專利名稱：基于電荷轉(zhuǎn)移的傳感器結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及電子顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體來說，是一種基于電荷轉(zhuǎn)移的傳感器結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
觸控面板(Touch Panel)已大量應(yīng)用于家電、通訊、電子資訊等產(chǎn)品應(yīng)用上，如目前廣泛商用之掌上電腦、各種家電設(shè)備、游戲輸入界面等。均由觸控面板與顯示器之整合， 可供使用者以手指或觸控筆依照顯示畫面上之功能選項(xiàng)觸摸輸入所欲執(zhí)行的動(dòng)作。熟知的觸控面板主要在一塊基板表面布設(shè)感應(yīng)區(qū)域，其感應(yīng)區(qū)域用手指或觸控筆觸摸圖標(biāo)或菜單來達(dá)到觸控的目的。該感應(yīng)部件即為一種基于電荷轉(zhuǎn)移位置傳感器。該傳感部件的制作所使用的材料大都采用帶有透明導(dǎo)電薄膜(氧化銦錫，俗稱ΙΤ0)的玻璃，使得使用者在操作時(shí)，觸摸該傳感器達(dá)到電荷轉(zhuǎn)移的目的。ITO導(dǎo)電玻璃是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎(chǔ)上，利用磁控濺射的方法鍍上一層氧化銦錫膜加工制作而成。電容式觸摸傳感器主要有表面電容式觸摸傳感器和投射電容式觸摸傳感器。表面電容式觸摸傳感器只采用單層ITO玻璃；投射電容式觸摸傳感器與表面電容式觸摸傳感器相比，是在兩層ITO涂層玻璃上蝕刻出不同的ITO模塊?，F(xiàn)有基于電荷轉(zhuǎn)移位置傳感器大都是一塊多層復(fù)合玻璃屏；基于電荷轉(zhuǎn)移位置傳感器的制作主要是在玻璃表面通過真空濺射鍍膜的方法鍍上透明的金屬透明導(dǎo)電層 (ΙΤ0)，然后在兩面分別經(jīng)過涂布、烘干、曝光、顯影、蝕刻、去膠等工藝制成電極圖案，最后再用印刷低溫銀漿或者化學(xué)鍍金屬的方法制作一層金屬強(qiáng)化走線層。印刷低溫銀漿的方式能夠制作的電極的分辨率較低，且良品率低下；化學(xué)鍍的方式一般選擇使用金(Au)，不僅加工工序多，而且Au的附著力差，同時(shí)Au的成本很高，制作成品率低。玻璃基底過厚會(huì)造成重量增加，過薄在制作過程中易于損壞，并且無法實(shí)現(xiàn)卷曲，生產(chǎn)效率低。

實(shí)用新型內(nèi)容技術(shù)問題本實(shí)用新型提供一種基于電荷轉(zhuǎn)移的傳感器結(jié)構(gòu)，該傳感器結(jié)構(gòu)加工工序少，生產(chǎn)成本低，成品率高于現(xiàn)有技術(shù)，同時(shí)減輕了產(chǎn)品重量，并能夠?qū)崿F(xiàn)產(chǎn)品的卷曲。技術(shù)方案基于電荷轉(zhuǎn)移的傳感器結(jié)構(gòu)，包括基材、在基材上表面依次形成的第一透明導(dǎo)電層、第一引線電極組、第一保護(hù)層和在基材下表面依次形成的第二透明導(dǎo)電層、第二引線電極組、第二保護(hù)層；第一引線電極組由透明導(dǎo)電層及覆蓋透明導(dǎo)電層的金屬強(qiáng)化層組成，該引線電極組與第一透明導(dǎo)電層電氣相連，其上覆蓋第一保護(hù)層；第二引線電極組由透明導(dǎo)電層及覆蓋透明導(dǎo)電層的金屬強(qiáng)化層組成，該引線電極組與第二透明導(dǎo)電層電氣相連，其上覆蓋第二保護(hù)層；第一引線電極組與第二引線電極組互相垂直?；臑椴Ａ?、聚對(duì)苯二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、亞克力或聚烯烴，厚度 0. 05mm 0. 7mm。所述玻璃的厚度為0. lmnTO. 7mm。[0010]所述的透明導(dǎo)電層的材料為氧化銦錫、氧化鋅、氧化錫、鋁、鎳、鉬、金、銀、銅、碳納米管膜或?qū)щ姌渲械囊环N或任意幾種的組合物。所述的金屬強(qiáng)化層的材料為鋁、鎳、鉬、金、銀或銅中的一種或任意幾種的合金。