專利名稱：用于半導(dǎo)體測試系統(tǒng)的模式發(fā)生器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于半導(dǎo)體測試設(shè)備的模式發(fā)生器，用于通過產(chǎn)生測試模式并將該模式應(yīng)用到被測器件上來測試半導(dǎo)體存儲器件，更具體地說，本發(fā)明涉及一種用于半導(dǎo)體測試設(shè)備的模式發(fā)生器及模式發(fā)生方法，用于隨意產(chǎn)生變換請求信號，所述變換請求信號用于為在X和Y方向上具有不同存儲單元數(shù)的存儲器件中的特定存儲單元變換讀/寫數(shù)據(jù)。
在利用半導(dǎo)體測試設(shè)備測試?yán)鏘C和LSI等半導(dǎo)體器件時，要在預(yù)定的測試時刻，在其合適的測試引腳上，給要測試的半導(dǎo)體IC器件提供由半導(dǎo)體測試系統(tǒng)中的模式發(fā)生器所產(chǎn)生的測試信號(測試模式)。半導(dǎo)體測試系統(tǒng)接收被測IC器件響應(yīng)于該測試信號的輸出信號。該輸出信號在預(yù)定的時刻被選通信號選通(取樣)，以便與期望輸出數(shù)據(jù)比較，從而確定IC器件是否正確地工作。
在被測器件(DUT)是半導(dǎo)體存儲器時，應(yīng)用在DUT上的測試模式由地址數(shù)據(jù)、寫數(shù)據(jù)和控制數(shù)據(jù)構(gòu)成。在DUT的預(yù)定地址(存儲單元)寫入預(yù)定數(shù)據(jù)后，讀取該地址的數(shù)據(jù)，以確定該存儲器中存儲的數(shù)據(jù)是否與該寫數(shù)據(jù)相同。為測試半導(dǎo)體存儲器，模式發(fā)生器所產(chǎn)生的測試模式包括不同的數(shù)據(jù)和控制信號，其中包括上述的地址數(shù)據(jù)、寫數(shù)據(jù)和控制數(shù)據(jù)及用于在故障存儲器中存儲測試結(jié)果的期望數(shù)據(jù)、地址和數(shù)據(jù)等。


圖1示出了具有模式發(fā)生器的典型半導(dǎo)體測試系統(tǒng)基本結(jié)構(gòu)的例子。在本發(fā)明的上下文中，模式發(fā)生器可應(yīng)用于專門為測試半導(dǎo)體存儲器而構(gòu)成的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，及為測試?yán)缦到y(tǒng)片上IC等、以存儲塊或存儲磁心為其一部分的LSI而構(gòu)成的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)。
圖1中，半導(dǎo)體測試系統(tǒng)包括產(chǎn)生定時時鐘的定時發(fā)生器TG；產(chǎn)生包括各種地址數(shù)據(jù)和控制信號的測試模式的模式發(fā)生器PG；將測試模式進(jìn)行波形格式化的格式控制器(波形格式化器)FC；用于連接被測器件(DUT)的引腳電子器件；用于比較DUT的輸出與期望數(shù)據(jù)的數(shù)字(邏輯)比較器DC；以及用于存儲測試結(jié)果以便進(jìn)行故障分析的故障存儲器FM，其中包括一個地址故障存儲器AFM。
根據(jù)來自定時發(fā)生器TG的定時時鐘，模式發(fā)生器PG產(chǎn)生將提供給格式控制器FC的測試模式，例如地址數(shù)據(jù)和控制信號。格式控制器FC通過引腳電子器件給DUT提供具有特定波形和定時的測試模式。模式發(fā)生器PG還在來自定時發(fā)生器TG的選通信號的定時，產(chǎn)生期望數(shù)據(jù)EXP，該數(shù)據(jù)將被提供給數(shù)字比較器DC，以便與來自DUT的數(shù)據(jù)進(jìn)行比較。
在檢測到DUT輸出數(shù)據(jù)與期望數(shù)據(jù)EXP間不匹配時，比較器DC產(chǎn)生一個錯誤指示。該錯誤(故障)數(shù)據(jù)以來自模式發(fā)生器PG的地址數(shù)據(jù)所規(guī)定的相應(yīng)于DUT地址的地址存儲在故障存儲器FM中(或地址故障存儲器AFM中)。故障存儲器FM中的錯誤數(shù)據(jù)可以表示器件輸出引腳在選通點的實際值，或剛好可以是表示通過或故障的一位數(shù)據(jù)。測試工程師和設(shè)計工程師采用故障存儲器FM中的錯誤數(shù)據(jù)，分析器件設(shè)計和功能的正確性。
正如所屬領(lǐng)域技術(shù)人員所熟知的，存儲器由大量存儲單元構(gòu)成，每個存儲單元具有行(X)地址和列(Y)地址。在存儲器測試中，一個重要測試項是檢驗各存儲單元間是否存在相互干擾，有時稱為“模式敏感性故障”或“相鄰模式敏感性故障”。一般情況下，通過在特定存儲單元中寫入與相鄰存儲單元中的數(shù)據(jù)(例如為“0”)相反的數(shù)據(jù)(例如為“1”)來檢測這種故障。在所有相鄰單元都存儲寫數(shù)據(jù)“0”時，半導(dǎo)體測試系統(tǒng)監(jiān)測該特定單元是否能正確地存儲寫數(shù)據(jù)“1”。
換言之，半導(dǎo)體測試系統(tǒng)中的模式發(fā)生器被設(shè)計為包括專用于存儲器測試的功能，即，能夠變換被測存儲器件的特定存儲單元(地址)的寫數(shù)據(jù)。由于模式發(fā)生器中提供了這種數(shù)據(jù)變換功能，所以可以在不需要復(fù)雜測試程序的條件下，快速產(chǎn)生復(fù)雜的測試模式。
用于這種存儲器測試的模式發(fā)生器PG，一般是用于產(chǎn)生包括將應(yīng)用在DUT上的地址數(shù)據(jù)、寫數(shù)據(jù)和控制數(shù)據(jù)的測試模式并具有算術(shù)功能的ALPG(算法模式發(fā)生器)。更具體說，該模式發(fā)生器產(chǎn)生將應(yīng)用在例如地址引腳、數(shù)據(jù)引腳、和控制引腳等DUT引腳上的測試模式?？刂茢?shù)據(jù)的例子包括芯片使能(CE)、寫使能(WE)、輸出使能(OE)、行地址選通(RAS)和列地址選通(CAS)。模式發(fā)生器PG還產(chǎn)生期望模式EXP，該模式將提供給數(shù)字比較器DC，用于與從DUT讀出的數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，還產(chǎn)生地址數(shù)據(jù)和用于控制地址故障存儲器AFM以便在其中存儲測試結(jié)果的控制數(shù)據(jù)。模式發(fā)生器PG還產(chǎn)生例如變換請求信號等控制信號，這也是以后將詳細(xì)說明的本發(fā)明主題。
圖2A是示出了模式發(fā)生器PG的基本結(jié)構(gòu)的框圖。該實例中，模式發(fā)生器由順序控制器400、地址發(fā)生器200、數(shù)據(jù)發(fā)生器300和控制信號發(fā)生器100構(gòu)成。如圖1所示，模式發(fā)生器接收來自定時發(fā)生器TG的定時(基準(zhǔn))時鐘，從而產(chǎn)生與基準(zhǔn)時鐘同步的測試模式(地址數(shù)據(jù)、寫數(shù)據(jù)、控制數(shù)據(jù)等)。
地址發(fā)生器200產(chǎn)生地址數(shù)據(jù)200s，數(shù)據(jù)發(fā)生器300產(chǎn)生數(shù)據(jù)300s，控制信號發(fā)生器100產(chǎn)生控制信號100s。數(shù)據(jù)300s包括將進(jìn)行詳細(xì)解釋的變換請求信號110s。如上所述，變換請求信號110s(圖2B)將產(chǎn)生能夠檢測被測存儲器件的“模式敏感性故障”或相鄰模式敏感性故障“的測試模式。
在所有其它相鄰存儲單元的寫數(shù)據(jù)都為“0”時，變換請求信號110s將為特定存儲單元產(chǎn)生例如為“1”的寫數(shù)據(jù)，反之亦然。一般情況下，該特定存儲單元的位置在例如圖4的陰影部分所示的對角線方向移動，以便有效檢測“模式敏感性故障”。為進(jìn)行這種測試，模式發(fā)生器PG產(chǎn)生逐一遞增以便順序訪問各存儲單元的地址數(shù)據(jù)，及對所有存儲單元來說例如為“0”的寫數(shù)據(jù)，和對于特定存儲單元來說將寫數(shù)據(jù)變換為“1”的變換請求信號。
圖2B是模式發(fā)生器中與產(chǎn)生變換請求信號110s有關(guān)的主要部件的框圖。應(yīng)注意，該實例是本發(fā)明人和本發(fā)明的受讓人的內(nèi)部資料，并不是公眾可以得到的信息。因此，圖2B的實例并非反對本發(fā)明的現(xiàn)有技術(shù)。在圖2B的實例中，X地址線和Y地址線的數(shù)量分別為16。圖2B的變換請求信號電路包括對角變換設(shè)定寄存器10、累加器20、X與門32、Y與門34和比較器(異OR)40。
對角變換設(shè)定寄存器10是寬度為16位的寄存器，用于存儲設(shè)定值，該設(shè)定值規(guī)定哪條對角線將被選擇用作數(shù)據(jù)變換的特定存儲單元的位置。累加器20是16位算術(shù)加法器，它從地址發(fā)生器200接收寬度為16位的Y地址數(shù)據(jù)，及從對角線變換設(shè)定寄存器10接收所述設(shè)定值，并輸出16位數(shù)據(jù)的相加結(jié)果YA。該過程中，不使用相加得到的進(jìn)位信號。
