專利名稱：電壓超調(diào)對介電失效/擊穿的影響的分析實(shí)驗(yàn)估計(jì)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及設(shè)計(jì)和測試集成電路器件，更具體地說，涉及確定電壓超調(diào)狀況對此類集成電路器件內(nèi)的電介質(zhì)的影響的方法和系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
眾所周知，微電子電路/產(chǎn)品的最大工作電壓與微電子電路中所用的介電絕緣體材料的失效或擊穿緊密相關(guān)。最大電壓傳統(tǒng)上可根據(jù)介電失效模型進(jìn)行估計(jì)，其中假設(shè)這些工作電壓在一個(gè)周期內(nèi)保持恒定。換言之，就電壓超調(diào)而言，通常忽略任何電壓波形的時(shí)間相關(guān)性。目前，沒有一種簡單、直接的方法可從數(shù)量上估計(jì)任何波形的電壓超調(diào)/欠調(diào)對介電失效可靠性的影響。

發(fā)明內(nèi)容
此處的一種示例性方法使用與集成電路器件相連的測試設(shè)備測試所述集成電路器件，以便測量當(dāng)所述集成電路器件的電壓超過基礎(chǔ)工作電壓時(shí)發(fā)生的電壓超調(diào)狀況，以及測量當(dāng)所述集成電路器件的電壓未超過所述基礎(chǔ)工作電壓時(shí)發(fā)生的正常工作狀況。此方法還使用可訪問歷史數(shù)據(jù)的計(jì)算機(jī)化機(jī)器確定所述正常工作狀況的失效分?jǐn)?shù)(failurefraction)。所述正常工作狀況的所述失效分?jǐn)?shù)包括在所述正常工作狀況期間發(fā)生的介電失效的比例。此方法使用所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器計(jì)算在所述測試期間施加于所述集成電路器件的電壓波形的平均超調(diào)電壓。此方法使用所述計(jì)算機(jī)確定所述電壓超調(diào)狀況的失效分?jǐn)?shù)。所述電壓超調(diào)狀況的所述失效分?jǐn)?shù)包括在所述電壓超調(diào)狀況期間經(jīng)歷介電失效的所述集成電路器件的比例。所述電壓超調(diào)狀況的所述失效分?jǐn)?shù)基于所述正常工作狀況的所述失效分?jǐn)?shù)和所述平均超調(diào)電壓。此方法使用所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器確定總失效分?jǐn)?shù)，所述總失效分?jǐn)?shù)包括所述正常工作狀況的所述失效分?jǐn)?shù)和所述電壓超調(diào)狀況的所述失效分?jǐn)?shù)的總和。此方法使用所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器將所述總失效分?jǐn)?shù)與可靠性目標(biāo)進(jìn)行比較，從而確定所述總失效分?jǐn)?shù)是否可接受，并通過所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器報(bào)告所述總失效分?jǐn)?shù)是否可接受。如果所述總失效分?jǐn)?shù)不可接受，則此方法可以修改所述集成電路器件的制造工藝，或者如果所述總失效分?jǐn)?shù)不可接受，此方法可以修改所述集成電路器件的電路設(shè)計(jì)(以導(dǎo)致不同的電壓超調(diào)狀況)。此處的另一示例性方法使用與集成電路器件相連的測試設(shè)備測試所述集成電路器件，以便測量當(dāng)所述集成電路器件的電壓超過基礎(chǔ)工作電壓時(shí)發(fā)生的電壓超調(diào)狀況，以及測量當(dāng)所述集成電路器件的電壓未超過所述基礎(chǔ)工作電壓時(shí)發(fā)生的正常工作狀況。所述測試在所述集成電路器件的整個(gè)有用工作壽命期間執(zhí)行并產(chǎn)生歷史數(shù)據(jù)。此方法確定所述集成電路器件的老化時(shí)間。此方法還使用可訪問所述歷史數(shù)據(jù)和所述集成電路器件的所述老化時(shí)間的計(jì)算機(jī)化機(jī)器確定所述正常工作狀況的失效分?jǐn)?shù)。所述正常工作狀況的所述失效分?jǐn)?shù)包括在所述正常工作狀況期間發(fā)生的介電失效的比例。此方法使用所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器計(jì)算在所述測試期間施加于所述集成電路器件的電壓波形的平均超調(diào)電壓。