專利名稱：訪問設(shè)計(jì)規(guī)則和設(shè)計(jì)特征庫的方法、系統(tǒng)和軟件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本公開涉及用于設(shè)計(jì)半導(dǎo)體器件布局的方法、系統(tǒng)和軟件，具體地，涉及訪問設(shè)計(jì)規(guī)則和設(shè)計(jì)特征庫的方法、系統(tǒng)和軟件。
背景技術(shù)：
可以使用電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化軟件的各種形式來完成集成電路的設(shè)計(jì)，其允許電路設(shè)計(jì)者創(chuàng)建并數(shù)字化形成集成電路的形狀和圖案。集成電路和其他半導(dǎo)體器件由多個(gè)疊加材料層組成，每ー層(即，每個(gè)器件層)都包括必須通過設(shè)計(jì)者與所有其他器件層(尤其是其上方和下方的層和特征)協(xié)作來生成的相關(guān)布局。集成電路設(shè)計(jì)必須符合多個(gè)不同的設(shè)計(jì)規(guī)則，包括與被設(shè)計(jì)的器件層相關(guān)聯(lián)的規(guī)則以及與被設(shè)計(jì)的器件層與直下和直上器件層之間的相關(guān)關(guān)系相關(guān)聯(lián)的規(guī)則。設(shè)計(jì)規(guī)則可以通過用戶來建立，或者它們可以通過掩模鑄造廠(foundry)來建立，其表示掩模鑄造廠在生成光掩模的過程中可以接受的容限。設(shè)計(jì)規(guī)則還可以基于處理操作的能力通過器件制造設(shè)施(也被稱為鑄造廠)來發(fā)布。存在許多設(shè)計(jì)規(guī)則并且必須符合每ー種設(shè)計(jì)規(guī)則，以創(chuàng)建光掩模組使得可以使用掩模組成功制造集成電路。作為先進(jìn)技術(shù)的處理操作所發(fā)生的更窄エ藝窗和更多布局依賴性效果的結(jié)果，與集成電路相關(guān)聯(lián)的多個(gè)設(shè)計(jì)規(guī)則增加并且設(shè)計(jì)規(guī)則變得更加復(fù)雜。規(guī)則的總數(shù)對(duì)于電路設(shè)計(jì)者總體理解來說是挑戰(zhàn)，但是根據(jù)傳統(tǒng)實(shí)踐，這必須在著手布局設(shè)計(jì)之前進(jìn)行。根據(jù)目前的實(shí)踐，設(shè)計(jì)者首先考慮包含大量且復(fù)雜的設(shè)計(jì)規(guī)則的設(shè)計(jì)規(guī)則手冊(cè)，然后查詢用于設(shè)計(jì)規(guī)則含義的鑄造廠，然后開始設(shè)計(jì)布局。在執(zhí)行初始設(shè)計(jì)布局實(shí)施之后，執(zhí)行設(shè)計(jì)規(guī)則檢查，并且電路設(shè)計(jì)者必須再次重復(fù)考慮設(shè)計(jì)規(guī)則手冊(cè)和查詢關(guān)于設(shè)計(jì)規(guī)則的鋳造廠的步驟。通常要求多個(gè)設(shè)計(jì)エ藝的反復(fù)。這產(chǎn)生了設(shè)計(jì)集成電路布局的耗時(shí)、昂貴且效率低的方式。期望解決這些限制和缺點(diǎn)，尤其考慮到用于當(dāng)前世界各種應(yīng)用的集成電路器件的流行性和擴(kuò)散化。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述問題，本發(fā)明提供了一種實(shí)體計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，利用計(jì)算機(jī)程序碼來編碼，使得當(dāng)通過處理器執(zhí)行計(jì)算機(jī)程序碼時(shí)，處理器執(zhí)行設(shè)計(jì)方法，設(shè)計(jì)方法包括:設(shè)計(jì)半導(dǎo)體器件布局以及在圖形用戶界面(GUI)上顯示半導(dǎo)體器件布局；當(dāng)在GUI上顯示半導(dǎo)體器件布局時(shí)，通過與⑶I進(jìn)行交互來訪問設(shè)計(jì)規(guī)則；以及通過與Gn的交互來訪問設(shè)計(jì)特征的庫，并且將設(shè)計(jì)特征的至少ー個(gè)直接輸入半導(dǎo)體器件布局。其中，設(shè)計(jì)規(guī)則鏈接至庫，以及其中，訪問設(shè)計(jì)規(guī)則自動(dòng)地進(jìn)ー步訪問設(shè)計(jì)特征的庫。其中，通過與⑶I的交互來訪問設(shè)計(jì)特征的庫以及將設(shè)計(jì)特征的至少ー個(gè)直接輸入半導(dǎo)體器件布局包括:在設(shè)計(jì)半導(dǎo)體器件布局的過程中使用設(shè)計(jì)特征的至少ー個(gè)。其中，訪問設(shè)計(jì)規(guī)則包括:使設(shè)計(jì)規(guī)則顯示在GUI上，并且訪問庫包括:使設(shè)計(jì)特征的庫顯示在GUI上，在設(shè)計(jì)特征的期望設(shè)計(jì)特征上定位光標(biāo)，選擇期望設(shè)計(jì)特征，以及將期望設(shè)計(jì)特征結(jié)合到半導(dǎo)體器件布局。其中，訪問設(shè)計(jì)規(guī)則包括:使用物理輸入設(shè)備控制光標(biāo)在GUI上的半導(dǎo)體器件布局的顯示器上的位置，在顯示器中的特征上定位光標(biāo)，以及通過點(diǎn)擊光標(biāo)來選擇特征，從而使得設(shè)計(jì)規(guī)則顯示在⑶I上。其中，設(shè)計(jì)、訪問設(shè)計(jì)規(guī)則、訪問設(shè)計(jì)特征的庫、和輸入同時(shí)發(fā)生，并且方法進(jìn)一步包括:執(zhí)行設(shè)計(jì)規(guī)則檢查并完成符合設(shè)計(jì)規(guī)則的布局；以及將所完成的布局傳送至掩模鑄造廠。