專利名稱：光阻監(jiān)控方法及客戶端的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及光阻技術領域，具體涉及光阻監(jiān)控方法及客戶端。
背景技術：
光阻是一種感光介質，其作用是將圖形從光罩上傳遞到硅片上。光阻具有如下特 性昂貴；容易過期；需經常更換，一旦換錯將造成無法估計的損失；種類繁多，信息繁瑣難 管控。目前都是通過手工方式監(jiān)控光阻，從光阻被拿進實驗室后，所有與光阻有關的信 息都是管理員手工記錄在記錄卡片上的，并由管理員對光阻的退冰過程、保存期限、保質期 限、安全存量、是否用完等進行人工監(jiān)控。人工監(jiān)控會引發(fā)很多問題，例如退冰時間不夠光 阻就被換上機臺使用，會導致產品品質不好或量率低；換錯光阻會導致產品報廢，機臺停機 維修，管路需要重新凈化，影響正常生產；光阻檢點不夠仔細，造成光阻已經過期但還在使 用，最后會導致產品的量率低；手工檢點光阻不僅費時、費力、費紙張，更容易出錯，最后導 致成本升高。

發(fā)明內容
本發(fā)明提供光阻監(jiān)控方法及客戶端，以實現(xiàn)對光阻的準確監(jiān)控。本發(fā)明的技術方案是這樣實現(xiàn)的一種光阻監(jiān)控方法，該方法包括為進入實驗室的新光阻分配唯一標識，客戶端記錄以該光阻標識為索引的光阻信 息，根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控。所述光阻標識包含光阻名稱，所述客戶端記錄以該光阻標識為索引的光阻信息之 后、根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控之前進一步包括客戶端根據(jù)所述新光阻標識，以及預設的光阻名稱與光阻在防爆柜中的位置范圍 信息的對應關系，確定所述新光阻在防爆柜中的位置范圍，將該位置范圍信息顯示給管理 員；發(fā)現(xiàn)所述新光阻被放入防爆柜，將所述新光阻在防爆柜中的位置信息添加到記錄的該 新光阻信息中。所述發(fā)現(xiàn)所述新光阻被放入防爆柜之后、將所述新光阻在防爆柜中的位置信息添 加到記錄的該新光阻信息中之前進一步包括接收管理員輸入的新光阻被放入防爆柜中的位置信息，將該位置信息與所確定的 新光阻在防爆柜中的位置范圍信息匹配，若匹配上，則提示管理員新光阻放入位置正確；否 則，提示管理員新光阻放錯位置，并重新向管理員顯示所確定的新光阻在防爆柜中的位置 范圍信息。所述客戶端將所述新光阻在防爆柜中的位置信息添加到記錄的該新光阻信息中 之后、根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控之前進一步包括客戶端在預設的光阻名稱與光阻的退冰期間的對應關系中，查找所述新光阻標識對應的退冰期間，將該退冰期間添加到記錄的該新光阻信息中，同時，將該新光阻的狀態(tài) 退冰中添加到所述新光阻信息中，且，所述客戶端根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控包括客戶端根據(jù)記錄的所述新光阻的退冰期間，發(fā)現(xiàn)新光阻退冰結束時，將記錄的該 新光阻的狀態(tài)更改為可使用。所述光阻標識包括光阻的批號，所述客戶端根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控包括機臺發(fā)現(xiàn)有光阻用完，向客戶端發(fā)送攜帶光阻標識和該光阻在機臺上的位置信息 的告警消息，客戶端接收告警消息，將記錄的用完的光阻的光阻信息中的狀態(tài)更改為用 完，并在記錄的所有光阻信息中，查找與該用完的光阻標識中的光阻名稱匹配的光阻信息， 向管理員提示更換光阻，并顯示用完的光阻在機臺上的位置信息，以便管理員將用完的光 阻從機臺上取下，同時顯示該查找到的光阻信息，以便管理員根據(jù)該光阻信息中的光阻在 防爆柜中的位置信息，在防爆柜中找到光阻，并將該光阻放上機臺，并將記錄的該光阻信息 中的狀態(tài)更改為使用中。所述光阻標識包含光阻的保質期限，且所述客戶端將所述新光阻在防爆柜中的位置信息添加到記錄的該新光阻信息 中之后、所述客戶端根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控之前進一步包括客戶端在預設的光阻名稱與光阻在實驗室中的保存期限的對應關系中，查找所述 新光阻標識對應的保存期限，將該保存期限記錄在該新光阻信息中，所述查找與該用完的光阻標識中的光阻名稱匹配的光阻信息之后、向管理員提示 更換光阻之前進一步包括在匹配的光阻信息中查找狀態(tài)為可使用，且保質期限或保存期限最近的光阻信 息，將查找到的光阻信息對應的光阻用于替換用完的光阻。所述客戶端接收告警消息之后、查找與該用完的光阻標識中的光阻名稱匹配的光 阻信息之前進一步包括客戶端向管理員提示是否需要更換光阻，并顯示用完的光阻在機臺上的位置信 息，以便管理員根據(jù)該位置信息查看該光阻是否確實用完，若接收到管理員輸入的確認更 換指示，則執(zhí)行所述查找與該用完的光阻標識中的光阻名稱和批號匹配的光阻信息的動 作。