專利名稱：磁記錄媒體和磁記錄媒體的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種磁記錄媒體和磁記錄媒體的制造方法。
背景技術(shù)：
原來(lái)，例如硬盤等磁記錄媒體具有被分區(qū)為多個(gè)數(shù)據(jù)區(qū)域和多個(gè)伺服區(qū)域而記錄信息的磁性層，在伺服區(qū)域中以規(guī)定的伺服圖案磁記錄用于確定頭位置等的控制用的伺服信息。
伺服信息的記錄工序是通過(guò)伺服軌道寫入方式在每個(gè)磁記錄媒體中以相反極性順序磁化伺服區(qū)域的伺服圖案和其周圍部，存在生產(chǎn)率低的問(wèn)題。特別是近年來(lái)，由于面記錄密度的提高和隨之而來(lái)的頭浮起高度的降低，對(duì)于伺服信息，也要求高密度、高精度的記錄，增強(qiáng)了對(duì)伺服信息的記錄效率改善的需求。
針對(duì)于此，提出了一種磁記錄媒體，僅在伺服圖案部或其周圍部的任意其中之一上形成磁性層，按形狀形成伺服圖案(例如參考專利文獻(xiàn)1)。這樣，通過(guò)向磁記錄媒體施加同樣的直流磁場(chǎng)，磁性層按伺服圖案磁化，因此可大大改善伺服信息的記錄效率。
專利文獻(xiàn)1為特開(kāi)平6-195907號(hào)公報(bào)。
然而，在僅在伺服圖案部或其周圍部的任意其中之一上形成磁性層的情況下，因?yàn)楸淮呕膬H為伺服圖案部或其周圍部的任意其中之一，因此相對(duì)于以相反的極性磁化伺服圖案部或其周圍部的原來(lái)的磁記錄媒體而言，輸出變化量降低一半，出現(xiàn)伺服信息的讀取精度低下的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是考慮以上的問(wèn)題而作出的，其目的在于提供一種可高效率地記錄伺服信息、并且得到充分的輸出變化量、伺服信息的讀取精度良好的磁記錄媒體。
本發(fā)明是將磁性層按形狀分離為伺服圖案單位部和伺服圖案周圍部而形成，并且伺服圖案單位部和伺服圖案周圍部形成為不同大小，使得具有不同的磁特性，從而解決上述問(wèn)題。
本發(fā)明人在完成本發(fā)明的過(guò)程中嘗試按各種形狀加工磁性層，關(guān)注磁性層的磁特性因其形狀的大小而改變的情況。示出一個(gè)例子，發(fā)現(xiàn)磁性層的矯頑力在其大小降低到數(shù)百nm附近時(shí)有顯著增大的傾向。
因此，如果伺服圖案單位部和伺服圖案周圍部按不同大小形成而使得具有不同磁特性，則可從磁特性的差異識(shí)別出二者，并且將伺服圖案單位部和伺服圖案周圍部二者磁化，可得到充分的輸出變化量。
這樣，本發(fā)明是根據(jù)與已有技術(shù)全然不同的見(jiàn)識(shí)，在磁性層的伺服區(qū)域的伺服圖案部和其周圍部配置大小不同的磁性單元，借助磁特性的差異識(shí)別出二者，結(jié)構(gòu)與以磁性單元的有無(wú)來(lái)識(shí)別伺服圖案部和其周圍部的已有技術(shù)完全不同。
即，根據(jù)如下的本發(fā)明，實(shí)現(xiàn)上述問(wèn)題的解決。
(1)一種磁記錄媒體，其特征在于具有被分區(qū)為多個(gè)數(shù)據(jù)區(qū)域和多個(gè)伺服區(qū)域而記錄信息的磁性層，該磁性層在上述各伺服區(qū)域中被分離為形成規(guī)定的伺服圖案的多個(gè)伺服圖案單位部和該伺服圖案單位部周圍的伺服圖案周圍部，并且上述伺服圖案單位部和上述伺服圖案周圍部按不同大小形成，使得其具有不同的磁特性。
(2)根據(jù)上述(1)的磁記錄媒體，其特征在于上述各伺服圖案單位部由比其還小的多個(gè)伺服圖案單位構(gòu)成單元的集合構(gòu)成。
(3)根據(jù)上述(1)或(2)的磁記錄媒體，其特征在于在上述各伺服區(qū)域中一體地僅形成一個(gè)上述伺服圖案周圍部。
