專利名稱：磁頭的制造方法以及用于該制造方法的加工夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種具有讀取元件和寫入元件的磁頭的制造方法，該方法包括以下步 驟準(zhǔn)備長(zhǎng)形條的步驟，在長(zhǎng)形條上形成了若干磁頭；將長(zhǎng)形條安裝并固定在具有若干夾 具光學(xué)標(biāo)記的加工夾具上的步驟；檢測(cè)若干夾具光學(xué)標(biāo)記的位置的步驟，上述若干夾具光 學(xué)標(biāo)記設(shè)置在安裝了長(zhǎng)形條的加工夾具上；根據(jù)檢測(cè)出的若干夾具光學(xué)標(biāo)記的位置來求算 加工夾具的變形，當(dāng)加工夾具的變形在容許范圍內(nèi)時(shí)，用加工夾具繼續(xù)固定長(zhǎng)形條，當(dāng)加工 夾具的變形在容許范圍之外時(shí)，卸下長(zhǎng)形條的步驟；對(duì)安裝在加工夾具上的長(zhǎng)形條進(jìn)行加 工的步驟；將進(jìn)行加工后的長(zhǎng)形條切割成單個(gè)磁頭的步驟。 本發(fā)明涉及另一種具有讀取元件和寫入元件的磁頭的制造方法，該方法包括以下
步驟準(zhǔn)備長(zhǎng)形條的步驟，在長(zhǎng)形條上形成了若干磁頭并設(shè)置了若干長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記；將
長(zhǎng)形條安裝并固定在具有若干夾具光學(xué)標(biāo)記的加工夾具上的步驟；檢測(cè)若干夾具光學(xué)標(biāo)記
的位置的步驟，若干夾具光學(xué)標(biāo)記設(shè)置在安裝了長(zhǎng)形條的加工夾具上；檢測(cè)設(shè)置在長(zhǎng)形條
上的若干長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記的位置的步驟；根據(jù)檢測(cè)出的夾具光學(xué)標(biāo)記與長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記的
相對(duì)位置關(guān)系，求算長(zhǎng)形條的實(shí)際變形，當(dāng)長(zhǎng)形條的實(shí)際變形在容許范圍內(nèi)時(shí)，用加工夾具
繼續(xù)固定長(zhǎng)形條，當(dāng)長(zhǎng)形條的實(shí)際變形在容許范圍之外時(shí)，卸下長(zhǎng)形條的步驟；對(duì)安裝在加
工夾具上的長(zhǎng)形條進(jìn)行加工的步驟；將進(jìn)行加工后的長(zhǎng)形條切割成單個(gè)磁頭的步驟。 本發(fā)明進(jìn)一步涉及一種具有讀取元件和寫入元件的磁頭的制造方法，該方法包括
以下步驟準(zhǔn)備長(zhǎng)形條的步驟，在長(zhǎng)形條上形成了若干磁頭并設(shè)置了若干長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記；
將長(zhǎng)形條安裝并固定在具有若干夾具光學(xué)標(biāo)記的加工夾具上的步驟；檢測(cè)若干夾具光學(xué)標(biāo)
記的位置的步驟，若干夾具光學(xué)標(biāo)記設(shè)置在安裝了長(zhǎng)形條的加工夾具上；檢測(cè)設(shè)置在長(zhǎng)形
條上的若干長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記的位置的步驟；根據(jù)檢測(cè)出的夾具光學(xué)標(biāo)記與長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記
的相對(duì)位置關(guān)系，對(duì)加工夾具施加按壓或者拉伸的矯正負(fù)荷的步驟；對(duì)安裝在施加了矯正
負(fù)荷的加工夾具上的長(zhǎng)形條進(jìn)行加工的步驟；將進(jìn)行加工后的長(zhǎng)形條切割成單個(gè)磁頭的步驟。 此外，本發(fā)明優(yōu)選的是，將若干長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記，以沿長(zhǎng)形條縱向方向排列的方式 配置在長(zhǎng)形條上；將若干夾具光學(xué)標(biāo)記，以在加工夾具上安裝所述長(zhǎng)形條時(shí)沿長(zhǎng)形條縱向 方向排列的方式配置在加工夾具上；再根據(jù)夾具光學(xué)標(biāo)記與長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記的相對(duì)位置關(guān) 系，可以求出長(zhǎng)形條寬度方向的變形。 本發(fā)明還涉及一種在磁頭制造中所使用的加工夾具，該加工夾具用于固定形成了 若干具有讀取元件和寫入元件的磁頭的長(zhǎng)形條，其中，上述加工夾具具有若干夾具光學(xué)標(biāo)記。 根據(jù)本發(fā)明，通過利用在固定了長(zhǎng)形條的加工夾具上設(shè)置的若干夾具光學(xué)標(biāo)記， 可以求算出加工夾具自身的變形。接著，根據(jù)求算出的加工夾具自身的變形，可以恰當(dāng)矯正 其變形。并且，當(dāng)加工夾具自身的變形在容許范圍之外時(shí)，也可以暫時(shí)將長(zhǎng)形條從加工夾具 上卸下。 