觸摸屏及其制作方法、顯示裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種觸摸屏及其制作方法、顯示裝置，該觸摸屏包括襯底基板，所述襯底基板上設(shè)置有焊墊金屬層，所述焊墊金屬層的斷面上覆蓋有保護(hù)層。本發(fā)明提供的觸摸屏，通過(guò)在其中焊墊金屬層的斷面上設(shè)置保護(hù)層，通過(guò)保護(hù)層可以將焊墊金屬層的斷面與外界環(huán)境隔離，從而可以有效提高焊墊金屬層斷面的耐腐蝕性，避免由于焊墊金屬層斷面被腐蝕影響其信號(hào)傳輸性能。
【專利說(shuō)明】
觸摸屏及其制作方法、顯示裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及顯示領(lǐng)域，尤其涉及一種觸摸屏及其制作方法、顯示裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著顯示技術(shù)的飛速發(fā)展，觸摸屏已經(jīng)逐漸遍及人們的生活中。目前，觸摸屏按照工作原理可以分為:電阻式、電容式、紅外線式以及表面聲波式、電磁式、振波感應(yīng)式以及受抑全內(nèi)反射光學(xué)感應(yīng)式等。其中，電容式觸摸屏以其獨(dú)特的觸控原理，憑借高靈敏度、長(zhǎng)壽命、高透光率等優(yōu)點(diǎn)，被業(yè)內(nèi)追捧為新寵。
[0003]目前，觸摸屏上的焊墊(BongdingPad)通常由Mo(鉬)/Α1(鋁)/Mo(鉬)三層金屬通過(guò)刻蝕工藝制作而成，然而，在上述三層金屬蝕刻成所需的圖案(Pattern)后，中間的Al層的斷面會(huì)暴露在空氣中，容易和空氣、水汽、Cl2等介質(zhì)形成原電池，發(fā)生電化學(xué)腐蝕，腐蝕過(guò)程如下:
[0004]Mo—Mon++ne—;
[0005]02+2H20+4e——40H—;
[0006]Mon++nOH——Mo (OH)n;
[0007]2A1+3C12+60H——2Al(0H)3+6Cl—;
[0008]在上述腐蝕過(guò)程中，Al層作為活性陽(yáng)極參與反應(yīng)，是腐蝕主體，而Al層的腐蝕容易影響焊墊的信號(hào)傳輸性能。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009](一)要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0010]本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是:如何解決現(xiàn)有的觸摸屏中焊墊金屬層斷面易發(fā)生電化學(xué)腐蝕的問(wèn)題。
[0011](二)技術(shù)方案
[0012]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案提供了一種觸摸屏，包括襯底基板，所述襯底基板上設(shè)置有焊墊金屬層，所述焊墊金屬層的斷面上覆蓋有保護(hù)層。
[0013]優(yōu)選地，所述襯底基板被劃分為顯示區(qū)域以及位于所述顯示區(qū)域周邊的非顯示區(qū)域，所述焊墊金屬層位于所述非顯示區(qū)域，所述襯底基板的顯示區(qū)域上依次設(shè)置有透明電極層、絕緣層、金屬橋?qū)右约案采w層；
[0014]其中，所述焊墊金屬層與所述金屬橋?qū)訛橄嗤牧锨彝瑢釉O(shè)置，所述保護(hù)層與所述覆蓋層為相同材料且同層設(shè)置。
[0015]優(yōu)選地，所述襯底基板的非顯示區(qū)域上還設(shè)置有位于所述焊墊金屬層下方且與所述焊墊金屬層圖案相同的支撐層，所述保護(hù)層還覆蓋在所述支撐層的斷面上。
[0016]優(yōu)選地，所述支撐層與所述絕緣層為相同材料且同層設(shè)置。
[0017]優(yōu)選地，所述保護(hù)層的厚度為1.8um-2.2um，所述支撐層的厚度為1.3um-l.7um0
[0018]優(yōu)選地，所述焊墊金屬層包括層疊設(shè)置的第一金屬層、第二金屬層以及第三金屬層，所述第二金屬層位于所述第一金屬層與所述第三金屬層之間，所述第一金屬層以及所述第三金屬層的材料包括鉬，所述第二金屬層的材料包括鋁。
[0019]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明還提供了一種顯示裝置，包括上述的觸摸屏。