本發(fā)明還提供了一種用于設(shè)計(jì)半導(dǎo)體器件的方法，方法包括:設(shè)計(jì)半導(dǎo)體器件的布局以及使用電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化(EDA)系統(tǒng)在圖形用戶界面(GUI)上顯示布局；當(dāng)顯示布局時(shí)，通過與GUI的交互訪問設(shè)計(jì)規(guī)則；當(dāng)顯示布局時(shí),通過與GUI的交互訪問設(shè)計(jì)特征的庫；以及通過從庫中選擇至少一個(gè)期望設(shè)計(jì)特征而輸入來自設(shè)計(jì)特征的庫的至少一個(gè)期望設(shè)計(jì)特征，并且通過與⑶I的交互將至少一個(gè)期望設(shè)計(jì)特征輸入布局。其中，訪問設(shè)計(jì)規(guī)則包括:在布局的一部分上定位光標(biāo)并點(diǎn)擊鼠標(biāo)，以及進(jìn)一步包括:通過與⑶I進(jìn)行交互而檢查布局是否符合設(shè)計(jì)規(guī)則。其中:訪問設(shè)計(jì)規(guī)則包括在⑶I上顯示設(shè)計(jì)規(guī)則；訪問設(shè)計(jì)特征的庫包括在⑶I上顯示設(shè)計(jì)特征的庫；以及設(shè)計(jì)規(guī)則為與掩模鑄造廠和器件制造廠相關(guān)聯(lián)的鑄造廠工藝驗(yàn)證設(shè)計(jì)規(guī)則。其中，輸入至少一個(gè)期望設(shè)計(jì)特征包括形成符合設(shè)計(jì)規(guī)則并包括設(shè)計(jì)特征的至少一個(gè)的最終布局，并且進(jìn)一步包括使用最終布局形成光掩模組。該方法進(jìn)一步包括:使用光掩模組來形成半導(dǎo)體器件。其中，設(shè)計(jì)半導(dǎo)體器件的布局以及使用電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化(EDA)系統(tǒng)在GUI上顯示布局包括:向EDA系統(tǒng)的處理器提供實(shí)體計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，實(shí)體計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)利用計(jì)算機(jī)程序碼來編碼，使得當(dāng)通過處理器執(zhí)行計(jì)算機(jī)程序碼時(shí)，處理器能夠使用戶通過與GUI進(jìn)行交互而使用EDA系統(tǒng)來執(zhí)行設(shè)計(jì)半導(dǎo)體器件的布局、訪問設(shè)計(jì)規(guī)則、訪問設(shè)計(jì)特征的庫以及輸入來自設(shè)計(jì)特征的庫的至少一個(gè)期望設(shè)計(jì)特征。其中，設(shè)計(jì)規(guī)則鏈接至設(shè)計(jì)特征，以及其中，訪問設(shè)計(jì)規(guī)則和訪問設(shè)計(jì)特征的庫發(fā)生在設(shè)計(jì)之前。其中，訪問設(shè)計(jì)規(guī)則、訪問設(shè)計(jì)特征的庫、以及輸入來自設(shè)計(jì)特征的庫的至少一個(gè)期望設(shè)計(jì)特征發(fā)生在設(shè)計(jì)期間。其中，訪問設(shè)計(jì)規(guī)則包括使設(shè)計(jì)規(guī)則的表格顯示在CTI上，并且進(jìn)一步包括執(zhí)行設(shè)計(jì)規(guī)則檢查和完成布局。此外，還提供了一種電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化(EDA)系統(tǒng)，包括:處理器；圖形用戶界面(⑶I);實(shí)體計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，利用計(jì)算機(jī)程序碼進(jìn)行編碼，被配置為通過處理器來執(zhí)行，以能夠根據(jù)一種方法使用戶使用EDA系統(tǒng)來設(shè)計(jì)半導(dǎo)體器件的布局，方法包括:執(zhí)行半導(dǎo)體器件布局的設(shè)計(jì)并在⑶I上顯示半導(dǎo)體器件布局；通過與⑶I進(jìn)行交互而訪問設(shè)計(jì)規(guī)則；通過與GUI進(jìn)行交互而訪問設(shè)計(jì)特征的庫；以及通過與GUI進(jìn)行交互而將設(shè)計(jì)特征的至少一個(gè)直接輸入半導(dǎo)體器件布局。其中，定制設(shè)計(jì)規(guī)則鏈接至庫，以及其中，訪問設(shè)計(jì)規(guī)則進(jìn)一步訪問庫。
其中，設(shè)計(jì)規(guī)則與光掩模鑄造廠和制造廠相關(guān)聯(lián)。該EDA系統(tǒng)進(jìn)一歩包括:軟件模塊，接收實(shí)體計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，并包括設(shè)計(jì)規(guī)則和設(shè)計(jì)庫。其中，方法進(jìn)ー步包括:將設(shè)計(jì)規(guī)則的至少ー個(gè)與半導(dǎo)體器件布局的至少ー個(gè)特征進(jìn)行比較，以及其中，訪問設(shè)計(jì)特征的庫包括:使庫顯示在GUI上；在設(shè)計(jì)特征的期望設(shè)計(jì)特征上定位光標(biāo)；選擇期望設(shè)計(jì)特征；以及將期望設(shè)計(jì)特征結(jié)合到半導(dǎo)體器件布局。


