觸控面板及該觸控面板制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種觸控面板及該觸控面板制作方法，該制作方法包含在基材的上方堆棧第一導(dǎo)電層。在該第一導(dǎo)電層堆棧電極。在該電極的上方與該第一導(dǎo)電層的上方各堆棧一第一絕緣透明層。借由曝光與顯影，在該第一絕緣透明層顯露該電極，以及在該電極的上方、該第一導(dǎo)電層的上方與該第一絕緣透明層的上方各堆棧一第二絕緣透明層。在該第二絕緣透明層的上方堆棧第二導(dǎo)電層。在該電極與該基材堆棧金屬層以制作第一傳輸線，以及在至少一部分的該第二導(dǎo)電層與該基材堆棧該金屬層以制作第二傳輸線。借由本發(fā)明可改善該觸控面板的制程良率。
【專利說明】觸控面板及該觸控面板制作方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明關(guān)于一種觸控面板，特別是一種具有高制程良率的觸控面板及該觸控面板 制作方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 隨著觸控面板的應(yīng)用日益成熟，該觸控面板大致上包含電阻式觸控面板、電容式 觸控面板、紅外線式觸控面板與聲波式觸控面板等類型。
[0003] 傳統(tǒng)上，借由曝光、顯影、蝕刻與濺鍍等多道制程可制作出例如包含多個導(dǎo)電層、 介電層與金屬層的該觸控面板。然而，任何一道制程發(fā)生錯誤，都將會導(dǎo)致該觸控面板的損 壞，進而降低該觸控面板的制程良率。
[0004] 因此，如何能夠提升該觸控面板的制程良率，是一個十分重要的議題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明的第一目的是提供一種觸控面板，該觸控面板包含第一導(dǎo)電層、電極與金 屬層，借由在該第一導(dǎo)電層的上方預(yù)先地堆棧該電極，而讓該第一導(dǎo)電層借由該電極輕易 地連接該金屬層。
[0006] 本發(fā)明的第二目的是根據(jù)上述的觸控面板，該觸控面板進一步包含第一絕緣透明 層、第二絕緣透明層與第二導(dǎo)電層。當(dāng)該第一導(dǎo)電層、該第一絕緣透明層、該第二導(dǎo)電層與 該第二絕緣透明層進行曝光、顯影及/或蝕刻之后，借由保留一部分的該第一絕緣透明層 與一部分的該第二絕緣透明層，以隔離該第一導(dǎo)電層與該第二導(dǎo)電層。
[0007] 本發(fā)明的第三目的是根據(jù)上述的觸控面板，借由該電極的材質(zhì)是無法被顯影劑所 顯影及/或蝕刻液所蝕刻的特性，讓這些絕緣透明層與這些導(dǎo)電層進行該顯影與蝕刻的過 程中，該電極不受到顯影劑與蝕刻液的影響。
[0008] 本發(fā)明的第四目的是提供一種觸控面板制作方法，可提升該觸控面板的制程良 率。
[0009] 為達到上述目的及其它目的，本發(fā)明提供一種觸控面板。該觸控面板包含基材、第 一導(dǎo)電層、電極、第一絕緣透明層、第二絕緣透明層、第二導(dǎo)電層與金屬層。該第一導(dǎo)電層堆 棧于該基材的上方。該第一導(dǎo)電層具有第一感測單元、第三感測單元與第一連接單元，而在 該第一感測單元與該第三感測單元之間設(shè)置該第一連接單元。在該第一感測單元界定第一 區(qū)域與第二區(qū)域。該電極堆棧位于該第一區(qū)域的該第一感測單元的上方。該第一絕緣透明 層堆棧在該第二區(qū)域的該第一感測單元的上方、該第三感測單元的上方與一部分的該電極 的上方。該第二絕緣透明層堆棧在該第一連接單元的上方與該第一絕緣透明層的上方。該 第二導(dǎo)電層堆棧在該第二絕緣透明層的上方。該第二導(dǎo)電層具有第二感測單元、第四感測 單元與第二連接單元，而在該第二感測單元與該第四感測單元之間設(shè)置該第二連接單元。 該金屬層堆棧在該電極的上方、至少一部分的該基材的上方與至少一部分的該第二感測單 元的上方。在該電極的上方與該基材的上方制作第一傳輸線，以及在該基材與至少一部分 的該第二感測單元的上方制作第二傳輸線。
