專利名稱：一種用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種半導(dǎo)體制程設(shè)備，特別是涉及一種用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
化學(xué)電鍍是半導(dǎo)體制程中一個非常重要的制程，幾乎每一個半導(dǎo)體器件都需要進(jìn)行若干次的化學(xué)電鍍，因此，保證化學(xué)電鍍制程的穩(wěn)定性對半導(dǎo)體生產(chǎn)至關(guān)重要。在化學(xué)電鍍的過程中，一般是將器件置于化學(xué)電鍍機(jī)臺上進(jìn)行，因此必須保證化學(xué)電鍍機(jī)臺的正常運(yùn)行。但是，一般的化學(xué)電鍍過程中難以避免的有微量或大量的化學(xué)溶劑的泄漏，因此，通常會在化學(xué)機(jī)臺上的多個易泄漏區(qū)域安裝泄漏傳感器，以盡量減少化學(xué)電鍍機(jī)泄漏的潛在風(fēng)險。現(xiàn)有的一種化學(xué)溶劑泄漏探測系統(tǒng)，是在化學(xué)電鍍機(jī)每一個制程室的底部設(shè)置一承載化學(xué)溶劑泄漏的制程室底盤，于該制程室底盤底部裝置一化學(xué)探測器，如圖1所示，只要當(dāng)該化學(xué)探測器探測到微量化學(xué)溶劑泄漏，就會通過緊急停機(jī)系統(tǒng)將整臺化學(xué)電鍍機(jī)進(jìn)行停機(jī)處理，此時，一般需要要求機(jī)器管理人員作出非常迅速而準(zhǔn)確的判斷及處理，然而，機(jī)器管理人員必須通過其他的探測途徑尋找出泄漏的點，因而會浪費更多的時間對該泄漏事件進(jìn)行處理，并需要更多的時間來處理的受泄漏影響晶圓，所有的晶片將嚴(yán)重影響的或報廢，不利于生產(chǎn)效率的提高和成本的降低。實際上，微量的化學(xué)泄漏并不一定會對晶圓造成巨大的影響，因此，這種化學(xué)泄漏探測系統(tǒng)往往會造成較大的浪費，增加生產(chǎn)成本。因此，提供一種合適的化學(xué)泄漏報警系統(tǒng)實屬必要。

實用新型內(nèi)容鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本實用新型的目的在于提供一種用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中對不同的化學(xué)溶劑泄露量進(jìn)行相同的操作而導(dǎo)致生產(chǎn)效率降低、浪費、成本過高等的問題。為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實用新型提供一種用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)，所述化學(xué)電鍍機(jī)臺包括多個制程室，各該制程室下方設(shè)置有用于承載化學(xué)溶劑泄漏的制程室底盤，所述化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)至少包括多個第一探測器，分別裝設(shè)于各該制程室底盤的內(nèi)底面，用于在探測到微量化學(xué)溶劑泄漏時發(fā)送第一信號；多個第二探測器，分別裝設(shè)于與各該制程室底盤的內(nèi)底面具有預(yù)設(shè)高度的位置，用于在探測到大量化學(xué)溶劑泄漏時發(fā)送第二信號；控制面板，連接于各該第一探測器，用于在接收到第一信號時指示出與該第一信號對應(yīng)的泄漏點并進(jìn)行報警；緊急開關(guān)裝置，連接于各該第二探測器，用于在接收到第二信號時對所述化學(xué)電鍍機(jī)臺進(jìn)行緊急停機(jī)操作。[0012]作為本實用新型的用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，所述第二探測器設(shè)置于所述制程室底盤的側(cè)壁，且與所述制程室底盤的內(nèi)底面具有預(yù)設(shè)高度。作為本實用新型的用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，所述控制面板包括一控制電路及一顯示面板，所述控制電路連接于各該第一探測器，用于在接收到所述第一信號時發(fā)送報警信號，所述顯示面板用于在接收到報警信號時指示該報警信號對應(yīng)的泄漏點。進(jìn)一步地，所述顯示面板具有與各該第一探測器對應(yīng)的多個指示燈，所述指示燈點亮?xí)r表示有化學(xué)溶劑泄漏。更進(jìn)一步地，所述控制面板還具有與每個指示燈對應(yīng)的復(fù)位鍵，用于在泄漏處理完畢后對對應(yīng)的指示燈進(jìn)行復(fù)位。