專利名稱：基于無(wú)線通信可調(diào)整的裝置、裝置調(diào)整方法和裝置調(diào)整系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基于無(wú)線通信可調(diào)整的裝置、裝置調(diào)整方法以及裝置調(diào)整系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
目前，為了調(diào)整例如象擴(kuò)散裝置這樣的半導(dǎo)體制造裝置的機(jī)構(gòu)部，使用裝置本體的操作盤(pán)或通過(guò)電纜外附在裝置上的終端裝置。例如，使用機(jī)構(gòu)部的調(diào)整用終端即調(diào)整終端時(shí)，在每個(gè)裝置上設(shè)置調(diào)整終端，或在每個(gè)裝置上設(shè)置用于轉(zhuǎn)換式地連接一臺(tái)共用終端的連接接頭(connecting connector)。
但是，因?yàn)檎{(diào)整終端在裝置正常工作時(shí)不使用，所以設(shè)置裝置臺(tái)數(shù)相同數(shù)目的調(diào)整終端在空間上是白白地浪費(fèi)。
另外，通過(guò)接頭連接使用共用終端時(shí)，由于反復(fù)接頭的拔出插入，有可能導(dǎo)致接點(diǎn)的惡化這樣的信賴性降低。
而且，使用利用電纜連接的調(diào)整終端調(diào)整裝置的機(jī)構(gòu)部的動(dòng)作時(shí)，電纜成為操作障礙或因電纜長(zhǎng)度等的制約，操作人員不能以自由的姿勢(shì)操作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于上述問(wèn)題而完成的，其目的是提供一種不在每個(gè)裝置上設(shè)置終端裝置或不在每個(gè)裝置上設(shè)置用于轉(zhuǎn)換式地連接一臺(tái)共用終端裝置的連接接頭、從終端裝置就能操作裝置的機(jī)構(gòu)部的裝置調(diào)整系統(tǒng)。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明為了使用調(diào)整終端這樣的終端操作例如半導(dǎo)體制造裝置或液晶制造裝置這樣的裝置，在裝置和終端之間利用無(wú)線通信機(jī)能。
利用本發(fā)明的第一方面提供的裝置是通過(guò)無(wú)線通信可以調(diào)整的裝置，具有可調(diào)整的機(jī)構(gòu)部、和連接于上述機(jī)構(gòu)部并調(diào)整上述機(jī)構(gòu)部的控制組件，還具有連接于上述控制組件、在與終端之間建立無(wú)線通信連接并在與終端之間收發(fā)數(shù)據(jù)的無(wú)線通信單元，上述控制組件包括作成向終端發(fā)送的數(shù)據(jù)的單元、分析從終端接收的數(shù)據(jù)的單元、和基于分析的數(shù)據(jù)調(diào)整上述機(jī)構(gòu)部的單元。
利用本發(fā)明的第二方面提供的裝置調(diào)整系統(tǒng)是包括含有可調(diào)整的機(jī)構(gòu)部以及調(diào)整上述機(jī)構(gòu)部的控制部的裝置、和送出調(diào)整上述裝置的上述機(jī)構(gòu)部的指令的終端的裝置調(diào)整系統(tǒng)，上述裝置還具有連接于上述控制組件、在與終端之間建立無(wú)線通信連接并在與終端之間收發(fā)數(shù)據(jù)的無(wú)線通信單元，上述控制組件包括作成向終端發(fā)送的數(shù)據(jù)的單元、分析從終端接收的數(shù)據(jù)的單元、和基于分析的數(shù)據(jù)調(diào)整上述機(jī)構(gòu)部的單元，上述終端具有在與上述裝置之間進(jìn)行無(wú)線通信的無(wú)線通信單元、和顯示來(lái)自上述裝置的數(shù)據(jù)并將數(shù)據(jù)輸入到上述裝置的接口單元。