此方法使用所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器確定所述電壓超調(diào)狀況的失效分?jǐn)?shù)。所述電壓超調(diào)狀況的所述失效分?jǐn)?shù)包括在所述電壓超調(diào)狀況期間經(jīng)歷介電失效的所述集成電路器件的比例。所述電壓超調(diào)狀況的所述失效分?jǐn)?shù)基于所述正常工作狀況的所述失效分?jǐn)?shù)和所述平均超調(diào)電壓，并可附加地基于占空因數(shù)、加電小時(shí)數(shù)壽命、最大允許電壓、使用溫度和柵(gate)介電面積。此方法使用所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器確定總失效分?jǐn)?shù)，所述總失效分?jǐn)?shù)包括所述正常工作狀況的所述失效分?jǐn)?shù)和所述電壓超調(diào)狀況的所述失效分?jǐn)?shù)的總和。此方法使用所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器將所述總失效分?jǐn)?shù)與可靠性目標(biāo)進(jìn)行比較，從而確定所述總失效分?jǐn)?shù)是否可接受，并且通過所述計(jì)算機(jī)報(bào)告所述總失效分?jǐn)?shù)是否可接受。如果所述總失效分?jǐn)?shù)不可接受，則此方法可以修改所述集成電路器件的制造工藝，或者如果所述總失效分?jǐn)?shù)不可接受，可以修改所述集成電路器件的電路設(shè)計(jì)(以導(dǎo)致不同的電壓超調(diào)狀況)。此處的一種系統(tǒng)實(shí)施例包括與集成電路器件相連的測試設(shè)備。所述測試設(shè)備測試所述集成電路器件，以便測量當(dāng)所述集成電路器件的電壓超過基礎(chǔ)工作電壓時(shí)發(fā)生的電壓超調(diào)狀況，以及測量當(dāng)所述集成電路器件的電壓未超過所述基礎(chǔ)工作電壓時(shí)發(fā)生的正常工作狀況。所述測試設(shè)備產(chǎn)生歷史數(shù)據(jù)。所述系統(tǒng)還包括可訪問所述歷史數(shù)據(jù)的計(jì)算機(jī)化機(jī)器。所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器確定所述正常工作狀況的失效分?jǐn)?shù)。所述正常工作狀況的所述失效分?jǐn)?shù)包括在所述正常工作狀況期間發(fā)生的介電失效的比例。所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器計(jì)算在測試期間施加于所述集成電路器件的電壓波形的平均超調(diào)電壓。所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器確定所述電壓超調(diào)狀況的失效分?jǐn)?shù)。所述電壓超調(diào)狀況的所述失效分?jǐn)?shù)包括在所述電壓超調(diào)狀況期間經(jīng)歷介電失效的所述集成電路器件的比例。所述電壓超調(diào)狀況的所述失效分?jǐn)?shù)基于所述正常工作狀況的所述失效分?jǐn)?shù)和所述平均超調(diào)電壓。所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器確定總失效分?jǐn)?shù)，所述總失效分?jǐn)?shù)包括所述正常工作狀況的所述失效分?jǐn)?shù)和所述電壓超調(diào)狀況的所述失效分?jǐn)?shù)的總和。所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器將所述總失效分?jǐn)?shù)與可靠性目標(biāo)進(jìn)行比較，從而確定所述總失效分?jǐn)?shù)是否可接受，并且報(bào)告所述總失效分?jǐn)?shù)是否可接受。如果所述總失效分?jǐn)?shù)不可接受，則所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器可用于修改所述集成電路器件的制造工藝，或者如果所述總失效分?jǐn)?shù)不可接受，所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器可用于修改所述集成電路器件的電路設(shè)計(jì)(以導(dǎo)致不同的電壓超調(diào)狀況)。此處的一種非瞬時(shí)性計(jì)算機(jī)存儲介質(zhì)實(shí)施例可由計(jì)算機(jī)化設(shè)備讀取。所述非瞬時(shí)性計(jì)算機(jī)存儲介質(zhì)存儲可由所述計(jì)算機(jī)化設(shè)備執(zhí)行以執(zhí)行一種方法的指令。