一種薄膜晶體管型基板檢測設備的圖像校正方法及裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種薄膜晶體管型（TFT）基板檢測設備的圖像校正方法及裝置，其中方法包括：利用TFT基板檢測設備獲取的指定目標的圖像中各個像素點的坐標信息，計算所述圖像的偏移值；判斷所述偏移值是否小于預設的門限值，若不小于，則采集所述指定目標的圖像，利用所述偏移值調(diào)整所述圖像，利用調(diào)整后的圖像中各個像素的坐標信息，重新計算偏移值；若小于，則將所述偏移值作為校正結果對TFT基板檢測設備獲取的圖像進行校正。采用本發(fā)明能夠提高對TFT基板檢測設備的校正效率，并且提高校正的精確度。
【專利說明】一種薄膜晶體管型基板檢測設備的圖像校正方法及裝置

【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及液晶顯示器領域中的檢測技術，尤其涉及一種薄膜晶體管型（TFT， Thin Film Transistor)基板檢測設備的圖像校正方法及裝置。

【背景技術】
[0002] 在TFT基板的檢測工藝中，需要使用檢測傳感器（Modulator)和電荷耦合元件 (CO), Charge-coupled Device)組成的檢測設備，在距離TFT基板上方15-20微米處進行 檢測。要保證對TFT基板的檢測結果正確，就需要保證檢測設備中檢測傳感器及CCD的中 心位置一致；否則，如果CCD與檢測傳感器的中心位置出現(xiàn)偏差，對TFT基板的檢測結果就 會出現(xiàn)誤差。因此，在對TFT基板的檢測之前，需要先對所述TFT基板檢測設備進行校正。
[0003] 目前，對所述TFT基版檢測設備進行校正為：先使用電壓圖像光學系統(tǒng)（VI0S， Voltage Image Optic System),對檢測傳感器和CCD進行粗校正；利用軟件獲取CCD生成 的TFT基板的動態(tài)圖像的中心像素坐標，估算所述動態(tài)圖像的偏移值，輸入所述偏移值用 于調(diào)整CXD生成的TFT基板的動態(tài)圖像的中心像素坐標，觀察調(diào)整后的所述動態(tài)圖像的中 心像素坐標是否位于中心點，若不是，則繼續(xù)估算所述動態(tài)圖像的偏移值，輸入所述偏移值 用于調(diào)整CXD生成的TFT基板的動態(tài)圖像的中心像素坐標，直至所述動態(tài)圖像的中心像素 的坐標位于中心點為止。
[0004] 但是，隨著TFT基板的設計種類繁多，且設計的越來越復雜、越來越小，這樣就越 來越難根據(jù)所述TFT基板的動態(tài)圖像估算出偏移值，只能依靠經(jīng)驗進行人工調(diào)整，如此，就 造成TFT基板檢測設備的校正效率較低且不夠精確。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明所要解決的技術問題在于提供一種TFT基板檢測設備的圖像校正方法及 裝置，提高對TFT基板檢測設備的校正效率，并且提高校正的精確度。
[0006] 為解決上述技術問題，本發(fā)明的技術方案是這樣實現(xiàn)的：
[0007] 本發(fā)明提供了一種TFT基板檢測設備的圖像校正方法，所述方法包括：
[0008] 利用TFT基板檢測設備獲取的指定目標的圖像中各個像素點的坐標信息，計算所 述圖像的偏移值；
[0009] 判斷所述偏移值是否小于預設的門限值，若不小于，則采集所述指定目標的圖像， 利用所述偏移值調(diào)整所述圖像，利用調(diào)整后的圖像中各個像素的坐標信息，重新計算偏移 值；若小于，則將所述偏移值作為校正結果對TFT基板檢測設備獲取的圖像進行校正。
[0010] 上述方案中，所述利用指定目標的圖像中各個像素點的坐標信息，計算所述圖像 的偏移值，包括：利用所述圖像中各個像素點的坐標信息、與預設的指定目標坐標信息，分 別計算所述圖像的偏移轉(zhuǎn)角、X軸偏移量和Y軸偏移量，將所述偏移轉(zhuǎn)角、X軸偏移量和Y軸 偏移量作為所述圖像的偏移值。
