版圖數(shù)據(jù)的處理方法及光掩膜數(shù)據(jù)的制作方法
【專利摘要】本申請(qǐng)公開(kāi)了一種版圖數(shù)據(jù)的處理方法及光掩膜數(shù)據(jù)。該處理方法包括以下步驟：將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的同時(shí)，對(duì)芯片數(shù)據(jù)中的圖形進(jìn)行光學(xué)鄰近校正，以形成中間數(shù)據(jù)；將中間數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換形成光掩膜數(shù)據(jù)。該處理方法通過(guò)將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的同時(shí)，對(duì)芯片數(shù)據(jù)中的圖形進(jìn)行光學(xué)鄰近校正，從而減少版圖數(shù)據(jù)的處理方法所花費(fèi)的時(shí)間，而且由于將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的過(guò)程不會(huì)修改客戶提供的芯片數(shù)據(jù)，進(jìn)而保證了客戶提供的芯片數(shù)據(jù)的安全。
【專利說(shuō)明】
版圖數(shù)據(jù)的處理方法及光掩膜數(shù)據(jù)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體集成電路的技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種版圖數(shù)據(jù)的處理方法及光掩膜數(shù)據(jù)?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造流程中，其中一部分就是生產(chǎn)廠家對(duì)客戶提供的版圖數(shù)據(jù)進(jìn)行處理以獲得光掩膜數(shù)據(jù)，然后采用光掩膜數(shù)據(jù)制造光掩膜的過(guò)程。這一部分是流程銜接的關(guān)鍵部分，是流程中造價(jià)最高的一部分，也是限制最小線寬的瓶頸之一。
[0003]現(xiàn)有版圖數(shù)據(jù)的處理方法通常包括以下步驟:首先，采用冗余圖形插入工具修改客戶提供的芯片數(shù)據(jù)，以在芯片數(shù)據(jù)中的圖形的四周插入冗余圖形(dummy);然后，采用設(shè)計(jì)規(guī)則檢查(DRC)工具進(jìn)行圖形校正，以驗(yàn)證冗余圖形和芯片數(shù)據(jù)中的圖形是否交疊；接下來(lái)，采用0PC工具對(duì)芯片數(shù)據(jù)中的圖形進(jìn)行光學(xué)鄰近校正；最后，采用圖形轉(zhuǎn)換軟件將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換形成光掩膜數(shù)據(jù)。
[0004]然而，上述處理方法中，冗余圖形的插入需要花費(fèi)較長(zhǎng)時(shí)間，從而增加了整個(gè)處理過(guò)程的時(shí)間；而且，直接在芯片數(shù)據(jù)中插入冗余圖形需要修改客戶提供的芯片數(shù)據(jù)，會(huì)增加破壞客戶提供的芯片數(shù)據(jù)。針對(duì)上述問(wèn)題，目前還沒(méi)有有效的解決方法。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本申請(qǐng)旨在提供一種版圖數(shù)據(jù)的處理方法及光掩膜數(shù)據(jù)，以減少版圖數(shù)據(jù)的處理方法所花費(fèi)的時(shí)間，并保證客戶提供的芯片數(shù)據(jù)的安全。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N版圖數(shù)據(jù)的處理方法，其特征在于，處理方法包括以下步驟:將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的同時(shí)，對(duì)芯片數(shù)據(jù)中的圖形進(jìn)行光學(xué)鄰近校正，以形成中間數(shù)據(jù)；將中間數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換形成光掩膜數(shù)據(jù)。
[0007]進(jìn)一步地，將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的步驟包括:采用冗余圖形插入工具將冗余圖形數(shù)據(jù)和芯片數(shù)據(jù)合并，以使冗余圖形數(shù)據(jù)中的圖形插入到芯片數(shù)據(jù)中的圖形的四周；采用冗余圖形校正工具對(duì)合并后的圖形進(jìn)行圖形校正，以驗(yàn)證冗余圖形數(shù)據(jù)中的圖形和芯片數(shù)據(jù)中的圖形是否交疊。
[0008]進(jìn)一步地，圖形校正的步驟包括:對(duì)芯片數(shù)據(jù)中的圖形和冗余圖形數(shù)據(jù)中的圖形進(jìn)行邏輯與運(yùn)算。
[0009]進(jìn)一步地，邏輯與運(yùn)算的步驟中，當(dāng)邏輯與運(yùn)算的結(jié)果為0時(shí)，冗余圖形數(shù)據(jù)中的圖形和芯片數(shù)據(jù)中的圖形沒(méi)有交疊。