此外，從利用長(zhǎng)形條上設(shè)置的長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記而能夠求算出的長(zhǎng)形條外觀上的變 形量中，減去利用加工夾具上設(shè)置的若干夾具光學(xué)標(biāo)記而求算出的加工夾具自身的變形 量，可以求出長(zhǎng)形條的實(shí)際變形量(真值變形量)。因此，或者可以調(diào)整長(zhǎng)形條在加工夾具 上的安裝狀態(tài)，或者可以進(jìn)行拆卸，同時(shí)對(duì)長(zhǎng)形條的實(shí)際的翹曲及實(shí)際變形進(jìn)行解析，進(jìn)而 可以求出長(zhǎng)形條在加工夾具上恰當(dāng)?shù)陌惭b方法。 由此，根據(jù)本發(fā)明，可以很容易的對(duì)長(zhǎng)形條進(jìn)行恰當(dāng)?shù)募庸?，因此，可以制造出?有恰當(dāng)讀取元件磁極長(zhǎng)度(MR高度)以及寫入元件磁極長(zhǎng)度(頸高度)的高精密度磁頭。


圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式中用于磁頭制造的基板的概略立體圖。
圖2是形成于圖1所示基板上的磁頭的截面圖。
圖3是圖2所示磁頭的飛行面?zhèn)鹊膫?cè)視概略圖。
圖4是切斷圖1所示基板后得到的長(zhǎng)形條的立體圖。 圖5(a)是表示在本發(fā)明加工夾具上安裝圖4所示長(zhǎng)形條之前的狀態(tài)概略圖、(b) 是表示在本發(fā)明加工夾具上安裝圖4所示長(zhǎng)形條并進(jìn)行研磨的狀態(tài)概略圖。
圖6是表示本發(fā)明長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記以及夾具光學(xué)標(biāo)記的檢測(cè)方法的模式圖。
圖7是切斷圖4所示長(zhǎng)形條后得到的磁頭的立體圖。 圖8(a)是表示在加工夾具的部分區(qū)域中產(chǎn)生能夠矯正的變形的圖表，(b)是表示 在加工夾具的部分區(qū)域中產(chǎn)生不能矯正的變形的圖表。 圖9是表示長(zhǎng)形條變形量、加工夾具變形量和長(zhǎng)形條真值變形量的圖表。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式進(jìn)行具體說明。 根據(jù)本實(shí)施方式的磁頭制造方法，首先，在如圖1、圖2所示基板(晶圓)1上，形成 多個(gè)磁頭2。例如，在如圖2所示的由氧化鋁-碳化鈦復(fù)合物(Al203 *TiC)等的基體la和 在其上層積的氧化鋁(A1203)等的絕緣材料制成的襯底層lb所組成的基板1上，形成矩陣 狀(Matrix)的含有讀取部3和寫入部4的磁頭2。讀取部3是在基板1上的下屏蔽層5和 上屏蔽層6之間夾著讀取元件7的結(jié)構(gòu)。讀取元件7例如可以是在一對(duì)磁性體層之間夾著 非磁性層的巨磁阻(GMR，Giant Magneto Resistance)元件，也可以是在一對(duì)磁性體層之間 夾著絕緣層的隧道磁阻(TMR，Tunneling Magneto Resistance)元件。另一方面，寫入部4 是以垂直磁記錄(PMR， Perpendicular Magnetic Recording)方式進(jìn)行磁記錄的部件，主要 由形成寫入元件8的主磁極、輔助磁極9、薄膜線圈IO構(gòu)成。此外，如圖3所示，讀取元件7 和寫入元件8配置于在平面內(nèi)重疊后的同一位置上。 接著，在本實(shí)施方式中，如圖3所示，在接近磁頭2的位置或者在磁頭2內(nèi)，形成長(zhǎng)
6形條光學(xué)標(biāo)記11。與圖1所示基板1內(nèi)呈矩陣狀配置的若干磁頭2相對(duì)應(yīng)，長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo) 記ll也呈矩陣狀配置。 然后，切斷具有排列成矩陣狀的若干磁頭2及長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11的基板1，得到若 干細(xì)長(zhǎng)的長(zhǎng)形條14 (參照?qǐng)D4、圖5 (a)、圖5 (b))。在該長(zhǎng)形條14內(nèi)，若干磁頭2及長(zhǎng)形條光 學(xué)標(biāo)記11分別排列成行。另外，在如圖所示的實(shí)施例中，磁頭2及長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11可以 排成一列，也可以排成若干列。當(dāng)磁頭2排成若干列時(shí)，有時(shí)也將該部件稱作條塊(block)。
雖然沒有特殊限定長(zhǎng)形條14內(nèi)的長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11的位置，但是通過圖未示的 光學(xué)傳感器能夠檢測(cè)出其位置，并且可以根據(jù)檢測(cè)出的長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11的位置可求出 長(zhǎng)形條14的變形的位置。此外，對(duì)長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11的形成方法沒有特殊限定，可以使用 公知的方法。例如，當(dāng)使用濺鍍法(sputtering)等對(duì)構(gòu)成讀取元件7或?qū)懭朐?的任意 一層進(jìn)行成膜時(shí)，可以在讀取元件7或?qū)懭朐?