此方法使用與集成電路器件相連的測試設(shè)備測試所述集成電路器件，以便測量當(dāng)所述集成電路器件的電壓超過基礎(chǔ)工作電壓時(shí)發(fā)生的電壓超調(diào)狀況，以及測量當(dāng)所述集成電路器件的電壓未超過所述基礎(chǔ)工作電壓時(shí)發(fā)生的正常工作狀況。此方法還使用可訪問歷史數(shù)據(jù)的計(jì)算機(jī)化機(jī)器確定所述正常工作狀況的失效分?jǐn)?shù)。所述正常工作狀況的所述失效分?jǐn)?shù)包括在所述正常工作狀況期間發(fā)生的介電失效的比例。此方法使用所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器計(jì)算在所述測試期間施加于所述集成電路器件的電壓波形的平均超調(diào)電壓。此方法確定所述電壓超調(diào)狀況的失效分?jǐn)?shù)。所述電壓超調(diào)狀況的所述失效分?jǐn)?shù)包括在所述電壓超調(diào)狀況期間經(jīng)歷介電失效的所述集成電路器件的比例。所述電壓超調(diào)狀況的所述失效分?jǐn)?shù)基于所述正常工作狀況的所述失效分?jǐn)?shù)和所述平均超調(diào)電壓。此方法確定總失效分?jǐn)?shù)，所述總失效分?jǐn)?shù)包括所述正常工作狀況的所述失效分?jǐn)?shù)和所述電壓超調(diào)狀況的所述失效分?jǐn)?shù)的總和。此方法將所述總失效分?jǐn)?shù)與可靠性目標(biāo)進(jìn)行比較，從而確定所述總失效分?jǐn)?shù)是否可接受，并通過所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器報(bào)告所述總失效分?jǐn)?shù)是否可接受。如果所述總失效分?jǐn)?shù)不可接受，則此方法可以修改所述集成電路器件的制造工藝，或者如果所述總失效分?jǐn)?shù)不可接受，此方法可以修改所述集成電路器件的電路設(shè)計(jì)(以導(dǎo)致不同的電壓超調(diào)狀況)


通過下面參考附圖的詳細(xì)描述，此處的實(shí)施例將更容易理解，所述附圖不一定按比例繪制，這些附圖是:圖1是示出此處的實(shí)施例的流程圖；圖2是示出電壓超調(diào)波形的一個(gè)實(shí)例的圖；圖3是示出取決于部分壽命的相對電壓超調(diào)的圖；圖4是示出此處的實(shí)施例的流程圖；圖5是根據(jù)此處的實(shí)施例的硬件系統(tǒng)的示意圖；以及圖6是根據(jù)此處的實(shí)施例的硬件系統(tǒng)的示意圖。
具體實(shí)施例方式如上所述，沒有一種簡單、直接的方法可從數(shù)量上估計(jì)任何波形的電壓超調(diào)/欠調(diào)對介電失效可靠性的影響。如果沒有一種針對介電失效估計(jì)納入任何波形的電壓超調(diào)/欠調(diào)的影響的方法，微電子電路可能遭受嚴(yán)重故障。另一方面，具有矩形波形的電壓超調(diào)近似可能過分保守，從而導(dǎo)致電路性能出現(xiàn)非必要的性能降低。鑒于這些問題，此處的系統(tǒng)和方法測試集成電路器件以測量或使用電路設(shè)計(jì)工具確定電壓超調(diào)狀況。此處的系統(tǒng)和方法附加地計(jì)算電壓波形的平均超調(diào)電壓。此處的系統(tǒng)和方法確定超調(diào)時(shí)間比例。所述超調(diào)時(shí)間比例是在集成電路器件的整個(gè)有用工作壽命期間，發(fā)生電壓超調(diào)狀況的時(shí)間量相對于發(fā)生正常操作狀況的時(shí)間量。此處的系統(tǒng)和方法還確定超調(diào)失效比例。所述超調(diào)失效比例包括在電壓超調(diào)狀況期間發(fā)生的介電失效量相對于在正常操作狀況期間發(fā)生的介電失效量。所述超調(diào)失效比例針對集成電路器件的整個(gè)有用工作壽命。此處的系統(tǒng)和方法基于所述超調(diào)時(shí)間比例和所述超調(diào)失效比例計(jì)算允許的超調(diào)電壓。此處的系統(tǒng)和方法將平均超調(diào)電壓與允許的超調(diào)電壓進(jìn)行比較，從而根據(jù)可靠性規(guī)范判定失效分?jǐn)?shù)是否超過允許的失效分?jǐn)?shù)。因此，此處的系統(tǒng)和方法可以報(bào)告總失效分?jǐn)?shù)以允許電路設(shè)計(jì)者或器件制造者調(diào)整電壓超調(diào)或在期望的可靠性規(guī)范與電壓超調(diào)或器件厚度或其制造工藝之間進(jìn)行權(quán)衡。