專利名稱：頭懸架、負(fù)載梁以及制造負(fù)載梁的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于支撐在例如計(jì)算機(jī)的外部存儲(chǔ)裝置的盤驅(qū)動(dòng)器中的 滑塊的頭懸架、成為所述頭懸架一部分的負(fù)載梁、以及一種制造負(fù)載梁的方法。
技術(shù)背景例如磁盤驅(qū)動(dòng)器和光盤驅(qū)動(dòng)器的盤驅(qū)動(dòng)器被廣泛用作計(jì)算機(jī)的外部存儲(chǔ)裝置。在盤驅(qū)動(dòng)器中，磁盤驅(qū)動(dòng)器或硬盤驅(qū)動(dòng)器(HDD)具有用于支撐磁頭 滑塊(下文簡(jiǎn)稱為"滑塊")的頭懸架。頭懸架包括基板、負(fù)載梁、固定到負(fù)載梁的撓曲件(flexure)等。負(fù)載梁支 撐萬向節(jié)，該萬向節(jié)為板簧。萬向節(jié)的前端形成充當(dāng)滑塊安裝部的舌片。用例 如粘合劑將滑塊固定到舌片。用彈力朝著安裝在磁盤驅(qū)動(dòng)器里的磁盤表面輕推 滑塊。在萬向節(jié)前端的舌片的外圍主要從萬向節(jié)主體被切割。用形成在負(fù)載梁前 端的凹窩支撐舌片上的滑塊。凹窩具有凸起的彎曲表面以支撐滑塊的后側(cè)。附 著于舌片的滑塊的重心調(diào)整在凹窩上。在石茲盤旋轉(zhuǎn)時(shí)，流體動(dòng)壓力作用(fliud dynamic pressure effect)發(fā)生以對(duì)著 由負(fù)載梁施加到滑塊的負(fù)栽從磁盤的表面輕微地漂浮滑塊。同時(shí)，凹窩起支點(diǎn) 的作用以在相對(duì)磁盤的軌跡的切線和法線方向自由改變滑塊的角度(attitude )。如上所述，滑塊用插在它們之間的舌片抵抗凹窩。為了正確控制滑塊的角 度，將滑塊的重心正好定位在凹窩的頂點(diǎn)是非常重要的。由于凹窩安裝在舌片的后側(cè)上，所以，從安裝有滑塊的舌片的前側(cè)，凹窩 是看不見的。由于滑塊和凹窩的位置在視覺上是不確定的，所以，滑塊和凹窩 之間的位置關(guān)系阻止了滑塊在凹窩上的精確定位。為了解決這個(gè)問題，公開號(hào)為2004-86984的日本未審查的專利申請(qǐng)公開 了圖7所示的技術(shù)。該相關(guān)技術(shù)是用于磁盤驅(qū)動(dòng)器的磁頭組件，能夠精確地定 位滑塊。在圖7中，^磁頭組件在該組件的前端具有萬向節(jié)101。萬向節(jié)101具有開口 111。開口 111在相應(yīng)于形成在負(fù)載梁103前端的凹窩105和滑塊107 的重心的位置形成在萬向節(jié)101的舌片109內(nèi)。開口 111用薄板113關(guān)閉，薄 板113在視覺上是透明的并附著到舌片109。在滑塊107的外圍與舌片109之 間，插入角度修正板(attitude correcting sheet)115以保持滑塊107平行于舌片 109的表面。在萬向節(jié)101上，形成布線圖117。布線圖117通過一種超聲波 焊接GBB119電連接到滑塊107的電極焊盤(electrodepad)(未示)。根據(jù)該相關(guān)技術(shù)，開口 111和薄板113允許安裝在舌片109后側(cè)上的凹窩 105從舌片109的前側(cè)可見。結(jié)果，滑塊107可相對(duì)于凹窩105精密地定位， 以提高磁頭組件的數(shù)據(jù)存取能力。然而，該相關(guān)技術(shù)包含復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種技術(shù)，該技術(shù)能夠相對(duì)于凹窩精確地定位滑塊而 不具有復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。