專(zhuān)利名稱：制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)及生產(chǎn)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光盤(pán)生產(chǎn)系統(tǒng)及生產(chǎn)方法，尤其涉及一種用于制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)及使用該生產(chǎn)系統(tǒng)制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)方法。
背景技術(shù)：
隨著人們生活水平的不斷提高，消費(fèi)觀點(diǎn)的不斷發(fā)展，更多高清晰電影出現(xiàn)，高 清電視(High Definition TV，簡(jiǎn)稱HDTV)必將在全世界普及，由于數(shù)字衛(wèi)星廣播中HDTV 的數(shù)據(jù)傳輸速率(Data Transfer Rate，簡(jiǎn)稱DTR)至少為23Mbps，是目前數(shù)字視頻光盤(pán) (Digital Video Disc，簡(jiǎn)稱DVD)速率的兩倍多，所以如果要儲(chǔ)存超過(guò)兩小時(shí)HDTV等級(jí)的 高畫(huà)質(zhì)影音節(jié)目(業(yè)界的標(biāo)準(zhǔn)是133分鐘)，記錄光盤(pán)的可用容量必須超過(guò)20GB以上，因此 人們對(duì)光盤(pán)存儲(chǔ)的容量要求越來(lái)越高。藍(lán)光光盤(pán)(Blu-ray Disc，縮寫(xiě)為BD)是一種超大容量的光盤(pán)存儲(chǔ)技術(shù)，藍(lán)光光盤(pán) 利用波長(zhǎng)為450nm的藍(lán)色激光讀取和寫(xiě)入數(shù)據(jù)，而傳統(tǒng)的DVD利用波長(zhǎng)為650nm的紅色激 光，通常來(lái)說(shuō)波長(zhǎng)越短的激光，能夠在單位面積上記錄或讀取的信息更多，因此藍(lán)光技術(shù)極 大的提高了光盤(pán)的存儲(chǔ)容量，藍(lán)光光盤(pán)擁有5倍于現(xiàn)有DVD光盤(pán)規(guī)格的存儲(chǔ)能力，不但可應(yīng) 用于錄制、擦寫(xiě)或播放高清影像，同時(shí)也可用于存儲(chǔ)容量更巨大的數(shù)字內(nèi)容，因此藍(lán)光存儲(chǔ) 技術(shù)是下一代光存儲(chǔ)技術(shù)的主流技術(shù)之一。從格式上看，藍(lán)光光盤(pán)(BD)分為預(yù)錄式和錄式，錄式包括一次寫(xiě)入式和可擦寫(xiě) 式，隨著人們自主存儲(chǔ)意識(shí)的不斷增強(qiáng)，錄式藍(lán)光光盤(pán)受到越來(lái)越多的關(guān)注，而人們對(duì)藍(lán)光 光盤(pán)的刻錄性能也提出越來(lái)越高的要求，所謂藍(lán)光光盤(pán)刻錄是指重復(fù)記錄的藍(lán)光光盤(pán)格 式；在結(jié)構(gòu)上，藍(lán)光光盤(pán)最基本的結(jié)構(gòu)一般包括基板、反射層、記錄層及保護(hù)層；對(duì)錄式藍(lán) 光光盤(pán)來(lái)說(shuō)，其記錄層的材料主要有兩種，一種是和DVD-R類(lèi)似的染料，另一種是相變材 料，相變材料通過(guò)激光使記錄材料在結(jié)晶態(tài)和非結(jié)晶態(tài)之間的可逆相變結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)信息的 記錄和擦除，在寫(xiě)數(shù)據(jù)時(shí)，聚焦激光束加熱記錄材料的目的是改變相變材料晶體狀態(tài)，用結(jié) 晶狀態(tài)和非結(jié)晶狀態(tài)來(lái)區(qū)分0和1 ；讀數(shù)據(jù)時(shí)，利用結(jié)晶狀態(tài)和非結(jié)晶狀態(tài)具有不同反射率 這個(gè)特性來(lái)檢測(cè)0和1信號(hào)。因?yàn)樗{(lán)光光盤(pán)具有更高的存儲(chǔ)密度，更小的記錄點(diǎn)，由此在相 同的盤(pán)片轉(zhuǎn)速下具有更高的記錄速度，因此對(duì)記錄層材料的要求非常嚴(yán)格，它必須具有更 快相變速度，適當(dāng)?shù)南嘧儨囟?