的附近同時(shí)成膜而形成長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記 11。此時(shí)，由于磁頭2的各層具有透光性，因此可以通過來自磁頭2外部的光學(xué)傳感器檢測(cè) 長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11的透射圖像?；蛘?，可以通過使用濺鍍法等在磁頭2表層上成膜來形成 長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記ll。 之后，如圖5(b)所示，使用粘合劑(圖未示)等將長(zhǎng)形條14安裝到加工夾具15 上。本實(shí)施方式的加工夾具15具有與長(zhǎng)形條14的若干長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11相對(duì)應(yīng)的若干夾 具光學(xué)標(biāo)記12。在此，加工夾具15的夾具光學(xué)標(biāo)記12與長(zhǎng)形條14的長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11 相對(duì)應(yīng)是指，在加工夾具15上安裝了長(zhǎng)形條14的狀態(tài)下，各長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11面向各夾 具光學(xué)標(biāo)記12，為了使每個(gè)長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11與每個(gè)夾具光學(xué)標(biāo)記12之間的相對(duì)位置關(guān) 系(間隔等)完全一致，與長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11相對(duì)應(yīng)配置夾具光學(xué)標(biāo)記12。因此，只設(shè)置 與長(zhǎng)形條14的長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11相同數(shù)目的加工夾具15的夾具光學(xué)標(biāo)記12。但是，當(dāng)根 據(jù)夾具光學(xué)標(biāo)記12與長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11的相對(duì)位置關(guān)系，可以求出加工夾具15及長(zhǎng)形條 14的變形時(shí)，夾具光學(xué)標(biāo)記12和長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11的數(shù)目也可以不相同。為了向加工夾 具15施加后述的矯正負(fù)荷，可以在加工夾具15上設(shè)置可插入圖未示的致動(dòng)器(actuator) 的孔17。 對(duì)加工夾具15內(nèi)的夾具光學(xué)標(biāo)記12的位置沒有特殊限定，只要能通過圖未示的 光學(xué)傳感器檢測(cè)出其位置，并能根據(jù)檢測(cè)出的夾具光學(xué)標(biāo)記12的位置求出加工夾具15的 變形的位置即可。此外，對(duì)夾具光學(xué)標(biāo)記12的形成方法也沒有特殊限定，可以使用公知的 方法。例如，可以用激光等產(chǎn)生的熱量或者切割器等物理力雕刻加工夾具15的表面來形成 夾具光學(xué)標(biāo)記12。 但是，將基板1切割成細(xì)長(zhǎng)的長(zhǎng)形條14時(shí)，切割后的長(zhǎng)形條14有時(shí)會(huì)發(fā)生翹曲 (Row Bow)或變形。進(jìn)一步地，當(dāng)在加工夾具15上安裝長(zhǎng)形條14時(shí)，加工夾具15也很可能 會(huì)隨著該長(zhǎng)形條14的翹曲而發(fā)生變形。因此，在本實(shí)施方式中，通過圖未示的光學(xué)傳感器， 對(duì)長(zhǎng)形條14的若干長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11的每個(gè)位置進(jìn)行光學(xué)檢測(cè)，同時(shí)也對(duì)加工夾具15的 若干夾具光學(xué)標(biāo)記12的每個(gè)位置進(jìn)行光學(xué)檢測(cè)。接著，根據(jù)這些檢測(cè)結(jié)果調(diào)整長(zhǎng)形條14 及加工夾具15，從而使長(zhǎng)形條14及加工夾具15的變形處于容許范圍內(nèi)。該調(diào)整是本發(fā)明 的主要特征之一，后面將進(jìn)行詳細(xì)的說明。另外，在本發(fā)明的實(shí)施方式中，如圖6所示，每個(gè) 長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11及每個(gè)夾具光學(xué)標(biāo)記12都是長(zhǎng)方形，圖未示的光學(xué)傳感器可以檢測(cè)這 些標(biāo)記的中心位置C。但只要能夠光學(xué)檢測(cè)出其位置，長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記ll及夾具光學(xué)標(biāo)記12也可以為任何形狀。 使用長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11及夾具光學(xué)標(biāo)記12來調(diào)整長(zhǎng)形條14及加工夾具15，當(dāng) 長(zhǎng)形條14及加工夾具15的變形在容許范圍內(nèi)時(shí)，對(duì)長(zhǎng)形條14進(jìn)行加工。