更具體地說，此處的系統(tǒng)和方法通過提供一種分析實(shí)驗(yàn)估計(jì)器解決了這些問題，所述分析實(shí)驗(yàn)估計(jì)器所強(qiáng)調(diào)的理念是:相對于基線工作電壓的電壓超調(diào)(即，電壓超調(diào)與基線電壓的比率)依賴于兩個(gè)因素。第一，此比率正比于電壓超調(diào)導(dǎo)致的失效分?jǐn)?shù)與基線電壓導(dǎo)致的失效分?jǐn)?shù)的比率。第二，此比率反比于電壓超調(diào)總時(shí)間與基線工作電壓總時(shí)間的比率。因此，可通過考慮擊穿概率統(tǒng)計(jì)導(dǎo)出此類比例常數(shù)。如圖1的流程圖所示，此處提供一種示意性實(shí)驗(yàn)分析估計(jì)器104。項(xiàng)目100示出具有期望的或修改的Vbase和Vtjs的電路設(shè)計(jì)。在項(xiàng)目102，通過期望的或修改的厚度/工藝制造器件。在項(xiàng)目104，分析實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)收集/介電失效(TDDB)估計(jì)器執(zhí)行參數(shù)提取。接下來，所述方法在項(xiàng)目106判定目標(biāo)是否滿足可靠性。如果目標(biāo)滿足可靠性106，則所述方法結(jié)束。如果在項(xiàng)目106，目標(biāo)不滿足可靠性，則所述方法返回到項(xiàng)目100和102，并重復(fù)執(zhí)行上述步驟。下面的等式用于在給定基礎(chǔ)電壓(Vuse)(即，沒有電壓超調(diào))下針對集成電路器件執(zhí)行老化(BI)時(shí)計(jì)算失效分?jǐn)?shù)。
權(quán)利要求
1.一種方法，包括: 使用與集成電路器件相連的測試設(shè)備測試所述集成電路器件，以便測量當(dāng)所述集成電路器件的電壓超過基礎(chǔ)工作電壓時(shí)發(fā)生的電壓超調(diào)狀況，以及測量當(dāng)所述集成電路器件的電壓未超過所述基礎(chǔ)工作電壓時(shí)發(fā)生的正常工作狀況，所述測試產(chǎn)生歷史數(shù)據(jù)； 使用可訪問所述歷史數(shù)據(jù)的計(jì)算機(jī)化機(jī)器確定所述正常工作狀況的失效分?jǐn)?shù)，所述失效分?jǐn)?shù)包括在所述正常工作狀況期間發(fā)生的介電失效的比例； 使用所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器計(jì)算施加于所述集成電路器件的電壓波形的平均超調(diào)電壓； 使用所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器確定所述電壓超調(diào)狀況的失效分?jǐn)?shù)，所述失效分?jǐn)?shù)包括在所述電壓超調(diào)狀況期間經(jīng)歷介電失效的所述集成電路器件的比例，所述電壓超調(diào)狀況的所述失效分?jǐn)?shù)基于所述正常工作狀況的所述失效分?jǐn)?shù)和所述平均超調(diào)電壓； 使用所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器確定總失效分?jǐn)?shù)，所述總失效分?jǐn)?shù)包括所述正常工作狀況的所述失效分?jǐn)?shù)和所述電壓超調(diào)狀況的所述失效分?jǐn)?shù)的總和； 使用所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器將所述總失效分?jǐn)?shù)與可靠性目標(biāo)進(jìn)行比較，從而確定所述總失效分?jǐn)?shù)是否可接受；以及 通過所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器報(bào)告所述總失效分?jǐn)?shù)是否可接受。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中確定所述正常工作狀況的所述失效分?jǐn)?shù)的步驟在所述集成電路器件的整個(gè)有用工作壽命期間執(zhí)行，所述失效分?jǐn)?shù)包括在所述正常工作狀況期間發(fā)生的介電失效的比例。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，還包括如果所述總失效分?jǐn)?shù)不可接受，則修改所述集成電路器件的制造工藝。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，還包括如果所述總失效分?jǐn)?shù)不可接受，則修改所述集成電路器件的電路設(shè)計(jì)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的方法，其中所述電路設(shè)計(jì)的所述修改旨在導(dǎo)致不同的電壓超調(diào)狀況。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中所述電壓超調(diào)狀況的所述失效分?jǐn)?shù)的確定基于占空因數(shù)、加電小時(shí)數(shù)壽命、最大允許電壓、使用溫度和柵介電面積。
