專利名稱:用于光學(xué)拾取的物鏡和光學(xué)拾取裝置的制作方法
婕耙悔寡甲靶寡叭★鏡約一酶錁的寡叭∽懊P寡甲疤迪 錄轄屑錄幀
誆霉探實(shí)墓學(xué)錄/裝玫墓學(xué)系統(tǒng)校通使一牡錁滴抵悸枷⑴號(hào)的杠度R 詡錄緯傻陌叩某嘰小要錁敵很高礜A筒枚灘墓源
然芽竦床約400nmGaN氳煎激模蚣す浠姑鈣滌妒 牡色院懿?。耍使GaN氳煎激芏裙痰木酃學(xué)系統(tǒng)校為色校潛摹
詮痰姆嫻ワ鏡校通偽校突?。值拙茉~蹦高端簧杠 時(shí)叨緣嘶一氐?,暑櫥?小乇牽值拙為0.65時(shí)猓 值拙洗時(shí)偏鵲嘶也一氐狻
實(shí)碩慕詮學(xué)拾取裝玫目峁┮恢粗底灸高對(duì)佳 嫻ワ鏡兀目峁┮悔杠 錄/裝玫錁抵底拘 .65小0.7茫小0.75茫一止源約500nm募狻
猓供一使偏訓(xùn)錁狄睬蹦 摹?,目臅?huì)供一使突鄄芫錁
息錄實(shí)謀(透)小諢0.2mm時(shí)沒(méi)帽時(shí)院小峁┮ 小募錄/裝械錁登幣荒磕
幕一目峁┮恢寡叭∽懊⊙ 錄始錄/裝煤一植錁的寡⒙ 錄/值姆
?,目峁┮辉嵻度箤W(xué)錄/裝械墓學(xué)拾取裝茫裝芯械墓學(xué)系統(tǒng)色通慕峁剮XD酷供一止學(xué)拾取裝茫校息錄什系值拙小0.65小0.7茫小0.75茫玫墓源灘500nm獺
目目通薪峁故抵
(1)一詮學(xué)息錄霞錄息墓學(xué)拾取裝械錁
一媯
校狀態(tài)蹋
1.1d1/f3
舜d1示透齲f示唷
(2)(1)錁敵o鏡值拙小0.65
(3)(2)錁敵o鏡值拙小0.75
(4)(1)錁敵W刺
f/d0.060
舜d示
(5)(1)錁敵W刺
1.40n
舜n示使貌省
(6)(5)錁敵W刺
1.40n1.85
(7)(1)錁敵W刺
0.40r1/(nf)0.70
舜r1示錁狄荒絞半徑
(8)(7)錁敵1示錁第乖匆荒蹦 拾刖
(9)(1)錁敵J姑的 00nm
(10)(1)錁敵o鏡一詮學(xué)拾取裝械誥瀉炔0.2mm謀墓學(xué)息錄屑錄息
(11)(10)錁敵V底拘 .7
(12)(7)錁敵W刺
1.50n
舜n示使貌省
(13)(1)錁敵o鏡一透
(14)(1)錁敵o鏡一植透
(15)(1)錁敵W刺
1.85n
舜n示使貌省
(16)(1)錁敵o鏡一
(17)(1)錁敵o鏡鼙呋一凸緣
(18)(1)錁敵M乖狄悔粗壁鼓 謀妗
(19)(1)錁敵M告都欠妗
(20)一詮學(xué)息錄霞錄息墓學(xué)拾取裝茫
一通墓源
一酃源墓通木酃學(xué)系統(tǒng)
一探庸學(xué)息錄戲墓墓探
誥酃學(xué)系統(tǒng)一錁笛雇ㄛ笛 息錄實(shí)息錄媯鏡一媯 狀態(tài)蹋
1.1d1/f3
舜d1示透齲f示唷
(21)(20)墓學(xué)拾取裝校錁第寡⒙ 一值拙小0.65
(22)(29)墓學(xué)拾取裝校錁第寡⒙ 一值拙小0.75
(23)(20)墓學(xué)拾取裝校狀態(tài)蹋
f/d0.060
舜d示錁迪的
(24)(20)墓學(xué)拾取裝校狀態(tài)蹋
1.40n
舜n示錁迪妒姑彩
(25)(24)墓學(xué)拾取裝校狀態(tài)蹋
1.40n1.85
(26)(20)墓學(xué)拾取裝校狀態(tài)蹋
0.40r1/(nf)0.70
舜r1示錁第乖匆荒蹦絞半徑
(27)(20)墓學(xué)拾取裝校源洳 00nm墓通
(28)(20)墓學(xué)拾取裝校學(xué)拾取裝誥炔0.2mm謀墓學(xué)息錄霞錄息
(29)(28)墓學(xué)拾取裝校錁第寡⒙ 一值拙小0.7
(30)(20)墓學(xué)拾取裝校狀態(tài)蹋
1.85n
舜n示錁的蠶對(duì)乖茨雇 省
(31)(20)墓學(xué)拾取裝校酃學(xué)系統(tǒng)一
(32)(20)墓學(xué)拾取裝校酃學(xué)系統(tǒng)一詬謀源墓通之散塹透校錁瞪 透
(33)(32)墓學(xué)拾取裝校透一準(zhǔn)直透使源墓通為平泄通
(34)(32)墓學(xué)拾取裝校錁低改合誠(chéng) 統(tǒng)色狀態(tài)蹋
fbNA20.25m(fb0)
舜fb示穎準(zhǔn)謀+1nm時(shí)銑系統(tǒng)位(m)母謀?,NA示錁迪⒙際倉(cāng)底
(35)(34)墓學(xué)拾取裝校錁低改合誠(chéng) 統(tǒng)之色狀態(tài)蹋
0.02m堞fbNA20.15m(fb0)
(36)(32)墓學(xué)拾取裝校狀態(tài)蹋
0.1埽m0.5(m0)
舜m示錁低改合誠(chéng)低持詞
(37)(32)墓學(xué)拾取裝校透一透牡透
(38)(32)墓學(xué)拾取裝校透一婢
(39)(32)墓學(xué)拾取裝校透一
(40)一詮學(xué)息錄霞錄息裝茫
一學(xué)拾取裝茫
一通墓源
一酃源墓通木酃學(xué)系統(tǒng)
一探庸學(xué)息錄戲透墓墓探
誥酃學(xué)系統(tǒng)一錁笛雇ㄛ笛 息錄實(shí)息錄媯鏡一媯 狀態(tài)蹋
1.1d1/f3
舜d1示透齲f示唷
(41)一詮學(xué)息錄霞錄息姆
通牟瑁
壓源墓通鄣學(xué)息錄系牟瑁
探鄣息錄系姆透牟瑁
詮?fù)ㄍㄤ樀鄣学息码H迪 錄希
錁狄繪,狀態(tài)蹋
1.1d1/f3
舜d1示透齲f示唷
圖1(a)示錁的酵紀(jì) (b)示1錁 摺
圖2(a)示錁的酵紀(jì) (b)示1錁 摺
圖3(a)示錁的酵紀(jì) (b)示1錁 摺
圖4(a)示錁的酵紀(jì) (b)示1錁 摺
圖5(a)示錁的酵紀(jì) (b)示1錁 摺
圖6(a)示錁的酵紀(jì) (b)示1錁 摺
