專利名稱：：多層信息記錄介質(zhì)的制造方法、以及信號(hào)轉(zhuǎn)印基板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及以再生或記錄再生為目的的信息記錄介質(zhì)，特別是具備多個(gè)信息記錄層的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法、在信息記錄介質(zhì)的信號(hào)部通過(guò)轉(zhuǎn)印而形成時(shí)所使用的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板及其制造方法。
背景技術(shù)：
：近年來(lái)，隨著信息設(shè)備/視頻聲音設(shè)備等所需要的信息量的擴(kuò)大，在數(shù)據(jù)訪問(wèn)的容易度、大容量數(shù)據(jù)的儲(chǔ)存和設(shè)備的小型化上優(yōu)異的光盤(pán)等信息記錄介質(zhì)引人注目，實(shí)現(xiàn)了記錄信息的高密度化。例如，提出了通過(guò)使用以激光的波長(zhǎng)約為400nm、且用于聚集激光的聚光鏡頭的數(shù)值孔徑(NA)為0.85的光頭，而實(shí)現(xiàn)了單層為25GB左右、2層為50GB左右的容量的光記錄介質(zhì)(例如，參照日本特開(kāi)2002-260307號(hào)公報(bào))。以下，針對(duì)日本特開(kāi)2002-260307號(hào)公報(bào)中記載的以往的多層信息記錄介質(zhì)的結(jié)構(gòu)和制造方法，使用圖6和圖7A圖7G進(jìn)行說(shuō)明。圖6表示以往的多層信息記錄介質(zhì)的剖面圖。該多層信息記錄介質(zhì)由在單面轉(zhuǎn)印形成有由凹凸形狀構(gòu)成的凹坑(pit)和引導(dǎo)溝的信號(hào)部的第1信號(hào)基板601、在第1信號(hào)基板601的設(shè)置有凹凸形狀的面上配置的第1薄膜層602、在和與第1薄膜層602的接合面相反的面上通過(guò)轉(zhuǎn)印而形成有由凹凸形狀構(gòu)成的凹坑(pit)和引導(dǎo)溝的信號(hào)部的第2信號(hào)基板603、在第2信號(hào)基板603的設(shè)置有凹凸形狀的面上配置的第2薄膜層604、及以覆蓋第2薄膜層604的方式形成的透明層605構(gòu)成。第1信號(hào)基板601通過(guò)使用聚碳酸酯、聚烯烴等的樹(shù)脂材料且通過(guò)射出壓縮成形等在其單面由轉(zhuǎn)印形成凹坑和引導(dǎo)溝為凹凸形狀而被制成。第1信號(hào)基板601的厚度為l.lmm左右。第1薄膜層602和第2薄膜層604分別含有記錄膜、反射膜，對(duì)在第1信號(hào)基板601和第2信號(hào)基板603中形成有信號(hào)部的面(信號(hào)面)側(cè)通過(guò)濺射和蒸鍍等方法制作。作為反射膜的材料的例，主要可列舉銀合金、鋁等的金屬材料，可以采用對(duì)于波長(zhǎng)約400nm的激光能夠得到高效的反射率的材料。另外，記錄膜的材料中，有可擦寫(xiě)型和一次性寫(xiě)入型2種記錄材料。在可擦寫(xiě)型中使用能夠多次進(jìn)行數(shù)據(jù)的記錄和消去的材料，可使用GeSbTe、AglnSbTe等的記錄材料。在一次性寫(xiě)入型中，使用僅能進(jìn)行l(wèi)次記錄、不可逆地變化的材料。TeOPd為其代表性的材料。第2信號(hào)基板603使用紫外線固化型樹(shù)脂通過(guò)旋涂法形成，利用信號(hào)轉(zhuǎn)印基板轉(zhuǎn)印形成凹坑和引導(dǎo)溝的凹凸形狀(信號(hào)部)。在此所使用的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板為如第1信號(hào)基板601那樣的在單面形成凹坑和引導(dǎo)溝的凹凸形狀的基板。具體地說(shuō)，信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，是具有形成有與在第2信號(hào)基板603上形成的信號(hào)部對(duì)應(yīng)的凹凸形狀的信號(hào)面作為轉(zhuǎn)印面的基板。第2信號(hào)基板603通過(guò)以下方法形成將這樣的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板以其信號(hào)面與第1信號(hào)基板601對(duì)向的方式通過(guò)紫外線固化型樹(shù)脂貼合，在紫外線固化型樹(shù)脂的固化后將信號(hào)轉(zhuǎn)印基板從與紫外線固化型樹(shù)脂的界面剝離從而形成。透明層605，由對(duì)記錄再生光透明的(具有高透過(guò)性)材料構(gòu)成，厚度為O.lmm左右。作為材料，可以使用光固化型樹(shù)脂、感壓粘合劑等粘合劑，例如可以將紫外線固化型樹(shù)脂由旋涂法涂覆于第2薄膜層604上而形成。這樣制造的多層信息記錄介質(zhì)的記錄再生，通過(guò)使記錄再生激光從透明層605側(cè)入射而進(jìn)行。在圖7A圖7G中示出了表示以往的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法中的各工序的剖面圖，使用這些圖對(duì)以往的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。首先，在第1信號(hào)基板701的形成有凹坑和引導(dǎo)溝的信號(hào)面上通過(guò)濺射、蒸鍍等方法形成含有記錄膜、反射膜的第1薄膜層702。第1信號(hào)基板701通過(guò)其與形成有第1薄膜層702的面的相反側(cè)的面、由真空吸附等方法被固定在轉(zhuǎn)臺(tái)703上(參照?qǐng)D7A)。在固定于轉(zhuǎn)臺(tái)703上的第1信號(hào)基板701上形成的第1薄膜層702上，為了形成作為樹(shù)脂層的第2信號(hào)基板，通過(guò)分配器在所期望的半徑上呈同心圓狀涂覆紫外線固化型樹(shù)脂704(參照?qǐng)D7B)。接下來(lái)，通過(guò)使轉(zhuǎn)臺(tái)703自旋旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行紫外線固化型樹(shù)脂704的拉伸(參照?qǐng)D7C)。拉伸時(shí)通過(guò)作用于紫外線固化型樹(shù)脂704的離心力，可以從紫外線固化型樹(shù)脂704中除去多余的樹(shù)脂和氣泡。這時(shí)，就所拉伸的紫外線固化型樹(shù)脂704的厚度而言，通過(guò)任意地設(shè)定紫外線固化型樹(shù)脂704的粘度、自旋旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)數(shù)、時(shí)間、自旋旋轉(zhuǎn)時(shí)周圍的環(huán)境(溫度、濕度等)，能夠控制為所期望的厚度。在經(jīng)拉伸的紫外線固化型樹(shù)脂704上，將信號(hào)轉(zhuǎn)印基板705以第1信號(hào)基板701和信號(hào)轉(zhuǎn)印基板705雙方的信號(hào)面相對(duì)的方式重合(圖7D參照)，所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板705為如第1信號(hào)基板701那樣的在單面(信號(hào)面)形成有凹坑和引導(dǎo)溝為凹凸形狀的，由聚碳酸酯、聚烯烴等的材料制造的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板。這時(shí)，為防止在信號(hào)轉(zhuǎn)印基板705和紫外線固化型樹(shù)脂704之間混入氣泡，優(yōu)選該重合工序在真空氣氛中進(jìn)行。對(duì)將第1信號(hào)基板701、第1薄膜層702、紫外線固化型樹(shù)脂704和信號(hào)轉(zhuǎn)印基板705—體化而成的多層結(jié)構(gòu)體706，從信號(hào)轉(zhuǎn)印基板705側(cè)利用紫外線照射機(jī)707進(jìn)行紫外線照射，而使被2個(gè)信號(hào)面所夾持的紫外線固化型樹(shù)脂704固化(參照?qǐng)D7E)。從信號(hào)轉(zhuǎn)印基板705側(cè)進(jìn)行紫外線照射，其原因是信號(hào)轉(zhuǎn)印基板705中所使用的聚碳酸酯、聚烯烴等的材料，只要是某程度的紫外線照射就可以使紫外線透過(guò)，可以使紫外線到達(dá)至紫外線固化型樹(shù)脂704。將紫外線固化型樹(shù)脂704固化之后，通過(guò)將信號(hào)轉(zhuǎn)印基板705從與紫外線固化型樹(shù)脂704的界面剝離，形成轉(zhuǎn)印形成有信號(hào)面的第2信號(hào)基板710(參照?qǐng)D7F)。在第2信號(hào)基板710的信號(hào)面上，通過(guò)濺射、蒸鍍等方法，形成含有記錄膜、反射膜的第2薄膜層708。最后，通過(guò)例如紫外線固化型樹(shù)脂的旋涂、拉伸、基于紫外線照射的固化，形成對(duì)記錄再生光大致透明的(有高透射率)透明層709(參照?qǐng)D7G)。如以上所述，在以往的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法中，在制造轉(zhuǎn)印形成有信號(hào)部的第2信號(hào)基板時(shí)，為了隔著信號(hào)轉(zhuǎn)印基板對(duì)紫外線固化型樹(shù)脂照射紫外線而使該紫外線固化型樹(shù)脂固化，使用由具有足夠高的紫外線透過(guò)性的材料(例如聚碳酸酯、聚烯烴)構(gòu)成的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，是重要的(例如，參照日本特開(kāi)平1-285040號(hào)公報(bào)和日本特開(kāi)2003-85839號(hào)公報(bào))。信息記錄介質(zhì)的制造中所使用的上述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，鑒于制造成本、生產(chǎn)率，希望重復(fù)使用。然而，由于信號(hào)轉(zhuǎn)印基板中使用的聚碳酸酯、聚烯烴等的材料吸收紫外線而發(fā)生變質(zhì)，重復(fù)的使用會(huì)使信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的紫外線透射率下降，不可能多次的重復(fù)使用信號(hào)轉(zhuǎn)印基板。另外，為防止紫外線照射導(dǎo)致的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的紫外線透射率降低，在作為代替材料使用對(duì)紫外線有耐光性的石英玻璃時(shí)，在從紫外線固化型樹(shù)脂將信號(hào)轉(zhuǎn)印基板剝離時(shí)，有石英玻璃發(fā)生開(kāi)裂、破碎的問(wèn)題。因此，產(chǎn)生了多層信息記錄介質(zhì)的制造成本提高的問(wèn)題。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于，提供一并具有對(duì)多次紫外線照射有充分的耐光性、和從紫外線固化型樹(shù)脂將信號(hào)轉(zhuǎn)印基板剝離時(shí)不發(fā)生物理性破損的程度的柔軟性的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板及其制造方法。進(jìn)而，本發(fā)明的目的在于，提供使用這樣的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，是用于將由凹凸形狀構(gòu)成的信號(hào)部轉(zhuǎn)印于樹(shù)脂的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，具有形成有上述信號(hào)部的信號(hào)面，由含有具有由-Si-O-鍵構(gòu)成的多面體結(jié)構(gòu)的分子尺寸的無(wú)機(jī)部、以及將多個(gè)上述無(wú)機(jī)部相互地交聯(lián)的有機(jī)片段的有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料形成。此外應(yīng)予說(shuō)明，在本說(shuō)明書(shū)中，所謂分子尺寸是指，多面體結(jié)構(gòu)的一邊是0.120nm的范圍的尺寸，例如是在0.51.0nm的范圍。根據(jù)本發(fā)明的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，能夠良好地實(shí)施信號(hào)部向樹(shù)脂的轉(zhuǎn)印和從樹(shù)脂的剝離，并且，能夠?qū)崿F(xiàn)可多次重復(fù)使用的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板。因此，能夠降低在形成一個(gè)信號(hào)面時(shí)所需要的成本。