專利名稱：一種對觸控面板中的黑矩陣進(jìn)行圖案化的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及觸控面板，尤其涉及對該觸控面板中的黑矩陣進(jìn)行圖案化的方法。
背景技術(shù)：
當(dāng)前，對于廣泛應(yīng)用在電子產(chǎn)品中用以顯示圖像的薄膜液晶顯示器(Thin FilmTransistor Liquid Crystal Display, TFT-LCD)而言，其可稱為繼集成電路(IC)后最重要的電子產(chǎn)品之一。尤其地，薄膜制程為薄膜液晶顯示器的發(fā)展中最重要的ー環(huán)，也占有最高的資本支出。若能針對關(guān)鍵制程、設(shè)備及原料的研究和開發(fā)，即可節(jié)省大量的購置成本，以提升產(chǎn)業(yè)競爭力。以觸控面板為例，在彩色濾光片玻璃基板的底層鍍有ー層金屬膜，也被稱為黑矩陣(Black Matrix, BM)。該黑矩陣的主要功能包括提高顏色對比度、防止顏色混雜和防止漏光。一般地，為了滿足黑矩陣的上述功能，應(yīng)當(dāng)采用多層膜干渉的原理，形成具有低反射 率(高對比)、高光學(xué)密度(防止顏色混雜和漏光)且總厚度約為100 300nm的BM多層膜。例如，BM的制作主要采用濺鍍方式，其普遍采用的材質(zhì)為鉻或氧化鉻、鑰或氧化鑰及氮化鉻，以完成BM多層膜的干渉濺鍍。然而，現(xiàn)有技術(shù)中，濕熱測試之后在FPC粘合區(qū)域內(nèi)的BM剝離的情形只會在有機(jī)材料制成的BM中發(fā)生，而不會在無機(jī)材料制成的BM中發(fā)生。此外，對于以有機(jī)材料BM為主的TFT陣列制造來說，轉(zhuǎn)換成無機(jī)顯影劑和回收系統(tǒng)也是較為繁瑣的，而且轉(zhuǎn)換成本十分昂貴。有鑒于此，如何設(shè)計(jì)ー種新穎的薄膜制程，以便解決觸控面板的BM剝離情形，降低制造或轉(zhuǎn)換成本，是業(yè)內(nèi)相關(guān)技術(shù)人員亟待解決的ー項(xiàng)課題。

發(fā)明內(nèi)容
針對現(xiàn)有技術(shù)中的BM剝離制程所存在的上述缺陷，本發(fā)明提供了ー種對觸控面板中的黑矩陣進(jìn)行圖案化的方法。依據(jù)本發(fā)明的ー個(gè)方面，提供了一種對觸控面板中的黑矩陣進(jìn)行圖案化的方法，包括以下步驟提供一玻璃基板和一緩沖層，所述緩沖層位于所述玻璃基板的上方；提供一剝膠遮罩層于所述緩沖層的上方，其中，所述剝膠遮罩層覆蓋所述觸控面板的顯示區(qū)；涂敷ー無機(jī)材料的黑矩陣層于所述緩沖層和所述剝膠遮罩層各自的表面；以及剝離所述剝膠遮罩層，以形成圖案化的黑矩陣層。優(yōu)選地，在上述涂敷黑矩陣層的步驟之后還包括提供一第二緩沖層于所述黑矩陣層的上方；以及涂敷一金屬層于所述第二緩沖層的上表面。優(yōu)選地，該金屬層為ー透明電極層。更優(yōu)選地，透明電極層由氧化銦錫(ITO)或氧化銦鋅(IZO)材料制成。
優(yōu)選地,該觸控面板采用單片式玻璃觸控(OGS, One Glass Solution)エ藝進(jìn)行制作。采用本發(fā)明的對觸控面板的黑矩陣進(jìn)行圖案化的方法，設(shè)置ー剝膠遮罩層于緩沖層的上方，使該剝膠遮罩層覆蓋觸控面板的顯示區(qū)，然后涂敷ー無機(jī)材料的黑矩陣層于緩沖層的表面和剝膠遮罩層的表面，從而在剝離該剝膠遮罩層后形成圖案化的黑矩陣層。無機(jī)材料的黑矩陣層相較于有機(jī)材料的黑矩陣層不會有剝離的情形。此外，在黑矩陣層上還可依次沉積另一緩沖層和一金屬層，從而減少該緩沖層的蝕刻時(shí)間。


讀者在參照附圖閱讀了本發(fā)明的具體實(shí)施方式
以后，將會更清楚地了解本發(fā)明的各個(gè)方面。其中，圖I示出依據(jù)本發(fā)明的ー個(gè)方面，用于對觸控面板中的黑矩陣進(jìn)行圖案化的方法 的流程框圖；圖2示出采用圖I中的方法進(jìn)行薄膜制程的一具體實(shí)施例；以及圖3示出采用圖I中的方法進(jìn)行薄膜制程的另一具體實(shí)施例。