為了完成該目的，本發(fā)明的一個(gè)方面提供一種制造負(fù)載梁的方法，包括 準(zhǔn)備工件，該工件是平板且用作負(fù)載梁；用激光束照射形成凹窩的那部分工件 以在被照射部形成改進(jìn)部；和在改進(jìn)部上進(jìn)行塑性加工，以形成在改進(jìn)部具有 凹的彎曲表面的凹窩。這方面從由激光束照射的改進(jìn)部形成凹窩的凹的彎曲表面。由此，凹窩的 凹的彎曲表面具有低的表面粗糙度和均勻的光滑度。根據(jù)本發(fā)明的另 一方面，通過用激光束熔化和軟化所述工件的所述部分而 形成改進(jìn)部，所述塑性加工包括鍛造和擠壓已熔化和軟化的部分。這方面無疑地降低凹窩的凹的彎曲表面的表面粗糙度并使凹的彎曲表面 均勻。本發(fā)明的又 一 方面獲取凹窩的凹的彎曲表面的圖像，從圖像獲得凹窩的位 置數(shù)據(jù)，并且根據(jù)該位置數(shù)據(jù)，相對(duì)于凹窩定位和支撐滑塊。這方面精確地獲得凹窩的凹的彎曲表面的位置數(shù)據(jù)，并精確地定位滑塊， 而沒有復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的再一方面提供一種負(fù)載梁，該負(fù)載梁具有平板主體、形成在該主 體上的凹窩、在主體的表面和凹窩的凹的彎曲表面上伸展的連續(xù)表面、和從凹窩的凹的彎曲表面向其內(nèi)部伸展的改進(jìn)部。凹窩的凹的彎曲表面是通過在改進(jìn) 部上進(jìn)行塑性加工形成的光滑表面，并在連續(xù)表面上具有比主體的表面低的表 面粗糙度。根據(jù)這方面，凹窩的凹的彎曲表面具有低的表面粗糙度，由此，滑塊可以 精密地定位在凹窩上，而沒有復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的再一方面提供具有以上提到的方面的任一方面的負(fù)載梁的頭懸恕 木。根據(jù)這方面，頭懸架包括精密定位滑塊，由此，可以正確控制滑塊的角度。


圖1 (1)、 1 (2)和l (3)為顯示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的頭懸架的平 面圖、側(cè)視圖和后視圖；圖2 (1)為顯示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例進(jìn)行塑性加工前的負(fù)載梁的平 面圖;圖2 (2)為顯示塑性加工后的圖2(1)的負(fù)載梁的平面圖；圖2 (3)為顯示圖2(2)的負(fù)載梁的側(cè)視圖；圖3為顯示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例制造負(fù)載梁的方法的視圖；圖4(1)、 4(2)和4(3)為顯示用金屬模形成凹窩的過程的視圖；圖5 (1)為顯示根據(jù)一個(gè)對(duì)比示例不用激光照射形成的凹窩的凹的彎曲表面的圖像的視圖；圖5 (2)為顯示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例激光照射后形成的凹窩的凹的彎曲表面的圖像的視圖；圖6 (1)為顯示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的凹窩的凹的彎曲表面的圖像的視圖，從該圖像獲得位置數(shù)據(jù)；圖6 (2)為顯示從圖6(1)的圖像4是取的一個(gè)底點(diǎn)的3見圖；和 圖7為顯示根據(jù)相關(guān)技術(shù)的在負(fù)載梁前端的滑塊的截面?zhèn)纫晥D。
具體實(shí)施方式