[0010] 為達到上述目的及其它目的，本發(fā)明提供一種觸控面板制作方法，該制作方法包 含步驟a，在基材的上方堆棧第一導(dǎo)電層。步驟b，在該第一導(dǎo)電層堆棧電極。步驟c，在該 電極的上方與該第一導(dǎo)電層的上方各堆棧一第一絕緣透明層。步驟d，在該第一絕緣透明層 的上方與該第一導(dǎo)電層的上方以具有第一圖樣群的第一光罩進行曝光，以在該第一絕緣透 明層與該第一導(dǎo)電層形成該第一圖樣群。該第一圖樣群包含第一感測圖樣、第三感測圖樣 與第一連接圖樣。該第一感測圖樣、該第三感測圖樣與該第一連接圖樣以第一軸方向進行 排列。步驟e，在該第一絕緣透明層與該第一導(dǎo)電層進行顯影與蝕刻，以在該第一絕緣透明 層顯露該電極，以及在該第一導(dǎo)電層形成第一感測單元、第三感測單元與第一連接單元。步 驟f，在該電極的上方、該第一連接圖樣的上方與該第一絕緣透明層的上方各堆棧一第二絕 緣透明層。步驟g，在該第二絕緣透明層的上方形成第二導(dǎo)電層。該第二導(dǎo)電層具有第二感 測單元、第四感測單元與第二連接單元。該第二感測單元、該第四感測單元與該第二連接單 元以第二軸方向進行排列。步驟h，在該電極與該基材堆棧金屬層，以制作第一傳輸線，以及 在至少一部分的該第二感測單元與該基材堆棧該金屬層，以制作第二傳輸線。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0011] 圖1示為本發(fā)明一實施例的觸控面板的俯視圖。
[0012] 圖2示為本發(fā)明圖1的觸控面板的立體圖。
[0013] 圖3a至3k示為本發(fā)明圖1的觸控面板一實施例的制作過程示意圖。
[0014] 圖4示為本發(fā)明一實施例的觸控面板制作方法的流程圖。
[0015] 主要部件附圖標(biāo)記：
[0016] 10 觸控面板
[0017] 12 基材
[0018] 14 第一導(dǎo)電層
[0019] 142、142' 第一感測單元
[0020] 144、144' 第三感測單元
[0021] 146、146' 第五感測單元
[0022] 148、148'、1410、1410' 第一連接單元
[0023] 16、16' 電極
[0024] 18 第一絕緣透明層
[0025] 20 第二絕緣透明層
[0026] 22 第二導(dǎo)電層
[0027] 222、222' 第二感測單元
[0028] 224、224' 第四感測單元
[0029] 226、226' 第六感測單元
[0030] 228、228'、2210、2210' 第二連接單元
[0031] CH1 第一通道
[0032] CH2 第二通道
[0033] CH3 第三通道
[0034] CH4 第四通道
[0035] 24 金屬層
[0036] 30 第一圖樣群
[0037] 302 第一感測圖樣
[0038] 304 第三感測圖樣
[0039] 306 第一連接圖樣
[0040] 32 第一光罩
[0041] 34 第二圖樣群
[0042] 342、342' 第二感測圖樣
[0043] 344、344' 第二連接圖樣
[0044] 36 第二光罩

【具體實施方式】
[0045] 為充分了解本發(fā)明的目的、特征及技術(shù)效果，茲由下述具體實施例，并結(jié)合附圖， 對本發(fā)明做詳細說明，說明如下：
[0046] 參考圖1，其為本發(fā)明一實施例的觸控面板的俯視圖。在圖1中，該觸控面板10 包含基材12、第一導(dǎo)電層(包含兩個第一感測單元142, 142'、兩個第三感測單元144, 144'、 兩個第五感測單元146, 146'與四個第一連接單元148, 148'，1410, 1410'）、兩個電極 16, 16'、第一絕緣透明層18、第二絕緣透明層20、第二導(dǎo)電層(包含兩個第二感測單元 222, 222'、兩個第四感測單元224, 224'、兩個第六感測單元226, 226'與四個第二連接單元 228, 228'，2210, 2210'）與金屬層 24。