具體來說，如圖 5(b)所示，通過使加工夾具15面向研磨盤16移動(dòng)，將安裝于加工夾具15上的長(zhǎng)形條14 的被研磨面13(參照?qǐng)D4)按壓在研磨盤16上并進(jìn)行研磨。例如，一邊確認(rèn)在長(zhǎng)形條14 上預(yù)先形成的ELG(圖未示)的阻值，一邊進(jìn)行研磨，在ELG的阻值達(dá)到規(guī)定值的時(shí)間點(diǎn)， 判斷已經(jīng)得到了期望的研磨量并結(jié)束研磨。另外，長(zhǎng)形條14的被研磨面13是指在完成磁 頭2的制造時(shí)位于磁記錄介質(zhì)(圖未示)的上方并面對(duì)磁記錄介質(zhì)的飛行面13(ABS :Air BearingSurface)。 最后，通過將上述研磨后的長(zhǎng)形條14切割成單個(gè)的磁頭2而可以得到若干如圖7 所示的磁頭2。 在如上所述的磁頭2的制造方法中，本實(shí)施方式具有能顯著改善長(zhǎng)形條14及加工 夾具15的變形的特征。關(guān)于這一點(diǎn)將進(jìn)行以下說明。 下面對(duì)本發(fā)明涉及的背景進(jìn)行說明。本申請(qǐng)人首先考慮到將設(shè)置了長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo) 記的長(zhǎng)形條安裝在加工夾具上，長(zhǎng)形條會(huì)發(fā)生翹曲及變形，因而研究了或者調(diào)整長(zhǎng)形條在 加工夾具上的安裝角度，或者使用若干致動(dòng)器向加工夾具施加矯正負(fù)荷使加工夾具變形進(jìn) 而矯正長(zhǎng)形條的翹曲，然后再進(jìn)行研磨的方法。接著，如上所述，當(dāng)ELG的阻值達(dá)到規(guī)定值 的時(shí)候結(jié)束研磨。然而，即使進(jìn)行這樣的控制，長(zhǎng)形條內(nèi)若干讀取元件及寫入元件也很有可 能得不到各自期望的元件高度(MR高度及頸高度)。 因此，為了得到期望的MR高度及頸高度本申請(qǐng)人想了很多辦法。首先，不是在一 個(gè)加工夾具上安裝一個(gè)或兩個(gè)長(zhǎng)形條再進(jìn)行研磨，而是在加工夾具上安裝作為若干長(zhǎng)形條 集合體的條塊(block)(堆，stack)再進(jìn)行研磨。該條塊是從基板上切割出的包含若干列 磁頭組的區(qū)域的部件，是若干長(zhǎng)形條一體化的狀態(tài)。此時(shí)，特別是與細(xì)長(zhǎng)的長(zhǎng)形條相比，條 塊具有不易發(fā)生翹曲的優(yōu)點(diǎn)，但由于先將研磨后的條塊切斷來獲得單個(gè)長(zhǎng)形條，再將每個(gè) 長(zhǎng)形條切割成單個(gè)磁頭，所以生產(chǎn)效率降低。而且上述方法并未充分改善變形。
經(jīng)本發(fā)明人進(jìn)一步研究后推測(cè)，不只是長(zhǎng)形條會(huì)發(fā)生翹曲，沿長(zhǎng)形條的翹曲安裝 長(zhǎng)形條的加工夾具自身也會(huì)發(fā)生變形，這也是得不到期望的MR高度及頸高度的原因之一。 接著本發(fā)明人研究了 使加工夾具上安裝長(zhǎng)形條時(shí)所使用的粘合劑在粘合時(shí)變形減小的方 法，以及使用受熱變形小的材料來形成加工夾具的方法等。采用上述改善方法雖然取得了 一定程度的效果，但并不能說從本質(zhì)上解決了長(zhǎng)形條及加工夾具的變形問題，而且解決得 也不夠充分。 通過本發(fā)明人進(jìn)一步的研究，加工夾具可以形成以下形狀及結(jié)構(gòu)當(dāng)研磨安裝在 加工夾具上的長(zhǎng)形條時(shí)因受到的壓力而容易彎曲的形狀及結(jié)構(gòu)，以及當(dāng)研磨安裝在加工夾 具上的長(zhǎng)形條在若干點(diǎn)上能夠彎曲的形狀及結(jié)構(gòu)等。因此，研磨時(shí)加工夾具受到來自研磨 盤的壓力而彎曲，因而產(chǎn)生了使整個(gè)長(zhǎng)形條更容易比較均勻地與研磨盤接觸的效果。但是， 由于加工夾具變得容易彎曲，也會(huì)存在因安裝長(zhǎng)形條時(shí)的應(yīng)力(粘合應(yīng)力)而易發(fā)生微小 變形的問題。 采用上述方法雖然取得了一定程度的效果，但并沒有得到令人十分滿意的效果。 在上述例子中，可以通過檢測(cè)設(shè)置在長(zhǎng)形條上的若干長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記的位置來求算長(zhǎng)形條的翹曲，但未考慮到加工夾具自身的變形。因此，為了得到期望MR高度及頸高度并為了進(jìn) 一步改善上述效果，本發(fā)明人提出了求算加工夾具的變形狀態(tài)應(yīng)該會(huì)有效的想法，進(jìn)而完 成了本發(fā)明。 具體來說，本發(fā)明在用于安裝并固定長(zhǎng)形條14的加工夾具15上設(shè)置若干夾具光 學(xué)標(biāo)記12。夾具光學(xué)標(biāo)記12設(shè)置在與長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11相對(duì)應(yīng)的位置，該長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo) 記11設(shè)置在安裝了長(zhǎng)形條14的上述加工夾具15上。