圖7(a)示錁的酵紀(jì) (b)示1錁 摺
圖8示帽錁的寡叭∽笆凳┦就
圖9示8錁的酵
圖10示8錁顛
圖11示9錁的酵
圖12示9錁顛
圖13示10錁的酵
圖14示10錁顛
圖15示11錁的酵
圖16示11錁顛
圖17示12錁的酵
圖18示12錁顛
圖19示13錁的酵
圖20示13錁顛
圖21示14錁的酵
圖22示14錁顛
圖23示15錁的酵
圖24示15錁顛
圖25示16透錁的酵
圖26示16透錁顛
圖27示17透錁的酵
圖28示17透錁顛
圖29示18透錁的酵
圖30示18透錁顛
圖31示19透錁的酵
圖32示19透錁顛
圖33示20透錁的酵
圖34示20透錁顛
圖35示21透錁的酵
圖36示21透錁顛
圖37示22透錁的酵
圖38示22透錁顛
圖39示23透錁的酵
圖40示23透錁顛
圖41示24透錁的酵
圖42示24透錁顛
圖43示25透錁的酵
圖44示25透錁顛
圖45示26透錁的酵
圖46示26透錁顛
圖47示27透錁的酵
圖48示27透錁顛
圖49示28械錁低
圖50示28錁顛
圖51示29錁的酵
圖52示29錁顛
圖53示30錁的酵
圖54示30錁顛
圖55示31錁的酵
圖56示31錁顛
圖57示帽錁的寡叭∽耙皇凳┦ 圖
娼筆凳
荼一姆嫻ワ鏡一息錄錄息錄值錁敵 式
順說(shuō)一攏錁狄繪。然只一欠媯鏡嘍賈蟲(chóng)。希錁 一嵌透?jìng)?br>
1.1d1/f3(1)
舜d1示透齲f示唷
式(1)示玫叨緣業(yè)圖玫小0.65貌小0.75慕洗值拙時(shí)說(shuō)d1/f值小蓿透暮染筒太小母叨圓衰貧卸炔d1/f值蓿暮染筒太?,材高兑菜ロ樥f(shuō)一攏d1姆圍2mm-4mm之洹
?,偏卸缺谩突凵n得敵 詮學(xué)息錄只錄墓學(xué)拾取裝一通墓源一酃源墓通木酃學(xué)系統(tǒng)一探怨學(xué)息錄實(shí)姆透墓探裝謾酃學(xué)系統(tǒng)一壓通鄣學(xué)息錄實(shí)息錄系錁碉鏡幀順說(shuō)一攏酃學(xué)系統(tǒng)錁碘還一透墓學(xué)息錄始錄/裝鎂斜止學(xué)拾取裝謾猓 學(xué)息錄始錄/裝沒(méi)躍一轉(zhuǎn)學(xué)息錄實(shí)透裝謾順說(shuō)一攏酶莨源牟拙直錁抵泵笛叭∽懊抵底舅乘狄 攏詮學(xué)拾取裝校芄使預(yù)墓通預(yù)墓學(xué)息錄隙取/錄息值拙為學(xué)拾取裝玫值拙通學(xué)拾取裝枚取/錄謀準(zhǔn)墓學(xué)息錄式值拙為學(xué)拾取裝玫值拙猓 一透值拙時(shí)透校透拙一圍沒(méi)(紓靶 .07嘶小)值為稅刖峨焦之取
狀態(tài)式(1)斜式為耄
1.2d1/f2.3
猓刺 1)斜式為耄
1.5d1/f1.8
?,希镧R狀態(tài)式(2)
f/d0.060(2)
舜d示
狀態(tài)式(2)示使色小紗絲遠(yuǎn)愿誥勱歐擁募源械牟瞬態(tài)洌 源卸模竦吹碌牟展式(2)狀態(tài)式茫
f/d0.050
?,?2)狀態(tài)式茫
f/d0.035
透牟希使冒d=50鉛d=35牟稀
錁等殼餐敢餐革鏡透時(shí)透系謀水詹0.01?,貌?350-500nm牟透什小85牟稀希錁 直為2.0mm4.0mm透牟希貌鎂烯值說(shuō)墻片烯
猓鏡狀態(tài)式(3)
1.40n(3)
舜n示使貌(錁的蠶對(duì)乖 )
狀態(tài)式(3)示實(shí)悴⒁彩 時(shí)小時(shí)一幕炔?,该毕地毿度盒毙兑搀,材高秷A衰
猓鏡狀態(tài)式(4)
1.40n1.85(4)
狀態(tài)式(4)示實(shí)要系偏夤ο的寡叭∽靶P 色散詬?。祅時(shí)什太?,餐改喝惨词姑赫伱捍_搿小時(shí)也太小一幕炔?,材高秷A衰
希狀態(tài)式(4)狀態(tài)式
1.50n1.85
斜式茫
1.70n1.85
猓鏡狀態(tài)式(5)
0.40r1/(nf)0.70(5)
舜r1示錁狄荒絞半徑(譴源一慕拾刖
狀態(tài)式(5)要婕佰殘1/(nf)值小時(shí)r1也太小鄄畹悸鄧 遜r1/(nf)值時(shí)r1也太鄄詵也誆陌爍(under flare)
希狀態(tài)式(5)斜式
0.40r1/(nf)0.65
錁帝德枷的怪蓖↘/NA示源牟時(shí)NA示錁抵底緆示耍使貌諢小500nm募源錁抵底 牡諢0.65時(shí)使鄣墓直小絲通剎帽透墓學(xué)拾取裝使眉錄息藕群芨摺?,通使码H的比第恍 .2mm峁┬★鏡使沒(méi)?、小傻墓学拾取?貿(mào)為堋
之玫牟(庸源墓通牟)500nm錁第寡⒙際倉(cāng)底拘 .65(選小0.7小0.75)時(shí)誥瀉炔0.2mm謀墓學(xué)息錄時(shí)錁笛叭∽懊 學(xué)息錄始錄/裝枚淺屎稀
錁瞪財(cái)呈痹得的寡叭∽懊 實(shí)值統(tǒng)殺拇品
一選姆嫻ワ鏡一息錄霞錄值錁狄革鏡誆玫牟為500nm蹋息錄一鵲諢小0.2mm謀?,镧R值拙諢0.65選諢0.75
前錁底刺 6)式示為叨械牟式(1)同
1.1d1/f3(6)
舜d1示透齲f示唷
前錁底刺 7)式示為色械牟式(2)同
f/d0.060(7)
舜d示
前錁底刺 8)式示應(yīng)械牟式(3)同
1.40n(8)
舜n示使貌省
前錁底刺 9)式示應(yīng)械牟式(4)同
1.40n1.85(9)
前錁底刺 10)式要婕 校械牟式(5)同
0.40r1/(nf)0.70(10)
舜r1示源系慕拾刖
一選姆嫻ワ鏡一息錄霞錄值錁狄革鏡錁抵底沮 0.75喜瞥傘
前錁底刺 11)式示為叨械牟式(1)同
1.1d1/f3(11)
舜d1示透齲f示唷
前錁底刺 12)式示為使色小械牟式(2)同
f/d0.060(12)
舜d示