[0011] 上述方案中，所述利用所述偏移值，調(diào)整TFT基板檢測設備獲取的所述指定目標 的圖像，包括：查看是否已存有歷史偏移值，若有，則提取所述歷史偏移值，將所述歷史偏移 值與所述偏移值累加得到更新后的歷史偏移值，利用所述歷史偏移值，調(diào)整所述圖像中各 個像素點的偏移轉(zhuǎn)角、X軸坐標以及Y軸坐標；若沒有，則將所述偏移值作為歷史偏移值，利 用所述歷史偏移值，調(diào)整所述圖像中各個像素點的偏移轉(zhuǎn)角、X軸坐標以及Y軸坐標。
[0012] 上述方案中，所述利用調(diào)整后的圖像中各個像素的坐標信息，重新計算偏移值，包 括：利用調(diào)整后的所述圖像中各個像素點的坐標信息、與預設的指定目標坐標信息，分別計 算所述圖像的偏移轉(zhuǎn)角、X軸偏移量和Y軸偏移量，將所述偏移轉(zhuǎn)角、X軸偏移量和Y軸偏移 量作為所述圖像的偏移值。
[0013] 上述方案中，所述指定目標為：預設的具有特殊圖案的反射鏡面，設置于TFT基板 檢測設備中檢測傳感器的底部。
[0014] 本發(fā)明還提供了一種TFT基板檢測設備的圖像校正裝置，所述裝置包括：圖像處 理模塊、數(shù)據(jù)處理模塊和控制模塊；其中，
[0015] 圖像處理模塊，用于將TFT基板檢測設備獲取的指定目標的圖像中各個像素點的 坐標信息發(fā)送所述圖像至數(shù)據(jù)處理模塊；根據(jù)所述控制模塊的通知，繼續(xù)從TFT基板檢測 設備獲取指定目標的圖像，發(fā)送所述圖像中各個像素點的坐標信息至數(shù)據(jù)處理模塊；
[0016] 數(shù)據(jù)處理模塊，用于利用所述圖像中各個像素點的坐標信息計算所述圖像的偏移 值，發(fā)送所述偏移值給控制模塊；以及利用所述偏移值調(diào)整圖像處理模塊發(fā)來的所述圖像， 利用調(diào)整后的所述圖像中各個像素的坐標信息，重新計算偏移值，發(fā)送所述偏移值給控制 模塊；
[0017] 控制模塊，用于判斷所述偏移值是否小于預設的門限值，若不小于，則通知圖像處 理模塊繼續(xù)從TFT基板檢測設備獲取所述指定目標的圖像；若小于，則將所述偏移值作為 校正結果對TFT基板檢測設備獲取的圖像進行校正。
[0018] 上述方案中，所述數(shù)據(jù)處理模塊，具體用于利用所述圖像中各個像素點的坐標信 息、與預設的指定目標坐標信息，分別計算所述圖像的偏移轉(zhuǎn)角、X軸偏移量和Y軸偏移量， 將所述偏移轉(zhuǎn)角、X軸偏移量和Y軸偏移量作為所述圖像的偏移值。
[0019] 上述方案中，所述數(shù)據(jù)處理模塊，具體用于查看是否已存有歷史偏移值，若有，則 提取所述歷史偏移值，將所述歷史偏移值與所述偏移值累加得到更新后的歷史偏移值，利 用所述歷史偏移值，調(diào)整所述圖像中各個像素點的偏移轉(zhuǎn)角、X軸坐標以及Y軸坐標；若沒 有，則將所述偏移值作為歷史偏移值，利用所述歷史偏移值，調(diào)整所述圖像中各個像素點的 偏移轉(zhuǎn)角、X軸坐標以及Y軸坐標。
[0020] 上述方案中，所述數(shù)據(jù)處理模塊，具體用于利用調(diào)整后的所述圖像中各個像素點 的坐標信息、與預設的指定目標坐標信息，分別計算所述圖像的偏移轉(zhuǎn)角、X軸偏移量和Y 軸偏移量，將所述偏移轉(zhuǎn)角、X軸偏移量和Y軸偏移量作為所述圖像的偏移值。
[0021] 上述方案中，所述指定目標為預設的具有特殊圖案的反射鏡面，設置于所在TFT 基板檢測設備中檢測傳感器的底部。
