專(zhuān)利名稱(chēng)：具有振動(dòng)傳感器的懸臂件、磁頭折片組合及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種信息記錄磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元，尤其涉及一種用于感應(yīng)磁頭振動(dòng)的振動(dòng) 傳感器及具有該傳感器的懸臂件、磁頭折片組合及其制造方法、以及磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元。
背景技術(shù)：
磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元是一種常見(jiàn)的信息存儲(chǔ)設(shè)備。圖1所示為一傳統(tǒng)的磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元， 該磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元包括用于向磁盤(pán)101寫(xiě)入或從該磁盤(pán)101讀取數(shù)據(jù)的典型的驅(qū)動(dòng)臂104。 典型地，主軸音圈馬達(dá)(Voice-Coil Motor, VCM)控制該驅(qū)動(dòng)臂104的運(yùn)動(dòng)。驅(qū)動(dòng)臂104的 頂部安裝有懸臂件105，該懸臂件105支撐帶讀寫(xiě)頭(圖未示)的磁頭103。當(dāng)磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單 元運(yùn)作時(shí)，主軸馬達(dá)102使磁盤(pán)101高速旋轉(zhuǎn)，而磁盤(pán)103旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的氣壓使得磁頭103在 磁盤(pán)101上方飛行。磁頭103在VCM的控制下在磁盤(pán)101的表面徑向運(yùn)動(dòng)。磁頭在不同的 磁軌之間移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)在磁盤(pán)101上的數(shù)據(jù)讀寫(xiě)。由于消費(fèi)者不斷希望磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元能具有更大的存儲(chǔ)容量，并且能更快更準(zhǔn)確地 進(jìn)行讀寫(xiě)操作，各式各樣的方法應(yīng)用于提高信息記錄磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元的記錄密度，同時(shí)，各種 用于提高磁頭定位的精確度的方法也被廣泛使用。一種小磁軌間距的磁頭精確位置控制方法是采用雙階驅(qū)動(dòng)器(Dual Stage Actuator, DSA)。一個(gè)二級(jí)微驅(qū)動(dòng)器被用來(lái)控制前述帶讀寫(xiě)頭的磁頭，當(dāng)一級(jí)VCM進(jìn)行粗調(diào) 時(shí)微驅(qū)動(dòng)器以較小的比例調(diào)整位置以補(bǔ)償VCM的共振。這樣使得可記錄的磁軌寬度更小， 將磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元的每英寸磁軌數(shù)量(Tracks Per Inch,TPI)的值增加了 50%，從而增加其
記錄密度。另一種磁頭位置控制技術(shù)是感應(yīng)并補(bǔ)償在磁盤(pán)旋轉(zhuǎn)時(shí)的空氣顫動(dòng)而引起的空氣 湍流。如同在專(zhuān)利號(hào)為20080229842的美國(guó)專(zhuān)利中揭露的，這種空氣湍流會(huì)導(dǎo)致磁頭懸臂 件振動(dòng)，從而使磁頭偏離磁軌。圖2b-2c分別展示了沿圖2a的剖線6-6和7_7的剖面圖。 參考圖2a-2c，負(fù)載桿11與基板10連接，裝有磁頭13的撓性件12與該負(fù)載桿11和基板 10焊接在一起。一振動(dòng)傳感器14由粘合劑固定在負(fù)載桿11的鏤空處。該振動(dòng)傳感器14 為一 PZT元件，該P(yáng)ZT元件包括上電極23、下電極24及夾在其間的PZT材料25，該振動(dòng)傳 感器14的兩電極觸點(diǎn)18、19分別通過(guò)導(dǎo)電粘合劑27、28與撓性件12的懸臂導(dǎo)線20相連。 當(dāng)振動(dòng)發(fā)生時(shí)，振動(dòng)傳感器14將感應(yīng)在懸臂件彈性端22上的懸臂件振動(dòng)并產(chǎn)生信號(hào)，然后 根據(jù)這一信號(hào)調(diào)整磁頭的位置。圖3為圖2a所示磁頭折片組合的側(cè)視圖。圖3清楚顯示了前述振動(dòng)傳感器14安 裝在基板10和負(fù)載桿11的接合點(diǎn)處，該位置是懸臂件的成形位置。由于振動(dòng)傳感器14位 于懸臂件的樞接處，因此對(duì)于感應(yīng)懸臂件振動(dòng)具有較低的靈敏度，對(duì)磁頭13的振動(dòng)而言則 更低。