本發(fā)明涉及半導體，特別是涉及一種工藝配方的管理方法和半導體工藝設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、目前，隨著自動化技術(shù)的發(fā)展，在實際生產(chǎn)中，芯片生產(chǎn)廠商會向半導體設(shè)備廠商購買半導體工藝設(shè)備，由芯片生產(chǎn)廠商開發(fā)運維的設(shè)備自動化系統(tǒng)可以向由半導體設(shè)備廠商開發(fā)運維的半導體工藝設(shè)備發(fā)送指令進行生產(chǎn)。

2、其中，對于工藝配方來說，信任區(qū)由芯片生產(chǎn)商開發(fā)運維的設(shè)備自動化系統(tǒng)組成，非信任區(qū)由半導體工藝設(shè)備、上位機電腦、下位機電腦組成。為了保證工藝配方的安全性，需要盡可能少地減少工藝配方信息在非信任區(qū)的駐留時間。

3、但是基于現(xiàn)有技術(shù)方案，在實際的生產(chǎn)過程中，工藝配方不可避免的要在半導體工藝設(shè)備中駐留很長時間，因此無法保證工藝配方的安全性。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明實施例所要解決的技術(shù)問題是工藝配方的安全性低。

2、為了解決上述問題，本發(fā)明實施例公開了一種工藝配方的管理方法，應(yīng)用于半導體工藝設(shè)備，工藝配方的管理方法包括：

3、獲取設(shè)備自動化系統(tǒng)下發(fā)的工藝配方；

4、對工藝配方進行加密處理，得到敏感數(shù)據(jù)資源包，以用于半導體工藝設(shè)備中包括的預(yù)設(shè)工藝模塊調(diào)用敏感數(shù)據(jù)資源包中的工藝配方；

5、在全部預(yù)設(shè)工藝模塊對敏感數(shù)據(jù)資源包的調(diào)用執(zhí)行完成的情況下，刪除敏感數(shù)據(jù)資源包。

6、本發(fā)明實施例公開了一種半導體工藝設(shè)備，包括：

7、第一控制器，用于獲取設(shè)備自動化系統(tǒng)下發(fā)的工藝配方；

8、對工藝配方進行加密處理，得到敏感數(shù)據(jù)資源包，以用于半導體工藝設(shè)備中包括的預(yù)設(shè)工藝模塊調(diào)用敏感數(shù)據(jù)資源包中的工藝配方；

9、在全部預(yù)設(shè)工藝模塊對敏感數(shù)據(jù)資源包的調(diào)用執(zhí)行完成的情況下，刪除敏感數(shù)據(jù)資源包。

10、根據(jù)本發(fā)明的實施例，通過獲取設(shè)備自動化系統(tǒng)下發(fā)的工藝配方，然后，對工藝配方進行加密處理，得到敏感數(shù)據(jù)資源包，以用于半導體工藝設(shè)備中包括的預(yù)設(shè)工藝模塊調(diào)用敏感數(shù)據(jù)資源包中的工藝配方；這里，只能通過敏感數(shù)據(jù)資源包訪問到工藝配方，避免其他設(shè)備訪問到工藝配方，保證工藝配方的安全性。在全部預(yù)設(shè)工藝模塊對敏感數(shù)據(jù)資源包的調(diào)用執(zhí)行完成的情況下，在全部預(yù)設(shè)工藝模塊對敏感數(shù)據(jù)資源包的調(diào)用執(zhí)行完成的情況下，代表所有的處理邏輯結(jié)束，此時敏感數(shù)據(jù)資源包與工藝配方的生命周期結(jié)束，刪除敏感數(shù)據(jù)資源包，保證工藝配方的安全性。

技術(shù)特征：

1.一種工藝配方的管理方法，應(yīng)用于半導體工藝設(shè)備，其特征在于，所述方法包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述在全部所述預(yù)設(shè)工藝模塊對所述敏感數(shù)據(jù)資源包的調(diào)用執(zhí)行完成的情況下，刪除所述敏感數(shù)據(jù)資源包，包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述獲取自動化系統(tǒng)下發(fā)的工藝配方，包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，在所述從所述通信緩沖區(qū)讀取所述工藝配方之后，所述方法還包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述對所述工藝配方進行加密處理，得到敏感數(shù)據(jù)資源包，包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述對所述工藝配方進行加密處理，得到敏感數(shù)據(jù)資源包，包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述對所述工藝配方進行解析，得到所述工藝配方的屬性信息和解析后的工藝配方，包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述對所述工藝配方進行加密處理，得到敏感數(shù)據(jù)資源包之后，所述方法還包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)工藝模塊調(diào)用所述敏感數(shù)據(jù)資源包中的工藝配方的方式為指針引用方式。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述在全部所述預(yù)設(shè)工藝模塊對所述敏感數(shù)據(jù)資源包的調(diào)用執(zhí)行完成的情況下，刪除所述敏感數(shù)據(jù)資源包，包括：

11.一種半導體工藝設(shè)備，其特征在于，包括：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明實施例提供了一種工藝配方的管理方法，該方法包括：獲取設(shè)備自動化系統(tǒng)下發(fā)的工藝配方；對工藝配方進行加密處理，得到敏感數(shù)據(jù)資源包，以用于半導體工藝設(shè)備中包括的預(yù)設(shè)工藝模塊調(diào)用敏感數(shù)據(jù)資源包中的工藝配方；在全部預(yù)設(shè)工藝模塊對敏感數(shù)據(jù)資源包的調(diào)用執(zhí)行完成的情況下，刪除敏感數(shù)據(jù)資源包。

技術(shù)研發(fā)人員：張茜
受保護的技術(shù)使用者：北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/10