專利名稱:磁光頭的裝配方法、磁光頭以及磁光盤裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及磁光頭的裝配方法及裝置。
背景技術(shù):
近年來,伴隨著處理包含活動圖像的圖像信息等的信息量的增大,為了實(shí)現(xiàn)向光記錄媒體的高密度記錄,就要求被會聚的電子束光點(diǎn)的形狀愈發(fā)縮小,對物透鏡的數(shù)值孔徑變大,光記錄媒體與對物透鏡之間的動作距離也變短。由于對物透鏡的數(shù)值孔徑主要在對物透鏡的非球面單眼透鏡的制造上受到制約,所以在1片對物透鏡的高數(shù)值孔徑化上就有限度。因此,為了達(dá)到高數(shù)值孔徑,就提出了使用在激光成像側(cè)配置半球透鏡的雙片組合透鏡的光拾取器。
作為將此組合透鏡用于磁場調(diào)制記錄方式的磁光盤裝置的構(gòu)成,提出了在半球透鏡上安裝帶線圈的玻璃板的磁光頭。在此磁光頭中,為了使線圈在射束成像位置高效率地產(chǎn)生磁場,線圈的內(nèi)周相對于射束路徑狹窄至最大限度。從而,需要使半球透鏡的光軸與線圈中心精密地進(jìn)行對位,以在帶線圈的玻璃板與半球透鏡的接合中激光束不沖出線圈內(nèi)周。
若欲增大線圈的內(nèi)徑來防止激光束從線圈內(nèi)周沖出,不使線圈產(chǎn)生的磁場增大,則對媒體進(jìn)行信息的記錄/再現(xiàn)所必需的磁場將會不足。因此,想極力縮小線圈的內(nèi)徑。從而,如果使半球透鏡的光軸與線圈的中心精密地對位,就能夠使線圈減小,從而可提供小型的光學(xué)頭,并能夠以較少的磁場發(fā)生用電流來驅(qū)動線圈,將必要的磁場有效地提供給媒體,而不會對光量及射束形狀帶來影響。
發(fā)明內(nèi)容
因而,本發(fā)明的目的就是提供一種可使半球透鏡的光軸與線圈中心精密地進(jìn)行對位的磁光頭的裝配方法及裝置。
本發(fā)明的一個技術(shù)方案提供一種包含玻璃板和半球透鏡的磁光頭的裝配裝置,所述玻璃板具有相互平行的第1面和第2面、并在該第1面上形成有線圈,所述半球透鏡被粘接在上述玻璃板的第2面上,其特征在于包括可在相互垂直的X軸方向及Y軸方向上移動的XY載物臺;搭載于上述XY載物臺上的夾具;夾持上述半球透鏡的夾持機(jī)構(gòu);使上述夾持機(jī)構(gòu)可在相互垂直的X軸方向、Y軸方向及Z軸方向移動地載持的XYZ載物臺;觀察上述夾具上所載置的上述玻璃板及半球透鏡的顯微鏡;可在Z軸方向上移動地支持上述顯微鏡的Z載物臺;拍攝上述顯微鏡的觀察像的攝像裝置;連接到上述攝像裝置的圖像處理裝置;以及連接到上述XY載物臺、XYZ載物臺、Z載物臺及圖像處理裝置,控制該XY載物臺、XYZ載物臺、Z載物臺及圖像處理裝置的控制裝置。
最好是,磁光頭的裝配裝置還包括將粘接劑提供到玻璃板的第2面上的粘接劑供給裝置;以及對所供給的粘接劑照射紫外線的紫外線照射光源。最好是,顯微鏡由干涉顯微鏡構(gòu)成。進(jìn)而最好是,磁光頭的裝配裝置還包括連接到圖像處理裝置的顯示裝置;以及對夾具上所載置的玻璃板的傾斜進(jìn)行校正的XY旋轉(zhuǎn)載物臺;XY旋轉(zhuǎn)載物臺被連接到控制裝置。