利用本發(fā)明的第三方面提供的裝置調(diào)整方法是從終端調(diào)整具有可調(diào)整的機(jī)構(gòu)部的裝置的上述機(jī)構(gòu)部的裝置調(diào)整方法，具有將無(wú)線通信連接請(qǐng)求信息從上述終端發(fā)送到上述裝置的工序、和將無(wú)線通信連接確認(rèn)信息從上述裝置發(fā)送到上述終端的工序、和在上述終端和上述裝置之間以一對(duì)一的對(duì)應(yīng)關(guān)系建立無(wú)線通信連接的工序、和將上述裝置的上述機(jī)構(gòu)部的調(diào)整指令信息從上述終端發(fā)送到上述裝置的工序、和在上述裝置中基于上述調(diào)整指令信息調(diào)整上述機(jī)構(gòu)部的工序。
利用本發(fā)明的第四方面提供的裝置調(diào)整方法是從終端調(diào)整具有可調(diào)整的機(jī)構(gòu)部的裝置的上述機(jī)構(gòu)部的裝置調(diào)整方法，具有確定由多臺(tái)裝置構(gòu)成的裝置小組的工序、和將無(wú)線通信連接請(qǐng)求信息從上述終端發(fā)送到上述裝置小組的上述多臺(tái)裝置的工序、和將無(wú)線通信連接確認(rèn)信息從上述裝置小組中的裝置發(fā)送到上述終端的工序、和在上述終端和發(fā)送上述無(wú)線通信連接確認(rèn)信息的上述裝置之間以一對(duì)多的對(duì)應(yīng)關(guān)系建立無(wú)線通信連接的工序、和將該裝置的上述機(jī)構(gòu)部的調(diào)整指令信息從上述終端發(fā)送到建立了無(wú)線通信連接的上述裝置的工序、和在接受了上述調(diào)整指令信息的上述裝置中、基于上述調(diào)整指令調(diào)整上述機(jī)構(gòu)部的工序。
因?yàn)橹灰帽景l(fā)明的各種方式就可以在裝置和終端之間建立無(wú)線通信連接，所以可以將終端的臺(tái)數(shù)抑制到必要最低限，而且由于終端的使用場(chǎng)所或連接接頭的設(shè)置場(chǎng)所不受限制，可以實(shí)現(xiàn)使用終端的作業(yè)的效率提高。
本發(fā)明的其它目的是通過(guò)參照附圖閱讀后面的詳細(xì)說(shuō)明，本發(fā)明的特征、機(jī)能、優(yōu)點(diǎn)變得更加明確。


圖1是本發(fā)明的實(shí)施例1的半導(dǎo)體制造裝置調(diào)整系統(tǒng)的構(gòu)成圖。
圖2是本發(fā)明的實(shí)施例1的機(jī)構(gòu)部調(diào)整處理的流程圖。
圖3是本發(fā)明的實(shí)施例2的無(wú)線終端的構(gòu)成圖。
圖4是本發(fā)明的實(shí)施例2的半導(dǎo)體制造裝置的構(gòu)成圖。
圖5是本發(fā)明的實(shí)施例3的排他的連接方式的說(shuō)明圖。
圖6是本發(fā)明的實(shí)施例3的排他的連接處理的流程圖。
圖7是本發(fā)明的實(shí)施例4的小組連接方式的說(shuō)明圖。
圖8是本發(fā)明的實(shí)施例4的小組連接處理的流程圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照

本發(fā)明的實(shí)施例。本發(fā)明并不限定于這些實(shí)施例而可以在權(quán)利要求所記載的事項(xiàng)范圍內(nèi)以多樣的方式實(shí)施。
圖1是本發(fā)明的實(shí)施例1的半導(dǎo)體制造裝置調(diào)整系統(tǒng)的構(gòu)成圖。本實(shí)施例的半導(dǎo)體制造裝置調(diào)整系統(tǒng)由半導(dǎo)體制造裝置1和用于操作半導(dǎo)體制造裝置1的無(wú)線終端2構(gòu)成。半導(dǎo)體制造裝置1和無(wú)線終端2以進(jìn)行無(wú)線通信的方式構(gòu)成。在本發(fā)明的實(shí)施例1中，作為無(wú)線通信技術(shù)，利用基于作為10m左右的近距離無(wú)線通信的接口規(guī)格的藍(lán)牙(Bluetooth)的通信機(jī)能。
半導(dǎo)體制造裝置1是半導(dǎo)體制造的工序例如成膜處理、擴(kuò)散處理、蝕刻處理等使用的裝置。半導(dǎo)體制造裝置1是具有可調(diào)整的機(jī)構(gòu)部50、連接于機(jī)構(gòu)部50并調(diào)整機(jī)構(gòu)部50的控制部30的裝置。機(jī)構(gòu)部50例如是半導(dǎo)體制造裝置1的搬送系統(tǒng)。無(wú)線終端2被利用于操作例如半導(dǎo)體制造裝置1的機(jī)構(gòu)部50。更具體地，利用于搬送系統(tǒng)的示教等、使用無(wú)線終端2可以指示狹孔的位置或載置器的位置。無(wú)線終端2例如可以通過(guò)具有利用藍(lán)牙的通信機(jī)能的PDA終端來(lái)實(shí)現(xiàn)。
