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      一種ogs觸摸屏抗沖擊工藝的制作方法

      文檔序號(hào):10724331閱讀:409來源:國知局
      一種ogs觸摸屏抗沖擊工藝的制作方法
      【專利摘要】本發(fā)明公開了一種OGS觸摸屏抗沖擊工藝,該工藝是在原來平整光滑的ITO面做出微孔,并且把微孔保存在圖案線路當(dāng)中而不破壞電路的原理性能。當(dāng)通過后續(xù)的曝光蝕刻等工藝這些微孔最終存在于電路圖案當(dāng)中時(shí),特定形狀排布的圓孔會(huì)使ITO層變成一張網(wǎng),耐沖擊力得到極大提高,鋼球跌落的沖擊力既使能讓ITO開裂但是由于圓孔的空心作用會(huì)阻止開裂的紋路繼續(xù)開裂,而孔與孔的間距很微小,也就不能帶動(dòng)玻璃基材開裂,也就提升了玻璃抗沖擊的強(qiáng)度。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明工藝可以取消現(xiàn)有技術(shù)的二強(qiáng)、三強(qiáng)工藝,節(jié)省大量人力物力財(cái)力。
      【專利說明】
      一種OGS觸摸屏抗沖擊工藝
      技術(shù)領(lǐng)域
      [0001]本發(fā)明涉及觸摸屏技術(shù)領(lǐng)域,具體的說是涉及一種OGS觸摸屏搞沖擊工藝。
      【背景技術(shù)】
      [0002]OGS觸摸屏的基礎(chǔ)材料是ITO玻璃,這是一種特殊的玻璃,上面鍍有一層導(dǎo)電層ITO(氧化銦錫)。在導(dǎo)電層上通過曝光、蝕刻,就得到了觸摸電路圖案,再繼續(xù)經(jīng)過絲印、切割、CNC精雕、壓合FPC、最后就成了OGS觸摸屏產(chǎn)品WGS的生產(chǎn)有大片制程和小片制程2種,以上所述的是大片制程。OGS應(yīng)用于智用手機(jī)、平板電腦、工控等設(shè)備有輕、薄、透、反應(yīng)靈敏等優(yōu)點(diǎn)。但由于它是玻璃制品,容易破碎,通過不了鋼球跌落試驗(yàn)?,F(xiàn)在行業(yè)內(nèi)所有的大片制程的OGS都存在這個(gè)同一缺陷。這個(gè)缺陷已經(jīng)成為了整個(gè)OGS觸摸屏行業(yè)的瓶頸,很多移動(dòng)終端產(chǎn)品都沒有把OGS觸摸屏當(dāng)作第一選擇。行業(yè)內(nèi)為了解決這個(gè)問題各廠家想了很多辦法:包括對玻璃材質(zhì)進(jìn)行強(qiáng)化(一強(qiáng))、CNC精雕后氫氟酸修邊(化學(xué)二強(qiáng))、CNC后用掃光機(jī)掃邊(物理二強(qiáng))、氫氟酸修邊后再在玻璃側(cè)邊周圍打高分子樹脂(三強(qiáng)),這些方法拉長了 OGS的生產(chǎn)工藝,增加了成本,損失了良率,只提高了靜壓彎曲試驗(yàn)的耐壓,對鋼球跌落測試沒有多少幫助。
      [0003]OGS還有一種小片制程,工藝流程如下:
      [0004]先把大片素材玻璃(不鍍?chǔ)│?)切割成小片,然后CNC精雕出外型,然后送到鋼化爐進(jìn)行鋼化,冷卻后絲印油墨再鍍導(dǎo)電層ΙΤ0。這種OGS觸摸屏的抗沖擊試驗(yàn)是可以通過的,因?yàn)樗鼘ΣAУ?個(gè)面都進(jìn)行了鋼化,把CNC產(chǎn)生的側(cè)邊微裂紋進(jìn)行了鋼化修補(bǔ)。但是這種工藝是先絲印油墨再鍍導(dǎo)電層會(huì)造成導(dǎo)電層在油墨邊緣爬坡不良而造成很多不良品,而且效率低下。因?yàn)樾∑に囍荒芤恍∑恍∑慕z印而大片工藝可以一次就絲印20片(一大張玻璃可以排20小片),所以小片藝遠(yuǎn)不如大片藝效率高而且良率低。如果小片也采用本發(fā)明,那也將縮短工藝流程、節(jié)約成本、大大提高良率及產(chǎn)能。