前錁底刺 13)式示應(yīng)械牟式(3)同
1.40n(13)
舜n示使貌省
前錁底刺 14)式(14)示應(yīng)械牟式(4)同
1.40n1.85(14)
前錁底刺 15)式要婕 校械牟式(5)同
0.40r1/(nf)0.70(15)
舜r1示源系慕拾刖
一選姆嫻ワ鏡一息錄霞錄值錁狄革鏡錁抵底沮 0.65選諢0.75式(16)
n1.85(16)
舜n示使貌省
式(16)示實(shí)通使酶實(shí)牟希使一系拾刖扼,彩乖肚斃 耍通票透時(shí)一詿詰諾恪 ?,诠学拾取校要只要夤κJ蚕凳故姑盒翌?
前錁底刺 17)式示為叨械牟式(1)同
1.1d1/f3(17)
舜d1示透齲f示唷
前錁底刺 18)式要婕 校械牟式(5)同
0.40r1/(nf)0.70(18)
舜r1示源系慕拾刖
一選姆嫻ワ鏡一息錄霞錄值錁狄革鏡錁抵底疚 .65選諢0.75式(19)
1.40n1.85(19)
舜n示使貌省
前狀態(tài)式示實(shí)牟式(4)同
詒學(xué)拾取裝械木酃學(xué)系統(tǒng)一然選誥酃學(xué)系統(tǒng)錁狄灰 誥酃學(xué)系統(tǒng)轄一墓學(xué)元一學(xué)元一潁一酃學(xué)系統(tǒng)透順說(shuō)一攏也只詰透一一妗V結(jié)構(gòu)員偏畝鵲碌牟前衰
只通一偽只通一偽系統(tǒng)牡錁敵W際蓖ㄔ囤弊寄 色?,猿诒准牟色睢Ua錁德T弊夾J避 系統(tǒng)錁掂反幕械遠(yuǎn)詒準(zhǔn)牟系色?,猿诒准牟色?。耍錁 校瞬態(tài)模也通喜涔 為透位系通校色實(shí)示錁典功通實(shí)選系為透
錁抵底疚 .65選諢0.75500nm痰牟使帽鵲諢小0.2mm息錄時(shí)使貌500nm畝灘源使錁抵底沮 .65使酃墓直小紗絲通斜透墓學(xué)拾取裝實(shí)指芏鵲丶錄息藕擰猓ㄊ孤際的 缺諢0.2mm峁┬∧癸鏡使玫玫省小傻墓學(xué)拾取裝貿(mào)為堋
?,每镧R校圍凸緣鄭圍系凸緣一詿直詮姆?。围系凸缘镧R院椎岬窖叭 裝茫銥通凸緣一丶直詮姆確錁
猓恐寡叭∽懊兌恍拘乖 錁底懊o鏡壓源墓通鄣息錄實(shí)息錄希通探息錄史墓息錄轄息募錄/鄭蟹嫻ワ鏡為
?,每止学拾取装脙痘芯泄?透錁底懊M改痹茨飛⒛飛 牽錁笛雇ㄍ港迪⒙際迪⒙ 媯ㄌ較⒙際紡瓜⒙枷 息募錄/鄭透校錁瞪管 嫻ワ鏡為錁
嫻ワ鏡錁凳痹第杠度悸 裝玫錁滴低承的碉鏡也麓詼灘碌色睢Iㄇ把叭∽靶 透校透色畬?dǎo)h短蠶o鏡色約小紗耍同錁狄輝得狄恢 一學(xué)系統(tǒng)墓學(xué)拾取裝茫泄學(xué)系統(tǒng)色通慕峁剮 #160;
攏透園汛庸源墓通準(zhǔn)直紗準(zhǔn)直墓通私峁故姑寡叭∠低匙巴第 透也一準(zhǔn)直透
圓貿(mào)使錁低改合誠(chéng)低成 式(20)
fbNA20.25m(fb0)(20)
舜fb示穎準(zhǔn)謀+1nm時(shí)銑系統(tǒng)位(m)母謀?,NA示錁堤倉(cāng)底
選斜式(20)
0.02m堞fbNA20.15m(fb0)(20)
每一紙峁規(guī)及通透色校么約400nm竦床灘氳際鄙參⑵ 錁迪德瞪燴。原隆灘時(shí)通透喜微小時(shí)浠大。角聚繳④大。碉鏡慕睿 玫牟()越蹋越小園k/NA2知(k潛)淺小散也懟SOM/ODS99PostdeadlinePoster Papersde Session WD26校GaN氳煎激示0.7mm卓母頻印嵌愿頻影壓學(xué)拾取系統(tǒng)牟前頻約0.02rms色訓(xùn)校枚前色校水平耍準(zhǔn)為400nmNA示灘系值拙時(shí)1nm牟嵌要押銑系統(tǒng)色詿約0.15m/NA2詼0.7nm卓母頻(FWMH)巡前頻0.02rms一媯 銑系統(tǒng)色畈⒁G霸 一姆圍凇詒錁狄幌低承的低 時(shí)約虻サ姆式通使誄色為值一透使諍銑系統(tǒng)也耍為錁第 色值紓敢灰輝 透時(shí)銑系統(tǒng)全色校齲透每透元姆糯士院小一止罘 透?。阱懜同透校?攏姆糯士院小浠紡忌此很 銥院椎效實(shí)透為耍前狀態(tài)式蕖
?,泄诤险\(chéng)低襯放磎謀式
0.1埽m0.5(m0)
舜m示錁低改合誠(chéng)低持詞
糯什小狀態(tài)式時(shí)銑系統(tǒng)墻模糯什時(shí)透罘較好
透瓤傻桑也啥桑透一榧霸構(gòu)之一透一榧霸構(gòu)透慕峁跪單彩雇 ?。蕭旎榧霸构时诙绦Q和 虜緣色畈⑴詞∏ 校錁第短猜和誠(chéng)瞪,同時(shí)趾銑系統(tǒng)糯剩瞬態(tài)模詼灘蝦統(tǒng)虜色時(shí)蟹散玫透詒耍準(zhǔn)鑰疲灘蝦統(tǒng)碌?。镧R喜畝灘趾統(tǒng)值畋 銥誆擄押銑系統(tǒng)頻煤小
順說(shuō)一攏透一?。?一?,覀?cè)。
為透薔一一榧霸構(gòu)鑰通校使透值拙洗艸冉隙痰慕盞暮銑系統(tǒng)
為透一媯客ㄏ 透一媯會(huì)構(gòu)虻サ牡透玫效透順說(shuō)一攏也通詮岱狡鍛感 詮學(xué)系統(tǒng)每學(xué)喜?。?,貧透同時(shí)藕諾RF齲使詮學(xué)系統(tǒng)脅訓(xùn)姆式校學(xué)系統(tǒng)每學(xué)喜時(shí)謝詮源竦床微小浠,榷浠 洌變化?,息码H比滴⑿ 浠磺佰合典。透詮岱 貧使玫學(xué)系統(tǒng)嵌洗一時(shí)錁 ?,餐冈忈方贫使玫学系?嵌小一時(shí)錁的拒夾∷乘狄宦 透詮岱較燈睹寡叭∽耙黃 透貧裝謾為貧裝茫圓(voice-oil-shaped)露壓露
順說(shuō)一攏每止學(xué)拾取裝冒汛庸源墓通錁帝迪⒙際迪⒙兼,芄息錄霞錄息/息錄息