另外，本發(fā)明的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的制造方法，是制造上述的本發(fā)明的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的方法，至少包括，(i)將含有硅倍半氧垸(silsesquioxane)化合物的硅樹(shù)脂組合物，向形成有由凹凸形狀構(gòu)成的信號(hào)部的轉(zhuǎn)印模具上供給的工序，(ii)通過(guò)加熱使上述硅樹(shù)脂組合物固化，形成具有轉(zhuǎn)印形成有上述轉(zhuǎn)印模具的上述信號(hào)部的信號(hào)面的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的工序。根據(jù)本發(fā)明的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的制造方法，能夠容易地制造可實(shí)現(xiàn)上述效果的本發(fā)明的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板。本發(fā)明的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，是至少含有第l信息記錄層、第2信息記錄層、以及在上述第1信息記錄層與上述第2信息記錄層之間設(shè)置的樹(shù)脂層的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，形成上述樹(shù)脂層的工序中，包括(I)在上述第1信息記錄層上涂覆液體樹(shù)脂的工序，(II)在上述第1信息記錄層上所涂覆的上述樹(shù)脂上，將具有形成有由凹凸形狀構(gòu)成的信號(hào)部的信號(hào)面的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，以上述信號(hào)面與上述樹(shù)脂相對(duì)的方式貼合的工序，(III)在上述樹(shù)脂貼合了上述信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的狀態(tài)下，使上述樹(shù)脂固化的工序，(IV)將上述信號(hào)轉(zhuǎn)印基板從上述樹(shù)脂剝離的工序，并且，上述信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，由包含具有由-Si-O-鍵構(gòu)成的多面體結(jié)構(gòu)的分子尺寸的無(wú)機(jī)部、及將多個(gè)上述無(wú)機(jī)部互相地交聯(lián)的有機(jī)片段的有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料形成。另外，在本發(fā)明的制造方法中所制造的多層信息記錄介質(zhì)，只要是含有作為信息記錄層的第1信息記錄層和第2信息記錄層這樣至少2層的信息記錄介質(zhì)就可以，因此也包含具有3層以上的信息記錄層的信息記錄介質(zhì)根據(jù)本發(fā)明的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，可以良好地實(shí)施基于信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的凹凸形狀(信號(hào)部)向樹(shù)脂的轉(zhuǎn)印、信號(hào)轉(zhuǎn)印基板從樹(shù)脂的剝離，并且使多次重復(fù)使用信號(hào)轉(zhuǎn)印基板成為可能。因此，由于不需要像以往那樣將信號(hào)轉(zhuǎn)印基板使用即丟棄，可以降低制造1個(gè)信號(hào)面時(shí)所需要的材料費(fèi)。另外，由于不需要按各個(gè)信號(hào)面制造多個(gè)信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，可以使多層信息記錄介質(zhì)的制造裝置簡(jiǎn)單化并且以低成本實(shí)現(xiàn)。進(jìn)而，可以抑制在各信號(hào)轉(zhuǎn)印基板上發(fā)生的信號(hào)面制造偏差。圖1A圖1B是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法中的各工序的剖面圖。圖2A是表示在本發(fā)明的實(shí)施方式1中所使用的硅樹(shù)脂固化物的三維10交聯(lián)結(jié)構(gòu)的示意圖，圖2B為表示在本發(fā)明的實(shí)施方式1中所使用的構(gòu)成硅樹(shù)脂固化物的籠狀硅倍半氧垸化合物的結(jié)構(gòu)的一例的示意圖。圖3A和圖3B是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1中的基于紫外線照射的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的光透射率變化的圖。圖4是聚碳酸酯的分子結(jié)構(gòu)圖。圖5A圖5F是表示在本發(fā)明的實(shí)施方式2的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的制造方法中，制造在信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的制造中所使用的轉(zhuǎn)印模具的各工序的剖面圖。圖6是以往的多層信息記錄介質(zhì)的剖面圖。圖7A圖7G是表示在以往的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法中各工序的剖面圖。圖8是表示在有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料中所添加的無(wú)機(jī)填充劑的量與強(qiáng)度之間關(guān)系的圖。圖9是表示在有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料中所添加的無(wú)機(jī)填充劑的量與彎曲彈性模量之間關(guān)系的圖。圖10是表示有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料與無(wú)機(jī)填充劑的折射率差為0.01以下時(shí)，在有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料中添加的無(wú)機(jī)填充劑的量與光透射率之間關(guān)系的圖。圖11是表示有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料與無(wú)機(jī)填充劑的折射率差為0.005以下時(shí)，有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料中添加的無(wú)機(jī)填充劑的量與光透射率之間關(guān)系的圖。具體實(shí)施例方式以下，針對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式，參照附圖進(jìn)行說(shuō)明。此外，以下的說(shuō)明是本發(fā)明的一例，本發(fā)明不限于此。<多層信息記錄介質(zhì)的制造方法>本發(fā)明的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，是至少含有第l信息記錄層、第2信息記錄層、以及在上述第1信息記錄層與上述第2信息記錄層之間設(shè)置的樹(shù)脂層的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法。形成樹(shù)脂層的工序中，包含(I)在上述第l信息記錄層上涂覆液體的樹(shù)脂的工序，(II)在上述第1信息記錄層上涂覆的上述樹(shù)脂上，將具有形成有由凹凸形狀構(gòu)成的信號(hào)部的信號(hào)面的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，以上述信號(hào)面與上述樹(shù)脂相對(duì)的方式貼合的工序，(III)在上述樹(shù)脂貼合了上述信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的狀態(tài)下，使上述樹(shù)脂固化的工序，(IV)將上述信號(hào)轉(zhuǎn)印基板從上述樹(shù)脂剝離的工序。該信號(hào)轉(zhuǎn)印基板由有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料形成，該有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料含有具有由-Si-O-鍵構(gòu)成的多面體結(jié)構(gòu)的分子尺寸的無(wú)機(jī)部、及將多個(gè)上述無(wú)機(jī)部相互地交聯(lián)的有機(jī)片段。在信號(hào)轉(zhuǎn)印基板中所使用的有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料中，作為將無(wú)機(jī)填充劑間交聯(lián)的(互相連接)片段，除有機(jī)片段之外，還可以含有例如-Si-O-Si-等的無(wú)機(jī)片段。作為具有由-Si-O-鍵構(gòu)成的多面體結(jié)構(gòu)的分子尺寸的無(wú)機(jī)部，可列舉例如八硅倍半氧烷(octasilsesquioxane)化合物、十二硅倍半氧烷化合物等。由這樣的有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料形成的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，光照射(例如紫外線照射)所致的透射率的劣化難以發(fā)生，因此能夠重復(fù)的使用。因此，能夠削減多層信息記錄介質(zhì)的制造成本。另外，因?yàn)檫@樣的有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料具有適度的柔軟性，所以將信號(hào)轉(zhuǎn)印基板從固化后的樹(shù)脂剝離時(shí)，信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的物理性破損也難以發(fā)生。作為有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料，是通過(guò)氫化硅烷化(hydrosilylation)反應(yīng)得到的固化物，可以使用不含與在多層信息記錄介質(zhì)的樹(shù)脂層的制造所使用的樹(shù)脂中所含的官能團(tuán)相互作用的極性基團(tuán)的材料。例如，在作為樹(shù)脂層中使用的紫外線固化型樹(shù)脂考慮使用丙烯酸樹(shù)脂時(shí)，通過(guò)氫化硅烷化反應(yīng)得到的固化物，在體系內(nèi)不含有與丙烯酸樹(shù)脂中所含的羰基等極性基團(tuán)相互作用的-OH、羰基、醚基等極性基團(tuán)。因此，由于能夠抑制由信號(hào)轉(zhuǎn)印基板與樹(shù)脂層之間的相互作用所致的兩者牢固地粘合，能夠?qū)⑿盘?hào)轉(zhuǎn)印基板以不發(fā)生物理性的破損而從樹(shù)脂層(固化后的樹(shù)脂)剝離。有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料，例如，可以是通過(guò)使含有硅倍半氧垸化合物的硅樹(shù)脂組合物固化而得到的硅樹(shù)脂固化物。含有硅倍半氧垸化合物的硅樹(shù)脂組合物，因?yàn)橥ㄟ^(guò)聚合能夠容易地使其固化，所以能夠容易地制造有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板。對(duì)于在本發(fā)明的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法中所使用的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，在其制造中使用的硅樹(shù)脂組合物、硅倍半氧烷化合物的詳細(xì)情況(具體例)，與在后述的本發(fā)明的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板及其制造方法中說(shuō)明的相同。用于制造樹(shù)脂層所使用的樹(shù)脂中，例如可以使用光固化型樹(shù)脂。這種情況下，工序(III)中的樹(shù)脂的固化，通過(guò)隔著信號(hào)轉(zhuǎn)印基板對(duì)樹(shù)脂照射光而進(jìn)行。這樣，在使用光固化型樹(shù)脂制造樹(shù)脂層時(shí)，因?yàn)槟軌蛟诙虝r(shí)間進(jìn)行樹(shù)脂的固化和凹凸形狀的轉(zhuǎn)印形成，可以減少工序的循環(huán)時(shí)間，可以謀求高效率化。另外，優(yōu)選作為光固化型樹(shù)脂使用紫外線固化型樹(shù)脂，工序(III)中的樹(shù)脂的固化通過(guò)隔著信號(hào)轉(zhuǎn)印基板對(duì)樹(shù)脂照射紫外線而進(jìn)行。這是因?yàn)?，通過(guò)使用在特定的波長(zhǎng)范圍固化的樹(shù)脂，可以積極地使樹(shù)脂固化，而使制造裝置的設(shè)計(jì)變得容易?？紤]到在樹(shù)脂層的制造中使用紫外線固化型樹(shù)脂，優(yōu)選信號(hào)轉(zhuǎn)印基板對(duì)于波長(zhǎng)250nm280nm的范圍的光的透射率設(shè)為10%以上，更優(yōu)選設(shè)為20%以上。