也就是說，夾具光學(xué)標(biāo)記12與長(zhǎng)形 條光學(xué)標(biāo)記11數(shù)量相同，每個(gè)夾具光學(xué)標(biāo)記12與每個(gè)長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11相向配置。具有 上述若干夾具光學(xué)標(biāo)記12的加工夾具15，在本發(fā)明之前不曾被使用過。此外，當(dāng)根據(jù)夾具 光學(xué)標(biāo)記12與長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11的相對(duì)位置關(guān)系可以求出加工夾具15及長(zhǎng)形條14的變 形時(shí)，夾具光學(xué)標(biāo)記12與長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11的數(shù)目也可以不相同。 在本發(fā)明的第一實(shí)施方式中，將長(zhǎng)形條14安裝在加工夾具15上后，使用圖未示的 光學(xué)傳感器，分別檢測(cè)加工夾具15上的若干夾具光學(xué)標(biāo)記12的位置。接著，根據(jù)檢測(cè)出的 若干夾具光學(xué)標(biāo)記12的位置，求算加工夾具15自身的變形狀態(tài)。當(dāng)該加工夾具15的變形 在容許范圍內(nèi)時(shí)，不從加工夾具15上拆下長(zhǎng)形條14，而是繼續(xù)固定長(zhǎng)形條14，并開始進(jìn)行 研磨工序。但是，根據(jù)需要可以在加工夾具15的孔17中插入圖未示的致動(dòng)器，通過該致動(dòng) 器的工作向加工夾具15施加按壓或者拉伸的矯正負(fù)荷從而矯正變形。另一方面，當(dāng)加工夾 具的自身變形在容許范圍之外時(shí)，也可以暫時(shí)將長(zhǎng)形條從加工夾具上拆下然后再次重新安 裝。上述容許范圍是任意設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)，例如，容許范圍可以是當(dāng)超出該范圍時(shí)通常會(huì)造成長(zhǎng) 形條14內(nèi)所有磁頭2的MR高度和頸高度均不能再進(jìn)行高精密度加工的標(biāo)準(zhǔn)。反之，容許 范圍也可以是只要處于該范圍之內(nèi)通常長(zhǎng)形條14內(nèi)所有磁頭2的MR高度和頸高度均能進(jìn) 行高精密度加工的標(biāo)準(zhǔn)，也就是說，可以是當(dāng)超出該范圍時(shí)若干磁頭的各MR高度和頸高度 中至少有一個(gè)不能進(jìn)行高精密度加工的標(biāo)準(zhǔn)。除了考慮要求的成品率程度以及要求的磁頭 性能等之外，也要考慮生產(chǎn)安全，通過操作者的判斷可以設(shè)定比較嚴(yán)格的容許范圍，也可以 設(shè)定比較寬松的容許范圍。 對(duì)加工夾具15的變形是在容許范圍之內(nèi)還是在容許范圍之外的判定，可以根據(jù) 加工夾具15在規(guī)定范圍內(nèi)的變形量增大及減少的反復(fù)次數(shù)是否比預(yù)先設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)次數(shù)多 來判斷。例如，當(dāng)對(duì)加工夾具施加按壓或者拉伸的矯正負(fù)荷的點(diǎn)有多個(gè)(例如9個(gè)點(diǎn))時(shí)， 在相鄰兩點(diǎn)之間如果不包含加工夾具15變形的兩個(gè)以上極值(最大值或者最小值)的部 分，或者，假如如圖8(a)所示成為極值的部分與施加矯正負(fù)荷的點(diǎn)幾乎一致的話，可以通 過施加矯正負(fù)荷來矯正加工夾具15的變形。因此，在這種情況下可以判斷加工夾具15的 變形是在容許范圍內(nèi)，沒有必要將長(zhǎng)形條14從加工夾具15上卸下。在如圖8(a)所示實(shí)施 例的情況下，在點(diǎn)A施加作為矯正負(fù)荷的按壓力(從圖上方至圖下方的力)，同時(shí)在點(diǎn)B施 加作為矯正負(fù)荷的拉伸力(從圖下方至上方的力)，通過這樣可以矯正加工夾具的變形。
與之相對(duì)，假如在相鄰兩點(diǎn)之間包含加工夾具15變形的兩個(gè)以上極值(最大值或 者最小值)部分，也就是說，假如如圖8(b)所示的圖中存在兩個(gè)以上波峰及波谷，不論在 規(guī)定點(diǎn)(例如點(diǎn)A及點(diǎn)B)上分別施加按壓力(從圖上方至圖下方的力)，還是施加拉伸力 (從圖下方至上方的力)，都不可能矯正加工夾具15的變形。也就是說，如圖8(b)所示，即 使對(duì)點(diǎn)A和點(diǎn)B雙方都增加按壓力，也不可能矯正加工夾具15的變形，并且，即便對(duì)點(diǎn)A和 點(diǎn)B中任意一方施加按壓力而對(duì)另一方施加拉伸力，或者對(duì)點(diǎn)A和點(diǎn)B雙方都增加拉伸力，也都不可能矯正加工夾具15的變形。因此，當(dāng)無論對(duì)點(diǎn)A和點(diǎn)B怎樣施加矯正負(fù)荷都不能 矯正加工夾具15的變形時(shí)，可以判定加工夾具15的變形是在容許范圍之外，將長(zhǎng)形條14 從加工夾具15上暫時(shí)卸下再重新安裝，然后重新檢測(cè)夾具光學(xué)標(biāo)記12的位置，并根據(jù)該檢 測(cè)結(jié)果求出加工夾具15自身的變形狀態(tài)。