本發(fā)明的另一技術(shù)方案提供一種包含玻璃板和半球透鏡的磁光頭的裝配方法,所述玻璃板具有相互平行的第1面和第2面、并在該第1面上形成有線圈,所述半球透鏡被粘接在上述玻璃板的第2面上,其特征在于包括以下各步驟在夾具上載置玻璃板;使干涉顯微鏡的焦點(diǎn)對準(zhǔn)形成在上述玻璃板上的線圈;拍攝干涉顯微鏡的觀察像;根據(jù)所拍攝的圖像通過圖像處理裝置計算出上述線圈的中心位置的坐標(biāo);移動上述夾具以使線圈中心位置與攝像裝置的視野中心位置一致;將粘接材料供給到上述玻璃板的第2面上;將上述半球透鏡載置在上述玻璃板的第2面上;使干涉顯微鏡的焦點(diǎn)對焦到自上述半球透鏡的頂點(diǎn)稍向下的位置上;用干涉顯微鏡來觀察上述半球透鏡表面上所出現(xiàn)的莫爾條紋;拍攝干涉顯微鏡的觀察像;根據(jù)所拍攝的圖像通過圖像處理裝置計算出上述半球透鏡的中心位置的坐標(biāo);移動上述夾具以使透鏡中心位置與攝像裝置的視野中心位置一致;以及使上述粘接劑硬化后將上述半球透鏡粘接到上述玻璃板。
最好是,磁光頭的裝配方法還包括以下步驟在使干涉顯微鏡的焦點(diǎn)對準(zhǔn)線圈的步驟之前,使干涉顯微鏡的焦點(diǎn)對準(zhǔn)玻璃板的第2面;用干涉顯微鏡觀察玻璃板上的干涉條紋;使干涉顯微鏡的焦點(diǎn)上升少許;根據(jù)干涉條紋的移動方向來測定玻璃板的傾斜;以及進(jìn)行調(diào)整以使玻璃板成為水平。
例如,計算線圈中心位置的坐標(biāo)的步驟由將線圈內(nèi)周形狀的圖案像及線圈中心位置作為主圖案進(jìn)行登錄,并使攝像畫面與上述主圖案一致的步驟構(gòu)成。作為代替方案,使用具有以從線圈中心到線圈內(nèi)周圓的最短距離為半徑的圓形絕緣保護(hù)層的線圈。然后,計算線圈中心位置的坐標(biāo)的步驟由求解圓形絕緣保護(hù)層的中心的步驟構(gòu)成。作為此代替方案的變形例,也可以使用在以從線圈中心到線圈內(nèi)周圓的最短距離為半徑的圓形圖案的外側(cè)具有絕緣保護(hù)層的線圈;在此情況下,計算線圈中心位置的坐標(biāo)的步驟由求解圓形圖案的中心的步驟構(gòu)成。
本發(fā)明的又一技術(shù)方案提供一種磁光頭,其特征在于包括具有相互平行的第1面和第2面,并在該第1面上形成有線圈的玻璃板;粘接在上述玻璃板的第2面上的第1透鏡;從上述第1透鏡離開預(yù)定距離進(jìn)行配置的第2透鏡;以及一端被粘接到上述玻璃板,在另一端保持上述第2透鏡的透鏡支架;上述線圈具有以從線圈中心到線圈內(nèi)周圓的最短距離為半徑的圓形絕緣保護(hù)層。
本發(fā)明的又一技術(shù)方案提供一種磁光頭,其特征在于包括具有相互平行的第1面和第2面,并在該第1面上形成有線圈的玻璃板;粘接在上述玻璃板的第2面上的第1透鏡;從上述第1透鏡離開預(yù)定距離進(jìn)行配置的第2透鏡;以及一端被粘接到上述玻璃板,在另一端保持上述第2透鏡的透鏡支架;上述線圈在以從線圈中心到線圈內(nèi)周圓的最短距離為半徑的圓形圖案的外側(cè)具有絕緣保護(hù)層。