[0010]進(jìn)一步地，采用L-EDIT軟件進(jìn)行邏輯與運(yùn)算。
[0011]進(jìn)一步地，采用0PC工具對(duì)芯片數(shù)據(jù)中的圖形進(jìn)行光學(xué)鄰近校正。
[0012]進(jìn)一步地，通過(guò)圖形轉(zhuǎn)換軟件將中間數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換形成光掩膜數(shù)據(jù)。
[0013]進(jìn)一步地，圖形轉(zhuǎn)換軟件為CATS。
[0014]進(jìn)一步地，芯片數(shù)據(jù)的格式為⑶S文件，光掩膜數(shù)據(jù)的格式MEBES文件。
[0015]本申請(qǐng)還提供了一種光掩膜數(shù)據(jù)，該光掩膜數(shù)據(jù)通過(guò)采用上述版圖數(shù)據(jù)的處理方法對(duì)版圖數(shù)據(jù)進(jìn)行處理后得到。
[0016]應(yīng)用本申請(qǐng)的技術(shù)方案，本申請(qǐng)通過(guò)將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的同時(shí)，對(duì)芯片數(shù)據(jù)中的圖形進(jìn)行光學(xué)鄰近校正，從而減少版圖數(shù)據(jù)的處理方法所花費(fèi)的時(shí)間，而且由于將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的過(guò)程不會(huì)修改客戶提供的芯片數(shù)據(jù)，進(jìn)而保證了客戶提供的芯片數(shù)據(jù)的安全。【附圖說(shuō)明】
[0017]構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的說(shuō)明書(shū)附圖用來(lái)提供對(duì)本申請(qǐng)的進(jìn)一步理解，本申請(qǐng)的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本申請(qǐng)，并不構(gòu)成對(duì)本申請(qǐng)的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0018]圖1示出了本申請(qǐng)實(shí)施方式所提供的版圖數(shù)據(jù)的處理方法的流程示意圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0019]需要說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本申請(qǐng)。
[0020]需要注意的是，這里所使用的術(shù)語(yǔ)僅是為了描述【具體實(shí)施方式】，而非意圖限制根據(jù)本申請(qǐng)的示例性實(shí)施方式。如在這里所使用的，除非上下文另外明確指出，否則單數(shù)形式也意圖包括復(fù)數(shù)形式，此外，還應(yīng)當(dāng)理解的是，當(dāng)在本說(shuō)明書(shū)中使用術(shù)語(yǔ)“包含”和/或“包括”時(shí)，其指明存在特征、步驟、操作、器件、組件和/或它們的組合。
[0021]為了便于描述，在這里可以使用空間相對(duì)術(shù)語(yǔ)，如“在……之上”、“在……上方”、 “在……上表面”、“上面的”等，用來(lái)描述如在圖中所示的一個(gè)器件或特征與其他器件或特征的空間位置關(guān)系。應(yīng)當(dāng)理解的是，空間相對(duì)術(shù)語(yǔ)旨在包含除了器件在圖中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。示例性術(shù)語(yǔ)“在……上方”可以包括“在……上方”和 “在……下方”兩種方位。該器件也可以其他不同方式定位(旋轉(zhuǎn)90度或處于其他方位)， 并且對(duì)這里所使用的空間相對(duì)描述作出相應(yīng)解釋。
[0022]正如【背景技術(shù)】中所介紹的，現(xiàn)有版圖數(shù)據(jù)的處理方法中，冗余圖形的插入需要花費(fèi)較長(zhǎng)時(shí)間，從而增加了整個(gè)處理過(guò)程的時(shí)間；而且，直接在芯片數(shù)據(jù)中插入冗余圖形需要修改客戶提供的芯片數(shù)據(jù)，會(huì)增加破壞客戶提供的芯片數(shù)據(jù)。
[0023]本申請(qǐng)的發(fā)明人針對(duì)上述問(wèn)題進(jìn)行研究，提供了一種版圖數(shù)據(jù)的處理方法。如圖 1所示，該處理方法包括以下步驟:將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的同時(shí)，對(duì)芯片數(shù)據(jù)中的圖形進(jìn)行光學(xué)鄰近校正，以形成中間數(shù)據(jù)；將中間數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換形成光掩膜數(shù)據(jù)。