結(jié)合附圖詳細(xì)說明4艮據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的頭懸架、負(fù)載梁和制造負(fù)載 梁的方法。首先，說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的具有負(fù)載梁的頭懸架。在下面的說明中，"工件"暗示將被加工的任何材料，包括半完成的產(chǎn)品或半成品。圖1 (1)、 1 (2)和l (3)為顯示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的頭懸架的平 面圖、側(cè)視圖和后視圖。頭懸架11具有負(fù)載梁13、基板15、撓曲件17和其它元件。根據(jù)后面說明的制造方法生產(chǎn)負(fù)載梁13。負(fù)載梁13由精密薄板簧制成， 并起將負(fù)載施加到滑塊上的作用(后面說明)。負(fù)載梁13的材料最好為由例如 SUS304或SUS305(日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn))的奧氏體基不銹鋼(austenite-based stainless) 制成的金屬板。例如，SUS304包含0.08%或以下的C、 1。/。或以下的Si、 2% 或以下的Mn、 0.04。/?；蛞韵碌腜、 0.03。/。或以下的S、 8。/。-10.5。/。的Ni、 18% -20%的0、其余的是Fe。負(fù)載梁13的厚度為幾十微米到大約100pm。負(fù)載梁13具有基部13a,基部13a在焊接點(diǎn)14通過例如激光焊接固定到 基板15?；?5具有一對(duì)由彈性的薄不銹鋼軋制板材(stainless steel rolled plate) 制成的彈簧15a (圖1 (3))。彈簧15a支撐負(fù)載梁13?；?5具有凸起部 (boss)16，突起部16被連接到托架臂(未示)以圍繞軸樞轉(zhuǎn)基板15?；?5 可以與連接到托架的臂一體。在基板15樞轉(zhuǎn)時(shí)，頭懸架11在安裝在硬盤驅(qū)動(dòng) 器里的盤的橫向方向上移動(dòng)以將滑塊定位在盤的目標(biāo)軌跡上，頭懸架11安裝 在硬盤驅(qū)動(dòng)器內(nèi)。 '撓曲件17由例如彈性的薄不銹鋼軋制板材等的導(dǎo)電薄金屬板制成，撓曲 件17具有大約20 ia m的厚度。撓曲件17通過例如激光焊固定到負(fù)載梁13。 撓曲件17具有絕緣層，在絕緣層上形成布線圖(未示)。撓曲件17具有滑塊安裝部19。該滑塊安裝部19具有讀/寫端子19a。端 子19a電連接到撓曲件17的布線圖的一端。撓曲件17的布線圖的另一端向基 板15伸展?；瑝K安裝部19支撐結(jié)合傳感器的滑塊(未示)。滑塊被布置成面對(duì)盤(未 示)的專九跡。在盤高速轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，滑塊從盤的表面上輕微漂浮以在盤和滑塊之間形成空氣 軸承(air bearing),這在本領(lǐng)域是公知的。 詳細(xì)說明負(fù)載梁13。圖2 (1)為顯示進(jìn)行塑性加工前的負(fù)載梁13的平面圖，圖2 (2)為顯示進(jìn)行塑性加工后的負(fù)載梁13的平面圖，圖2 (3)為顯示圖2 (2)的負(fù)載梁 13的側(cè)視圖。圖3為顯示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例制造負(fù)載梁13的方法的視 圖。負(fù)載梁13具有在縱向方向伸展的彎曲邊緣27。負(fù)載梁13的前端具有整 體的調(diào)整片21，該調(diào)整片在加載/卸栽頭懸架11時(shí)使用。調(diào)整片21具有從負(fù)載梁13的前端向外伸展的舌形。調(diào)整片21具有內(nèi)凹 的凹曲表面和外凸的凸曲表面。調(diào)整片21和負(fù)載梁13的前端之間有斜面23。 斜面23傾斜成預(yù)定角度，這樣，斜面23的前端遠(yuǎn)離盤。通過沿著負(fù)載梁13 伸展的彎曲邊緣27加強(qiáng)斜面23。