通過(guò)將信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的上述波長(zhǎng)范圍中的光透射率設(shè)為這樣的范圍，能夠在短時(shí)間內(nèi)促進(jìn)紫外線固化型樹(shù)脂的固化。信號(hào)轉(zhuǎn)印基板優(yōu)選還含有無(wú)機(jī)填充劑。即，本發(fā)明的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法中使用的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，優(yōu)選通過(guò)使用在上述有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料中添加無(wú)機(jī)填充劑的復(fù)合材料而形成。詳細(xì)情況在后敘述，通過(guò)添加無(wú)機(jī)填充劑，信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的強(qiáng)度和柔軟性提高，因此能夠防止信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的破損。<信號(hào)轉(zhuǎn)印基板及其制造方法>本發(fā)明的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，是用于轉(zhuǎn)印由凹凸形狀構(gòu)成的信號(hào)部的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，具有形成有上述信號(hào)部的信號(hào)面，由有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料形成。作為有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料，可以使用與上述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法中所使用的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板相同的材料。例如，針對(duì)有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料為通過(guò)使含有硅倍半氧烷化合物的硅樹(shù)脂組合物固化而得到硅樹(shù)脂固化物時(shí)的具體例，以下進(jìn)行說(shuō)明。作為硅倍半氧烷化合物，可以使用含有從由例如下式(1)(3)表示的、籠狀硅倍半氧烷化合物和其部分聚合物形成的群中所選擇的至少1種的硅倍半氧烷化合物。(ARR2SiOSiO,.5)n(R3R4HSiOSiOL5)p(BR5R6SiOSiOL5)q(HOSiOi.5)(l)(AR^R2SiOSi0！.5)r(8妙68腿015)s(HOSi015)t—r-s...(2)(R3R4HSiOSi015)r(B^RSSiOSiO^)s(HOSiOL5)t仲，.(3)其中，式(1)(3)中，A表示具有碳-碳不飽和鍵的基團(tuán)，B表示取代或非取代的飽和垸基或羥基，B,表示取代或非取代的飽和烷基、羥基或氫原子，R'W各自獨(dú)立地表示選自低級(jí)烷基、苯基和低級(jí)芳基烷基中的l種官能團(tuán)。另外，式(1)(3)中，m和t分別表示選自6、8、10、12中的數(shù)，n表示lm-l的整數(shù)，p表示lm-n的整數(shù)，q表示0m-n-p的整數(shù)，r表示2t的整數(shù)，s表示0t-r的整數(shù)。以這樣的材料制造的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，光照射所致的光透射率降低難以發(fā)生，另外，與固化后的樹(shù)脂(特別是紫外線固化型樹(shù)脂)的剝離性良好。進(jìn)而，通過(guò)使用這樣的材料，能夠容易地實(shí)現(xiàn)具備上述的特性的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板。在上述的硅倍半氧垸化合物中，優(yōu)選使用含有從由式(2)表示的籠狀硅倍半氧垸化合物和其部分聚合物構(gòu)成的群中所選擇的至少1種、以及從由式(3)表示的籠狀硅倍半氧垸化合物和其部分聚合物構(gòu)成的群中所選擇的至少1種的硅倍半氧烷化合物。能夠得到具備更良好特性的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板。硅樹(shù)脂組合物，可以還含有選自下述式(4)和下述式(5)中的至少l種的化合物。HR7R8Si-X-SiHR9R10...(4)H2C=CH-Y-CH=CH2...(5)其中，式(4)中，X表示2價(jià)的官能團(tuán)或氧原子，WR^各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)13的垸基或氫原子。另外，式(5)中，Y表示2價(jià)的官能團(tuán)。在這樣的硅樹(shù)脂組合物中，以式(4)和(5)表示的化合物有作為交聯(lián)劑的功能，因此在硅樹(shù)脂組合物中有效地形成三維交聯(lián)結(jié)構(gòu)，能夠降低固化體中因未反應(yīng)而殘留的殘基量，結(jié)果進(jìn)一步提高紫外線照射耐性。為實(shí)現(xiàn)更良好的固化反應(yīng)，優(yōu)選使用含有從由式(2)表示的籠狀硅倍半氧烷化合物和其部分聚合物構(gòu)成的群中所選擇的至少1種、及由式(4)14表示的化合物的硅樹(shù)脂組合物；或者優(yōu)選使用含有從由式(3)表示的籠狀硅倍半氧烷化合物和其部分聚合物構(gòu)成的群中所選擇的至少1種、及由式(5)表示的化合物的硅樹(shù)脂組合物。當(dāng)式(1)和/或式(2)中的由A表示的具有碳-碳不飽和鍵的基團(tuán)為在末端具有碳-碳不飽和鍵的鏈狀烴基時(shí)，能夠使硅樹(shù)脂組合物的反應(yīng)性優(yōu)良，因此能夠?qū)崿F(xiàn)更良好的固化反應(yīng)。當(dāng)有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料，例如具有將硅倍半氧烷化合物有的納米尺寸的籠狀結(jié)構(gòu)(無(wú)機(jī)部)以有機(jī)片段相互連接而成的三維交聯(lián)結(jié)構(gòu)時(shí)，該有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料表現(xiàn)玻璃狀(glass-like)的功能，具有在被藍(lán)/近紫外區(qū)域的光照射的狀態(tài)下使用也難以劣化的特性。進(jìn)而發(fā)現(xiàn)，這樣的有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料，具有能耐受從固化的樹(shù)脂(紫外線固化型樹(shù)脂)剝離時(shí)產(chǎn)生的自身的翹曲的柔軟性，與由石英等形成的轉(zhuǎn)印基板相比難以發(fā)生物理性的破損(開(kāi)裂、破碎)。然而，將信號(hào)轉(zhuǎn)印基板從固化了的紫外線固化型樹(shù)脂剝離時(shí)，必須使信號(hào)轉(zhuǎn)印基板發(fā)生某種程度的翹曲，由這種彎曲應(yīng)力使得信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的破損皆無(wú)變得困難。因此，通過(guò)使用在有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料中添加無(wú)機(jī)填充劑而成的復(fù)合材料，可以制造更加難以發(fā)生由連續(xù)重復(fù)使用所致的破損(開(kāi)裂、破碎)的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板。鑒于最終形成的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的表面粗糙度、混合擴(kuò)散的容易性、最適的柔軟性，無(wú)機(jī)填充劑的粒徑優(yōu)選為0.0055(Him，更優(yōu)選0.011.5^im。另外，期望無(wú)機(jī)填充劑的折射率與有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料的折射率之差要小，期望折射率差在00.01(優(yōu)選00.005)的范圍。通過(guò)將折射率差設(shè)定在這樣的范圍，在有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料中添加無(wú)機(jī)填充劑時(shí)，可以防止由兩者的折射率差引起的散射而使信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的紫外線透射率下降。具有將硅倍半氧烷化合物有的籠狀結(jié)構(gòu)以有機(jī)片段互相連接而成的三維交聯(lián)結(jié)構(gòu)的有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料，其折射率多數(shù)情況在1.421.48的范圍。因此，無(wú)機(jī)填充劑的折射率，優(yōu)選在1.4001.500的范圍，更優(yōu)選在1.4601.470的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選在1.4651.469的范圍。信號(hào)轉(zhuǎn)印基板中的無(wú)機(jī)填充劑的含量?jī)?yōu)選5重量％以上。通過(guò)含有5重量％以上的無(wú)機(jī)填充劑，成為具備能夠耐受重復(fù)使用的高強(qiáng)度、和高柔軟性的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板。另外，由于添加無(wú)機(jī)填充劑導(dǎo)致信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的光透射率下降，期望在考慮添加的無(wú)機(jī)填充劑與有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料的折射率差等的同時(shí)，決定無(wú)機(jī)填充劑的含量上限值。使用與有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料的折射率差小的無(wú)機(jī)填充劑時(shí)，可以使在有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料與無(wú)機(jī)填充劑的界面的散射降低，因此可以使無(wú)機(jī)填充劑的添加量增加。例如，有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料與無(wú)機(jī)填充劑的折射率差為00.01左右時(shí)，為確保對(duì)于波長(zhǎng)250280nm的范圍的光的透射率在10%以上，優(yōu)選將無(wú)機(jī)填充劑的含量設(shè)為50重量％以下。另外，有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料與無(wú)機(jī)填充劑的折射率差為00.005左右時(shí)，可以將無(wú)機(jī)填充劑的含量上限設(shè)為70重量％。作為無(wú)機(jī)填充劑，優(yōu)選使用二氧化硅粒子。無(wú)機(jī)填充劑中可以含有二氧化硅粒子以外的粒子，但是期望無(wú)機(jī)填充劑中含有至少40重量％的二氧化硅粒子。若考慮與有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料的折射率差，則無(wú)機(jī)填充劑優(yōu)選為二氧化硅粒子(二氧化硅粒子100重量％)。作為制造以上的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的方法的一例，例如，可列舉以下方法，即該方法至少包括(i)將含有硅倍半氧垸化合物的硅樹(shù)脂組合物，向形成有由凹凸形狀構(gòu)成的信號(hào)部的轉(zhuǎn)印模具上供給的工序；和(ii)通過(guò)加熱使上述硅樹(shù)脂組合物固化，形成具有通過(guò)轉(zhuǎn)印上述轉(zhuǎn)印模具的上述信號(hào)部而形成的信號(hào)面的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的工序，在該方法中，使含有硅倍半氧烷化合物的硅樹(shù)脂組合物熱固化，因此可以容易地制造信號(hào)轉(zhuǎn)印基板。另外，在此使用的轉(zhuǎn)印模具優(yōu)選由金屬形成。這是因?yàn)?，信?hào)轉(zhuǎn)印基板制造之后，可以將轉(zhuǎn)印模具從該信號(hào)轉(zhuǎn)印基板容易地剝離。該金屬，優(yōu)選含有選自鎳、銅、鉻、鋅、金、銀、錫、鉛、鐵、鋁和鎢中的至少l種元素。使用濺射法、電鑄法，可以容易地制造轉(zhuǎn)印模具。