圖1是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)的磁光頭的斷面圖;圖2是本發(fā)明實(shí)施方式的磁光頭的裝配裝置的概略構(gòu)成圖;圖3是表示本發(fā)明的磁光頭的裝配方法的流程圖;圖4A~圖4D是表示在玻璃板從水平面傾斜時在玻璃板表面上發(fā)生的干涉條紋的樣子的說明圖;圖5是本發(fā)明實(shí)施方式的線圈的平面圖;圖6是本發(fā)明的其他實(shí)施方式的線圈的平面圖;圖7是表示在半球透鏡上發(fā)生的莫爾條紋的干涉顯微鏡的觀察像。
具體實(shí)施例方式
圖1表示與本發(fā)明實(shí)施方式相關(guān)的磁光頭2的斷面圖。磁光頭2包含具有相互平行的第1面4a和第2面4b的玻璃板4。在玻璃板4的第1面4a上通過濺射或者蒸鍍等而形成有磁場發(fā)生用的線圈6。在玻璃板4的第2面4b上通過光學(xué)粘接劑而粘接著半球透鏡8。10是透鏡支架,其一端被粘接到玻璃板4,而在另一端保持透鏡12。進(jìn)行調(diào)整以使半球透鏡8的光軸與透鏡12的光軸相互一致,進(jìn)而對半球透鏡8的光軸進(jìn)行調(diào)整使其與線圈6的中心大略一致。
磁光頭2是磁場調(diào)制記錄方式的磁光盤裝置中所使用的磁光頭,是相對于通過電機(jī)13旋轉(zhuǎn)的磁光記錄媒體(磁光盤)14、在激光束照射側(cè)設(shè)置有線圈6的前置照明類型的磁光頭。即、相對于磁光記錄媒體14、在從激光二極管等光源15出射的激光束17照射側(cè)設(shè)置有線圈6。但是,圖1為可應(yīng)用本發(fā)明的磁光頭的一例,本發(fā)明的應(yīng)用并不限定于磁場調(diào)制記錄方式或前置照明類型。另外,磁光記錄媒體不僅可以是盤形狀、也可利用卡形狀的記錄媒體。下面,參照圖2及圖3來說明對磁光頭2進(jìn)行裝配的裝配裝置及裝配方法。
圖2是與本發(fā)明實(shí)施例相關(guān)的磁光頭的裝配裝置的概略構(gòu)成圖。16是可在相互垂直的X軸方向及Y軸方向上移動的XY載物臺,在XY載物臺16上搭載有可繞X軸及繞Y軸旋轉(zhuǎn)的XY旋轉(zhuǎn)載物臺(2軸旋轉(zhuǎn)載物臺)18。在XY旋轉(zhuǎn)載物臺18上搭載著具有凹部22的夾具20。
24是夾持半球透鏡8的夾持機(jī)構(gòu),此夾持機(jī)構(gòu)24被搭載在可在相互垂直的X軸方向、Y軸方向及Z軸方向進(jìn)行移動的XYZ載物臺26上。28是干涉顯微鏡,由可在Z軸方向上移動的Z載物臺30所支持。在干涉顯微鏡28上搭載有CCD相機(jī)32。CCD相機(jī)32被連接到圖像處理裝置34,圖像處理裝置34的出力用顯示裝置38進(jìn)行顯示。XY載物臺16、XY旋轉(zhuǎn)載物臺18、XYZ載物臺26、Z載物臺30及圖像處理裝置34被連接到例如由個人計算機(jī)等構(gòu)成的控制裝置36,由控制裝置36進(jìn)行控制。40是供給光學(xué)粘接劑的粘接劑分配器,此粘接劑是紫外線硬化型粘接劑。42是照射紫外線的紫外線照射光源。