制作基于電荷轉(zhuǎn)移的傳感器結(jié)構(gòu)的方法，步驟為在基材的兩面通過真空濺射鍍膜、真空離子鍍膜、真空熱蒸發(fā)鍍膜或涂布的方法制作透明導(dǎo)電層；在上述上下透明導(dǎo)電層表面通過真空濺射鍍膜、真空離子鍍膜、真空熱蒸發(fā)鍍膜、電鍍或化學(xué)鍍方法制作金屬強(qiáng)化層；通過選擇性腐蝕方法在基材雙面分別形成第一透明導(dǎo)電層、第一引線電極組、第二透明導(dǎo)電層、第二引線電極組的圖形；在第一引線電極組和第二引線電極組表面采用絲網(wǎng)印刷、 圓輥移印或光刻的方法制作保護(hù)層；將完成上述工藝的工件放入選擇性蝕刻液，將覆蓋透明導(dǎo)電層的金屬強(qiáng)化層去除。所述的選擇性腐蝕方法采用涂布感光膠、貼敷感光干膜或者絲網(wǎng)印刷感光膠，之后干燥、曝光、顯影、蝕刻、去膠的方法完成電極圖案的制作。所述的選擇性腐蝕方法采用絲網(wǎng)印刷或圓輥移印直接制作防蝕刻膠，之后干燥、 曝光、顯影、蝕刻、去膠的方法完成電極圖案的制作。在對(duì)感光膠進(jìn)行曝光、顯影、蝕刻與脫膜工藝時(shí)，兩面同時(shí)進(jìn)行工藝，或先對(duì)其中一面進(jìn)行工藝，結(jié)束之后用保護(hù)膜將其保護(hù)住，然后對(duì)另一面進(jìn)行工藝，完成之后去除保護(hù)膜。將有機(jī)基材裁切后以片狀形式進(jìn)行作業(yè)；或使用卷對(duì)卷的模式進(jìn)行作業(yè)。有益效果本實(shí)用新型提出了一種新的基于電荷轉(zhuǎn)移的傳感器結(jié)構(gòu)，取消了傳統(tǒng)工藝中通過印刷或者電鍍的方式制作強(qiáng)化引線，取而代之的是使用對(duì)整面金屬強(qiáng)化層進(jìn)行光刻的方式來實(shí)現(xiàn)。而且雙面制作圖案的方法，增大了可視區(qū)域，降低了對(duì)綁定的精度要求。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)可以減少原有的工序，大大提高了產(chǎn)品的良品率，成本更低，更具有競(jìng)爭(zhēng)力。

圖1是一種基于電荷轉(zhuǎn)移的傳感器結(jié)構(gòu)示意圖；圖中a為引線電極組。圖2是基材濺射透明導(dǎo)電層和金屬強(qiáng)化層后的示意圖。圖3是涂布后的示意圖。圖4是顯影后示意圖。圖5是蝕刻后示意圖。圖6是去膠后示意圖。圖7是制作金屬強(qiáng)化走線的保護(hù)膠后的示意圖。圖8是二次蝕刻去除金屬強(qiáng)化層后的示意圖。圖9是有機(jī)基材的卷對(duì)卷作業(yè)方式流程示意圖。圖10是有機(jī)基材的片狀作業(yè)方式流程示意圖。1基材；2第一透明導(dǎo)電層；3第一金屬強(qiáng)化層；4第一保護(hù)層；5第二透明導(dǎo)電層； 6第二金屬強(qiáng)化層；7第二保護(hù)層；8第一感光膠層；9第二感光膠層；a為引線電極組。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明，但本實(shí)用新型并不僅限于該實(shí)施例。選擇性蝕刻液為三氯化鐵、硫酸、鹽酸、硝酸、氫氟酸、草酸、氨水或氯化銨中的一種或任意幾種的組合。實(shí)施例1選擇卷式聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)膜為基材，整個(gè)過程以卷對(duì)卷的模式進(jìn)行作業(yè)；參見圖9。在PET膜1的上表面通過真空濺射鍍膜的方法先后鍍上氧化銦錫(ITO)層 2和銅(Cu)層3，再在下表面通過真空濺射鍍膜的方法先后鍍上氧化銦錫(ITO)層5和銅 (Cu)層6，參見圖2 ；在兩面先后以絲網(wǎng)印刷的方式制作感光膠層8和層9，參見圖3，然后一次曝光、顯影、蝕刻，同時(shí)制作透明電極圖案和走線強(qiáng)化圖案，參見圖6 ；之后再強(qiáng)化走線的區(qū)域通過絲網(wǎng)印刷的方式制作保護(hù)膠層4和層7，參見圖7 ；此保護(hù)膠需要能夠耐受二次蝕刻液的浸泡；最后，對(duì)于透明電極層上面的Cu再進(jìn)行一輪二次蝕刻，將裸露在外面的Cu 完全去除。參見圖8。到此為止，即完成了本實(shí)用新型基于電荷轉(zhuǎn)移位置傳感器的制作。實(shí)施例2本實(shí)施例與實(shí)施例1的不同在于，基底材料除了選擇PET、改選玻璃、或者PC、或者 PMMA、或者聚烯烴、或者柔性材料。實(shí)施例3本實(shí)施例與實(shí)施例1的不同在于，除了使用真空濺射鍍膜的方法制作透明導(dǎo)電層外，還可以使用真空離子鍍膜、真空熱蒸發(fā)鍍膜或涂布的方法制作。