墓學(xué)息錄CDsCDCD-RCD-RW頻CDCD-ROMDVDDVDDVD-ROMDVD-RAMDVD-RDVD-RW狀息錄剩MD一丫圖錄芏叩穎母芏息錄省
娼竿莢筆凳┮煌⊥ 潛實(shí)施墓學(xué)拾取裝媒峁雇
圖8械墓學(xué)拾取裝一植帽雙嫻ワ鏡為錁底懊K叢茨半導(dǎo)寮 透2墓通鄣息錄實(shí)息錄5系錁 沾息錄實(shí)息錄5墓墓探4
圖8械墓學(xué)拾取裝沒(méi)邪汛息錄5墓紙獾教 姆6位透2錁 之14片7位錁 之前墓8誚俚透910之詒實(shí)施校酃學(xué)系統(tǒng)一一透一1/4片一錁狄凰乘狄宦 詒校為誥酃學(xué)系統(tǒng)小
錁 圍一凸緣1a貌一卮直岱僥辨。為凸緣1a錁 躍確學(xué)拾取裝稀
透2一準(zhǔn)直透姆散通準(zhǔn)直杉平詮墓通攏冒壓源3準(zhǔn)直透2貿(mào)煽準(zhǔn)直透姆貧冢使么準(zhǔn)直透2墓通越準(zhǔn)直
墓學(xué)拾取裝眉瓤一汛庸源姆散墓通轉(zhuǎn)要為準(zhǔn)直準(zhǔn)直透桶準(zhǔn)直鄣息錄錁瞪R慘煌改改痹 姆散之嵌炔轉(zhuǎn)煞散酃透桶透墓通鄣息錄錁瞪⊙叭∽ 只一錁 薰錁 桑錁笛乖茨 散鄣息錄妗
然?,客ㄒ荒穻攻镧R一芄怨探懈芏燃錄值墓學(xué)拾取裝謾
怨詒錁低寡叭∽懊 -15約透凸學(xué)拾取裝玫16-27薪汀順說(shuō)一攏學(xué)拾取裝玫慕峁故低 示實(shí)施墓學(xué)拾取裝通園氳煎激斜準(zhǔn)選(霉源)應(yīng)沒(méi)刪透準(zhǔn)直透透一拙8筒酶位貌錁低 茫使每實(shí)慕峁廣。
冉錁凳 -15鹵1順說(shuō)一攏1-15校6915透圓透5械墓學(xué)息錄沒(méi)透住實(shí)械墓學(xué)息錄0.1mm透住1
*
3
(2)
透詒4系詒52透示圖2圖2(a)墻2(b)摺
()400nm
f=1.765mm
NA=0.75
糯=0
4 r(mm) d(mm)n d 1*1.72793 3.037 1.8561437.0 2* -2.27646 0.272 30.100 1.6215830.0 40.000*
1()
1-467械錁 00nm謀準(zhǔn)8-1567械錁 05nm謀準(zhǔn)錁凳 9每校一為0.1mm息錄時(shí)悴鏡息錄實(shí)之貌小0.1mm墓耄鏡喜5械錁 660nm謀準(zhǔn)錁 #160;
15一順說(shuō)一攏1斜為帷鼻邦”拇時(shí)示母叨浴1示1-15母叨8校偏1m牡一嫻悸的睬 0.021耍使偏卸確淺色為小0.035恕實(shí)施偏卸也淺謾
詒實(shí)械姆媯瑇示姆時(shí)式示詿直詮岱較的高秇示拾刖秗示k示圓錐A2i示系
1
透詒2系詒31透示圖1圖1(a)墻1(b)摺
()=400nm
f=1.765mm
NA=0.85
糯=0
2r(mm)d(mm) n d 1*1.720783.1501.8561437.0 2* -1.927530.213 3 0.1001.6215830.0 4 0.000
5
(3)
透詒6系詒73透示圖3圖3(a)墻3(b)摺
()=400nm
f=1.765mm
NA=0.85
糯=0
6r(mm) d(mm) n d 1*1.511432.9461.7166753.2 2* -1.444150.267 3 0.1001.6215830.0 4 0.000*
7
(4)
透詒8系詒94透示圖4圖4(a)墻4(b)摺
()=400nm
f=1.765mm
NA=0.75
糯=0
8r(mm) d(mm) n d 1*1.516292.8011.7166753.2 2* -1.744960.342 3 0.1001.6215830.0 4 0.000*
9
系
一詼
K=-0.448813 K=-46.578777
A4=0.580310*10-3 A4=0.219283*1
A6=-0.158678*10-2A6=-0.124381*10
A8=0.136862*10-2 A8=0.291780*10
A10=-0.198562*10-2 A10=-0.280227*10
A12=0.114053*10-2A12=-0.252229*10-3
A14=0.438727*10-3
A16=-0.508367*10-4
(5)
透詒10系詒115透示圖5圖5(a)墻5(b)摺
()=660nm
f=0.131mm
NA=0.83
糯=-0.1456
10 r(mm)d(mm) nd 1*0.1150.2261.7999840.9 2*-1.470.000*
11
系
一詼
K=-0.3946 K=-77.181
A4=-0.78479*10 A4=0.24008*102
A6=-0.23519*104A6=-0.10585*105
A8=0.56266*105 A8=0.93242*106
A10=-0.27400*107 A12=-0.10004*1010
A12=-0.20657*109
A14=0.75407*107
A16=-0.35744*10-4
(6)
透詒12系詒136透示圖6圖6(a)墻6(b)摺
()=400nm
f=2.647mm
NA=0.85
糯=0
12 r(mm)d(mm) n d 1*1.97771 4.7481.56119 56.0 2*-0.81768 0.300 3 0.1001.62158 30.0 4 0.000*
13
系
一 詼
K=-0.576418 K=-19.183803
A4=0.26528*10-2 A4=0.335865*1
A6=-0.41375*10-3A6=-0.922525*1
A8=0.317393*10-3A8=0.116730*10