[0024]上述處理方法通過(guò)將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的同時(shí)，對(duì)芯片數(shù)據(jù)中的圖形進(jìn)行光學(xué)鄰近校正，從而減少版圖數(shù)據(jù)的處理方法所花費(fèi)的時(shí)間，而且由于將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的過(guò)程不會(huì)修改客戶提供的芯片數(shù)據(jù)，進(jìn)而保證了客戶提供的芯片數(shù)據(jù)的安全。
[0025] 下面將更詳細(xì)地描述本申請(qǐng)?zhí)峁┑陌鎴D數(shù)據(jù)的處理方法的示例性實(shí)施方式。然而，這些示例性實(shí)施方式可以由多種不同的形式來(lái)實(shí)施，并且不應(yīng)當(dāng)被解釋為只限于這里所闡述的實(shí)施方式。應(yīng)當(dāng)理解的是，提供這些實(shí)施方式是為了使得本申請(qǐng)的公開(kāi)徹底且完整，并且將這些示例性實(shí)施方式的構(gòu)思充分傳達(dá)給本領(lǐng)域普通技術(shù)人員。
[0026]首先，將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的同時(shí)，對(duì)芯片數(shù)據(jù)中的圖形進(jìn)行光學(xué)鄰近校正，以形成中間數(shù)據(jù)。該步驟減少版圖數(shù)據(jù)的處理方法所花費(fèi)的時(shí)間，而且由于將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的過(guò)程不會(huì)修改客戶提供的芯片數(shù)據(jù)，進(jìn)而保證了客戶提供的芯片數(shù)據(jù)的安全。
[0027]其中，將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的步驟可以包括:采用冗余圖形插入工具將冗余圖形數(shù)據(jù)和芯片數(shù)據(jù)合并，以使冗余圖形數(shù)據(jù)中的圖形插入到芯片數(shù)據(jù)中的圖形的四周；采用冗余圖形校正工具對(duì)合并后的圖形進(jìn)行圖形校正，以驗(yàn)證冗余圖形數(shù)據(jù)中的圖形和芯片數(shù)據(jù)中的圖形是否交疊。該步驟中，冗余圖形插入工具和冗余圖形校正工具并不相同，且上述合并和圖形校正的過(guò)程會(huì)相互調(diào)整。
[0028]優(yōu)選地，圖形校正的步驟包括:對(duì)芯片數(shù)據(jù)中的圖形和冗余圖形數(shù)據(jù)中的圖形進(jìn)行邏輯與運(yùn)算。其中，對(duì)芯片數(shù)據(jù)中的圖形的尺寸進(jìn)行放大的倍數(shù)可以根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行設(shè)定；在邏輯與運(yùn)算的步驟中，當(dāng)邏輯與運(yùn)算的結(jié)果為〇時(shí)，冗余圖形數(shù)據(jù)中的圖形和芯片數(shù)據(jù)中的圖形沒(méi)有交疊。
[0029]上述邏輯與運(yùn)算由版圖設(shè)計(jì)軟件來(lái)完成。版圖設(shè)計(jì)軟件可以采用本領(lǐng)域中常見(jiàn)的設(shè)計(jì)軟件，例如L-EDIT軟件。L-EDIT軟件是由Tanner Research, Inc.開(kāi)發(fā)的一種很優(yōu)秀的集成電路設(shè)計(jì)工具軟件，其最大的特點(diǎn)是可用于任何個(gè)人計(jì)算機(jī)(PC機(jī))、它不僅具有強(qiáng)大的集成電路設(shè)計(jì)、模擬驗(yàn)證、版圖編輯和自動(dòng)布局布線等功能，而且圖形處理速度快、編輯功能強(qiáng)、通俗易學(xué)、使用方便，很實(shí)用于任何個(gè)人進(jìn)行集成電路設(shè)計(jì)或其它微細(xì)圖形加工的版圖設(shè)計(jì)工作。
[0030]該步驟中，可以采用0PC工具對(duì)芯片數(shù)據(jù)中的圖形進(jìn)行光學(xué)鄰近校正(0PC)。0PC 主要在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)過(guò)程中使用，目的是為了保證生產(chǎn)過(guò)程中設(shè)計(jì)的圖形的邊緣得到完整的刻蝕。這些投影圖像出現(xiàn)違規(guī)行為，如線寬度比設(shè)計(jì)窄或?qū)?，這些都可以改變掩膜版來(lái)補(bǔ)償成像。其他的失真，如圓角，受光學(xué)工具分辨率的制約，更加難以彌補(bǔ)。這些失真如果不糾正，可能大大改變生產(chǎn)出來(lái)的電路的電氣性能。光學(xué)鄰近校正通過(guò)移動(dòng)掩膜板上圖形的邊緣或添加額外的多邊形來(lái)糾正這些錯(cuò)誤。根據(jù)寬度和間距約束(即基于規(guī)則的0PC)， 或者通過(guò)使用緊湊的模型動(dòng)態(tài)仿真(即基于模型的0PC)的結(jié)果預(yù)先計(jì)算出一個(gè)查找表，根據(jù)這個(gè)查找表來(lái)決定怎樣移動(dòng)圖案的邊緣，找到最好的解決方案。