通過斜面23支撐和加強(qiáng)調(diào)整片21的基部。在將頭懸架11加載到硬盤驅(qū)動(dòng)器里的盤上或?qū)㈩^懸架11卸載出硬盤驅(qū)動(dòng) 器里的盤時(shí)，調(diào)整片21沿著硬盤驅(qū)動(dòng)器里的導(dǎo)軌或坡道座(ramp block)(未示) 被引導(dǎo)。坡道座具有坡道引導(dǎo)表面，坡道座一般安裝在盤的附近。例如，在盤 停止時(shí)，調(diào)整片21移動(dòng)到坡道座上，調(diào)整片21沿著坡道座滑動(dòng)以穿過坡道引 導(dǎo)表面縮回。頭懸架11的滑塊通過坡道座可以移動(dòng)進(jìn)入形成在盤側(cè)面的縮回 區(qū)內(nèi)并遠(yuǎn)離盤。坡道座由合成樹脂制成。負(fù)載梁13具有形成在負(fù)載梁13前端區(qū)域內(nèi)的凹窩25。凹窩25從負(fù)載梁 13的主體的第一表面(頂部表面)突出，并具有內(nèi)凹的凹曲表面和外凸的凸 曲表面。凹窩25在負(fù)載梁13上的位置相應(yīng)于撓曲件17的滑塊安裝部19的位 置。凹窩25的凸曲表面支撐滑塊以便滑塊可以滾動(dòng)和晃動(dòng)(pitch)。凹窩25的凹曲表面25b與負(fù)載梁13的主體的第二表面(底部表面)共同 形成單獨(dú)連續(xù)的表面。凹窩25具有從凹曲表面25b向其內(nèi)部伸展的改進(jìn)(改 良)層或部。凹曲表面25b通過在改進(jìn)部上進(jìn)行塑性加工而形成，這在后面說 明，這樣，凹曲表面25b是均勻光滑的并在連續(xù)表面上具有比負(fù)載梁13的第 二表面更低的表面粗糙度。說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的制造負(fù)載梁13的方法。該方法包括步驟Sll的改進(jìn)過程和步驟S12的凹窩形成過程(圖3)。步 驟S11和S12順序地進(jìn)行。步驟Sll的改進(jìn)過程準(zhǔn)備作為工件的平板和用激光束至少照射形成凹窩 25的那部分工件的后表面，以在被照射部形成改進(jìn)部。載梁中的成形或不成形的部件。在成形部件的情況下，平板可以通過蝕刻從例 如矩形的平金屬板形成。當(dāng)然，準(zhǔn)備作為工件的平板可以包含單個(gè)被加工到負(fù) 載梁中的成形或不成形的部件。在圖2(1)中，陰影線的部分25a是形成凹窩25的那部分，并包括形成 凹曲表面的那部分表面和其外圍。在步驟Sll的改進(jìn)過程中，用激光束照射部 分25a。在步驟Sll的改進(jìn)過程中，部分25a被迅速地加熱或凝固，以在部分 25a的后表面形成改進(jìn)層。在通過擠壓在工件上形成凹窩25之前，改進(jìn)過程 改進(jìn)了工件局部表面的情形。這時(shí)，形成凹窩25的凸曲表面處的工件的一部 分第一表面(頂部表面)也可以通過激光束照射。被激光照射的部分25a的相對(duì)表面也可以通過激光束照射。該相對(duì)表面包 括形成凸曲表面的那部分表面和其外圍。被激光照射的區(qū)域被設(shè)置成圍繞如以上所述的形成凹窩25的點(diǎn)伸展。這 可以保證改進(jìn)部分確實(shí)地覆蓋形成凹窩的點(diǎn)。根據(jù)工件的材料確定激光束照射條件。為了正確改進(jìn)或改良工件的局部表 面，在完成本實(shí)施例的方法之前，必須根據(jù)工件的材料正確確定激光束照射條 件。用于發(fā)射激光束的發(fā)射器可以從半導(dǎo)體激光器、YAG激光器和二氧化碳 激光器中選擇。步驟Sll的改進(jìn)過程產(chǎn)生具有改進(jìn)部的半成品負(fù)載梁。在改進(jìn)過程后，進(jìn) 行步驟S12的凹窩形成過程。步驟S12的凹窩形成過程在改進(jìn)部上進(jìn)行三維塑性加工，以形成具有內(nèi)凹 的凹曲表面和外凸的凸曲表面的凹窩25。