半導(dǎo)體制造裝置1還具有連接于控制部30、在與無(wú)線終端2之間建立連接并在與無(wú)線終端2之間收發(fā)數(shù)據(jù)的無(wú)線通信部40。
另外，控制部30包括作成發(fā)送到無(wú)線終端的數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)作成部31、將從無(wú)線終端接收的數(shù)據(jù)分析的數(shù)據(jù)分析部33、和基于分析過(guò)的數(shù)據(jù)調(diào)整機(jī)構(gòu)部50的機(jī)構(gòu)部調(diào)整部35。
通過(guò)將調(diào)整時(shí)必要的數(shù)據(jù)、變換機(jī)能搭載于半導(dǎo)體制造裝置1側(cè)，可以使無(wú)線終端2側(cè)的構(gòu)成簡(jiǎn)單化，可以利用廣泛使用的終端作為本發(fā)明實(shí)施例的無(wú)線終端。
接著，利用本發(fā)明的實(shí)施例1來(lái)說(shuō)明根據(jù)來(lái)自無(wú)線終端2的指令在半導(dǎo)體制造裝置1側(cè)進(jìn)行的機(jī)構(gòu)部50的調(diào)整處理。圖2是機(jī)構(gòu)部調(diào)整處理的流程圖。
步驟1無(wú)線通信部40根據(jù)來(lái)自無(wú)線終端2的要求、在與無(wú)線終端2之間建立無(wú)線通信連接。該圖雖沒(méi)有圖示，但在不能建立無(wú)線通信連接時(shí)，對(duì)無(wú)線終端2通知連接的失敗。
步驟2控制部30從機(jī)構(gòu)部50取得機(jī)構(gòu)部的現(xiàn)在狀態(tài)(機(jī)構(gòu)部狀態(tài))、通過(guò)無(wú)線通信部40、將機(jī)構(gòu)部狀態(tài)發(fā)送到無(wú)線終端2。
在無(wú)線終端2側(cè)，機(jī)構(gòu)部狀態(tài)以操作人員可識(shí)別的方式被提示。
步驟3控制部30通過(guò)無(wú)線通信部40在無(wú)線終端2側(cè)接收操作人員輸入的操作指令。
步驟4控制部30的數(shù)據(jù)分析部33判斷從無(wú)線終端2接收的操作指令是否是連接切斷指令，如果不是連接切斷指令就進(jìn)入步驟5。是連接切斷指令時(shí)，進(jìn)入步驟8。
步驟5控制部30的數(shù)據(jù)分析部33判斷從無(wú)線終端2接收的操作指令是否是機(jī)構(gòu)部調(diào)整指令，如果是機(jī)構(gòu)部調(diào)整指令就進(jìn)入步驟6。如果不是機(jī)構(gòu)部調(diào)整指令時(shí)，進(jìn)入步驟7。
步驟6控制部30的機(jī)構(gòu)部調(diào)整部35基于從無(wú)線終端2接收的機(jī)構(gòu)部調(diào)整指令調(diào)整機(jī)構(gòu)部50并回到步驟2。具體的調(diào)整例是搬送系統(tǒng)的移動(dòng)等。
步驟7因?yàn)閬?lái)自無(wú)線終端2的操作指令不是機(jī)構(gòu)部調(diào)整指令，所以控制部30實(shí)行對(duì)應(yīng)于該操作指令的適當(dāng)動(dòng)作例如機(jī)構(gòu)部狀態(tài)的通知等，回到步驟2。
步驟8因?yàn)閬?lái)自無(wú)線終端2的操作指令是無(wú)線通信連接的切斷指令，所以無(wú)線通信部40切斷與無(wú)線終端2的無(wú)線通信連接。由此，一系列的機(jī)構(gòu)部調(diào)整處理結(jié)束。
另外，以半導(dǎo)體制造裝置1和無(wú)線終端2之間的無(wú)線通信連接的結(jié)束可從半導(dǎo)體制造裝置1以及無(wú)線終端2兩方指令的方式構(gòu)成。