給X與門32的一個輸入端提供最大X地址值，而為另一輸入端提供X地址數(shù)據(jù)。為Y與門34的一個輸入端提供最大Y地址值，而為另一輸入端提供來自累加器20的相加結(jié)果YA。最大X地址值和最大Y地址值用作根據(jù)DUT的尺寸，限制寬度為16位的地址數(shù)據(jù)中的有效位寬的屏蔽數(shù)據(jù)。例如，在圖3所示存儲結(jié)構(gòu)中，由于有效位寬是2位，二進(jìn)制形式表示的屏蔽數(shù)據(jù)(最大地址值)為“0000,0000,0000,0011”，從而屏蔽高于頭兩位的數(shù)據(jù)位。
Y與門34為介于最大Y地址值和累加的16位輸出數(shù)據(jù)YA間的每一位，產(chǎn)生通過邏輯AND得到的16位輸出數(shù)據(jù)YB。輸出數(shù)據(jù)YB(Y比較數(shù)據(jù))提供給比較器40。X與門32為介于最大X地址值和寬度為16位的X地址數(shù)據(jù)間的每一位，產(chǎn)生通過邏輯AND得到的16位輸出數(shù)據(jù)XA。輸出數(shù)據(jù)XA(X比較數(shù)據(jù))提供給比較器40。
比較器40接收寬度為16位的Y比較數(shù)據(jù)YB和寬度為16位的X比較數(shù)據(jù)XA，比較它們之間的每個對應(yīng)位，僅在所有位彼此匹配時，產(chǎn)生變換請求信號。結(jié)果，DUT中特定存儲單元的寫數(shù)據(jù)被自動變換，并寫入其中。此外，提供給數(shù)字比較器DC的期望數(shù)據(jù)也因而被變換，從而可以正確地執(zhí)行與DUT的讀出數(shù)據(jù)的邏輯比較。關(guān)于數(shù)據(jù)變換的信息被提供給地址故障存儲器AFM，并用于故障分析。
因此，通過在對角變換設(shè)定寄存器10中定義設(shè)定值及例如最大地址數(shù)據(jù)等其它數(shù)據(jù)，可以產(chǎn)生上述的變換請求信號110s。所以，可以在不需要形成復(fù)雜模式程序的條件下，對存儲單元陣列中任意對角線上的存儲單元進(jìn)行數(shù)據(jù)變換。
在以下的條件等式1中，對在圖2B的框圖中進(jìn)行的用于產(chǎn)生變換請求信號110s的邏輯運(yùn)算求和。
條件等式1(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址值＝存儲單元的X地址AND最大Y地址值圖3A示出了相鄰存儲單元與對角線上用于在其中寫入變換數(shù)據(jù)的特定存儲單元間的關(guān)系的例子。該例子中，對角變換設(shè)定寄存器10中的設(shè)定值是“#3”，特定對角線上的存儲單元由“#3”表示。
另外，以下條件等式2將變換與由條件等式1定義的對角線垂直的反向?qū)蔷€上的數(shù)據(jù)。
條件等式2*(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址值＝最大X地址值A(chǔ)ND存儲單元的Y地址這里，等式2前面的符號*表示位變換，其對表示緊跟在該標(biāo)記后的括號內(nèi)的相加結(jié)果的數(shù)據(jù)進(jìn)行變換。圖3B示出了相鄰存儲單元與反向?qū)€角上在其中寫入變換數(shù)據(jù)的特定存儲單元間的關(guān)系。該例中，對角變換設(shè)定寄存器10中的設(shè)定值為“#3”，特定對角線上的存儲單元由“#3”表示。圖3B的對角線垂直于圖3A的對角線。
下面將根據(jù)圖2B所示的用于產(chǎn)生變換請求信號110s的電路圖，說明對角變換操作的具體例子。為簡化說明，下面針對被測存儲器件具有圖4所示的4×4存儲單元陣列的情況進(jìn)行說明。該過程中，變換存儲單元陣列對角線上的特定存儲單元的寫數(shù)據(jù)。由于存儲單元按4×4陣列排列，X地址和Y地址的最大值分別為“#3”。假定X地址和Y地址都開始于“#0”，對角變換設(shè)定寄存器10的設(shè)定值為“#3”。于是，通過屏蔽第三或更高位，而在以下過程中只考慮低兩位。
根據(jù)上述條件，以下針對每個X、Y地址，說明用于確定由地址數(shù)據(jù)定義的存儲單元的寫數(shù)據(jù)是否應(yīng)被變換的過程。該過程通過計算上述條件等式1的右側(cè)和左側(cè)進(jìn)行，并在計算結(jié)果彼此匹配時，確定該地址的寫數(shù)據(jù)應(yīng)被變換。
首先，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(0，0)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址值”為(0＋3) AND 3＝3，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為0 AND 3＝0，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。注意，上述的“0＋3”為“00＋11”，為二進(jìn)制“11”，所以上述的“(0＋3) AND 3”為“11 AND 11”，是二進(jìn)制形式的“11”，即“3”。另外，注意，上述的“0 AND 3”是“00 AND 11”，是二進(jìn)制形式的“00”，即“0”。以下的說明采用類似的規(guī)則。
第二，在下一存儲單元的地址為(X，Y)＝(1，0)時，條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址”為(0＋3) AND 3＝3，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為1 AND 3＝1，由此看來，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第三，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(2，0)時，條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址”為(0＋3) AND 3＝3，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為2 AND 3＝2，由此看來，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第四，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(3，0)時，條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址”為(0＋3) AND 3＝3，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為3 AND 3＝3，由于看來左側(cè)＝右側(cè)。因此，變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第五，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(0，1)時，條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址”為(1＋3) AND 3＝0，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為0 AND 3＝0，由于看來左側(cè)＝右側(cè)。因此，變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。注意，上述的“1＋3”為“01＋11”，為二進(jìn)制形式的“100”，通過屏蔽較高位，只有較低兩位有效，所以上述的“(1＋3) AND 3”為“00AND 11”，為二進(jìn)制形式的“00”，即“0”。以下說明采用類似規(guī)則。