制造含無(wú)機(jī)填充劑的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板時(shí)，在上述工序(i)中，可以將含有上述硅樹(shù)脂組合物和無(wú)機(jī)填充劑的復(fù)合材料向上述轉(zhuǎn)印模具上供給。這種情況下，考慮到信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的強(qiáng)度和柔軟性，復(fù)合材料中無(wú)機(jī)填充劑的含量，優(yōu)選5重量％以上。另外，就無(wú)機(jī)填充劑的含量而言，在例如硅樹(shù)脂組合物的固化物與無(wú)機(jī)填充劑的折射率差小(例如0.005以下)的時(shí)候，可以將70重量％設(shè)為上限；在折射率差為更大的范圍(例如0.01以16下)時(shí)，優(yōu)選將上限值設(shè)為50重量％。另外，如所上述，期望無(wú)機(jī)填充劑含有至少40重量％的二氧化硅粒子，期望作為無(wú)機(jī)填充劑使用二氧化硅粒子(二氧化硅粒子100重量％)。以下，針對(duì)本發(fā)明的更具體的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。此外，以下說(shuō)明的實(shí)施方式中，以光盤(pán)形狀的多層信息記錄介質(zhì)為例進(jìn)行說(shuō)明，但是并不限于光盤(pán)的形狀，在例如光存儲(chǔ)卡等一般的多層信息記錄介質(zhì)中也可以適用。(實(shí)施方式1)圖1A圖1G為表示本發(fā)明的實(shí)施方式1中多層信息記錄介質(zhì)的制造方法的各工序的剖面圖。一邊參照這些附圖，一邊對(duì)本實(shí)施方式中的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。在本實(shí)施方式的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法中使用的、作為基材的第1信號(hào)基板101，為使盤(pán)片的翹曲性、剛性良好，進(jìn)而使其與CD(CompactDisk)、DVD(DigitalVersatileDisk)等光盤(pán)具有厚度兼容性，由厚度大致1.1mm的圓盤(pán)構(gòu)成。第1信號(hào)基板101具有形成有凹坑和引導(dǎo)溝的由凹凸形狀構(gòu)成的信號(hào)部的面(信號(hào)面)。在第1信號(hào)基板101信號(hào)面上，通過(guò)濺射、蒸鍍等方法形成含有記錄膜、反射膜的第1薄膜層(第1信息記錄層)102。第1信號(hào)基板101，通過(guò)按照使在轉(zhuǎn)臺(tái)103上相對(duì)于轉(zhuǎn)臺(tái)103的旋轉(zhuǎn)軸的偏心量變小的方式在轉(zhuǎn)臺(tái)103的大致中央所設(shè)置的盤(pán)片的定心夾具(圖中未示出)、以及在轉(zhuǎn)臺(tái)103的上表面所設(shè)置的真空吸附孔(圖中未示出)，被吸附固定在轉(zhuǎn)臺(tái)103上(參照?qǐng)DIA)。在被吸附固定的第1信號(hào)基板101上的第1薄膜層102上，通過(guò)分配器將紫外線固化型樹(shù)脂104在所期望的半徑上呈大致同心圓狀涂覆(參照?qǐng)DIB)。接下來(lái)，通過(guò)使轉(zhuǎn)臺(tái)103自旋旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行紫外線固化型樹(shù)脂104的拉伸(參照?qǐng)D1C)。拉伸時(shí)通過(guò)作用于紫外線固化型樹(shù)脂104的離心力，可以從紫外線固化型樹(shù)脂104中除去多余的樹(shù)脂和氣泡。這時(shí)，通過(guò)任意地設(shè)定紫外線固化型樹(shù)脂104的粘度、自旋旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)數(shù)、時(shí)間、自旋旋轉(zhuǎn)時(shí)周圍的環(huán)境(溫度、濕度等)，所拉伸的紫外線固化型樹(shù)脂104的厚度能夠控制為所期望的厚度。在經(jīng)拉伸的紫外線固化型樹(shù)脂104上，將信號(hào)轉(zhuǎn)印基板105以第1信號(hào)基板101和信號(hào)轉(zhuǎn)印基板105雙方的信號(hào)面相對(duì)的方式重合(參照?qǐng)D1D)，所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板105如第1信號(hào)基板101那樣具有在單面形成有凹坑和引導(dǎo)溝為凹凸形狀的信號(hào)面。這時(shí)，為防止在信號(hào)轉(zhuǎn)印基板105和紫外線固化型樹(shù)脂104之間混入氣泡，該實(shí)施重合的環(huán)境優(yōu)選在真空氣氛中進(jìn)行。這里所使用的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板105由后述的有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料形成。對(duì)將第1信號(hào)基板101、第1薄膜層102、紫外線固化型樹(shù)脂104和信號(hào)轉(zhuǎn)印基板105—體化而成的多層結(jié)構(gòu)體106，從信號(hào)轉(zhuǎn)印基板105側(cè)利用紫外線照射機(jī)107進(jìn)行紫外線照射，使被2個(gè)信號(hào)面所夾持的紫外線固化型樹(shù)脂104固化(參照?qǐng)D7E)。本實(shí)施方式中的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板105由于使用后述的有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料，能夠使紫外線透過(guò)，而使足夠的紫外線到達(dá)至紫外線固化型樹(shù)脂104。因此，可以將在信號(hào)轉(zhuǎn)印基板105的信號(hào)面上設(shè)置的凹坑和引導(dǎo)溝的凹凸形狀有效地在紫外線固化型樹(shù)脂104上轉(zhuǎn)印形成。為了將信號(hào)轉(zhuǎn)印基板105的信號(hào)面上形成的凹凸形狀在紫外線固化型樹(shù)脂104上有效地轉(zhuǎn)印，在本實(shí)施方式中，例如將紫外線固化型樹(shù)脂104的粘度設(shè)為504000mPa/s，將信號(hào)轉(zhuǎn)印基板105制成例如直徑120mm，厚度0.6mm，中心具有直徑15mm的中心孔的圓盤(pán)。使紫外線固化型樹(shù)脂104固化后，通過(guò)將信號(hào)轉(zhuǎn)印基板105從與紫外線固化型樹(shù)脂104的界面剝離，形成具有信號(hào)面的第2信號(hào)基板(樹(shù)脂層)110(參照?qǐng)D1F)。信號(hào)轉(zhuǎn)印基板105由后述的有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料形成，因此與固化了的紫外線固化型樹(shù)脂104的剝離性良好，可以容易地在信號(hào)轉(zhuǎn)印基板105與紫外線固化型樹(shù)脂104的界面進(jìn)行剝離。在第2信號(hào)基板110的信號(hào)面上，通過(guò)濺射、蒸鍍等方法，形成例如含有相變化型的記錄膜、反射膜的第2薄膜層108。第2薄膜層108可以采用含有例如Ag合金等的反射膜、A1N等的電介體膜和TeOPd等的記錄膜中的至少1層以上的構(gòu)成。最后，形成透明層109。透明層109可以通過(guò)以下方式形成在第2薄膜層108之上涂覆紫外線固化型樹(shù)脂，通過(guò)使該紫外線固化型樹(shù)脂自旋旋轉(zhuǎn)進(jìn)行拉伸，接著照射紫外線而使其固化。透明層109對(duì)記錄再生光幾乎透明(對(duì)記錄再生光有高透射率)，厚度約為O.lmm。接下來(lái)，針對(duì)本實(shí)施方式所使用的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板105進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。本實(shí)施方式中所使用的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板105由有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料形成?？梢宰鳛橛袡C(jī)無(wú)機(jī)混合材料使用的材料的例與上述已說(shuō)明的情況相同。在此，以作為有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料、使用通過(guò)讓含有硅倍半氧烷化合物的硅樹(shù)脂組合物固化所得到的硅樹(shù)脂固化物為例進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式的硅倍半氧烷化合物，含有例如從由上述的(1)(3)所表示的倍半氧垸化合物和這些化合物發(fā)生部分加成反應(yīng)而形成的籠狀硅倍半氧垸化合物的部分聚合物構(gòu)成的群中所選擇的至少1種(以下，記為式(1)(3)的籠狀硅倍半氧烷化合物等)。此外，本實(shí)施方式的硅倍半氧垸化合物，可以僅由式(1)(3)的籠狀硅倍半氧烷化合物等構(gòu)成。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula>氫化硅烷化反應(yīng)結(jié)構(gòu)式(1)作為以式(1)所表示的硅倍半氧烷化合物的具體例，可列舉例如結(jié)構(gòu)式(1)中所表示的四(環(huán)己烯乙基二甲基甲硅烷氧基)-四(二甲基甲硅烷氧基)硅倍半氧烷(TCHS:Tetrakis(cyclohexenylethyldimethylsiloxy)-tetrakis(dimethyl-siloxy)silsesquioxane)。該化合物是在式(1)中m=8，n=4，p=4，q=0，R1、R2、113和尺4為甲基，A為環(huán)己烯基的化合物。使用TCHS時(shí)，可以制造具有高強(qiáng)度的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板。另外，因?yàn)門(mén)CHS的末端為環(huán)狀結(jié)構(gòu)，所以紫外線耐性高。因此，TCHS作為信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的制造中使用的有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料是優(yōu)選的。此外應(yīng)予說(shuō)明，結(jié)構(gòu)式(1)中表示2個(gè)硅倍半氧垸化合物，另外，為敘述方便，有AR^Si-和R3R4HSiO-簡(jiǎn)單地略記為R-的部分。另外，作為以式(2)表示的硅倍半氧垸化合物的具體例，可列舉例如，四(烯丙基二甲基甲硅烷氧基)-四(三甲基甲硅垸氧基)硅倍半氧垸、八(乙烯基二甲基甲硅垸氧基)硅倍半氧垸、六(烯丙基二甲基甲硅垸氧基)二氫硅倍半氧烷等。另外，作為式(3)中所表示的硅倍半氧烷化合物的具體例，可列舉例如，八(氫化)硅倍半氧烷、四(三甲基-四二甲基甲硅垸氧基)硅倍半氧烷等。另外，在本實(shí)施方式中的硅樹(shù)脂組合物中，作為交聯(lián)劑，可以還含有上述以式(4)和/或式(5)表示的化合物。作為式(4)所表示的化合物的具體例，可列舉例如四甲基二硅氧烷等。作為以式(5)表示的化合物的具體例，可列舉例如二乙烯基四甲基二硅氧烷、二烯丙基四甲基二硅氧烷、二乙烯基二苯基二甲基二硅氧垸等。圖2A和圖2B中示出TCHS之類的籠狀硅倍半氧烷化合物互相地加成聚合而形成的硅樹(shù)脂固化物的三維交聯(lián)結(jié)構(gòu)的示意圖。圖2A為表示多個(gè)籠狀硅倍半氧垸化合物交聯(lián)而形成的硅樹(shù)脂固化物的三維交聯(lián)結(jié)構(gòu)的示意圖。圖2B為表示籠狀硅倍半氧垸化合物結(jié)構(gòu)的一例的示意圖。圖2A中，201為由硅原子和氧原子形成的大致6面體結(jié)構(gòu)，即表示作為由-Si-O-鍵構(gòu)成的多面體結(jié)構(gòu)的分子尺寸的無(wú)機(jī)部。另外，圖2A中，202表示將大致6面體結(jié)構(gòu)201交聯(lián)結(jié)合的有機(jī)片段。本實(shí)施方式的硅樹(shù)脂組合物，例如，通過(guò)形成圖2A所示那樣的交聯(lián)結(jié)構(gòu)成為硅樹(shù)脂固化物。如圖2B所示，籠狀的硅倍半氧烷化合物，具有由硅原子和氧原子形成的多面體(大致6面體)結(jié)構(gòu)，其一邊為納米級(jí)(例如，0.5nm)。因此，包含上述那樣的硅倍半氧烷化合物的硅樹(shù)脂也稱為納米樹(shù)脂。這樣的籠狀硅倍半氧烷化合物具有通過(guò)硅氧垸鍵結(jié)合于硅原子的氫硅垸(hydrosilane)基團(tuán)、以及通過(guò)硅氧垸鍵結(jié)合于硅原子的具有碳-碳不飽和鍵的基團(tuán)，通過(guò)以上基團(tuán)，在一個(gè)籠狀硅倍半氧垸化合物的上述氫硅烷基團(tuán)與另一個(gè)籠狀硅倍半氧垸化合物的上述具有碳-碳不飽和鍵的基團(tuán)之間發(fā)生氫化硅烷化反應(yīng)而加成聚合，從而發(fā)生交聯(lián)，得到硅樹(shù)脂的固化物。