[0047] 該基材12可選用可撓性材料或非可撓性材料，例如該基材12的材料可為 二氧化娃（silicon dioxide)、聚乙烯（polyethylene)、聚丙烯（polypropylene)、 聚氯乙烯（polyvinyl chloride)、聚碳酸酯（polycarbonate)與聚甲基丙烯酸酯 (polymethacrylate)、聚對苯二甲酸乙二酯（polyethylene terephthalate)與聚碳酸酯類 的至少其中之一。
[0048] 該第一導(dǎo)電層堆棧于該基材12的上方，而該第一導(dǎo)電層的材料為一種透明導(dǎo)電 材料，例如該透明導(dǎo)電材料可為氧化銦錫（indium tin oxide)、氧化銦鋅（indium zinc oxide)、氧化鎘錫（cadmium tin oxide)、氧化錯鋒（aluminum zinc oxide)、氧化銦鋒 錫（indium zinc tin oxide)、氧化鋒（zinc oxide)、氧化鎘（cadmium oxide)、氧化給 (hafnium oxide)、氧化銦嫁鋒（indium gallium zinc oxide)、氧化銦嫁鋒緩（indium gallium zinc magnesium oxide)、氧化銦嫁（indium gallium oxide)、氧化銦嫁錯（indium gallium aluminum oxide)、奈米銀線（silver nanowire)、石墨烯（graphene)與金屬網(wǎng)格 (metal mesh)的至少其中之一。
[0049] 該第一導(dǎo)電層包含第一通道CH1與第二通道CH2。該第一通道CH1包含該第一感 測單元142、該第三感測單元144、該第五感測單元146與兩個該第一連接單元148, 1410。 在該第一感測單元142與該第三感測單元144之間設(shè)置該第一連接單元148,以及該第三感 測單元142與該第五感測單元146之間設(shè)置該第一連接單元1410。該第二通道CH2包含另 一該第一感測單元142'、另一第三感測單元144'、另一第五感測單元146'與另兩個該第一 連接單元148'，1410'。
[0050] 由于該第一通道CH1與該第二通道CH2具有相同的配置，故為便于說明，以下僅以 該第一通道CH1進行說明。該第一通道CH1的說明適用于該第二通道CH2。
[0051] 在該第一通道CH1中，三個感測單元142, 144, 146的形狀為菱形。在其它實施 例中，該形狀可為三角形、矩形與圓形的至少其中之一。值得注意的是，三個感測單元 142, 144, 146的數(shù)量可縮減成為一個、兩個或增加為多個。
[0052] 在該第一通道CH1中，該第一感測單元142、該第三感測單元144、該第五感測單元 146與兩個該第一連接單元148, 1410以第一軸方向進行排列。在本實施例中，該第一軸方 向為X軸方向。
[0053] 在該第一感測單元142各界定第一區(qū)域與第二區(qū)域。在本實施例中，該第一感測 單元142將該菱形的左半部的其中一部分界定為該第一區(qū)域，以及將該菱形的右半部界定 為該第二區(qū)域。在本實施例中，該第一區(qū)域的形狀以梯形，以及該第二區(qū)域的形狀以三角形 為例說明。在其它實施例中，該第一區(qū)域的形狀與該第二區(qū)域的形狀不受到該說明的限制。
[0054] 該電極16堆棧位于該第一區(qū)域的該第一感測單兀142的上方。
[0055] 該第一絕緣透明層18堆棧在該第二區(qū)域的該第一感測單元142的上方、該第三感 測單兀144的上方、該第五感測單兀146的上方與一部分該電極16的上方。該第一絕緣透 明層18為正光阻材料與負光阻材料的至少其中之一。
[0056] 該第二絕緣透明層20堆棧在該第一絕緣透明層18的上方。該第二絕緣透明層20 為正光阻材料與負光阻材料的至少其中之一。
[0057] 該第二導(dǎo)電層堆棧在該第二絕緣透明層20的上方。該第一導(dǎo)電層14中所提及的 材料也適用于該第二導(dǎo)電層。
[0058] 該第二導(dǎo)電層包含第三通道CH3與第四通道CH4。該第三通道CH3包含該第二感 測單元222、該第四感測單元224、該第六感測單元226與兩個該第二連接單元228, 2210。 在該第二感測單元222與該第四感測單元224之間設(shè)置該第二連接單元228,以及在第四感 測單元224與該第六感測單元226之間設(shè)置該第二連接單元2210。該第四通道CH4包含另 一第二感測單元222'、另一第四感測單元224'、另一第六感測單元226'與另兩個該第二連 接單元 228'，2210'。