接著，說(shuō)明將連接狀態(tài)顯示機(jī)能、連接狀態(tài)確認(rèn)機(jī)能以及緊急停止機(jī)能附加到上述本發(fā)明的實(shí)施例1的半導(dǎo)體制造裝置調(diào)整系統(tǒng)上的本發(fā)明的實(shí)施例2的半導(dǎo)體制造裝置調(diào)整系統(tǒng)。
圖3是這樣的本發(fā)明的實(shí)施例2的無(wú)線終端2的構(gòu)成圖。如同圖所示的那樣，無(wú)線終端2具有在與半導(dǎo)體制造裝置1之間進(jìn)行無(wú)線通信的無(wú)線通信部22、和接受來(lái)自操作人員的指示并根據(jù)操作指示對(duì)無(wú)線通信部22發(fā)出無(wú)線通信的連接請(qǐng)求、切斷要求等的連接操作部21。另外，無(wú)線終端2還包括在與半導(dǎo)體制造裝置1之間建立無(wú)線通信連接后、通過(guò)無(wú)線通信部22、將機(jī)構(gòu)部調(diào)整指令發(fā)行到半導(dǎo)體制造裝置1的半導(dǎo)體制造裝置調(diào)整用接口部23。該半導(dǎo)體制造裝置調(diào)整用接口部23具備實(shí)現(xiàn)例如觀察機(jī)能的用戶接口機(jī)能(通常的顯示器viewer)。
另外，無(wú)線終端2還具有在與半導(dǎo)體制造裝置1之間相互地例如以一定間隔通過(guò)無(wú)線通信部22交換用于連接確認(rèn)的信息的連接狀態(tài)確認(rèn)部24、和顯示與半導(dǎo)體制造裝置1進(jìn)行無(wú)線通信連接的連接狀態(tài)顯示部25。
而且，無(wú)線終端2還具備為了確保半導(dǎo)體制造裝置1的動(dòng)作安全、用于通過(guò)無(wú)線終端2側(cè)的狀態(tài)使半導(dǎo)體制造裝置1的機(jī)構(gòu)部50的動(dòng)作緊急停止的緊急停止指令部26。緊急停止指令部26被連接于監(jiān)視-檢測(cè)操作人員手離開(kāi)終端裝置2的狀態(tài)、操作人員緊緊握住終端裝置2的狀態(tài)、終端裝置2的電纜從插口拔出的狀態(tài)等的緊急事態(tài)的傳感器上，響應(yīng)于來(lái)自這些傳感器的檢測(cè)信號(hào)，對(duì)半導(dǎo)體制造裝置1送出緊急停止信號(hào)。緊急停止信號(hào)可以通過(guò)無(wú)線通信部22發(fā)送，但不限定于這樣的實(shí)例，可以利用使緊急停止信號(hào)發(fā)生的公知的各種方法。
另外，緊急停止指令部26使發(fā)生緊急停止信號(hào)的緊急事態(tài)不限定于上述的例子，還考慮到與半導(dǎo)體制造裝置1的連接狀態(tài)確認(rèn)失敗時(shí)、無(wú)線終端2移動(dòng)到半導(dǎo)體制造裝置1的電波范圍以外時(shí)、無(wú)線終端2的電源被切斷時(shí)、按下無(wú)線終端2的緊急停止按鈕時(shí)、在無(wú)線終端2側(cè)解除無(wú)線通信連接時(shí)等的狀況。
圖4是對(duì)應(yīng)于圖3所示的無(wú)線終端2的本發(fā)明的實(shí)施例2的半導(dǎo)體制造裝置的構(gòu)成圖。半導(dǎo)體制造裝置1除有關(guān)本發(fā)明的實(shí)施例1說(shuō)明的無(wú)線通信部40、控制部30以及控制部50以外，還包括連接狀態(tài)確認(rèn)部60、連接狀態(tài)顯示部70以及緊急停止部80。
連接狀態(tài)確認(rèn)部60在與無(wú)線終端2之間相互地例如以一定間隔通過(guò)無(wú)線通信部40交換用于連接確認(rèn)的信息。連接狀態(tài)顯示部70顯示與無(wú)線終端2進(jìn)行無(wú)線通信連接的情況。
另外，緊急停止部80被直接連結(jié)于機(jī)構(gòu)部50上，根據(jù)從無(wú)線終端2送出的緊急停止信號(hào)，立即使機(jī)構(gòu)部50的動(dòng)作停止。
以下，說(shuō)明以本發(fā)明的實(shí)施例1或?qū)嵤├?的半導(dǎo)體制造裝置調(diào)整系統(tǒng)為基礎(chǔ)、在半導(dǎo)體制造裝置1和無(wú)線終端2之間實(shí)現(xiàn)的兩種連接方式。