這時(shí)，形成將硅倍半氧垸化合物具有的納米尺寸的籠狀結(jié)構(gòu)(無(wú)機(jī)部)20以有機(jī)片段相連而成的三維交聯(lián)結(jié)構(gòu)。這樣形成的硅樹(shù)脂固化物，表現(xiàn)玻璃狀的功能，具有即使在被藍(lán)/近紫外區(qū)域的光照射的狀態(tài)下使用也難以劣化的特性。由這樣的材料制造的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板105，可以抑制由藍(lán)/近紫外域的光照射所致的透射率劣化，并且對(duì)這樣波長(zhǎng)區(qū)域的光是透明的(具有高透射率(例如50%以上))。在此，將在籠狀硅倍半氧垸化合物通過(guò)-Si-O-鍵交聯(lián)時(shí)(有機(jī)片段通過(guò)-Si-O-鍵加成于籠狀硅倍半氧垸化合物上時(shí))與有機(jī)基團(tuán)(有機(jī)片段)直接加成于籠狀硅倍半氧垸化合物上時(shí)的硅樹(shù)脂固化物的特性進(jìn)行比較。與有機(jī)基團(tuán)直接加成于籠狀硅倍半氧垸化合物而交聯(lián)時(shí)比較，通過(guò)更柔軟的-Si-O-鍵交聯(lián)，由此交聯(lián)的反應(yīng)加速，未反應(yīng)殘基可以降低。因此，通過(guò)-Si-O-鍵而籠狀硅倍半氧烷化合物發(fā)生交聯(lián)的硅樹(shù)脂固化物，對(duì)藍(lán)/近紫區(qū)域的光的耐性高。進(jìn)而，該硅樹(shù)脂固化物還具有強(qiáng)韌、易于大塊化的優(yōu)點(diǎn)。如上所述，本實(shí)施方式的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，由具有將硅倍半氧烷化合物具有的納米尺寸的籠狀結(jié)構(gòu)以有機(jī)片段相連而成的三維交聯(lián)結(jié)構(gòu)的有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料形成，所以對(duì)于從固化了的紫外線固化型樹(shù)脂剝離時(shí)產(chǎn)生的基板自身的翹曲也具有柔軟性，與由石英等形成的轉(zhuǎn)印基板比較難以發(fā)生物理性的破損(開(kāi)裂、破碎)。通過(guò)使用采用以上所說(shuō)明的有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料的硅樹(shù)脂固化物制造的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，可以容易地將良好的引導(dǎo)溝、信號(hào)凹坑等的凹凸形狀轉(zhuǎn)印形成在樹(shù)脂層。接下來(lái)，針對(duì)材料的差異所致的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的光透射率的差異進(jìn)行說(shuō)明。圖3A和圖3B中示出關(guān)于由不同材料制造的各信號(hào)轉(zhuǎn)印基板在波長(zhǎng)變化時(shí)的光透射率。為明確由通過(guò)使本實(shí)施方式中所使用的含有硅倍半氧烷化合物的硅樹(shù)脂組合物固化而得的硅樹(shù)脂固化物(以下，有時(shí)記為本實(shí)施方式中的硅樹(shù)脂固化物。)所構(gòu)成的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的光透射特性的優(yōu)越性，對(duì)采用一般使用的材料的聚碳酸酯和聚烯烴而制造的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板進(jìn)行光照射時(shí)的光透射率變化，作為比較對(duì)照而在圖3A中示出。由本實(shí)施方式中的硅樹(shù)脂固化物構(gòu)成的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的光透射率變化在圖3B的圖形中表示。此外應(yīng)予說(shuō)明，該光透射率測(cè)定中使用的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的厚度為0.6mm，聚碳酸酯為帝人化成制"AD5503"，聚烯烴為日本Zeon制"Zeonorl430Rl"，對(duì)于本實(shí)施方式中的硅樹(shù)脂固化物，使用將以上述的結(jié)構(gòu)式(1)表示的TCHS通過(guò)氫化硅垸化反應(yīng)加成聚合而得的固化物。另外，作為光透射率測(cè)定中使用的光照射裝置，為了極力地抑制信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的熱性的變質(zhì)、變形，使用輸出指定的能量的閃光型(Flashtype)。作為光強(qiáng)度，設(shè)定為通過(guò)隔著聚碳酸酯的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板對(duì)厚度25pm的紫外線固化型樹(shù)脂進(jìn)行5次紫外線閃光而能夠使該紫外線固化型樹(shù)脂固化的強(qiáng)度。另外，為確認(rèn)有關(guān)各信號(hào)轉(zhuǎn)印基板材料的與紫外線的累計(jì)照射量相對(duì)應(yīng)的透射率變化，示出紫外線未照射時(shí)和照射500次紫外線閃光時(shí)的2種圖形。對(duì)于圖形中表示的各信號(hào)轉(zhuǎn)印基板材料的光透射率特性的測(cè)定，使用島津制作所制的記錄式分光光度計(jì)(MPC-3100)。從圖3A和圖3B可知，與由聚碳酸酯、聚烯烴構(gòu)成的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板相比，由本實(shí)施方式中的硅樹(shù)脂固化物構(gòu)成的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，在波長(zhǎng)250280nm的波長(zhǎng)范圍其透射率大。該特性表示紫外線的透過(guò)效率高。因此，若使用由本實(shí)施方式中的硅樹(shù)脂固化物構(gòu)成的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，可以以少量紫外線照射能量使紫外線固化型樹(shù)脂固化，可知可以對(duì)紫外線照射效率、工序的循環(huán)時(shí)間縮短有大貢獻(xiàn)。另外，在500次的紫外線閃光后，與由聚碳酸酯、聚烯烴構(gòu)成的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板比較，由本實(shí)施方式中的硅樹(shù)脂固化物構(gòu)成的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板可以抑制在紫外線區(qū)域的透射率降低，得到良好的透射率。由該特性可知，由本實(shí)施方式中的硅樹(shù)脂固化物構(gòu)成的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，可以維持與紫外線未照射時(shí)的初期的狀態(tài)相比幾乎未變化的紫外線透射率，也不需要使在紫外線照射工序中用于紫外線固化型樹(shù)脂的固化而照射的紫外線照射量從初期就改變。另外，在作為信號(hào)轉(zhuǎn)印基板而使用聚碳酸酯、聚烯烴時(shí)，對(duì)于紫外線固化型樹(shù)脂的固化，紫外線閃光必須設(shè)為5次，與此相對(duì)，在使用由本實(shí)施方式中的硅樹(shù)脂固化物構(gòu)成的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板時(shí)，由于波長(zhǎng)250280nm范圍的光透射率為10%以上，所以3次以下的紫外線閃光就可以使紫外線固化型樹(shù)脂固化。此外應(yīng)予說(shuō)明，上述的光透射率測(cè)定，是僅對(duì)信號(hào)轉(zhuǎn)印基板照射紫外線而測(cè)定紫外線的透射率，但在實(shí)際中信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的材料中使用聚碳酸酯、對(duì)紫外線固化型樹(shù)脂實(shí)施信號(hào)面的轉(zhuǎn)印時(shí)，可以良好地轉(zhuǎn)印形成信號(hào)面的次數(shù)充其量為20次。表1中表示有關(guān)信號(hào)轉(zhuǎn)印基板材料與轉(zhuǎn)印重復(fù)次數(shù)的關(guān)系的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。[表l<table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table>※有時(shí)發(fā)生與次數(shù)無(wú)關(guān)的開(kāi)裂、破碎作為剝離變得困難的的原因，除了紫外線照射所致的紫外線透射率的下降，還被認(rèn)為是由于在聚碳酸酯中，具有如圖4所示的分子內(nèi)-C-0-(醚鍵)、c=o(羰基結(jié)合)等極性大的基團(tuán)，而該基團(tuán)與紫外線固化型樹(shù)脂(例如丙烯酸樹(shù)脂)的醚基等極性大的基團(tuán)相互作用，與紫外線固化型樹(shù)脂的粘合力增高。另外，在信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的材料中使用玻璃(Si02)時(shí)，與紫外線固化型樹(shù)脂的粘合性也高，穩(wěn)定的信號(hào)面的轉(zhuǎn)印形成限度為至20次。其原因被認(rèn)為是由于在玻璃材料中含有甲硅垸醇(-SiOH)等極性大的基團(tuán)，這些極性基與紫外線固化型樹(shù)脂(例如丙烯酸樹(shù)脂)的羰基等極性基團(tuán)形成氫鍵，粘合力增高。此外，在使用玻璃材料作為信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的材料時(shí)，因?yàn)椴ＡР牧系挠操|(zhì)且脆的特性以及與紫外線固化型樹(shù)脂的粘合性高的原因，通過(guò)反復(fù)進(jìn)行信號(hào)轉(zhuǎn)印易于發(fā)生信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的開(kāi)裂、破碎等。與此相對(duì)，使用由本實(shí)施方式中的硅樹(shù)脂固化物(在此，通過(guò)氫化硅垸化反應(yīng)使TCHS加成聚合而得的固化物)構(gòu)成的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板時(shí)，與紫外線固化型樹(shù)脂的剝離性良好，即使實(shí)施100次以上的重復(fù)轉(zhuǎn)印，也可以確認(rèn)沒(méi)有問(wèn)題。本實(shí)施方式的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板中使用的硅樹(shù)脂固化物，是使硅倍半氧烷化合物發(fā)生氫化硅烷化反應(yīng)而得的固化物。因此，該硅樹(shù)脂固化物在體系內(nèi)不含有-OH、羰基、醚基等的極性大的基團(tuán)(極性基團(tuán))，不發(fā)生與紫外線固化型樹(shù)脂(例如丙烯酸樹(shù)脂)的相互作用。因此，可以實(shí)現(xiàn)從紫外線固化型樹(shù)脂的良好的剝離性。根據(jù)本實(shí)施方式，可以實(shí)現(xiàn)同時(shí)具有對(duì)多次的紫外線照射具有足夠的耐光性以及從紫外線固化型樹(shù)脂剝離信號(hào)轉(zhuǎn)印基板時(shí)不發(fā)生物理性的破損程度的柔軟性的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，因此可以實(shí)現(xiàn)能夠進(jìn)行信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的再利用的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法。因此，可以避免在每次轉(zhuǎn)印形成信號(hào)面時(shí)都必須進(jìn)行信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的制造，可以降低轉(zhuǎn)印形成信號(hào)面時(shí)的成本。另外，可以實(shí)現(xiàn)多層信息記錄介質(zhì)的制造裝置的簡(jiǎn)單化和低成本化，可以抑制在各個(gè)信號(hào)轉(zhuǎn)印基板上產(chǎn)生的由凹凸形狀構(gòu)成的信號(hào)部的制造偏差。此外，在本實(shí)施方式中，雖然使用由通過(guò)使含有硅倍半氧烷化合物的硅樹(shù)脂組合物固化而得的硅樹(shù)脂固化物構(gòu)成的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板為例進(jìn)行說(shuō)明，但即使是其他有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料，也可以實(shí)現(xiàn)具有同樣的特性的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板。