專利名稱：一種擴(kuò)散爐有害氣體監(jiān)護(hù)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及用于半導(dǎo)體工藝的擴(kuò)散爐，尤其是涉及擴(kuò)散爐有害氣體監(jiān)護(hù)裝置。
背景技術(shù)：
擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體工藝的一種重要設(shè)備，主要用于摻雜工藝，特別在晶體硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)中，擴(kuò)散爐是唯一的摻雜設(shè)備，是制造工藝中對(duì)PN結(jié)的生成、轉(zhuǎn)換效率的提高起決定性的關(guān)鍵設(shè)備?，F(xiàn)在的擴(kuò)散爐大多做磷擴(kuò)散，把N2通入到源瓶中，鼓泡攜帶源瓶中的POCl3 (三氯氧磷)進(jìn)入工藝管中，高溫狀態(tài)裂變產(chǎn)生磷。為了很好地控制隊(duì)攜帶POCl3W量，通常把裝載POCl3的源瓶置放在恒溫水槽中，源瓶一般由石英、PTFE或PDF材料制作。在搬運(yùn)過(guò)程中， 石英源瓶若有碰撞，磕碰等易產(chǎn)生隱裂等損傷而使POCl3泄漏。即使是PTFE或PDF材料制作的源瓶也有可能因?yàn)槿藛T操作不當(dāng)?shù)仍蚨斐蒔OCl3外泄。液態(tài)的POCl3遇水蒸氣分解成磷酸與氯化氫，氯化氫對(duì)皮膚粘膜有刺激和燒灼作用，磷酸可致磷中毒。短期內(nèi)吸入大量蒸氣，可引起上呼吸道刺激癥狀，嚴(yán)重者可發(fā)生肺水腫，心力衰竭等。此外，在工藝結(jié)束卸載硅片時(shí)，硅片及承載硅片的石英舟上會(huì)殘留有擴(kuò)散工藝氣體、產(chǎn)生的廢氣等。這些殘留氣體(P2O5)和廢氣(Cl2)若遇到溫度較低的冷空氣，其中的水就會(huì)與P2O5結(jié)合生成偏磷酸、與 Cl2結(jié)合生成鹽酸，偏磷酸為有毒物品，鹽酸具有腐蝕性。而擴(kuò)散爐一般裝在密封廠房中，一旦發(fā)生POCl3泄漏或者工藝廢氣未能集中收集起來(lái)及時(shí)排出，將嚴(yán)重危害操作人員，損傷設(shè)備、儀器和廠房等。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型為了解決擴(kuò)散爐有害氣體泄露對(duì)人員、設(shè)備等造成損害的技術(shù)問(wèn)題， 提供了一種擴(kuò)散爐有害氣體監(jiān)測(cè)裝置。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為設(shè)計(jì)一種擴(kuò)散爐有害氣體監(jiān)測(cè)裝置，所述擴(kuò)散爐有害氣體監(jiān)測(cè)裝置包括一收集有害氣體的探頭，所述探頭通過(guò)一氣管連接有一監(jiān)測(cè)有害氣體泄露量的監(jiān)測(cè)器，所述監(jiān)測(cè)器連接有一報(bào)警器；當(dāng)監(jiān)測(cè)器監(jiān)測(cè)到探頭收集的有害氣體泄露量超過(guò)設(shè)定值時(shí)，監(jiān)測(cè)器向報(bào)警器發(fā)送一報(bào)警信號(hào)，所述報(bào)警器接到所述報(bào)警信號(hào)后報(bào)警。所述監(jiān)測(cè)器為三氯氧磷監(jiān)測(cè)器、偏磷酸監(jiān)測(cè)器或鹽酸監(jiān)測(cè)器。所述報(bào)警器包括一報(bào)警燈和蜂鳴器。所述氣管由PFA材料制成。本實(shí)用新型擴(kuò)散爐有害氣體監(jiān)測(cè)裝置通過(guò)設(shè)置一探頭收集有害氣體，并通過(guò)氣管將有害氣體送到監(jiān)測(cè)器，當(dāng)監(jiān)測(cè)器監(jiān)測(cè)到有害氣體泄露量超過(guò)設(shè)定值時(shí)，監(jiān)測(cè)器向報(bào)警器發(fā)送報(bào)警信號(hào)驅(qū)動(dòng)報(bào)警器報(bào)警。從而使有害氣體泄漏事故能得到及時(shí)控制，保護(hù)了操作人員以及設(shè)備和廠房設(shè)施的安全，可以有效地預(yù)防由于有害氣體泄漏而造成安全事故的發(fā)生，大大地消除了危害隱患。
下面結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，其中圖1是本實(shí)用新型擴(kuò)散爐有害氣體監(jiān)測(cè)裝置的構(gòu)成示意圖。
具體實(shí)施方式
請(qǐng)參見(jiàn)圖1。本實(shí)用新型擴(kuò)散爐有害氣體監(jiān)測(cè)裝置包括一探頭1、氣管2、監(jiān)測(cè)器3 和報(bào)警器4。其中探頭1用于收集有害氣體，其置于有害氣體可能泄露的場(chǎng)所，以在有害氣體泄露時(shí)即將有害氣體收集起來(lái)通過(guò)氣管傳送到監(jiān)測(cè)器3。氣管2 —端連接探頭，另一端與監(jiān)測(cè)器3相連，以將探頭1收集的氣體傳送到監(jiān)測(cè)器3。由于需要置于有腐蝕性的場(chǎng)所，所以，氣管的材料應(yīng)具有很好的防腐蝕性能。由于 PFA(Polyfluoroalkoxy,可溶性聚四氟乙烯)具有卓越的耐化學(xué)腐蝕性，對(duì)所有化學(xué)品都耐腐蝕。因此本具體實(shí)施例優(yōu)選使用PFA制作氣管。