在加工夾具15的變形處于容許范圍內(nèi)之前，即 達(dá)到能夠矯正的程度之前，要反復(fù)進(jìn)行長(zhǎng)形條14的再安裝和對(duì)夾具光學(xué)標(biāo)記12位置的檢 測(cè)。當(dāng)最終判定加工夾具15的變形達(dá)到容許范圍之內(nèi)時(shí)，根據(jù)需要對(duì)加工夾具15施加矯 正負(fù)荷，從而完成對(duì)長(zhǎng)形條14及加工夾具15的調(diào)整。接著，開始進(jìn)行長(zhǎng)形條14的研磨工 序及切斷工序。 在上述實(shí)施例中，可以說利用了加工夾具15在規(guī)定的狹窄范圍內(nèi)變形量增大以 及減少的反復(fù)次數(shù)，來作為表示加工夾具15變形量大小的指標(biāo)。但是，也可以采用以下方 式可以采用預(yù)先決定最大變形量的標(biāo)準(zhǔn)值，再根據(jù)加工夾具15的最大變形量是否處于上 述標(biāo)準(zhǔn)值以下范圍內(nèi)的判斷，來決定是否從加工夾具15上卸下長(zhǎng)形條14 ;或者分別求算長(zhǎng) 形條14內(nèi)各長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11與加工夾具15內(nèi)各夾具光學(xué)標(biāo)記12之間的相對(duì)位置，再 根據(jù)在這些相對(duì)位置中最大變形量是否處于上述標(biāo)準(zhǔn)值以下范圍內(nèi)的判斷，來決定是否從 加工夾具15上卸下長(zhǎng)形條14。對(duì)上述最大變形量的定義并沒有特殊限定，可以根據(jù)變形的 狀態(tài)任意設(shè)定。例如，可以根據(jù)變形量的平均值求算平均中心線，以距離該平均中心線最遠(yuǎn) 的值作為最大變形量，或者可以以若干夾具光學(xué)標(biāo)記12中位于兩個(gè)端部的標(biāo)記相互連接 而成的直線為中心線，以距離該中心線最遠(yuǎn)的值為最大變形量。 另外，本實(shí)施方式是求出加工夾具15自身的變形狀態(tài)，再對(duì)該變形進(jìn)行矯正的方 法。因此，當(dāng)加工沒有設(shè)置長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11的長(zhǎng)形條14時(shí)也可以采用該方法。
接著，為了得到期望的MR高度及頸高度，本發(fā)明人提出了除了加工夾具15的變形 之外求出長(zhǎng)形條14的實(shí)際變形狀態(tài)是否更有效的想法，并完成了本發(fā)明。因此，在本發(fā)明 的第二實(shí)施方式中，將長(zhǎng)形條14安裝在加工夾具15上后，分別檢測(cè)加工夾具15上的若干 長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記12的位置，同時(shí)分別檢測(cè)長(zhǎng)形條14上的若干長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11的位置。 然后根據(jù)檢測(cè)出的夾具光學(xué)標(biāo)記12與長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11之間的相對(duì)位置關(guān)系，求出長(zhǎng)形 條15的實(shí)際變形狀態(tài)。如圖9所示，用長(zhǎng)形條14的長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11的變形量減去加工 夾具15的變形量的值即為長(zhǎng)形條14的實(shí)際變形量(真值變形量)。當(dāng)長(zhǎng)形條14的實(shí)際變 形在容許范圍內(nèi)時(shí)，不從加工夾具15上卸下長(zhǎng)形條14，繼續(xù)固定長(zhǎng)形條14，并開始進(jìn)行研 磨工序。并且，根據(jù)需要可以對(duì)加工夾具15施加按壓或者拉伸矯正負(fù)荷從而矯正變形。另 一方面，當(dāng)長(zhǎng)形條14的實(shí)際變形在容許范圍之外時(shí)，將長(zhǎng)形條14暫時(shí)從加工夾具15上卸 下。再將卸下的長(zhǎng)形條14重新安裝。并且，可以保持原狀加熱長(zhǎng)形條14和加工夾具15，通 過改變粘合劑的粘合狀態(tài)來改變長(zhǎng)形條14的變形量。 對(duì)長(zhǎng)形條14的實(shí)際變形是在容許范圍內(nèi)還是在容許范圍外的判定，與上述第一 實(shí)施方式相同，可以通過在對(duì)加工夾具15施加按壓或者拉伸矯正負(fù)荷的多點(diǎn)中的相鄰兩 點(diǎn)之間，在用圖示表示長(zhǎng)形條14的真值變形量時(shí)是否存在兩個(gè)以上波峰及波谷(兩個(gè)以上 的極值)來進(jìn)行判斷。此外，上述判定也可以采用預(yù)先決定最大真值變形量的標(biāo)準(zhǔn)值，再根 據(jù)判斷長(zhǎng)形條14的最大真值變形量是否在上述標(biāo)準(zhǔn)值以下范圍內(nèi)的方式來進(jìn)行判斷。
本實(shí)施方式是求出長(zhǎng)形條14的實(shí)際變形狀態(tài)，通過加工夾具15來矯正該變形的 方法。因此，當(dāng)加工設(shè)置了長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11的長(zhǎng)形條14時(shí)也可以采用該方法。