具體實(shí)施例方式為了使本申請所掲示的技術(shù)內(nèi)容更加詳盡與完備，可參照附圖以及本發(fā)明的下述各種具體實(shí)施例，附圖中相同的標(biāo)記代表相同或相似的組件。然而，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，下文中所提供的實(shí)施例并非用來限制本發(fā)明所涵蓋的范圍。此外，附圖僅僅用于示意性地加以說明，并未依照其原尺寸進(jìn)行繪制。下面參照附圖，對本發(fā)明各個(gè)方面的具體實(shí)施方式
作進(jìn)ー步的詳細(xì)描述。如前所述，在現(xiàn)有的薄膜制程エ藝中，于觸控面板濕熱測試之后，在FPC粘合區(qū)域內(nèi)的BM剝離只能在有機(jī)材料制成的BM中被監(jiān)測，而無法在無機(jī)材料制成的BM中進(jìn)行檢查。另ー方面，對于TFT陣列晶圓來說，轉(zhuǎn)換成無機(jī)顯影劑和回收系統(tǒng)也較為繁瑣，而且轉(zhuǎn)換成本十分昂貴。為了有效地解決對于BM材質(zhì)的依賴性，本發(fā)明提出了一種新穎的制程方法。圖I示出依據(jù)本發(fā)明的ー個(gè)方面，用于對觸控面板中的黑矩陣進(jìn)行圖案化的方法的流程框圖。參照圖1，在本發(fā)明的方法中，首先執(zhí)行步驟SI，提供一玻璃基板和一緩沖層，該緩沖層位于該玻璃基板的上方。然后，執(zhí)行步驟S2，提供一剝膠遮罩層于該緩沖層的上方，其中，剝膠遮罩層覆蓋觸控面板的顯示區(qū)，從而避免后續(xù)的制程損傷或污染觸控面板的顯示區(qū)，影像產(chǎn)品的圖像顯示性能。接著，在步驟S3中，涂敷ー無機(jī)材料的黑矩陣層于上述緩沖層和剝膠遮罩層各自的表面。例如，沿著左側(cè)緩沖層的上表面、剝膠遮罩層的上表面以及右側(cè)緩沖層的上表面濺鍍該黑矩陣層，使其涂敷于緩沖層和剝膠遮罩層的上方。最后，將剝膠遮罩層連同其上所涂敷的一部分黑矩陣層進(jìn)行剝離，從而形成圖案化的黑矩陣層。在一具體實(shí)施例中，該觸控面板采用單片式玻璃觸控(0GS,0ne Glass Solution)エ藝進(jìn)行制作。
圖2示出采用圖I中的方法進(jìn)行薄膜制程的一具體實(shí)施例。其中，圖2a為提供了剝膠遮罩層時(shí)的狀態(tài)圖，圖2b為在緩沖層和剝膠遮罩層各自表面涂敷有黑矩陣層時(shí)的狀態(tài)圖，以及圖2c為剝膠遮罩層被剝離后的狀態(tài)圖。請參照圖2a、2b和2c。首先，依次提供一玻璃基板10和一緩沖層20，該緩沖層20位于玻璃基板10的上方。然后，提供ー剝膠遮罩層30于緩沖層20之上，并且該剝膠遮罩層30至少覆蓋觸控面板的顯示區(qū)，此時(shí)的狀態(tài)如圖2a所示然后，在緩沖層20和剝膠遮罩層30各自的表面分別涂敷ー無機(jī)材料的黑矩陣層，如圖2b所示，黑矩陣401位于左側(cè)緩沖層之上，黑矩陣403位于右側(cè)緩沖層之上，并且黑矩陣402位于剝膠遮罩層30之上。最后，剝離該剝膠遮罩層30，以形成圖案化的黑矩陣層，如圖2c所示，在剝離該剝膠遮罩層30的同時(shí)，其上涂敷的黑矩陣402也一井被剝離。圖3示出采用圖I中的方法進(jìn)行薄膜制程的另一具體實(shí)施例。其中，圖3a為提供了剝膠遮罩層時(shí)的狀態(tài)圖，圖3b為在緩沖層和剝膠遮罩層各自表面依次涂敷有黑矩陣層、第二緩沖層和金屬層時(shí)的狀態(tài)圖，以及圖3c為剝膠遮罩層被剝離后的狀態(tài)圖。請參照圖3a、3b和3c。首先，依次提供一玻璃基板10和一緩沖層20，該緩沖層20位于玻璃基板10的上方。然后，提供ー剝膠遮罩層30于緩沖層20之上，并且該剝膠遮罩層30至少覆蓋觸控面板的顯示區(qū)，此時(shí)的狀態(tài)如圖3a所示。然后，在緩沖層20和剝膠遮罩層30各自的表面分別涂敷ー無機(jī)材料的黑矩陣層，如圖3b所示，黑矩陣401位于左側(cè)緩沖層之上，黑矩陣403位于右側(cè)緩沖層之上，并且黑矩陣402位于剝膠遮罩層30之上。接著，在黑矩陣401、402和403的上表面分別沉積一第二緩沖層。例如，黑矩陣401上沉積第二緩沖層的一部分(標(biāo)記501)，黑矩陣403上沉積第ニ緩沖層的一部分(標(biāo)記503)，然后，在第二緩沖層的上表面分別沉積一金屬層。