下面,一邊參照圖3的流程圖,一邊對本發(fā)明實(shí)施方式的磁光頭的裝配方法進(jìn)行說明。首先,在步驟S10,使玻璃板4的第1面(線圈形成面)朝下地將玻璃板4搭載在夾具20上。接著,在步驟S11操作Z載物臺30,將干涉顯微鏡28的焦點(diǎn)對準(zhǔn)到玻璃板4的上面(第2面),在干涉顯微鏡28的觀察像中觀看干涉條紋(步驟S12)。接著,使干涉顯微鏡28的焦點(diǎn)上升少許(步驟S13),根據(jù)干涉條紋的移動方向來測定玻璃板4的傾斜(步驟S14)。
參照圖4A~圖4D來進(jìn)一步說明玻璃板4的傾斜測定。在圖4A,44是垂至于干涉顯微鏡28的光軸的基準(zhǔn)水平面。46是基準(zhǔn)水平面44與玻璃板4的上面(第2面)相交的線,被稱為棱線。圖4B是對圖4A的狀態(tài)的玻璃板4進(jìn)行了觀察的干涉顯微鏡28的觀察像(視野像),在玻璃板4相對于基準(zhǔn)水平面44傾斜的情況下,在玻璃板4的表面產(chǎn)生平行于棱線46的干涉條紋48,當(dāng)玻璃板4的傾斜越大,干涉條紋48的間隔就變得越窄。
圖4C示意性地表示使干涉顯微鏡28的焦點(diǎn)如箭頭50所示那樣上升少許的情形,此時的干涉顯微鏡28的觀察像就成為圖4D所示那樣。如圖4D的箭頭52所示,干涉條紋48沿玻璃板4的傾斜方向(較高側(cè))進(jìn)行移動。從而,就能夠?qū)Ω缮鏃l紋48的移動方向或玻璃板4的傾斜進(jìn)行測定。
在步驟S14中對玻璃板4的傾斜方向進(jìn)行了判別后,進(jìn)入步驟S15操作XY旋轉(zhuǎn)載物臺18進(jìn)行調(diào)整以使玻璃板4與基準(zhǔn)水平面44平行。即、由于干涉條紋48在玻璃板4傾斜的情況下發(fā)生,所以對玻璃板4的傾斜進(jìn)行調(diào)整以使干涉條紋48消失。在這樣將玻璃板4調(diào)整成水平后,進(jìn)入步驟S16,通過操作Z載物臺30,使干涉顯微鏡28的焦點(diǎn)對準(zhǔn)線圈6,通過圖像處理裝置34來測定線圈6的中心位置(步驟S17)。即、通過圖像處理裝置34,計算出線圈6的中心位置的坐標(biāo)。
步驟S17的計算線圈中心位置的坐標(biāo)的步驟,例如,通過將線圈內(nèi)周形狀的圖案像及線圈中心位置作為主圖案登錄到圖像處理裝置34,并使利用CCD相機(jī)32拍攝的畫面與主圖案一致的、所謂的圖案匹配來實(shí)施。作為代替方案,使用圖5所示的具有以從線圈中心到線圈內(nèi)周圓的最短距離為半徑的圓形保護(hù)絕緣層54的線圈6。圓形保護(hù)絕緣層54例如由厚度1μm左右的氧化鋁膜構(gòu)成。在此情況下,計算線圈中心位置的坐標(biāo)的步驟,則由求解圓形絕緣保護(hù)層54的中心的步驟構(gòu)成。
作為圖5的變形例,也可以如圖6所示那樣,在以從線圈中心到線圈內(nèi)周圓的最短距離為半徑的圓形圖案56的外側(cè)具有絕緣保護(hù)層58。絕緣保護(hù)層58例如由氧化鋁膜構(gòu)成。在此情況下,計算線圈中心位置的坐標(biāo)的步驟,則由求解圓形圖案56的中心的步驟構(gòu)成。