，良好的穩(wěn)定性，因此，對(duì)用于制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)， 也必須具備較高的精度和要求。由于藍(lán)光光盤(pán)在結(jié)構(gòu)上徹底脫離了 DVD光盤(pán)“0. 6mm+0. 6mm”設(shè)計(jì)，采用了全新的 “1. Imm基板+0. Imm保護(hù)層”結(jié)構(gòu)，借助一層經(jīng)特殊設(shè)計(jì)的超薄型可透光的0. Imm保護(hù)層結(jié) 構(gòu)，克服了 DVD光盤(pán)在數(shù)據(jù)讀取時(shí)因雙折射而無(wú)法讀取數(shù)據(jù)的問(wèn)題，同時(shí)，還大幅度降低激 光照射角度偏離90°正常狀態(tài)下的相差問(wèn)題，進(jìn)而有效解決DVD在使用0.6mm厚透光基板 時(shí)一直困擾的數(shù)據(jù)再生錯(cuò)誤問(wèn)題；而在制造BD時(shí)，要求先注塑出1. Imm厚的基板，然后在基 板上覆蓋一層透光的0. Imm保護(hù)層，得到完整的BD光盤(pán)，目前大部分工藝都是采取預(yù)先制 備好0. Imm保護(hù)層，然后貼到1. Imm基板上的方法來(lái)制作BD光盤(pán)，這種方法雖然可以保證0. Imm保護(hù)層的均勻一致，但需要采用專(zhuān)門(mén)的0. Imm保護(hù)層生產(chǎn)設(shè)備，離線粘合等，因此提 高了藍(lán)光光盤(pán)的生產(chǎn)成本；另外，由于藍(lán)光光盤(pán)采用了更短的波長(zhǎng)(450nm)和更大的數(shù)值 孔徑，因此其對(duì)平直度的要求很高，激光讀取平面的垂直方向精度要求控制在士2um的范 圍內(nèi)，所以藍(lán)光光盤(pán)對(duì)于保護(hù)層的均勻性和厚度精度的要求相當(dāng)嚴(yán)格，為了滿足這個(gè)厚度 公差，需要實(shí)現(xiàn)更強(qiáng)的光盤(pán)制造精確性，但是，這會(huì)引起當(dāng)前給定制造條件下產(chǎn)量的降低， 由此造成光盤(pán)制造成本的顯著增加。 因此，急需一種能提高藍(lán)光刻錄光盤(pán)生產(chǎn)效率同時(shí)保證質(zhì)量且生產(chǎn)成本低的制造 藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種能提高藍(lán)光刻錄光盤(pán)生產(chǎn)效率同時(shí)保證質(zhì)量且生產(chǎn) 成本低的制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)。本發(fā)明的另一目的在于提供一種制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)方法，使用該生產(chǎn)方法 在提高藍(lán)光刻錄光盤(pán)生產(chǎn)效率的同時(shí)還能保證質(zhì)量并且降低生產(chǎn)成本。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為提供一種制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)， 其包括傳輸帶、第一濺鍍站、第二濺鍍站、染料涂布機(jī)構(gòu)、旋涂固化機(jī)構(gòu)、清邊機(jī)構(gòu)及檢測(cè)機(jī) 構(gòu)，所述第一濺鍍站用于濺鍍金屬反射層，所述第二濺鍍站用于濺鍍緩沖層，所述染料涂布 機(jī)構(gòu)用于旋涂染料層并進(jìn)行檢測(cè)和烘干，所述旋涂固化機(jī)構(gòu)用于旋涂保護(hù)層并進(jìn)行固化， 所述清邊機(jī)構(gòu)用于清理基片周邊有效區(qū)域外的形成物，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)用于檢測(cè)質(zhì)量；所述 清邊機(jī)構(gòu)包括第一清邊機(jī)構(gòu)及第二清邊機(jī)構(gòu)；所述第一濺鍍站與所述第二濺鍍站之間設(shè) 置有所述染料涂布機(jī)構(gòu)，所述第二濺鍍站與所述旋涂固化機(jī)構(gòu)之間設(shè)置有所述第一清邊機(jī) 