圖5是本發(fā)明的實(shí)施例3的排他的連接方式的說(shuō)明圖。所謂排他的連接方法是無(wú)線終端2選擇特定的半導(dǎo)體制造裝置1的連接方法。如同圖所示的那樣，半導(dǎo)體制造裝置和無(wú)線終端只能同時(shí)以一對(duì)一的關(guān)系連接。同圖中，←○→的表示表示在半導(dǎo)體制造裝置和無(wú)線終端之間建立(或可以建立)無(wú)線通信連接的狀態(tài)，←×→的表示表示不能建立無(wú)線通信連接。
本例中，因?yàn)榘雽?dǎo)體制造裝置A與無(wú)線終端B連接，所以無(wú)線終端A不能與半導(dǎo)體制造裝置A連接。因?yàn)榻⒘藷o(wú)線終端B與半導(dǎo)體制造裝置A的連接，所以不能與半導(dǎo)體制造裝置B連接。半導(dǎo)體制造裝置C沒(méi)有與無(wú)線終端D和無(wú)線終端E的任一個(gè)連接。
排他的連接方法中，最初通過(guò)無(wú)線終端2側(cè)的操作例如地址指定等指定特定的半導(dǎo)體制造裝置1，接著，通過(guò)半導(dǎo)體制造裝置1側(cè)的操作進(jìn)行被選擇的半導(dǎo)體制造裝置1的確認(rèn)作業(yè)例如ID交換等。于是，正常進(jìn)行該確認(rèn)作業(yè)時(shí)，以后禁止該無(wú)線終端裝置2和其它半導(dǎo)體制造裝置1的無(wú)線通信連接。
圖6是這樣的本發(fā)明的實(shí)施例3的排他的連接處理的流程圖。
步驟21半導(dǎo)體制造裝置1的無(wú)線通信部40接收來(lái)自無(wú)線終端2的裝置連接請(qǐng)求信息。
步驟22無(wú)線通信部40檢驗(yàn)在與其它無(wú)線終端之間無(wú)線通信連接是否已經(jīng)建立。與其它無(wú)線終端之間已經(jīng)建立了連接時(shí)，進(jìn)入步驟26。無(wú)線通信部40建立還沒(méi)有與無(wú)線終端連接時(shí)，進(jìn)入步驟23。
步驟23無(wú)線通信部40在與產(chǎn)生裝置連接請(qǐng)求信息的無(wú)線終端2之間交換相互確認(rèn)信息(例如ID)。
步驟24無(wú)線通信部40判斷與無(wú)線終端2的相互確認(rèn)是否成功。相互確認(rèn)失敗時(shí)，進(jìn)入步驟26。相互確認(rèn)成功時(shí)，進(jìn)入步驟25。
步驟25無(wú)線通信部40與無(wú)線終端2之間建立排他的無(wú)線通信連接。由此，由無(wú)線終端2可以調(diào)整半導(dǎo)體制造裝置1的機(jī)構(gòu)部50。
步驟26由于不能與無(wú)線終端2之間建立排他的無(wú)線通信連接，所以無(wú)線通信部40將裝置連接拒絕信息返信到無(wú)線終端2。
來(lái)自無(wú)線終端2的操作結(jié)束后，可以在無(wú)線終端2側(cè)或半導(dǎo)體制造裝置1側(cè)切斷(解除)兩者間的無(wú)線通信連接。
本發(fā)明的實(shí)施例3的排他連接處理以以上的次序進(jìn)行。這樣的排他的連接方法特別在機(jī)構(gòu)部50的示教等調(diào)整作業(yè)上是有效的。
圖7是本發(fā)明的實(shí)施例4的小組連接方式的說(shuō)明圖。所謂的小組方法是無(wú)線終端2相對(duì)于預(yù)先小組化的半導(dǎo)體制造裝置群建立同時(shí)無(wú)線通信連接的連接方法。如同圖所示的那樣，無(wú)線終端和半導(dǎo)體制造裝置同時(shí)以一對(duì)多的關(guān)系連接。同圖中，←○→的表示表示在半導(dǎo)體制造裝置和無(wú)線終端之間建立(或可以建立)無(wú)線通信連接的狀態(tài)，←×→的表示表示不能建立無(wú)線通信連接。
本例中，半導(dǎo)體制造裝置A、半導(dǎo)體制造裝置B以及半導(dǎo)體制造C預(yù)先分入到同一小組中，半導(dǎo)體制造裝置D不包括在該小組內(nèi)。因此，無(wú)線終端B與小組內(nèi)的半導(dǎo)體制造裝置A、半導(dǎo)體制造裝置B以及半導(dǎo)體制造裝置C建立無(wú)線通信連接，不能在與半導(dǎo)體制造裝置D之間建立無(wú)線通信連接。另外，其它無(wú)線終端B以及無(wú)線終端C不可與在與無(wú)線終端A之間已經(jīng)建立了無(wú)線通信連接的小組內(nèi)的半導(dǎo)體制造裝置A、B以及C重復(fù)建立無(wú)線通信連接。