      [0005]現(xiàn)有的一強(qiáng)、二強(qiáng)、三強(qiáng)處理玻璃抗沖擊的方法它們的缺點(diǎn)是顯而易見的。一強(qiáng)是供應(yīng)商對原玻璃材質(zhì)本身進(jìn)行深度強(qiáng)化,強(qiáng)化深度達(dá)到30微米,再鍍導(dǎo)電層,這時(shí)候玻璃反而會(huì)變得更加脆硬,更容易破碎,對加工設(shè)備的要求也很高?;瘜W(xué)二強(qiáng)是CNC精雕后用氫氟酸浸泡修邊,靠氫氟酸的強(qiáng)腐蝕作用把CNC后產(chǎn)生的微小裂紋修平整,但是氫氟酸是有劇毒的高危險(xiǎn)性化學(xué)物品,對人體和環(huán)境有重大危害,OGS產(chǎn)品經(jīng)過氫氟酸處理后會(huì)損失5%-15%的良品率,還要額外付出每片5元的加工費(fèi)。物理二強(qiáng)是用掃光機(jī)掃邊,用拋光粉和毛刷對玻璃側(cè)面進(jìn)行研磨從而把側(cè)面磨光滑消除微小裂紋,但是拋光粉本身會(huì)把OGS產(chǎn)品弄得很臟不易清洗,還會(huì)劃花產(chǎn)品降低良率,效果也達(dá)不到要求。三強(qiáng)是在二強(qiáng)后在玻璃側(cè)邊周圍打膠,經(jīng)過UV固化后,通過膠的強(qiáng)力吸附作用,彌補(bǔ)微裂紋的縫隙,抗沖擊時(shí)避免從邊緣開裂,從而達(dá)到強(qiáng)化作用,但是結(jié)果也是達(dá)不到要求并且效率低下,已經(jīng)很少有廠家采用。
      [0006]因此,迫切需求一種玻璃的抗沖擊工藝,以解決現(xiàn)有技術(shù)中玻璃易碎的問題。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0007]針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,本發(fā)明要解決的技術(shù)問題在于提供了一種OGS觸摸屏抗沖擊工藝,該工藝是在ITO面做微孔,使其變成網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),增加而沖擊力,以解決觸摸屏易碎的問題。
      [0008]為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明通過以下2種方案來實(shí)現(xiàn):
      [0009]第一種方案,一種OGS觸摸屏抗沖擊工藝,該工藝包括以下步驟:
      [0010]步驟一,選取ITO玻璃板發(fā)明;
      [0011]步驟二,在ITO玻璃板發(fā)明上打上微孔發(fā)明,該微孔發(fā)明均勻布滿于ITO玻璃板發(fā)明表面、ITO玻璃板發(fā)明的線路中、ITO玻璃板發(fā)明的線路縫隙處,所述微孔發(fā)明只打穿ITO層,不傷及玻璃基板層;
      [0012]步驟三,對步驟二中的打好微孔發(fā)明的ITO玻璃板進(jìn)行ITO曝光;
      [0013]步驟四,對步驟三中的曝光后的ITO玻璃板進(jìn)行蝕刻,蝕刻后的ITO玻璃板的ITO層形成網(wǎng)狀結(jié)構(gòu);
      [0014]步驟五,對步驟四中的留有微孔的觸摸電路圖案的ITO玻璃板依次進(jìn)行印刷、切害J、CNC外型精修,最后得到抗沖擊的OGS觸摸屏。
      [0015]進(jìn)一步的,所述微孔發(fā)明直徑在10?40微米之間。
      [0016]進(jìn)一步的,相鄰的兩個(gè)微孔之間的間距在10?40微米之間。
      [0017]進(jìn)一步的,在ITO玻璃板的線路中,蝕刻線之間的間距設(shè)置在40?80微米之間,單根蝕刻線的寬度設(shè)置為100?150微米之間。
      [0018]進(jìn)一步的,在ITO玻璃板的線路中,蝕刻線之間的間距設(shè)置為60微米,單根蝕刻線的寬度設(shè)置為120微米。
