觸摸面板及其制作方法、顯示裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種觸摸面板及其制作方法、顯示裝置，屬于顯示【技術(shù)領(lǐng)域】。其中，所述觸摸面板包括位于基板上的第一透明導電層、位于所述第一透明導電層上的絕緣層和位于所述絕緣層上的第二透明導電層，其中，所述第一透明導電層包括有第一傳感電極圖形，第二透明導電層有包括第二傳感電極圖形，所述絕緣層在對應所述第二傳感電極圖形的位置設置有過孔，使得所述第二傳感電極圖形的部分位于所述過孔中。通過本發(fā)明的技術(shù)方案，能夠增加觸摸面板的電容，提高觸摸面板的抗干擾能力。
【專利說明】觸摸面板及其制作方法、顯示裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是指一種觸摸面板及其制作方法、顯示裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]觸摸屏(touch screen)又稱為“觸控屏”，是目前最簡單、方便、自然的一種人機交互方式。它賦予了多媒體以嶄新的面貌，極大的方便了人們的生活，是極富吸引力的全新多媒體交互設備。
[0003]觸摸屏主要是通過觸摸面板實現(xiàn)觸摸功能，如圖1-圖4所示，現(xiàn)有的觸摸面板包括設置在基板上的多排沿第一方向的第一傳感電極圖形Rxl以及多排沿第二方向的第二傳感電極圖形Tx2，其中，第一傳感電極圖形Rxl用作接收信號線，第二傳感電極圖形Tx2用作發(fā)射信號線，第一傳感電極圖形Rxl和第二傳感電極圖形Τχ2之間通過絕緣層進行隔離，兩者之間形成一個固有電容，發(fā)射信號線給出信號以后，接收信號線通過收集固有電容上的電壓信號，進行觸摸感應:如果外界有觸摸產(chǎn)生，固有電容會并入一個對地的觸摸電容，接收信號線收集到的電壓信號會有所不同，由此來判斷哪一點發(fā)生了觸摸。
[0004]發(fā)射信號線和接收信號線之間的電容大小決定了觸摸面板的觸摸精度和抗干擾能力，但是現(xiàn)有觸摸面板發(fā)射信號線和接收信號線之間的電容有限，使得觸摸面板的抗干擾能力不是很強。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種觸摸面板及其制作方法、顯示裝置，能夠增加觸摸面板的電容，提高觸摸面板的抗干擾能力。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的實施例提供技術(shù)方案如下:
[0007]—方面，提供一種觸摸面板，包括位于基板上的第一透明導電層、位于所述第一透明導電層上的絕緣層和位于所述絕緣層上的第二透明導電層，其中，所述第一透明導電層包括有第一傳感電極圖形，第二透明導電層有包括第二傳感電極圖形，所述絕緣層在對應所述第二傳感電極圖形的位置設置有過孔，使得所述第二傳感電極圖形的部分位于所述過孔中。
[0008]進一步地，所述過孔與所述第一傳感電極圖形不相接觸。
[0009]進一步地,所述觸摸面板具體包括:
[0010]位于所述基板上由第一透明導電層形成的所述第一傳感電極圖形；
[0011]位于所述第一傳感電極圖形上的包括有過孔的絕緣層的圖形；
[0012]位于所述絕緣層上的由第二透明導電層形成的所述第二傳感電極圖形。
[0013]進一步地，所述第一透明導電層還包括對應所述過孔的第三導電圖形。
[0014]進一步地,所述觸摸面板具體包括:
[0015]位于所述基板上由第一透明導電層形成的所述第一傳感電極圖形和所述第三導電圖形；[0016]位于所述第一傳感電極圖形和所述第三導電圖形上的包括有過孔的絕緣層的圖形；
[0017]位于所述絕緣層上的由第二透明導電層形成的所述第二傳感電極圖形，所述第三導電圖形通過所述過孔與所述第二傳感電極圖形相連。