(4)根據(jù)上述(1)的磁記錄媒體，其特征在于上述伺服圖案周圍部由比上述伺服圖案單位部還小地形成的多個(gè)伺服圖案周圍單元的集合構(gòu)成。
(5)根據(jù)上述(1)至(4)之一的磁記錄媒體，其特征在于上述伺服圖案單位部和上述伺服圖案周圍部按不同大小形成，使得其具有作為上述磁特性的不同的矯頑力。
(6)根據(jù)上述(1)至(4)之一的磁記錄媒體，其特征在于上述伺服圖案單位部和上述伺服圖案周圍部按不同大小形成，使得其具有作為上述磁特性的不同的磁各向異性。
(7)根據(jù)上述(1)至(4)之一的磁記錄媒體，其特征在于上述伺服圖案單位部和上述伺服圖案周圍部按不同大小形成，使得其具有作為上述磁特性的不同的剩磁。
(8)根據(jù)上述(1)至(7)之一的磁記錄媒體，其特征在于上述磁性層在上述各數(shù)據(jù)區(qū)域中，從形狀上被分離為多個(gè)記錄單元而構(gòu)成。
(9)根據(jù)上述(1)至(8)之一的磁記錄媒體，其特征在于上述伺服圖案單位部和上述伺服圖案周圍部以相反的極性磁化。
(10)一種磁記錄媒體的制造方法，其特征在于包括在基板上同樣地形成磁性層的磁性層形成工序；在伺服區(qū)域中將上述磁性層分離為形成規(guī)定的伺服圖案的多個(gè)伺服圖案單位部和該伺服圖案單位部周圍的伺服圖案周圍部的磁性層加工工序。
(11)根據(jù)上述(10)的磁記錄媒體的制造方法，其特征在于上述磁性層加工工序是這樣的工序，即在數(shù)據(jù)區(qū)域中將上述磁性層分離為多個(gè)記錄單元，并且同時(shí)形成該記錄單元、上述伺服圖案單位部、上述伺服圖案周圍部。
(12)根據(jù)上述(10)或(11)的磁記錄媒體的制造方法，其特征在于上述磁性層加工工序是這樣的工序，即上述伺服圖案單位部和上述伺服圖案周圍部按不同大小形成，使得其具有不同的磁特性。
(13)根據(jù)上述(12)的磁記錄媒體的制造方法，其特征在于上述磁性層加工工序是將上述伺服圖案單位部和上述伺服圖案周圍部按不同大小形成，使得其具有作為上述磁特性的不同的矯頑力，并且在該磁性層加工工序后設(shè)置了以下工序第一直流磁場(chǎng)施加工序，向上述磁性層施加相同的、比上述伺服圖案單位部和上述伺服圖案周圍部二者的矯頑力都大的直流磁場(chǎng)；第二直流磁場(chǎng)施加工序，向上述磁性層施加相同的、方向與上述直流磁場(chǎng)相反的、上述伺服圖案單位部的矯頑力和上述伺服圖案周圍部的矯頑力的中間大小的直流磁場(chǎng)。


圖1是示意地表示本實(shí)施形式的磁記錄媒體的結(jié)構(gòu)的平面圖；圖2是圖1中的II-II側(cè)剖視圖；圖3是表示該磁記錄媒體的磁性層的形狀大小和矯頑力的關(guān)系的曲線圖；圖4是表示該磁記錄媒體的制造工序的流程圖；圖5是示意地表示該磁記錄媒體的制造工序的源體的結(jié)構(gòu)的側(cè)剖視圖；圖6是示意地表示上述源體的第二掩膜層的加工工序的側(cè)剖視圖；圖7是示意地表示上述源體的第一掩膜層的加工工序的側(cè)剖視圖；圖8是示意地表示上述源體的磁性層的加工工序的側(cè)剖視圖；圖9是示意地表示上述源體的第一掩膜層的去除工序的側(cè)剖視圖；圖10是示意地表示非磁性體對(duì)上述源體的填充工序的側(cè)剖視圖；圖11是示意地表示上述源體的平坦化工序的側(cè)剖視圖；圖12是示意地表示對(duì)上述磁記錄媒體的第一外加磁場(chǎng)施加工序的側(cè)剖視圖；圖13是示意地表示對(duì)上述磁記錄媒體的第二外加磁場(chǎng)施加工序的側(cè)剖視圖；圖14是表示本發(fā)明的實(shí)施形式的磁記錄媒體的電磁變換特性的曲線圖；圖15是比較試樣的電磁變換特性的曲線圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參考附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施形式。