      [0019]進(jìn)一步的,在ITO玻璃板的線路中,相鄰的兩個(gè)微孔圓心連接線與垂直于蝕刻線的直角邊所形成的夾角在45?65度之間。
      [0020]進(jìn)一步的,相鄰的兩個(gè)微孔圓心連接線與垂直于蝕刻線的直角邊所形成的夾角為60度。
      [0021 ]第二種方案,一種OGS觸摸屏抗沖擊工藝,其特征在于,該工藝包括以下步驟:
      [0022]步驟一,選取曝光后的光罩鉻板或菲林;
      [0023]步驟二,在曝光后的光罩鉻板或菲林上打上微孔發(fā)明,該微孔發(fā)明均勻布滿于光罩鉻板或菲林上;
      [0024]步驟三,將步驟二中打好微孔的光罩鉻板或菲林,與ITO玻璃板組合后曝光;
      [0025]步驟四,對步驟三中的曝光后的ITO玻璃板組合件進(jìn)行蝕刻,蝕刻后,光罩鉻板或菲林形成電路圖案,覆于ITO玻璃板上,光罩鉻板或菲林形成電路圖案中排布有微孔,整個(gè)ITO玻璃板形成帶有微孔電路圖案的結(jié)構(gòu);
      [0026]步驟五,對步驟四中的留有微孔的觸摸電路圖案的ITO玻璃板依次進(jìn)行印刷、切害J、CNC外型精修,最后得到抗沖擊的OGS觸摸屏。
      [0027]進(jìn)一步的,所述微孔發(fā)明直徑在10?40微米之間,相鄰的兩個(gè)微孔之間的間距在10?40微米之間;
      [0028]在ITO玻璃板的線路中,蝕刻線之間的間距設(shè)置在40?80微米之間,單根蝕刻線的寬度設(shè)置為100?150微米之間;
      [0029]在ITO玻璃板的線路中,相鄰的兩個(gè)微孔圓心連接線與垂直于蝕刻線的直角邊所形成的夾角在45?65度之間。
      [0030]進(jìn)一步的,在ITO玻璃板的線路中,蝕刻線之間的間距設(shè)置為60微米,單根蝕刻線的寬度設(shè)置為120微米,相鄰的兩個(gè)微孔圓心連接線與垂直于蝕刻線的直角邊所形成的夾角為60度。
      [0031]相對于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明OGS觸摸屏抗沖擊工藝是在原來平整光滑的ITO面做出微孔,并且把微孔保存在圖案線路當(dāng)中而不破壞電路的原理性能。當(dāng)通過后續(xù)的曝光蝕刻等工藝這些微孔最終存在于電路圖案當(dāng)中時(shí),特定形狀排布的圓孔會(huì)使ITO層變成一張網(wǎng),耐沖擊力得到極大提高,鋼球跌落的沖擊力既使能讓ITO開裂但是由于圓孔的空心作用會(huì)阻止開裂的紋路繼續(xù)開裂,而孔與孔的間距很微小,也就不能帶動(dòng)玻璃基材開裂,也就提升了玻璃抗沖擊的強(qiáng)度。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明工藝可以取消現(xiàn)有技術(shù)的二強(qiáng)、三強(qiáng)工藝,節(jié)省大量人力物力財(cái)力。
      【附圖說明】
      [0032]圖1為本發(fā)明電路圖案微孔不意圖;
      [0033]圖2為圖1的局部放大圖。
      [0034]圖3為圖2的局部放大圖。
      [0035 ]附圖中標(biāo)記:微孔1、ITO玻璃板2、蝕刻線3。
      【具體實(shí)施方式】
      [0036]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)闡述,以使本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解,從而對本發(fā)明的保護(hù)范圍做出更為清楚明確的界定。
      [0037]本發(fā)明OGS觸摸屏抗沖擊工藝有兩種方案:
      [0038]第一種方案,請參照附圖1?3,本發(fā)明的一種OGS觸摸屏抗沖擊工藝,該工藝包括以下步驟:
      [0039]步驟一,選取ITO玻璃板2;
      [0040]步驟二,在ITO玻璃板2上打上微孔I,該微孔I均勻布滿于ITO玻璃板2表面、ITO玻璃板2的線路中、ITO玻璃板2的線路縫隙處,所述微孔I只打穿ITO層,不傷及玻璃基板層;[0041 ]步驟三,對步驟二中的打好微孔I的ITO玻璃板進(jìn)行ITO曝光;
      [0042]步驟四,對步驟三中的曝光后的ITO玻璃板進(jìn)行蝕刻,蝕刻后的ITO玻璃板的ITO層形成網(wǎng)狀結(jié)構(gòu);
      [0043]步驟五,對步驟四中的留有微孔的觸摸電路圖案的ITO玻璃板依次進(jìn)行印刷、切害J、CNC外型精修,最后得到抗沖擊的OGS觸摸屏。
      [0044]所述微孔I直徑在10?40微米之間,相鄰的兩個(gè)微孔之間的間距在10?40微米之間。
      [0045]在ITO玻璃板的線路中,蝕刻線之間的間距設(shè)置在40?80微米之間,單根蝕刻線的寬度設(shè)置為100?150微米之間。蝕刻線3的間距和線寬優(yōu)選方案是:在ITO玻璃板的線路中,蝕刻線之間的間距設(shè)置為60微米,單根蝕刻線的寬度設(shè)置為120微米。
      [0046]在ITO玻璃板的線路中,相鄰的兩個(gè)微孔圓心連接線與垂直于蝕刻線的直角邊所形成的夾角在45?65度之間,優(yōu)選的,相鄰的兩個(gè)微孔圓心連接線與垂直于蝕刻線的直角邊所形成的夾角為60度。
      [0047]第二種方案,本發(fā)明的一種OGS觸摸屏抗沖擊工藝,該工藝包括以下步驟:
      [0048]步驟一,選取曝光后的光罩鉻板或菲林;
      [0049]步驟二,在曝光后的光罩鉻板或菲林上打上微孔I,該微孔I均勻布滿于光罩鉻板或菲林上;
      [0050]步驟三,將步驟二中打好微孔的光罩鉻板或菲林,與ITO玻璃板組合后曝光;
      [0051]步驟四,對步驟三中的曝光后的ITO玻璃板組合件進(jìn)行蝕刻,蝕刻后,光罩鉻板或菲林形成電路圖案,覆于ITO玻璃板上,光罩鉻板或菲林形成電路圖案中排布有微孔,整個(gè)ITO玻璃板形成帶有微孔電路圖案的結(jié)構(gòu);
      [0052]步驟五,對步驟四中的留有微孔的觸摸電路圖案的ITO玻璃板依次進(jìn)行印刷、切害J、CNC外型精修,最后得到抗沖擊的OGS觸摸屏。
      [0053]實(shí)施例:
      [0054]由于40微米直徑的小孔在線路中不能太密,微孔太密會(huì)使實(shí)際線寬變窄,線寬變窄會(huì)使阻抗升高,那么觸摸屏的性能就會(huì)變差,變得不靈敏,阻抗的計(jì)算公式為:阻抗=線長/線寬*方阻,觸摸屏的電子電路線距線寬用黃光工藝生產(chǎn)最小是30*30微米,為了生產(chǎn)良率一般設(shè)計(jì)為60*120微米,在120微米寬的線路中放一個(gè)40微米的小孔,剩余的實(shí)際寬度是80微米,大于30微米阻抗是可以達(dá)到設(shè)計(jì)要求的。如果放置2個(gè)小孔,那么實(shí)際線寬就是40微米,加上生產(chǎn)誤差實(shí)際線寬有可能就會(huì)少于30微米對觸摸性能就有影響了。所以我們把小孔作60度角放置(如圖3所示),密度和實(shí)際線寬都可以達(dá)到要求。
      [0055]光刻膠的涂布厚度是2微米,精度很高,設(shè)備是高精度全自動(dòng)刮膠機(jī),光膠要求一定要均勻否則會(huì)在下一曝光工位產(chǎn)生嚴(yán)重影響,會(huì)對觸摸電路造成開路或者短路,使觸摸屏失去觸摸效果導(dǎo)致整個(gè)項(xiàng)目失敗。涂好光膠的玻璃會(huì)自動(dòng)流入曝光機(jī)進(jìn)行曝光,為了使曝光精度達(dá)到要求,曝光燈源用紫外線燈源,波長為300—450nm,照度為20mW/cm2,曝光時(shí)間為10秒,曝光鉻板就是前面設(shè)計(jì)好的帶微孔的鉻基板,尺寸是14*16英寸。