當(dāng)讀取附圖時(shí)，從以下詳細(xì)中更好地理解本公開。應(yīng)該強(qiáng)調(diào)的是，根據(jù)一般實(shí)踐，附圖的各種部件不是必須按比例繪制。相反，為了清楚可以任意増加或減小各種部件的尺寸。在說明書和附圖中，類似的標(biāo)號(hào)表示類似的部件。圖1是示出根據(jù)本公開示例性實(shí)施例的系統(tǒng)和方法的示意圖；圖2是示出根據(jù)本公開示例性實(shí)施例的示例性方法的細(xì)節(jié)的流程圖；圖3示出了根據(jù)本公開示例性實(shí)施例的顯示設(shè)計(jì)布局的一部分的GUI以及示意性示出了通過與GUI的交互訪問的規(guī)則文件；以及圖4示出了根據(jù)本公開示例性實(shí)施例的顯示設(shè)計(jì)布局的一部分的GU1、被訪問的規(guī)則文件的圖形表示和具有設(shè)計(jì)特征被輸入至GUI的設(shè)計(jì)布局的設(shè)計(jì)特征的圖案庫的圖形表示。
具體實(shí)施例方式本公開提供了用于集成電路和其他半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)的系統(tǒng)、方法以及實(shí)體(tangible)持久計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì),隨著設(shè)計(jì)被實(shí)施和/或隨著設(shè)計(jì)布局被顯示在圖形用戶界面(⑶I)上，可以通過與⑶I的交互來直接訪問設(shè)計(jì)規(guī)則。設(shè)計(jì)規(guī)則有利地鏈接至符合設(shè)計(jì)規(guī)則的圖案庫，并且來自圖案庫的特征可以用于創(chuàng)建設(shè)計(jì)布局或修改涉及布局。圖案庫還可以直接通過與⑶I的交互來訪問。根據(jù)ー個(gè)方面，本公開提供了ー種利用計(jì)算機(jī)程序碼來編碼的實(shí)體或持久計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，使得當(dāng)通過處理器執(zhí)行計(jì)算機(jī)程序碼時(shí)，處理器執(zhí)行用于設(shè)計(jì)諸如集成電路的半導(dǎo)體器件的布局的設(shè)計(jì)方法。設(shè)計(jì)方法包括:初始設(shè)計(jì)半導(dǎo)體器件布局以及在圖形用戶界面(⑶I)上顯示布局；當(dāng)顯示半導(dǎo)體器件布局時(shí)，通過與⑶I的交互訪問與至少ー個(gè)鋳造廠相關(guān)聯(lián)的設(shè)計(jì)規(guī)則；通過與GUI的交互訪問與至少ー個(gè)鋳造廠相關(guān)聯(lián)的設(shè)計(jì)特征的庫并且將至少ー個(gè)設(shè)計(jì)特征直接輸入顯示在⑶I上的半導(dǎo)體器件布局。設(shè)計(jì)規(guī)則可以有利地鏈接至設(shè)計(jì)特征的庫。通過與⑶I的交互，設(shè)計(jì)規(guī)則可以與半導(dǎo)體器件布局一起顯示在⑶I上。設(shè)計(jì)規(guī)則為可以與光掩膜鑄造廠或半導(dǎo)體器件制造鑄造廠或二者相關(guān)聯(lián)且通過它們提供的定制設(shè)計(jì)規(guī)則。庫中的設(shè)計(jì)特征可以被捕獲并直接輸入至半導(dǎo)體器件布局。這種捕獲和輸入可以輔助電路設(shè)計(jì)者創(chuàng)建半導(dǎo)體器件布局或者這可以在設(shè)計(jì)檢查期間被執(zhí)行(例如，在通過設(shè)計(jì)者創(chuàng)建初始半導(dǎo)體器件布局之后)，軟件能夠使設(shè)計(jì)者訪問設(shè)計(jì)規(guī)則以檢查所創(chuàng)建的半導(dǎo)體器件布局并訪問庫，以及將來自設(shè)計(jì)庫的特征直接輸入半導(dǎo)體器件布局。可以通過鑄造廠向用戶提供定制設(shè)計(jì)規(guī)則和設(shè)計(jì)特征用于執(zhí)行設(shè)計(jì)并表示鑄造廠エ藝證實(shí)的設(shè)計(jì)規(guī)則和設(shè)計(jì)特征。設(shè)計(jì)者可以在著手在GUI上設(shè)計(jì)半導(dǎo)體器件布局之前、期間或之后訪問并使用設(shè)計(jì)規(guī)則和設(shè)計(jì)庫。本公開還提供了用于設(shè)計(jì)半導(dǎo)體設(shè)計(jì)的方法。該方法包括:設(shè)計(jì)半導(dǎo)體器件的布局；以及使用電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化(EDA)系統(tǒng)在圖形用戶界面(GUI)上顯示布局。該方法還包括:當(dāng)顯示布局時(shí)，通過與GUI的交互訪問與鑄造廠相關(guān)聯(lián)的定制設(shè)計(jì)規(guī)則；當(dāng)顯示布局時(shí)，通過與GUI的交互訪問設(shè)計(jì)特征的庫，以及通過從庫中選擇至少一個(gè)期望設(shè)計(jì)特征將來自設(shè)計(jì)特征庫的至少一個(gè)期望設(shè)計(jì)特征輸入布局，以及通過與⑶I的交互將至少一個(gè)期望設(shè)計(jì)特征輸入布局。本公開還提供了一種電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化(EDA)系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括處理器、⑶1、以及實(shí)體或持久計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)。利用計(jì)算機(jī)程序碼對(duì)實(shí)體或持久計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)進(jìn)行編碼，使得當(dāng)通過處理器執(zhí)行計(jì)算機(jī)程序碼時(shí)，處理器能夠使用戶使用EDA系統(tǒng)來設(shè)計(jì)半導(dǎo)體器件的布局?？梢愿鶕?jù)方法來執(zhí)行設(shè)計(jì)，該方法包括:執(zhí)行半導(dǎo)體器件布局的設(shè)計(jì)；通過與GUI的交互訪問定制設(shè)計(jì)規(guī)則，諸如可以為與鑄造廠相關(guān)聯(lián)的工藝驗(yàn)證設(shè)計(jì)規(guī)則；通過與GUI的交互訪問與鑄造廠相關(guān)聯(lián)的設(shè)計(jì)特征庫；以及通過與GUI的交互將至少一個(gè)設(shè)計(jì)特征直接輸入半導(dǎo)體器件布局?？