第六，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(1，1)時，條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址”為(1＋3) AND 3＝0，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為1 AND 3＝1，由此看來，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第七，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(2，1)時，條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址”為(1＋3) AND 3＝0，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為2 AND 3＝2，由此看來，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第八，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(3，1)時，條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址”為(1＋3) AND 3＝0，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為3 AND 3＝3，由此看來，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第九，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(0，2)時，條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址”為(2＋3) AND 3＝1，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為0 AND 3＝0，由此看來，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(1，2)時，條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址”為(2＋3) AND 3＝1，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為1 AND 3＝1，由于看來左側(cè)＝右側(cè)。因此，變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十一，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(2，2)時，條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址”為(2＋3) AND 3＝1，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為2 AND 3＝2，由此看來，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十二，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(3，2)時，條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址”為(2＋3) AND 3＝1，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為3 AND 3＝3，由此看來，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十三，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(0，3)時，條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址”為(3＋3) AND 3＝2，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為0 AND 3＝0，由此看來，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十四，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(1，3)時，條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址”為(3＋3) AND 3＝2，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為1 AND 3＝1，由此看來，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十五，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(2，3)時，條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址”為(3＋3) AND 3＝2，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為2 AND 3＝2，由于看來左側(cè)＝右側(cè)。因此，變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十六，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(3，3)時，條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址”為(3＋3) AND 3＝2，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為3 AND 3＝3，由此看來，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
從上述的計算結(jié)果來看，第四、第五、第十和第十五次計算的計算結(jié)果的左側(cè)和右側(cè)彼此匹配，結(jié)果，模式發(fā)生器PG輸出變換請求信號110s。作為該變換請求信號110s的結(jié)果，特定存儲單元的寫數(shù)據(jù)被變換，如圖4中陰影部分所示。注意，特定存儲單元的位置處于陣列的對角線上(對角變換)，在評價存儲器件的模式敏感性故障時認(rèn)為這一點是有用的。
如上所述，圖2B的電路圖在產(chǎn)生包括模式變換運(yùn)算的測試模式時有效。然而，在X和Y方向上存儲單元數(shù)不同的情況下，會產(chǎn)生圖2B的電路圖不能一直正確工作的問題。換言之，這種類型的存儲器件中，某些存儲單元未被提供與相鄰存儲單元相反的寫數(shù)據(jù)。下面結(jié)合圖5和6介解釋這種差異。
在圖5和6的例子中，假定針對X和Y方向存儲單元數(shù)不一致的情況即8×4個存儲單元的情況，進(jìn)行對角變換操作。在進(jìn)行這種設(shè)定時，最大X地址值為#7，即，通過屏蔽第四或更高位而使低三位有效。最大Y地址值為#3，即通過屏蔽第三或更高位而使低兩位有效，這與上述例子相同。
還假定X地址和Y地址都從0開始，對角變換設(shè)定寄存器10的設(shè)定值為“#3”，這與圖4所示的上述例子相同。其寫數(shù)據(jù)應(yīng)變換的期望存儲單元位置由圖5中的交叉標(biāo)記表示。圖6示出了圖2B所示電路的運(yùn)算得到的實際存儲單元位置。
根據(jù)上述條件，下面針對每個X，Y地址，說明用于確定由地址數(shù)據(jù)定義的存儲單元的寫數(shù)據(jù)是否應(yīng)變換的過程。該過程通過計算上述條件等式1的右側(cè)和左側(cè)進(jìn)行，并在計算結(jié)果彼此匹配時，確定該地址的寫數(shù)據(jù)應(yīng)被變換。
首先，由地址(X，Y)＝(0，0)至(X，Y)＝(3，0)得到的計算結(jié)果與參考圖4的上述說明相同，所以這里不再對這些地址進(jìn)行解釋。
第二，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(4，0)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址值”為(0＋3) AND 3＝3，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為4 AND 7＝4，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。注意，由于右側(cè)(X地址)低三位有效，上述“4 AND 7”為“100 AND 111”，為二進(jìn)制形式的“100”即“4”。以下說明采用類似的規(guī)則。
第三，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(5，0)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址值”為(0＋3) AND 3＝3，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為5 AND 7＝5，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第四，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(6，0)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址值”為(0＋3) AND 3＝3，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為6 AND 7＝6，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第五，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(7，0)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址值”為(0＋3) AND 3＝3，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為7 AND 7＝7，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第六，由地址(X，Y)＝(0，1)至(X，Y)＝(3，1)計算的結(jié)果與以上結(jié)合圖4說明的相同，所以不再對這些地址進(jìn)行解釋。