[0059] 由于該第三通道CH3與該第四通道CH4具有相同的配置，故為便于說明，以下僅以 該第三通道CH3進行說明。該第三通道CH3的說明也適用于該第四通道CH4。
[0060] 在該第三通道CH3中，三個感測單元222, 224, 226的形狀為菱形。在其它實施例 中，該形狀可為三角形、矩形與圓形的至少其中之一。在本實施例中，這些感測單元的數(shù)量 以三個為例說明。
[0061] 該第二感測單元222、該第四感測單元224、該第六感測單元226與兩個該第二連 接單元228, 2210以第二軸方向進行排列。在本實施例中，該第二軸方向為Y軸方向。
[0062] 該金屬層24堆棧在該電極16的上方、至少一部分的該基材12的上方，以制作第 一傳輸線。該金屬層24堆棧在該基材12與至少一部分的該第二感測單兀222的上方，以 制作第二傳輸線。
[0063] 參考圖2,其為說明圖1的觸控面板的立體圖。
[0064] 參考圖3a至3k，示為說明本發(fā)明圖1的觸控面板的制作過程示意圖。在圖3a至 3j中，以圖1中該觸控面板10的A-A'剖面圖為例說明。在圖3k中，顯示該觸控面板10的 B-B'剖面圖。
[0065] 在圖3a中，顯不在基材12的上方堆棧第一導(dǎo)電層14。在本實施例中，該第一導(dǎo)電 層14以奈米銀線材質(zhì)為例說明。
[0066] 在圖3b中，顯示在該第一導(dǎo)電層14堆棧電極16。該電極16借由例如網(wǎng)版印刷技 術(shù)，而堆棧在該第一導(dǎo)電層14的上方。該電極16的材質(zhì)不被顯影劑所顯影及/或被蝕刻 液所蝕刻。
[0067] 在圖3c中，顯示在該電極16的上方與該第一導(dǎo)電層14的上方堆棧第一絕緣透明 層18。在本實施例中，該第一絕緣透明層18以負光阻材料為例說明。該負光阻材料的特性 為，當(dāng)該負光阻材料被例如紫外光線照射之后，未被該光線照射的部分，能借由顯影劑進行 移除。
[0068] 在圖3d中，顯示在該第一絕緣透明層18的上方與該第一導(dǎo)電層14的上方以具 有第一圖樣群30的第一光罩32進行曝光。在A-A'剖面中，第一光罩32顯不第一感測圖 樣302、第三感測圖樣304、第五感測圖樣306與兩個第一連接圖樣308, 3010。這些圖樣 302, 304, 306, 308, 3010以該第一軸方向進行排列。將光線LB自該第一光罩32的上方入射 (即曝光制程)，使得在該第一絕緣透明層18與該第一導(dǎo)電層14形成該第一圖樣群30。 [0069] 在圖3e中，顯示在該第一絕緣透明層18與該第一導(dǎo)電層14進行顯影，以在該第 一絕緣透明層18顯露該電極16,以及在該第一導(dǎo)電層14形成該第一感測單元142、該第三 感測單元144、該第五感測單元146與該第一連接單元148, 148'。
[0070] 在本實施例中，該第一導(dǎo)電層14的材料為奈米銀線。該奈米銀線材料借由該顯影 制程而被蝕刻出該第一感測單元142、該第三感測單元144、該第五感測單元146與兩個該 第一連接單元148, 148'。值得注意的是，該第一絕緣透明層18未經(jīng)顯影的部分則被保留， 而不進行傳統(tǒng)的去墨（stripping)制程。
[0071] 在圖3f中，顯示在該電極16的上方、該第一感測單元142的上方與該第一絕緣透 明層18的上方各堆棧一第二絕緣透明層20。在本實施例中，該第二絕緣透明層20以負光 阻材料為例說明。
[0072] 在圖3g中，顯示在該第二絕緣透明層20的上方堆棧第二導(dǎo)電層22。在本實施例 中，該第二導(dǎo)電層22為奈米銀線材質(zhì)。
[0073] 在圖3h中，在該第二導(dǎo)電層22的上方以具有第二圖樣群34的第二光罩36進行 曝光。在A-A'剖面中，該第二光罩36包含第二感測圖樣342與另一個第二感測圖樣342' 與兩個第二連接圖樣344, 344'。