實(shí)施例4本實(shí)施例與實(shí)施例1的不同在于，除了使用真空濺射鍍膜的方法制作金屬強(qiáng)化層外，還可以使用真空離子鍍膜、真空熱蒸發(fā)鍍膜、電鍍或化學(xué)鍍方法制作。實(shí)施例5本實(shí)施例與實(shí)施例1的不同在于，透明導(dǎo)電層可以是氧化銦錫(ΙΤ0)、氧化鋅 (ZnO)、氧化錫(SnO)、鋁(Al)、鎳(Ni)、鉬(Mo)、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、碳納米管(CNT) 膜、導(dǎo)電樹脂等多種透明導(dǎo)電材料或者其組合方式。實(shí)施例6本實(shí)施例與實(shí)施例1的不同在于，金屬強(qiáng)化層可以是鎳(Ni)、鉬(Mo)、金(Au)、銀 (Ag)、銅(Cu)等多種導(dǎo)電性優(yōu)良的金屬或者其組合方式。不管選擇其中哪一種材料，都需要控制合適的鍍膜厚度，最終的阻抗要與電路相匹配。實(shí)施例7本實(shí)施例與實(shí)施例1的不同在于，除了使用絲網(wǎng)印刷的方法制作感光膠外，也可以以涂布感光膠或者貼敷感光干膜的方式制作。實(shí)施例8本實(shí)施例與實(shí)施例1的不同在于，除了使用絲網(wǎng)印刷的方法制作防蝕刻膠外，也可以以涂布或者圓輥移印直接制作。實(shí)施例9本實(shí)施例與實(shí)施例1的不同在于，除了使用卷對(duì)卷的作業(yè)方式，也可以事先將PET 卷材裁切為片狀，以片狀進(jìn)行作業(yè)。參見圖10。實(shí)施例10本實(shí)施例與實(shí)施例1的不同在于，在對(duì)感光膠進(jìn)行光刻工藝時(shí)，先對(duì)其中一面進(jìn)行工藝，一面的曝光、顯影、蝕刻結(jié)束之后用保護(hù)膜將其保護(hù)住，然后對(duì)另一面進(jìn)行相同的工藝，完成之后揭離保護(hù)膜。實(shí)施例11基于電荷轉(zhuǎn)移的傳感器結(jié)構(gòu)，包括基材、在基材上表面依次形成的第一透明導(dǎo)電層、第一引線電極組、第一保護(hù)層和在基材下表面依次形成的第二透明導(dǎo)電層、第二引線電極組、第二保護(hù)層；第一引線電極組由透明導(dǎo)電層及覆蓋透明導(dǎo)電層的金屬強(qiáng)化層組成， 該引線電極組與第一透明導(dǎo)電層電氣相連，其上覆蓋第一保護(hù)層；第二引線電極組由透明導(dǎo)電層及覆蓋透明導(dǎo)電層的金屬強(qiáng)化層組成，該引線電極組與第二透明導(dǎo)電層電氣相連， 其上覆蓋第二保護(hù)層；第一引線電極組與第二引線電極組互相垂直。基材為玻璃、聚對(duì)苯二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、亞克力或聚烯烴，厚度0.05mnT0.7mm。當(dāng)基材為玻璃時(shí)，厚度為 0. ImnTO. 7mm。所述的透明導(dǎo)電層的材料為氧化銦錫、氧化鋅、氧化錫、鋁、鎳、鉬、金、銀、銅、 碳納米管膜或?qū)щ姌渲械囊环N或任意幾種的組合物。所述的金屬強(qiáng)化層的材料為鋁、鎳、 鉬、金、銀或銅中的一種或任意幾種的合金。制作基于電荷轉(zhuǎn)移的傳感器結(jié)構(gòu)的方法，步驟為在基材的兩面通過真空濺射鍍膜、真空離子鍍膜、真空熱蒸發(fā)鍍膜或涂布的方法制作透明導(dǎo)電層；在上述上下透明導(dǎo)電層表面通過真空濺射鍍膜、真空離子鍍膜、真空熱蒸發(fā)鍍膜、電鍍或化學(xué)鍍方法制作金屬強(qiáng)化層；通過選擇性腐蝕方法在基材雙面分別形成第一透明導(dǎo)電層、第一引線電極組、第二透明導(dǎo)電層、第二引線電極組的圖形；在第一引線電極組和第二引線電極組表面采用絲網(wǎng)印刷、 圓輥移印或光刻的方法制作保護(hù)層；將完成上述工藝的工件放入選擇性蝕刻液，將覆蓋透明導(dǎo)電層的金屬強(qiáng)化層去除。所述的選擇性腐蝕方法采用涂布感光膠、貼敷感光干膜或者絲網(wǎng)印刷感光膠，之后干燥、曝光、顯影、蝕刻、去膠的方法完成電極圖案的制作。所述的選擇性腐蝕方法采用絲網(wǎng)印刷或圓輥移印直接制作防蝕刻膠，之后干燥、曝光、顯影、蝕亥IJ、去膠的方法完成電極圖案的制作。