[0020]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明還提供了一種觸摸屏的制作方法，包括在襯底基板上形成焊墊金屬層，還包括形成覆蓋在所述焊墊金屬層斷面上的保護(hù)層。
[0021]優(yōu)選地，所述焊墊金屬層形成在所述襯底基板的非顯示區(qū)域上，所述方法還包括在所述襯底基板的顯示區(qū)域上依次形成透明電極層、絕緣層、金屬橋?qū)右约案采w層；
[0022]其中，所述焊墊金屬層與所述金屬橋?qū)釉谕淮螛?gòu)圖工藝中同時(shí)制作而成，所述保護(hù)層與所述覆蓋層在同一次構(gòu)圖工藝中同時(shí)制作而成。
[0023]優(yōu)選地，在形成所述焊墊金屬層之前還包括:在所述襯底基板的非顯示區(qū)域上形成與所述焊墊金屬層圖案相同的支撐層。
[0024]優(yōu)選地，所述支撐層與所述絕緣層在同一次構(gòu)圖工藝中同時(shí)制作而成。
[0025](三)有益效果
[0026]本發(fā)明提供的觸摸屏，通過(guò)在其中焊墊金屬層的斷面上設(shè)置保護(hù)層，通過(guò)保護(hù)層可以將焊墊金屬層的斷面與外界環(huán)境隔離，從而可以有效提高焊墊金屬層斷面的耐腐蝕性，避免由于焊墊金屬層斷面被腐蝕影響其信號(hào)傳輸性能。
【附圖說(shuō)明】
[0027]圖1是本發(fā)明實(shí)施方式提供的觸摸屏顯示區(qū)域的示意圖；
[0028]圖2是本發(fā)明實(shí)施方式提供的觸摸屏非顯示區(qū)域的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0029]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本發(fā)明，但不用來(lái)限制本發(fā)明的范圍。
[0030]本發(fā)明實(shí)施方式提供了一種觸摸屏，該觸摸屏包括襯底基板，所述襯底基板上設(shè)置有焊墊金屬層，所述焊墊金屬層的斷面上覆蓋有保護(hù)層。
[0031]本發(fā)明實(shí)施方式提供的觸摸屏，通過(guò)在其中焊墊金屬層的斷面上設(shè)置保護(hù)層，通過(guò)保護(hù)層可以將焊墊金屬層的斷面與外界環(huán)境隔離，從而可以有效提高焊墊金屬層斷面的耐腐蝕性，避免由于焊墊金屬層斷面被腐蝕影響其信號(hào)傳輸性能。
[0032]本發(fā)明實(shí)施方式提供了一種觸摸屏，該觸摸屏包括襯底基板，該襯底基板被劃分為顯示區(qū)域(對(duì)應(yīng)于觸摸屏的顯示區(qū)域)以及位于所述顯示區(qū)域周邊的非顯示區(qū)域(對(duì)應(yīng)于觸摸屏的非顯示區(qū)域)；
[0033]其中，如圖1所示，襯底基板100的顯示區(qū)域上依次設(shè)置有透明電極層300、絕緣層410、金屬橋?qū)?即橋點(diǎn)層)510以及覆蓋層610，透明電極層300包括若干個(gè)觸控電極；
[0034]如圖2所示，襯底基板100的非顯示區(qū)域上設(shè)置有遮光層(BM)200以及焊墊金屬層520，焊墊金屬層520的斷面(即側(cè)面)覆蓋有保護(hù)層620，通過(guò)保護(hù)層620將焊墊金屬層520的斷面完全覆蓋，使其與外界環(huán)境隔離，從而可以有效提高焊墊金屬層斷面的耐腐蝕性，避免由于焊墊金屬層斷面被腐蝕影響其信號(hào)傳輸性能；
[0035]優(yōu)選地，為了減少構(gòu)圖工藝次數(shù)，降低成本，所述焊墊金屬層520與所述金屬橋?qū)?10為相同材料且同層設(shè)置，所述保護(hù)層620與所述覆蓋層610為相同材料且同層設(shè)置，即在襯底基板顯示區(qū)域制作金屬橋?qū)?10的同時(shí)在襯底基板的非顯示區(qū)域制作焊墊金屬層520，在襯底基板顯示區(qū)域制作覆蓋層610的同時(shí)在襯底基板的非顯示區(qū)域制作保護(hù)層620;
[0036]在觸摸屏的制作過(guò)程中，由于覆蓋層610的厚度通常大于金屬橋?qū)?10的厚度，為避免焊墊金屬層520與保護(hù)層620存在較大的段差，防止綁定不良，還可以在襯底基板的非顯示區(qū)域上設(shè)置位于焊墊金屬層下方且與焊墊金屬層520圖案相同的支撐層420，保護(hù)層620還覆蓋在支撐層420的斷面(側(cè)面)上，通過(guò)支撐層420將焊墊金屬層520墊高，從而可以抵消焊墊金屬層520與保護(hù)層620之間的厚度差異形成的段差，防止綁定不良，例如，保護(hù)層620的厚度可以為1.8um-2.2um，例如可以為2.0um，所述支撐層420的厚度可以為1.3um-1.7um，例如可以為1.5um，焊墊金屬層520的厚度可以為0.2um-0.4um，例如可以為0.3um。