進(jìn)一步地，在懸臂件及磁頭折片組合的制造過(guò)程中，由于需要控制其每克負(fù)載和俯仰 靜止角度/翻轉(zhuǎn)靜止角度(PSA/RSA)，所以懸臂件必須經(jīng)過(guò)壓片處理，該過(guò)程可能會(huì)導(dǎo)致振 動(dòng)傳感器14損壞。因此，急需提供一種適用于磁頭折片組合的改進(jìn)的振動(dòng)傳感器以克服上述缺陷。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種振動(dòng)傳感器，以便靈敏地感應(yīng)磁頭折片組合的磁頭的 振動(dòng)，從而調(diào)節(jié)磁頭的飛行高度，提高磁頭的性能。本發(fā)明的另一目的在于提供一種具有振動(dòng)傳感器的懸臂件，以便靈敏地感應(yīng)磁頭 折片組合的磁頭的振動(dòng)，從而調(diào)節(jié)磁頭的飛行高度，提高磁頭的性能。本發(fā)明的另一目的在于提供一種具有振動(dòng)傳感器的磁頭折片組合，所述振動(dòng)傳感 器安裝于磁頭和懸臂件之間，以便靈敏地感應(yīng)磁頭折片組合的磁頭的振動(dòng)，從而調(diào)節(jié)磁頭 的飛行高度，提高磁頭的性能。本發(fā)明的又一目的在于提供一種具有振動(dòng)傳感器的磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元，所述振動(dòng)傳感 器安裝于磁頭和懸臂件之間，以便靈敏地感應(yīng)磁頭折片組合的磁頭的振動(dòng)，從而調(diào)節(jié)磁頭 的飛行高度，提高磁頭的性能。本發(fā)明的再一目的在于提供一種具有振動(dòng)傳感器的磁頭折片組合的制造方法，所 述振動(dòng)傳感器可靈敏地感應(yīng)磁頭折片組合的磁頭的振動(dòng)，從而調(diào)節(jié)磁頭的飛行高度，提高 磁頭的性能。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種用于磁頭的振動(dòng)傳感器，所述振動(dòng)傳感器 包括基部、形成于所述基部?jī)?nèi)的用于支撐安裝于其上的磁頭的負(fù)載部，以及至少兩連接所 述基部和所述負(fù)載部的連接臂。在本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例中，所述連接臂相對(duì)于所述負(fù)載部的中心點(diǎn)對(duì)稱(chēng)。在本發(fā)明另一實(shí)施例中，所述負(fù)載部上形成有復(fù)數(shù)個(gè)通孔。較佳地，所述通孔相對(duì) 于所述負(fù)載部的中心點(diǎn)對(duì)稱(chēng)分布。在本發(fā)明另一實(shí)施例中，所述負(fù)載部為橢圓形、方形或圓形。在本發(fā)明又一實(shí)施例中，所述振動(dòng)傳感器包括上電極層、下電極層以及夾設(shè)于所 述上電極層和所述下電極層之間的壓電層。本發(fā)明提供一種用于磁頭折片組合的懸臂件，包括撓性件及振動(dòng)傳感器，所述撓 性件具有懸臂舌片，所述懸臂舌片用于支撐磁頭折片組合的磁頭，所述振動(dòng)傳感器安裝在 所述懸臂舌片上并夾設(shè)于所述懸臂舌片與所述磁頭之間。本發(fā)明還提供一種磁頭折片組合，該磁頭折片組合包括磁頭及懸臂件，所述懸臂 件包括撓性件及振動(dòng)傳感器，所述撓性件具有懸臂舌片，所述懸臂舌片用于支撐磁頭折片 組合的磁頭，所述振動(dòng)傳感器安裝在所述懸臂舌片上并夾設(shè)于所述懸臂舌片與所述磁頭之 間。本發(fā)明還提供一種磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元，包括磁頭折片組合，所述磁頭折片組合包括磁 頭和懸臂件，所述懸臂件具有用于支撐所述磁頭的懸臂舌片；與所述磁頭折片組合連接的 驅(qū)動(dòng)臂；磁盤(pán)；以及驅(qū)動(dòng)所述磁盤(pán)旋轉(zhuǎn)的主軸馬達(dá)。其中，所述磁頭折片組合還包括振動(dòng)傳 感器，所述振動(dòng)傳感器安裝在所述懸臂舌片上并夾設(shè)于所述磁頭和所述懸臂舌片之間。本發(fā)明還提供一種磁頭折片組合的制造方法，包括提供振動(dòng)傳感器和懸臂件，所 述懸臂件具有懸臂舌片，所述懸臂舌片具有與所述振動(dòng)傳感器相對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)，所述振動(dòng)傳 感器包括基部、形成于所述基部?jī)?nèi)的用于支撐安裝于其上的磁頭的負(fù)載部，以及至少兩連 接所述基部和所述負(fù)載部的連接臂；安裝所述振動(dòng)傳感器至所述懸臂舌片上；以及提供磁頭，并安裝所述磁頭至所述振動(dòng)傳感器的負(fù)載部，所述振動(dòng)傳感器夾設(shè)于所述磁頭和所述 懸臂舌片之間。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供了一種振動(dòng)傳感器，該振動(dòng)傳感器安裝在懸臂舌片 上并夾設(shè)于該懸臂舌片與磁頭之間，因此可更靈敏地感應(yīng)磁頭折片組合的磁頭的振動(dòng)，從 而調(diào)節(jié)磁頭的飛行高度，提高磁頭的性能。通過(guò)以下的描述并結(jié)合附圖，本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所達(dá)目的及效果將變 得更加清晰，這些附圖用于解釋本發(fā)明的實(shí)施例。