圖1是示意地表示本實(shí)施形式的磁記錄媒體的結(jié)構(gòu)的平面圖。圖2是圖1中的II-II側(cè)剖視圖。
磁記錄媒體10是垂直記錄型的離散型磁盤，具有區(qū)分為多個(gè)數(shù)據(jù)區(qū)域14和多個(gè)伺服區(qū)域28來(lái)記錄信息的磁性層12，磁性層12在數(shù)據(jù)區(qū)域14中按形狀分離為多個(gè)記錄單元16，在基板18上按順序依次形成底層20、軟磁層22、取向?qū)?4、磁性層12、保護(hù)層26。
磁記錄媒體10的特征是磁性層12在各伺服區(qū)域28中被分離為形成規(guī)定的伺服圖案的多個(gè)伺服圖案單位部30和伺服圖案單位部30周圍的伺服圖案周圍部32，并且伺服圖案單位部30和伺服圖案周圍部32形成為不同大小，使得具有不同的磁特性。
關(guān)于其他結(jié)構(gòu)，與原來(lái)的磁記錄媒體同樣，適當(dāng)省略說(shuō)明。
構(gòu)成磁性層12的記錄單元16、伺服圖案單位部30和伺服圖案周圍部32的材質(zhì)為CoPt(鈷鉑)合金。CoPt合金如圖3中的符號(hào)A所示的曲線那樣，具有其形狀越小，矯頑力越大，尤其是大小為200nm以下時(shí)，矯頑力明顯增大的性質(zhì)。
記錄單元16在各數(shù)據(jù)區(qū)域14中按同心圓狀并列設(shè)置多個(gè)。或者，在記錄單元16之間的間隙部36中填充材質(zhì)為SiO2(二氧化硅)的非磁性體38。
伺服圖案單位部30由比其還小的多個(gè)伺服圖案單位構(gòu)成單元34的集合構(gòu)成。各伺服圖案單位構(gòu)成單元34按大致圓形的突起狀比伺服圖案周圍部32還小地形成，具有比伺服圖案周圍部32更大的矯頑力。
另一方面，在各伺服區(qū)域28中一體地僅形成一個(gè)伺服圖案周圍部32。
另外，伺服圖案單位部30和伺服圖案周圍部32按相反的極性被磁化。各伺服圖案單位構(gòu)成單元34和伺服圖案周圍部32之間的間隙部40中也填充有非磁性體38。
基板18的材質(zhì)為玻璃、底層20的材質(zhì)為Cr(鉻)或Cr合金、軟磁層22的材質(zhì)為Fe(鐵)合金或Co(鈷)合金、取向?qū)?4的材質(zhì)為CoO、MgO、NiO等、保護(hù)層26的材質(zhì)為DLC(類金剛石碳)。
這里，本說(shuō)明書中所謂DLC的用語(yǔ)按以碳為主成分的非晶結(jié)構(gòu)，通過(guò)韋氏硬度測(cè)定表示出200～8000kgf/mm2左右的硬度的材料的意義使用。
接著說(shuō)明磁記錄媒體10的作用。
磁記錄媒體10在伺服圖案單位部30的周圍配置伺服圖案周圍部32，將它們按相反的極性磁化，因此得到大的輸出變化量，伺服信息的讀取精度良好。
磁記錄媒體10使伺服圖案單位部30和伺服圖案周圍部32具有不同的矯頑力，因此如后所述，伺服圖案單位部30和伺服圖案周圍部32可容易地磁化為相反的極性，伺服信息的記錄效率好。
而且，伺服圖案單位部30按形狀分離為多個(gè)伺服圖案單位構(gòu)成單元34，僅此可將伺服圖案單位構(gòu)成單元34形成得很小而賦予大的矯頑力，可增大伺服圖案單位部30和伺服圖案周圍部32的矯頑力之差。由此，可容易且確實(shí)按相反的極性磁化伺服圖案單位部30和伺服圖案周圍部32。
由于可同時(shí)形成記錄單元16、伺服圖案周圍部32和伺服圖案單位部30，因此本實(shí)施形式的磁記錄媒體10生產(chǎn)效率高。
磁記錄媒體10在記錄單元16之間的間隙部36以及伺服圖案單位部30與伺服圖案周圍部32之間的間隙部40中填充有非磁性體38，因此表面平坦，頭浮起高度穩(wěn)定。
接著說(shuō)明磁記錄媒體10的制造方法。
圖4是表示磁記錄媒體10的制造工序的概要的流程圖。
