名配置文件中增加該新位置名變量及其對應的配置信息;在與該探針卡對應的測試程序中增加該新位置名變量,其值(變量的名字)與所述位置名配置文件中增加的新位置名變量的值(變量的名字)一致;更新測試機GPIB驅動,使其具備訪問測試機測試程序、用測試程序的新位置名變量替換探針臺的原位置名變量的功能;步驟二 測試時,GPIB驅動訪問測試機測試程序,查找該程序是否存在新位置名
      變量;步驟三當所述測試程序中存在新位置名變量時GPIB驅動用該新位置名變量替換從探針臺發(fā)送過來的原位置名變量;當所述測試程序中不存在新位置名變量時保持從探針臺發(fā)送過來的原位置名變量。其中所述步驟一中位置名配置文件中增加的所述新位置名變量的配置信息包括該新位置名變量(即其值)、對應的測試探針卡的同測數(shù)、被測器件排列方式、被測器件的相對坐標。測試機根據(jù)步驟三中得到的新位置名變量或探針臺的原位置名變量,在所述位置名配置文件中查找與該變量對應的配置信息當所述新位置名變量或原位置名變量在所述位置名配置文件中存在且其值一致時,測試機根據(jù)其配置信息計算每個被測器件的坐標信息,測試程序接收該各個被測器件的坐標信息并進行測試;當所述新位置名變量或原位置名變量在所述位置名配置文件中不存在時,測試機報警。利用自定義的新位置名變量,探針臺的原位置名變量的內容能夠被替換成任意我們所需要的內容,因此能夠描述多種特殊排列的特征信息,比如08X16隔行用F0816LUYH1V0來表示,隔列用F0816LUYH0V1表示,夾花用F0816H1V1表示,所以能夠支持所有排列方式的測試。綜上所述本發(fā)明能夠在不改變探針臺的情況下,正常使用超常規(guī)排列方式的探針卡,突破同測時探針臺對排列方式的限制,使其具備測試特殊排列方式的能力,從而減少開發(fā)新系統(tǒng)及購買新設備的費用,降低測試成本。


      下面結合附圖與具體實施方式
      對本發(fā)明作進一步詳細的說明圖1為常規(guī)測試機與探針臺工作方式示意圖;圖2為探針臺位置名變量為“F0816LUY”時被測器件位置示意圖;圖3為一超常規(guī)探針卡被測器件位置示意圖;圖4為使用本發(fā)明的方法后測試機與探針臺工作方式示意圖。
      具體實施例方式本發(fā)明通過在測試機位置名配置文件中增加新位置名變量的配置信息,并以其替代從探針臺發(fā)送過來的原位置名變量,實現(xiàn)特殊排列方式的測試,其具體步驟包括步驟一準備工作,包含明確需要測試的探針卡的排列方式,并自定義一能夠描述該探針卡排列方式的新位置名變量NewLocName ;
      在測試機的位置名配置文件中增加所述新位置名變量NewLocName的配置信息,該配置信息包括該新位置名變量的值“NewLocName”、與其對應的所述測試探針卡的同測數(shù)、被測器件排列方式、被測器件的相對坐標等信息,完成此步配置后,所述位置名配置文件同時仍然包含有探針臺的原位置名變量的配置信息,如變量Namel、變量Name3的配置信息,如圖4所示;在與所述探針卡對應的測試程序中增加所述新位置名變量NewLocName,該新位置名變量NewLocName的值(變量的名字)與所述位置名配置文件中增加的新位置名變量的值(變量的名字)一致;更新測試機GPIB驅動,使其具備訪問測試程序、用新位置名變量替換探針臺的原位置名變量的功能;步驟二測試時,如圖4所示,探針臺執(zhí)行測試命令,傳遞原位置名變量LocationName給測試機,同時GPIB驅動訪問測試機測試程序、查找該測試程序是否存在新位置名變量NewLocName ;步驟三當所述測試程序存在新位置名變量NewLocName時,GPIB驅動用該新位置名變量NewLocName替換從探針臺發(fā)送過來的原位置名變量LocationName ;當所述測試程序不存在新位置名變量NewLocName時,GPIB驅動保留從探針臺發(fā)送過來的原位置名變量Location Name ;步驟四測試機根據(jù)步驟三中得到的新位置名變量NewLocName或原位置名變量Location Name,在所述位置名配置文件中查找與其對應的信息;步驟五當所述的新位置名變量NewLocName (即其值)或原位置名變量LocationName (即其值)在所述位置名配置文件存在時,測試機根據(jù)其對應的配置信息計算各被測器件的坐標信息,測試程序接收該各個被測器件的坐標信息進行測試;當所述的新位置名變量NewLocName (即其值)或原位置名變量LocationName (即其值)在所述位置名配置文件不存在時,測試機報警。本發(fā)明通過在測試機位置名配置文件中增加新位置名變量NewLocName的配置信息,并以其替代從探針臺發(fā)送過來的原位置名變量Location Name,實現(xiàn)特殊排列方式的測試。需要說明的是上述僅為本發(fā)明較佳實施,不能以此限制本發(fā)明的實施范圍,即凡依照本發(fā)明方法、技術原理及精神所作的變化與修飾,皆屬于本發(fā)明的保護范圍。
      權利要求
      1.一種超越探針臺排列方式的方法,其特征在于,包括如下步驟步驟一明確需要測試的探針卡的排列方式,并自定義一能夠描述該排列方式的新位置名變量;在測試機的位置名配置文件中增加該新位置名變量及其對應的配置信息;在與該探針卡對應的測試程序中增加該新位置名變量,其值與所述位置名配置文件中增加的新位置名變量的值一致;更新測試機GPIB驅動,使其具備訪問測試機測試程序、用測試程序的新位置名變量替換探針臺的原位置名變量的功能;步驟二 測試時,GPIB驅動訪問測試機測試程序,查找該程序是否存在新位置名變量;步驟三當所述測試程序中存在新位置名變量時=GPIB驅動用該新位置名變量替換從探針臺發(fā)送過來的原位置名變量;當所述測試程序中不存在新位置名變量時保持從探針臺發(fā)送過來的原位置名變量。
      2.如權利要求1所述的超越探針臺排列方式的方法,其特征在于所述步驟一中位置名配置文件中增加的所述新位置名變量的配置信息包括所述新位置名變量、所述對應的測試探針卡的同測數(shù)、被測器件排列方式、被測器件的相對坐標。
      3.如權利要求1所述的超越探針臺排列方式的方法,其特征在于測試機根據(jù)步驟三中得到的新位置名變量或探針臺的原位置名變量,在所述位置名配置文件中查找與該變量對應的配置信息。
      4.如權利要求3所述的超越探針臺排列方式的方法,其特征在于所述新位置名變量或原位置名變量在所述位置名配置文件中存在且其值一致,則測試機根據(jù)其配置信息計算每個被測器件的坐標信息,測試程序接收該各個被測器件的坐標信息并進行測試。
      5.如權利要求3所述的超越探針臺排列方式的方法,其特征在于所述新位置名變量或原位置名變量在所述位置名配置文件中不存在,則測試機報警。
      全文摘要
      本發(fā)明公開了一種超越探針臺排列方式的方法,其根據(jù)使用的探針卡,自定義一新位置名變量,在測試機位置名配置文件中添加該新位置名變量的配置信息,同時在對應的測試程序中增加該新位置名變量,測試時GPIB訪問測試程序中的該新位置名變量,并以其替換從探針臺發(fā)送過來的原位置名變量,再用該新位置名變量在位置名配置文件中查找對應的排列信息,計算得到每個被測器件的坐標信息進行測試。本發(fā)明的方法能夠在不改變探針臺的情況下,實現(xiàn)任意排列方式的測試,正常使用超常規(guī)排列方式的探針卡,突破同測時探針臺對排列方式的限制。
      文檔編號G06F9/44GK102591624SQ20111000162
      公開日2012年7月18日 申請日期2011年1月6日 優(yōu)先權日2011年1月6日
      發(fā)明者朱淵源, 辛吉升 申請人:上海華虹Nec電子有限公司
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