圖1為傳統(tǒng)磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元的局部立體示意圖。圖2a為傳統(tǒng)磁頭折片組合的局部俯視圖。圖2b為圖2a所示磁頭折片組合沿6_6線的剖視圖。圖2c為圖2a所示磁頭折片組合沿7_7線的剖視圖。圖3為圖2a所示磁頭折片組合的局部側(cè)視圖。圖4為本發(fā)明第一實(shí)施例的懸臂件的立體分解圖。圖5a為具有圖4所示懸臂件的磁頭折片組合的局部放大圖。圖5b為圖5a所示磁頭折片組合的立體分解圖。圖5c為圖5b所示磁頭折片組合的振動(dòng)傳感器的示意圖。圖5d為圖5c所示振動(dòng)傳感器的側(cè)視圖。圖6為本發(fā)明第二實(shí)施例的懸臂件的立體分解圖。圖7為本發(fā)明第三實(shí)施例的懸臂件的立體分解圖。圖8為本發(fā)明第四實(shí)施例的懸臂件的立體分解圖。圖9為本發(fā)明第五實(shí)施例的懸臂件的立體分解圖。圖10為本發(fā)明第六實(shí)施例的懸臂件的立體分解圖。圖11a為本發(fā)明磁頭折片組合的示意圖，展示了當(dāng)懸臂件受到?jīng)_擊或震動(dòng)時(shí)磁頭 折片組合在俯仰方向的運(yùn)動(dòng)狀況。圖lib展示了移除磁頭后圖11a所示懸臂件的狀態(tài)。圖11c展示了圖lib所示懸臂件的振動(dòng)傳感器產(chǎn)生的振動(dòng)信號(hào)的波形。圖12a為本發(fā)明磁頭折片組合的示意圖，展示了當(dāng)懸臂件受到?jīng)_擊或震動(dòng)時(shí)磁頭 折片組合在另一方向的運(yùn)動(dòng)狀況。圖12b為本發(fā)明磁頭折片組合的示意圖，展示了當(dāng)懸臂件受到?jīng)_擊或震動(dòng)時(shí)磁頭 折片組合在又一方向的運(yùn)動(dòng)。圖13為圖5a所示本發(fā)明第一實(shí)施例的磁頭折片組合的俯視圖。圖14為本發(fā)明磁頭驅(qū)動(dòng)單元的一個(gè)實(shí)施例的立體圖。圖15為本發(fā)明具有振動(dòng)傳感器的磁頭折片組合的制造方法的一個(gè)實(shí)施例的流程 圖。
具體實(shí)施例方式以下將結(jié)合附圖描述本發(fā)明的各個(gè)實(shí)施例，其中，各個(gè)附圖中相同的標(biāo)記表示相同的元件。如上所述，本發(fā)明提供了一種用于磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元的磁頭折片組合的懸臂件，該懸 臂件包括一個(gè)振動(dòng)傳感器，所述振動(dòng)傳感器包括基部、形成于所述基部?jī)?nèi)的用于支撐安裝 于其上的磁頭的負(fù)載部，及至少兩個(gè)連接所述基部和所述負(fù)載部的連接臂。通過(guò)將該具有 較低硬度的振動(dòng)傳感器安裝于懸臂舌片上并將其夾設(shè)于所述懸臂舌片和磁頭之間，對(duì)磁頭 振動(dòng)的感應(yīng)更靈敏，從而可以提高磁頭的讀寫(xiě)性能及整個(gè)磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元的性能。圖4展示了本發(fā)明懸臂件的第一實(shí)施例。如圖4所示，本實(shí)施例的懸臂件430包 括相互組裝在一起的負(fù)載桿404、基板401、樞接件402、撓性件403以及振動(dòng)傳感器415。圖5a為一磁頭折片組合的局部放大俯視圖，該磁頭折片組合包括了圖4所示的懸 臂件。參照?qǐng)D4和圖5a，負(fù)載桿404用于把負(fù)載力傳遞到撓性件403以及安裝于所述撓性 件403上的磁頭405。負(fù)載桿404可由任何具有適當(dāng)剛性的材料制成，比如不銹鋼等，以使 其具有足夠的硬度傳送負(fù)載力至撓性件403。負(fù)載桿404通過(guò)樞接件402與基板401連接。 該負(fù)載桿404上形成有一定位孔404a，用于使負(fù)載桿404和撓性件403對(duì)齊。負(fù)載桿404 上還形成有一個(gè)凸點(diǎn)404b，該凸點(diǎn)404b在與磁頭405的中心相應(yīng)的位置支撐撓性件403。 通過(guò)凸點(diǎn)404b與撓性件403這樣的配合設(shè)置，由負(fù)載桿404產(chǎn)生的負(fù)載力能均勻地傳到磁 頭405的中心?；?01用于增加整個(gè)懸臂件430的硬度，它可以由剛性材料制成，比如不銹鋼 等?；?01 —端形成有安裝孔401a，通過(guò)該安裝孔401a將整個(gè)懸臂件430安裝到磁盤(pán)驅(qū) 動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)臂上。樞接件402 —端設(shè)有安裝孔402a，其與基板401的安裝孔401a相對(duì)應(yīng)。樞接件 402部分安裝到基板401上，并使安裝孔402a、40la彼此對(duì)齊。樞接件402和基板401可以 通過(guò)復(fù)數(shù)個(gè)分布于樞接件402上的激光焊接細(xì)點(diǎn)焊接在一起。