梢允褂锰卣鏖_發(fā)裝置或已知裝置來執(zhí)行與⑶I的交互，諸如使用物理輸入設(shè)備來控制光標(biāo)在顯示在CTI上的半導(dǎo)體器件布局上的位置，在所顯示的半導(dǎo)體器件布局的特征上定位光標(biāo)以及通過使用鼠標(biāo)或其他適當(dāng)?shù)脑O(shè)備點(diǎn)擊光標(biāo)來選擇特征，從而使得定制設(shè)計(jì)規(guī)則或庫或者二者與半導(dǎo)體器件布局的顯示一起被訪問并顯示在GUI上。庫的設(shè)計(jì)特征可以通過點(diǎn)擊期望設(shè)計(jì)特征并將特征拖入所顯示半導(dǎo)體器件布局上的期望位置、或者復(fù)制期望設(shè)計(jì)特征并將特征粘貼在所顯示半導(dǎo)體器件布局中、或者通過使用其他適當(dāng)?shù)腉UI界面裝置和方法來輸入庫的設(shè)計(jì)規(guī)則。圖1是示出本公開示例性實(shí)施例的示意圖。EDA工具可以包括安裝持久計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)4的程序處理器2以及GUI 6。持久計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)4是計(jì)算機(jī)軟件，其能夠使設(shè)計(jì)者設(shè)計(jì)或修改集成電路器件布局或其他半導(dǎo)體器件布局。集成電路器件布局包括相互重疊的多個(gè)獨(dú)立器件層的布局。在一個(gè)示例性實(shí)施例中，持久計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)4的軟件可以商用于IC布局編輯器，但是在其他示例性實(shí)施例中，可以使用其他適當(dāng)?shù)碾娮釉O(shè)計(jì)自動(dòng)化軟件工具。利用計(jì)算機(jī)程序碼對(duì)持久計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)4進(jìn)行編碼，使得當(dāng)通過處理器2執(zhí)行計(jì)算機(jī)程序碼時(shí)，處理器2與具有使用GUI 6的系統(tǒng)的用戶交互協(xié)作來執(zhí)行用于設(shè)計(jì)集成電路或其他半導(dǎo)體器件的布局的設(shè)計(jì)方法。該設(shè)計(jì)方法可以為計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)方法，其中，用戶和處理器利用IC設(shè)計(jì)軟件，S卩，允許用戶將形成集成電路的形狀和圖案進(jìn)行數(shù)字化的軟件工具(IC設(shè)計(jì)7)。軟件還在執(zhí)行IC設(shè)計(jì)的同時(shí)提供直接訪問設(shè)計(jì)規(guī)則(設(shè)計(jì)規(guī)則9)和具有設(shè)計(jì)特征的庫11。用戶(S卩，電路設(shè)計(jì)者)與⑶I 6交互以使用經(jīng)編程的處理器2執(zhí)行設(shè)計(jì)10、設(shè)計(jì)檢查12和最終設(shè)計(jì)14中的至少一個(gè)步驟。根據(jù)一個(gè)方面，設(shè)計(jì)10的步驟涉及設(shè)計(jì)諸如集成電路的半導(dǎo)體器件的布局，即，數(shù)字化地創(chuàng)建進(jìn)行組合以形成諸如集成電路的半導(dǎo)體器件的特征的形狀、圖案、位置和大小。在設(shè)計(jì)初始布局之后，執(zhí)行設(shè)計(jì)檢查12，其中，初始設(shè)計(jì)的布局被檢查并且可以被修改，以及在最終設(shè)計(jì)14中生成最終布局?？梢允褂肐C設(shè)計(jì)軟件(即，允許用戶對(duì)形成集成電路的形狀和圖案進(jìn)行數(shù)字化的軟件工具)，并且在設(shè)計(jì)10和最終設(shè)計(jì)14的步驟期間直接訪問設(shè)計(jì)規(guī)則9和設(shè)計(jì)特征庫11。設(shè)計(jì)規(guī)則9和設(shè)計(jì)特征庫11還可以在設(shè)計(jì)檢查12的步驟期間被直接訪問。在執(zhí)行IC設(shè)計(jì)7之前，設(shè)計(jì)10可以包括首先訪問設(shè)計(jì)規(guī)則9和具有設(shè)計(jì)特征的庫U。以下將進(jìn)ー步詳細(xì)描述用于訪問設(shè)計(jì)規(guī)則并且訪問來自具有設(shè)計(jì)特征的庫11的設(shè)計(jì)特征并將其輸入至顯示在⑶I上的半導(dǎo)體器件布局的方法。最終設(shè)計(jì)14生成布局16，其表示具有多個(gè)器件層的集成電路或其他半導(dǎo)體器件的布局。布局16是可以為各種適當(dāng)格式的電子文件，并且包括用于生成光掩膜組的指令，每ー個(gè)都用于形成獨(dú)立的器件層，使得當(dāng)重疊層時(shí)，形成完成的集成電路或其他半導(dǎo)體器件。布局16被提供給掩模鑄造廠18，其生成可用于形成集成電路或其他半導(dǎo)體器件的光掩膜組。通過掩模鑄造廠18生成的光掩模被提供給制造廠(即，制造設(shè)施/鋳造廠20)，其中，使用光掩模組執(zhí)行連續(xù)的處理操作以形成集成電路或其他半導(dǎo)體器件。仍然參照?qǐng)D1，設(shè)計(jì)規(guī)則9可以表現(xiàn)為可與⑶I上的布局(包括初始布局)一起顯示的文本格式的規(guī)則文件。