首先，準(zhǔn)備圖5所示的制造工序的源體50。該源體50是在基板18上通過(guò)濺射法按順序依次形成300～2000厚的底層20、500～3000厚的軟磁層22、30～300厚的取向?qū)?4、100～300厚的連續(xù)磁性層52(S101)。而且，在連續(xù)磁性層52上通過(guò)濺射法按100～500的厚度形成第一掩膜層54(S102)，還通過(guò)旋涂或浸漬按300～3000的厚度形成第二掩膜層56(S103)，進(jìn)行烘烤得到。
第一掩膜層54的材質(zhì)為TiN(氮化鈦)、第二掩膜層56的材質(zhì)為負(fù)型抗蝕劑(NEB22A，住友化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造)。
這樣得到的源體50的第二掩膜層56上，首先使用轉(zhuǎn)印裝置(未示出)通過(guò)納米印加(nano imprint)法轉(zhuǎn)印與數(shù)據(jù)區(qū)域14的記錄單元16的分離圖案、伺服區(qū)域28的伺服圖案單位部30與伺服圖案周圍部32的分離圖案相當(dāng)?shù)陌疾?S104)，通過(guò)使用氧氣或偶氮?dú)怏w的等離子體均勻地干蝕刻加工第二掩膜層56的整個(gè)面時(shí)，如圖6所示，去除凹部底面的第二掩膜層56(S105)，在凹部底面上露出第一掩膜層54。第二掩膜層56通過(guò)干蝕刻也去除凹部以外的區(qū)域，但僅殘留與凹部底面的臺(tái)階大小。
接著通過(guò)以CF4(四氟化碳)氣體或SF6(六氟化硫)氣體為反應(yīng)氣體的反應(yīng)性離子蝕刻，如圖7所示，去除凹部底面的第一掩膜層54(S106)。此時(shí)，連續(xù)磁性層52也被少量去除。凹部以外的區(qū)域的第二掩膜層56也被大部分去除，但殘余少量。
接著，通過(guò)以NH3(氨)氣體與CO(一氧化碳)氣體的混合氣體為反應(yīng)氣體的反應(yīng)性離子蝕刻，如圖8所示，去除凹部底面的連續(xù)磁性層52，在數(shù)據(jù)區(qū)域14中將連續(xù)磁性層52分離為多個(gè)細(xì)微的記錄單元16，同時(shí)，在伺服區(qū)域28中分離為伺服圖案單位部30與伺服圖案周圍部32。同時(shí)按形狀將各伺服圖案單位部30內(nèi)的連續(xù)磁性層52分離為多個(gè)伺服圖案單位構(gòu)成單元34(S107)。此時(shí)，凹部底面的取向?qū)?4也被少量去除，但凹部以外的區(qū)域的第二掩膜層56被完全去除，凹部以外的區(qū)域的第一掩膜層54在記錄單元16、伺服圖案單位部30和伺服圖案周圍部32上殘余若干。
該殘余的第一掩膜層54通過(guò)以CF4氣體或SF6氣體為反應(yīng)氣體的反應(yīng)性離子蝕刻，如圖9所示被完全去除(S108)。
接著通過(guò)偏置濺射法如圖10所示在數(shù)據(jù)區(qū)域14的記錄單元16之間的間隙部36和伺服區(qū)域28的伺服圖案單位部30和伺服圖案周圍部32之間的間隙部40中填充非磁性體38(S109)。非磁性體38完全覆蓋記錄單元16、伺服圖案單位部30和伺服圖案周圍部32而形成。
接著通過(guò)CMP法如圖11所示去除多余的非磁性體38，使表面平坦化(S110)。
而且通過(guò)在平坦化的表面上通過(guò)CVD法形成保護(hù)層26(S111)，從而得到如上述圖1和圖2所示的磁記錄媒體10。
保護(hù)層26的表面上根據(jù)需要通過(guò)浸漬法按10～20的厚度涂布材質(zhì)為PFPE(パ一フロロポリェ一テル)的潤(rùn)滑層。
接著說(shuō)明對(duì)磁記錄媒體10的伺服信息的記錄方法。
首先如圖12示意所示，在磁記錄媒體10上同樣施加比伺服圖案單位構(gòu)成單元34和伺服圖案周圍部32二者的矯頑力都大的直流外部磁場(chǎng)，將伺服圖案單位構(gòu)成單元34和伺服圖案周圍部32磁化為相等的極性(S112)。