[0018]本發(fā)明實施例還提供了 一種顯示裝置，包括如上所述的觸摸面板。
[0019]本發(fā)明實施例還提供了一種觸摸面板的制作方法，所述觸摸面板包括位于基板上的第一透明導電層、位于所述第一透明導電層上的絕緣層和位于所述絕緣層上的第二透明導電層，其中，所述第一透明導電層包括有第一傳感電極圖形，第二透明導電層有包括第二傳感電極圖形，所述制作方法包括:在所述絕緣層對應所述第二傳感電極圖形的位置形成過孔，使得所述第二傳感電極圖形的部分位于所述過孔中。
[0020]進一步地，所述在所述絕緣層對應所述第二傳感電極圖形的位置形成過孔包括:
[0021]在所述絕緣層對應所述第二傳感電極圖形且與所述第一傳感電極圖形不相接觸的位置形成過孔。
[0022]進一步地,所述制作方法具體包括:
[0023]在所述基板上沉積第一透明導電層，通過構(gòu)圖工藝形成所述第一傳感電極圖形；
[0024]在形成有所述第一傳感電極圖形的基板上沉積絕緣層，通過構(gòu)圖工藝在對應所述第二傳感電極圖形的位置形成過孔；
[0025]在形成有過孔的絕緣層上沉積第二透明導電層，通過構(gòu)圖工藝形成所述第二傳感電極圖形。
[0026]進一步地,所述制作方法還包括:
[0027]利用第一透明導電層形成對應所述過孔的第三導電圖形。
[0028]進一步地,所述制作方法具體包括:
[0029]在所述基板上沉積第一透明導電層，通過構(gòu)圖工藝形成所述第一傳感電極圖形和所述第三導電圖形；
[0030]在形成有所述第一傳感電極圖形的基板上沉積絕緣層，通過構(gòu)圖工藝在對應所述第二傳感電極圖形的位置形成過孔；
[0031]在形成有過孔的絕緣層上沉積第二透明導電層，通過構(gòu)圖工藝形成所述第二傳感電極圖形，所述第三導電圖形通過所述過孔與所述第二傳感電極圖形相連。
[0032]本發(fā)明的實施例具有以下有益效果:
[0033]上述方案中，第一傳感電極圖形和第二傳感電極圖形之間的絕緣層并不是完整的一層，絕緣層在對應所述第二傳感電極圖形的位置設置有過孔，這樣可以使得部分第二傳感電極圖形落入絕緣層的過孔中，增大第一傳感電極圖形與第二傳感電極圖形之間的互容，提高觸摸面板的抗干擾能力。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0034]圖1為現(xiàn)有觸摸面板第一傳感電極圖形和第二傳感電極圖形的示意圖；
[0035]圖2為現(xiàn)有觸摸面板第一傳感電極圖形和第二傳感電極圖形的局部示意圖；
[0036]圖3為圖2中A-A’的截面示意圖；
[0037]圖4為圖2中B-B’的截面示意圖；[0038]圖5為本發(fā)明實施例觸摸面板第一傳感電極圖形和第二傳感電極圖形的局部示意圖；
[0039]圖6為本發(fā)明一實施例圖5中A-A’的截面示意圖；
[0040]圖7為本發(fā)明一實 施例圖5中B-B’的截面示意圖；
[0041]圖8為本發(fā)明另一實施例圖5中A-A’的截面示意圖；
[0042]圖9為本發(fā)明另一實施例圖5中B-B’的截面示意圖。
[0043]附圖標記
[0044]I第一傳感電極圖形2第二傳感電極圖形
[0045]3過孔4第三導電圖形
【具體實施方式】
[0046]為使本發(fā)明的實施例要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實施例進行詳細描述。
[0047]本發(fā)明的實施例提供一種觸摸面板及其制作方法、顯示裝置，能夠增加觸摸面板的電容，提高觸摸面板的抗干擾能力。
[0048]本發(fā)明實施例提供了一種觸摸面板，包括位于基板上的第一透明導電層、位于所述第一透明導電層上的絕緣層和位于所述絕緣層上的第二透明導電層，所述第一透明導電層包括有第一傳感電極圖形，第二透明導電層有包括第二傳感電極圖形，其中，所述絕緣層在對應所述第二傳感電極圖形的位置設置有過孔，使得所述第二傳感電極圖形的部分位于所述過孔中。