第七，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(4，1)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址值”為(1＋3) AND 3＝0，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為4 AND 7＝4，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。如圖5所示，希望變換該存儲單元的寫數(shù)據(jù)，結(jié)果是與圖2B的例子不同。
第八，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(5，1)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址值”為(1＋3) AND 3＝0，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為5 AND 7＝5，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第九，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(6，1)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址值”為(1＋3) AND 3＝0，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為6 AND 7＝6，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(7，1)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址值”為(1＋3) AND 3＝0，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為7 AND 7＝7，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十一，由地址(X，Y)＝(0，2)至(X，Y)＝(3，2)計算的結(jié)果與以上結(jié)合圖4說明的相同，所以不再對這些地址進(jìn)行解釋。
第十二，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(4，2)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址值”為(2＋3) AND 3＝1，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為4 AND 7＝4，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十三，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(5，2)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址值”為(2＋3) AND 3＝1，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為5 AND 7＝5，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。然而，如圖5所示，希望該存儲單元的寫數(shù)據(jù)被變換，從而導(dǎo)致了與圖2B的例子的差異。
第十四，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(6，2)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址值”為(2＋3) AND 3＝1，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為6 AND 7＝6，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十五，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(7，2)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址值”為(2＋3) AND 3＝1，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為7 AND 7＝7，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十六，由地址(X，Y)＝(0，3)至(X，Y)＝(3，3)計算的結(jié)果與以上結(jié)合圖4說明的相同，所以不再對這些地址進(jìn)行解釋。
第十七，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(4，3)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址值”為(3＋3) AND 3＝2，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為4 AND 7＝4，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十八，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(5，3)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址值”為(3＋3) AND 3＝2，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為5 AND 7＝5，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。然后，如圖5所示，希望該存儲單元的寫數(shù)據(jù)被變換，這導(dǎo)致了與圖2B的例子不的差異。
第十九，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(6，3)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址值”為(3＋3) AND 3＝2，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為6 AND 7＝6，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。然而，如圖5所示，希望變換該存儲單元的寫數(shù)據(jù)，結(jié)果導(dǎo)致了與圖2B的例子的差異。
第二十，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(7，3)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND最大Y地址值”為(3＋3) AND 3＝2，條件等式的右側(cè)“(存儲單元的X地址AND最大X地址值)”為7 AND 7＝7，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
從上述計算結(jié)果可以知道，由于第五、第七、第十三和第十九次計算的結(jié)果中，等式左側(cè)和右側(cè)不匹配，所以不能產(chǎn)生變換請求信號110s。因此，顯然，在圖6所示的四個希望的存儲位置，無法進(jìn)行合適的變換操作。所以，在被測存儲器件具有X和Y方向單元數(shù)不同的存儲單元陣列的情況下，產(chǎn)生了對角變換不能適當(dāng)?shù)仄鹱饔玫膯栴}。
為在所有希望變換的存儲單元位置實現(xiàn)變換操作，需要形成復(fù)雜的測試程序，進(jìn)而需要大量的時間和工作量。另外，由于采用測試程序的這種方法無法連續(xù)且自動地對被測存儲器件進(jìn)行讀和寫，所以測試速率明顯下降，造成了存儲器件生產(chǎn)成本的提高。
因此，本發(fā)明的目的是提供一種用于半導(dǎo)體測試系統(tǒng)的模式發(fā)生器，即便被測存儲器件在行(X)和列(Y)方向上具有不同數(shù)量的存儲單元，該模式發(fā)生器也能夠正確地產(chǎn)生變換請求信號。
本發(fā)明另一目的是提供一種用于半導(dǎo)體測試系統(tǒng)的模式發(fā)生器，該模式發(fā)生器能夠在不采用測試程序的條件下變換位于被測存儲器件的特定對角線上的存儲單元的寫數(shù)據(jù)。