接著如圖13所示，同樣施加方向與上述外部磁場(chǎng)相反的、比伺服圖案單位構(gòu)成單元34的矯頑力小但比伺服圖案周圍部32的矯頑力大的直流外部磁場(chǎng)時(shí)，伺服圖案周圍部32磁化為相反的極性(S113)。伺服圖案單位構(gòu)成單元34的磁化的極性不反轉(zhuǎn)。即，伺服圖案單位部30和伺服圖案周圍部32磁化為相反極性，完成伺服信息的記錄。
這樣，通過(guò)按2個(gè)階段施加一樣的直流外部磁場(chǎng)，可容易記錄伺服信息，本實(shí)施形式的磁記錄媒體的制造方法生產(chǎn)效率高。
同時(shí)進(jìn)行在伺服區(qū)域28中將磁性層12分離為伺服圖案單位部30和伺服圖案周圍部32的工序、和在數(shù)據(jù)區(qū)域14中將磁性層12分離為多個(gè)記錄單元16的工序，因此在這一點(diǎn)上本實(shí)施形式的磁記錄媒體的制造方法生產(chǎn)效率高。
本實(shí)施形式中，磁性層12的材質(zhì)為CoPt合金，但本發(fā)明不限定于此，磁性層12的材質(zhì)可以是例如Co(鈷)合金、Co與Pd(鈀)的層疊體、Co和Pt(鉑)的層疊體、Fe(鐵)、Fe合金、Fe合金的層疊體等其他材質(zhì)。Co和Pd的層疊體具有其形狀大小和矯頑力為圖3中符號(hào)B的曲線所示的關(guān)系的性質(zhì)。
本實(shí)施形式中，磁記錄媒體10用圖1所示的圖案設(shè)置的大致圓形的多個(gè)伺服圖案單位構(gòu)成單元34構(gòu)成伺服圖案單位部30，但本發(fā)明不限定于此，只要可磁識(shí)別伺服圖案單位部30和伺服圖案周圍部32，則不特別限定伺服圖案單位構(gòu)成單元的形狀、配置數(shù)目、配置圖案。
本實(shí)施形式中，磁記錄媒體10為將伺服圖案單位部30分離為多個(gè)伺服圖案單位構(gòu)成單元34的結(jié)構(gòu)，但本發(fā)明不限定于此，只要可磁識(shí)別伺服圖案單位部30和伺服圖案周圍部32，各伺服圖案單位部可用單一磁性單元構(gòu)成。
本實(shí)施形式中，磁記錄媒體10為伺服圖案單位部30形成得比伺服圖案周圍部32小的結(jié)構(gòu)，但本發(fā)明不限定于此，例如，可一體形成各伺服圖案單位部，作為比該伺服圖案單位部形成得小的多個(gè)伺服圖案周圍單元的集合構(gòu)成伺服圖案周圍部。
本實(shí)施形式中，磁記錄媒體10為伺服圖案單位部30和伺服圖案周圍部32具有不同矯頑力，按相反極性磁化，但本發(fā)明不限定于此，可按不同大小形成，使得伺服圖案單位部和伺服圖案周圍部具有磁各向異性、剩磁等其他不同的磁特性，根據(jù)這些磁特性的差異識(shí)別二者。
本實(shí)施形式中，磁記錄媒體10為在記錄單元16之間的間隙部36、以及伺服圖案單位部30和伺服圖案周圍部32之間的間隙部40填充非磁性體38，但本發(fā)明不限定于此，只要能得到穩(wěn)定的頭浮起，間隙部36和間隙部40中不需要一定填充非磁性體。是否用非磁性體填充間隙部根據(jù)間隙部大小、頭種類等考慮頭浮起的穩(wěn)定性、生產(chǎn)效率等，可適當(dāng)選擇。通過(guò)省略非磁性體的填充工序，可進(jìn)一步提高生產(chǎn)效率。不用非磁性體填充間隙部的情況下，分離加工磁性層后，在磁性層上面形成保護(hù)層時(shí)，在間隙部上也可形成保護(hù)層。
本實(shí)施形式中，磁記錄媒體10為在數(shù)據(jù)區(qū)域14中按徑向并置多個(gè)記錄單元16的垂直記錄型的離散型磁盤，但本發(fā)明不限定于此，本發(fā)明同樣適用于記錄單元按軌道的周向(扇區(qū)方向)以細(xì)微間隔并列設(shè)置的磁盤、按軌道的徑向和周向兩個(gè)方向以細(xì)微間隔并列設(shè)置的磁盤的制造中。MO等的光磁盤等的其他磁記錄媒體的制造中可同樣適用本發(fā)明。
關(guān)于數(shù)據(jù)區(qū)域中包括連續(xù)磁性層的結(jié)構(gòu)的磁記錄媒體也適用本發(fā)明，如果伺服區(qū)域分離形成伺服圖案單位部和伺服圖案周圍部，則得到明顯提高伺服信息的記錄效率的效果。