此外，樞接臺(tái)階402c —體形 成于樞接件402的一側(cè)，且鄰近其設(shè)有安裝孔402a的一端，以增加樞接件402的剛度。樞 接件402另一端延伸出兩支撐片402b，以把樞接件402部分安裝在負(fù)載桿404上。撓性件403由柔性材料制成，該撓性件403從樞接件402延伸至負(fù)載桿404。所述 撓性件403具有鄰近樞接件402的尾部403b和鄰近負(fù)載桿404的頂部403a。定位孔403c 成形于撓性件403的頂部403a處，并且與負(fù)載桿404的定位孔404a對(duì)齊。定位孔403c、 404a的充分對(duì)齊可以確保撓性件403和負(fù)載桿404的高精度組裝。懸臂舌片413設(shè)置在撓 性件403的頂部403a處以便支撐設(shè)置于其上磁頭405。所述懸臂舌片413上安裝有振動(dòng)傳 感器415。復(fù)數(shù)條導(dǎo)線406沿著撓性件403的兩邊從懸臂舌片413延伸到撓性件403的尾 部403b，并與音圈馬達(dá)(圖未示)的柔性線纜相連接。參照?qǐng)D5c，所述振動(dòng)傳感器415包括基部415a、形成于所述基部415a內(nèi)的負(fù)載部 415b以及兩個(gè)連接所述基部415a和所述負(fù)載部415b的連接臂415c。所述基部415a上形 成有兩個(gè)電連接觸點(diǎn)425a、425b，所述電連接觸點(diǎn)425a、425b通過(guò)兩個(gè)連接球428與撓性件 403上的懸臂舌片413電性連接。在本實(shí)施例中，所述負(fù)載部415b為橢圓形，磁頭405通過(guò) 環(huán)氧膠固定安裝在該負(fù)載部415b上。具體地，所述連接臂415c關(guān)于所述負(fù)載部415b的中 心點(diǎn)對(duì)稱(chēng)。所述振動(dòng)傳感器415的兩個(gè)連接臂415c由其上形成的兩條彎曲的狹槽415d限 定，所述狹槽415d位于所述基部415a和所述負(fù)載部415b之間，前述兩條狹槽415d為沿著 相反方向延伸的交叉成形的狹槽。所述連接臂415c并不僅限于兩個(gè)，可根據(jù)具體需要進(jìn)行 變更。
結(jié)合圖5d，在本實(shí)施例中，所述振動(dòng)傳感器415包括上電極層4151、下電極層4153 以及夾設(shè)于所述上電極層4151和所述下電極層4153之間的壓電層4152。所述電連接觸點(diǎn) 425a、425b (如圖5a所示)分別與所述上電極層4151及下電極層4153電性連接。在本發(fā) 明的另一個(gè)實(shí)施例中，所述振動(dòng)傳感器415可為多層的壓電材料，所述每一層壓電材料包 括上電極層、下電極層以及夾設(shè)于所述上電極層和所述下電極層之間的壓電層。所述電連 接觸點(diǎn)425a、425b通過(guò)串聯(lián)或并聯(lián)的方式與每一上電極層4151及每一下電極層4153形成 電性連接。參照?qǐng)D5a_5c，所述懸臂舌片413具有與所述振動(dòng)傳感器415相對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)。所述 懸臂舌片413包括第二舌片413a、成型于所述第二舌片413a內(nèi)的第一舌片413b和兩個(gè)連 接桿413c，所述兩個(gè)連接桿413c連接所述第一舌片413b和所述第二舌片413a。具體地， 所述第二舌片413a包括懸浮部420，該懸浮部420上形成多個(gè)觸點(diǎn)421，同時(shí)所述第二舌片 413a的邊緣上形成有兩個(gè)電連接觸點(diǎn)423a、423b。所述振動(dòng)傳感器415的基部415a、負(fù)載 部415b及連接臂415c分別與懸臂舌片413的第二舌片413a、第一舌片413b及連接桿413c 相對(duì)應(yīng)。同樣地，所述懸臂舌片413上成型有兩條彎曲狹槽413d，該彎曲狹槽413d與所述 振動(dòng)傳感器415的彎曲狹槽415d相對(duì)應(yīng)。此外，所述第一舌片413b為橢圓形。該第一舌 片413b上設(shè)有兩個(gè)環(huán)氧膠接點(diǎn)435，所述振動(dòng)傳感器415通過(guò)其安裝在該懸臂舌片413上， 所述磁頭405安裝在所述振動(dòng)傳感器415上。可選地，所述振動(dòng)傳感器415可與所述懸臂舌片413 —體成型。圖5a_5b展示了具有圖4所示懸臂件的磁頭折片組合的懸臂舌片區(qū)域的詳細(xì)結(jié) 構(gòu)。參照?qǐng)D5a和圖5b，所述撓性件403的兩側(cè)分別形成兩個(gè)外觸發(fā)板412，該外觸發(fā)板412 用于支撐所述懸臂舌片413并控制整個(gè)懸臂件430的俯仰靜止角度/翻轉(zhuǎn)靜止角度。導(dǎo)線 406分成第一導(dǎo)線406a和第二導(dǎo)線406b兩部分，分別由懸浮部420和外觸發(fā)板412所支 撐。磁頭405安裝于所述懸臂舌片413上，其上形成有多個(gè)電連接觸點(diǎn)(圖未示)。形成于 磁頭405上的所述電連接觸點(diǎn)通過(guò)電連接球421a，如金焊接球或錫焊接球，與所述觸點(diǎn)421 電性連接，同時(shí)，所述觸點(diǎn)421與所述第一導(dǎo)線406a電性連接。