構(gòu)，所述旋涂固化機(jī)構(gòu)與所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)連接，其中，所述染料涂布機(jī)構(gòu)包括第一染料碗、掃 描儀及烘烤箱，所述第一染料碗具有下料手，所述第一染料碗通過(guò)傳輸帶與所述第一濺鍍 站連接，所述掃描儀連接于所述第一染料碗與所述烘烤箱之間，所述烘烤箱與所述第二濺 鍍站連接；所述旋涂固化機(jī)構(gòu)包括第一旋涂固化機(jī)構(gòu)、第二旋涂固化機(jī)構(gòu)及第三旋涂固化 機(jī)構(gòu)，所述第一旋涂固化機(jī)構(gòu)與所述第一清邊機(jī)構(gòu)連接，所述第三旋涂固化機(jī)構(gòu)與所述檢 測(cè)機(jī)構(gòu)連接元，所述第一旋涂固化機(jī)構(gòu)包括并列設(shè)置的第一旋涂碗及第一固化單元，所述 第二旋涂固化機(jī)構(gòu)包括并列設(shè)置的第二旋涂碗及第二固化單元，所述第三旋涂固化機(jī)構(gòu)包 括并列設(shè)置的第三旋涂碗及第三固化單，所述第一旋涂碗、第二旋涂碗及第三旋涂碗均具 有下料手；所述第二清邊機(jī)構(gòu)連接于所述第一旋涂固化機(jī)構(gòu)與所述第二旋涂固化機(jī)構(gòu)之 間。較佳地，所述染料涂布機(jī)構(gòu)還包括與所述第一染料碗并排的且具有下料手的第二 染料碗，所述第一染料碗與第二染料碗通過(guò)呈“V”型的第一機(jī)械手與所述傳輸帶連接；更 具體地，所述染料涂布機(jī)構(gòu)還包括并排的且具有下料手的第三染料碗及第四染料碗，所述 第三染料碗及第四染料碗與所述第一染料碗及第二染料碗對(duì)稱設(shè)置并通過(guò)呈“V”型的第二 機(jī)械手與所述傳輸帶連接；四個(gè)染料碗對(duì)稱的排布于傳輸帶的兩邊，節(jié)約生產(chǎn)系統(tǒng)的空間， 使布局緊湊，同時(shí)在對(duì)基片下染料時(shí)減少基片之間的等待時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。較佳地，所述第一旋涂固化機(jī)構(gòu)還包括并列設(shè)置的第四旋涂碗及第四固化單元， 所述第四旋涂碗具有下料手，所述第四旋涂碗及第四固化單元與所述第一旋涂碗及第一固化單元對(duì)稱設(shè)置且四者之間通過(guò)具有三個(gè)機(jī)械臂的第四機(jī)械手連接；節(jié)約空間、布局緊湊 的同時(shí)，便于機(jī)械手傳遞并節(jié)約傳送時(shí)間，兩旋涂碗同時(shí)進(jìn)行旋涂，旋涂完成后兩固化單元 同時(shí)進(jìn)行固化可縮短兩基片之間的等待時(shí)間，縮短第一旋涂固化機(jī)構(gòu)的周期。較佳地，所述第二旋涂固化機(jī)構(gòu)還包括并列設(shè)置的第五旋涂碗及第五固化單元， 所述第五旋涂碗具有下料手，所述第五旋涂碗及第五固化單元與所述第二旋涂碗及第二固 化單元對(duì)稱設(shè)置且四者之間通過(guò)具有三個(gè)機(jī)械臂的第五機(jī)械手連接；連接簡(jiǎn)單，便于機(jī)械 手傳遞并節(jié)約傳送時(shí)間，同時(shí)可縮短兩基片之間的等待時(shí)間，使生產(chǎn)效率提高。較佳地，所述第三旋涂固化機(jī)構(gòu)還包括與所述第三旋涂碗對(duì)稱設(shè)置且具有下膠手 的第六旋涂碗，所述第三旋涂碗、第三固化單元及第六旋涂碗之間通過(guò)具有三個(gè)機(jī)械臂的 第六機(jī)械手連接；更具體地，第三旋涂固化機(jī)構(gòu)與檢測(cè)機(jī)構(gòu)之間還設(shè)置有第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)，所 述第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)連接于所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)和對(duì)稱設(shè)置的第三旋涂碗及第六旋涂碗之間，所述第 三旋涂碗、第六旋涂碗及所述第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)通過(guò)所述第六機(jī)械手連接，所述第三固化單元 連接于所述第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)上；利用第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)來(lái)連接，使連接簡(jiǎn)便，大大節(jié)省空間，同時(shí) 節(jié)省傳遞時(shí)間。