本發(fā)明的實(shí)施例4的小組連接方式中，如上述的那樣，從無(wú)線終端對(duì)預(yù)先小組化的半導(dǎo)體制造裝置群進(jìn)行連接請(qǐng)求。于是，在一臺(tái)無(wú)線終端和與半導(dǎo)體制造裝置群之間建立無(wú)線通信連接時(shí)，從無(wú)線終端對(duì)半導(dǎo)體制造裝置群可以統(tǒng)一指令進(jìn)行同一操作。無(wú)線終端側(cè)顯示了小組連接中的半導(dǎo)體制造裝置群的一系列。另外，小組連接中的各半導(dǎo)體制造裝置也能表示小組正在連接中。
小組連接的解除可以在各半導(dǎo)體制造裝置側(cè)分別進(jìn)行。另外，無(wú)線終端也可以統(tǒng)一解除小組連接。
圖8是這樣的本發(fā)明的實(shí)施例4的小組連接處理的流程圖。
步驟41定義半導(dǎo)體制造裝置的群并登錄無(wú)線終端以及小組內(nèi)的各半導(dǎo)體制造裝置。
步驟42將裝置連接請(qǐng)求從無(wú)線終端發(fā)送到小組內(nèi)的半導(dǎo)體制造裝置。
步驟43在無(wú)線終端和小組內(nèi)的半導(dǎo)體制造裝置之間實(shí)行無(wú)線通信連接的建立處理。
步驟44判斷所有的無(wú)線通信連接是否建立。建立時(shí)進(jìn)入步驟45，不建立時(shí)進(jìn)入步驟47。
步驟45在無(wú)線終端側(cè)顯示小組連接中的半導(dǎo)體制造裝置的一系列。
步驟46設(shè)定小組內(nèi)各半導(dǎo)體制造裝置的可以統(tǒng)一操作模式，在各半導(dǎo)體制造裝置側(cè)顯示處于小組連接中的旨意。
步驟47因?yàn)榇嬖谥荒芙o(wú)線通信連接的半導(dǎo)體制造裝置，所以無(wú)線終端解除了與小組內(nèi)的所有半導(dǎo)體制造裝置的無(wú)線通信連接。
本發(fā)明的實(shí)施例4的小組連接處理以以上的次序進(jìn)行。這樣的小級(jí)連接方法特別對(duì)多臺(tái)半導(dǎo)體制造裝置的機(jī)構(gòu)部50在設(shè)定相同參數(shù)等的調(diào)整作業(yè)上是有效的。
另外，上述的步驟47中，雖然解除了無(wú)線終端與小組內(nèi)所有的半導(dǎo)體制造裝置的無(wú)線通信連接，但構(gòu)成也可以是只對(duì)可建立無(wú)線通信連接的半導(dǎo)體制造裝置設(shè)定統(tǒng)一操作可能模式。
本發(fā)明的上述實(shí)施例利用了基于藍(lán)牙的無(wú)線通信技術(shù)，所以如果將無(wú)線終端設(shè)置在半導(dǎo)體制造裝置的附近(10m以內(nèi))就可以在任何地方使用。由此，可以最低限度地抑制無(wú)線終端的必要臺(tái)數(shù)，不受無(wú)線終端的使用場(chǎng)所或連接接頭的場(chǎng)所的限制，與使用無(wú)線終端的調(diào)整作業(yè)的效率提高有關(guān)。因?yàn)樗{(lán)牙具有電波弱(微弱電波覆蓋在10m以內(nèi))、沒(méi)有干涉(抗雜音干涉強(qiáng))這樣的特性，所以優(yōu)選用于實(shí)施本發(fā)明。
另外，作為無(wú)線通信技術(shù)來(lái)說(shuō)，除基于作為10m左右的近距離無(wú)線通信的接口規(guī)格的藍(lán)牙的通信機(jī)能以外，可以使用用電波或光等無(wú)線進(jìn)行通信的無(wú)線LAN。也可以利用基于PHS方式的通信。本發(fā)明并不因利用的無(wú)線通信技術(shù)的類別而受限制。
另外，作為終端裝置來(lái)說(shuō)，可以利用具有基于藍(lán)牙的通信機(jī)能的PDA終端或PHS終端。本發(fā)明不因終端裝置的類別而受限制。
而且，上述實(shí)施例說(shuō)明了有關(guān)半導(dǎo)體制造裝置，但本發(fā)明的裝置并不限定于半導(dǎo)體制造裝置，只要是具備機(jī)構(gòu)部和調(diào)整機(jī)構(gòu)部的控制部的裝置，即使是其他樣的裝置也沒(méi)關(guān)系。