(實(shí)施方式2)在實(shí)施方式2中，針對(duì)本發(fā)明的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板及其制造方法的一例進(jìn)行說(shuō)明。首先針對(duì)本實(shí)施方式的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的制造中使用的轉(zhuǎn)印模具的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。圖5A圖5F中示出制造該轉(zhuǎn)印模具時(shí)的各工序的剖面圖。首先，在玻璃板501上涂覆光致抗蝕劑等感光材料而形成感光膜502(參照?qǐng)D5A)，之后利用激光503進(jìn)行曝光以形成凹坑和引導(dǎo)溝等的指定的凹凸形狀(參照?qǐng)D5B)。圖5B中，502a表示曝光了的部分。此外，為易于理解，圖中，對(duì)于感光膜502僅在曝光部502a施加陰影。曝光部502a的感光材料通過(guò)經(jīng)顯影工序而除去，制造形成有凹坑和引導(dǎo)溝等的凹凸形狀504的原盤(pán)505(參照?qǐng)D5C)。在感光膜502上形成的凹凸形狀504被轉(zhuǎn)印于通過(guò)濺射法覆膜的導(dǎo)電膜506(參照?qǐng)D5D)。進(jìn)24而，為使導(dǎo)電膜506的剛性和厚度增加，形成電鑄膜507(參照?qǐng)D5E)。接下來(lái)，在使導(dǎo)電膜506和電鑄膜507為一體化的狀態(tài)下，通過(guò)除去玻璃板501和感光膜502，制造轉(zhuǎn)印模具508(參照?qǐng)D5F)。此外，在之后的工序中，因?yàn)樾枰乖谛盘?hào)轉(zhuǎn)印基板的制造中使用的硅樹(shù)脂組合物在轉(zhuǎn)印模具508上熱固化，轉(zhuǎn)印模具508由高融點(diǎn)材料制造。作為代表性的材料可列舉無(wú)機(jī)材料，其中優(yōu)選使用濺射、電鑄處理容易的金屬材料。本實(shí)施方式中使用鎳。制造的轉(zhuǎn)印模具508，將其內(nèi)徑和外徑?jīng)_壓加工成圓盤(pán)狀。加工后的轉(zhuǎn)印模具508在凹狀容器的底部配置。容器的材料沒(méi)有特別限制，可以使用與轉(zhuǎn)印模具508相同的鎳、鋁和不銹鋼等的金屬材料，聚丙烯、聚硅氧烷(sili匿)、奪鋼(D畫(huà)on)等的樹(shù)脂材料。以下，作為制造由硅樹(shù)脂固化物構(gòu)成的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的方法的一例，針對(duì)使用含有硅倍半氧烷化合物的硅樹(shù)脂組合物即TCHS的例子進(jìn)行說(shuō)明。此外，以下所示的具體的質(zhì)量、溫度，由于畢竟是一個(gè)例子，本發(fā)明的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的制造方法中各物質(zhì)的質(zhì)量、溫度不限于此。將經(jīng)合成純化得到的TCHS約8g，填充于底部配置有轉(zhuǎn)印模具508的凹狀的容器內(nèi)。即，將TCHS配置在形成有凹凸形狀的轉(zhuǎn)印模具508上。然后，將填充了TCHS的容器利用設(shè)置在真空氣氛中的加熱爐、烘烤盤(pán)等進(jìn)行加熱且保持一定約3小時(shí)，以使樹(shù)脂溫度升為約200度。TCHS通過(guò)這樣的加熱就發(fā)生熱固化。固化了的TCHS，從凹狀的容器和轉(zhuǎn)印模具508剝離，得到作為具有轉(zhuǎn)印形成有凹凸形狀的信號(hào)面的圓盤(pán)狀的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板。此外，加熱TCHS時(shí)，通過(guò)從TCHS之上施加保壓壓力，可以提高與信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的背面(與由凹凸形狀構(gòu)成的信號(hào)面相反的面)對(duì)應(yīng)的面的面精度。如在實(shí)施方式l所說(shuō)明的那樣，對(duì)于結(jié)構(gòu)式(1)所示的TCHS，在TCHS所具有的、通過(guò)硅氧烷鍵與硅原子結(jié)合的氫硅烷基與通過(guò)硅氧烷鍵與硅原子結(jié)合的具有碳-碳不飽和鍵的基團(tuán)之間，通過(guò)氫化硅烷化反應(yīng)發(fā)生加成聚合。通過(guò)這樣的加成聚合，TCHS固化，形成硅樹(shù)脂固化物。作為另外的例子，還可以通過(guò)以下所述的硅樹(shù)脂固化物，形成信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，所述的硅樹(shù)脂固化物為使用在純化了的四烯丙基硅倍半氧烷8g中加入3.0x10—Swt。/。的Pt(cts:催化劑)甲苯溶液150(iL并進(jìn)行均勻地?cái)?5拌而成的硅樹(shù)脂組合物代替含有TCHS的硅樹(shù)脂組合物，從而得到的硅樹(shù)脂固化物。這時(shí)的加熱條件為在大氣壓下約3小時(shí)，約12(TC。此外，四烯丙基硅倍半氧烷是由式(2)所表示的籠狀硅倍半氧烷化合物中、當(dāng)t=8，r=4，s=4，R1、R2、115和116為甲基，A為烯丙基，Bl為氫原子時(shí)的情況。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage26</formula>結(jié)構(gòu)式(2)該四烯丙基硅倍半氧烷，如結(jié)構(gòu)式(2)中所示，在通過(guò)硅氧垸鍵結(jié)合于硅原子的氫硅烷基與通過(guò)硅氧垸鍵結(jié)合于硅原子的烯丙基末端的乙烯基之間，通過(guò)氫化硅烷化反應(yīng)發(fā)生加成聚合。通過(guò)這樣的加成聚合，四烯丙基硅倍半氧烷發(fā)生固化，變?yōu)楣铇?shù)脂固化物。進(jìn)而作為另外的例子，還可以通過(guò)以下所述的硅樹(shù)脂固化物，形成信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，即所述的硅樹(shù)脂固化物為使用在純化了的二烯丙基硅倍半氧烷8g中添加二乙烯基四甲基二硅氧垸2.52g和3.0xl(TNvtyo的Pt(cts)甲苯溶液121.6pL并均勻地混合而成硅樹(shù)脂組合物代替含有TCHS的硅樹(shù)脂組合物、從而得到的硅樹(shù)脂固化物。這時(shí)的加熱條件為在大氣壓下約3小時(shí)，約120°C。在此，二烯丙基硅倍半氧垸是由式(2)表示的籠狀硅倍半氧烷化合物中、當(dāng)t-8，r=2，s=6，R1、R2、115和116為甲基，A為烯丙基，B,為氫原子時(shí)的情況。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage26</formula>結(jié)構(gòu)式(3)該二烯丙基硅倍半氧烷，在通過(guò)硅氧烷鍵結(jié)合于硅原子的氫硅垸基與通過(guò)硅氧烷鍵結(jié)合于硅原子的烯丙基末端的乙烯基之間，通過(guò)氫化硅烷化反應(yīng)而發(fā)生加成聚合。該加成聚合的同時(shí)，如結(jié)構(gòu)式(3)所示，在二烯丙基硅倍半氧烷中，通過(guò)硅氧烷鍵結(jié)合于硅原子的氫硅垸基與二乙烯基四甲基二硅氧烷的乙烯基之間，通過(guò)氫化硅垸化反應(yīng)發(fā)生加成聚合。通過(guò)這些加成聚合，二烯丙基硅倍半氧垸發(fā)生固化，變?yōu)楣铇?shù)脂固化物。進(jìn)而作為另外的例子，還可以通過(guò)以下所述的硅樹(shù)脂固化物，形成^f士號(hào)轉(zhuǎn)印基板，即所述的硅樹(shù)脂固化物是使用在純化而得的八乙烯基硅倍半氧烷8g中添加四甲基二硅氧烷3.52g和3.0xl(^wt。/。的Pt(cts)甲苯溶液117.44pL并均勻地混合而成硅樹(shù)脂組合物代替含有TCHS的硅樹(shù)脂組合物、從而得到的硅樹(shù)脂固化物。這時(shí)的加熱條件為在大氣壓下約3時(shí)間，約120。C。八乙烯基硅倍半氧烷是式(2)中、t=8，r=8，s=0，W和Fe為甲基，A為乙烯基時(shí)的情況。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage27</formula>氫化硅烷化反應(yīng)結(jié)構(gòu)式(4)這時(shí)，八乙烯基硅倍半氧烷，如結(jié)構(gòu)式(4)所示，在八乙烯基硅倍半氧烷具有的通過(guò)硅氧垸鍵結(jié)合的末端的乙烯基與四甲基二硅氧焼中具有的通過(guò)硅氧烷鍵結(jié)合于硅原子的氫原子之間，通過(guò)氫化硅烷化反應(yīng)發(fā)生加成聚合。通過(guò)該加成聚合，八乙烯基硅倍半氧烷變?yōu)楣铇?shù)脂固化物。如以上所述，在作為信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料，采用使結(jié)構(gòu)式(2)(4)所示那樣的硅樹(shù)脂組合物固化而得的硅樹(shù)脂固化物來(lái)代替使TCHS固化而得的硅樹(shù)脂固化物時(shí)，也可以確認(rèn)紫外線波長(zhǎng)域的光透射率高，多次的紫外線照射后光透射率變化也少，并且即使實(shí)施ioo次以上的重復(fù)轉(zhuǎn)印，也可以確認(rèn)沒(méi)有問(wèn)題。另外，有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料并不限于使本實(shí)施方式中說(shuō)明的硅樹(shù)脂組合物固化而得的硅樹(shù)脂固化物，使用其他有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料時(shí)也可以得到同樣的效果。此外，在本實(shí)施方式中，對(duì)使用鎳作為轉(zhuǎn)印模具的材料的例進(jìn)行說(shuō)明，但轉(zhuǎn)印模具的材料并不限定于此，也可以適宜地使用其他金屬材料，例如含銅、鉻、鋅、金、銀、錫、鉛、鐵、鋁和鎢中的至少l種元素的金屬材料。這是因?yàn)?，根?jù)這些金屬材料，可以通過(guò)導(dǎo)電膜的濺射、電鑄，容易地制造轉(zhuǎn)印模具。(實(shí)施方式3)在實(shí)施方式3中，針對(duì)使用在有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料中添加無(wú)機(jī)填充劑而得的復(fù)合材料制造的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板進(jìn)行說(shuō)明。如上所述，具有將硅倍半氧烷化合物有的納米尺寸的籠狀結(jié)構(gòu)(無(wú)機(jī)部)以有機(jī)片段互相連接而成的三維交聯(lián)結(jié)構(gòu)的有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料，表現(xiàn)玻璃狀的功能，具有即使在被藍(lán)/近紫外區(qū)域的光照射的狀態(tài)下使用也難以劣化的特性。進(jìn)而，使用這樣的有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料制造的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，具有能耐受從固化了的紫外線固化型樹(shù)脂剝離時(shí)產(chǎn)生的基板自身的翹曲的柔軟性，與以石英等形成的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板相比難以發(fā)生物理性的破損(開(kāi)裂、破碎)。然而，使用這樣有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料制造的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，雖然說(shuō)與石英等形成的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板比較具有柔軟性，但是為更可靠地抑制重復(fù)的使用所致的破損，期望更進(jìn)一步的柔軟性。另外，如實(shí)施方式2中說(shuō)明的那樣，本實(shí)施方式的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板例如可以通過(guò)在設(shè)置有金屬鎳的壓模(轉(zhuǎn)印模具)的容器中注入硅樹(shù)脂組合物，使該硅樹(shù)脂組合物熱固化再冷卻后，從鎳壓模剝離而形成。在該形成過(guò)程中，由于鎳壓模和硅樹(shù)脂組合物之間熱膨脹率有很大差異，在冷卻時(shí)由于與鎳壓模的收縮度差，有時(shí)在信號(hào)轉(zhuǎn)印基板上發(fā)生開(kāi)裂。因此，作為在信號(hào)轉(zhuǎn)印基板中使用的材料，期望使用與轉(zhuǎn)印模具的熱膨脹率差小、或者具有能夠耐受收縮度差所導(dǎo)致發(fā)生的應(yīng)力(stress)的強(qiáng)度和柔軟性的材料。