作為本實用新型的用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，所述控制面板還連接有一報警裝置，所述報警裝置包括一紅燈及一綠燈，所述紅燈在任一第一探測器探測到化學(xué)溶劑泄漏時點亮顯示報警，所述綠燈點亮?xí)r表示化學(xué)電鍍機(jī)臺正常運(yùn)行。進(jìn)一步地，所述報警裝置還包括一報警器，用于在紅燈亮?xí)r發(fā)出聲音警報。如上所述，本實用新型提供一種用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)，包括分別裝設(shè)于各制程室底盤的內(nèi)底面，用于在探測到微量化學(xué)溶劑泄漏時發(fā)送第一信號的多個第一探測器；分別裝設(shè)于與各制程室底盤的內(nèi)底面具有預(yù)設(shè)高度的位置，用于在探測到大量化學(xué)溶劑泄漏時 發(fā)送第二信號的多個第二探測器；連接于各該第一探測器，用于在接收到第一信號時指示出與該第一信號對應(yīng)的泄漏點并進(jìn)行報警的控制面板；以及連接于各該第二探測器，用于在接收到第二信號時對所述化學(xué)電鍍機(jī)臺進(jìn)行緊急停機(jī)操作的緊急開關(guān)裝置。本實用新型在檢測到微量化學(xué)泄漏時可以指示出泄露點并進(jìn)行報警，檢測到大量的化學(xué)泄露時進(jìn)行停機(jī)操作，可以大大地降低由于不必要的停機(jī)而導(dǎo)致晶圓的浪費，節(jié)約人力，避免浪費，有利于生產(chǎn)效率的提高和生產(chǎn)成本的降低。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，實用性強(qiáng)，適用于工業(yè)檢測。

圖1顯示為現(xiàn)有技術(shù)中的化學(xué)溶劑泄漏探測裝置的探測器裝設(shè)位置示意圖。圖2顯示為本實用新型的用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)的探測器裝設(shè)位置圖。圖3顯示為本實用新型的用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。元件標(biāo)號說明101第一探測器102第二探測器103制程室底盤104控制面板105指示燈[0028]106復(fù)位鍵107報警裝置108綠燈109紅燈110報警器
具體實施方式
以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點及功效。請參閱圖2至圖3。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術(shù)上的實質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等 的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實用新型可實施的范疇。圖2顯示為本實施例中的用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)的探測器裝設(shè)位置圖，圖3顯示為本實施例中的用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2 圖3所示，本實施例提供一種用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)，所述化學(xué)電鍍機(jī)臺包括多個制程室，各該制程室下方設(shè)置有用于承載化學(xué)溶劑泄漏的制程室底盤103，所述化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)至少包括多個第一探測器101，分別裝設(shè)于各該制程室底盤103的內(nèi)底面，用于在探測到微量化學(xué)溶劑泄漏時發(fā)送第一信號；多個第二探測器102，分別裝設(shè)于與各該制程室底盤103的內(nèi)底面具有預(yù)設(shè)高度的位置，用于在探測到大量化學(xué)溶劑泄漏時發(fā)送第二信號；控制面板104，連接于各該第一探測器101，用于在接收到第一信號時指示出與該第一信號對應(yīng)的泄漏點并進(jìn)行報警；緊急開關(guān)裝置，連接于各該第二探測器102，用于在接收到第二信號時對所述化學(xué)電鍍機(jī)臺進(jìn)行緊急停機(jī)操作。所述化學(xué)電鍍機(jī)臺一般包括多個制程室，不同的制程室可以進(jìn)行不同的或相同的制程操作，本實施例中的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)可以對其中的任意一個或多個制程室進(jìn)行實時探測。