圖案庫(具有設(shè)計(jì)特征的庫11)可以包括GDSII (圖形數(shù)據(jù)庫系統(tǒng) II)或 OASIS (開放原圖系統(tǒng)交換標(biāo)準(zhǔn)，Open Artwork System Interchange Standard)格式或用于集成電路布局原圖的數(shù)據(jù)交換的其他適當(dāng)エ業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。在實(shí)施設(shè)計(jì)的同時(shí)可以直接訪問設(shè)計(jì)規(guī)則9的規(guī)則文件和圖案庫11。可以通過在GUI上點(diǎn)擊布局的現(xiàn)有特征、通過從顯示在GUI上的設(shè)計(jì)規(guī)則組表中選擇設(shè)計(jì)規(guī)則、通過輸入另一命令或使用其他裝置來訪問設(shè)計(jì)規(guī)則9的規(guī)則文件和圖案庫11。設(shè)計(jì)規(guī)則9的規(guī)則文件和圖案庫11可以訪問并安裝在允許設(shè)計(jì)者對(duì)形成集成電路的形狀和圖案進(jìn)行數(shù)字化的電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化軟件中。這種電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化軟件的實(shí)例為IC布局編輯器，但是規(guī)則文件和圖案庫可以訪問并安裝在其他適當(dāng)?shù)碾娮釉O(shè)計(jì)自動(dòng)化軟件工具中。電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化軟件被認(rèn)為是專用于集成電路布局任務(wù)的計(jì)算機(jī)輔助繪圖軟件。可以使用用于實(shí)施計(jì)算機(jī)輔助繪制軟件的各種電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化(EDA)系統(tǒng)。圖2是根據(jù)本公開ー些實(shí)施例的方法的流程圖。在步驟30中，鑄造廠向用戶(即，電路設(shè)計(jì)者)提供設(shè)計(jì)規(guī)則的規(guī)則文件和包含設(shè)計(jì)特征的圖案庫。鑄造廠可以為掩模鑄造廠或器件制造設(shè)施。如流程圖所示，規(guī)則文件為文本格式且圖案庫為GDS或OASIS格式，但是這只是示例性的，并且可以可選地使用用于集成電路原圖的數(shù)據(jù)交換的其他文件格式。用戶可以根據(jù)被使用的處理器和EDA系統(tǒng)來規(guī)定將被使用的數(shù)據(jù)庫。在步驟32中，用戶在如IC布局編輯器的電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化軟件工具或其他適當(dāng)軟件中加載或安裝圖案庫和規(guī)則文件?？梢允褂媚軌蚴褂脩魣?zhí)行集成電路布局的計(jì)算機(jī)輔助繪圖的各種其他電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化軟件工具。在步驟34中，通過與還用于執(zhí)行設(shè)計(jì)實(shí)施和顯示所設(shè)計(jì)布局的⑶I的交互，用戶可以訪問規(guī)則文件和圖案庫以實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)規(guī)則。可以直接訪問設(shè)計(jì)規(guī)則和包含設(shè)計(jì)特征的圖案庫同時(shí)還使用IC布局編輯器或其他電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化軟件工具，以積極地執(zhí)行半導(dǎo)體器件布局的設(shè)計(jì)。EDA系統(tǒng)可以包括軟件模塊，其接收計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)并包括設(shè)計(jì)規(guī)則的規(guī)則文件和圖案庫。由于可以如此訪問設(shè)計(jì)規(guī)則和具有設(shè)計(jì)特征的圖案庫，在步驟36中創(chuàng)建設(shè)計(jì)布局，以及在步驟38中將圖案庫用于實(shí)施布局。步驟36和38看起來是并行的，以表示用于利用可在步驟34中訪問的規(guī)則文件和圖案庫的兩個(gè)示例性實(shí)施例。根據(jù)ー個(gè)實(shí)施例，電路設(shè)計(jì)者可以首先如步驟36創(chuàng)建布局，然后在步驟40中在創(chuàng)建布局之后訪問設(shè)計(jì)規(guī)則和圖庫。根據(jù)另一示例性實(shí)施例，在執(zhí)行布局的設(shè)計(jì)的過程中(諸如在步驟38中)可以積極地使用來自圖案庫的設(shè)計(jì)特征。圖案庫可以被直接訪問或者通過訪問直接或間接鏈接至圖案庫的設(shè)計(jì)規(guī)則來訪問圖案庫。設(shè)計(jì)規(guī)則可以使用各種可用電子鏈接裝置和格式(諸如單個(gè)字段格式(例如，規(guī)則數(shù))或多個(gè)字段格式，其中，字段可以包括規(guī)則數(shù)、描述、各種標(biāo)記、布局單元名稱等)來鏈接至圖案庫。在步驟40中，執(zhí)行設(shè)計(jì)規(guī)則檢查。在步驟40期間，可以直接訪問設(shè)計(jì)規(guī)則，設(shè)計(jì)規(guī)則庫還可以被直接訪問并且布局可以被修訂。在一次或多次反復(fù)之后，可以實(shí)施最終設(shè)計(jì)，并且相對(duì)于設(shè)計(jì)規(guī)則和設(shè)計(jì)特征庫來檢查該設(shè)計(jì)。根據(jù)步驟36之后的方法以及根據(jù)步驟38之后的方法，如圖3和圖4所示，創(chuàng)建布局并顯示在⑶I上，并且設(shè)計(jì)規(guī)則和設(shè)計(jì)特征庫被直接訪問且顯示在⑶I上。圖3示出了顯示設(shè)計(jì)布局42的一部分的⑶I 6。