28因此，本實(shí)施方式中，提供一種通過(guò)使用在上述的有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料中添加無(wú)機(jī)填充劑而成的復(fù)合材料、而使強(qiáng)度和柔軟性提高且使與轉(zhuǎn)印模具的熱膨脹率之差降低的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板。在本實(shí)施方式的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板中，鑒于信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的表面粗度、無(wú)機(jī)填充劑向有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料混合擴(kuò)散的容易性、以及最適的柔軟性，優(yōu)選無(wú)機(jī)填充劑的粒徑為0.00550|im，更優(yōu)選0.011.5pm。另外，無(wú)機(jī)填充劑的折射率，期望與有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料的折射率之差小，期望折射率差在00.01(優(yōu)選00.005)的范圍。通過(guò)將折射率差設(shè)定在這樣的范圍，在有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料中添加無(wú)機(jī)填充劑時(shí)，可以防止由兩者的折射率差所引起的在界面處產(chǎn)生的散射使得信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的紫外線透射率下降。具有將硅倍半氧烷化合物有的籠狀結(jié)構(gòu)以有機(jī)片段相互連接而成的三維交聯(lián)結(jié)構(gòu)的有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料，其折射率大多在1.421.48的范圍。因此，無(wú)機(jī)填充劑的折射率優(yōu)選在1.4001.500的范圍，更優(yōu)選在1.4601.470的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選在1.4651.469的范圍。信號(hào)轉(zhuǎn)印基板中的無(wú)機(jī)填充劑的含量，如上所述，考慮到信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的強(qiáng)度和柔軟性、使用的無(wú)機(jī)填充劑的折射率等，期望在570重量％的范圍或550重量％的范圍進(jìn)行適宜地決定。作為無(wú)機(jī)填充劑，優(yōu)選使用二氧化硅粒子。無(wú)機(jī)填充劑中也可以含有二氧化硅粒子以外的粒子，但是期望無(wú)機(jī)填充劑中至少含有40重量％的二氧化硅粒子。若考慮與有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料的折射率差，則優(yōu)選無(wú)機(jī)填充劑為二氧化硅粒子(二氧化硅粒子100重量％)。接下來(lái)，關(guān)于本實(shí)施方式的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，對(duì)無(wú)機(jī)填充劑的含量與斷裂強(qiáng)度(彎曲強(qiáng)度)、彎曲彈性模量(柔軟性)、光透射率和熱膨脹率的關(guān)系進(jìn)行說(shuō)明。在此，作為使用使有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料的TCHS固化而得的硅樹(shù)脂固化物。作為無(wú)機(jī)填充劑，使用二氧化硅粒子(粒徑約0.30.8pm)。<斷裂強(qiáng)度和彎曲彈性模量>斷裂強(qiáng)度和彎曲彈性模量，通過(guò)3點(diǎn)彎曲試驗(yàn)測(cè)定。測(cè)定所使用的試樣，用以下方法制造。在TCHS的甲苯溶液使一定量的無(wú)機(jī)填充劑(在此為二氧化硅粒子)分散后，減壓蒸去甲苯，然后將得到的混合物(在TCHS中分散有二氧化硅粒子的混合物)加熱熔融并注入模型，通過(guò)使其在170°C29下2小時(shí)減壓而固化，制得試樣。圖8和圖9中示出測(cè)定結(jié)果。如圖8和圖9所示，通過(guò)添加二氧化硅粒子，可以確定斷裂強(qiáng)度和彎曲彈性都提高。在此，從基于無(wú)機(jī)填充劑的添加量而變化大的彎曲彈性模量的觀點(diǎn)出發(fā)，討論無(wú)機(jī)填充劑的添加量。信號(hào)轉(zhuǎn)印基板具有某種程度的彎曲彈性模量時(shí)，由于信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的曲彎，從而從樹(shù)脂的脫模良好，可以將信號(hào)良好地轉(zhuǎn)印于樹(shù)脂層。因此，為了作為信號(hào)轉(zhuǎn)印基板而使用，期望具有784MPa(80kgf/mm2)左右的彈性模量。另外，從樹(shù)脂層的脫模變得更優(yōu)良方面考慮，更期望980MPa(100kgPmm2)左右的彈性模量。因此，從圖9所示的結(jié)果可知，期望無(wú)機(jī)填充劑的含量設(shè)為5重量％以上，進(jìn)一步優(yōu)選設(shè)為10重量％以上。<熱膨脹率>熱膨脹率以TMA(壓縮模式)測(cè)定。在空氣中以rC/min的升溫速度，從室溫升至25(TC進(jìn)行測(cè)定。壓縮荷重設(shè)為lg。另外，將長(zhǎng)度、寬、厚度分別為5mm、5mm、lmm的樹(shù)脂板(采用與斷裂強(qiáng)度和彎曲彈性模量的試樣同樣的方法制備的樹(shù)脂板)的端面研磨后的板，作為用于熱膨脹率測(cè)定的試樣使用。結(jié)果在表2中表示。無(wú)機(jī)填充劑的含量越升高，熱膨脹率越低，與一般用于轉(zhuǎn)印模具的金屬(例如鎳(熱膨脹率15ppm/'C))的熱膨脹率接近。通過(guò)添加10重量％以上的無(wú)機(jī)填充劑，可以使熱膨脹率下降至125ppm/。C以下。如上所述，通過(guò)含有10重量％以上的無(wú)機(jī)填充劑，除熱膨脹率下降之外，斷裂強(qiáng)度和彎曲彈性模量也提高。因此，通過(guò)將無(wú)機(jī)填充劑的含量設(shè)為10重量％以上，可以確認(rèn)，可以充分地抑制信號(hào)轉(zhuǎn)印基板制造時(shí)的與轉(zhuǎn)印模具金屬的收縮度差所引起的開(kāi)裂。無(wú)機(jī)填充劑的含量(重量％)熱膨脹率(ppm/。C)(4080。C)014051351012530<table>tableseeoriginaldocumentpage31</column></row><table><光透射率>光透射率通過(guò)UV-vis(積分球)進(jìn)行評(píng)價(jià)。另外，測(cè)定中使用的試樣是長(zhǎng)、幅、厚分別為30mm、50mm、lmm的樹(shù)脂板(采用與斷裂強(qiáng)度和彎曲彈性模量的試樣同樣的方法制備的樹(shù)脂板)，為了將表面加工成鏡面而進(jìn)行鏡面加工。首先，使用與有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料的折射率差最大為O.Ol的，即折射率差為00.01的范圍的二氧化硅粒子，進(jìn)行測(cè)定。其測(cè)定結(jié)果在圖10中表不o隨著無(wú)機(jī)填充劑的含有率增加，波長(zhǎng)250nm400nm的范圍的光透射率下降。作為信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的材料廣泛使用的聚碳酸酯，在波長(zhǎng)300nm具有約50%的光透射率，可知為了在紫外線照射時(shí)具有和聚碳酸酯同樣的或在此以上的光透射率，可以在有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料中添加達(dá)50重量％的無(wú)機(jī)填充劑。此外，雖然聚碳酸酯是1次使用丟棄的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，但是由于具有在紫外線照射時(shí)信號(hào)的轉(zhuǎn)印所需要的光透射性，在此作為比較的對(duì)象使用。另外，為更有效地進(jìn)行紫外線固化，如上所述，優(yōu)選信號(hào)轉(zhuǎn)印基板對(duì)波長(zhǎng)250280nm的范圍的光透射率設(shè)為10%以上。根據(jù)測(cè)定結(jié)果，并從該觀點(diǎn)出發(fā)，可知可以添加達(dá)50重量％的無(wú)機(jī)填充劑。如以上所述可知，只要在有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料中添加的無(wú)機(jī)填充劑的重量％為50重量％以下，就可以保持信號(hào)的轉(zhuǎn)印所需要的光透射性，進(jìn)而以3次以下的紫外線閃光就可以使紫外線固化型樹(shù)脂固化，起到上述兩方面的效果。接下來(lái)，使用與有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料的折射率差為0.005以下，即折射率差為00.005的范圍的二氧化硅粒子進(jìn)行測(cè)定。其測(cè)定結(jié)果如圖11所在波長(zhǎng)300nrn具有約50%的光透射率，在有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料中可以添加達(dá)70重量％的無(wú)機(jī)填充劑。由于有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料與無(wú)機(jī)填充劑的折射率差小，在無(wú)機(jī)填充劑與有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料的界面的散射可以降低，因此能夠進(jìn)一步減小添加無(wú)機(jī)填充劑時(shí)的光透射率的降低量。另外，可知只要無(wú)機(jī)填充劑的添加量為70重量°/。以下，就同樣地能夠保證信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的對(duì)于波長(zhǎng)250280nm的范圍的光透射率為10%以上，能夠更有效地使紫外線固化型樹(shù)脂固化。如以上所述，可知在使用與有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料的折射率差為0.005以下的無(wú)機(jī)填充劑時(shí)，可以添加70重量％的無(wú)機(jī)填充劑。本實(shí)施例中，對(duì)與有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料的折射率差為0.01以下的無(wú)機(jī)填充劑，和0.005以下的無(wú)機(jī)填充劑分別進(jìn)行測(cè)定，可以預(yù)見(jiàn)，通過(guò)使用折射率差更小的無(wú)機(jī)填充劑，可以進(jìn)一步增加添加量。接下來(lái)，對(duì)作為無(wú)機(jī)填充劑使用二氧化硅粒子的情況、與使用二氧化鈦粒子和氧化鋯粒子的情況也進(jìn)行了比較。此外，二氧化鈦的折射率為2.32.5，氧化鋯的折射率為2.2左右，比二氧化硅的折射率大，與有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料的折射率1.421.48的差值大。因此，將作為無(wú)機(jī)填充劑的二氧化鈦、氧化鋯添加在有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料中制造信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，在無(wú)機(jī)填充劑和有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料的界面光發(fā)生散射，其結(jié)果是光透射率下降。與此相對(duì)，使用折射率為1.4001.500、優(yōu)選1.4601.470、更優(yōu)選1.4651.469的二氧化硅粒子的情況，由于與有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料的折射率差小，光透射率的降低小。從以上的結(jié)果可以確認(rèn)，作為無(wú)機(jī)填充劑優(yōu)選使用二氧化硅粒子。[工業(yè)實(shí)用性]本發(fā)明所涉及的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法、以及信號(hào)轉(zhuǎn)印基板及其制造方法，可以在存儲(chǔ)信息的所有的信息系統(tǒng)裝置，例如，計(jì)算機(jī)、光盤(pán)播放機(jī)、光盤(pán)記錄機(jī)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、編輯系統(tǒng)、數(shù)據(jù)服務(wù)器、AV組件、存儲(chǔ)卡、磁記錄介質(zhì)等的介質(zhì)的制造中應(yīng)用。