本實(shí)施形式中，第一掩膜層54的材質(zhì)為TiN，但第一掩膜層54的材質(zhì)如果是通過(guò)以CO氣體等為反應(yīng)氣體的反應(yīng)性離子蝕刻難以去除的材質(zhì)的情況下，則不特別限定第一掩膜層54的材質(zhì)，例如除可使用Ti(鈦)、Ta(鉭)、Mg(鎂)、Al(鋁)、Si(硅)、Ge(鍺)、Pb(鉛)之外，可使用以它們?yōu)橹鞒煞值暮辖稹⒒衔锏取?br> 本實(shí)施形式中，由于第一掩膜層54通過(guò)干蝕刻加工為規(guī)定圖案，因此第一掩膜層54上形成負(fù)型抗蝕劑的第二掩膜層56，通過(guò)兩階段的干蝕刻將第一掩膜層54加工為規(guī)定圖案，但本發(fā)明不限定于此，只要可按規(guī)定圖案加工第一掩膜層54即可，不特別限定在第一掩膜層54上形成的其他的掩膜層的材質(zhì)、層數(shù)等，例如可用3階段以上的干蝕刻將第一掩膜層54加工為規(guī)定圖案。
本實(shí)施形式中，為加工第一掩膜層54而使用以CF4或SF6為反應(yīng)氣體的反應(yīng)性離子蝕刻，但本發(fā)明不限定于此，只要是與上述第一掩膜層54反應(yīng)、促進(jìn)蝕刻的反應(yīng)氣體即可，不特別限定反應(yīng)氣體的種類，例如可使用NF3、CHF3等的其他氟類氣體、Cl2、BCl3、CHCl3等的氯類氣體等。
本實(shí)施形式中，為填充非磁性體38而使用偏置濺射法，但本發(fā)明不限定于此，也可使用具有偏置施加的等離子體CVD法填充非磁性體。
本實(shí)施形式中，為去除多余的非磁性體38平坦表面而使用CMP法，但本發(fā)明不限定于此，可通過(guò)例如離子束蝕刻、離子研磨、反應(yīng)性離子蝕刻等的等離子體蝕刻工序去除多余的非磁性體38，進(jìn)行平坦化。
(實(shí)施例)通過(guò)上述實(shí)施形式制作磁記錄媒體10。伺服圖案單位構(gòu)成單元34按直徑約為50～60nm大小的大致圓形形成。
測(cè)定磁記錄媒體10的電磁變換特性，得到圖14所示的波形。
(比較例)相對(duì)上述實(shí)施形式，在伺服區(qū)域28中僅形成伺服圖案周圍部32，不形成伺服圖案單位部30。即，與伺服圖案單位部30相當(dāng)?shù)牟糠譃榘疾?，制作不存在磁性單元的比較試樣。
測(cè)定該比較試樣的電磁變換特性，得到圖15所示的波形。
從圖14和圖15可確認(rèn)實(shí)施例相對(duì)比較例大幅度增大輸出變動(dòng)。
如以上說(shuō)明，根據(jù)本發(fā)明，具有如下有益效果可實(shí)現(xiàn)能夠有效記錄伺服信息、并且得到充分的輸出變化量、伺服信息的讀取精度良好的磁記錄媒體。
權(quán)利要求
1.一種磁記錄媒體，具有被分區(qū)為多個(gè)數(shù)據(jù)區(qū)域和多個(gè)伺服區(qū)域而記錄信息的磁性層，該磁性層在上述各伺服區(qū)域中被分離為形成規(guī)定的伺服圖案的多個(gè)伺服圖案單位部和該伺服圖案單位部周圍的伺服圖案周圍部，并且上述伺服圖案單位部和上述伺服圖案周圍部按不同大小形成，使得其具有不同的磁特性。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁記錄媒體，其特征在于，上述各伺服圖案單位部由比其還小的多個(gè)伺服圖案單位構(gòu)成單元的集合構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁記錄媒體，其特征在于，在上述各伺服區(qū)域中一體地僅形成一個(gè)上述伺服圖案周圍部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁記錄媒體，其特征在于，上述伺服圖案周圍部由比上述伺服圖案單位部還小地形成的多個(gè)伺服圖案周圍單元的集合構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的磁記錄媒體，其特征在于，上述伺服圖案單位部和上述伺服圖案周圍部按不同大小形成，從而作為上述磁特性，其具有不同的矯頑力。