所述在匹配的光阻信息中查找狀態(tài)為可使用，且保質期限或保存期限最近的光阻 信息之后、向管理員提示更換光阻之前進一步包括判斷查找到的光阻信息中的光阻名稱、批號是否與用完的光阻的光阻名稱、批號 相同，若是，執(zhí)行所述向管理員提示更換光阻的動作；否則，提示管理員是否需要更換光阻， 并顯示查找到的光阻信息中的光阻名稱和批號、用完的光阻名稱和批號，若接收到管理員 輸入的確認更換指示，則執(zhí)行所述向管理員提示更換光阻的動作。所述光阻標識包括光阻的保質期限，且所述客戶端將所述新光阻在防爆柜中的位置信息添加到記錄的該新光阻信息 中之后、所述客戶端根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控之前進一步包括客戶端在預設的光阻名稱與光阻在實驗室中的保存期限的對應關系中，查找所述新光阻標識對應的保存期限，將該保存期限記錄在該新光阻信息中，且，所述客戶端根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控包括當客戶端根據(jù)記錄的光阻信息，發(fā)現(xiàn)當前時刻距離所述光阻的保質期限或保存期 限為預定時長時，向管理員提示該光阻將過期，并顯示該光阻標識，若接收到管理員輸入的 新保質期限或保存期限，則以該新保質期限或保存期限更新記錄的該光阻的保質期限或保 存期限；否則，在該光阻的保存期限或保質期限到達時，將該光阻的狀態(tài)更改為報廢，并 提示管理員取走該光阻。所述將該光阻的狀態(tài)更改為報廢的同時進一步包括若發(fā)現(xiàn)光阻在報廢前的狀態(tài)為使用中，則在自身記錄的光阻信息中，查找與該報 廢的光阻名稱匹配、狀態(tài)為可用、且保存期限或保質期限最近的光阻，將查找到的光阻的位 置信息、報廢的光阻的位置信息和更換指示顯示給管理員，以提示管理員以該查找到的光 阻更換該報廢的光阻。所述客戶端將所述新光阻在防爆柜中的位置信息添加到記錄的該新光阻信息中 之后、所述客戶端根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控之前進一步包括客戶端在預設的光阻名稱與安全存量的對應關系中，查找所述新光阻標識中的光 阻名稱對應的安全存量，將該安全存量記錄在該新光阻信息中，且，所述客戶端根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控進一步包括當客戶端發(fā)現(xiàn)自身記錄的光阻信息中，與一個光阻名稱對應的狀態(tài)為退冰中、可 使用、使用中的光阻的總數(shù)小于該光阻名稱對應的安全存量時，則提示管理員光阻存量不 足，并顯示光阻名稱和缺少的光阻數(shù)量。一種光阻監(jiān)控客戶端，該客戶端包括光阻信息記錄模塊，記錄以光阻標識為索引的光阻信息；光阻監(jiān)控模塊，根據(jù)光阻信息記錄模塊記錄的光阻信息對進入實驗室的光阻進行 監(jiān)控。所述光阻監(jiān)控模塊包括光阻接收模塊，當有新光阻進入實驗室時，根據(jù)所述新光阻標識，以及預設的光阻 名稱與光阻在防爆柜中的位置范圍信息的對應關系，確定所述新光阻在防爆柜中的位置范 圍，將該位置范圍信息顯示給管理員；發(fā)現(xiàn)所述新光阻被放入防爆柜，將所述新光阻在防爆 柜中的位置信息添加到光阻信息記錄模塊記錄的該新光阻信息中。所述接收模塊進一步用于，在預設的光阻名稱與光阻的退冰期間的對應關系中，查找所述新光阻標識對應的 退冰期間，將該退冰期間添加到光阻信息記錄模塊記錄的該新光阻信息中，同時，將該新光 阻的狀態(tài)退冰中添加到所述新光阻信息中；所述光阻監(jiān)控模塊進一步包括退冰監(jiān)控模塊，當根據(jù)光阻信息記錄模塊記錄的所述新光阻的退冰期間，發(fā)現(xiàn)新 光阻退冰結束時，將光阻信息記錄模塊記錄的該新光阻的狀態(tài)更改為可使用。所述光阻監(jiān)控模塊進一步包括光阻更換模塊，接收機臺發(fā)來的攜帶用完的光阻標識和該光阻在機臺上的位置信 息的告警消息，將光阻信息記錄模塊記錄的該用完的光阻的光阻信息中的狀態(tài)更改為用完，并在光阻信息記錄模塊記錄的所有光阻信息中，查找與該用完的光阻標識中的光阻名 稱匹配的光阻信息，向管理員提示更換光阻，并顯示用完的光阻在機臺上的位置信息，以便 管理員將用完的光阻從機臺上取下，同時顯示該查找到的光阻信息，以便管理員根據(jù)該光 阻信息中的光阻在防爆柜中的位置信息，在防爆柜中找到光阻并將該光阻放上機臺，同時 將光阻信息記錄模塊記錄的該光阻的狀態(tài)更改為使用中。所述光阻接收模塊進一步用于，在預設的光阻名稱與光阻在實驗室中的保存期限的對應關系中，查找所述新光阻 標識對應的保存期限，將該保存期限記錄在光阻信息記錄模塊記錄的該新光阻信息中，且，所述光阻更換模塊進一步用于，在查找到與該用完的光阻標識中的光阻名稱 匹配的光阻信息之后，在匹配的光阻信息中查找狀態(tài)為可使用，且保質期限或保存期限最 近的光阻信息，將查找到的光阻信息對應的光阻用于替換用完的光阻。所述光阻更換模塊進一步用于，接收到機臺發(fā)來的告警消息之后，向管理員提示 是否需要更換光阻，并顯示用完的光阻在機臺上的位置信息，以便管理員根據(jù)該位置信息 查看該光阻是否確實用完，若接收到管理員輸入的確認更換指示，則查找與該用完的光阻 標識中的光阻名稱和批號匹配的光阻信息。