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另外，作為上述實(shí)施方式的變形實(shí)施例，也可以根據(jù)檢測(cè)出的夾具光學(xué)標(biāo)記12與 長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11之間的相對(duì)位置關(guān)系，對(duì)加工夾具15施加矯正負(fù)荷。此外，也可以不具 有施加矯正負(fù)荷的結(jié)構(gòu)(制動(dòng)器及孔17)，只要在容許范圍之內(nèi)，不需要對(duì)長(zhǎng)形條14和加工 夾具15進(jìn)行任何改變就能進(jìn)行加工；而如果在容許范圍之外則直接將長(zhǎng)形條從加工夾具 上卸下，或者也可以保持原狀加熱長(zhǎng)形條14和加工夾具15，通過改變粘合劑的粘合狀態(tài)來 改變長(zhǎng)形條14的變形量。 對(duì)根據(jù)若干夾具光學(xué)標(biāo)記12的位置檢測(cè)結(jié)果來求算加工夾具15的變形量的方法 并沒有特殊限定。例如，用n次多項(xiàng)式求出連接若干夾具光學(xué)標(biāo)記12位置形成的線的近似 曲線，并連接上述曲線兩個(gè)端點(diǎn)形成直線(中心線)，將上述曲線和上述直線進(jìn)行比較，可 以把近似曲線與中心線的分離距離(中心線兩端各自最大分離距離之和)看作是加工夾具 15的變形量。對(duì)于長(zhǎng)形條14的變形量，也可以采取同樣的方法求算若干長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記 11的位置。 如上所述，根據(jù)本發(fā)明，在固定長(zhǎng)形條14的加工夾具15上設(shè)置若干夾具光學(xué)標(biāo)記 12。通過利用該夾具光學(xué)標(biāo)記12，可以求出加工夾具15自身的變形量。根據(jù)由此求算的加 工夾具15的變形量，可以矯正加工夾具15的變形。此時(shí)，對(duì)加工夾具15變形的矯正，也可 以通過對(duì)規(guī)定的加工夾具15的若干區(qū)域施加矯正負(fù)荷(按壓力或者拉伸力)來進(jìn)行，此外 也可以通過其它方法進(jìn)行。當(dāng)判定變形量太大以至于達(dá)到不可能矯正加工夾具的程度時(shí)， 將長(zhǎng)形條14從加工夾具15上卸下后再重新安裝。當(dāng)把長(zhǎng)形條14重新安裝在加工夾具15 上時(shí)，由于在之前的安裝狀態(tài)中已求出加工夾具15的變形量，因此要選擇盡可能消除該變 形的安裝方法，具體來說，可調(diào)整加工夾具15上長(zhǎng)形條14的安裝位置以及安裝姿態(tài)，或者 考慮到粘合變形，可以調(diào)整粘合劑涂布的分布等。 此外，如上所述，可以利用夾具光學(xué)標(biāo)記12來求算加工夾具15變形量，同時(shí)也可 以利用長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11來求算長(zhǎng)形條14的變形量。此時(shí)，根據(jù)長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記11來求 算長(zhǎng)形條14的變形量實(shí)際上也包含了加工夾具15的變形量。因此，要從利用長(zhǎng)形條光學(xué) 標(biāo)記11求算的長(zhǎng)形條14的變形量中，減去利用夾具光學(xué)標(biāo)記12求算的加工夾具15的變 形量，從而求出長(zhǎng)形條14的真值變形量。通過以上方法，可以更正確的掌握長(zhǎng)形條14的翹 曲及變形，進(jìn)而可以對(duì)長(zhǎng)形條14實(shí)際的翹曲及變形進(jìn)行解析。由于可以對(duì)這種長(zhǎng)形條14 實(shí)際的翹曲及變形進(jìn)行解析，因此長(zhǎng)形條14在加工夾具15上的粘合條件能夠達(dá)到最佳化， 同時(shí)可以通過迅速并簡(jiǎn)單的控制得到期望的MR高度及頸高度。
權(quán)利要求
一種具有讀取元件和寫入元件的磁頭的制造方法，其特征在于包括準(zhǔn)備長(zhǎng)形條的步驟，在所述長(zhǎng)形條上形成了若干所述磁頭；將所述長(zhǎng)形條安裝并固定在具有若干夾具光學(xué)標(biāo)記的加工夾具上的步驟；檢測(cè)若干所述夾具光學(xué)標(biāo)記的位置的步驟，若干所述夾具光學(xué)標(biāo)記設(shè)置在安裝了所述長(zhǎng)形條的所述加工夾具上；根據(jù)檢測(cè)出的若干所述夾具光學(xué)標(biāo)記的所述位置來求算加工夾具的變形，當(dāng)所述加工夾具的變形在容許范圍內(nèi)時(shí)，用所述加工夾具繼續(xù)固定所述長(zhǎng)形條，當(dāng)所述加工夾具的變形在容許范圍之外時(shí)，卸下所述長(zhǎng)形條的步驟；對(duì)安裝在所述加工夾具上的所述長(zhǎng)形條進(jìn)行加工的步驟；將進(jìn)行加工后的所述長(zhǎng)形條切割成單個(gè)所述磁頭的步驟。