[0037]優(yōu)選地，為了減少構(gòu)圖工藝次數(shù)，降低成本，所述支撐層與所述絕緣層為相同材料且同層設(shè)置，即在襯底基板顯示區(qū)域制作絕緣層410的同時(shí)在襯底基板的非顯示區(qū)域制作支撐層420。
[0038]其中，對(duì)于本發(fā)明實(shí)施方式中的觸摸屏，絕緣層410、支撐層420、覆蓋層610以及保護(hù)層620均可以采用OC膠(如樹(shù)脂材料)制作而成，金屬橋?qū)?10以及焊墊金屬層520可以采用多層金屬結(jié)構(gòu)，其材料可以包括鉬、鋁等，例如，所述焊墊金屬層520可以包括層疊設(shè)置的第一金屬層、第二金屬層以及第三金屬層，所述第二金屬層位于所述第一金屬層與所述第三金屬層之間，所述第一金屬層以及所述第三金屬層的材料包括鉬，所述第二金屬層的材料包括鋁，通過(guò)保護(hù)層將焊墊金屬層的斷面覆蓋，從而能夠防止其中的鋁層和空氣中的水汽、氧形成原電池產(chǎn)生電化學(xué)腐蝕，提高焊墊金屬層的防腐蝕性能。
[0039]此外，本發(fā)明實(shí)施方式還提供了一種顯示裝置，包括上述的觸摸屏。其中，本發(fā)明實(shí)施方式提供的顯示裝置可以是筆記本電腦顯示屏、顯示器、電視、數(shù)碼相框、手機(jī)、平板電腦等任何具有顯不功能的廣品或部件。
[0040]此外，本發(fā)明實(shí)施方式還提供了一種觸摸屏的制作方法，包括在襯底基板上形成焊墊金屬層，還包括形成覆蓋在所述焊墊金屬層斷面上的保護(hù)層。
[0041]其中，所述焊墊金屬層形成在所述襯底基板的非顯示區(qū)域上，所述方法還包括在所述襯底基板的顯示區(qū)域上依次形成透明電極層、絕緣層、金屬橋?qū)右约案采w層；
[0042]優(yōu)選地，為了減少構(gòu)圖工藝次數(shù)，降低成本，所述焊墊金屬層與所述金屬橋?qū)釉谕淮螛?gòu)圖工藝中同時(shí)制作而成，所述保護(hù)層與所述覆蓋層在同一次構(gòu)圖工藝中同時(shí)制作而成。
[0043]其中，在上述制作方法中，在形成所述焊墊金屬層之前還包括:在所述襯底基板的非顯示區(qū)域上形成與所述焊墊金屬層圖案相同的支撐層。
[0044]優(yōu)選地，為了減少構(gòu)圖工藝次數(shù)，降低成本，所述支撐層與所述絕緣層在同一次構(gòu)圖工藝中同時(shí)制作而成。
[0045]例如，對(duì)于圖1和圖2結(jié)構(gòu)的觸摸屏，其制作方法可以包括:
[0046]步驟S1:首先在襯底基板100(如玻璃基板)上涂布一層黑色膠材料(如樹(shù)脂)用于形成遮光層(BM)200，遮光層的厚度可以為1.5um;
[0047]步驟S2:在完成步驟SI的襯底基板上沉積一層透明導(dǎo)電薄膜(如ITO材料)，然后通過(guò)光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻、去膠后用于形成透明電極層300(包含若干個(gè)觸控電極)；
[0048]步驟S3:在完成步驟S2的襯底基板上涂布一層絕緣薄膜(可以為OC樹(shù)脂材料)，涂布的絕緣薄膜不但覆蓋在襯底基板的顯示區(qū)域，還覆蓋在襯底基板的非顯示區(qū)域，絕緣薄膜的厚度可以為1.3um-l.7um，例如可以為1.5um，通過(guò)對(duì)該絕緣薄膜進(jìn)行曝光、顯影工藝后，在襯底基板的顯示區(qū)域形成絕緣層410(橋點(diǎn)絕緣層)，同時(shí)襯底基板的非顯示區(qū)域的bongding pad處形成與焊墊金屬層圖案相同的支撐層420;
[0049]步驟S4:在完成步驟S3的襯底基板上通過(guò)沉積工藝形成金屬薄膜，例如可以首先沉積一層鉬金屬層，然后沉積一層招金屬層，再沉積一層鉬金屬層，沉積的金屬薄膜不但覆蓋在襯底基板的顯示區(qū)域，還覆蓋在襯底基板的非顯示區(qū)域，沉積的金屬薄膜的厚度可以為0.2um-0.4um，例如可以為0.3um，通過(guò)該金屬薄膜進(jìn)行光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻、去膠工藝后，在襯底基板的顯示區(qū)域形成金屬橋?qū)?10，同時(shí)襯底基板的非顯示區(qū)域形成焊墊金屬層520;