本發(fā)明另一目的是提供一種用于半導(dǎo)體測試系統(tǒng)的模式發(fā)生器，能夠以高測試通過量和低成本測試半導(dǎo)體存儲器件。
為了解決上述問題，在本發(fā)明中，半導(dǎo)體測試系統(tǒng)中用于產(chǎn)生測試半導(dǎo)體存儲器件的測試模式的模式發(fā)生器包括一個變換請求信號電路，該電路用于以特定存儲單元的位置在半導(dǎo)體存儲器件中存儲單元陣列的對角線上的方式，為DUT的每個特定存儲單元產(chǎn)生變換請求信號，以便變換特定存儲單元的寫數(shù)據(jù)，其中行(X)和列(Y)中的存儲單元數(shù)彼此不同。
在本發(fā)明中，即便被測存儲器件的行(X)和列(Y)方向具有不同存儲單元數(shù)，半導(dǎo)體測試系統(tǒng)也能夠響應(yīng)于模式發(fā)生器產(chǎn)生的地址數(shù)據(jù)和變換請求信號，正確地進(jìn)行數(shù)據(jù)的變換操作。
模式發(fā)生器中的變換請求信號電路包括一個對角變換設(shè)定寄存器，用于存儲定義存儲單元陣列上對角線位置的設(shè)定值；一個累加器，用于將被測存儲器件的Y地址數(shù)據(jù)與來自所述寄存器的設(shè)定值相加；一個被提供以累加器的輸出、最大Y地址值和最大X地址值的Y與門；一個被提供以被測存儲器件的X地址數(shù)據(jù)、最大Y地址值、最大X地址值的X與門；一個比較器，用于比較Y與門和X與門的輸出，并在各與門的輸出彼此匹配時，產(chǎn)生變換請求信號。
本發(fā)明再一方面是一種產(chǎn)生測試存儲器件的測試模式的方法，該方法包括變換寫數(shù)據(jù)的步驟。變換特定對角線上的存儲單元的寫數(shù)據(jù)的步驟(對角變換)根據(jù)以下等式進(jìn)行等式3(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)＝存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)。
另一方面，本發(fā)明的產(chǎn)生測試模式的方法執(zhí)行反向?qū)亲儞Q功能，其中的對角線垂直于等式3的對角線。變換該特定對角線上存儲單元的寫數(shù)據(jù)的過程(反向?qū)亲儞Q)根據(jù)以下等式進(jìn)行等式4*(存儲單元的X地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)＝存儲單元的Y地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)。
這里，等式4前面的標(biāo)記*表示位變換，其變換表示緊跟在標(biāo)記后的括號內(nèi)的相加結(jié)果的數(shù)據(jù)。
根據(jù)本發(fā)明，即便被測存儲器件在X和Y方向具有不同數(shù)量的存儲單元，半導(dǎo)體測試系統(tǒng)的模式發(fā)生器也能夠產(chǎn)生變換請求信號。該模式發(fā)生器能夠在不采用特定測試程序的條件下，變換存儲器件的特定對角線上的存儲單元的寫數(shù)據(jù)。因此，本發(fā)明可以以高測試通過量和低成本提高存儲器件的測試性能。
本發(fā)明可應(yīng)用于任何半導(dǎo)體存儲器件，例如獨立存儲器件或引入其它集成電路芯片的存儲塊，或嵌在一個片上系統(tǒng)中的存儲磁心等。本發(fā)明可以變換相同行(X)和列(Y)結(jié)構(gòu)或不同行(X)和列(Y)結(jié)構(gòu)的存儲器件的寫數(shù)據(jù)。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可以理解，本發(fā)明的說明書中所用的列(X)和列(Y)是可以互換的。
圖1是示出了包括模式發(fā)生器的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)的框圖。
圖2A是示出了模式發(fā)生器PG的基本結(jié)構(gòu)的例子的框圖。
圖2B是構(gòu)成常規(guī)技術(shù)的變換請求信號電路的基本構(gòu)件的例子的框圖，該常規(guī)技術(shù)是本發(fā)明人和受讓人的內(nèi)部資料，不能作為反對本發(fā)明的現(xiàn)有技術(shù)。
圖3A和3B是示出了相鄰存儲單元與對角線上用于在其中寫入變換數(shù)據(jù)的特定存儲單元間的關(guān)系的例子的示圖。
圖4是示出了根據(jù)圖2B所示電路圖的條件等式的右側(cè)和左側(cè)與被測存儲器件的存儲單元陣列間相互關(guān)系的示圖。
圖5是示出了在存儲器件的X和Y方向具有不同存儲單元數(shù)時，對角線上其寫入數(shù)據(jù)被變換的存儲單元的位置的示圖。
圖6是示出了描述圖2B所示電路的操作的條件等式的右側(cè)和左側(cè)與圖5的存儲器件中的存儲單元陣列間的相互關(guān)系的示圖。
圖7是示出了構(gòu)成引入本發(fā)明的模式發(fā)生器的變換請求信號電路的基本構(gòu)件的例子的框圖。
圖8是示出了描述圖7所示電路的操作的條件等式的右側(cè)和左側(cè)與圖5的存儲器件中的存儲單元陣列間的相互關(guān)系的示圖。
現(xiàn)參見圖7，該圖示出了根據(jù)本發(fā)明的模式發(fā)生器中的變換請求信號電路。圖8的示意圖中示出了采用圖7所示電路圖的本發(fā)明的效果。如圖7和8所示，在存儲器件的X(行)和Y(列)方向存儲單元數(shù)不同時，可以正確地變換對角線上特定存儲單元的寫數(shù)據(jù)。
圖7所示電路圖用于在滿足預(yù)定條件時產(chǎn)生變換請求信號110s。圖1的例子具有與圖2B類似的結(jié)構(gòu)。與圖2B的主要區(qū)別在于，另外為X與門32b提供最大Y地址值，另外為Y與門34b提供最大X地址值。其它部分與圖2B所示的相同，所以這里不再進(jìn)一步說明相同的部分。應(yīng)注意，為方便解釋起見而采用符號X(行)和Y(列)，本發(fā)明中X和Y可以隨意互換。
Y與門34b在16位最大Y地址值、16位最大X地址值和16位寬Y地址信號間進(jìn)行邏輯AND運(yùn)算，其結(jié)果是，向比較器件40提供作為Y比較數(shù)據(jù)YB的16位輸出。X與門32b在16位最大X地址值、16位最大Y地址值和16位寬X地址信號間進(jìn)行的邏輯AND運(yùn)算，其結(jié)果是，向比較器件40提供作為X比較數(shù)據(jù)XA的16位輸出。
比較器40接收16位的Y比較數(shù)據(jù)YB和16位的X比較數(shù)據(jù)XA，比較它們之間的每個對應(yīng)位，僅在所有位都匹配時，產(chǎn)生變換請求信號。該過程的結(jié)果是，DUT中特定存儲單元的寫數(shù)據(jù)被自動變換，并寫入其中。此外，提供給數(shù)字比較器DC的期望數(shù)據(jù)被變換，從而能夠正確地實現(xiàn)與DUT的讀出數(shù)據(jù)的邏輯比較。關(guān)于數(shù)據(jù)變換的信息被提供給地址故障存儲器AFM，以便用于故障分析。
在圖7的結(jié)構(gòu)下，利用以下條件等式3實現(xiàn)對角變換功能。
條件等式3(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)＝存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)。
另外，利用以下條件等式4可以實現(xiàn)對角線垂直于等式3的對角線時的反向?qū)亲儞Q功能。
條件等式4*(存儲單元的X地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)＝存儲單元的Y地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)。
這里，等式4前面的標(biāo)記*表示應(yīng)進(jìn)行位變換以變換表示緊跟在標(biāo)記后的括號內(nèi)的相加結(jié)果的數(shù)據(jù)。
參照圖8，根據(jù)圖7所示電路圖，即條件等式3，說明一個用于產(chǎn)生變換請求信號110s的對角變換操作過程的例子。以下說明是針對被測存儲器件具有圖5、6和8所示的8×4存儲單元陣列的情況進(jìn)行的。在該設(shè)置中，最大X地址是#7，即屏蔽第四或更高位，使低三位有效。最大Y地址是#3，即屏蔽第三或更高位，使低兩位有效，這與上述例子相同。假定X地址和Y地址都開始于“#0”，對角變換設(shè)定寄存器10的設(shè)定值為“#3”。
根據(jù)上述條件，下面針對每個X和Y地址，說明用于確定由地址數(shù)據(jù)定義的存儲單元的寫數(shù)據(jù)是否應(yīng)變換的過程。該過程通過計算上述條件等式3的右側(cè)和左側(cè)進(jìn)行，并在計算結(jié)果彼此匹配時，確定該地址的寫數(shù)據(jù)應(yīng)被變換。圖8中陰影部分表示根據(jù)本發(fā)明的模式發(fā)生器寫數(shù)據(jù)被變換的存儲單元位置。