所述光阻更換模塊進一步用于，在匹配的光阻信息中查找狀態(tài)為可使用，且保質 期限或保存期限最近的光阻信息之后，判斷查找到的光阻信息中的光阻名稱、批號是否與 用完的光阻的光阻名稱、批號相同，若是，且接收到管理員輸入的確認更換指示，則向管理 員提示更換光阻；否則，提示管理員是否需要更換光阻，并顯示查找到的光阻信息中的光阻 名稱和批號、用完的光阻名稱和批號，若接收到管理員輸入的確認更換指示，則向管理員提 示更換光阻。所述光阻接收模塊進一步用于，在預設的光阻名稱與光阻在實驗室中的保存期限的對應關系中，查找所述新光阻 標識對應的保存期限，將該保存期限記錄在光阻信息記錄模塊記錄的該新光阻信息中，且，所述光阻監(jiān)控模塊進一步包括有效期監(jiān)控模塊，當根據(jù)光阻信息記錄模塊記錄的光阻信息，發(fā)現(xiàn)當前時刻距離 一個光阻信息中的保質期限或保存期限為預定時長時，向管理員提示該光阻將過期，并顯 示該光阻標識，若接收到管理員輸入的新保質期限或保存期限，則以該新保質期限或保存 期限更新光阻信息記錄模塊記錄的該光阻的保質期限或保存期限；否則，在該光阻的保存 期限或保質期限到達時，將光阻信息記錄模塊記錄的該光阻的狀態(tài)更改為報廢，并提示管 理員取走該光阻。所述光阻接收模塊進一步用于，在預設的光阻名稱與安全存量的對應關系中，查找所述新光阻標識中的光阻名稱 對應的安全存量，將該安全存量記錄在光阻信息記錄模塊中的該新光阻信息中，且，所述光阻監(jiān)控模塊進一步包括安全存量監(jiān)控模塊，當發(fā)現(xiàn)光阻信息記錄模塊記錄的光阻信息中，與一個光阻名 稱對應的狀態(tài)為退冰中、可使用、使用中的光阻的總數(shù)小于該光阻名稱對應的安全存量 時，則提示管理員光阻存量不足，并顯示光阻名稱和缺少的光阻數(shù)量。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明中，當有新光阻進入實驗室時，為該光阻分配唯一標識，客戶端記錄以該光阻標識為索引的光阻信息，根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控。本發(fā)明實 現(xiàn)了對光阻的準確監(jiān)控，提高了光阻的利用率，且降低了成本。另外，本發(fā)明實施例中，當有新光阻進入實驗室時，客戶端根據(jù)預設的光阻名稱與 光阻在防爆柜中的位置范圍的對應關系，確定該新光阻在防爆柜中的位置，保證了光阻的 準確接收；本發(fā)明實施例中，客戶端通過光阻信息中的退冰期間對光阻的退冰過程進行監(jiān) 控，使得只有退冰結束的光阻才會被放上機臺使用，保證了產品的品質和量率；本發(fā)明實施例中，客戶端在收到機臺發(fā)來的指示光阻用完的告警消息時，能夠根 據(jù)記錄的光阻信息，找到與用完的光阻匹配的光阻，從而實現(xiàn)了光阻的準確更換，保證了生 產的順利進行；本發(fā)明實施例中，客戶端通過光阻信息中的保存期限和保質期限對光阻的有效性 進行監(jiān)控，使得只有處在保存期限和保質期限內的光阻才會被機臺使用，保證了產品的品 質禾口量率；本發(fā)明實施例中，客戶端通過光阻信息中的安全存量對光阻的安全存量進行監(jiān) 控，使得在光阻安全存量不夠時，能夠及時通知管理員領入新光阻，保證了生產的順利進 行。


圖1為本發(fā)明實施例提供的接收光阻及監(jiān)控光阻退冰過程的方法流程圖；圖2為本發(fā)明實施例提供的更換光阻的方法流程圖；圖3為本發(fā)明實施例提供的監(jiān)控光阻的保存期限和保質期限的方法流程圖；圖4為本發(fā)明實施例提供的監(jiān)控光阻的安全存量的方法流程圖；圖5為本發(fā)明實施例提供的光阻監(jiān)控客戶端的組成圖；圖6為本發(fā)明實施例提供的光阻監(jiān)控模塊的組成圖。
具體實施例方式光阻進入實驗室后，要經過下列處理過程1、接收光阻，即記錄光阻基本信息如光阻名稱、批號、光阻瓶號、保質期限等，并 將光阻放入防爆柜；2、監(jiān)控光阻的退冰過程，只有完成退冰的光阻才能被機臺使用；3、監(jiān)控機臺上的光阻的使用情況，當機臺上的光阻用完時，要更換新光阻；4、監(jiān)控光阻的保存期限、保質期限、安全存量。以下對各個處理過程分別進行說明圖1為本發(fā)明實施例提供的接收光阻及監(jiān)控光阻退冰過程的方法流程圖，如圖1 所示，其具體步驟如下步驟101 有新光阻進入實驗室，為該光阻分配唯一標識，按照預定義格式打印表 示光阻標識的條形碼，將該條形碼粘貼在盛放該光阻的光阻瓶上?？捎晒芾韱T或客戶端按照預先設定的光阻標識分配規(guī)則，為每個光阻分配唯一的 標識。可由管理員將條形碼粘貼在光阻瓶上。