例如，第ニ緩沖層501上沉積金屬層的一部分(標(biāo)記601),第二緩沖層502上沉積金屬層的一部分(標(biāo)記602)，第二緩沖層503上沉積金屬層的一部分(標(biāo)記603)。最后，剝離該剝膠遮罩層30，以形成圖案化的黑矩陣層，如圖3c所示，在剝離該剝膠遮罩層30的同時(shí)，其上涂敷的黑矩陣、第二緩沖層和金屬層也一井被剝離。由于在黑矩陣層上還沉積有第二緩沖層和金屬層，因而可縮短緩沖層的蝕刻時(shí)間，提高制程效率。在一具體實(shí)施例中，該金屬層為ー透明電極層。較佳地，該透明電極層由氧化銦錫(ITO)或氧化銦鋅(IZO)材料制成。采用本發(fā)明的對觸控面板的黑矩陣進(jìn)行圖案化的方法，設(shè)置ー剝膠遮罩層于緩沖層的上方，使該剝膠遮罩層覆蓋觸控面板的顯示區(qū)，然后涂敷ー無機(jī)材料的黑矩陣層于緩沖層的表面和剝膠遮罩層的表面，從而在剝離該剝膠遮罩層后形成圖案化的黑矩陣層。無機(jī)材料的黑矩陣層相較于有機(jī)材料的黑矩陣層不會有剝離的情形。此外，在黑矩陣層上還可依次沉積另一緩沖層和一金屬層，從而減少該緩沖層的蝕刻時(shí)間。上文中，參照附圖描述了本發(fā)明的具體實(shí)施方式
。但是，本領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員能夠理解，在不偏離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以對本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作各種變更和替換。這些變更和替換都落在本發(fā)明權(quán)利要求書所限定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種對觸控面板中的黑矩陣進(jìn)行圖案化的方法，其特征在于，該方法包括以下步驟 提供一玻璃基板和一緩沖層，所述緩沖層位于所述玻璃基板的上方； 提供一剝膠遮罩層于所述緩沖層的上方，其中，所述剝膠遮罩層覆蓋所述觸控面板的顯示區(qū)； 涂敷ー無機(jī)材料的黑矩陣層于所述緩沖層和所述剝膠遮罩層各自的表面；以及 剝離所述剝膠遮罩層，以形成圖案化的黑矩陣層。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其特征在于，在上述涂敷黑矩陣層的步驟之后還包括 提供一第二緩沖層于所述黑矩陣層的上方；以及 涂敷ー金屬層于所述第二緩沖層的上表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述金屬層為一透明電極層。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述透明電極層由氧化銦錫(ITO)或氧化銦鋅(IZO)材料制成。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其特征在于，所述觸控面板采用單片式玻璃觸控(0GS，One Glass Solution)エ藝進(jìn)行制作。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種對觸控面板中的黑矩陣進(jìn)行圖案化的方法，包括提供玻璃基板和緩沖層，緩沖層位于玻璃基板的上方；提供剝膠遮罩層于緩沖層的上方，其中，剝膠遮罩層覆蓋觸控面板的顯示區(qū)；涂敷無機(jī)材料的黑矩陣層于緩沖層和剝膠遮罩層各自的表面；以及剝離剝膠遮罩層，以形成圖案化的黑矩陣層。采用本發(fā)明，設(shè)置剝膠遮罩層于緩沖層的上方，使該剝膠遮罩層覆蓋觸控面板的顯示區(qū)，然后涂敷無機(jī)材料的黑矩陣層于緩沖層的表面和剝膠遮罩層的表面，從而在剝離該剝膠遮罩層后形成圖案化的黑矩陣層。無機(jī)材料的黑矩陣層相較于有機(jī)材料的黑矩陣層不會有剝離的情形。此外，在黑矩陣層上還可依次沉積另一緩沖層和一金屬層，從而減少該緩沖層的蝕刻時(shí)間。
文檔編號G06F3/041GK102621736SQ201210104049
公開日2012年8月1日 申請日期2012年4月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月9日
發(fā)明者周詩博, 廖金閱, 林城興, 湯侑穎, 郭威宏 申請人:友達(dá)光電股份有限公司