所顯示的設(shè)計(jì)布局42包括多個(gè)特征(諸如任意指定的設(shè)計(jì)特征44、46和48)并且只是示例性的。設(shè)計(jì)特征44、46和48可以來自相互重疊的各種不同器件層。GUI 6可以為各種適當(dāng)?shù)膱D形用戶界面中的任意一種，諸如商用，且可以為EDA工具的一部分。優(yōu)選地，GUI 6可以為結(jié)合用于創(chuàng)建集成電路器件的EDA系統(tǒng)和電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化軟件工具選擇的圖形用戶界面。設(shè)計(jì)特征44、46和48表示各種設(shè)計(jì)特征，諸如阱區(qū)域、源極/漏極區(qū)域、其他有源區(qū)域、晶體管柵極、互連線、總線、電容器板、空間、接觸、通孔、和各種其他特征以及它們相互之間的關(guān)系。設(shè)計(jì)布局42包括特征和表示各種設(shè)計(jì)特征的符號(hào)以及可以出現(xiàn)在設(shè)計(jì)布局上的其他符號(hào)。在所示實(shí)施例中，框50表示感興趣的設(shè)計(jì)布局42的一部分，即，對(duì)其進(jìn)行設(shè)計(jì)規(guī)則查詢的設(shè)計(jì)布局42的一部分。諸如鼠標(biāo)或鍵盤的物理輸入設(shè)備可用于在框50的位置上定位光標(biāo)，并且諸如點(diǎn)擊鼠標(biāo)的物理輸入動(dòng)作可用于直接訪問和顯示GUI 6上的規(guī)則文件52。規(guī)則文件52可以為表格形式，并包括諸如多晶硅線間隔規(guī)則或接觸規(guī)則的各種設(shè)計(jì)規(guī)貝U。規(guī)則文件52可以包括與框50中的特征相關(guān)聯(lián)的設(shè)計(jì)規(guī)則54以及對(duì)其進(jìn)行解釋的文本56。設(shè)計(jì)者可以檢查GUI 6上的規(guī)則文件52的表格并選擇適當(dāng)?shù)脑O(shè)計(jì)規(guī)則來直接應(yīng)用于設(shè)計(jì)布局42。在所示實(shí)施例中，框50中的設(shè)計(jì)規(guī)則和特征是兩個(gè)平行的聚導(dǎo)線(poly lead),其中，要求寬度和間隔設(shè)計(jì)規(guī)則，但這只是示例性的。設(shè)計(jì)規(guī)則可以覆蓋特征的最小或最大寬度、在固定面積中允許的平行特征的數(shù)量、特征之間的間隔、接觸或通孔與下面或上面的導(dǎo)線之間的對(duì)準(zhǔn)容限，以及設(shè)計(jì)規(guī)則可以覆蓋各種布局標(biāo)準(zhǔn)(諸如可以用于嵌套目的而平行形成的線的最小數(shù)量)或者各種其他設(shè)計(jì)規(guī)則。集成電路設(shè)計(jì)包括無數(shù)的設(shè)計(jì)規(guī)則，并且先前的規(guī)則僅僅是示例性的?；诠庋谀ｈT造廠制造掩模的能力，可以通過光掩模鑄造廠來提供設(shè)計(jì)規(guī)則。掩模組可以包括每器件層的單個(gè)刻線，或者可以使用DPL、雙重圖案化光刻來制造一個(gè)或多個(gè)器件層，使用兩個(gè)或多個(gè)光掩模來在層中制造單個(gè)圖案。設(shè)計(jì)規(guī)則還可以關(guān)于在DPL處理中用于一層的兩個(gè)掩模之間的關(guān)系和容限。在所示實(shí)施例中以文本格式顯示規(guī)則文件52，其中，在表格中列出和表示規(guī)則。這僅僅是示例性的，還可以使用各種其他格式。在各種示例性實(shí)施例中，規(guī)則文件52可以經(jīng)由鏈接60而鏈接至圖案庫58。在圖4中詳細(xì)示出圖案庫58。根據(jù)一個(gè)示例性實(shí)施例，當(dāng)通過在設(shè)計(jì)布局42的框50上定位光標(biāo)選擇設(shè)計(jì)規(guī)則54來訪問諸如設(shè)計(jì)規(guī)則54的規(guī)則時(shí)，由于規(guī)則文件52和圖案庫58之間的鏈接60，設(shè)計(jì)特征的對(duì)應(yīng)圖案庫還被自動(dòng)訪問并且可以被顯示。
圖4示出了顯示在⑶I 6上的設(shè)計(jì)布局42。圖4示出了用戶如何通過與⑶I的交互可以直接訪問設(shè)計(jì)規(guī)則和來自圖案庫的設(shè)計(jì)特征以及如何將來自圖案庫的設(shè)計(jì)特征復(fù)制到設(shè)計(jì)布局42。來自規(guī)則文件52的設(shè)計(jì)規(guī)則鏈接至圖案庫58(參見圖3)中的設(shè)計(jì)特征，其可以用于創(chuàng)建或修改設(shè)計(jì)布局42。在選擇步驟62中，通過與特征相互作用的物理輸入設(shè)備來訪問并突出設(shè)計(jì)布局的一部分(諸如圖3的框50中的突出部分)以直接訪問包含設(shè)計(jì)規(guī)則并鏈接至圖案庫58的規(guī)則文件52。通過點(diǎn)擊或選擇框50，顯示規(guī)則文件52的相關(guān)設(shè)計(jì)規(guī)則。圖案庫58包括符合并鏈接至規(guī)則文件52的設(shè)計(jì)規(guī)則的各種設(shè)計(jì)特征。通過選擇設(shè)計(jì)布局42的感興趣特征，用戶可以查詢數(shù)據(jù)庫以直接訪問并在其上出現(xiàn)設(shè)計(jì)布局42的相同GUI上顯示規(guī)則文件52和圖案庫58。由于規(guī)則文件52和圖案庫58是直接鏈接的，所以通過點(diǎn)擊或選擇框50，與規(guī)則文件52的相關(guān)設(shè)計(jì)規(guī)則一起，也顯示圖案庫58的ー個(gè)或多個(gè)相關(guān)設(shè)計(jì)特征。在輸入/復(fù)制步驟66中，期望的設(shè)計(jì)特征68被選擇并從圖案庫58訪問，以及被輸入到⑶I 6上顯示的設(shè)計(jì)布局42。在步驟70中，進(jìn)行期望設(shè)計(jì)特征68的復(fù)制并輸入到⑶I 6上的設(shè)計(jì)布局42中的適當(dāng)位置。