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的磁記錄媒體，其特征在于，上述伺服圖案單位部和上述伺服圖案周圍部按不同大小形成，從而作為上述磁特性，其具有不同的磁各向異性。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的磁記錄媒體，其特征在于，上述伺服圖案單位部和上述伺服圖案周圍部按不同大小形成，從而作為上述磁特性，其具有不同的剩磁。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的磁記錄媒體，其特征在于，上述磁性層在上述各數(shù)據(jù)區(qū)域中，從形狀上被分離為多個(gè)記錄單元而構(gòu)成。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的磁記錄媒體，其特征在于，上述伺服圖案單位部和上述伺服圖案周圍部以相反的極性磁化。
10.一種磁記錄媒體的制造方法，包括在基板上同樣地形成磁性層的磁性層形成工序；在伺服區(qū)域中將上述磁性層分離為形成規(guī)定的伺服圖案的多個(gè)伺服圖案單位部和該伺服圖案單位部周圍的伺服圖案周圍部的磁性層加工工序。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的磁記錄媒體的制造方法，其特征在于，上述磁性層加工工序是這樣的工序，即在數(shù)據(jù)區(qū)域中將上述磁性層分離為多個(gè)記錄單元，并且同時(shí)形成該記錄單元、上述伺服圖案單位部、上述伺服圖案周圍部。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的磁記錄媒體的制造方法，其特征在于，上述磁性層加工工序是這樣的工序，即上述伺服圖案單位部和上述伺服圖案周圍部按不同大小形成，使得其具有不同的磁特性。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的磁記錄媒體的制造方法，其特征在于，上述磁性層加工工序是將上述伺服圖案單位部和上述伺服圖案周圍部按不同大小形成，從而作為上述磁特性，其具有不同的矯頑力，并且在該磁性層加工工序后設(shè)置了以下工序第一直流磁場(chǎng)施加工序，向上述磁性層施加相同的、比上述伺服圖案單位部和上述伺服圖案周圍部二者的矯頑力都大的直流磁場(chǎng)；第二直流磁場(chǎng)施加工序，向上述磁性層施加相同的、方向與上述直流磁場(chǎng)相反的、上述伺服圖案單位部的矯頑力和上述伺服圖案周圍部的矯頑力的中間大小的直流磁場(chǎng)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可高效率地記錄伺服信息、并且得到充分的輸出變化量、伺服信息的讀取精度良好的磁記錄媒體。該磁記錄媒體是將磁性層(12)，在伺服區(qū)域(28)中分離為形成規(guī)定的伺服圖案的多個(gè)伺服圖案單位部(30)和伺服圖案單位部(30)周圍的伺服圖案周圍部(32)，并且伺服圖案單位部(30)和伺服圖案周圍部(32)形成為不同大小，使得具有不同磁特性。
文檔編號(hào)G11B5/855GK1542749SQ20041003131
公開(kāi)日2004年11月3日 申請(qǐng)日期2004年3月26日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月26日
發(fā)明者服部一博, 大川秀一, 中田勝之, 一, 之 申請(qǐng)人:Tdk股份有限公司