[0049]本發(fā)明的觸摸面板與現(xiàn)有技術(shù)不同，第一傳感電極圖形和第二傳感電極圖形之間的絕緣層并不是完整的一層，絕緣層在對應所述第二傳感電極圖形的位置設置有過孔，這樣可以使得部分第二傳感電極圖形落入絕緣層的過孔中，增大第一傳感電極圖形與第二傳感電極圖形之間的互容，從而提高觸摸面板的抗干擾能力。
[0050]其中，絕緣層中的過孔與所述第一傳感電極圖形不相接觸，這樣第一傳感電極圖形不會通過過孔與第二傳感電極圖形連接，從而不會影響觸摸面板的正常工作。
[0051]具體的，所述觸摸面板包括:
[0052]位于所述基板上由第一透明導電層形成的所述第一傳感電極圖形；
[0053]位于所述第一傳感電極圖形上的包括有過孔的絕緣層的圖形；
[0054]位于所述絕緣層上的由第二透明導電層形成的所述第二傳感電極圖形，所述第二傳感電極圖形的部分位于所述過孔內(nèi)。
[0055]進一步地，所述第一透明導電層還包括對應所述過孔的第三導電圖形，這樣第二傳感電極圖形通過過孔與第三導電圖形連接組成新的導電結(jié)構(gòu)，該導電結(jié)構(gòu)的厚度大于第二傳感電極圖形的厚度，從而進一步增加了觸摸面板的邊緣電容。
[0056]具體的，所述觸摸面板包括:
[0057]位于所述基板上由第一透明導電層形成的所述第一傳感電極圖形和所述第三導電圖形；
[0058]位于所述第一傳感電極圖形和所述第三導電圖形上的包括有過孔的絕緣層的圖形；[0059]位于所述絕緣層上的由第二透明導電層形成的所述第二傳感電極圖形，所述第三導電圖形通過所述過孔與所述第二傳感電極圖形相連。
[0060]本發(fā)明實施例還提供了一種顯示裝置，包括如上所述的觸摸面板。所述顯示裝置可以為液晶顯示器、電子紙、OLED(Organic Light-Emitting Diode,有機發(fā)光二極管)顯示器等具有觸摸功能的顯示器件以及包括這些顯示器件的電視、數(shù)碼相機、手機、平板電腦等任何具有觸摸功能的產(chǎn)品或者部件。
[0061]本發(fā)明實施例還提供了一種觸摸面板的制作方法，所述觸摸面板包括位于基板上的第一透明導電層、位于所述第一透明導電層上的絕緣層和位于所述絕緣層上的第二透明導電層，其中，所述第一透明導電層包括有第一傳感電極圖形，第二透明導電層有包括第二傳感電極圖形，所述制作方法包括:在所述絕緣層對應所述第二傳感電極圖形的位置形成過孔，使得所述第二傳感電極圖形的部分位于所述過孔中。
[0062]本發(fā)明制作的觸摸面板，與現(xiàn)有技術(shù)不同，第一傳感電極圖形和第二傳感電極圖形之間的絕緣層并不是完整的一層，絕緣層在對應所述第二傳感電極圖形的位置設置有過孔，這樣可以使得部分第二傳感電極圖形落入絕緣層的過孔中，增大第一傳感電極圖形與第二傳感電極圖形之間的互容，提高觸摸面板的抗干擾能力。
[0063]進一步地，所述在所述絕緣層對應所述第二傳感電極圖形的位置形成過孔包括:在所述絕緣層對應所述第二傳感電極圖形且與所述第一傳感電極圖形不相接觸的位置形成過孔。這樣第一傳感電極圖形不會通過過孔與第二傳感電極圖形連接，從而不會影響觸摸面板的正常工作。
[0064]具體的，所述制作方法包括:
[0065]在所述基板上沉積第一透明導電層，通過構(gòu)圖工藝形成所述第一傳感電極圖形；
[0066]在形成有所述第一傳感電極圖形的基板上沉積絕緣層，通過構(gòu)圖工藝在對應所述第二傳感電極圖形的位置形成過孔；
[0067]在形成有過孔的絕緣層上沉積第二透明導電層，通過構(gòu)圖工藝形成所述第二傳感電極圖形。
