曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，系統(tǒng)包括：光刻曝光機(jī)文件建立條件信息模塊、光罩信息模塊、曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊和數(shù)據(jù)處理模塊；光罩信息模塊中存儲(chǔ)有光罩信息，曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊中存儲(chǔ)有曝光機(jī)文件，曝光機(jī)文件建立條件信息模塊中存儲(chǔ)有建立曝光機(jī)文件時(shí)所需條件的參數(shù)信息；數(shù)據(jù)處理模塊調(diào)取光罩信息模塊中存儲(chǔ)的光罩信息，并根據(jù)該光罩信息調(diào)取存儲(chǔ)于曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊中的曝光機(jī)文件，數(shù)據(jù)處理模塊同時(shí)調(diào)取曝光機(jī)文件建立條件信息模塊中的參數(shù)信息后，將曝光機(jī)文件建立所需要更改的參數(shù)與調(diào)取的參數(shù)信息進(jìn)行比對(duì)，并將比對(duì)結(jié)果進(jìn)行輸出。本發(fā)明系統(tǒng)能夠提高曝光機(jī)文件的正確率和工作效率。
【專利說明】曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體工藝制程檢查系統(tǒng)，尤其涉及一種曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體器件的結(jié)構(gòu)越來越復(fù)雜，使得其制備工藝也變得越來越復(fù)雜。
[0003]通常在半導(dǎo)體器件的制備過程中，會(huì)經(jīng)歷很多次的光刻工藝，每一次的光刻工藝都包含一次曝光制程，所以，在半導(dǎo)體器件的制造過程中，會(huì)經(jīng)過十幾次甚至幾十次的曝光制程。在每一次的曝光制程中，都需要先確定曝光制程的相關(guān)參數(shù)，而以一套曝光機(jī)文件40層來計(jì)算，需要輸出確認(rèn)的參數(shù)大致上有四千多個(gè)，并且這些參數(shù)通常是包含有正負(fù)號(hào)的精確到小數(shù)點(diǎn)后三位的數(shù)字。如果在輸入?yún)?shù)時(shí)出現(xiàn)任何差錯(cuò)，就會(huì)導(dǎo)致曝光制程出現(xiàn)問題，具體體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:
[0004](I)曝光機(jī)拒絕對(duì)晶圓進(jìn)行加工(reject wafer)；
[0005](2)晶圓返工重跑；
[0006](3)整個(gè)產(chǎn)品線上的晶圓進(jìn)行報(bào)廢。
[0007]可以看出，如果在曝光制程中稍有差錯(cuò)，輕則造成晶圓的加工停滯或者返工，重則引起大量的晶圓報(bào)廢，這無論是在成本上和生產(chǎn)進(jìn)度都是不利的，所以確保曝光參數(shù)的輸入準(zhǔn)確性是十分必要也是十分有現(xiàn)實(shí)意義的。
[0008]目前，對(duì)于曝光參數(shù)的輸入和建立大多為工程師手動(dòng)進(jìn)行，并且在信息輸入之后并沒有相關(guān)的檢查機(jī)制，這樣就會(huì)導(dǎo)致工程師可能在龐大的輸入數(shù)據(jù)壓力下出錯(cuò)。
[0009]雖然業(yè)界已經(jīng)有ASML廠家研發(fā)出一種使曝光機(jī)文件脫離于其曝光機(jī)本身以及服務(wù)器而生成的軟件，但是由于其內(nèi)部參數(shù)定義及其復(fù)雜，操作人員需要花費(fèi)很多時(shí)間去掌握其使用方法，并且運(yùn)算速度相對(duì)較慢，需要花費(fèi)很多的時(shí)間，所以在實(shí)際生產(chǎn)過程中并不是十分具有實(shí)用性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]鑒于上述問題，本發(fā)明提供一種曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)。
[0011]本發(fā)明解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為:
[0012]—種曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其中，所述系統(tǒng)包括:光刻曝光機(jī)文件建立條件信息模塊、光罩信息模塊、曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊和數(shù)據(jù)處理模塊；
[0013]所述光罩信息模塊中存儲(chǔ)有光罩信息，所述曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊中存儲(chǔ)有曝光機(jī)文件，所述曝光機(jī)文件建立條件信息模塊中存儲(chǔ)有建立曝光機(jī)文件時(shí)所需條件的參數(shù)信息；