光阻標識可由光阻材料標識+光阻名稱+批號+光阻瓶號+保質期限組成。為了規(guī)范化光阻標識，可設定光阻標識中各個組成部分的長度。例如將光阻名稱 的長度設為7bit，批號的長度設為8bit，光阻瓶號的長度設為6bit，保質期限的長度設為 6bit，這樣，光阻標識的總長度為27bit。其中，光阻瓶號的前2bit、中間2bit分別表示光阻進入實驗室的月、日，后2bit表 示該光阻瓶在當日進入實驗室的光阻瓶中的序號，例如光阻瓶號為081009，表示該光阻 瓶為8月10日進入實驗室的第9個光阻瓶。保質期限的前2bit、中間2bit、后2bit分別 表示保質期截至的年、月、日，如保質期限為090820表示光阻的保質期截至09年08月20 日。另外，若光阻的出廠名稱不足7bit，則在出廠名稱前補0 ；若多于7bit，則將出廠名稱中 無實際意義的字符如“_”、空格等去掉，或者將出廠名稱末尾的表示濃度等的附加字符，如 “Gl”、“cp”等去掉，如出廠名稱“GAR8105G1”可更改為“GAR8105”、“AR40-800”可更改為 “AR40800”、“ARF1C5D” 可更改為 “ARF1C5D”、“M91Y_6CP” 可更改為 “M91Y6CP”，“UVN30” 可 更改為“00UVN30”。同樣，若批號不足8bit，也可在前面補0。步驟102 條形碼讀取器讀取光阻瓶上的條形碼，將讀取的條形碼發(fā)送給客戶端。步驟103 客戶端接收該條形碼，將該條形碼對應的光阻標識添加到自身的光阻 信息列表中，并在自身保存的光阻名稱與光阻在防爆柜中的位置范圍信息的對應關系中， 查找到該光阻在防爆柜中的位置范圍信息，將該位置范圍信息顯示給管理員，以便管理員 根據(jù)該位置范圍信息將該光阻放入防爆柜中。這里，將光阻名稱相同的光阻視作一類光阻，預先為每類光阻在防爆柜中分配一 個空間，并記錄光阻名稱與該空間所對應的位置范圍信息的對應關系。步驟104 光阻被放入防爆柜，條形碼讀取器讀取指示該光阻在防爆柜中所處位 置的條形碼，將該條形碼發(fā)送給客戶端。防爆柜中用于存放每個光阻的位置處都貼有一個條形碼，用于唯一地標識該位置。步驟105 客戶端接收條形碼讀取器發(fā)來的指示光阻在防爆柜中所處位置的條形 碼，將該條形碼轉換成位置信息，比較該位置信息與步驟103中查找到的位置范圍信息。步驟106 客戶端判斷二者是否匹配，若是，執(zhí)行步驟108 ；否則，執(zhí)行步驟107。步驟107 客戶端提示管理員光阻放錯位置，并將光阻標識和步驟103中查找到的 位置范圍信息顯示給管理員，返回步驟104。步驟108 客戶端提示管理員光阻位置正確，并將該光阻在防爆柜中的位置信 息記錄入該光阻信息中，并根據(jù)預先設定的光阻名稱與退冰期間、保存期限、安全存量 的對應關系，確定該光阻的退冰期間、保存期限及安全存量，將該光阻的退冰期間、保存 期限及安全存量記錄入該光阻信息中，并在該光阻信息中記錄該光阻的狀態(tài)為退冰中 (Defrosting)。退冰期間由退冰開始時刻和退冰結束時刻組成；保存期限表示光阻在實驗室中的 保存截止時間，例如若保存期限為2009-07-08則表示該光阻在實驗室中的保存截止時 間為09年07月08日；安全存量表示一類光阻的最小保證存量，安全存量等于進入實驗室 正在退冰的、已完成退冰等待使用的、機臺上正在使用的該類光阻的總數(shù)，通常具有相同光 阻名稱的光阻為一類光阻，例如若光阻名稱A的光阻的安全存量為10，則表示任意時刻防爆柜中正在退冰的、已完成退冰等待使用的和機臺上正在使用的該類光阻的總數(shù)至少要為 10。至此，客戶端記錄的每條光阻信息中包含光阻標識、光阻的位置信息、光阻的退 冰期間、保存期限、安全存量、狀態(tài)。步驟109 客戶端發(fā)現(xiàn)光阻退冰結束，將記錄的該光阻的狀態(tài)更新為可使用 (Ready)，此后機臺就可使用該光阻了。若客戶端發(fā)現(xiàn)當前時刻不小于光阻的退冰結束時刻，則可確定光阻退冰結束?？蛻舳酥锌深A先記錄機臺的位置信息與該位置上使用的光阻名稱的對應關系，當 機臺上的一個位置第一次使用光阻時，管理員通過查詢客戶端的該對應關系，可得知該位 置上使用的光阻名稱，并從放爆柜中取下一個該光阻名稱對應的光阻，同時，將客戶端記錄 的該光阻的狀態(tài)更改為使用中，并將該光阻的位置信息更改為機臺名稱。圖2為本發(fā)明實施例提供的更換光阻的方法流程圖，如圖2所示，其具體步驟如 下步驟201 機臺檢測到一光阻用完，向客戶端發(fā)送攜帶光阻標識和光阻在機臺上 的位置信息的告警消息。步驟202 客戶端接收到告警消息，向管理員提示光阻用完，并顯示光阻在機臺上 的位置信息，同時向管理員提示是否需要更換光阻。步驟203 客戶端判斷是否接收到管理員輸入的確認更換指示，若是，執(zhí)行步驟 205 ；否則，不作處理，本流程結束。由于機臺會發(fā)出錯誤的告警消息，因此，客戶端需要向管理員提示是否需要更換 光阻，管理員看到該提示后，會根據(jù)光阻在機臺上的位置信息查看機臺上的該光阻是否確 實用完，若是，則向客戶端輸入確認更換指示。步驟204:客戶端根據(jù)光阻標識查找到自身記錄的該光阻信息，將記錄的該用完 的光阻的狀態(tài)更改為用完(Empty)，同時，在自身記錄的所有光阻信息中，查找與用完的 光阻標識中的光阻名稱匹配的光阻信息，并在匹配的光阻信息中查找狀態(tài)為Ready且保質 期限或保存期限最近的光阻信息。步驟205:客戶端將查找到的光阻信息中的狀態(tài)更改為等待使用(Wait for use)，并將該光阻信息顯示給管理員。管理員會根據(jù)本步驟中客戶端顯示的光阻信息中的位置信息，從防爆柜中找到新 光阻。步驟206 條形碼讀取器讀取用完的光阻瓶上的條形碼和新光阻瓶上的條形碼， 將該兩條形碼發(fā)送給客戶端。步驟207:客戶端判斷兩條形碼是否匹配，若是，執(zhí)行步驟209;否則，執(zhí)行步驟 208。若兩條形碼中的光阻名稱+批號相同，則該兩條形碼肯定匹配，即新光阻肯定可 以替換用完的光阻；若只有光阻名稱匹配，則該兩條形碼可能匹配也可能不匹配，此時，客 戶端可將該兩條形碼中的光阻名稱+批號顯示給管理員，由管理員去咨詢制程工程師，由 制程工程師確認是否匹配，然后管理員將匹配指示或不匹配指示輸入客戶端。