[0068]進一步地，所述制作方法還包括:利用第一透明導電層形成對應所述過孔的第三導電圖形。這樣第二傳感電極圖形通過過孔與第三導電圖形連接組成新的導電結(jié)構(gòu)，該導電結(jié)構(gòu)的厚度大于第二傳感電極圖形的厚度，從而進一步增加了觸摸面板的邊緣電容。
[0069]具體的，所述制作方法包括:
[0070]在所述基板上沉積第一透明導電層，通過構(gòu)圖工藝形成所述第一傳感電極圖形和所述第三導電圖形；
[0071]在形成有所述第一傳感電極圖形的基板上沉積絕緣層，通過構(gòu)圖工藝在對應所述第二傳感電極圖形的位置形成過孔；
[0072]在形成有過孔的絕緣層上沉積第二透明導電層，通過構(gòu)圖工藝形成所述第二傳感電極圖形，第三導電圖形通過過孔與第二傳感電極圖形相連。
[0073]下面結(jié)合具體的實施例對本發(fā)明的觸摸面板及其制作方法進行詳細介紹:
[0074]實施例一
[0075]如圖1-圖4所示，現(xiàn)有的觸摸面板中，第一傳感電極圖形I和第二傳感電極圖形2之間隔有絕緣層，在與基板垂直的方向上，第一傳感電極圖形I和第二傳感電極圖形2之間形成有互容；在其他方向上，第一傳感電極圖形I和第二傳感電極圖形2之間形成有邊緣電容，所述互容和邊緣電容組成了第一傳感電極圖形I和第二傳感電極圖形2之間的固有電容。為了提高觸摸面板的抗干擾能力，本實施例在絕緣層對應第二傳感電極圖形2的位置制作過孔，能夠增加第一傳感電極圖形I和第二傳感電極圖形2之間的固有電容。
[0076]具體的，本實施例的觸摸面板的制作方法包括以下步驟:
[0077]步驟a:在基板上沉積第一透明導電層，通過構(gòu)圖工藝形成第一傳感電極圖形；
[0078]具體的，在基板上通過沉積的方式形成第一透明導電層，其中，第一透明導電層可以采用ITO或ΙΖ0，還可以采用ZnO (氧化鋅)或AZO (參雜有鋁的氧化鋅)等。
[0079]在第一透明導電層上涂布光刻膠，利用掩膜板對涂布有光刻膠的第一透明導電層進行曝光和顯影，若采用的光刻膠為正性光刻膠，顯影后的光刻膠保留部分對應第一傳感電極圖形，其余部分的光刻膠被完全去除?？涛g第一透明導電層未覆蓋光刻膠的區(qū)域，并去除剩余的光刻膠，形成第一透明導電層組成的第一傳感電極圖形。具體的，第一透明導電層未覆蓋光刻膠的區(qū)域可以是通過濕法刻蝕，即通過刻蝕液將第一透明導電層未覆蓋光刻膠的區(qū)域刻蝕掉；還可以是通過干法刻蝕，即通過氣體轟擊將第一透明導電層未覆蓋光刻膠的區(qū)域刻蝕掉。
[0080]步驟b:在形成有第一傳感電極圖形的基板上沉積絕緣層，通過構(gòu)圖工藝在對應第二傳感電極圖形的位置形成過孔；
[0081]具體的，可以是在形成有所述第一傳感電極圖形的基板上經(jīng)過沉積的方式形成絕緣層，其中，形成絕緣層的材料可以是氮的氧化物或硅的氧化物或SiNx (氮化硅)。
[0082]在絕緣層上涂布光刻膠，利用掩膜板對涂布有光刻膠的絕緣層進行曝光和顯影，若采用的光刻膠為負性光刻膠，在與基板垂直的方向上，顯影后的光刻膠保留部分對應第二傳感電極圖形，或者顯影后的光刻膠保留部分包括第二傳感電極圖形但比第二傳感電極圖形略大，但顯影后的光刻膠保留部分與第一傳感電極圖形不發(fā)生重疊，其余部分的光刻膠被完全去除。刻蝕絕緣層覆蓋光刻膠的區(qū)域，形成包括有過孔的絕緣層的圖形。具體的，絕緣層覆蓋光刻膠的區(qū)域可以是通過濕法刻蝕，即通過刻蝕液將絕緣層覆蓋光刻膠的區(qū)域刻蝕掉；還可以是通過干法刻蝕，即通過氣體轟擊將絕緣層覆蓋光刻膠的區(qū)域刻蝕掉。
[0083]步驟c:在形成有過孔的絕緣層上沉積第二透明導電層，通過構(gòu)圖工藝形成第二傳感電極圖形。
[0084]具體的，在基板上通過沉積的方式形成第二透明導電層，其中，第二透明導電層可以采用ITO或ΙΖ0，還可以采用ZnO或AZO等。