7.一種方法，包括: 使用與集成電路器件相連的測試設(shè)備測試所述集成電路器件，以便測量當(dāng)所述集成電路器件的電壓超過基礎(chǔ)工作電壓時(shí)發(fā)生的電壓超調(diào)狀況，以及測量當(dāng)所述集成電路器件的電壓未超過所述基礎(chǔ)工作電壓時(shí)發(fā)生的正常工作狀況，所述測試產(chǎn)生歷史數(shù)據(jù)； 確定所述集成電路器件的老化時(shí)間； 使用可訪問所述歷史數(shù)據(jù)和所述集成電路器件的所述老化時(shí)間的計(jì)算機(jī)化機(jī)器確定所述正常工作狀況的失效分?jǐn)?shù)，所述失效分?jǐn)?shù)包括在所述正常工作狀況期間發(fā)生的介電失效的比例； 使用所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器計(jì)算在所述測試期間施加于所述集成電路器件的電壓波形的平均超調(diào)電壓； 使用所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器確定所述電壓超調(diào)狀況的失效分?jǐn)?shù)，所述失效分?jǐn)?shù)包括在所述電壓超調(diào)狀況期間經(jīng)歷介電失效的所述集成電路器件的比例，所述電壓超調(diào)狀況的所述失效分?jǐn)?shù)基于所述正常工作狀況的所述失效分?jǐn)?shù)和所述平均超調(diào)電壓；使用所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器確定總失效分?jǐn)?shù)，所述總失效分?jǐn)?shù)包括所述正常工作狀況的所述失效分?jǐn)?shù)和所述電壓超調(diào)狀況的所述失效分?jǐn)?shù)的總和； 使用所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器將所述總失效分?jǐn)?shù)與可靠性目標(biāo)進(jìn)行比較，從而確定所述總失效分?jǐn)?shù)是否可接受；以及 通過所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器報(bào)告所述總失效分?jǐn)?shù)是否可接受。
8.根據(jù)權(quán)利要求7的方法，其中確定所述正常工作狀況的所述失效分?jǐn)?shù)的步驟在所述集成電路器件的整個(gè)有用工作壽命期間執(zhí)行，所述失效分?jǐn)?shù)包括在所述正常工作狀況期間發(fā)生的介電失效的比例。
9.根據(jù)權(quán)利要求7的方法，還包括如果所述總失效分?jǐn)?shù)不可接受，則修改所述集成電路器件的制造工藝。
10.根據(jù)權(quán)利要求7的方法，還包括如果所述總失效分?jǐn)?shù)不可接受，則修改所述集成電路器件的電路設(shè)計(jì)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10的方法，其中所述電路設(shè)計(jì)的所述修改旨在導(dǎo)致不同的電壓超調(diào)狀況。
12.根據(jù)權(quán)利要求7的方法，其中所述電壓超調(diào)狀況的所述失效分?jǐn)?shù)的確定基于占空因數(shù)、加電小時(shí)數(shù)壽命、最大允許電壓、使用溫度和柵介電面積。
13.—種系統(tǒng),包括: 與集成電路器件相連的測試設(shè)備，所述測試設(shè)備測試所述集成電路器件，以便測量當(dāng)所述集成電路器件的電壓超過基礎(chǔ)工作電壓時(shí)發(fā)生的電壓超調(diào)狀況，以及測量當(dāng)所述集成電路器件的電壓未超過所述基礎(chǔ)工作電壓時(shí)發(fā)生的正常工作狀況，所述測試設(shè)備產(chǎn)生歷史數(shù)據(jù)；以及 可訪問所述歷史數(shù)據(jù)的計(jì)算機(jī)化機(jī)器，所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器確定超調(diào)時(shí)間比例，所述超調(diào)時(shí)間比例包括在所述集成電路器件的整個(gè)有用工作壽命期間，發(fā)生所述電壓超調(diào)狀況的時(shí)間量相對于發(fā)生所述正常工作狀況的時(shí)間量， 