首先，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(0，0)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(0＋3) AND 7 AND 3＝3，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為0 AND 7 AND 3＝0，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第二，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(1，0)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(0＋3) AND 7 AND 3＝3，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為1 AND 7 AND 3＝1，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第三，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(2，0)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(0＋3) AND 7 AND 3＝3，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為2 AND 7 AND 3＝2，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第四，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(3，0)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(0＋3) AND 7 AND 3＝3，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為3 AND 7 AND 3＝3，左側(cè)＝右側(cè)。因此，變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第五，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(4，0)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(0＋3) AND 7 AND 3＝3，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為4 AND 7 AND 3＝0，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第六，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(5，0)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(0＋3) AND 7 AND 3＝3，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為5 AND 7 AND 3＝1，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第七，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(6，0)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(0＋3) AND 7 AND 3＝3，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為6 AND 7 AND 3＝2，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第八，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(7，0)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(0＋3) AND 7 AND 3＝3，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為7 AND 7 AND 3＝3，左側(cè)＝右側(cè)。因此，變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第九，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(0，1)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(1＋3) AND 7 AND 3＝0，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為0 AND 7 AND 3＝0，左側(cè)＝右側(cè)。因此，變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(1，1)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(1＋3) AND 7 AND 3＝0，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為1 AND 7 AND 3＝1，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十一，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(2，1)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(1＋3) AND 7 AND 3＝0，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為2 AND 7 AND 3＝2，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十二，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(3，1)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(1＋3) AND 7 AND 3＝0，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為3 AND 7 AND 3＝3，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十三，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(4，1)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(1＋3) AND 7 AND 3＝0，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為4 AND 7 AND 3＝0，左側(cè)＝右側(cè)。因此，變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十四，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(5，1)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(1＋3) AND 7 AND 3＝0，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為5 AND 7 AND 3＝1，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十五，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(6，1)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(1＋3) AND 7 AND 3＝0，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為6 AND 7 AND 3＝2，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十六，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(7，1)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(1＋3) AND 7 AND 3＝0，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為7 AND 7 AND 3＝3，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十七，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(0，2)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(2＋3) AND 7 AND 3＝1，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為0 AND 7 AND 3＝0，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十八，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(1，2)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(2＋3) AND 7 AND 3＝1，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為1 AND 7 AND 3＝1，左側(cè)＝右側(cè)。