[0074] 在圖3i中，顯示在該第二導(dǎo)電層22借由該顯影制程而形成兩個該第二感測單元 222, 222'與兩個該第二連接單元228, 228'。
[0075] 在圖3j中，顯示在該電極16與該基材12堆棧金屬層24,以制作成為該第一傳輸 線；以及，在至少一部分的該第二感測單元222與該基材12堆棧該金屬層24,以制作成為 第二傳輸線。
[0076] 參考圖4,其為說明本發(fā)明一實施例的觸控面板制作方法的流程圖。在圖4中，該 觸控面板制作方法的流程圖起始于步驟S41，在基材的上方堆棧第一導(dǎo)電層。
[0077] 步驟S42,在該第一導(dǎo)電層堆棧電極。
[0078] 步驟S43,在該電極的上方與該第一導(dǎo)電層的上方各堆棧一第一絕緣透明層。
[0079] 步驟S44,在該第一絕緣透明層的上方與該第一導(dǎo)電層的上方以具有第一圖樣群 的第一光罩進行曝光，以在該第一絕緣透明層與該第一導(dǎo)電層形成該第一圖樣群。
[0080] 步驟S45,在該第一絕緣透明層與該第一導(dǎo)電層進行顯影與蝕刻，以在該第一絕緣 透明層顯露該電極，以及在該第一導(dǎo)電層形成第一感測單元、第三感測單元與第一連接單 元。值得注意的是，該第一導(dǎo)電層未經(jīng)顯影的部分則被保留，而不進行傳統(tǒng)的去墨制程。
[0081] 步驟S46,在該電極的上方、該第一感測單元的上方與該第一絕緣透明層的上方各 堆棧一第二絕緣透明層。
[0082] 步驟S47,在該第二絕緣透明層的上方堆棧第二導(dǎo)電層，該第二導(dǎo)電層具有第二感 測單元、第四感測單元與第二連接單元。在步驟S43至S45中，該第一導(dǎo)電層形成該第一感 測單元、該第三感測單元與該第一連接單元的方式也適用于該第二導(dǎo)電層。
[0083] 舉例而言，借由在該第二導(dǎo)電層的上方以具有第二圖樣群的第二光罩進行曝光， 以在該第二導(dǎo)電層形成該第二圖樣群，該第二圖樣群包含第二感測圖樣、第四感測圖樣與 第二連接圖樣。該第二感測圖樣、該第四感測圖樣與該第二連接圖樣以該第二軸方向進行 排列。根據(jù)不同的材質(zhì)的該第二絕緣透明層，該第二絕緣透明層借由兩種不同的制程，在該 第二導(dǎo)電層各形成該第二感測單元、該第四感測單元與該第二連接單元。
[0084] 步驟S48,在該電極與該基材堆棧金屬層，以制作成為第一傳輸線，以及在至少一 部分的該第二感測單元與該基材堆棧該金屬層，以制作成為第二傳輸線。
[0085] 本發(fā)明在上文中已以較佳實施例揭露，然而本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解的是，該實施 例僅用于描繪本發(fā)明，而不應(yīng)解讀為限制本發(fā)明的范圍。應(yīng)注意的是，凡是與該實施例等效 的變化與置換，均應(yīng)視為涵蓋于本發(fā)明的范疇內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護范圍當(dāng)以權(quán)利要求書 所限定的內(nèi)容為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1. 一種觸控面板，其特征在于，包含： 基材； 第一導(dǎo)電層，堆棧于該基材的上方，該第一導(dǎo)電層具有第一感測單元、第三感測單元與 第一連接單元，在該第一感測單元與該第三感測單元之間設(shè)置該第一連接單元，在該第一 感測單元界定第一區(qū)域與第二區(qū)域； 電極，堆棧位于該第一區(qū)域的該第一感測單元的上方； 第一絕緣透明層，堆棧在該第二區(qū)域的該第一感測單元的上方、該第三感測單元的上 方與一部分的該電極的上方； 第二絕緣透明層，堆棧在該第一連接單元的上方與該第一絕緣透明層的上方； 第二導(dǎo)電層，堆棧在該第二絕緣透明層的上方，該第二導(dǎo)電層具有第二感測單元、第 四感測單元與第二連接單元，在該第二感測單元與該第四感測單元之間設(shè)置該第二連接單 元；以及 金屬層，堆棧在該電極的上方與至少一部分的該基材的上方，以制作成為第一傳輸線， 以及該金屬層堆棧在該基材與至少一部分的該第二感測單元的上方，以制作成為第二傳輸 線。