所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器確定所述正常工作狀況的失效分?jǐn)?shù)，所述失效分?jǐn)?shù)包括在所述正常工作狀況期間發(fā)生的介電失效的比例； 所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器計(jì)算施加于所述集成電路器件的電壓波形的平均超調(diào)電壓； 所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器確定所述電壓超調(diào)狀況的失效分?jǐn)?shù)，所述失效分?jǐn)?shù)包括在所述電壓超調(diào)狀況期間經(jīng)歷介電失效的所述集成電路器件的比例，所述電壓超調(diào)狀況的所述失效分?jǐn)?shù)基于所述正常工作狀況的所述失效分?jǐn)?shù)和所述平均超調(diào)電壓； 所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器確定總失效分?jǐn)?shù)，所述總失效分?jǐn)?shù)包括所述正常工作狀況的所述失效分?jǐn)?shù)和所述電壓超調(diào)狀況的所述失效分?jǐn)?shù)的總和； 所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器將所述總失效分?jǐn)?shù)與可靠性目標(biāo)進(jìn)行比較，從而確定所述總失效分?jǐn)?shù)是否可接受；以及 所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器報(bào)告所述總失效分?jǐn)?shù)是否可接受。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的系統(tǒng)，其中確定所述正常工作狀況的所述失效分?jǐn)?shù)在所述集成電路器件的整個(gè)有用工作壽命期間執(zhí)行，所述失效分?jǐn)?shù)包括在所述正常工作狀況期間發(fā)生的介電失效的比例。
15.根據(jù)權(quán)利要求13的系統(tǒng)，還包括如果所述總失效分?jǐn)?shù)不可接受，則所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器修改所述集成電路器件的制造工藝。
16.根據(jù)權(quán)利要求13的系統(tǒng)，還包括如果所述總失效分?jǐn)?shù)不可接受，則所述計(jì)算機(jī)化機(jī)器修改所述集成電路器件的電路設(shè)計(jì)。
17.根據(jù)權(quán)利要求16的方法，其中所述電路設(shè)計(jì)的所述修改旨在導(dǎo)致不同的電壓超調(diào)狀況。
18.根據(jù)權(quán)利要求13的系統(tǒng)，其中所述電壓超調(diào)狀況的所述失效分?jǐn)?shù)的確定基于占空因數(shù)、加電小時(shí)數(shù)壽命、 最大允許電壓、使用溫度和柵介電面積。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種電壓超調(diào)對介電失效/擊穿的影響的分析實(shí)驗(yàn)估計(jì)器。一種方法測試集成電路器件以測量電壓超調(diào)狀況。所述方法確定超調(diào)時(shí)間比例。所述超調(diào)時(shí)間比例是在所述集成電路器件的整個(gè)有用工作壽命期間，發(fā)生電壓超調(diào)狀況的時(shí)間量相對于發(fā)生正常工作狀況的時(shí)間量。所述方法還確定超調(diào)失效比例。所述超調(diào)失效比例包括在所述電壓超調(diào)狀況期間發(fā)生的介電失效量相對于在所述正常工作狀況期間發(fā)生的介電失效量。所述方法基于所述超調(diào)時(shí)間比例和所述超調(diào)失效比例計(jì)算允許的超調(diào)電壓。所述方法附加地計(jì)算電壓波形的平均超調(diào)電壓并將所述平均超調(diào)電壓與所述允許的超調(diào)電壓進(jìn)行比較，從而確定所述平均超調(diào)電壓是否超過所述允許的超調(diào)電壓。
文檔編號G06F17/50GK103218473SQ201310024289
公開日2013年7月24日 申請日期2013年1月23日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月24日
發(fā)明者E·Y·吳 申請人:國際商業(yè)機(jī)器公司