      [0056]顯影液是3%氫氧化鉀稀釋液,曝光過后的光膠化學(xué)性質(zhì)發(fā)生了變化可以用顯影液沖洗干凈,而沒有接觸紫外線的光膠不溶于顯影液而保留下來形成電子線路圖案,這個(gè)時(shí)候把玻璃拿到顯微鏡下觀察,線路的邊緣和微孔的邊緣應(yīng)該整齊光滑沒有鋸齒。玻璃基板繼續(xù)往下流動(dòng)到蝕刻段,蝕刻液是鹽酸和硝酸和水的混合液,它的作用是把顯影時(shí)裸露出來的ITO腐蝕掉,蝕刻液的溫度不能太高或太低,太高會(huì)燒壞線路,太低會(huì)蝕刻不斷,溫度一般設(shè)置為38-40度最為合適。經(jīng)過蝕刻后如果把玻璃拿到顯微鏡下觀察,線路邊緣和微孔邊緣應(yīng)該整齊光滑沒有鋸齒。最后經(jīng)過脫膜段把玻璃上的光膠干干凈凈的沖洗干凈,脫模液是5—6 %的氫氧化鈉的稀釋液,氫氧化鈉屬于強(qiáng)堿,腐蝕性很強(qiáng),稀釋液的濃度和溫度對ITO有重大影響。到此,ITO玻璃的電子線路和所包含微孔都已經(jīng)顯現(xiàn)出來,這時(shí)要仔細(xì)驗(yàn)查生產(chǎn)出來的產(chǎn)品和我們的設(shè)計(jì)圖紙有何區(qū)別,是否達(dá)到了我們的設(shè)計(jì)要求。接下來我們就需要對玻璃進(jìn)行切割,把14*16英寸的大片分割成小片,使用的設(shè)備是全自動(dòng)異形切割機(jī),精度0.02mm,切割尺寸比手機(jī)TP實(shí)際尺寸外擴(kuò)0.2-0.3mm給CNC留下余量。切割時(shí)刀輪的壓力不能太大,力太大切得太深玻璃在機(jī)器平臺(tái)上就散架了,而且邊緣也會(huì)產(chǎn)生很多的小裂紋,如果力太小玻璃切得太淺,裂片的時(shí)候就裂不開,理想的切割深度是7-10um,玻璃放置在平臺(tái)前,要對平臺(tái)進(jìn)行清理,上面不能留有小顆粒的雜物,比如玻璃肩,小砂子,這些東西會(huì)給玻璃造成損傷,破壞玻璃表面張力,破壞電子線路的完整性。最后,就是外型修整,也就是CNC精修,用的設(shè)備是雙頭雙工位高精度全自動(dòng)精雕機(jī),切消液一般是中性,不會(huì)對產(chǎn)品和設(shè)備帶來腐蝕損害,磨頭使用1000#細(xì)精鋼砂,磨出來的邊緣效果細(xì)膩,紋裂紋少于5um。
      [0057]通過上面所有工序,最后對產(chǎn)品進(jìn)行測試,以確定是否達(dá)到預(yù)期要求。
      [0058]測試結(jié)果:重64g直徑25mm的鋼球從60cm的高度自由落下砸在0.7mm厚的OGS產(chǎn)品上20次也不會(huì)砸壞。
      [0059]以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式,并非因此限制本發(fā)明的專利范圍,凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換,或直接或間接運(yùn)用在其它相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域,均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
      【主權(quán)項(xiàng)】