2. —種具有讀取元件和寫入元件的磁頭的制造方法，其特征在于包括 準(zhǔn)備長(zhǎng)形條的步驟，在所述長(zhǎng)形條上形成了若干所述磁頭并設(shè)置了若干長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記；將所述長(zhǎng)形條安裝并固定在具有若干夾具光學(xué)標(biāo)記的加工夾具上的步驟； 檢測(cè)若干所述夾具光學(xué)標(biāo)記的位置的步驟，若干所述夾具光學(xué)標(biāo)記設(shè)置在安裝了所述長(zhǎng)形條的所述加工夾具上；檢測(cè)若干所述長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記的位置的步驟，若干所述長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記設(shè)置在所述長(zhǎng)形條上；根據(jù)檢測(cè)出的所述夾具光學(xué)標(biāo)記與所述長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記的相對(duì)位置關(guān)系，求算長(zhǎng)形條 的實(shí)際變形，當(dāng)所述長(zhǎng)形條的實(shí)際變形在容許范圍內(nèi)時(shí)，用所述加工夾具繼續(xù)固定所述長(zhǎng) 形條，當(dāng)所述長(zhǎng)形條的實(shí)際變形在容許范圍之外時(shí)，卸下所述長(zhǎng)形條的步驟；對(duì)安裝在所述加工夾具上的所述長(zhǎng)形條進(jìn)行加工的步驟；將進(jìn)行加工后的所述長(zhǎng)形條切割成單個(gè)所述磁頭的步驟。
3. —種具有讀取元件和寫入元件的磁頭的制造方法，其特征在于包括 準(zhǔn)備長(zhǎng)形條的步驟，在所述長(zhǎng)形條上形成了若干磁頭并設(shè)置了若干長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記； 將所述長(zhǎng)形條安裝并固定在具有若干夾具光學(xué)標(biāo)記的加工夾具上的步驟； 檢測(cè)若干所述夾具光學(xué)標(biāo)記的位置的步驟，若干所述夾具光學(xué)標(biāo)記設(shè)置在安裝了所述長(zhǎng)形條的所述加工夾具上；檢測(cè)若干所述長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記的位置的步驟，若干所述長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記設(shè)置在所述長(zhǎng) 形條上；根據(jù)檢測(cè)出的所述夾具光學(xué)標(biāo)記與所述長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記的相對(duì)位置關(guān)系，對(duì)所述加工 夾具施加按壓或者拉伸的矯正負(fù)荷的步驟；對(duì)安裝在施加了所述矯正負(fù)荷的所述加工夾具上的所述長(zhǎng)形條進(jìn)行加工的步驟； 將進(jìn)行加工后的所述長(zhǎng)形條切割成單個(gè)所述磁頭的步驟。
4. 如權(quán)利要求2或3所述磁頭的制造方法，其特征在于包括將若干所述長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記，以沿所述長(zhǎng)形條縱向方向排列的方式，配置在所述長(zhǎng)形 條上；將若干所述夾具光學(xué)標(biāo)記，以在所述加工夾具上安裝所述長(zhǎng)形條時(shí)沿所述長(zhǎng)形條縱向 方向排列的方式，配置在所述加工夾具上；根據(jù)所述夾具光學(xué)標(biāo)記與所述長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記的相對(duì)位置關(guān)系，求出所述長(zhǎng)形條的變形。
5. —種在磁頭制造中所使用的加工夾具，所述加工夾具用于固定長(zhǎng)形條，所述長(zhǎng)形條 上形成了若干具有讀取元件和寫入元件的所述磁頭，其特征在于 所述加工夾具具有若干夾具光學(xué)標(biāo)記。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供一種經(jīng)過簡(jiǎn)單并迅速的處理就能夠高精度地形成MR高度和頸高度的磁頭制造方法，并提供一種用于該制造方法的加工夾具。其中，所述磁頭制造方法包括以下步驟將長(zhǎng)形條安裝在具有若干夾具光學(xué)標(biāo)記的加工夾具上，該長(zhǎng)形條上形成了若干具有讀取元件和寫入元件的磁頭。檢測(cè)安裝了長(zhǎng)形條的加工夾具上的若干夾具光學(xué)標(biāo)記的位置，并且檢測(cè)長(zhǎng)形條上設(shè)置的若干長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記的位置。根據(jù)檢測(cè)出的若干夾具光學(xué)標(biāo)記位置和若干長(zhǎng)形條光學(xué)標(biāo)記的相對(duì)位置關(guān)系，來求算長(zhǎng)形條的實(shí)際變形量，當(dāng)長(zhǎng)形條的實(shí)際變形在容許范圍之外時(shí)，卸下長(zhǎng)形條再重新安裝，然后對(duì)安裝在加工夾具上的長(zhǎng)形條進(jìn)行加工，再將其切割成單個(gè)磁頭。
文檔編號(hào)G11B5/127GK101714357SQ20081016965
公開日2010年5月26日 申請(qǐng)日期2008年10月7日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月7日
發(fā)明者保坂浩治, 小野寺郁人, 朱寧, 洪曉明, 藤井隆司 申請(qǐng)人:新科實(shí)業(yè)有限公司