所述振動(dòng)傳感器415夾設(shè) 于所述磁頭405和所述懸臂舌片413之間，且其負(fù)載部415b與第一舌片413b相連。電連 接觸點(diǎn)425a和425b通過(guò)焊接球428與懸臂舌片413上的電連接觸點(diǎn)423a和423b形成電 性連接，從而與所述撓性件403的第二導(dǎo)線406b形成電性連接。圖6展示了本發(fā)明第二實(shí)施例的懸臂件530。第二實(shí)施例的懸臂件530的結(jié)構(gòu)與 圖5b所示第一實(shí)施例的懸臂件430的結(jié)構(gòu)相類(lèi)似，除了振動(dòng)傳感器515的連接臂515c和 懸臂舌片513的連接桿513c的結(jié)構(gòu)，以及負(fù)載部515b和第一舌片513b的形狀。參照?qǐng)D 6，在本實(shí)施中，振動(dòng)傳感器515的兩個(gè)連接臂515c關(guān)于所述負(fù)載部515b的沿振動(dòng)傳感器 515的長(zhǎng)度方向的中心線對(duì)稱(chēng)。相應(yīng)地，懸臂舌片513的兩個(gè)連接桿513c關(guān)于所述第一舌 片513b的沿懸臂舌片513的長(zhǎng)度方向的中心線對(duì)稱(chēng)。所述負(fù)載部515b和第一舌片513b 的形狀均為圓形。圖7展示了本發(fā)明第三實(shí)施例的懸臂件630。第三實(shí)施例的懸臂件530的結(jié)構(gòu)與 圖6所示第二實(shí)施例的懸臂件530的結(jié)構(gòu)相類(lèi)似，其不同點(diǎn)在于振動(dòng)傳感器615的連接臂 615c和懸臂舌片613的連接桿613c的結(jié)構(gòu)。如圖7所示，振動(dòng)傳感器615的兩個(gè)連接臂 615c關(guān)于所述負(fù)載部615b的沿振動(dòng)傳感器615寬度方向的中心線對(duì)稱(chēng)，并且基本上排列成
9一直線，該直線的方向與懸臂件630的長(zhǎng)度方向相同。相應(yīng)地，懸臂舌片613的兩個(gè)連接桿 613c關(guān)于所述第一舌片613b的沿懸臂舌片613寬度方向的中心線對(duì)稱(chēng)。圖8展示了本發(fā)明第四實(shí)施例的懸臂件730。第四實(shí)施例的懸臂件730的結(jié)構(gòu)與 圖7所示第三實(shí)施例的懸臂件630的結(jié)構(gòu)相類(lèi)似，其不同點(diǎn)在于振動(dòng)傳感器715的連接臂 715c和懸臂舌片713的連接桿713c的結(jié)構(gòu)。參照?qǐng)D8，在本實(shí)施例中，振動(dòng)傳感器715設(shè) 有四個(gè)連接臂715c，所述四個(gè)連接臂715c關(guān)于負(fù)載部715b的中心點(diǎn)對(duì)稱(chēng)。四條形成于所 述振動(dòng)傳感器715上的弧形狹槽715d將所述負(fù)載部715b界定為圓形。相應(yīng)地，所述懸臂 舌片713的四個(gè)連接桿713c關(guān)于第一舌片713b的中心點(diǎn)對(duì)稱(chēng)。形成在所述懸臂舌片713 上的狹槽713d將所述第一舌片713b界定為圓形。圖9展示了本發(fā)明第五實(shí)施例的懸臂件830。第五實(shí)施例的懸臂件830的結(jié)構(gòu)與 圖8所示第四實(shí)施例的懸臂件730的結(jié)構(gòu)相類(lèi)似，其不同點(diǎn)在于振動(dòng)傳感器815的負(fù)載部 815b和懸臂舌片813的第一舌片813b的形狀。參照?qǐng)D9，在本實(shí)施例中，振動(dòng)傳感器815的 四個(gè)連接臂815c關(guān)于負(fù)載部815b的中心點(diǎn)對(duì)稱(chēng)。四個(gè)L型狹槽815d形成在所述振動(dòng)傳 感器815的負(fù)載部815b四周，界定了所述負(fù)載部815b為方形。相應(yīng)地，所述懸臂舌片813 的四個(gè)連接桿813c關(guān)于第一舌片813b的中心點(diǎn)對(duì)稱(chēng)。形成于所述懸臂舌片813上的四個(gè) L型狹槽813d界定了所述第一舌片813b為方形。圖10展示了本發(fā)明第六實(shí)施例的懸臂件930。第六實(shí)施例的懸臂件930的結(jié)構(gòu) 與圖8所示第四實(shí)施例的懸臂件730的結(jié)構(gòu)相類(lèi)似，其不同點(diǎn)在于振動(dòng)傳感器915的負(fù)載 部915b和懸臂舌片913的第一舌片913b上分別成型有四個(gè)通孔916和917。參照?qǐng)D10， 在本實(shí)施例中，振動(dòng)傳感器915的四個(gè)連接臂915c關(guān)于負(fù)載部915b的中心點(diǎn)對(duì)稱(chēng)。所述 通孔916也關(guān)于所述負(fù)載部915b的中心點(diǎn)對(duì)稱(chēng)。相應(yīng)地，所述懸臂舌片913的四個(gè)連接桿 913c關(guān)于第一舌片913b的中心點(diǎn)對(duì)稱(chēng)。