物理輸入設(shè)備可用于選擇期望的設(shè)計(jì)特征68并將特征復(fù)制到GUI 6的設(shè)計(jì)布局42。可以使用各種⑶I界面技術(shù)來拖動(dòng)期望的設(shè)計(jì)特征68，或者其可以被復(fù)制并粘貼到適當(dāng)位置。期望的設(shè)計(jì)特征68表示符合對(duì)應(yīng)技術(shù)的設(shè)計(jì)規(guī)則且作為エ藝驗(yàn)證特征的特征。直接訪問來自規(guī)則文件52的設(shè)計(jì)規(guī)則和直接訪問圖案庫58以及復(fù)制期望設(shè)計(jì)特征68可以發(fā)生在集成電路布局的初始設(shè)計(jì)期間，或者其可以發(fā)生在已經(jīng)創(chuàng)建初始布局之后，或者兩個(gè)均可。直接訪問來自規(guī)則文件52的設(shè)計(jì)規(guī)則和直接訪問圖案庫58可以顯示在Gn上以由于軟件而用作電路設(shè)計(jì)者的開始點(diǎn)，其中，軟件有利地提供直接訪問和顯示設(shè)計(jì)規(guī)則和圖案庫同時(shí)設(shè)計(jì)器件布局。前面僅示出了本公開的原理。因此，應(yīng)該理解，本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠得出對(duì)本公開的原理進(jìn)行具體化并包括在其精神和范圍內(nèi)的各種配置(盡管在本文沒有具體描述后示出)。此外，本文所引用的所有實(shí)例和條件語言主要用于教導(dǎo)的目的和輔助讀者理解本公開的原理和發(fā)明人貢獻(xiàn)的概念，并且被構(gòu)造為不限于這些具體引用的實(shí)例和條件。此外，本文的所有引用原理、方法和實(shí)施例的陳述以及其具體實(shí)例都用于包括其結(jié)構(gòu)和功能等效物。此外，可以期望這些等效物包括當(dāng)前已知的等效物以及未來開發(fā)的等效物，即，執(zhí)行相同功能而開發(fā)的任何元件而不論其結(jié)構(gòu)。結(jié)合被認(rèn)為是整個(gè)說明書一部分的附圖來閱讀示例性實(shí)施例的描述。除非另有指定，關(guān)于附接、耦合等的術(shù)語(諸如“連接”和“互連”)是指結(jié)果結(jié)構(gòu)通過中間結(jié)構(gòu)直接或間接固定或附接至另ー結(jié)構(gòu)的關(guān)系以及可移動(dòng)或剛性附接或關(guān)系。盡管根據(jù)示例性實(shí)施例描述了本公開，但其不限于此。此外，所附權(quán)利要求應(yīng)該被廣義構(gòu)造以包括本領(lǐng)域技術(shù)人員可以進(jìn)行的本公開的其他變化和實(shí)施例而不背離本公開的等效物的范圍。
權(quán)利要求
1.一種實(shí)體計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，利用計(jì)算機(jī)程序碼來編碼，使得當(dāng)通過處理器執(zhí)行所述計(jì)算機(jī)程序碼時(shí)，所述處理器執(zhí)行設(shè)計(jì)方法，所述設(shè)計(jì)方法包括: 設(shè)計(jì)半導(dǎo)體器件布局以及在圖形用戶界面(GUI)上顯示所述半導(dǎo)體器件布局； 當(dāng)在所述GUI上顯示所述半導(dǎo)體器件布局時(shí)，通過與所述GUI進(jìn)行交互來訪問設(shè)計(jì)規(guī)則；以及 通過與所述GUI的交互來訪問設(shè)計(jì)特征的庫，并且將所述設(shè)計(jì)特征的至少一個(gè)直接輸入所述半導(dǎo)體器件布局。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的實(shí)體計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其中，所述設(shè)計(jì)規(guī)則鏈接至所述庫，以及其中，所述訪問設(shè)計(jì)規(guī)則自動(dòng)地進(jìn)一步訪問設(shè)計(jì)特征的所述庫。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的實(shí)體計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其中，通過與所述GUI的交互來訪問設(shè)計(jì)特征的庫以及將所述設(shè)計(jì)特征的至少一個(gè)直接輸入所述半導(dǎo)體器件布局包括:在設(shè)計(jì)所述半導(dǎo)體器件布局的過程中使用所述設(shè)計(jì)特征的所述至少一個(gè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的實(shí)體計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其中，訪問所述設(shè)計(jì)規(guī)則包括:使所述設(shè)計(jì)規(guī)則顯示在所述GUI上，并且訪問所述庫包括: 使所述設(shè)計(jì)特征的庫顯示在所述GUI上， 在所述設(shè)計(jì)特征的期望設(shè)計(jì)特征上定位光標(biāo)， 選擇所述期望設(shè)計(jì)特征，以及 將所述期望設(shè)計(jì) 特征結(jié)合到所述半導(dǎo)體器件布局。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的實(shí)體計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其中，所述訪問設(shè)計(jì)規(guī)則包括:使用物理輸入設(shè)備控制光標(biāo)在所述Gn上的所述半導(dǎo)體器件布局的顯示器上的位置，在所述顯示器中的特征上定位所述光標(biāo)，以及通過點(diǎn)擊所述光標(biāo)來選擇所述特征，從而使得所述設(shè)計(jì)規(guī)則顯示在所述⑶I上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的實(shí)體計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其中，所述設(shè)計(jì)、所述訪問設(shè)計(jì)規(guī)貝U、所述訪問設(shè)計(jì)特征的庫、和所述輸入同時(shí)發(fā)生，并且所述方法進(jìn)一步包括:執(zhí)行設(shè)計(jì)規(guī)則檢查并完成符合所述設(shè)計(jì)規(guī)則的所述布局；以及將所完成的布局傳送至掩模鑄造廠。