[0022] 通過本發(fā)明TFT基板檢測設備的圖像校正方法及裝置，能夠利用TFT基板檢測設 備獲取的指定目標的圖像中各個像素點的坐標信息，計算所述圖像的偏移值；判斷所述偏 移值是否小于預設的門限值，若不小于，則采集所述指定目標的圖像，利用所述偏移值調(diào)整 所述圖像，利用調(diào)整后的圖像中各個像素的坐標信息，重新計算偏移值；若小于，則將偏移 值作為校正結果對TFT基板檢測設備獲取的圖像進行校正。如此，就能夠通過檢測指定目 標的圖像的偏移值，是否小于預設的門限值，確定是否校正完成；從而，避免了現(xiàn)有技術中 由于越來越難根據(jù)所述TFT基板的動態(tài)圖像估算出偏移值，只能依靠經(jīng)驗進行人工調(diào)整， 造成的校正效率較低且不夠精確的問題。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0023] 圖1為本發(fā)明TFT基板檢測設備的圖像校正方法流程示意圖；
[0024] 圖2為指定目標的示意圖；
[0025] 圖3為指定目標的坐標信息示意圖；
[0026] 圖4為采集的圖像的坐標信息示意圖；
[0027] 圖5為本發(fā)明TFT基板檢測設備的圖像校正裝置組成結構示意圖；
[0028] 圖6為TFT基板檢測設備的組成結構示意圖。

【具體實施方式】
[0029] 本發(fā)明的基本思想是：利用TFT基板檢測設備獲取的指定目標的圖像中各個像素 點的坐標信息，計算所述圖像的偏移值；判斷所述偏移值是否小于預設的門限值，若不小 于，則采集所述指定目標的圖像，利用所述偏移值調(diào)整所述圖像，利用調(diào)整后的圖像中各個 像素的坐標信息，重新計算偏移值；若小于，則將所述偏移值作為校正結果對TFT基板檢測 設備獲取的圖像進行校正。
[0030] 下面結合附圖及具體實施例對本發(fā)明再作進一步詳細的說明。
[0031] 本發(fā)明提出的TFT基板檢測設備的圖像校正方法，如圖1所示，包括以下步驟：
[0032] 步驟101 :利用TFT基板檢測設備獲取的指定目標的圖像中各個像素點的坐標信 息，計算所述圖像的偏移值。
[0033] 這里，所述指定目標的圖像，可以為：TFT基板檢測設備獲取所述指定目標的圖 像，獲取所述圖像中各個像素點的坐標信息。
[0034] 所述指定目標可以為預設的具有特殊圖案的反射鏡面，設置于TFT基板檢測設備 中檢測傳感器的底部；所述特殊圖案可以如圖2所示。
[0035] 所述利用指定目標的圖像中各個像素點的坐標信息，計算所述圖像的偏移值包 括：利用所述圖像中各個像素點的坐標信息、與預設的指定目標坐標信息，分別計算所述圖 像的偏移轉(zhuǎn)角、X軸偏移量和Y軸偏移量，將所述偏移轉(zhuǎn)角、X軸偏移量和Y軸偏移量作為所 述圖像的偏移值；
[0036] 其中，所述偏移轉(zhuǎn)角的計算方法為：利用三角形正切公式計算得到當前圖像的轉(zhuǎn) 角以及指定目標的轉(zhuǎn)角，將兩者的差值作為偏移轉(zhuǎn)角；
[0037] 比如：假設指定目標如圖2所示，則所述指定目標的坐標信息如圖3所示為（xl， yl)、（x2, y2);所述采集的圖像的坐標信息分別可以如圖4所示為（χΓ，yl'）、（x2'，y2'）；
[0038] 根據(jù)三角形正切計算公式得到指定目標的轉(zhuǎn)角為

【權利要求】
1. 一種薄膜晶體管型TFT基板檢測設備的圖像校正方法，其特征在于，所述方法包括： 利用TFT基板檢測設備獲取的指定目標的圖像中各個像素點的坐標信息，計算所述圖 像的偏移值； 判斷所述偏移值是否小于預設的口限值，若不小于，則采集所述指定目標的圖像，利用 所述偏移值調(diào)整所述圖像，利用調(diào)整后的圖像中各個像素的坐標信息，重新計算偏移值；若 小于，則將所述偏移值作為校正結果對TFT基板檢測設備獲取的圖像進行校正。
2. 根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于，所述利用指定目標的圖像中各個像素點 的坐標信息，計算所述圖像的偏移值，包括：利用所述圖像中各個像素點的坐標信息、與預 設的指定目標坐標信息，分別計算所述圖像的偏移轉(zhuǎn)角、X軸偏移量和Y軸偏移量，將所述 偏移轉(zhuǎn)角、X軸偏移量和Y軸偏移量作為所述圖像的偏移值。