[0031]通過(guò)采用上述優(yōu)選實(shí)施方式，該步驟通過(guò)將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的同時(shí)，對(duì)芯片數(shù)據(jù)中的圖形進(jìn)行光學(xué)鄰近校正，從而減少版圖數(shù)據(jù)的處理方法所花費(fèi)的時(shí)間， 而且由于將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的過(guò)程不會(huì)修改客戶提供的芯片數(shù)據(jù)，進(jìn)而保證了客戶提供的芯片數(shù)據(jù)的安全。
[0032]完成將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的同時(shí)，對(duì)芯片數(shù)據(jù)中的圖形進(jìn)行光學(xué)鄰近校正，以形成中間數(shù)據(jù)的步驟之后，將中間數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換形成光掩膜數(shù)據(jù)。該步驟中，通過(guò)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換形成能夠識(shí)別的實(shí)際需要的光掩膜數(shù)據(jù)。
[0033]優(yōu)選地，通過(guò)圖形轉(zhuǎn)換軟件將中間數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換形成光掩膜數(shù)據(jù)。其中，圖形轉(zhuǎn)換軟件可以為CATS等。當(dāng)采用CATS進(jìn)行數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換時(shí)，CATS自動(dòng)將中間數(shù)據(jù)生成能夠識(shí)別的實(shí)際需要的光掩膜數(shù)據(jù)。
[0034]其中，客戶提供的芯片數(shù)據(jù)的格式可以采用本領(lǐng)域常見(jiàn)的格式。一般情況下，芯片數(shù)據(jù)的格式GDS文件。當(dāng)然，芯片數(shù)據(jù)的格式并不限于上述實(shí)例。能夠識(shí)別的實(shí)際需要的光掩膜數(shù)據(jù)的格式一般為MEBES文件。當(dāng)然，光掩膜數(shù)據(jù)的格式并不限于上述實(shí)施例。
[0035]本申請(qǐng)還提供了一種光掩膜數(shù)據(jù)，該光掩膜數(shù)據(jù)通過(guò)采用上述版圖數(shù)據(jù)的處理方法對(duì)版圖數(shù)據(jù)進(jìn)行處理后得到。
[0036]上述光掩膜數(shù)據(jù)通過(guò)將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的同時(shí)，對(duì)芯片數(shù)據(jù)中的圖形進(jìn)行光學(xué)鄰近校正以形成中間數(shù)據(jù)，以及將中間數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換形成光掩膜數(shù)據(jù)后形成。由于將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的過(guò)程不會(huì)修改客戶提供的芯片數(shù)據(jù)，進(jìn)而保證了客戶提供的芯片數(shù)據(jù)的安全。
[0037]其中，將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的步驟可以包括:采用冗余圖形插入工具將冗余圖形數(shù)據(jù)和芯片數(shù)據(jù)合并，以使冗余圖形數(shù)據(jù)中的圖形插入到芯片數(shù)據(jù)中的圖形的四周；采用冗余圖形校正工具對(duì)合并后的圖形進(jìn)行圖形校正，以驗(yàn)證冗余圖形數(shù)據(jù)中的圖形和芯片數(shù)據(jù)中的圖形是否交疊。
[0038]圖形校正的步驟可以包括:對(duì)芯片數(shù)據(jù)中的圖形的尺寸進(jìn)行放大以形成放大圖形；對(duì)放大圖形和冗余圖形數(shù)據(jù)中的圖形進(jìn)行邏輯與運(yùn)算。其中，對(duì)芯片數(shù)據(jù)中的圖形的尺寸進(jìn)行放大的倍數(shù)可以根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行設(shè)定；在邏輯與運(yùn)算的步驟中，當(dāng)邏輯與運(yùn)算的結(jié)果為〇時(shí)，冗余圖形數(shù)據(jù)中的圖形和芯片數(shù)據(jù)中的圖形沒(méi)有交疊。
[0039]通過(guò)圖形轉(zhuǎn)換軟件將中間數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換形成光掩膜數(shù)據(jù)。其中，圖形轉(zhuǎn)換軟件可以為 CATS等。當(dāng)采用CATS進(jìn)行數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換時(shí)，CATS自動(dòng)將中間數(shù)據(jù)生成能夠識(shí)別的實(shí)際需要的光掩膜數(shù)據(jù)。