接著,進(jìn)入步驟S18,通過操作XY載物臺16,使夾具20進(jìn)行移動以使線圈6的中心位置與裝配基準(zhǔn)位置、即CCD相機(jī)32的視野中心位置一致。接著,通過粘接劑分配器40將紫外線硬化型光學(xué)粘接劑供給玻璃板4的上面(步驟S19)。接著,用夾持機(jī)構(gòu)24夾持半球透鏡8(步驟S20),并操作XYZ載物臺26將半球透鏡8放置在玻璃板4的上面(步驟S21)。
接著,進(jìn)入步驟S22,操作Z載物臺30使干涉顯微鏡28的焦點(diǎn)對焦到自半球透鏡8的頂點(diǎn)稍向下的位置。接著,進(jìn)入步驟S23對透鏡中心位置進(jìn)行測定。在此透鏡中心位置的測定中,如圖7所示那樣,對出現(xiàn)在半球透鏡8的表面的同心圓狀的莫爾條紋60進(jìn)行觀察,并用CCD相機(jī)32來拍攝此莫爾條紋60,根據(jù)所拍攝的圖像通過圖像處理裝置34,計算出半球透鏡8的中心位置的坐標(biāo),將其設(shè)為透鏡頂點(diǎn)位置。
操作XY載物臺16來移動夾具20以使這樣求得的半球透鏡8的光軸與CCD相機(jī)32的視野中心位置一致(步驟S24)。即、驅(qū)動XY載物臺16以使半球透鏡8的光軸與上述的裝配基準(zhǔn)位置一致。在位置對合后,進(jìn)入步驟S25,通過從紫外線照射光源42照射紫外線使粘接劑硬化,將半球透鏡8粘結(jié)到玻璃板4上。
由于本發(fā)明如以上所詳述那樣進(jìn)行構(gòu)成,故能夠自動高效地進(jìn)行具有線圈及透鏡的磁光頭的裝配。即、能夠?qū)崿F(xiàn)半球透鏡的光軸精確地重合于線圈中心位置的裝配。由于能夠使半球透鏡的光軸和線圈中心精密地進(jìn)行對位,所以就可以提供具有小線圈的小型磁光頭,并能夠以較少的磁場發(fā)生用電流來驅(qū)動線圈,將必要的磁場有效地提供給媒體,而不會對光量及射束形狀帶來影響。
權(quán)利要求
1.一種包含玻璃板和半球透鏡的磁光頭的裝配裝置,所述玻璃板具有相互平行的第1面和第2面、并在該第1面上形成有線圈,所述半球透鏡被粘接在上述玻璃板的第2面上,其特征在于包括可在相互垂直的X軸方向及Y軸方向上移動的XY載物臺;搭載于上述XY載物臺上的夾具;夾持上述半球透鏡的夾持機(jī)構(gòu);載持上述夾持機(jī)構(gòu),使上述夾持機(jī)構(gòu)可在相互垂直的X軸方向、Y軸方向及Z軸方向移動的XYZ載物臺;觀察上述夾具上所載置的上述玻璃板及半球透鏡的顯微鏡;可在Z軸方向上移動地支持上述顯微鏡的Z載物臺;拍攝上述顯微鏡的觀察像的攝像裝置;連接到上述攝像裝置的圖像處理裝置;以及連接到上述XY載物臺、XYZ載物臺、Z載物臺及圖像處理裝置,并控制該XY載物臺、XYZ載物臺、Z載物臺及圖像處理裝置的控制裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁光頭的裝配裝置,其特征在于還包括將粘接劑提供到上述玻璃板的第2面上的粘接劑供給裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2述的磁光頭的裝配裝置,其特征在于還包括對提供到上述玻璃板的第2面上的粘接劑照射紫外線的紫外線照射光源。