塑性加工是例如通過金屬模的冷鍛 和冷壓，以產(chǎn)生具有凹窩25的負(fù)載梁。步驟S12的凹窩形成過程還形成斜面23、彎曲邊緣27等。如果工件沒有 成形成負(fù)載梁，在形成凹窩25的同時(shí)進(jìn)行切割以切割進(jìn)入負(fù)載梁成形中的工 件?？梢栽趩为?dú)的步驟中進(jìn)行切割和凹窩成形，以減少負(fù)載梁的制造步驟。這 導(dǎo)致簡(jiǎn)化過程管理和降低成本。圖4 (1)到4 ( 3 )顯示通過應(yīng)用金屬模49形成凹窩25的過程。金屬模 49包括沖頭43和固定模(stationary die)47。沖頭43具有光滑且為半球形的槽41。模47具有光滑且為半球形的突起45。在圖4 (1 )中，具有改進(jìn)部的半成品負(fù)載梁被設(shè)置在金屬模49內(nèi)的預(yù)定 位置。在這種情況下，半成品負(fù)載梁包括準(zhǔn)備作為工件的平板，該工件為例如 不銹鋼軋制板的金屬薄板。另外，半成品負(fù)載梁還包括準(zhǔn)備作為具有多個(gè)成形 部的工件的平板，成形部通過例如蝕刻^t束縛(chained)和加工到負(fù)載梁中。 每一個(gè)半成品負(fù)載梁通過在部分25a的后表面上照射激光束被改良或改進(jìn)。在圖4(2)中，沖頭43被下落到設(shè)置在模47上的半成品負(fù)載梁上，并 以預(yù)定壓力擠壓半成品負(fù)載梁。在厚度方向上擠壓負(fù)載梁，以形成具有半圓形 的凹窩25 (圖4 (3)),其擁有內(nèi)凹的凹曲表面和外凸的凸曲表面。此時(shí)，凹 窩25的凹曲表面25b具有密實(shí)的好的金屬結(jié)構(gòu)并且光滑。即，凹窩25擁有正 確的表面粗糙度和均勻的光滑度的凹曲表面25b。其次，說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例在上述負(fù)載梁上安裝滑塊的方法。 該方法包括位置數(shù)據(jù)獲取過程和滑塊安裝過程(slider setting process)。 位置數(shù)據(jù)獲取過程通過例如CCD照相機(jī)等的圖象拾取裝置獲取凹窩25 的凹曲表面25b的圖象，并根據(jù)圖象數(shù)據(jù)處理從圖象獲得用于凹窩25的位置 數(shù)據(jù)。在位置數(shù)據(jù)的獲取中，凹窩25的凹曲表面25b被定位在相對(duì)接觸滑塊 側(cè)的凸曲表面的后側(cè)，這樣，當(dāng)然獲得包括與凹曲表面25b的底點(diǎn)有關(guān)的數(shù)據(jù) 的位置數(shù)據(jù)。通過例如圖象數(shù)據(jù)處理器進(jìn)行圖象數(shù)據(jù)處理，并二值化處理(binarizes) 圖象并選取凹窩25的凹曲表面25b的底點(diǎn)。同時(shí)，凹窩25的凹曲表面25b 具有如上所述的正確的表面粗糙度和均勻的光滑度。從而，精確地獲得包括與 凹曲表面25b的底點(diǎn)有關(guān)的數(shù)據(jù)的位置數(shù)據(jù)。完成位置數(shù)據(jù)獲取過程后，進(jìn)行 滑塊安裝過程。至少在滑塊安裝過程之前，撓曲件17被連接到負(fù)載梁13。 根據(jù)從凹窩25獲得的位置數(shù)據(jù)，滑塊安裝過程在凹窩25上定位滑塊以便 滑塊支撐在凹窩25上。更精確地，滑塊安裝過程調(diào)整滑塊的重心在凹窩25 的頂點(diǎn)上，在這種情況下通過例如粘合劑等將滑塊固定到撓曲件17的滑塊安 裝部19。這樣，該方法獲取凹窩25的具有正確的表面粗糙度和均勻的光滑度的凹曲表面25b的圖象，從圖象獲得凹窩25的精確位置數(shù)據(jù)，并根據(jù)位置數(shù)據(jù)相對(duì)凹窩25定位滑塊。沒有復(fù)雜的機(jī)構(gòu)，該方法可以在凹窩25上精確定位滑塊。