步驟208 客戶端向管理員提示新光阻錯誤，將查找到的光阻信息中的狀態(tài)恢復為可使用(Ready)，并重新在匹配的剩余光阻信息中查找狀態(tài)為Ready且保質期限或保存 期限最近的光阻信息，返回步驟205。步驟209 客戶端向管理員提示光阻正確，請更換光阻。管理員看到客戶端提示光阻正確后，會根據(jù)步驟202中的用完的光阻在機臺上的 位置信息，將空光阻瓶從機臺上取下，同時，將新光阻換上機臺。步驟210 客戶端接收管理員輸入的光阻更換完成指示，將記錄的新光阻的狀態(tài) 更改為使用中(Using)，并將記錄的新光阻的位置信息更改為使用該新光阻的機臺名稱 和該新光阻在該機臺上的位置標識。圖3為本發(fā)明實施例提供的監(jiān)控光阻的保存期限和保質期限的方法流程圖，如圖 3所示，其具體步驟如下步驟301 客戶端發(fā)現(xiàn)一個光阻的保存期限或保質期限將過期，將該光阻的狀態(tài) 更改為將過期(Hold)，并提示管理員光阻將過期，同時顯示該光阻標識和光阻的位置信息?？深A先設定離光阻的保存期限或保質期限為預設時長如24小時時，則認為該 光阻將過期?？蛻舳丝蓪⒂涗浀脑搶⑦^期的光阻信息的顏色更改為紅色，以提示管理員該光阻 將過期。步驟302 客戶端判斷是否接收到管理員輸入的允許延期指示，若是，執(zhí)行步驟 304 ；否則，執(zhí)行步驟303。管理員看到光阻將過期提示后，會根據(jù)光阻標識去咨詢工程師是否可延期，若可 延期同時咨詢延期時長，并根據(jù)咨詢結果，向客戶端輸入允許延期指示和新的保存期限或 保質期限，或者輸入不允許延期指示。步驟303 客戶端在光阻的保存期限或保質期限到達時，將該光阻的狀態(tài)更改為 報廢(Terminated)，并向管理員提示光阻報廢，并顯示光阻的位置信息，以便管理員取走光 阻，本流程結束。這里，若光阻在報廢前的狀態(tài)為使用中，則客戶端在將光阻的狀態(tài)更改為報廢的 同時，還需進行光阻更換的操作，更換光阻的操作可由步驟204 210直接推理得到，在此 不再贅述。步驟304 客戶端同時接收管理員輸入的光阻的新保存期限或保質期限，以該新 保存期限或保質期限更新記錄的該光阻的保存期限或保質期限，并將光阻的狀態(tài)恢復為 Hold之前的狀態(tài)Ready或Using。圖4為本發(fā)明實施例提供的監(jiān)控光阻的安全存量的方法流程圖，如圖4所示，其具 體步驟如下步驟401 針對每個光阻名稱，客戶端在自身記錄的光阻信息列表中，查找與該光 阻名稱對應的狀態(tài)為退冰中、可使用、使用中的光阻的總數(shù)，將該總數(shù)作為該光阻名稱對 應的當前存量?？蛻舳丝擅扛纛A設時長，執(zhí)行一次步驟401 ；或者，可在有新光阻進入實驗室并開 始退冰時、有光阻用完時、有光阻報廢時，更新該類光阻的當前存量。步驟402 客戶端判斷該光阻名稱對應的當前存量是否小于該光阻名稱對應的安全存量，若是，執(zhí)行步驟403 ；否則，不作處理，本流程結束。步驟403 客戶端計算該光阻名稱對應的安全存量與當前存量之差，得到該光阻 名稱對應的缺少數(shù)量，向管理員提示光阻存量不足，并顯示光阻名稱和缺少數(shù)量。圖5為本發(fā)明實施例提供的光阻監(jiān)控客戶端，如圖5所示，該客戶端包括光阻信息記錄模塊51 記錄以光阻標識為索引的光阻信息。光阻監(jiān)控模塊52 根據(jù)光阻信息記錄模塊51記錄的光阻信息對進入實驗室的光 阻進行監(jiān)控。如圖6所示，光阻監(jiān)控模塊52可包括光阻接收模塊521、退冰監(jiān)控模塊522、光阻 更換模塊523、有效期監(jiān)控模塊524和安全存量監(jiān)控模塊525，其中光阻接收模塊521 當有新光阻進入實驗室時，根據(jù)所述新光阻標識，以及預設的 光阻名稱與光阻在防爆柜中的位置范圍信息的對應關系，確定所述新光阻在防爆柜中的位 置范圍，將該位置范圍信息顯示給管理員；發(fā)現(xiàn)所述新光阻被放入防爆柜，將所述新光阻在 防爆柜中的位置信息添加到光阻信息記錄模塊51記錄的該新光阻信息中；同時，在預設的 光阻名稱與光阻在實驗室中的退冰期間、保存期限、安全存量的對應關系中，查找所述新光 阻標識對應的退冰期間、保存期限、安全存量，將該退冰期間、保存期限和安全存量記錄在 光阻信息記錄模塊51記錄的該新光阻信息中，并將該新光阻信息中的狀態(tài)設置為退冰 中。退冰監(jiān)控模塊522 當根據(jù)光阻信息記錄模塊51記錄的所述新光阻的退冰期間， 發(fā)現(xiàn)新光阻退冰結束時，將光阻信息記錄模塊51記錄的該新光阻的狀態(tài)更改為可使用。光阻更換模塊523 接收機臺發(fā)來的攜帶用完的光阻標識和該光阻在機臺上的位 置信息的告警消息，將光阻信息記錄模塊51記錄的該用完的光阻的光阻信息中的狀態(tài)更 改為用完，并在光阻信息記錄模塊51記錄的所有光阻信息中，查找與該用完的光阻標識 中的光阻名稱匹配的光阻信息，向管理員提示更換光阻，并顯示用完的光阻在機臺上的位 置信息，以便管理員將用完的光阻從機臺上取下，同時顯示該查找到的光阻信息，以便管理 員根據(jù)該光阻信息中的光阻在防爆柜中的位置信息，在防爆柜中找到光阻并將該光阻放上 機臺，同時將光阻信息記錄模塊51記錄的該光阻的狀態(tài)更改為使用中。