[0040]從以上的描述中，可以看出，本申請(qǐng)上述的實(shí)施例實(shí)現(xiàn)了如下技術(shù)效果:本申請(qǐng)通過(guò)將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的同時(shí)，對(duì)芯片數(shù)據(jù)中的圖形進(jìn)行光學(xué)鄰近校正，從而減少版圖數(shù)據(jù)的處理方法所花費(fèi)的時(shí)間，而且由于將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的過(guò)程不會(huì)修改客戶提供的芯片數(shù)據(jù)，進(jìn)而保證了客戶提供的芯片數(shù)據(jù)的安全。
[0041]以上所述僅為本申請(qǐng)的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本申請(qǐng)，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本申請(qǐng)可以有各種更改和變化。凡在本申請(qǐng)的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本申請(qǐng)的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種版圖數(shù)據(jù)的處理方法，其特征在于，所述處理方法包括以下步驟:將冗余圖形數(shù)據(jù)并入到芯片數(shù)據(jù)的同時(shí)，對(duì)所述芯片數(shù)據(jù)中的圖形進(jìn)行光學(xué)鄰近校 正，以形成中間數(shù)據(jù)；將所述中間數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換形成光掩膜數(shù)據(jù)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理方法，其特征在于，將所述冗余圖形數(shù)據(jù)并入到所述芯 片數(shù)據(jù)的步驟包括:采用冗余圖形插入工具將所述冗余圖形數(shù)據(jù)和所述芯片數(shù)據(jù)合并，以使所述冗余圖形 數(shù)據(jù)中的圖形插入到所述芯片數(shù)據(jù)中的圖形的四周；采用冗余圖形校正工具對(duì)所述合并后的圖形進(jìn)行圖形校正，以驗(yàn)證所述冗余圖形數(shù)據(jù) 中的圖形和所述芯片數(shù)據(jù)中的圖形是否交疊。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的處理方法，其特征在于，所述圖形校正的步驟包括:對(duì)所述芯 片數(shù)據(jù)中的圖形和所述冗余圖形數(shù)據(jù)中的圖形進(jìn)行邏輯與運(yùn)算。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的處理方法，其特征在于，所述邏輯與運(yùn)算的步驟中，當(dāng)所述邏 輯與運(yùn)算的結(jié)果為0時(shí)，所述冗余圖形數(shù)據(jù)中的圖形和所述芯片數(shù)據(jù)中的圖形沒(méi)有交疊。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的處理方法，其特征在于，采用L-EDIT軟件進(jìn)行所述邏輯與運(yùn) 算。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理方法，其特征在于，采用OPC工具對(duì)所述芯片數(shù)據(jù)中的圖 形進(jìn)行所述光學(xué)鄰近校正。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理方法，其特征在于，通過(guò)圖形轉(zhuǎn)換軟件將所述中間數(shù)據(jù) 轉(zhuǎn)換形成所述光掩膜數(shù)據(jù)。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的處理方法，其特征在于，所述圖形轉(zhuǎn)換軟件為CATS。9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的處理方法，其特征在于，所述芯片數(shù)據(jù)的格式為 GDS文件，所述光掩膜數(shù)據(jù)的格式MEBES文件。10.—種光掩膜數(shù)據(jù)，其特征在于，所述光掩膜數(shù)據(jù)通過(guò)采用權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng) 所述的處理方法對(duì)版圖數(shù)據(jù)進(jìn)行處理后得到。
【文檔編號(hào)】G06F17/50GK105989209SQ201510088656
【公開(kāi)日】2016年10月5日
【申請(qǐng)日】2015年2月26日
【發(fā)明人】王剛, 游桂美
【申請(qǐng)人】中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司