因此，變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第十九，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(2，2)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(2＋3) AND 7 AND 3＝1，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為2 AND 7 AND 3＝2，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第二十，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(3，2)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(2＋3) AND 7 AND 3＝1，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為3 AND 7 AND 3＝3，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第二十一，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(4，2)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(2＋3) AND 7 AND 3＝1，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為4 AND 7 AND 3＝0，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第二十二，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(5，2)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(2＋3) AND 7 AND 3＝1，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為5 AND 7 AND 3＝1，左側(cè)＝右側(cè)。因此，變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第二十三，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(6，2)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(2＋3) AND 7 AND 3＝1，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為6 AND 7 AND 3＝2，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第二十四，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(7，2)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(2＋3) AND 7 AND 3＝1，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為7 AND 7 AND 3＝3，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第二十五，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(0，3)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(3＋3) AND 7 AND 3＝2，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為0 AND 7 AND 3＝0，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第二十六，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(1，3)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(3＋3) AND 7AND 3＝2，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為1 AND 7 AND 3＝1，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第二十七，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(2，3)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(3＋3) AND 7 AND 3＝2，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為2 AND 7 AND 3＝2，左側(cè)＝右側(cè)。因此，變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第二十八，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(3，3)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(3＋3) AND 7 AND 3＝2，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為3 AND 7 AND 3＝3，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第二十九，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(4，3)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(3＋3) AND 7 AND 3＝2，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為4 AND 7 AND 3＝0，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第三十，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(5，3)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(3＋3) AND 7 AND 3＝2，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為5 AND 7 AND 3＝1，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第三十一，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(6，3)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(3＋3) AND 7 AND 3＝2，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為6 AND 7 AND 3＝2，左側(cè)＝右側(cè)。因此，變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
第三十二，在存儲單元的地址為(X，Y)＝(7，3)時，該條件等式的左側(cè)“(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為(3＋3) AND 7 AND 3＝2，條件等式的右側(cè)“存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)”為7 AND 7 AND 3＝3，左側(cè)≠右側(cè)。因此，不變換該存儲單元的數(shù)據(jù)。