另外，光阻更換模塊523還可用于，在查找到與該用完的光阻標識中的光阻名稱 和批號匹配的光阻信息之后，在匹配的光阻信息中查找狀態(tài)為可使用，且保質期限或保存 期限最近的光阻信息，將查找到的光阻信息對應的光阻用于替換用完的光阻。另外，光阻更換模塊523還可用于，接收到機臺發(fā)來的告警消息之后，向管理員提 示是否需要更換光阻，并顯示用完的光阻在機臺上的位置信息，以便管理員根據(jù)該位置信 息查看該光阻是否確實用完，若接收到管理員輸入的確認更換指示，則查找與該用完的光 阻標識中的光阻名稱匹配的光阻信息。另外，光阻更換模塊523還可用于，在匹配的光阻信息中查找狀態(tài)為可使用，且保 質期限或保存期限最近的光阻信息之后，判斷查找到的光阻信息中的光阻名稱、批號是否 與用完的光阻的光阻名稱、批號相同，若是，向管理員提示更換光阻；否則，提示管理員是否 需要更換光阻，并顯示查找到的光阻信息中的光阻名稱和批號、用完的光阻名稱和批號，若 接收到管理員輸入的確認更換指示，則向管理員提示更換光阻，否則，繼續(xù)在匹配的剩余光 阻信息中查找狀態(tài)為可使用，且保質期限或保存期限最近的光阻信息。
有效期監(jiān)控模塊524 當根據(jù)光阻信息記錄模塊51記錄的光阻信息，發(fā)現(xiàn)當前時 刻距離一個光阻信息中的保質期限或保存期限為預定時長時，向管理員提示該光阻將過 期，并顯示該光阻標識，若接收到管理員輸入的新保質期限或保存期限，則以該新保質期限 或保存期限更新光阻信息記錄模塊51記錄的該光阻的保質期限或保存期限；否則，在該光 阻的保存期限或保質期限到達時，將光阻信息記錄模塊51記錄的該光阻的狀態(tài)更改為報 廢，并提示管理員取走該光阻。有效期監(jiān)控模塊524還可用于，若發(fā)現(xiàn)光阻在報廢前的狀態(tài)為使用中，則在光阻 信息記錄模塊51記錄的光阻信息中，查找與該報廢的光阻名稱匹配、狀態(tài)為可用、且保存 期限或保質期限最近的光阻，將查找到的光阻的位置信息、報廢的光阻的位置信息和更換 指示顯示給管理員，以提示管理員以該查找到的光阻更換該報廢的光阻。安全存量監(jiān)控模塊525 當發(fā)現(xiàn)光阻信息記錄模塊51記錄的光阻信息中，與一個 光阻名稱對應的狀態(tài)為退冰中、可使用、使用中的光阻的總數(shù)小于該光阻名稱對應的安全 存量時，則提示管理員光阻存量不足，并顯示光阻名稱和缺少的光阻數(shù)量。以上所述僅為本發(fā)明的過程及方法實施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的 精神和原則之內所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發(fā)明的保護范圍之內。
權利要求
1.一種光阻監(jiān)控方法，該方法包括為進入實驗室的新光阻分配唯一標識，客戶端記錄以該光阻標識為索引的光阻信息， 根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控。
2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述光阻標識包含光阻名稱，所述客戶端 記錄以該光阻標識為索引的光阻信息之后、根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控之前進一步包 括客戶端根據(jù)所述新光阻標識，以及預設的光阻名稱與光阻在防爆柜中的位置范圍信息 的對應關系，確定所述新光阻在防爆柜中的位置范圍，將該位置范圍信息顯示給管理員；發(fā) 現(xiàn)所述新光阻被放入防爆柜，將所述新光阻在防爆柜中的位置信息添加到記錄的該新光阻 信息中。
3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述發(fā)現(xiàn)所述新光阻被放入防爆柜之后、將 所述新光阻在防爆柜中的位置信息添加到記錄的該新光阻信息中之前進一步包括接收管理員輸入的新光阻被放入防爆柜中的位置信息，將該位置信息與所確定的新光 阻在防爆柜中的位置范圍信息匹配，若匹配上，則提示管理員新光阻放入位置正確；否則， 提示管理員新光阻放錯位置，并重新向管理員顯示所確定的新光阻在防爆柜中的位置范圍 fn息ο
4.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述客戶端將所述新光阻在防爆柜中的位 置信息添加到記錄的該新光阻信息中之后、根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控之前進一步包 括客戶端在預設的光阻名稱與光阻的退冰期間的對應關系中，查找所述新光阻標識對應 的退冰期間，將該退冰期間添加到記錄的該新光阻信息中，同時，將該新光阻的狀態(tài)退冰 中添加到所述新光阻信息中，且，所述客戶端根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控包括客戶端根據(jù)記錄的所述新光阻的退冰期間，發(fā)現(xiàn)新光阻退冰結束時，將記錄的該新光 阻的狀態(tài)更改為可使用。