[0085]在第二透明導電層上涂布光刻膠，利用掩膜板對涂布有光刻膠的第二透明導電層進行曝光和顯影，若采用的光刻膠為正性光刻膠，顯影后的光刻膠保留部分對應第二傳感電極圖形，其余部分的光刻膠被完全去除。刻蝕第二透明導電層未覆蓋光刻膠的區(qū)域，并去除剩余的光刻膠，形成第二透明導電層組成的第二傳感電極圖形。具體的，第二透明導電層未覆蓋光刻膠的區(qū)域可以是通過濕法刻蝕，即通過刻蝕液將第二透明導電層未覆蓋光刻膠的區(qū)域刻蝕掉；還可以是通過干法刻蝕，即通過氣體轟擊將第二透明導電層未覆蓋光刻膠的區(qū)域刻蝕掉。
[0086]經(jīng)過上述步驟即可形成如圖5-圖7所示的第一傳感電極圖形I和第二傳感電極圖形2，在與基板垂直的方向上，過孔3可以與第二傳感電極圖形2完全重合，也可以略大于第二傳感電極圖形2，但過孔3不會與第一傳感電極圖形I發(fā)生重疊。可以看出，第二傳感電極圖形2的部分落入絕緣層的過孔3中，這樣第二傳感電極圖形2的部分與第一傳感電極圖形I位于同一層，可以增大第二傳感電極圖形2與第一傳感電極圖形I之間的互容，從而增加第二傳感電極圖形2與第一傳感電極圖形I之間的固有電容，提高觸摸面板的抗干擾能力。
[0087]利用ismo軟件模擬電容，如圖1所示，設置Tl、T2、T3、T4之間的間距為1500um，R1、R2、R3、R4之間的間距為1500um，A_A’間距60um (即圖1中菱形圖案從一邊到相對的另一邊的垂直距離)，B-B,所在線寬50um，設置R2為主導體，計算得到R2與Rl、R3以及Tl、T2、T3、T4之間的電容為2.23pF ;之后在絕緣層中設置過孔，得到如圖5的結(jié)構(gòu)，同樣對電容進行模擬，得出R2與R1、R3以及T1、T2、T3、T4之間的電容為2.44pF，電容增加了 9.4%?？梢钥闯?，通過本發(fā)明的技術(shù)方案，使得發(fā)射信號線和接收信號線之間的電容增加量為10%左右。
[0088]本實施例中，是將發(fā)射信號線制作在絕緣層的過孔中，同樣的，根據(jù)工藝順序的不同或者信號輸入的方式不同，也可以將接收信號線制作于絕緣層的過孔之中。
[0089]實施例二
[0090]如圖1-圖4所示，現(xiàn)有的觸摸面板中，第一傳感電極圖形I和第二傳感電極圖形2之間隔有絕緣層，在與基板垂直的方向上，第一傳感電極圖形I和第二傳感電極圖形2之間形成有互容；在其他方向上，第一傳感電極圖形I和第二傳感電極圖形2之間形成有邊緣電容，所述互容和邊緣電容組成了第一傳感電極圖形I和第二傳感電極圖形2之間的固有電容。為了提高觸摸面板的抗干擾能力，本實施例在絕緣層對應第二傳感電極圖形2的位置制作過孔，能夠增加第一傳感電極圖形I和第二傳感電極圖形2之間的固有電容。
[0091]具體的，本實施例的觸摸面板的制作方法包括以下步驟:
[0092]步驟a:在基板上沉積第一透明導電層，通過構(gòu)圖工藝形成第一傳感電極圖形和第三導電圖形；
[0093]具體的，在基板上通過沉積的方式形成第一透明導電層，其中，第一透明導電層可以采用ITO或ΙΖ0，還可以采用ZnO或AZO等。
[0094]在第一透明導電層上涂布光刻膠，利用掩膜板對涂布有光刻膠的第一透明導電層進行曝光和顯影，若采用的光刻膠為正性光刻膠，顯影后的光刻膠保留部分對應第一傳感電極圖形和第三導電圖形，其余部分的光刻膠被完全去除，其中，第三導電圖形與絕緣層的過孔相對應?？涛g第一透明導電層未覆蓋光刻膠的區(qū)域，并去除剩余的光刻膠，形成第一透明導電層組成的第一傳感電極圖形和第三導電圖形。具體的，第一透明導電層未覆蓋光刻膠的區(qū)域可以是通過濕法刻蝕，即通過刻蝕液將第一透明導電層未覆蓋光刻膠的區(qū)域刻蝕掉；還可以是通過干法刻蝕，即通過氣體轟擊將第一透明導電層未覆蓋光刻膠的區(qū)域刻蝕掉。
[0095]步驟b:在形成有第一傳感電極圖形的基板上沉積絕緣層，通過構(gòu)圖工藝在對應第二傳感電極圖形的位置形成過孔；