在對(duì)感光膠進(jìn)行曝光、顯影、蝕刻與脫膜工藝時(shí)，兩面同時(shí)進(jìn)行工藝，或先對(duì)其中一面進(jìn)行工藝，結(jié)束之后用保護(hù)膜將其保護(hù)住，然后對(duì)另一面進(jìn)行工藝，完成之后去除保護(hù)膜。將有機(jī)基材裁切后以片狀形式進(jìn)行作業(yè)；或使用卷對(duì)卷的模式進(jìn)行作業(yè)。文中未涉及部分均與現(xiàn)有技術(shù)相同或可采用現(xiàn)有技術(shù)加以實(shí)現(xiàn)。以上所述便是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，但本實(shí)用新型也不局限于以上僅有的實(shí)施例，在實(shí)施例上稍做改進(jìn)也將視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.基于電荷轉(zhuǎn)移的傳感器結(jié)構(gòu)，包括基材、在基材上表面依次形成的第一透明導(dǎo)電層、 第一引線電極組、第一保護(hù)層和在基材下表面依次形成的第二透明導(dǎo)電層、第二引線電極組、第二保護(hù)層；其特征在于第一引線電極組由透明導(dǎo)電層及覆蓋透明導(dǎo)電層的金屬強(qiáng)化層組成，該引線電極組與第一透明導(dǎo)電層電氣相連，其上覆蓋第一保護(hù)層；第二引線電極組由透明導(dǎo)電層及覆蓋透明導(dǎo)電層的金屬強(qiáng)化層組成，該引線電極組與第二透明導(dǎo)電層電氣相連，其上覆蓋第二保護(hù)層；第一引線電極組與第二引線電極組互相垂直。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于電荷轉(zhuǎn)移的傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于基材為玻璃、聚對(duì)苯二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、亞克力或聚烯烴，厚度0. 05mnT0. 7mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于電荷轉(zhuǎn)移的傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于所述玻璃的厚度為 0. lmnTO. 7mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于電荷轉(zhuǎn)移的傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的透明導(dǎo)電層的材料為氧化銦錫、氧化鋅、氧化錫、鋁、鎳、鉬、金、銀、銅、碳納米管膜或?qū)щ姌渲械囊环N或任意幾種的組合物。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于電荷轉(zhuǎn)移的傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的金屬強(qiáng)化層的材料為鋁、鎳、鉬、金、銀或銅中的一種或任意幾種的合金。
專利摘要基于電荷轉(zhuǎn)移的傳感器結(jié)構(gòu)，包括基材、在基材上表面依次形成的第一透明導(dǎo)電層、第一引線電極組、第一保護(hù)層和在基材下表面依次形成的第二透明導(dǎo)電層、第二引線電極組、第二保護(hù)層；第一引線電極組由透明導(dǎo)電層及覆蓋透明導(dǎo)電層的金屬強(qiáng)化層組成，該引線電極組與第一透明導(dǎo)電層電氣相連，其上覆蓋第一保護(hù)層；第二引線電極組由透明導(dǎo)電層及覆蓋透明導(dǎo)電層的金屬強(qiáng)化層組成，該引線電極組與第二透明導(dǎo)電層電氣相連，其上覆蓋第二保護(hù)層；第一引線電極組與第二引線電極組互相垂直。與傳統(tǒng)的方法相比，此方法加工工序減少，工藝難度降低，加工效率和良品率大大提高，制造成本也低。
文檔編號(hào)G06F3/041GK202120233SQ20112018800
公開日2012年1月18日 申請(qǐng)日期2011年6月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月7日
發(fā)明者張小華, 潘耀南, 章晶晶 申請(qǐng)人:南京福萊克斯光電科技有限公司