A10=-0.591851*10-4 A10=-0.591738*1
A12=0.442060*10-5 A12=-0.291540*10-5
A14=0.362723*10-5
A16=-0.412233*10-6
(7)
透詒14系詒157透示圖7圖7(a)墻7(b)摺
()=400nm
f=1.765mm
NA=0.85
糯=0
14 r(mm)d(mm)n d 1* 1.53773 2.5001.85614 37.0 2*-21.60833 0.380 3 0.1001.62158 30.0 4 0.000 *
9
系
一 詼
K=-0.329489 K=199.72542
A4=-0.168113*10-2 A4=0.344557*1
A6=-0.913997*10-5 A6=-0.119299*10
A8=-0.127668*10-2 A8=0.181507*10
A10=-0.319026*10-3A10=-0.110457*10
A12=0.691773*10-4 A12=-0.252229*10-3
A14=-0.241646*10-4
A16=-0.187683*10-4
(8)
透鶯頭系詒168錁凳就 示圖10
16
8
()=405nm
f=1.765mm
NA=0.85
糯=0r(mm) d(mm) n d 1*1.433762.7501.71558 53.2 2*-2.11753 0.290 3 0.1001.61950 30.0 4 0.000*
系
一 詼
K=-0.452646 K=-185.75159
A4=0.571669E-02 A4=0.281279E+00
A6=-0.591147E-02A6=-0.742134E+00
A8=0.721339E-02 A8=0.667680E+00
A10=-0.398819E-02 A10=-0.195290E+00
A12=0.390519E-03A12=-0.252228E-03
A14=0.446956E-03
A16=-0.135385E-03
(9)
透鶯頭系詒179錁凳就 1示圖12
17
9
()=405nm
f=1.765mm
NA=0.85
糯=0r(mm) d(mm) nd 1*1.175032.6021.52523 59.2 2* -1.041520.357 3 0.1001.61950 30.0 4 0.000*
系
一 詼
K=-0.682004 K=-29.373780
A4=0.180213E-01 A4=0.297543E+00
A6=-0.368416E-02A6=-0.423018E+00
A8=0.140365E-02 A8=0.295535E+00
A10=0.342876E-03 A10=-0.829290E-01
A12=-0.311534E-04A12=-0.252257E-03
A14=0.103341E-03
A16=0.141728E-04
(10)
透鶯頭系詒1810錁凳就 3示圖14
18
10
()=405nm
f=1.765mm
NA=0.85
糯=0r(mm) d(mm) n d 1*1.075472.6571.4426095.0 2* -0.690880.366 3 0.1001.6195030.0 4 0.000*
系
一詼
K=-0.700141 K=-12.891107
A4=0.190496E-01A4=0262567E+00
A6=0.502475E-02A6=-0.355053E+00
A8=0.115240E-02A8=0.236709E+00
A10=0.134395E-03 A10=-0.631951E-01
A12=0.369702E-04A12=-0.253345E-03
A14=0.315362E-03
A16=-0.398175E-04
(11)
透鶯頭系詒1911錁凳就 5示圖16
()=405nm
f=1.765mm
NA=0.85
糯=0
19
11 r(mm) d(mm) n d 1*1.158212.6471.5071681.6 2* -0.909470.346 3 0.1001.6195030.0 4 0.000*
系
一詼
K=-0.661186 K=-24.300945
A4=0.159215E-01 A4=0.296712E+00
A6=0.483822E-02 A6=-0.416550E+00
A8=-0.630221E-03A8=0.289015E+00
A10=0.130734E-02A10=-0.807695E-01
A12=-0.585454E-04A12=-0.252243E-03
A14=-0.503797E-04
A16=0.569157E-04
(12)
透鶯頭系詒2012錁凳就 7示圖18
20
12
()=405nm
f=1.765mm
NA=0.85
糯=0 r(mm) d(mm) n d 1*1.693772.4002.1585721.2 2*2.364310.361 3 0.1001.6195030.0 4 0.000*
A14=-0.152871E-03
A16=0.488831E-05
(13)
透鶯頭系詒2113錁凳就 9示圖20
21
13
()=405nm
f=1.765mm
NA=0.85
糯=0 r(mm) d(mm) n d 1*2.30000 3.6502.1585721.2 2* -2.73024 0.200 30.1001.6195030.0 40.000*
A16=0.199958E-04
(14)
透鶯頭系詒2214錁凳就 1示圖22
22
14
()=405nm
f=1.765mm
NA=0.85
糯=0