下面說明用CCD照相機(jī)(未示)獲取凹窩的后表面(凹曲表面)的圖象。圖5 (1)是根據(jù)進(jìn)行無激光束照射的比較例而形成的凹窩的凹曲表面的圖象。圖5(2)是根據(jù)進(jìn)行激光束照射(固定焦距)而后在激光照射部形成凹窩的上述實(shí)施例而形成的凹窩的凹曲表面的圖象。從圖5 (1)和圖5 (2)的圖像之間的比較看出，根據(jù)本實(shí)施例的凹窩25的凹曲表面25b的底點(diǎn)比比較例的底點(diǎn)更明亮。另外，根據(jù)本實(shí)施例的底點(diǎn)和底點(diǎn)周圍之間的亮度差別比比較例的亮度差別更明顯。此外，根據(jù)本實(shí)施例的圍繞凹窩25的平區(qū)域比比較例的平區(qū)域更明亮。根據(jù)本實(shí)施例，凹窩25的凹曲表面25b的底點(diǎn)是清楚的并容易地區(qū)別于其周圍，因此，如圖6 (2)所示，底點(diǎn)是容易地被二值化處理(binarized)以選取其位置。從而，本實(shí)施例可以容易且精確地獲得凹窩25的位置數(shù)據(jù)，根據(jù)位置數(shù)據(jù)可以在凹窩25上精確定位滑塊。 概述本發(fā)明的效果。負(fù)載梁制造方法包括步驟Sll的改進(jìn)過程和步驟S12的凹窩形成過程。步 驟Sll的改進(jìn)過程準(zhǔn)備作為工件的平板，以及用激光束照射形成凹窩處的那一 部分工件的后表面，以在照射部形成改進(jìn)部。步驟S12的凹窩形成過程在改進(jìn) 部上進(jìn)行三維塑性加工，以在負(fù)載梁13上形成具有凹曲表面25b的凹窩25。在負(fù)載梁13上的凹窩25的凹曲表面25b具有降低的表面粗糙度和均勻的 光滑度。這個(gè)實(shí)施例的方法直接提高了凹窩25的表面精度。該制造方法包括位置數(shù)據(jù)獲取過程和滑塊安裝過程。位置數(shù)據(jù)獲取過程獲 取凹窩25的凹曲表面25b的圖像，并從圖像獲得凹窩25的位置數(shù)據(jù)。根據(jù)位 置數(shù)據(jù)，滑塊安裝過程在凹窩25上定位和支撐滑塊。即，這個(gè)方法獲取具有正確的表面粗糙度和均勻的光滑度的凹曲表面25b 的圖像，從圖像獲得凹窩25的精確的位置數(shù)據(jù)，并根據(jù)位置數(shù)據(jù)在凹窩25 上定位滑塊。這個(gè)實(shí)施例可以獲得凹窩25的凹曲表面25b的精確位置數(shù)據(jù)，并可以根據(jù)位置數(shù)據(jù)在凹窩25上精確定位滑塊，而沒有復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。凹窩25的凹曲表面25b具有降低的表面粗糙度和均勻的光滑度，因此， 凹曲表面25b底點(diǎn)的亮度與其周圍的亮度相比是明顯的。因此，底點(diǎn)的圖像容 易地被二值化處理以提供底點(diǎn)的精確位置數(shù)據(jù)。用底點(diǎn)的精確位置數(shù)據(jù)，滑塊 可以精密地被剛好定位在凹窩25上。最近的圖像識(shí)別技術(shù)能夠通過照相機(jī)獲取凹窩的圖像，從圖像獲得凹窩的 位置數(shù)據(jù)，并根據(jù)凹窩的位置數(shù)據(jù)在凹窩上定位滑塊。關(guān)于這個(gè)，重要的問題是如何從圖像精密地獲得凹窩的位置數(shù)據(jù)。與本發(fā)明的想法相反，有一個(gè)想法是進(jìn)行塑性加工以在工件上三維地形成 凹窩，而后用激光束照射凹窩的表面以改進(jìn)照射部。在這種情況下，激光束的距離依靠工件上特定點(diǎn)(incident point)的位置而 變化，激光束的距離也就是從激光束發(fā)射點(diǎn)到工件的表面上的激光束特定點(diǎn)的 3巨離。通常，激光束發(fā)射器包含合焦模式(just focus mode)和散焦模式(defocus mode)。