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁光頭的裝配裝置,其特征在于還包括連接到上述圖像處理裝置的顯示裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁光頭的裝配裝置,其特征在于還包括對上述夾具上所載置的上述玻璃板的傾斜進(jìn)行校正的XY旋轉(zhuǎn)載物臺;該XY旋轉(zhuǎn)載物臺被連接到上述控制裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁光頭的裝配裝置,其特征在于上述顯微鏡由干涉顯微鏡構(gòu)成。
7.一種包含玻璃板和半球透鏡的磁光頭的裝配方法,所述玻璃板具有相互平行的第1面和第2面、并在該第1面上形成有線圈,所述半球透鏡被粘接在上述玻璃板的第2面上,其特征在于包括以下各步驟在夾具上載置玻璃板;使干涉顯微鏡的焦點(diǎn)對準(zhǔn)形成在上述玻璃板上的線圈;拍攝干涉顯微鏡的觀察像;根據(jù)所拍攝的圖像通過圖像處理裝置計算出上述線圈的中心位置的坐標(biāo);移動上述夾具以使線圈中心位置與攝像裝置的視野中心位置一致;將粘接材料供給到上述玻璃板的第2面上;將上述半球透鏡載置在上述玻璃板的第2面上;使干涉顯微鏡的焦點(diǎn)對焦到自上述半球透鏡的頂點(diǎn)向下少許的位置;用干涉顯微鏡來觀察上述半球透鏡表面上所出現(xiàn)的莫爾條紋;拍攝干涉顯微鏡的觀察像;根據(jù)所拍攝的圖像通過圖像處理裝置計算出上述半球透鏡的中心位置的坐標(biāo);移動上述夾具以使透鏡中心位置與攝像裝置的視野中心位置一致;以及使上述粘接劑硬化后將上述半球透鏡粘接到上述玻璃板。
8.根據(jù)權(quán)利要求7述的磁光頭的裝配方法,其特征在于還包括以下步驟在使上述干涉顯微鏡的焦點(diǎn)對準(zhǔn)線圈的步驟之前,使干涉顯微鏡的焦點(diǎn)對準(zhǔn)上述玻璃板的第2面;用干涉顯微鏡觀察上述玻璃板上的干涉條紋;使干涉顯微鏡的焦點(diǎn)上升少許;根據(jù)干涉條紋的移動方向來測定上述玻璃板的傾斜;以及進(jìn)行調(diào)整以使上述玻璃板成為水平。
9.根據(jù)權(quán)利要求7述的磁光頭的裝配方法,其特征在于通過紫外線照射而實(shí)現(xiàn)上述粘接劑的硬化。
10.根據(jù)權(quán)利要求7述的磁光頭的裝配方法,其特征在于上述線圈中心位置的坐標(biāo)計算步驟由將線圈內(nèi)周形狀的圖案像及線圈中心位置作為主圖案進(jìn)行登錄,并使攝像畫面與上述主圖案一致的步驟構(gòu)成。
11.根據(jù)權(quán)利要求7述的磁光頭的裝配方法,其特征在于上述線圈具有以從線圈中心到線圈內(nèi)周圓的最短距離為半徑的圓形絕緣保護(hù)層;計算上述線圈中心位置的坐標(biāo)的步驟由求解上述圓形絕緣保護(hù)層的中心的步驟構(gòu)成。
12.根據(jù)權(quán)利要求7述的磁光頭的裝配方法,其特征在于上述線圈在以從線圈中心到線圈內(nèi)周圓的最短距離為半徑的圓形圖案的外側(cè)具有絕緣保護(hù)層;計算上述線圈中心位置的坐標(biāo)的步驟由求解上述圓形圖案的中心的步驟構(gòu)成。