r(mm) d(mm) n d 1*2.642283.9192.3486016.6 2*-3.55612 0.200 3 0.1001.6195030.0 4 0.000*
A14=-0.127250E-03
A16=0.484981E-05
(15)
透鶯頭系詒2315錁凳就 3示圖2423
15
()=405nm
f=1.765mm
NA=0.85
糯=0 r(mm) d(mm) n d1(11) 1.23647 2.532 1.52523 59.52(2) -1.118419 0.336 30.100 1.161950 30.0 40.000
2
K=-41.704463
A4=0.362699E+00
A6=-0.534069E+00
A8=0.354745E+00
A10=-0.793612E-01
A12=-0.252257E-03
順說(shuō)一攏式示曬路詈痓(也偷26)攏h示詿直詮岱 母叨齲b示路詈
1-15校曰一為學(xué)拾取裝玫錁的鋒單錁敵粗底具對(duì) 紓灰恢碉鏡值拙400nm牟為0.85詠為1時(shí)叨鵲牟前rms為0.07(為)1示曰一詮學(xué)拾取裝姆嫻ワ鏡校值拙諢0.65叨裕詬芏燃錄裝謾
猓 -15校源锏狡度 校突鄄睢
透實(shí)鹵24諧16-27蕁順說(shuō)一攏1617202122械錁 一181923242526械錁 械一27械錁 3械一
24161718192021
24()
(m0)fbNA20.00310.100.0600.0310.12 0.06 0.25m 0.02m堞fbNA20.15
m (fb) 0.0043 0.14 0.0830.0430.17 0.08
(16)
透鶯頭系詒2516一榧霸構(gòu)透錁的酵際就 5示圖26
25
1 2
K=-0.452646 K=-185.751580
A4=0.571669E-2 A4=0.281279
A6=-0.591147E-2 A6=-0.742134
A8=0.721339E-2 A8=0.667680
A10=-0.398819E-2A10=-0.195290
A12=0.390519E-3 A12=-0.252228E-3
A14=0.446956E-3
A16=-0.135385E-3
(17)
透鶯頭系詒2617一榧霸構(gòu)透錁的酵際就 7示圖28
26
A14=0.446956E-3
A16=-0.135385E-3
(18)
透鶯頭系詒2718一榧霸構(gòu)透錁的酵際就 9示圖30
27
(19)
透鶯頭系詒2819一榧霸構(gòu)透錁的酵際就 1示圖32
28
(20)
透鶯頭系詒2920一榧霸構(gòu)透錁的酵際就 3示圖34
29r(mm)d(mm)nd 源 3.342
(21)
透鶯頭系詒3016一榧霸構(gòu)透錁的酵際就 5示圖36
30r(mm)d(mm) n d 源 7.2301 透13.531 1.0001.9140923.82 2.5512.1001.7514853.23(1)-5.7655.000 膜 04(2)錁 #160;1.4342.7501.7155853.25(3) -2.118 0.2906 透 0.1001.6195030.07
(22)
透鶯頭系詒3122一榧霸構(gòu)透錁的酵際就 7示圖38
31
(23)
透鶯頭系詒3223一榧霸構(gòu)透錁的酵際就 9示圖40
32
123 K=0.270078 K=-0.682004 K=-29.373780A4=-0.425585E-3 A4=0.180213E-1 A4=0.297543A6=-0.968014E-3 A6=-0.368416E-2 A6=-0.423018 A8=0.315494E-4 A8=0.140365E-2 A8=0.295535 A10=-0.970417E-4 A10=0.342876E-3A10=-0.829290E-1 A12=-0.311534E-4 A12=-0.252257E-3 A14=0.103341E-3 A16=0.141728E-4
(24)
透鶯頭系詒3324一榧霸構(gòu)透錁的酵際就 1示圖42
33
A16=0.141728E-4
(25)
透鶯頭系詒3425一榧霸構(gòu)透錁的酵際就 3示圖44
34
(26)
透鶯頭系詒3526一榧霸構(gòu)透錁的酵際就 5示圖46
35
12 3
K=0 K=0 b2=-0.18000E-1A4=-0.418319E-1A4=-0.22293E-2 b4=-0.80593E-2A6=-0.416634E-1A6=-0.44722E-3 b6=0.62172E-2A8=0.159039E-1 A8=0.25384E-3 b8=-0.26442E-2A10=-0.134507E-2 A10=-0.46638E-3 b10=0.35943E-3
A16=0.141728E-4
(27)
透鶯頭系詒3627一榧霸構(gòu)透錁的酵際就 7示圖48
36
為錁狄幌低襯碉鏡詼灘虜色?。?6-27鋅通錁 透暮銑系統(tǒng)械透校色?。通?透色詼灘小錁瞪。
猓 6-27校叨也淺色猓 卸也院芎茫銥校突鄄睢
(28)
娼撅鏡一實(shí)透鶯頭系示詒3728錁的酵際就 9示圖50
37
=405nm
f=1.765mm
NA=0.85
糯=0 r(mm)d(mm) n d1*1.193922.6501.5249156.52*-0.97515 0.3553 0.1001.6195030.04 0.000*