[0096]具體的，可以是在形成有所述第一傳感電極圖形的基板上經(jīng)過沉積的方式形成絕緣層，其中，形成絕緣層的材料可以是氮的氧化物或硅的氧化物或SiNx。
[0097]在絕緣層上涂布光刻膠，利用掩膜板對涂布有光刻膠的絕緣層進行曝光和顯影，若采用的光刻膠為負性光刻膠，在與基板垂直的方向上，顯影后的光刻膠保留部分對應第二傳感電極圖形，或者顯影后的光刻膠保留部分包括第二傳感電極圖形但比第二傳感電極圖形略大，但顯影后的光刻膠保留部分與第一傳感電極圖形不發(fā)生重疊，其余部分的光刻膠被完全去除?？涛g絕緣層覆蓋光刻膠的區(qū)域，形成包括有過孔的絕緣層的圖形。具體的，絕緣層覆蓋光刻膠的區(qū)域可以是通過濕法刻蝕，即通過刻蝕液將絕緣層覆蓋光刻膠的區(qū)域刻蝕掉；還可以是通過干法刻蝕，即通過氣體轟擊將絕緣層覆蓋光刻膠的區(qū)域刻蝕掉。
[0098]步驟c:在形成有過孔的絕緣層上沉積第二透明導電層，通過構(gòu)圖工藝形成第二傳感電極圖形。
[0099]具體的，在基板上通過沉積的方式形成第二透明導電層，其中，第二透明導電層可以采用ITO或ΙΖ0，還可以采用ZnO或AZO等。
[0100]在第二透明導電層上涂布光刻膠，利用掩膜板對涂布有光刻膠的第二透明導電層進行曝光和顯影，若采用的光刻膠為正性光刻膠，顯影后的光刻膠保留部分對應第二傳感電極圖形，其余部分的光刻膠被完全去除?？涛g第二透明導電層未覆蓋光刻膠的區(qū)域，并去除剩余的光刻膠，形成第二透明導電層組成的第二傳感電極圖形。具體的，第二透明導電層未覆蓋光刻膠的區(qū)域可以是通過濕法刻蝕，即通過刻蝕液將第二透明導電層未覆蓋光刻膠的區(qū)域刻蝕掉；還可以是通過干法刻蝕，即通過氣體轟擊將第二透明導電層未覆蓋光刻膠的區(qū)域刻蝕掉。
[0101]經(jīng)過上述步驟即可形成如圖5、圖8和圖9所示的第一傳感電極圖形I和第二傳感電極圖形2，在與基板垂直的方向上，過孔3可以與第二傳感電極圖形2完全重合，也可以略大于第二傳感電極圖形2，但過孔3不會與第一傳感電極圖形I發(fā)生重疊?？梢钥闯?，第二傳感電極圖形2的部分通過絕緣層的過孔3與第三傳感圖形4連接組成新的導電結(jié)構(gòu)，該導電結(jié)構(gòu)的部分與第一傳感電極圖形I位于同一層，可以增大第二傳感電極圖形2與第一傳感電極圖形I之間的互容；另外該導電結(jié)構(gòu)的厚度大于第二傳感電極圖形2的厚度，可以增加第二傳感電極圖形2與第一傳感電極圖形I之間的邊緣電容，綜上所述，本實施例能夠增加第二傳感電極圖形2與第一傳感電極圖形I之間的固有電容，提高觸摸面板的抗干擾能力。
[0102]本實施例中，是先形成接收信號線再形成發(fā)射信號線，同樣的，根據(jù)工藝順序的不同或者信號輸入的方式不同，也可以先形成發(fā)射信號線再形成接收信號線。
[0103]以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可以作出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發(fā)明的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種觸摸面板，包括位于基板上的第一透明導電層、位于所述第一透明導電層上的絕緣層和位于所述絕緣層上的第二透明導電層，其中，所述第一透明導電層包括有第一傳感電極圖形，第二透明導電層有包括第二傳感電極圖形，其特征在于，所述絕緣層在對應所述第二傳感電極圖形的位置設置有過孔，使得所述第二傳感電極圖形的部分位于所述過孔中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸面板，其特征在于，所述過孔與所述第一傳感電極圖形不相接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的觸摸面板，其特征在于，所述觸摸面板具體包括: 位于所述基板上由第一透明導電層形成的所述第一傳感電極圖形； 位于所述第一傳感電極圖形上的包括有過孔的絕緣層的圖形； 位于所述絕緣層上的由第二透明導電層形成的所述第二傳感電極圖形。