不顧這些模式，如果激光束的距離保持在預(yù)定范圍內(nèi)，則激光束的能 量密度保持在預(yù)定范圍內(nèi)，基本上提供均勻表面改進(jìn)效果。如果激光束的距離 在預(yù)定范圍外，則激光束的能量密度變動(dòng)，改變表面改進(jìn)效果。為了在這樣的能量變動(dòng)狀態(tài)下均勻地改進(jìn)三維表面，必須使用控制系統(tǒng)以 保持激光束的距離在預(yù)定范圍內(nèi)。這樣的控制系統(tǒng)使激光束發(fā)射系統(tǒng)變復(fù)雜并 增加了成本。即使控制激光束保持預(yù)定的激光束距離，均勻地改進(jìn)三維表面也 是非常困難的。另一方面，本發(fā)明用激光束照射作為工件的平板，以改進(jìn)工件的照射部。 不用復(fù)雜的距離控制，本發(fā)明可以用激光束改進(jìn)^C照射的工件的那 一部分表 面。此后，本發(fā)明三維地加工工件的改進(jìn)部成為具有凹曲表面(25b)的凹窩 (25 )。與三維地加工工件以在工件上形成凹窩而后用激光束照射工件的想法相 比，本發(fā)明可以直接地提高凹窩(25)的凹曲表面(25b)的表面精度。根據(jù)該實(shí)施例的負(fù)載梁制造方法，步驟Sll的改進(jìn)過程用激光束照射形成 凹窩處的那一部分平板工件，改進(jìn)(熔化和軟化)照射部。此后，步驟S12的凹窩形成過程鍛造和擠壓已經(jīng)熔化和軟化的改進(jìn)部以形成凹窩25 。鍛造和擠壓改進(jìn)部在改進(jìn)部?jī)?nèi)形成密集的好的金屬結(jié)構(gòu)，并使改進(jìn)部的表面光滑。結(jié)果，凹窩25具有降低的表面粗糙度和均勻的光滑度，凹曲表面25b 是均勻光滑的。為了延長(zhǎng)擠壓金屬模的使用壽命，施加到擠壓金屬模的壓力必須是低的。 另一方面，為了通過擠壓使工件的表面均勻地光滑，施加到擠壓金屬模的壓力 必須是高的。即，延長(zhǎng)擠壓金屬模的使用壽命和通過擠壓使工件的表面均勻地 光滑是權(quán)衡的。為這，該實(shí)施例的負(fù)載梁制造方法用激光束擠壓已經(jīng)被熔化和軟化的改進(jìn) 部。與擠壓未改進(jìn)部相比，擠壓根據(jù)該實(shí)施例的改進(jìn)部可以使用更低的擠壓壓 力，使改進(jìn)部的表面均勻地光滑。即，該實(shí)施例可以使工件的表面均勻地光滑， 同時(shí)，可以延長(zhǎng)擠壓金屬模的使用壽命。根據(jù)三維地?cái)D壓工件以形成凹窩并此后用激光束照射工件的比較例，激光 束的熱將容易地使凹窩變形。如果這樣的變形超出了可接受的水平，需要相應(yīng) 的過程以修正變形。根據(jù)該實(shí)施例的負(fù)載梁制造方法，即使有的話，步驟S12的擠壓凹窩內(nèi)的 工件的形成過程可以^畛正這樣的變形。即，該實(shí)施例不需要i'務(wù)正這樣變形的另 外的修正過程。根據(jù)該實(shí)施例的制造方法生產(chǎn)的負(fù)載梁13具有凹窩25,其在單獨(dú)的連續(xù) 表面上的光滑凹曲表面25b具有比在單獨(dú)的連續(xù)表面上的負(fù)載梁13主體的表 面更低的表面粗糙度。通過具有降低的表面粗糙度的凹曲表面25b,滑塊可以精密地被定位在負(fù) 載梁13的凹窩25上，沒有復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。通過這樣具有被精密地定位的滑塊的負(fù)載梁13,頭懸架11可以正確地控 制滑塊的角度。本發(fā)明不限于以上提到的實(shí)施例。在不脫離說明書和被附的權(quán)利要求書中 所規(guī)定的本發(fā)明的范圍和精神下，本發(fā)明允許各種修改。應(yīng)該理解本發(fā)明覆蓋 了從這樣的修改想到的頭懸架、負(fù)載梁和負(fù)載梁制造方法。
權(quán)利要求