系 一K=-0.683354A4=0.162029E-01A6=0.154908E-02A8=0.289288E-02A10=-0.367711E-03A12=-0.358222E-03A14=0.148419E-03A16=0.119603E-03A18=-0.302302E-04A20=-0.110520E-04詼K=-21.704418A4=0.308021E+00A6=-0.639499E+00A8=0.585364E+00A10=-0.215623E+00A12=-0.252265E-0338示值
38
28校為一偏1m碌牟前為0.026(為0.035嘶小)偏卸鵲院芎玫校
械29-32校示實(shí)29-32械墓學(xué)拾取裝一示圖57械牡露11詮岱 貧透29-32械每錁 8械一
(29)
透鶯頭系詒39學(xué)系統(tǒng)慕圖示圖51示圖5239
1K=-2.4335E-01A4=2.7143E-03A6=-5.6745E-05A8=7.0168E-05A10=-1.5659E-051b2=2.0000E-02b4=-1.3821E-032K=-0.68335A4=0.162029E-01A6=0.154908E-02A8=0.289288E-2A10=-0.367711E-03A12=-0.358222E-03A14=0.148419E-03A16=0.119603E-04A18=-0.302302E-04A20=-0.110520E-043K=-21.704418A4=0.308021E+00A6=-0.639499E+00A8=0.585364E+00A10=-0.215623E+00A12=-0.252265E-03
40露缺浠 #160;T=+30 0.0115.9275.073 T=-30 0.0316.0714.929透 0.0045.8535.147鵲 t=+0.02mm t=- 0.0156.1524.848 0.02mm
詒校錁低鈣懲糕,透傻透色通虻サ慕峁管好敵
40示杉獠ㄤ、露缺浠紀(jì)溉 畹悸殿被芎玫校
(30)
透鶯頭系詒41學(xué)系統(tǒng)慕圖示圖53示圖54
41
1 1 K=0.0 b2=-2.2967E-02A4=1.0245E-02 b4=2.1037E-03A6=9.6650E-04A8=-5.9104E-04A10=8.9735E-05 22 K=-4.3181b2=-1.7113E-02A4=1.5848E-03b4=8.2815E-04A6=8.6137E-04A8=-2.0117E-04A10=1.3168E-053K=-0.683354A4=0.162029E-01A6=0.154908E-02A8=0.289288E-2A10=-0.367711E-03A12=-0.358222E-03A14=0.148419E-03A16=0.119603E-04A18=-0.302302E-04A20=-0.110520E-044K=-21.704418A4=0.308021E+00A6=-0.639499E+00A8=0.585364E+00A10=-0.215623E+00A12=-0.252265E-03
42
詒校錁低鈣懲糕,透傻雙透模碌牟前衰員狻
42示杉獠ㄤ、露缺浠紀(jì)溉 畹悸殿被芎玫校
(31)
透鶯頭系詒43學(xué)系統(tǒng)慕圖示圖55示圖56
43
1K=0.699858A4=-0.53797E-3A6=-0.352488E-3A8=0.595790E-4A10=-0.152115E-42K=-0.683354A4=0.162029E-01A6=0.154908E-02A8=0.289288E-2A10=-0.367711E-03A12=-0.358222E-03A14=0.148419E-03A16=0.119603E-03A18=-0.302302E-04A20=-0.110520E-043K=-21.704418A4=0.308021E+00A6=-0.639499E+00A8=0.585364E+00A10=-0.215623E+00A12=-0.252265E-03
44
透錁低敢灰婚及元偷雙透猓贛窖⒙際的逼騁繪。絲源锏皆和窷A值
44示杉獠ㄤ、露缺浠紀(jì)溉 畹悸殿被芎玫校
27-31械母植示詒45
45
(32)
娼局悔低敢皇低 鶯頭系示詒46
46 r(mm) d(mm) n d 源dO(殺)
1b2=-2.6023E-02b4=-2.1722E-041K=17.997115A4=0.759036E-03A6=0.311883E-03A8=-0.123894E-03A10=0.196179E-042K=-0.683354A4=0.162029E-01A6=0.154908E-02A8=0.289288E-02A10=-0.367711E-03A12=-0.358222E-03A14=0.148419E-03A16=0.119603E-03A18=-0.302302E-04A20=-0.110520E-043K=-21.704418A4=0.308021E+00A6=-0.639499E+00A8=0.585364E+00A10=-0.215623E+00A12=-0.252265E-03
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詒校透錁低鈣堵 鴨錄位玫嵌鑰頻小冶模碌牟前衰猓ㄖ煌敢 透謀偏畝鵲碌牟前衰猓 透詠源謀媯贛斤鏡謀梅止透偏畝燃畹悸的睬 ?,诜逸x段幻詞叫 47示杉獠ㄤ、露缺浠紀(jì)溉殿導(dǎo)碌畋卉好敵I蒼避好敵 2械示詒48
48
使峁┬粗底久顛對(duì)的 嫻ワ鏡為埽使酶錁笛叭∽懊狄伙鏡說(shuō)強(qiáng)峁┮恢底沮 .75錁碉鏡誆霉源約400nm募母芏燃錄裝謾
?,偏卸瓤院芎茫突鄄傻脭?