3. 根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于，所述利用所述偏移值，調(diào)整TFT基板檢測 設備獲取的所述指定目標的圖像，包括：查看是否已存有歷史偏移值，若有，則提取所述歷 史偏移值，將所述歷史偏移值與所述偏移值累加得到更新后的歷史偏移值，利用所述歷史 偏移值，調(diào)整所述圖像中各個像素點的偏移轉(zhuǎn)角、X軸坐標W及Y軸坐標；若沒有，則將所述 偏移值作為歷史偏移值，利用所述歷史偏移值，調(diào)整所述圖像中各個像素點的偏移轉(zhuǎn)角、X 軸坐標W及Y軸坐標。
4. 根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于，所述利用調(diào)整后的圖像中各個像素的坐 標信息，重新計算偏移值，包括：利用調(diào)整后的所述圖像中各個像素點的坐標信息、與預設 的指定目標坐標信息，分別計算所述圖像的偏移轉(zhuǎn)角、X軸偏移量和Y軸偏移量，將所述偏 移轉(zhuǎn)角、X軸偏移量和Y軸偏移量作為所述圖像的偏移值。
5. 根據(jù)權利要求1至4任一項所述的方法，其特征在于，所述指定目標為；預設的具有 特殊圖案的反射鏡面，設置于TFT基板檢測設備中檢測傳感器的底部。
6. -種TFT基板檢測設備的圖像校正裝置，其特征在于，所述裝置包括；圖像處理模 塊、數(shù)據(jù)處理模塊和控制模塊；其中， 圖像處理模塊，用于將TFT基板檢測設備獲取的指定目標的圖像中各個像素點的坐標 信息發(fā)送所述圖像至數(shù)據(jù)處理模塊；根據(jù)所述控制模塊的通知，繼續(xù)從TFT基板檢測設備 獲取指定目標的圖像，發(fā)送所述圖像中各個像素點的坐標信息至數(shù)據(jù)處理模塊； 數(shù)據(jù)處理模塊，用于利用所述圖像中各個像素點的坐標信息計算所述圖像的偏移值， 發(fā)送所述偏移值給控制模塊；W及利用所述偏移值調(diào)整圖像處理模塊發(fā)來的所述圖像，利 用調(diào)整后的所述圖像中各個像素的坐標信息，重新計算偏移值，發(fā)送所述偏移值給控制模 塊； 控制模塊，用于判斷所述偏移值是否小于預設的口限值，若不小于，則通知圖像處理模 塊繼續(xù)從TFT基板檢測設備獲取所述指定目標的圖像；若小于，則將所述偏移值作為校正 結果對TFT基板檢測設備獲取的圖像進行校正。
7. 根據(jù)權利要求6所述的裝置，其特征在于， 所述數(shù)據(jù)處理模塊，具體用于利用所述圖像中各個像素點的坐標信息、與預設的指定 目標坐標信息，分別計算所述圖像的偏移轉(zhuǎn)角、X軸偏移量和Y軸偏移量，將所述偏移轉(zhuǎn)角、 X軸偏移量和Y軸偏移量作為所述圖像的偏移值。
8. 根據(jù)權利要求6所述的裝置，其特征在于， 所述數(shù)據(jù)處理模塊，具體用于查看是否已存有歷史偏移值，若有，則提取所述歷史偏移 值，將所述歷史偏移值與所述偏移值累加得到更新后的歷史偏移值，利用所述歷史偏移值， 調(diào)整所述圖像中各個像素點的偏移轉(zhuǎn)角、X軸坐標W及Y軸坐標；若沒有，則將所述偏移值 作為歷史偏移值，利用所述歷史偏移值，調(diào)整所述圖像中各個像素點的偏移轉(zhuǎn)角、X軸坐標 W及Y軸坐標。
9. 根據(jù)權利要求6所述的裝置，其特征在于， 所述數(shù)據(jù)處理模塊，具體用于利用調(diào)整后的所述圖像中各個像素點的坐標信息、與預 設的指定目標坐標信息，分別計算所述圖像的偏移轉(zhuǎn)角、X軸偏移量和Y軸偏移量，將所述 偏移轉(zhuǎn)角、X軸偏移量和Y軸偏移量作為所述圖像的偏移值。
10. 根據(jù)權利要求6至9任一項所述的裝置，其特征在于，所述指定目標為預設的具有 特殊圖案的反射鏡面，設置于所在TFT基板檢測設備中檢測傳感器的底部。
【文檔編號】G06T7/00GK104463824SQ201310418622
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2013年9月13日 優(yōu)先權日:2013年9月13日
【發(fā)明者】林子錦, 趙海生, 裴曉光, 鄧朝陽, 馬海濤 申請人:北京京東方光電科技有限公司