利用上述本發(fā)明的實(shí)施例的半導(dǎo)體制造裝置調(diào)整系統(tǒng)的裝置調(diào)整方法可以用軟件(程序)構(gòu)筑，通過(guò)利用計(jì)算機(jī)的CPU執(zhí)行該程序可以實(shí)現(xiàn)利用本發(fā)明的實(shí)施例的裝置調(diào)整方法。所構(gòu)筑的程序記錄于磁盤(pán)裝置等中并根據(jù)必要安裝于計(jì)算機(jī)上、存儲(chǔ)于軟盤(pán)、存儲(chǔ)器插板、CD-ROM等可記錄媒體上并根據(jù)必要安裝于計(jì)算機(jī)上或通過(guò)通信電線等安裝于計(jì)算機(jī)上并通過(guò)計(jì)算機(jī)的CPU實(shí)行。
如以上說(shuō)明的那樣，只要利用本發(fā)明的各種實(shí)施例，不需要在每個(gè)裝置上設(shè)置終端裝置、不需要在每個(gè)裝置上設(shè)計(jì)用于轉(zhuǎn)換式地連接一臺(tái)共用終端裝置的連接接頭，就可以從終端裝置操作裝置的機(jī)構(gòu)部。
以上說(shuō)明了本發(fā)明的代表實(shí)施例，但本發(fā)明并不限定于上述的實(shí)施例，在權(quán)利要求的范圍內(nèi)可以進(jìn)行各種變更、應(yīng)用。
權(quán)利要求
1.一種基于無(wú)線通信可調(diào)整的裝置，其特征在于，具有可調(diào)整的機(jī)構(gòu)部；和連接于所述機(jī)構(gòu)部并調(diào)整所述機(jī)構(gòu)部的控制組件，還具有連接于所述控制組件、在與終端之間建立無(wú)線通信連接并在與終端之間收發(fā)數(shù)據(jù)的無(wú)線通信單元，所述控制組件包括作成向終端發(fā)送的數(shù)據(jù)的單元；分析從終端所接收的數(shù)據(jù)的單元；和基于所分析的數(shù)據(jù)調(diào)整所述機(jī)構(gòu)部的單元。
2.如權(quán)利要求1所述的基于無(wú)線通信可調(diào)整的裝置，其特征在于所述無(wú)線通信單元構(gòu)成為，在與終端之間已經(jīng)建立了無(wú)線通信連接時(shí)，拒絕來(lái)自其它終端的無(wú)線通信連接的請(qǐng)求。
3.如權(quán)利要求1或2所述的基于無(wú)線通信可調(diào)整的裝置，其特征在于，還具有確認(rèn)在與終端之間所建立的無(wú)線通信連接狀態(tài)的單元；和顯示無(wú)線通信連接狀態(tài)的單元。
4.如權(quán)利要求1～3之一所述的基于無(wú)線通信可調(diào)整的裝置，其特征在于還具有接受來(lái)自建立了無(wú)線通信連接的對(duì)方側(cè)的終端的緊急停止指令信號(hào)并使所述機(jī)構(gòu)部緊急停止的單元。
5.一種裝置調(diào)整系統(tǒng)，包括含有可調(diào)整的機(jī)構(gòu)部以及調(diào)整所述機(jī)構(gòu)部的控制部的裝置；和送出調(diào)整所述裝置的所述機(jī)構(gòu)部的指令的終端，其特征在于，所述裝置還具有連接于所述控制組件、在與終端之間建立無(wú)線通信連接并在與終端之間收發(fā)數(shù)據(jù)的無(wú)線通信單元，所述控制組件包括作成向終端發(fā)送的數(shù)據(jù)的單元；分析從終端所接收的數(shù)據(jù)的單元；和基于分析的數(shù)據(jù)調(diào)整所述機(jī)構(gòu)部的單元，所述終端具有在與所述裝置之間進(jìn)行無(wú)線通信的無(wú)線通信單元；和顯示來(lái)自所述裝置的數(shù)據(jù)并將數(shù)據(jù)輸入到所述裝置的接口單元。
6.如權(quán)利要求5所述的裝置調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于所述裝置的所述無(wú)線通信單元構(gòu)成為，在與終端之間已經(jīng)建立了無(wú)線通信連接時(shí)，拒絕來(lái)自其它終端的無(wú)線通信連接的請(qǐng)求。
7.如權(quán)利要求5或6所述的裝置調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于所述終端的所述無(wú)線通信單元構(gòu)成為，同時(shí)在與多臺(tái)裝置之間建立無(wú)線通信連接并在與多臺(tái)裝置之間進(jìn)行無(wú)線通信。