如圖2所示，所述制程室底盤103用于承載化學(xué)溶劑泄漏，其具有底部及側(cè)壁，其形狀依據(jù)所述制程室的設(shè)計而定。所述第一探測器101及第二探測器102為化學(xué)探測器，可對預(yù)設(shè)的化學(xué)溶劑進(jìn)行探測，并發(fā)送信號。所述第一探測器101，裝設(shè)于各該制程室底盤103的內(nèi)底面，因此只要有輕微的化學(xué)泄漏，所述第一探測器101就能探測到該泄漏。所述第二探測器102設(shè)置于所述制程室底盤103的側(cè)壁，且與所述制程室底盤103的內(nèi)底面具有預(yù)設(shè)高度，此處的預(yù)設(shè)高度可根據(jù)所需的緊急停機(jī)泄漏量進(jìn)行確定。由于其離底面具有預(yù)設(shè)的高度，故在微量化學(xué)泄漏時，該第二探測器102不能探測到此微量化學(xué)泄漏，但當(dāng)化學(xué)泄漏足夠大時，泄漏的溶劑達(dá)到了預(yù)設(shè)高度，所述第二探測器102便能探測到此化學(xué)泄漏。如圖3所示,所述控制面板104包括一控制電路及一顯示面板,所述控制電路具有多個輸入端，如圖中的1、2、3、4……N所示，所述控制電路的各該輸入端連接于對應(yīng)的各該第一探測器101，用于在接收到所述第一探測器101發(fā)出的第一信號時發(fā)送報警信號，所述顯示面板用于在接收到報警信號時指示該報警信號對應(yīng)的泄漏點。在本實施例中，所述顯示面板具有與各該第一探測器101對應(yīng)的多個指示燈105，所述指示燈105點亮?xí)r表示有化學(xué)溶劑泄漏。所述控制面板104還具有與每個指示燈105對應(yīng)的復(fù)位鍵106，用于在泄漏處理完畢后對對應(yīng)的指示燈105進(jìn)行復(fù)位。為了能更加方便地使化學(xué)泄漏報警引起管理人員的注意，所述控制面板104還連接有一報警裝置107，所述報警裝置107包括一紅燈109及一綠燈108，所述紅燈109在任一第一探測器101探測到化學(xué)溶劑泄漏時點亮顯示報警，所述綠燈108點亮?xí)r表示化學(xué)電鍍機(jī)臺正常運(yùn)行。進(jìn)一步地，所述報警裝置107還包括一報警器110，用于在紅燈亮?xí)r發(fā)出警報。當(dāng)紅燈109亮?xí)r，所述報警器110發(fā)出聲音警報，管理人員只需通過控制面板104上的指示便能確定泄漏點位于哪個制程室，因此可以迅速地做出處理，大大地提高了維護(hù)的效率。所述緊急開關(guān)裝置同時連接所述第二探測器102及所述化學(xué)電鍍機(jī)臺的開關(guān)，當(dāng)所述第二探測器102探測到化學(xué)泄漏時發(fā)送第二信號，此時可以確定該泄漏為大量的化學(xué)泄漏，所述緊急開關(guān)裝置便會強(qiáng)制將所述化學(xué)電鍍機(jī)臺進(jìn)行停機(jī)操作，以避免更多不必要的損失。同時，與該第二探測器102處于同一制程室底盤103的所述第一探測器101也必然會探測到該泄漏，并通過所述控制面板104指示出其對應(yīng)的位置，可以有助于管理人員準(zhǔn)確快速地進(jìn)行維修。綜上所述，本實用新型提供一種用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)，包括分別裝設(shè)于各制程室底盤的內(nèi)底面，用于在探測到微量化學(xué)溶劑泄漏時發(fā)送第一信號的多個第一探測器；分別裝設(shè)于與各制程室底盤的內(nèi)底面具有預(yù)設(shè)高度的位置，用于在探測到大量化學(xué)溶劑泄漏時發(fā)送第二信號的多個第二探測器；連接于各該第一探測器，用于在接收到第一信號時指示出與該第一信號對應(yīng)的泄漏點并進(jìn)行報警的控制面板；以及連接于各該第二探測器，用于在接收到第二信號時對所述化學(xué)電鍍機(jī)臺進(jìn)行緊急停機(jī)操作的緊急開關(guān)裝置。本實用新型在檢測到微量化學(xué)泄漏時可以指示出泄露點并進(jìn)行報警，檢測到大量的化學(xué)泄露時進(jìn)行停機(jī)操作，可以大大地降低由于不必要的停機(jī)而導(dǎo)致晶圓的浪費，節(jié)約人力，避免浪費，有利于生產(chǎn)效率的提高和生產(chǎn)成本的降低。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，實用性強(qiáng)，適用于工業(yè)檢測。所以，本實用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點而具高度產(chǎn)業(yè)利用價值。上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬技 術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