5.如權利要求4所述的方法，其特征在于，所述光阻標識包括光阻的批號，所述客戶端根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控包括機臺發(fā)現(xiàn)有光阻用完，向客戶端發(fā)送攜帶光阻標識和該光阻在機臺上的位置信息的告 警消息，客戶端接收告警消息，將記錄的用完的光阻的光阻信息中的狀態(tài)更改為用完，并 在記錄的所有光阻信息中，查找與該用完的光阻標識中的光阻名稱匹配的光阻信息，向管 理員提示更換光阻，并顯示用完的光阻在機臺上的位置信息，以便管理員將用完的光阻從 機臺上取下，同時顯示該查找到的光阻信息，以便管理員根據(jù)該光阻信息中的光阻在防爆 柜中的位置信息，在防爆柜中找到光阻，并將該光阻放上機臺，并將記錄的該光阻信息中的 狀態(tài)更改為使用中。
6.如權利要求5所述的方法，其特征在于，所述光阻標識包含光阻的保質期限，且所述客戶端將所述新光阻在防爆柜中的位置信息添加到記錄的該新光阻信息中之后、所述客戶端根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控之前進一步包括客戶端在預設的光阻名稱與光阻在實驗室中的保存期限的對應關系中，查找所述新光 阻標識對應的保存期限，將該保存期限記錄在該新光阻信息中，所述查找與該用完的光阻標識中的光阻名稱匹配的光阻信息之后、向管理員提示更換 光阻之前進一步包括在匹配的光阻信息中查找狀態(tài)為可使用，且保質期限或保存期限最近的光阻信息，將 查找到的光阻信息對應的光阻用于替換用完的光阻。
7.如權利要求6所述的方法，其特征在于，所述客戶端接收告警消息之后、查找與該用 完的光阻標識中的光阻名稱匹配的光阻信息之前進一步包括客戶端向管理員提示是否需要更換光阻，并顯示用完的光阻在機臺上的位置信息，以 便管理員根據(jù)該位置信息查看該光阻是否確實用完，若接收到管理員輸入的確認更換指 示，則執(zhí)行所述查找與該用完的光阻標識中的光阻名稱和批號匹配的光阻信息的動作。
8.如權利要求6或7所述的方法，其特征在于，所述在匹配的光阻信息中查找狀態(tài)為可 使用，且保質期限或保存期限最近的光阻信息之后、向管理員提示更換光阻之前進一步包 括判斷查找到的光阻信息中的光阻名稱、批號是否與用完的光阻的光阻名稱、批號相同， 若是，執(zhí)行所述向管理員提示更換光阻的動作；否則，提示管理員是否需要更換光阻，并顯 示查找到的光阻信息中的光阻名稱和批號、用完的光阻名稱和批號，若接收到管理員輸入 的確認更換指示，則執(zhí)行所述向管理員提示更換光阻的動作。
9.如權利要求5所述的方法，其特征在于，所述光阻標識包括光阻的保質期限，且所述客戶端將所述新光阻在防爆柜中的位置信息添加到記錄的該新光阻信息中之后、所述客戶端根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控之前進一步包括客戶端在預設的光阻名稱與光阻在實驗室中的保存期限的對應關系中，查找所述新光 阻標識對應的保存期限，將該保存期限記錄在該新光阻信息中，且，所述客戶端根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控包括當客戶端根據(jù)記錄的光阻信息，發(fā)現(xiàn)當前時刻距離所述光阻的保質期限或保存期限為 預定時長時，向管理員提示該光阻將過期，并顯示該光阻標識，若接收到管理員輸入的新保 質期限或保存期限，則以該新保質期限或保存期限更新記錄的該光阻的保質期限或保存期 限；否則，在該光阻的保存期限或保質期限到達時，將該光阻的狀態(tài)更改為報廢，并提示 管理員取走該光阻。
10.如權利要求9所述的方法，其特征在于，所述將該光阻的狀態(tài)更改為報廢的同時 進一步包括若發(fā)現(xiàn)光阻在報廢前的狀態(tài)為使用中，則在自身記錄的光阻信息中，查找與該報廢的 光阻名稱匹配、狀態(tài)為可用、且保存期限或保質期限最近的光阻，將查找到的光阻的位置信 息、報廢的光阻的位置信息和更換指示顯示給管理員，以提示管理員以該查找到的光阻更 換該報廢的光阻。
11.如權利要求5所述的方法，其特征在于，所述客戶端將所述新光阻在防爆柜中的位置信息添加到記錄的該新光阻信息中之后、 所述客戶端根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控之前進一步包括客戶端在預設的光阻名稱與安全存量的對應關系中，查找所述新光阻標識中的光阻名 稱對應的安全存量，將該安全存量記錄在該新光阻信息中，且，所述客戶端根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控進一步包括當客戶端發(fā)現(xiàn)自身記錄的光阻信息中，與一個光阻名稱對應的狀態(tài)為退冰中、可使 用、使用中的光阻的總數(shù)小于該光阻名稱對應的安全存量時，則提示管理員光阻存量不足， 并顯示光阻名稱和缺少的光阻數(shù)量。
12.一種光阻監(jiān)控客戶端，該客戶端包括光阻信息記錄模塊，記錄以光阻標識為索引的光阻信息；光阻監(jiān)控模塊，根據(jù)光阻信息記錄模塊記錄的光阻信息對進入實驗室的光阻進行監(jiān)控。