監(jiān)測(cè)器3監(jiān)測(cè)氣管傳送過(guò)來(lái)的由探頭收集的有害氣體，當(dāng)監(jiān)測(cè)到有害氣體泄露量超過(guò)設(shè)定值時(shí)，監(jiān)測(cè)器向報(bào)警器發(fā)送一報(bào)警信號(hào)。報(bào)警器4與監(jiān)測(cè)器3連接并接收從報(bào)警器信號(hào)傳送過(guò)來(lái)的報(bào)警信號(hào)后報(bào)警。報(bào)警器可以為一報(bào)警燈、一蜂鳴器或兩者的組合。本實(shí)用新型工作原理如下探頭安裝在有害氣體可能泄露的場(chǎng)所5的周圍，并且時(shí)刻收集該處的氣體。一旦發(fā)生有害氣體泄露，探頭便能及時(shí)收集有害氣體并通過(guò)氣管送到監(jiān)測(cè)器監(jiān)測(cè)有害氣體的泄露量，當(dāng)監(jiān)測(cè)器監(jiān)測(cè)到有害氣體的泄露量超過(guò)設(shè)定值時(shí)，監(jiān)測(cè)器向報(bào)警器發(fā)送一報(bào)警信號(hào)，報(bào)警器根據(jù)接收到的報(bào)警信號(hào)報(bào)警，以通知操作人員疏散并進(jìn)行應(yīng)急處理。在實(shí)際使用時(shí)，可以在擴(kuò)散爐所在的封閉廠房中設(shè)置若干有害氣體監(jiān)測(cè)裝置以監(jiān)測(cè)不同的有害氣體。如在裝載POCI3的源瓶附近安裝探頭以收集泄露的POCI3S后通過(guò) POCl3監(jiān)測(cè)器監(jiān)測(cè)POCl3的泄露量；而在工藝廢棄回收裝置可能發(fā)生偏磷酸和鹽酸泄漏的位置處則使用偏磷酸和鹽酸監(jiān)測(cè)器來(lái)監(jiān)測(cè)偏磷酸和鹽酸的泄露量。本擴(kuò)散爐有害氣體監(jiān)測(cè)裝置對(duì)有害氣體保持時(shí)刻的監(jiān)測(cè)，且可以自由設(shè)定監(jiān)測(cè)器的報(bào)警點(diǎn)，一旦發(fā)生有害氣體泄漏，報(bào)警器及時(shí)發(fā)出警報(bào)。從而使有害氣體泄漏事故能得到及時(shí)控制，保護(hù)了操作人員以及設(shè)備和廠房設(shè)施的安全，從而可以有效地預(yù)防由于有害氣體泄漏而造成安全事故的發(fā)生，大大地消除了危害隱患。
權(quán)利要求1.一種擴(kuò)散爐有害氣體監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于所述擴(kuò)散爐有害氣體監(jiān)測(cè)裝置包括一收集有害氣體的探頭，所述探頭通過(guò)一氣管連接有一監(jiān)測(cè)有害氣體泄露量的監(jiān)測(cè)器，所述監(jiān)測(cè)器連接有一報(bào)警器；當(dāng)監(jiān)測(cè)器監(jiān)測(cè)到探頭收集的有害氣體泄露量超過(guò)設(shè)定值時(shí)，監(jiān)測(cè)器向報(bào)警器發(fā)送一報(bào)警信號(hào)，所述報(bào)警器接到所述報(bào)警信號(hào)后報(bào)警。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐有害氣體監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于所述監(jiān)測(cè)器為三氯氧磷監(jiān)測(cè)器、偏磷酸監(jiān)測(cè)器或鹽酸監(jiān)測(cè)器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐有害氣體監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于所述報(bào)警器包括一報(bào)警燈和蜂鳴器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐有害氣體監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于所述氣管由PFA材料制成。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)一種擴(kuò)散爐有害氣體監(jiān)測(cè)裝置，所述擴(kuò)散爐有害氣體監(jiān)測(cè)裝置包括一收集有害氣體的探頭，所述探頭通過(guò)一氣管連接有一監(jiān)測(cè)有害氣體泄漏量的監(jiān)測(cè)器，所述監(jiān)測(cè)器連接有一報(bào)警器；當(dāng)監(jiān)測(cè)器監(jiān)測(cè)到探頭收集的有害氣體泄漏量超過(guò)設(shè)定值時(shí)，監(jiān)測(cè)器向報(bào)警器發(fā)送一報(bào)警信號(hào)，所述報(bào)警器接到所述報(bào)警信號(hào)后報(bào)警。本實(shí)用新型擴(kuò)散爐有害氣體監(jiān)測(cè)裝置用于擴(kuò)散工藝場(chǎng)所的有害氣體監(jiān)測(cè)。
文檔編號(hào)G08B21/14GK201946090SQ201020605670
公開(kāi)日2011年8月24日 申請(qǐng)日期2010年11月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月12日
發(fā)明者伍波, 張勇, 李果山 申請(qǐng)人:深圳市捷佳偉創(chuàng)微電子設(shè)備有限公司