所述通孔917也關(guān)于所述第一舌片913b的中心點(diǎn) 對(duì)稱(chēng)。所述通孔916和917能進(jìn)一步降低懸臂件930的硬度，從而獲得更高度靈敏度以感 應(yīng)磁頭振動(dòng)。圖lla-llb展示了振動(dòng)傳感器415的工作過(guò)程。參照?qǐng)D1 la，當(dāng)懸臂件430遭遇沖 擊或震動(dòng)時(shí)，磁頭405將會(huì)靠著凸點(diǎn)(圖未示)沿其俯仰方向(X軸方向)運(yùn)動(dòng)。因?yàn)檎駝?dòng) 傳感器415上成型有狹槽415d，所述懸臂舌片413具有與其相對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)，這兩種結(jié)構(gòu)均為 低硬度結(jié)構(gòu)，所以包含有壓電材料且安裝在磁頭405下方的振動(dòng)傳感器415可以容易地感 應(yīng)磁頭405的運(yùn)動(dòng)，從而發(fā)生變形并產(chǎn)生一個(gè)有一定頻率的振動(dòng)信號(hào)。圖11c展示了該振 動(dòng)信號(hào)的信號(hào)波形。該信號(hào)通過(guò)導(dǎo)線406傳到磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元(圖未示)的印刷電路板組合 的集成芯片上，伺服系統(tǒng)將會(huì)在沖擊事件剛要發(fā)生之前檢測(cè)到所述振動(dòng)信號(hào)，并通過(guò)該振 動(dòng)信號(hào)控制磁頭的讀/寫(xiě)，例如，停止磁頭的讀寫(xiě)功能并將磁頭移至安全位置(?？吭谥?區(qū)域或斜坡結(jié)構(gòu)上)。因此，即使遭遇沖擊也能防止磁頭和/或磁盤(pán)的損壞。同樣地，如果 在磁頭運(yùn)行過(guò)程中只遭遇震動(dòng)，所述伺服系統(tǒng)能夠在其伺服閉環(huán)系統(tǒng)中進(jìn)行反饋并補(bǔ)償振 動(dòng)，磁頭405的位置將會(huì)得到調(diào)整以便獲得一個(gè)穩(wěn)定的飛行高度和動(dòng)態(tài)性能。參照?qǐng)D12a，在另一種情況下，當(dāng)沖擊或震動(dòng)沿Y方向加于懸臂件430上時(shí)，磁頭 405沿翻轉(zhuǎn)方向(Y軸方向)運(yùn)動(dòng)。如圖12b所示，在又一種情形中，當(dāng)沖擊或震動(dòng)沿Z方 向加于懸臂件430上時(shí)，磁頭405將上下(Z軸方向)運(yùn)動(dòng)。就振動(dòng)傳感器415而言，因?yàn)?其負(fù)載部415b通過(guò)兩個(gè)連接臂415c與基部415a相連，振動(dòng)傳感器415容易發(fā)生變形并產(chǎn)
10生具有一定頻率的振動(dòng)信號(hào)，該振動(dòng)信號(hào)通過(guò)導(dǎo)線406 (見(jiàn)圖5a)傳到磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元(圖未 示)的印刷電路板組合的集成芯片上，伺服系統(tǒng)將會(huì)在沖擊事件剛要發(fā)生之前檢測(cè)到所述 振動(dòng)信號(hào)，并通過(guò)該振動(dòng)信號(hào)控制磁頭的讀/寫(xiě)，例如，停止磁頭的的讀寫(xiě)功能并將磁頭移 至安全位置(停靠在著陸區(qū)域或斜坡結(jié)構(gòu)上)。因此，能在發(fā)生沖擊事件的情況下防止磁頭 和/或磁盤(pán)的損壞。同樣地，如果在磁頭運(yùn)行過(guò)程中只有震動(dòng)事件發(fā)生，所述伺服系統(tǒng)能夠 在其伺服閉環(huán)系統(tǒng)中進(jìn)行反饋并補(bǔ)償振動(dòng)，磁頭405的位置將會(huì)得到調(diào)整以便達(dá)到一個(gè)穩(wěn) 定的飛行高度和動(dòng)態(tài)性能。參照?qǐng)D13，本發(fā)明實(shí)施例的磁頭折片組合400包括懸臂件430和承載于所述懸臂 件430上的磁頭405。所述懸臂件430包括相互組裝在一起的振動(dòng)傳感器415、負(fù)載桿404、 基板401、樞接件402以及撓性件403。所述樞接件402上成型安裝孔402a，該安裝孔402a 用于將所述樞接件402組裝到所述基板401上。所述磁頭405安裝在所述撓性件403上。 所述振動(dòng)傳感器415安裝于所述磁頭405和所述懸臂舌片413之間。需要注意的是，所述懸臂件430可替換為上述實(shí)施例中描述的懸臂件530，630， 730，830和930中的任意一個(gè)。圖14為本發(fā)明的磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元的一個(gè)實(shí)施例100。所述磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元100包括磁 頭折片組合400，與所述磁頭折片組合400連接的驅(qū)動(dòng)臂500，一組旋轉(zhuǎn)磁盤(pán)200，驅(qū)動(dòng)所述 磁盤(pán)200旋轉(zhuǎn)的主軸馬達(dá)300，以上組件均安裝在殼體600內(nèi)。