3權(quán)利要求1.一種信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，是用于將由凹凸形狀構(gòu)成的信號(hào)部轉(zhuǎn)印于樹(shù)脂的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，該信號(hào)轉(zhuǎn)印基板具備形成有所述信號(hào)部的信號(hào)面，該信號(hào)轉(zhuǎn)印基板由有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料形成，該有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料含有具有由-Si-O-鍵構(gòu)成的多面體結(jié)構(gòu)的分子尺寸的無(wú)機(jī)部、以及將多個(gè)所述無(wú)機(jī)部互相地交聯(lián)的有機(jī)片段。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，其中，所述有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料是使含有硅倍半氧垸化合物的硅樹(shù)脂組合物固化所得到的硅樹(shù)脂固化物，所述硅倍半氧垸化合物含有從由下式(1)(3)表示的籠狀硅倍半氧烷化合物和其部分聚合物構(gòu)成的群中所選擇的至少1種，(AR'R2SiOSiOt5)n(R3R4HSiOSi015)p(BR5R6SiOSiOL5)q(HOSi015)m-n匿p-q-(1)(AR'R2SiOSi0,.5)r(B^I^SiOSiOLs)s(HOSiOL5)一.(2)(r3r4HSiOSi015)r(B,r5r6s謹(jǐn)0,.5)s(HOSi015)t_r-s...(3)式(1)(3)中，A表示具有碳-碳不飽和鍵的基團(tuán)，B表示取代或非取代的飽和垸基或羥基，B〖表示取代或非取代的飽和烷基、羥基或氫原子，WR6各自獨(dú)立地表示選自低級(jí)烷基、苯基和低級(jí)芳基垸基的官能團(tuán)；另外，式(1)(3)中，m和t表示選自6、8、10、12的數(shù)，n表示lm-l的整數(shù)，p表示lm-n的整數(shù)，q表示0m-n-p的整數(shù)，r表示2t的整數(shù)，s表示0t-r的整數(shù)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，其中，所述硅倍半氧垸化合物含有從由所述式(2)所表示的籠狀硅倍半氧垸化合物和其部分聚合物構(gòu)成的群中所選擇的至少1種、以及從由所述式(3)所表示的籠狀硅倍半氧烷化合物和其部分聚合物構(gòu)成的群中所選擇的至少1種。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，其中，所述硅樹(shù)脂組合物還含有從下式(4)和下式(5)中所選擇的至少l種化合物，HR7R8Si-X-SiHR9R10...(4)H2C=CH-Y-CH=CH2...(5)式(4)中，X表示2價(jià)的官能團(tuán)或氧原子，WR^各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)13的垸基或氫原子；另外，式(5)中，Y表示2價(jià)的官能團(tuán)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，其中，所述硅樹(shù)脂組合物含有從由所述式(2)所表示的籠狀硅倍半氧烷化合物和其部分聚合物構(gòu)成的群中所選擇的至少1種、以及所述式(4)所表示的化合物。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，其中，所述硅樹(shù)脂組合物含有從由所述式(3)所表示的籠狀硅倍半氧烷化合物和其部分聚合物構(gòu)成的群中所選擇的至少l種、以及所述式(5)所表示的化合物。7.權(quán)利要求2所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，其中，在所述式(1)和所述式(2)的至少一方中，式中的A所表示的具有碳-碳不飽和鍵的基團(tuán)是在末端具有碳-碳不飽和鍵的鏈狀烴基。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，其中，所述有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料是通過(guò)氫化硅烷化反應(yīng)所得到的固化物，且不含有與所述樹(shù)脂所含有的官能團(tuán)相互作用的極性基團(tuán)。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，其中，還含有無(wú)機(jī)填充劑。10.權(quán)利要求9所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，其中，所述有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料的折射率與所述無(wú)機(jī)填充劑的折射率之差在00.01的范圍內(nèi)。11.根據(jù)權(quán)利要求IO所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，其中，所述無(wú)機(jī)填充劑的含量為550重量％。12.根據(jù)權(quán)利要求IO所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，其中，所述有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料的折射率與所述無(wú)機(jī)填充劑的折射率之差在00.005的范圍內(nèi)。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，其中，所述無(wú)機(jī)填充劑的含量為570重量％。14.根據(jù)權(quán)利要求IO所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，其中，所述無(wú)機(jī)填充劑的折射率在1.4001.500的范圍內(nèi)。15.根據(jù)權(quán)利要求9所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，其中，所述無(wú)機(jī)填充劑的粒徑在0.00550nm的范圍內(nèi)。16.根據(jù)權(quán)利要求9所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，其中，所述無(wú)機(jī)填充劑含有至少40重量％的二氧化硅粒子。17.—種信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的制造方法，是制造權(quán)利要求1所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的方法，至少包括如下工序，(i)將含有硅倍半氧烷化合物的硅樹(shù)脂組合物，向形成有由凹凸形狀構(gòu)成的信號(hào)部的轉(zhuǎn)印模具上供給的工序；以及(ii)通過(guò)加熱使所述硅樹(shù)脂組合物固化，形成具有所述轉(zhuǎn)印模具的所述信號(hào)部被轉(zhuǎn)印而形成的信號(hào)面的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的工序。18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的制造方法，其中，所述轉(zhuǎn)印模具由金屬形成。19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的制造方法，其中，所述金屬含有選自鎳、銅、鉻、鋅、金、銀、錫、鉛、鐵、鋁和鎢中的至少l種元素。20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的制造方法，其中，在所述工序(i)中，將含有所述硅樹(shù)脂組合物和無(wú)機(jī)填充劑的復(fù)合材料向所述轉(zhuǎn)印模具上供給。21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的制造方法，其中，所述復(fù)合材料中的所述無(wú)機(jī)填充劑的含量為570重量％。22.根據(jù)權(quán)利要求20所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的制造方法，其中，在所述復(fù)合材料中，所述無(wú)機(jī)填充劑的含量為550重量％。23.根據(jù)權(quán)利要求20所述的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板的制造方法，其中，所述無(wú)機(jī)填充劑含有至少40重量％的二氧化硅粒子。24.—種多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，是至少含有第1信息記錄層、第2信息記錄層、以及在所述第1信息記錄層與所述第2信息記錄層之間設(shè)置的樹(shù)脂層的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，在形成所述樹(shù)脂層的工序中，包括如下工序(I)在所述第1信息記錄層上涂覆液體的樹(shù)脂的工序；(II)在所述第1信息記錄層上所涂覆的所述樹(shù)脂上，將具有形成有由凹凸形狀構(gòu)成的信號(hào)部的信號(hào)面的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板，以所述信號(hào)面與所述樹(shù)脂相對(duì)的方式貼合的工序；(III)在所述信號(hào)轉(zhuǎn)印基板貼合于所述樹(shù)脂的狀態(tài)下，使所述樹(shù)脂固化的工序；以及(IV)將所述信號(hào)轉(zhuǎn)印基板從所述樹(shù)脂剝離的工序，并且，所述信號(hào)轉(zhuǎn)印基板由權(quán)利要求1所述的有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料形成。25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，其中，所述樹(shù)脂為光固化型樹(shù)脂，在所述工序(III)中，通過(guò)隔著所述信號(hào)轉(zhuǎn)印基板對(duì)所述樹(shù)脂進(jìn)行光照射而使所述樹(shù)脂固化。26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，其中，所述光固化型樹(shù)脂為紫外線固化型樹(shù)脂，在所述工序(III)中，通過(guò)隔著所述信號(hào)轉(zhuǎn)印基板對(duì)所述樹(shù)脂進(jìn)行紫外線照射而使所述樹(shù)脂固化。27.根據(jù)權(quán)利要求24所述的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法，其中，所述信號(hào)轉(zhuǎn)印基板對(duì)波長(zhǎng)250nm280nm范圍的光的透射率為10%以上。全文摘要在本發(fā)明的多層信息記錄介質(zhì)的制造方法中，在形成在第1信息記錄層的第1薄膜層(102)和第2信息記錄層的第2薄膜層(108)之間所設(shè)置的作為樹(shù)脂層的第2信號(hào)基板(110)的工序中，包括(I)在第1信息記錄層上涂覆液體樹(shù)脂(104)的工序；(II)在樹(shù)脂104上，將具有形成有凹凸形狀的信號(hào)面的信號(hào)轉(zhuǎn)印基板(105)貼合于樹(shù)脂(104)的工序；(III)在樹(shù)脂(104)貼合了信號(hào)轉(zhuǎn)印基板(105)的狀態(tài)下使樹(shù)脂(104)固化的工序；(IV)將信號(hào)轉(zhuǎn)印基板(105)從樹(shù)脂(104)剝離的工序。信號(hào)轉(zhuǎn)印基板(105)由有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料形成，所述有機(jī)無(wú)機(jī)混合材料含有例如使含硅倍半氧烷化合物的硅樹(shù)脂組合物固化而得的硅樹(shù)脂固化物之類的具有由-Si-O-鍵構(gòu)成的多面體結(jié)構(gòu)的分子尺寸的無(wú)機(jī)部、以及將多個(gè)所述無(wú)機(jī)部互相地交聯(lián)的有機(jī)片段。文檔編號(hào)G11B7/253GK101632125SQ20088000834公開(kāi)日2010年1月20日申請(qǐng)日期2008年3月12日優(yōu)先權(quán)日2007年3月14日發(fā)明者奧村治樹(shù),富山盛央,愛(ài)甲秀樹(shù),留河優(yōu)子,篠谷賢一申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社;松下電工株式會(huì)社