7.一種用于設(shè)計(jì)半導(dǎo)體器件的方法，所述方法包括: 設(shè)計(jì)半導(dǎo)體器件的布局以及使用電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化(EDA)系統(tǒng)在圖形用戶界面(GUI)上顯示所述布局； 當(dāng)顯示所述布局時(shí)，通過與所述GUI的交互訪問設(shè)計(jì)規(guī)則； 當(dāng)顯示所述布局時(shí)，通過與所述GUI的交互訪問設(shè)計(jì)特征的庫；以及通過從所述庫中選擇至少一個(gè)期望設(shè)計(jì)特征而輸入來自設(shè)計(jì)特征的所述庫的所述至少一個(gè)期望設(shè)計(jì)特征，并且通過與所述GUI的交互將所述至少一個(gè)期望設(shè)計(jì)特征輸入所述布局。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，所述訪問設(shè)計(jì)規(guī)則包括:在所述布局的一部分上定位光標(biāo)并點(diǎn)擊鼠標(biāo)，以及進(jìn)一步包括:通過與所述GUI進(jìn)行交互而檢查所述布局是否符合所述設(shè)計(jì)規(guī)則。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，所述訪問設(shè)計(jì)規(guī)則、所述訪問設(shè)計(jì)特征的庫、以及所述輸入來自設(shè)計(jì)特征的所述庫的所述至少一個(gè)期望設(shè)計(jì)特征發(fā)生在所述設(shè)計(jì)期間，或者其中，所述訪問設(shè)計(jì)規(guī)則包括使所述設(shè)計(jì)規(guī)則的表格顯示在所述CTI上，并且進(jìn)一步包括執(zhí)行設(shè)計(jì)規(guī)則檢查和完成所述布局。
10.一種電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化(EDA)系統(tǒng)，包括: 處理器； 圖形用戶界面(GUI)； 實(shí)體計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，利用計(jì)算機(jī)程序碼進(jìn)行編碼，被配置為通過所述處理器來執(zhí)行，以能夠根據(jù)ー種方法使用戶使用所述EDA系統(tǒng)來設(shè)計(jì)半導(dǎo)體器件的布局，所述方法包括: 執(zhí)行半導(dǎo)體器件布局的設(shè)計(jì)并在所述GUI上顯示所述半導(dǎo)體器件布局； 通過與所述⑶I進(jìn)行交互而訪問設(shè)計(jì)規(guī)則； 通過與所述GUI進(jìn)行交互而訪問設(shè)計(jì)特征的庫；以及 通過與所述GUI進(jìn)行交互而將所述設(shè)計(jì)特征的至少ー個(gè)直接輸入所述半導(dǎo)體器件布局。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的EDA系統(tǒng)，其中，所述定制設(shè)計(jì)規(guī)則鏈接至所述庫，以及其中，所述訪問設(shè)計(jì)規(guī)則進(jìn)ー步訪問所述庫。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的EDA系統(tǒng)，其中，所述方法進(jìn)ー步包括:將所述設(shè)計(jì)規(guī)則的至少ー個(gè)與所述半導(dǎo)體器件布局的至少ー個(gè)特征進(jìn)行比較，以及其中，所述訪問設(shè)計(jì)特征的庫包括: 使所述庫顯示在所述⑶I上； 在所述設(shè)計(jì)特征的期望設(shè)計(jì)特征上定位光標(biāo)； 選擇所述期望設(shè)計(jì)特征；以及 將所述期望設(shè)計(jì)特征結(jié)合到所述半導(dǎo)體器件布局。
全文摘要
本發(fā)明提供了用于設(shè)計(jì)集成電路或其他半導(dǎo)體器件同時(shí)通過與其上顯示設(shè)計(jì)布局的GUI的交互直接訪問設(shè)計(jì)規(guī)則和設(shè)計(jì)特征庫的系統(tǒng)和方法。設(shè)計(jì)規(guī)則可以直接鏈接至圖案庫的設(shè)計(jì)特征并輸入設(shè)計(jì)布局。設(shè)計(jì)規(guī)則可以在設(shè)計(jì)布局的同時(shí)或者在進(jìn)行設(shè)計(jì)規(guī)則檢測(cè)的同時(shí)被直接訪問，并且在創(chuàng)建布局的過程中可以使用來自圖案庫的設(shè)計(jì)特征。
文檔編號(hào)G06F17/50GK103093020SQ201210242408
公開日2013年5月8日 申請(qǐng)日期2012年7月12日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月31日
發(fā)明者陳欽安, 吳培滋, 蔡宗杰, 吳俊毅, 丁至剛 申請(qǐng)人:臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司