本發(fā)明磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元的具體 結(jié)構(gòu)和組裝過(guò)程均為本領(lǐng)域技術(shù)人員所熟知，在此不再詳述。圖15展示了本發(fā)明磁頭折片組合制造方法的一個(gè)實(shí)施例中的主要步驟。該制造 方法包括以下步驟11)提供一振動(dòng)傳感器和一懸臂件，所述懸臂件具有懸臂舌片，所述懸 臂舌片具有與所述振動(dòng)傳感器相對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)，所述振動(dòng)傳感器包括基部、形成于所述基部 內(nèi)的負(fù)載部以及至少兩個(gè)連接所述基部和所述負(fù)載部的連接臂；12)安裝所述振動(dòng)傳感器 至所述懸臂舌片上；13)提供一磁頭并安裝所述磁頭至所述振動(dòng)傳感器的負(fù)載部，所述振 動(dòng)傳感器夾設(shè)于所述磁頭和所述懸臂舌片之間。較佳地，安裝所述振動(dòng)傳感器至所述懸臂舌片上的步驟包括連接所述振動(dòng)傳感 器的負(fù)載部和所述懸臂舌片，如可通過(guò)環(huán)氧樹(shù)脂膠進(jìn)行粘合；以及電連接所述振動(dòng)傳感器 和所述懸臂件。所述磁頭折片組合的制造方法同樣適用于上述其他實(shí)施例中磁頭折片組合的制造。以上結(jié)合最佳實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了描述，但本發(fā)明并不局限于以上揭示的實(shí)施 例，而應(yīng)當(dāng)涵蓋各種根據(jù)本發(fā)明的本質(zhì)進(jìn)行的修改、等效組合。
權(quán)利要求
一種用于磁頭的振動(dòng)傳感器，其特征在于，包括基部；負(fù)載部，用于支撐安裝其上的磁頭，所述負(fù)載部形成于所述基部?jī)?nèi)；以及至少兩連接臂，所述連接臂連接所述基部和所述負(fù)載部。
2.如權(quán)利要求1所述的振動(dòng)傳感器，其特征在于所述連接臂關(guān)于所述負(fù)載部的中心 點(diǎn)對(duì)稱(chēng)。
3.如權(quán)利要求1所述的振動(dòng)傳感器，其特征在于所述負(fù)載部上形成有復(fù)數(shù)個(gè)通孔。
4.如權(quán)利要求3所述的振動(dòng)傳感器，其特征在于所述通孔關(guān)于所述負(fù)載部的中心點(diǎn) 對(duì)稱(chēng)分布。
5.如權(quán)利要求1所述的振動(dòng)傳感器，其特征在于所述負(fù)載部為橢圓形、方形或圓形。
6.如權(quán)利要求1所述的振動(dòng)傳感器，其特征在于所述振動(dòng)傳感器包括上電極層、下電 極層以及夾設(shè)于所述上電極層和所述下電極層之間的壓電層。
7.一種用于磁頭折片組合的懸臂件，其特征在于，包括撓性件，所述撓性件具有懸臂舌片，所述懸臂舌片用于支撐磁頭折片組合的磁頭；以及 振動(dòng)傳感器，所述振動(dòng)傳感器安裝在所述懸臂舌片上并夾設(shè)于所述懸臂舌片與所述磁 頭之間。
8.如權(quán)利要求7所述的懸臂件，其特征在于所述振動(dòng)傳感器包括基部、形成于所述基 部?jī)?nèi)的用于支撐安裝于其上的磁頭的負(fù)載部，和至少兩連接所述基部和所述負(fù)載部的連接 臂；所述懸臂舌片具有與所述振動(dòng)傳感器相對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)。
9.如權(quán)利要求8所述的懸臂件，其特征在于所述基部上形成至少兩電連接觸點(diǎn)，所述 懸臂舌片包括與所述基部連接的第一舌片；第二舌片，所述第二舌片上設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)觸點(diǎn)，所述觸點(diǎn)與所述磁頭及所述基部的電連 接觸點(diǎn)形成電性連接；以及連接所述第一舌片和所述第二舌片的至少兩連接桿。
10.如權(quán)利要求8所述的懸臂件，其特征在于所述連接臂關(guān)于所述負(fù)載部的中心點(diǎn)對(duì)稱(chēng)。
11.如權(quán)利要求8所述的懸臂件，其特征在于所述負(fù)載部上形成有復(fù)數(shù)個(gè)通孔。
12.如權(quán)利要求11所述的懸臂件，其特征在于所述通孔關(guān)于所述負(fù)載部的中心點(diǎn)對(duì) 稱(chēng)分布。
13.如權(quán)利要求8所述的懸臂件，其特征在于所述負(fù)載部為橢圓形、方形或圓形。
14.如權(quán)利要求8所述的懸臂件，其特征在于所述振動(dòng)傳感器包括上電極層、下電極 層以及夾于所述上電極層和所述下電極層之間的壓電層。
15.如權(quán)利要求8所述的懸臂件，其特征在于所述振動(dòng)傳感器與所述懸臂舌片一體成型。
16.一種磁頭折片組合，其特征在于，包括 磁頭；懸臂件，所述懸臂件包括撓性件，所述撓性件具有懸臂舌片，所述懸臂舌片用于支撐磁頭折片組合的磁頭的，以及振動(dòng)傳感器，所述振動(dòng)傳感器安裝在所述懸臂舌片上并夾設(shè)于所述懸臂舌片與所述磁 頭之間。