[0014]所述數(shù)據(jù)處理模塊調(diào)取光罩信息模塊中存儲(chǔ)的光罩信息，并根據(jù)該光罩信息調(diào)取存儲(chǔ)于所述曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊中的曝光機(jī)文件，所述數(shù)據(jù)處理模塊同時(shí)調(diào)取曝光機(jī)文件建立條件信息模塊中的參數(shù)信息后，將曝光機(jī)文件建立所需要更改的參數(shù)與調(diào)取的所述參數(shù)信息進(jìn)行比對(duì)，并將比對(duì)結(jié)果進(jìn)行輸出。
[0015]所述的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其中，當(dāng)所述曝光機(jī)文件建立所需要更改的參數(shù)與調(diào)取的所述參數(shù)信息一致，所述數(shù)據(jù)處理模塊輸出比對(duì)結(jié)果正確；
[0016]當(dāng)所述曝光機(jī)文件建立所需要更改的參數(shù)與調(diào)取的所述參數(shù)信息不一致，所述數(shù)據(jù)處理模塊輸出比對(duì)結(jié)果不正確。
[0017]所述的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其中，所述系統(tǒng)還包括操作終端，通過所述操作終端將所述曝光機(jī)文件輸入至所述曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊中。
[0018]所述的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其中，通過所述操作終端對(duì)所述比對(duì)結(jié)果進(jìn)行顯不。
[0019]所述的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其中，所述數(shù)據(jù)處理模塊中設(shè)置有批量處理單元，通過所述批量處理單元同時(shí)調(diào)取若干個(gè)曝光機(jī)文件。
[0020]所述的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其中，采用宏處理單元作為所述批量處理單元。
[0021]所述的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其中，通過所述操作終端，采用Excel VBA工具對(duì)所述宏處理單元寫入宏命令。
[0022]上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn)或有益效果:
[0023]本發(fā)明的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)通過光刻曝光機(jī)文件建立條件信息模塊、光罩信息模塊和曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊將原本完全獨(dú)立的光刻曝光機(jī)建立條件信息、光罩信息和曝光機(jī)文件三者相互聯(lián)系起來，并通過數(shù)據(jù)處理模塊將上述三個(gè)模塊內(nèi)的信息進(jìn)行整合和比對(duì)，以實(shí)現(xiàn)對(duì)曝光機(jī)文件的自動(dòng)檢查，從而及時(shí)發(fā)現(xiàn)錯(cuò)誤的曝光機(jī)文件，便于對(duì)錯(cuò)誤的曝光機(jī)文件進(jìn)行及時(shí)的修改，避免了因錯(cuò)誤的曝光機(jī)文件進(jìn)行產(chǎn)品加工而產(chǎn)生的返工等問題，進(jìn)而提高了曝光機(jī)文件的正確率和工作效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]參考所附附圖，以更加充分的描述本發(fā)明的實(shí)施例。然而，所附附圖僅用于說明和闡述，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明范圍的限制。
[0025]圖1是本發(fā)明曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖2是本發(fā)明實(shí)施例中數(shù)據(jù)處理模塊的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027]本發(fā)明提供一種曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，可用于技術(shù)節(jié)點(diǎn)為大于等于130nm、90nm、65/55nm、45/40nm、32/28nm或小于等于22nm等的工藝中；本發(fā)明同時(shí)可用于Logic、Memory、RF、HV> Analog/Power、MEMS> CIS、Flash、eFlash 或 Package 等技術(shù)平臺(tái)中。
[0028]本發(fā)明的主要思想是通過曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)將DS (design service)光罩信息、光刻曝光機(jī)文件建立條件信息和曝光機(jī)文件這三個(gè)完全獨(dú)立的信息相互關(guān)聯(lián)起來，并運(yùn)用自動(dòng)化的系統(tǒng)來對(duì)曝光機(jī)文件進(jìn)行檢查。