      1.一種OGS觸摸屏抗沖擊工藝,其特征在于,該工藝包括以下步驟: 步驟一,選取ITO玻璃板(2); 步驟二,在ITO玻璃板(2)上打上微孔(I ),該微孔(I)均勻布滿于ITO玻璃板(2)表面、ITO玻璃板(2)的線路中、ITO玻璃板(2)的線路縫隙處,所述微孔(I)只打穿ITO層,不傷及玻璃基板層; 步驟三,對步驟二中的打好微孔(I)的ITO玻璃板進(jìn)行ITO曝光; 步驟四,對步驟三中的曝光后的ITO玻璃板進(jìn)行蝕刻,蝕刻后的ITO玻璃板的ITO層形成網(wǎng)狀結(jié)構(gòu); 步驟五,對步驟四中的留有微孔的觸摸電路圖案的ITO玻璃板依次進(jìn)行印刷、切割、CNC外型精修,最后得到抗沖擊的OGS觸摸屏。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種OGS觸摸屏抗沖擊工藝,其特征在于:所述微孔(I)直徑在10?40微米之間。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種OGS觸摸屏抗沖擊工藝,其特征在于:相鄰的兩個(gè)微孔之間的間距在10?40微米之間。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種OGS觸摸屏抗沖擊工藝,其特征在于:在ITO玻璃板的線路中,蝕刻線之間的間距設(shè)置在40?80微米之間,單根蝕刻線的寬度設(shè)置為100?150微米之間。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種OGS觸摸屏抗沖擊工藝,其特征在于:在ITO玻璃板的線路中,蝕刻線之間的間距設(shè)置為60微米,單根蝕刻線的寬度設(shè)置為120微米。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種OGS觸摸屏抗沖擊工藝,其特征在于:在ITO玻璃板的線路中,相鄰的兩個(gè)微孔圓心連接線與垂直于蝕刻線的直角邊所形成的夾角在45?65度之間。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種OGS觸摸屏抗沖擊工藝,其特征在于:相鄰的兩個(gè)微孔圓心連接線與垂直于蝕刻線的直角邊所形成的夾角為60度。8.一種OGS觸摸屏抗沖擊工藝,其特征在于,該工藝包括以下步驟: 步驟一,選取曝光后的光罩鉻板或菲林; 步驟二,在曝光后的光罩鉻板或菲林上打上微孔(I),該微孔(I)均勻布滿于光罩鉻板或菲林上; 步驟三,將步驟二中打好微孔的光罩鉻板或菲林,與ITO玻璃板組合后曝光; 步驟四,對步驟三中的曝光后的ITO玻璃板組合件進(jìn)行蝕刻,蝕刻后,光罩鉻板或菲林形成電路圖案,覆于ITO玻璃板上,光罩鉻板或菲林形成電路圖案中排布有微孔,整個(gè)ITO玻璃板形成帶有微孔電路圖案的結(jié)構(gòu); 步驟五,對步驟四中的留有微孔的觸摸電路圖案的ITO玻璃板依次進(jìn)行印刷、切割、CNC外型精修,最后得到抗沖擊的OGS觸摸屏。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種OGS觸摸屏抗沖擊工藝,其特征在于:所述微孔(I)直徑在10?40微米之間,相鄰的兩個(gè)微孔之間的間距在10?40微米之間; 在ITO玻璃板的線路中,蝕刻線之間的間距設(shè)置在40?80微米之間,單根蝕刻線的寬度設(shè)置為100?150微米之間; 在ITO玻璃板的線路中,相鄰的兩個(gè)微孔圓心連接線與垂直于蝕刻線的直角邊所形成的夾角在45?65度之間。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種OGS觸摸屏抗沖擊工藝,其特征在于:在ITO玻璃板的線路中,蝕刻線之間的間距設(shè)置為60微米,單根蝕刻線的寬度設(shè)置為120微米,相鄰的兩個(gè)微孔圓心連接線與垂直于蝕刻線的直角邊所形成的夾角為60度。
      【文檔編號(hào)】G06F3/041GK106095165SQ201610380240
      【公開日】2016年11月9日
      【申請日】2016年6月1日
      【發(fā)明人】吳龍
      【申請人】深圳市多鑫達(dá)實(shí)業(yè)有限公司
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