權(quán)利要求1.一種用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)，所述化學(xué)電鍍機(jī)臺包括多個制程室，各該制程室下方具有用于承載化學(xué)溶劑泄漏的底盤，其特征在于，所述化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)至少包括 多個第一探測器，分別裝設(shè)于各該制程室底盤的內(nèi)底面，用于在探測到微量化學(xué)溶劑泄漏時發(fā)送第一信號； 多個第二探測器，分別裝設(shè)于與各該制程室底盤的內(nèi)底面具有預(yù)設(shè)高度的位置，用于在探測到大量化學(xué)溶劑泄漏時發(fā)送第二信號； 控制面板，連接于各該第一探測器，用于在接收到第一信號時指示出與該第一信號對應(yīng)的泄漏點并進(jìn)行報警； 緊急開關(guān)裝置，連接于各該第二探測器，用于在接收到第二信號時對所述化學(xué)電鍍機(jī)臺進(jìn)行緊急停機(jī)操作。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)，其特征在于所述第二探測器設(shè)置于所述制程室底盤的側(cè)壁，且與所述制程室底盤的內(nèi)底面具有預(yù)設(shè)高度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)，其特征在于所述控制面板包括一控制電路及一顯示面板，所述控制電路連接于各該第一探測器，用于在接收到所述第一信號時發(fā)送報警信號，所述顯示面板用于在接收到報警信號時指示該報警信號對應(yīng)的泄漏點。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)，其特征在于所述顯示面板具有與各該第一探測器對應(yīng)的多個指示燈，所述指示燈點亮?xí)r表示有化學(xué)溶劑泄漏。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)，其特征在于所述控制面板還具有與每個指示燈對應(yīng)的復(fù)位鍵，用于在泄漏處理完畢后對對應(yīng)的指示燈進(jìn)行復(fù)位。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)，其特征在于所述控制面板還連接有一報警裝置，所述報警裝置包括一紅燈及一綠燈，所述紅燈用于在任一第一探測器探測到化學(xué)溶劑泄漏時點亮顯示報警，所述綠燈點亮?xí)r表示化學(xué)電鍍機(jī)臺正常運(yùn)行。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)，其特征在于所述報警裝置還包括一報警器，用于在紅燈亮?xí)r發(fā)出聲音警報。
專利摘要本實用新型提供一種用于化學(xué)電鍍機(jī)臺的化學(xué)溶劑泄漏報警系統(tǒng)，包括裝設(shè)于各制程室底盤的內(nèi)底面，用于在探測到微量化學(xué)溶劑泄漏時發(fā)送第一信號的多個第一探測器；裝設(shè)于與各制程室底盤具有預(yù)設(shè)高度的位置，用于在探測到大量化學(xué)溶劑泄漏時發(fā)送第二信號的多個第二探測器；用于在接收到第一信號時指示出與該第一信號對應(yīng)的泄漏點并進(jìn)行報警的控制面板；以及用于在接收到第二信號時對所述化學(xué)電鍍機(jī)臺進(jìn)行緊急停機(jī)操作的緊急開關(guān)裝置。本實用新型在檢測到微量化學(xué)泄漏時可以指示出泄露點并進(jìn)行報警，檢測到大量的化學(xué)泄露時進(jìn)行停機(jī)操作，可以大大地降低由于不必要的停機(jī)而導(dǎo)致晶圓出現(xiàn)產(chǎn)品缺失以及良率下降，有利于提高生產(chǎn)效率并降低生產(chǎn)成本。
文檔編號G08B21/12GK202904820SQ201220564508
公開日2013年4月24日 申請日期2012年10月30日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月30日
發(fā)明者李廣寧 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司