從上述的計算結(jié)果來看，第四、第八、第九、第十三、第十八、第二十二、第二十七和第三十一次計算的左側(cè)和右側(cè)彼此匹配，于是，圖7所示的電路產(chǎn)生變換請求信號110s，因而滿足了圖8中陰影部分所示的希望的變換操作。注意，變換寫數(shù)據(jù)的存儲單元的位置處于存儲單元陣列的各對角線上，該位置可以通過改變圖7中對角變換設(shè)定寄存器10中的設(shè)定值而改變。
以上說明是針對執(zhí)行在圖7所示電路中實施的條件等式3進(jìn)行的。本發(fā)明并不限于上述具體例子。例如，可以實現(xiàn)由條件等式4定義的反向?qū)亲儞Q操作，該反向?qū)亲儞Q操作設(shè)立了垂直于條件等式3的對角線的對角線。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，即便被測存儲器件的X和Y方向的存儲單元數(shù)不同，用于半導(dǎo)體測試系統(tǒng)的模式發(fā)生器也能夠正確地產(chǎn)生變換請求信號。該模式發(fā)生器能夠在不采用特定測試程序的條件下，變換存儲器件的特定對角線上的存儲單元的寫數(shù)據(jù)。因此，本發(fā)明可以以高測試通過量和低成本來提高存儲器件的測試性能。
本發(fā)明可應(yīng)用于任何半導(dǎo)體存儲器件，例如獨立存儲器件或引入其它集成電路芯片的存儲塊，或嵌在芯片上系統(tǒng)中的存儲磁心等。本發(fā)明可以變換相同行(X)和列(Y)結(jié)構(gòu)或不同行(X)和列(Y)結(jié)構(gòu)的存儲器件的寫數(shù)據(jù)。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可以理解，本發(fā)明的說明書中所用的列(X)和列(Y)是可以互換的。
盡管只具體示出了和說明了優(yōu)選實施例，但應(yīng)理解，在上述教導(dǎo)下，在不背離本發(fā)明的精神和想要的范圍的情況下，在所述書的權(quán)限范圍內(nèi)，本發(fā)明可以有許多改進(jìn)和變化。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體測試系統(tǒng)中的模式發(fā)生器，用于產(chǎn)生測試半導(dǎo)體存儲器件的測試模式，包括一個變換請求信號電路，該電路用于為被測存儲器件的每個特定存儲單元產(chǎn)生一個變換請求信號，以便變換寫數(shù)據(jù)；其中特定存儲單元的位置處于半導(dǎo)體存儲器件中存儲單元陣列的對角線上，其中行(X)和列(Y)中的存儲單元數(shù)彼此不同。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)中的模式發(fā)生器，其中變換請求信號電路包括一個對角變換設(shè)定寄存器，用于存儲一個設(shè)定值，所述設(shè)定值用于定義存儲單元陣列上對角線位置；一個累加器，用于將被測存儲器件的Y地址數(shù)據(jù)與來自所述寄存器設(shè)定值相加；一個被提供以累加器的輸出、最大Y地址值和最大X地址值的Y與門；一個被提供以被測存儲器件的X地址數(shù)據(jù)、最大Y地址值、最大X地址值的X與門；以及一個比較器，用于比較Y與門和X與門的輸出，并在Y與門和X與門的輸出彼此匹配時，產(chǎn)生變換請求信號。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)中的模式發(fā)生器，其中對變換請求信號電路進(jìn)行操作以對被測存儲器件的每個地址執(zhí)行以下等式(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)＝存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)其中在等式的右側(cè)和左側(cè)結(jié)果彼此匹配時，變換請求信號電路產(chǎn)生變換請求信號，從而變換被測存儲器件的特定存儲單元的寫數(shù)據(jù)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)中的模式發(fā)生器，其中對變換請求信號電路進(jìn)行操作以對被測存儲器件的每個地址執(zhí)行以下等式*(存儲單元的X地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)＝存儲單元的Y地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)這里，等式4前面的標(biāo)記*表示位變換，用于變換表示緊跟在標(biāo)記后的括號內(nèi)的相加結(jié)果的數(shù)據(jù)，其中在等式的右側(cè)和左側(cè)結(jié)果彼此匹配時，變換請求信號電路產(chǎn)生變換請求信號，從而變換被測存儲器件的特定存儲單元的寫數(shù)據(jù)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)中的模式發(fā)生器，產(chǎn)生用于訪問被測存儲器件和設(shè)置于半導(dǎo)體測試系統(tǒng)中用于存儲測試結(jié)果的故障存儲器的地址數(shù)據(jù)，用于控制被測存儲器件的操作的控制數(shù)據(jù)，以及被寫入被測存儲器件中由地址數(shù)據(jù)定義的地址上的寫數(shù)據(jù)；其中響應(yīng)于變換請求信號而被變換的寫數(shù)據(jù)，還作為期望數(shù)據(jù)被發(fā)送到半導(dǎo)體測試系統(tǒng)中的邏輯比較器，以便與被測存儲器件的輸出數(shù)據(jù)進(jìn)行比較。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)中的模式發(fā)生器，產(chǎn)生用于訪問被測存儲器件和半導(dǎo)體測試系統(tǒng)中用于存儲測試結(jié)果的故障存儲器的地址數(shù)據(jù)，用于控制被測存儲器件和故障存儲器的操作的控制數(shù)據(jù)，以及被寫入被測存儲器件中的由地址數(shù)據(jù)定義的地址上的寫數(shù)據(jù)；其中響應(yīng)于變換請求信號而被變換的寫數(shù)據(jù)，還作為期望數(shù)據(jù)被發(fā)送到半導(dǎo)體測試系統(tǒng)中的邏輯比較器，以便與被測存儲器件的輸出數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，關(guān)于數(shù)據(jù)變換的信息被提供給故障存儲器并存儲于其中。
7.一種為半導(dǎo)體測試系統(tǒng)產(chǎn)生測試模式以便測試半導(dǎo)體存儲器件的方法，包括通過對被測存儲器件的每個地址執(zhí)行以下等式而產(chǎn)生一個變換請求信號的步驟(存儲單元的Y地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)＝存儲單元的X地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)其中在等式的右側(cè)和左側(cè)結(jié)果彼此匹配時，變換請求信號電路產(chǎn)生一個變換請求信號，從而變換被測存儲器件中由等式中的X和Y地址定義的特定存儲單元的寫數(shù)據(jù)。
8.一種為半導(dǎo)體測試系統(tǒng)產(chǎn)生測試模式以便測試半導(dǎo)體存儲器件的方法，包括通過對被測存儲器件的每個地址執(zhí)行以下等式而產(chǎn)生一個變換請求信號的步驟*(存儲單元的X地址＋對角變換設(shè)定值)AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)＝存儲單元的Y地址AND(最大X地址值A(chǔ)ND最大Y地址值)這里，等式4前面的標(biāo)記*表示位變換，用于變換表示緊跟在標(biāo)記后的括號內(nèi)的相加結(jié)果的數(shù)據(jù)，其中在等式的右側(cè)和左側(cè)結(jié)果彼此匹配時，變換請求信號電路產(chǎn)生一個變換請求信號，從而變換被測存儲器件中由等式中的X和Y地址定義的特定存儲單元的寫數(shù)據(jù)。
全文摘要
一種通過產(chǎn)生和應(yīng)用測試模式來測試半導(dǎo)體存儲器件的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)模式發(fā)生器。該模式發(fā)生器能夠隨意地產(chǎn)生變換請求信號,以便變換被測存儲器件的特定存儲單元的讀/寫數(shù)據(jù),所述被測存儲器件的X(行)和Y(列)方向具有不同的存儲單元數(shù)。特定存儲單元的位置處于被測存儲器件中存儲單元陣列的對角線上,或與所述對角線垂直的反向?qū)蔷€上。
文檔編號G11C29/56GK1336553SQ0111898
公開日2002年2月20日 申請日期2001年5月18日 優(yōu)先權(quán)日2000年5月19日
發(fā)明者松井鶴人 申請人:株式會社鼎新