17.如權(quán)利要求16所述的磁頭折片組合，其特征在于所述振動(dòng)傳感器包括基部、形成 于所述基部?jī)?nèi)的用于支撐安裝于其上的磁頭的負(fù)載部，和至少兩連接所述基部和所述負(fù)載 部的連接臂；所述懸臂舌片具有與所述振動(dòng)傳感器相對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)。
18.如權(quán)利要求17所述的磁頭折片組合，其特征在于所述基部上形成至少兩電連接 觸點(diǎn)，所述懸臂舌片包括與所述基部連接的第一舌片； 第二舌片，所述第二舌片上設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)觸點(diǎn)，所述觸點(diǎn)與所述磁頭及所述基部的電連 接觸點(diǎn)形成電性連接；以及連接所述第一舌片和所述第二舌片的至少兩連接桿。
19.如權(quán)利要求18所述的磁頭折片組合，其特征在于所述連接臂關(guān)于所述負(fù)載部的 中心點(diǎn)對(duì)稱(chēng)。
20.如權(quán)利要求17所述的懸臂件，其特征在于所述負(fù)載部上形成有復(fù)數(shù)個(gè)通孔。
21.如權(quán)利要求17所述的懸臂件，其特征在于所述通孔關(guān)于所述負(fù)載部的中心點(diǎn)對(duì) 稱(chēng)分布。
22.如權(quán)利要求17所述的懸臂件，其特征在于所述負(fù)載部為橢圓形、方形或圓形。
23.一種磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元，其特征在于，包括磁頭折片組合，所述磁頭折片組合包括磁頭和懸臂件，所述懸臂件具有用于支撐所述 磁頭的懸臂舌片；與所述磁頭折片組合連接的驅(qū)動(dòng)臂； 磁盤(pán)；以及驅(qū)動(dòng)所述磁盤(pán)旋轉(zhuǎn)的主軸馬達(dá)；其特征在于所述磁頭折片組合還包括振動(dòng)傳感器，所述振動(dòng)傳感器安裝在所述懸臂 舌片上并夾設(shè)于所述磁頭和所述懸臂舌片之間。
24.如權(quán)利要求23所述的磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元，其特征在于所述振動(dòng)傳感器包括基部；負(fù)載部，用于支撐安裝其上的磁頭，所述負(fù)載部形成于所述基部?jī)?nèi)；以及 至少兩連接臂，所述連接臂連接所述基部和所述負(fù)載部；并且 所述懸臂舌片具有與所述振動(dòng)傳感器相對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)。
25.如權(quán)利要求24所述的磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元，其特征在于所述基部上形成至少兩電連接 觸點(diǎn)，所述懸臂舌片包括與所述基部連接的第一舌片；第二舌片，所述第二舌片上設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)觸點(diǎn)，所述觸點(diǎn)與所述磁頭及所述基部的電連 接觸點(diǎn)形成電性連接；以及連接所述第一舌片和所述第二舌片的至少兩連接桿。
26.一種磁頭折片組合的制造方法，其特征在于，包括提供振動(dòng)傳感器和懸臂件，所述懸臂件具有懸臂舌片，所述懸臂舌片具有與所述振動(dòng) 傳感器相對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)，所述振動(dòng)傳感器包括基部、形成于所述基部?jī)?nèi)的負(fù)載部，以及至少兩 連接所述基部和所述負(fù)載部的連接臂；安裝所述振動(dòng)傳感器至所述懸臂舌片上；以及提供一磁頭并安裝所述磁頭至所述振動(dòng)傳感器的負(fù)載部，所述振動(dòng)傳感器夾設(shè)于所述 磁頭和所述懸臂舌片之間。
27.如權(quán)利要求26所述的方法，其特征在于安裝所述振動(dòng)傳感器的步驟包括 連接所述負(fù)載部至所述懸臂舌片上；以及電連接所述振動(dòng)傳感器和所述懸臂件。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種用于磁頭的振動(dòng)傳感器，該振動(dòng)傳感器包括基部、形成于所述基部?jī)?nèi)的用于支撐安裝其上的磁頭的負(fù)載部以及至少兩連接所述基部和所述負(fù)載部的連接臂。本發(fā)明振動(dòng)傳感器可靈敏地感應(yīng)磁頭的振動(dòng)，從而保持磁頭的飛行高度，提高磁頭性能。本發(fā)明同時(shí)揭露了具有該振動(dòng)傳感器的懸臂件、磁頭折片組合及其制造方法，以及磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元。
文檔編號(hào)G11B19/02GK101865725SQ20091013419
公開(kāi)日2010年10月20日 申請(qǐng)日期2009年4月14日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月14日
發(fā)明者姚明高, 謝貽如, 郭林 申請(qǐng)人:新科實(shí)業(yè)有限公司