2. 如權(quán)利要求1所述的觸控面板，其特征在于，該第一感測單元的形狀與該電極的形 狀各為菱形、三角形、矩形與圓形的至少其中之一。
3. 如權(quán)利要求1所述的觸控面板，其特征在于，該第一感測單元、該第三感測單元與該 第一連接單元以第一軸方向排列，以及該第二感測單元、該第四感測單元與該第二連接單 元以第二軸方向排列。
4. 如權(quán)利要求1所述的觸控面板，其特征在于，該第一導(dǎo)電層與該第二導(dǎo)電層各為透 明導(dǎo)電材料，該透明導(dǎo)電材料為氧化銦錫、氧化銦鋅、氧化鎘錫、氧化鋁鋅、氧化銦鋅錫、氧 化鋅、氧化鎘、氧化鉿、氧化銦鎵鋅、氧化銦鎵鋅鎂、氧化銦鎵、氧化銦鎵鋁、奈米銀線、石墨 烯與金屬網(wǎng)格的至少其中之一。
5. 如權(quán)利要求1所述的觸控面板，其特征在于，該基材的材料為二氧化硅、聚乙烯、聚 丙烯、聚氯乙烯、聚碳酸酯與聚甲基丙烯酸酯、聚對苯二甲酸乙二酯與聚碳酸酯類的至少其 中之一。
6. 如權(quán)利要求1所述的觸控面板，其特征在于，該基材為可撓性材料。
7. 如權(quán)利要求1所述的觸控面板，其特征在于，該第一絕緣透明層與該第二絕緣透明 層各為正光阻材料與負光阻材料的至少其中之一。
8. -種觸控面板制作方法，其特征在于，包含： a. 在基材的上方堆棧第一導(dǎo)電層； b. 在該第一導(dǎo)電層堆棧電極； c. 在該電極的上方與該第一導(dǎo)電層的上方各堆棧一第一絕緣透明層； d. 在該第一絕緣透明層的上方與該第一導(dǎo)電層的上方以具有第一圖樣群的第一光罩 進行曝光，以在該第一絕緣透明層與該第一導(dǎo)電層形成該第一圖樣群，該第一圖樣群包含 第一感測圖樣、第三感測圖樣與第一連接圖樣，其中該第一感測圖樣、該第三感測圖樣與該 第一連接圖樣以第一軸方向進行排列； e. 在該第一絕緣透明層與該第一導(dǎo)電層進行顯影與蝕刻，以在該第一絕緣透明層顯露 該電極，以及在該第一導(dǎo)電層形成第一感測單元、第三感測單元與第一連接單元； f. 在該電極的上方、該第一感測單元的上方與該第一絕緣透明層的上方各堆棧一第二 絕緣透明層； g. 在該第二絕緣透明層的上方堆棧第二導(dǎo)電層，該第二導(dǎo)電層具有第二感測單元、第 四感測單元與第二連接單元，其中該第二感測單元、該第四感測單元與該第二連接單元以 第二軸方向進行排列；以及 h. 在該電極與該基材堆棧金屬層，以制作成為第一傳輸線，以及在至少一部分的該第 二感測單元與該基材堆棧該金屬層，以制作成為第二傳輸線。
9. 如權(quán)利要求8所述的觸控面板制作方法，其特征在于，在步驟e中，包含當(dāng)該第一絕 緣透明層與該第一導(dǎo)電層進行顯影之后，在該第一導(dǎo)電層進行蝕刻，以在該第一導(dǎo)電層形 成該第一感測單元、該第三感測單元與該第一連接單元。
10. 如權(quán)利要求8所述的觸控面板制作方法，其特征在于，在步驟g中，還包含步驟h， 在該第二導(dǎo)電層的上方以具有第二圖樣群的第二光罩進行曝光，以在該第二導(dǎo)電層形成該 第二圖樣群，該第二圖樣群包含第二感測圖樣、第四感測圖樣與第二連接圖樣，其中該第二 感測圖樣、該第四感測圖樣與該第二連接圖樣以該第二軸方向進行排列。
11. 如權(quán)利要求10所述的觸控面板制作方法，其特征在于，在步驟h之后，還包含步驟 i，在該第二絕緣透明層進行顯影，以在該第二導(dǎo)電層形成該第二感測單元、該第四感測單 元與該第二連接單元。
12. 如權(quán)利要求10所述的觸控面板制作方法，其特征在于，在步驟h之后，還包含步驟 j，在該第二絕緣透明層進行顯影與蝕刻，以在該第二導(dǎo)電層形成該第二感測單元、該第四 感測單元與該第二連接單元。
【文檔編號】G06F3/041GK104216554SQ201310492176
【公開日】2014年12月17日 申請日期:2013年10月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月31日
【發(fā)明者】王貴璟, 林達湖 申請人:辰光電股份有限公司