1.一種制造負(fù)載梁的方法，該負(fù)載梁被構(gòu)造成被樞軸地支撐在讀/寫裝置中并具有凹窩，該凹窩具有內(nèi)凹的凹曲表面和外凸的凸曲表面以定位和支撐滑塊，該滑塊接受由負(fù)載梁施加的負(fù)載并構(gòu)造成將數(shù)據(jù)寫入到安裝在讀/寫裝置中的盤或從安裝在讀/寫裝置中的盤讀取數(shù)據(jù)，該方法包括準(zhǔn)備工件，該工件是平板并用作負(fù)載梁，用激光束至少照射形成凹窩處的一部分工件，由此在照射部形成改進(jìn)部；和在改進(jìn)部上進(jìn)行塑性加工，由此在改進(jìn)部形成具有凹曲表面的凹窩。
2. 權(quán)利要求1的方法，其中所述用激光束照射一部分工件包括用激光束熔化和軟化該部分，以形成改 進(jìn)部；和所述塑性加工包括鍛造和擠壓已經(jīng)被熔化和軟化的所述改進(jìn)部。
3. 權(quán)利要求1的方法，進(jìn)一步包括獲取所述凹窩的凹曲表面的圖像并從該圖像獲得凹窩的位置數(shù)據(jù)；和 根據(jù)獲得的位置數(shù)據(jù)將滑塊定位在凹窩上。
4. 權(quán)利要求2的方法，進(jìn)一步包括獲取所述凹窩的凹曲表面的圖像并從該圖像獲得凹窩的位置數(shù)據(jù)；和 根據(jù)獲得的位置數(shù)據(jù)將滑塊定位在凹窩上。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1的方法制造的負(fù)載梁。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2的方法制造的負(fù)載梁。
7. 才艮據(jù)權(quán)利要求3的方法制造的負(fù)栽梁。
8. 根據(jù)權(quán)利要求4的方法制造的負(fù)載梁。
9. 一種#:構(gòu)造成被樞軸地支撐在讀/寫裝置中并具有凹窩的負(fù)載梁，該凹 窩具有內(nèi)凹的凹曲表面和外凸的凸曲表面以定位和支撐滑塊，該滑塊接受由負(fù) 載梁施加的負(fù)載并構(gòu)造成將數(shù)據(jù)寫入到安裝在讀/寫裝置中的盤或從安裝在讀/ 寫裝置中的盤讀取數(shù)據(jù)，該負(fù)載梁包括平板主體，所述凹窩形成在該平板主體上；連續(xù)表面，其在主體的表面和凹窩的凹曲表面之上伸展；和改進(jìn)部，其從所述凹窩的凹曲表面向其內(nèi)部伸展，所述凹窩的凹曲表面為通過在改進(jìn)部上進(jìn)行塑性加工而形成的光滑表面, 并在連續(xù)表面上具有比主體的表面更低的表面粗糙度。
10. 包括權(quán)利要求5的負(fù)載梁的頭懸架。
11. 包括權(quán)利要求6的負(fù)載梁的頭懸架。
12. 包括權(quán)利要求7的負(fù)載梁的頭懸架。
13. 包括權(quán)利要求8的負(fù)載梁的頭懸架。
14. 包括權(quán)利要求9的負(fù)載梁的頭懸架。
全文摘要
一種制造負(fù)載梁的方法，根據(jù)精密地獲得的凹窩的位置數(shù)據(jù)精密地將滑塊定位在負(fù)載梁的凹窩上。該方法包括準(zhǔn)備工件，該工件是平板并用作負(fù)載梁；用激光束至少照射形成凹窩處的一部分工件，以在照射部形成改進(jìn)部；在改進(jìn)部上進(jìn)行塑性加工，以在改進(jìn)部形成具有凹曲表面的凹窩；獲取所述凹窩的凹曲表面的圖像并從該圖像獲得凹窩的位置數(shù)據(jù)；根據(jù)位置數(shù)據(jù)將滑塊定位在凹窩上。
文檔編號(hào)G11B5/48GK101404161SQ200810149780
公開日2009年4月8日 申請(qǐng)日期2008年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月4日
發(fā)明者堀內(nèi)喬, 野島晃 申請(qǐng)人:日本發(fā)條株式會(huì)社