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的觸摸面板，其特征在于，所述第一透明導電層還包括對應所述過孔的第三導電圖形。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的觸摸面板，其特征在于，所述觸摸面板具體包括: 位于所述基板上由第一透明導電層形成的所述第一傳感電極圖形和所述第三導電圖 形； 位于所述第一傳感電極圖形和所述第三導電圖形上的包括有過孔的絕緣層的圖形；位于所述絕緣層上的由第二透明導電層形成的所述第二傳感電極圖形，所述第三導電圖形通過所述過孔與所述第二傳感電極圖形相連。
6.一種顯示裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-5中任一項所述的觸摸面板。
7.一種觸摸面板的制作方法，所述觸摸面板包括位于基板上的第一透明導電層、位于所述第一透明導電層上的絕緣層和位于所述絕緣層上的第二透明導電層，其中，所述第一透明導電層包括有第一傳感電極圖形，第二透明導電層有包括第二傳感電極圖形，其特征在于，所述制作方法包括:在所述絕緣層對應所述第二傳感電極圖形的位置形成過孔，使得所述第二傳感電極圖形的部分位于所述過孔中。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的觸摸面板的制作方法，其特征在于，所述在所述絕緣層對應所述第二傳感電極圖形的位置形成過孔包括: 在所述絕緣層對應所述第二傳感電極圖形且與所述第一傳感電極圖形不相接觸的位置形成過孔。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的觸摸面板的制作方法，其特征在于，所述制作方法具體包括: 在所述基板上沉積第一透明導電層，通過構(gòu)圖工藝形成所述第一傳感電極圖形； 在形成有所述第一傳感電極圖形的基板上沉積絕緣層，通過構(gòu)圖工藝在對應所述第二傳感電極圖形的位置形成過孔； 在形成有過孔的絕緣層上沉積第二透明導電層，通過構(gòu)圖工藝形成所述第二傳感電極圖形。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的觸摸面板的制作方法，其特征在于，所述制作方法還包括: 利用第一透明導電層形成對應所述過孔的第三導電圖形。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的觸摸面板的制作方法，其特征在于，所述制作方法具體包括: 在所述基板上沉積第一透明導電層，通過構(gòu)圖工藝形成所述第一傳感電極圖形和所述第三導電圖形； 在形成有所述第一傳感電極圖形的基板上沉積絕緣層，通過構(gòu)圖工藝在對應所述第二傳感電極圖形的位置形成過孔； 在形成有過孔的絕緣層上沉積第二透明導電層，通過構(gòu)圖工藝形成所述第二傳感電極圖形，所述第三導電圖形通過所述過孔與所述第二傳感電極圖形相連。
【文檔編號】G06F3/041GK103677413SQ201310662060
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年12月9日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月9日
【發(fā)明者】木素真 申請人:合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團股份有限公司