峁┮悔悸甲懊碉鏡眉錄裝每息錄實(shí)謀缺約0.1mm夜痰鹿
峁┮恢詫鏡墓學(xué)拾取裝謾
?,诟芏鹊墓学录装校峁┮灰粚W(xué)系統(tǒng)墓學(xué)拾取裝茫學(xué)系統(tǒng)色通虻サ慕峁剮 說(shuō)峁┮恢寡叭∽懊W跋⒙ 牟系值拙為0.65?,裁的乖礊?00nm獺
募員誆氡臼凳和肺奧吭 實(shí)施懈畝
權(quán)利要求
1一詮學(xué)息錄霞錄息墓學(xué)拾取裝械錁
一媯
狀態(tài)蹋1.1d1/f3
舜d1示透齲f示唷
2權(quán)要1錁碉鏡值拙小0.65
3權(quán)要2錁碉鏡值拙小0.75
4權(quán)要1錁底刺
f/d0.060
舜d示
5權(quán)要1錁底刺
1.40n
舜n示使貌省
6權(quán)要5錁底刺
1.40n1.85
7權(quán)要1錁底刺
0.40r1/(nf)0.70
舜r1示錁狄荒絞半徑
8權(quán)要7錁祌1示錁第乖匆 謀慕拾刖
9權(quán)要1錁凳姑的 500nm
10權(quán)要1錁碉鏡一詮學(xué)拾取裝械錁第拘喝 .2mm謀墓學(xué)息錄屑錄息
11權(quán)要10錁抵底拘 .7
12權(quán)要7錁底刺 1.50n
舜n示使貌省
13權(quán)要1錁碉鏡一透
14權(quán)要1錁碉鏡一植透
15權(quán)要1錁底刺 1.85n
舜n示使貌省
16權(quán)要1錁狄
17權(quán)要1錁弟邊灰煌乖
18權(quán)要17錁低乖狄 直詮姆謀妗
19權(quán)要1錁低告都妗
20一詮學(xué)息錄霞錄息墓學(xué)拾取裝茫
一通墓源
一酃源墓通木酃學(xué)系統(tǒng)
一探庸學(xué)息錄戲墓墓探
誥酃學(xué)系統(tǒng)一錁笛雇ㄛ笛 息錄實(shí)息錄媯鏡一媯 狀態(tài)蹋
1.1d1/f3
舜d1示透齲f示唷
21權(quán)要1墓學(xué)拾取裝茫錁第寡 息錄一值拙小0.65
22權(quán)要20墓學(xué)拾取裝茫錁第寡 息錄一值拙小0.75
23權(quán)要20墓學(xué)拾取裝茫狀態(tài)蹋
f/d0.060
舜d示錁迪的
24權(quán)要20墓學(xué)拾取裝茫狀態(tài)蹋
1.40n
舜n示錁迪妒姑彩
25權(quán)要24墓學(xué)拾取裝茫狀態(tài)蹋
1.40n1.85
26權(quán)要20墓學(xué)拾取裝茫狀態(tài)蹋
0.40r1/(nf)0.70
舜r1示錁第乖匆荒蹦絞半徑
27權(quán)要20墓學(xué)拾取裝茫詮源洳 500nm墓通
28權(quán)要20墓學(xué)拾取裝茫詮學(xué)拾取裝誥瀉炔0.2mm謀墓學(xué)息錄霞錄息
29權(quán)要28墓學(xué)拾取裝茫錁第寡 息錄一值拙小0.7
30權(quán)要20墓學(xué)拾取裝茫狀態(tài)蹋
1.85n
舜n示錁的蠶對(duì)乖茨雇 省
31權(quán)要20墓學(xué)拾取裝茫誥酃學(xué)系統(tǒng)一
32權(quán)要20墓學(xué)拾取裝茫誥酃學(xué)系統(tǒng)一詬謀源墓通之散塹透校錁瞪
33權(quán)要32墓學(xué)拾取裝茫透一準(zhǔn)直透使源墓通為平泄通
34權(quán)要32墓學(xué)拾取裝茫錁 透暮銑系統(tǒng)色狀態(tài)蹋
fbNA20.25m(fb0)
舜fb示穎準(zhǔn)謀+1nm時(shí)銑系統(tǒng)位(m)母謀?,NA示錁迪⒙際倉(cāng)底
35權(quán)要34墓學(xué)拾取裝茫錁 透暮銑系統(tǒng)之色狀態(tài)蹋
0.02m堞fbNA20.15m(fb0)
36權(quán)要32墓學(xué)拾取裝茫狀態(tài)蹋
0.1埽m0.5(m0)
舜m示錁低改合誠(chéng)低持詞
37權(quán)要32墓學(xué)拾取裝茫透一透牡透欏
38權(quán)要32墓學(xué)拾取裝茫透一妗
39權(quán)要32墓學(xué)拾取裝茫透一
40一詮學(xué)息錄霞錄息裝茫
一學(xué)拾取裝茫
一通墓源
一酃源墓通木酃學(xué)系統(tǒng)
一探庸學(xué)息錄戲透墓墓探
誥酃學(xué)系統(tǒng)一錁笛雇ㄛ笛 息錄實(shí)息錄媯鏡一媯 狀態(tài)蹋1.1d1/f3
舜d1示透齲f示唷
41一詮學(xué)息錄霞錄息姆
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詮?fù)ㄍㄤ樀鄣学息码H迪 錄希
錁狄繪,狀態(tài)蹋1.1d1/f3
舜d1示透齲f示唷
全文摘要
一種用在光學(xué)拾取裝置中記錄或再現(xiàn)光學(xué)信息記錄介質(zhì)上的信息的物鏡,包括一個(gè)非球面,其特征在于滿足下列狀態(tài)方程:1.1≤dl/f≤3,此處,d1表示透鏡的軸向厚度,f表示焦距。
文檔編號(hào)G11B7/135GK1286407SQ0012644
公開(kāi)日2001年3月7日 申請(qǐng)日期2000年9月1日 優(yōu)先權(quán)日1999年9月1日
發(fā)明者大田耕平, 木村徹 申請(qǐng)人:柯尼卡株式會(huì)社