[0029]下面對(duì)本發(fā)明系統(tǒng)進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0030]本發(fā)明的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)包括:操作終端、光刻曝光機(jī)文件建立條件信息模塊、光罩信息模塊、曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊、數(shù)據(jù)處理模塊。其中，操作終端用于讓工程師對(duì)曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)進(jìn)行啟動(dòng)、停止以及其它相關(guān)的操作選擇，操作終端還能夠?qū)⑾到y(tǒng)內(nèi)的信息進(jìn)行顯示；光刻曝光機(jī)文件建立條件信息模塊中存放有用于建立曝光機(jī)文件相關(guān)條件參數(shù)的信息；光罩信息模塊中存放有針對(duì)不同曝光工藝所需要光罩的光罩信息；曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊用于建立或產(chǎn)生曝光機(jī)文件以及導(dǎo)出建立的曝光機(jī)文件，該曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊的終端優(yōu)選為曝光機(jī)臺(tái)自帶的服務(wù)器；數(shù)據(jù)處理模塊用于進(jìn)行相關(guān)比對(duì)等運(yùn)算操作。
[0031]上述的若干模塊之間的信息傳遞關(guān)系通過如下方式實(shí)現(xiàn):
[0032]通過操作終端啟動(dòng)曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，數(shù)據(jù)處理模塊調(diào)取光罩信息模塊中的光罩信息，并根據(jù)該光罩信息調(diào)取存儲(chǔ)于曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊中的曝光機(jī)文件，同時(shí)調(diào)取曝光機(jī)文件建立條件信息模塊中的參數(shù)信息，然后，數(shù)據(jù)處理模塊將曝光機(jī)文件建立所需要更改的參數(shù)與調(diào)取的參數(shù)信息進(jìn)行比對(duì)，并將比對(duì)結(jié)果進(jìn)行輸出，輸出的比對(duì)結(jié)果由一個(gè)普通的輸出終端進(jìn)行輸出，如普通微型機(jī)等。
[0033]當(dāng)數(shù)據(jù)處理模塊將曝光機(jī)文件建立所需要更改的參數(shù)與從曝光機(jī)文件建立條件信息模塊中調(diào)取的參數(shù)信息進(jìn)行比對(duì)后，如果該曝光機(jī)文件建立所需要更改的參數(shù)與從曝光機(jī)文件建立條件信息模塊中調(diào)取的參數(shù)信息一致，那么輸出正確的結(jié)果，即經(jīng)過檢查后，可以確定建立的曝光機(jī)文件為正確；反之，如果該曝光機(jī)文件建立所需要更改的參數(shù)與從曝光機(jī)文件建立條件信息模塊中調(diào)取的參數(shù)信息不一致，那么則輸出錯(cuò)誤的結(jié)果，即經(jīng)過檢查后，可以確定建立的曝光機(jī)文件為錯(cuò)誤。
[0034]這樣，通過上述系統(tǒng)就能對(duì)工程師人為建立的曝光機(jī)文件進(jìn)行自動(dòng)化的檢查，以及時(shí)發(fā)現(xiàn)工程師在建立大量的曝光機(jī)文件時(shí)可能建立的錯(cuò)誤的曝光機(jī)文件，然后及時(shí)采取相應(yīng)的措施以避免更大的損失。
[0035]進(jìn)一步的，可將批處理的理念應(yīng)用于上述系統(tǒng)中，使得可以同時(shí)對(duì)多個(gè)已建立的曝光機(jī)文件一起進(jìn)行檢查，并且檢查結(jié)果也會(huì)一同進(jìn)行輸出，為了達(dá)到上述功能，在本發(fā)明的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)處理模塊中還設(shè)置有一個(gè)批量處理單元，該批量處理單元能夠同時(shí)將多個(gè)曝光機(jī)文件進(jìn)行調(diào)取，并且依次對(duì)多個(gè)曝光機(jī)文件進(jìn)行檢查后，對(duì)該多個(gè)曝光機(jī)文件的檢查結(jié)果一同進(jìn)行輸出。對(duì)于該批量處理單元可優(yōu)選采用宏處理單元。可以采用帶有宏運(yùn)算功能的工具對(duì)該宏處理單元進(jìn)行宏命令的寫入，其中，可優(yōu)選采用Excel VBA工具進(jìn)行宏命令的寫入。
[0036]下面通過一實(shí)施例對(duì)本發(fā)明具有批量處理能力的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)的使用方法進(jìn)行說明。
[0037]通過操作終端對(duì)建立曝光機(jī)文件相關(guān)條件的參數(shù)信息進(jìn)行整理，產(chǎn)生宏運(yùn)行模板文件，然后將光罩信息輸入到該模板文件中，工程師根據(jù)建立曝光機(jī)文件相關(guān)條件的參數(shù)信息和光罩信息手動(dòng)輸入曝光機(jī)文件(即建立曝光機(jī)文件)，然后運(yùn)行宏，以對(duì)建立的曝光機(jī)文件進(jìn)行檢查，在運(yùn)行宏的過程中可以選取若干曝光機(jī)文件進(jìn)行檢查，最后通過宏運(yùn)行模板反饋出檢查結(jié)果。