[0050]步驟S5:在完成步驟S4的襯底基板上再次涂布一層絕緣薄膜(可以為OC樹(shù)脂材料)，涂布的絕緣薄膜不但覆蓋在襯底基板的顯示區(qū)域，還覆蓋在襯底基板的非顯示區(qū)域?qū)⒑笁|金屬層520覆蓋，絕緣薄膜的厚度可以為1.8um-2.2um，例如可以為2.0um，通過(guò)對(duì)該絕緣薄膜進(jìn)行曝光、顯影工藝，去除焊墊金屬層上表面上的絕緣薄膜以將焊墊金屬層的上表面裸露，保留與焊墊金屬層斷面接觸的絕緣薄膜，不但能夠在襯底基板的顯示區(qū)域形成用于保護(hù)金屬橋?qū)?10的覆蓋層610，還在襯底基板的非顯示區(qū)域形成覆蓋在焊墊金屬層斷面上的保護(hù)層620，從而形成上述的OGS觸摸屏。
[0051]以上實(shí)施方式僅用于說(shuō)明本發(fā)明，而并非對(duì)本發(fā)明的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本發(fā)明的范疇，本發(fā)明的專利保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種觸摸屏，包括襯底基板，所述襯底基板上設(shè)置有焊墊金屬層，其特征在于，所述焊墊金屬層的斷面上覆蓋有保護(hù)層。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸屏，其特征在于，所述襯底基板被劃分為顯示區(qū)域以及位于所述顯示區(qū)域周邊的非顯示區(qū)域，所述焊墊金屬層位于所述非顯示區(qū)域，所述襯底基板的顯示區(qū)域上依次設(shè)置有透明電極層、絕緣層、金屬橋?qū)右约案采w層； 其中，所述焊墊金屬層與所述金屬橋?qū)訛橄嗤牧锨彝瑢釉O(shè)置，所述保護(hù)層與所述覆蓋層為相同材料且同層設(shè)置。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的觸摸屏，其特征在于，所述襯底基板的非顯示區(qū)域上還設(shè)置有位于所述焊墊金屬層下方且與所述焊墊金屬層圖案相同的支撐層，所述保護(hù)層還覆蓋在所述支撐層的斷面上。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的觸摸屏，其特征在于，所述支撐層與所述絕緣層為相同材料且同層設(shè)置。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的觸摸屏，其特征在于，所述保護(hù)層的厚度為1.8um-2.2um，所述支撐層的厚度為1.3um-l.7um。6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一所述的觸摸屏，其特征在于，所述焊墊金屬層包括層疊設(shè)置的第一金屬層、第二金屬層以及第三金屬層，所述第二金屬層位于所述第一金屬層與所述第三金屬層之間，所述第一金屬層以及所述第三金屬層的材料包括鉬，所述第二金屬層的材料包括招。7.—種顯示裝置，其特征在于，包括權(quán)利要求1-6任一所述的觸摸屏。8.一種觸摸屏的制作方法，包括在襯底基板上形成焊墊金屬層，其特征在于，還包括形成覆蓋在所述焊墊金屬層斷面上的保護(hù)層。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的觸摸屏的制作方法，其特征在于，所述焊墊金屬層形成在所述襯底基板的非顯示區(qū)域上，所述方法還包括在所述襯底基板的顯示區(qū)域上依次形成透明電極層、絕緣層、金屬橋?qū)右约案采w層； 其中，所述焊墊金屬層與所述金屬橋?qū)釉谕淮螛?gòu)圖工藝中同時(shí)制作而成，所述保護(hù)層與所述覆蓋層在同一次構(gòu)圖工藝中同時(shí)制作而成。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的觸摸屏的制作方法，其特征在于，在形成所述焊墊金屬層之前還包括:在所述襯底基板的非顯示區(qū)域上形成與所述焊墊金屬層圖案相同的支撐層。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的觸摸屏的制作方法，其特征在于，所述支撐層與所述絕緣層在同一次構(gòu)圖工藝中同時(shí)制作而成。
【文檔編號(hào)】G06F3/041GK105955542SQ201610374669
【公開(kāi)日】2016年9月21日
【申請(qǐng)日】2016年5月31日
【發(fā)明人】都智, 謝濤峰, 郭總杰, 胡明, 殷劉岳
【申請(qǐng)人】京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 合肥鑫晟光電科技有限公司