13.一種磁光頭,其特征在于包括具有相互平行的第1面和第2面,并在該第1面上形成有線圈的玻璃板;粘接在上述玻璃板的第2面上的第1透鏡;從上述第1透鏡離開預(yù)定距離進(jìn)行配置的第2透鏡;以及一端被粘接到上述玻璃板,而在另一端保持上述第2透鏡的透鏡支架;上述線圈具有以從線圈中心到線圈內(nèi)周圓的最短距離為半徑的圓形絕緣保護(hù)層。
14.一種磁光頭,其特征在于包括具有相互平行的第1面和第2面,并在該第1面上形成有線圈的玻璃板;粘接在上述玻璃板的第2面上的第1透鏡;從上述第1透鏡離開預(yù)定距離進(jìn)行配置的第2透鏡;以及一端被粘接到上述玻璃板,而在另一端保持上述第2透鏡的透鏡支架;上述線圈在以從線圈中心到線圈內(nèi)周圓的最短距離為半徑的圓形圖案的外側(cè)具有絕緣保護(hù)層。
15.一種在磁光記錄媒體上記錄/再現(xiàn)信息的磁光盤裝置,其特征在于包括使記錄媒體旋轉(zhuǎn)的電機(jī);產(chǎn)生光束的光源;以及將該光束聚焦在磁光記錄媒體上的磁光頭;其中,上述磁光頭具備具有相互平行的第1面和第2面,并在該第1面上形成有線圈的玻璃板;粘接在上述玻璃板的第2面上的第1透鏡;從上述第1透鏡離開預(yù)定距離進(jìn)行配置的第2透鏡;以及一端被粘接到上述玻璃板,而在另一端保持上述第2透鏡的透鏡支架;上述線圈具有以從線圈中心到線圈內(nèi)周圓的最短距離為半徑的圓形絕緣保護(hù)層。
16.一種在磁光記錄媒體上記錄/再現(xiàn)信息的磁光盤裝置,其特征在于包括使記錄媒體旋轉(zhuǎn)的電機(jī);產(chǎn)生光束的光源;以及將該光束聚焦在磁光記錄媒體上的磁光頭;其中,上述磁光頭具備具有相互平行的第1面和第2面,并在該第1面上形成有線圈的玻璃板;粘接在上述玻璃板的第2面上的第1透鏡;從上述第1透鏡離開預(yù)定距離進(jìn)行配置的第2透鏡;以及一端被粘接到上述玻璃板,而在另一端保持上述第2透鏡的透鏡支架;上述線圈在以從線圈中心到線圈內(nèi)周圓的最短距離為半徑的圓形圖案的外側(cè)具有絕緣保護(hù)層。
全文摘要
本發(fā)明公開一種磁光頭裝配方法和裝置、磁光頭及磁光盤裝置,所述裝配裝置是用于包含玻璃板和半球透鏡的磁光頭的裝配裝置,該玻璃板具有相互的第1面和第2面、并在該第1面上形成有線圈,該半球透鏡粘接在玻璃板的第2面上,包括可在相互垂直的X軸方向及Y軸方向上移動的XY載物臺;搭載于XY載物臺上的夾具;夾持半球透鏡的夾持機(jī)構(gòu);以及可在相互垂直的X軸、Y軸及Z軸方向移動地載持夾持機(jī)構(gòu)的XYZ載物臺。裝配裝置還包括觀察夾具上所載置的玻璃板及半球透鏡的干涉顯微鏡;可在Z軸方向移動地支持干涉顯微鏡的Z載物臺;拍攝干涉顯微鏡的觀察像的攝像裝置;連接到攝像裝置的圖像處理裝置;以及連接到XY載物臺、XYZ載物臺、Z載物臺及圖像處理裝置的控制裝置。
文檔編號G11B11/105GK1625774SQ0282897
公開日2005年6月8日 申請日期2002年6月28日 優(yōu)先權(quán)日2002年6月28日
發(fā)明者矢吹彰彥, 穗刈守, 明間滋, 宮川亞優(yōu) 申請人:富士通株式會社