[0038]綜上所述，本發(fā)明的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)通過對(duì)DS光罩信息、曝光機(jī)文件建立條件參數(shù)信息和曝光機(jī)文件三者進(jìn)行關(guān)聯(lián)，使得對(duì)建立的曝光機(jī)文件進(jìn)行自動(dòng)化檢查成為可能。并且，由于本系統(tǒng)還能夠?qū)ζ毓鈾C(jī)文件進(jìn)行批量的檢查，并能夠?qū)z查的結(jié)果進(jìn)行批量地輸出，這可以使工程師對(duì)大量的曝光機(jī)文件中的錯(cuò)誤文件和正確文件一目了然，從而可以方便、及時(shí)地對(duì)錯(cuò)誤的曝光機(jī)文件進(jìn)行發(fā)現(xiàn)和處理，提高了曝光機(jī)文件建立的正確率和工作效率。
[0039]對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，閱讀上述說明后，各種變化和修正無疑將顯而易見。因此，所附的權(quán)利要求書應(yīng)看作是涵蓋本發(fā)明的真實(shí)意圖和范圍的全部變化和修正。在權(quán)利要求書范圍內(nèi)任何和所有等價(jià)的范圍與內(nèi)容，都應(yīng)認(rèn)為仍屬本發(fā)明的意圖和范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)包括:光刻曝光機(jī)文件建立條件信息模塊、光罩信息模塊、曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊和數(shù)據(jù)處理模塊； 所述光罩信息模塊中存儲(chǔ)有光罩信息，所述曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊中存儲(chǔ)有曝光機(jī)文件，所述曝光機(jī)文件建立條件信息模塊中存儲(chǔ)有建立曝光機(jī)文件時(shí)所需條件的參數(shù)信息； 所述數(shù)據(jù)處理模塊調(diào)取光罩信息模塊中存儲(chǔ)的光罩信息，并根據(jù)該光罩信息調(diào)取存儲(chǔ)于所述曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊中的曝光機(jī)文件，所述數(shù)據(jù)處理模塊同時(shí)調(diào)取曝光機(jī)文件建立條件信息模塊中的參數(shù)信息后，將曝光機(jī)文件建立所需要更改的參數(shù)與調(diào)取的所述參數(shù)信息進(jìn)行比對(duì)，并將比對(duì)結(jié)果進(jìn)行輸出。
2.如權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)所述曝光機(jī)文件建立所需要更改的參數(shù)與調(diào)取的所述參數(shù)信息一致，所述數(shù)據(jù)處理模塊輸出比對(duì)結(jié)果正確； 當(dāng)所述曝光機(jī)文件建立所需要更改的參數(shù)與調(diào)取的所述參數(shù)信息不一致，所述數(shù)據(jù)處理模塊輸出比對(duì)結(jié)果不正確。
3.如權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括操作終端，通過所述操作終端將所述曝光機(jī)文件輸入至所述曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊中。
4.如權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其特征在于，通過一微型機(jī)對(duì)所述比對(duì)結(jié)果進(jìn)行顯示。
5.如權(quán)利要求4所述的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)處理模塊中設(shè)置有批量處理單元，通過所述批量處理單元同時(shí)調(diào)取若干個(gè)曝光機(jī)文件。
6.如權(quán)利要求5所述的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其特征在于，采用宏處理單元作為所述批量處理單元。
7.如權(quán)利要求6所述的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其特征在于，通過所述操作終端，采用Excel VBA工具對(duì)所述宏處理單元寫入宏命令。
8.如權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)文件自動(dòng)檢查系統(tǒng)，其特征在于，所述曝光機(jī)文件建立/導(dǎo)出模塊的終端為曝光機(jī)臺(tái)自帶的服務(wù)器。
【文檔編號(hào)】G06F11/22GK103617170SQ201310506771
【公開日】2014年3月5日 申請(qǐng)日期:2013年10月23日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月23日
【發(fā)明者】趙靜芬, 馬蘭濤, 陳力鈞 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司