8.如權(quán)利要求5～7之一所述的裝置調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于還具有確認(rèn)在所述裝置和所述終端之間所建立的無(wú)線通信狀態(tài)的單元；和顯示所述裝置和所述終端之間的無(wú)線通信連接的狀態(tài)的單元。
9.如權(quán)利要求5～8之一所述的裝置調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于所述終端還具有監(jiān)視在所述終端是否發(fā)生應(yīng)使被無(wú)線通信連接的對(duì)方側(cè)的裝置的機(jī)構(gòu)部緊急停止的狀況的單元；和檢測(cè)出出現(xiàn)應(yīng)緊急停止的狀況時(shí)，向所述裝置發(fā)送使所述裝置的控制部緊急停止的緊急停止指令信號(hào)的單元，所述裝置還具有接受來(lái)自建立了無(wú)線通信連接的所述終端的所述緊急停止指令信號(hào)并使所述機(jī)構(gòu)部緊急停止的單元。
10.一種裝置調(diào)整方法，從終端調(diào)整具有可調(diào)整的機(jī)構(gòu)部的裝置的所述機(jī)構(gòu)部，其特征在于，該裝置調(diào)整方法包括將無(wú)線通信連接請(qǐng)求信息從所述終端發(fā)送到所述裝置的工序；將無(wú)線通信連接確認(rèn)信息從所述裝置發(fā)送到所述終端的工序；在所述終端和所述裝置之間以一對(duì)一的對(duì)應(yīng)關(guān)系建立無(wú)線通信連接的工序；將所述裝置的所述機(jī)構(gòu)部的調(diào)整指令信息從所述終端發(fā)送到所述裝置的工序；和在所述裝置中基于所述調(diào)整指令信息調(diào)整所述機(jī)構(gòu)部的工序。
11.一種裝置調(diào)整方法，從終端調(diào)整具有可調(diào)整的機(jī)構(gòu)部的裝置的所述機(jī)構(gòu)部，其特征在于，該裝置調(diào)整方法包括確定由多臺(tái)裝置構(gòu)成的裝置小組的工序；將無(wú)線通信連接請(qǐng)求信息從所述終端發(fā)送到所述裝置小組的所述多臺(tái)裝置的工序；將無(wú)線通信連接確認(rèn)信息從所述裝置小組中的裝置發(fā)送到所述終端的工序；在所述終端和發(fā)送了所述無(wú)線通信連接確認(rèn)信息的所述裝置之間以一對(duì)多的對(duì)應(yīng)關(guān)系建立無(wú)線通信連接的工序；將該裝置的所述機(jī)構(gòu)部的調(diào)整指令信息從所述終端發(fā)送到建立了無(wú)線通信連接的所述裝置的工序；和在接受了所述調(diào)整指令信息的所述裝置中，基于所述調(diào)整指令調(diào)整所述機(jī)構(gòu)部的工序。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種不在每個(gè)裝置上設(shè)置終端裝置或不在每個(gè)裝置上設(shè)置用于轉(zhuǎn)換式地連接一臺(tái)共用終端裝置的連接接頭，從終端裝置就能操作裝置的機(jī)構(gòu)部的裝置調(diào)整系統(tǒng)。本發(fā)明的裝置具有可調(diào)整的機(jī)構(gòu)部(50)、調(diào)整機(jī)構(gòu)部的控制部(30)和在與終端(2)之間建立無(wú)線通信連接并在與終端之間收發(fā)數(shù)據(jù)的無(wú)線通信部(40)，控制部(30)包括發(fā)送到終端的數(shù)據(jù)的作成部(31)、從終端所接收的數(shù)據(jù)的分析部(33)以及基于分析的數(shù)據(jù)調(diào)整機(jī)構(gòu)部的調(diào)整部(35)。
文檔編號(hào)G08C17/02GK1643653SQ03805759
公開(kāi)日2005年7月20日 申請(qǐng)日期2003年3月4日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月12日
發(fā)明者千葉充 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社