13.如權利要求12所述的客戶端，其特征在于，所述光阻監(jiān)控模塊包括光阻接收模塊，當有新光阻進入實驗室時，根據(jù)所述新光阻標識，以及預設的光阻名稱 與光阻在防爆柜中的位置范圍信息的對應關系，確定所述新光阻在防爆柜中的位置范圍， 將該位置范圍信息顯示給管理員；發(fā)現(xiàn)所述新光阻被放入防爆柜，將所述新光阻在防爆柜 中的位置信息添加到光阻信息記錄模塊記錄的該新光阻信息中。
14.如權利要求13所述的客戶端，其特征在于，所述接收模塊進一步用于，在預設的光阻名稱與光阻的退冰期間的對應關系中，查找所述新光阻標識對應的退冰 期間，將該退冰期間添加到光阻信息記錄模塊記錄的該新光阻信息中，同時，將該新光阻的 狀態(tài)退冰中添加到所述新光阻信息中；所述光阻監(jiān)控模塊進一步包括退冰監(jiān)控模塊，當根據(jù)光阻信息記錄模塊記錄的所述新光阻的退冰期間，發(fā)現(xiàn)新光阻 退冰結束時，將光阻信息記錄模塊記錄的該新光阻的狀態(tài)更改為可使用。
15.如權利要求14所述的客戶端，其特征在于，所述光阻監(jiān)控模塊進一步包括光阻更換模塊，接收機臺發(fā)來的攜帶用完的光阻標識和該光阻在機臺上的位置信息的 告警消息，將光阻信息記錄模塊記錄的該用完的光阻的光阻信息中的狀態(tài)更改為用完，并 在光阻信息記錄模塊記錄的所有光阻信息中，查找與該用完的光阻標識中的光阻名稱匹配 的光阻信息，向管理員提示更換光阻，并顯示用完的光阻在機臺上的位置信息，以便管理員 將用完的光阻從機臺上取下，同時顯示該查找到的光阻信息，以便管理員根據(jù)該光阻信息 中的光阻在防爆柜中的位置信息，在防爆柜中找到光阻并將該光阻放上機臺，同時將光阻 信息記錄模塊記錄的該光阻的狀態(tài)更改為使用中。
16.如權利要求15所述的客戶端，其特征在于，所述光阻接收模塊進一步用于，在預設的光阻名稱與光阻在實驗室中的保存期限的對應關系中，查找所述新光阻標識 對應的保存期限，將該保存期限記錄在光阻信息記錄模塊記錄的該新光阻信息中，且，所述光阻更換模塊進一步用于，在查找到與該用完的光阻標識中的光阻名稱匹配 的光阻信息之后，在匹配的光阻信息中查找狀態(tài)為可使用，且保質期限或保存期限最近的 光阻信息，將查找到的光阻信息對應的光阻用于替換用完的光阻。
17.如權利要求16所述的客戶端，其特征在于，所述光阻更換模塊進一步用于，接收到 機臺發(fā)來的告警消息之后，向管理員提示是否需要更換光阻，并顯示用完的光阻在機臺上 的位置信息，以便管理員根據(jù)該位置信息查看該光阻是否確實用完，若接收到管理員輸入 的確認更換指示，則查找與該用完的光阻標識中的光阻名稱和批號匹配的光阻信息。
18.如權利要求16或17所述的客戶端，其特征在于，所述光阻更換模塊進一步用于，在 匹配的光阻信息中查找狀態(tài)為可使用，且保質期限或保存期限最近的光阻信息之后，判斷查找到的光阻信息中的光阻名稱、批號是否與用完的光阻的光阻名稱、批號相同，若是，且 接收到管理員輸入的確認更換指示，則向管理員提示更換光阻；否則，提示管理員是否需要 更換光阻，并顯示查找到的光阻信息中的光阻名稱和批號、用完的光阻名稱和批號，若接收 到管理員輸入的確認更換指示，則向管理員提示更換光阻。
19.如權利要求13所述的客戶端，其特征在于，所述光阻接收模塊進一步用于，在預設的光阻名稱與光阻在實驗室中的保存期限的對應關系中，查找所述新光阻標識 對應的保存期限，將該保存期限記錄在光阻信息記錄模塊記錄的該新光阻信息中，且，所述光阻監(jiān)控模塊進一步包括有效期監(jiān)控模塊，當根據(jù)光阻信息記錄模塊記錄的光阻信息，發(fā)現(xiàn)當前時刻距離一個 光阻信息中的保質期限或保存期限為預定時長時，向管理員提示該光阻將過期，并顯示該 光阻標識，若接收到管理員輸入的新保質期限或保存期限，則以該新保質期限或保存期限 更新光阻信息記錄模塊記錄的該光阻的保質期限或保存期限；否則，在該光阻的保存期限 或保質期限到達時，將光阻信息記錄模塊記錄的該光阻的狀態(tài)更改為報廢，并提示管理員 取走該光阻。
20.如權利要求15所述的客戶端，其特征在于，所述光阻接收模塊進一步用于，在預設的光阻名稱與安全存量的對應關系中，查找所述新光阻標識中的光阻名稱對應 的安全存量，將該安全存量記錄在光阻信息記錄模塊中的該新光阻信息中，且，所述光阻監(jiān)控模塊進一步包括安全存量監(jiān)控模塊，當發(fā)現(xiàn)光阻信息記錄模塊記錄的光阻信息中，與一個光阻名稱對 應的狀態(tài)為退冰中、可使用、使用中的光阻的總數(shù)小于該光阻名稱對應的安全存量時，則 提示管理員光阻存量不足，并顯示光阻名稱和缺少的光阻數(shù)量。
全文摘要
本發(fā)明公開了光阻監(jiān)控方法及客戶端。方法包括為進入實驗室的新光阻分配唯一標識，客戶端記錄以該光阻標識為索引的光阻信息，根據(jù)該光阻信息對光阻進行監(jiān)控。具體地，客戶端根據(jù)記錄的光阻信息中的退冰期間、保存期限、保質期限、安全存量、光阻的狀態(tài)對光阻的退冰過程、保存期限、保質期限、安全存量進行監(jiān)控，并完成光阻的更換。本發(fā)明實現(xiàn)了對光阻的準確監(jiān)控。
文檔編號G07C11/00GK102005072SQ200910194958
公開日2011年4月6日 申請日期2009年9月1日 優(yōu)先權日2009年9月1日
發(fā)明者王琳, 金海波 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司