較佳地，本發(fā)明制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)還包括第一暫存轉(zhuǎn)盤(pán)及第二暫存 轉(zhuǎn)盤(pán)，所述第一暫存轉(zhuǎn)盤(pán)連接于所述第二清邊機(jī)構(gòu)與所述第二旋涂固化機(jī)構(gòu)之間，所述第 二暫存轉(zhuǎn)盤(pán)連接于所述第二旋涂固化機(jī)構(gòu)與所述第三旋涂固化機(jī)構(gòu)之間，所述第一暫存轉(zhuǎn) 盤(pán)、第二旋涂固化機(jī)構(gòu)及第二暫存轉(zhuǎn)盤(pán)之間通過(guò)所述第五機(jī)械手連接，所述第二暫存轉(zhuǎn)盤(pán) 與第三旋涂固化機(jī)構(gòu)之間通過(guò)第六機(jī)械手連接；暫存轉(zhuǎn)盤(pán)可對(duì)盤(pán)片進(jìn)行暫存，也可以人為 的添加盤(pán)片以滿足生產(chǎn)需要，使生產(chǎn)系統(tǒng)的靈活性大大提高，同時(shí)暫存轉(zhuǎn)盤(pán)使各旋涂固化 機(jī)構(gòu)之間的連接簡(jiǎn)單，基片傳遞簡(jiǎn)單。較佳地，所述第一清邊機(jī)構(gòu)包括相互對(duì)稱設(shè)置的第一洗邊碗及第二洗邊碗，所述 第一洗邊碗與第二洗邊碗通過(guò)呈直角的第三機(jī)械手連接于所述第二濺鍍站與所述第一旋 涂固化機(jī)構(gòu)之間；兩清邊碗同時(shí)進(jìn)行清邊處理，提高了本單元的處理速度且不影響整個(gè)生 產(chǎn)周期，而兩清邊碗對(duì)稱布置，布局緊湊的同時(shí)減少各機(jī)構(gòu)之間的連接部件。較佳地，本發(fā)明制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)還包括用于翻轉(zhuǎn)碟片的翻碟機(jī)構(gòu)， 所述翻碟機(jī)構(gòu)與所述第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)連接，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)與所述翻碟機(jī)構(gòu)連接。較佳地，本發(fā)明制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)還包括用于濺鍍防水層的第三濺鍍 站，所述第三濺鍍站、檢測(cè)機(jī)構(gòu)、翻碟機(jī)構(gòu)及第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)通過(guò)具有四個(gè)機(jī)械臂的第七機(jī)械 手連接，所述第七機(jī)械手的四個(gè)機(jī)械臂分別對(duì)應(yīng)第三濺鍍站、檢測(cè)機(jī)構(gòu)、翻碟機(jī)構(gòu)及第三暫 存轉(zhuǎn)盤(pán)，使四者之間連接簡(jiǎn)單，布局緊湊。較佳地，本發(fā)明制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)還包括與所述第二濺鍍站對(duì)稱設(shè)置 的第四濺鍍站；第二濺鍍站、第四濺鍍站對(duì)稱設(shè)置，可同時(shí)對(duì)盤(pán)片進(jìn)行濺鍍，加快生產(chǎn)速度。本發(fā)明提供的制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)方法，包括如下步驟(1)注塑成型基片 并將所述基片接取至傳輸帶上，傳輸所述基片的同時(shí)對(duì)所述基片冷卻；(2)在所述第一濺 鍍站中對(duì)經(jīng)冷卻的所述基片濺鍍形成金屬反射層；(3)將濺鍍有金屬反射層的基片傳送至 染料涂布機(jī)構(gòu)，旋涂形成染料層并對(duì)染料層進(jìn)行檢測(cè)和烘干；(4)將旋涂有染料層的基片 傳送至第二濺鍍站，濺鍍形成緩沖層；(5)將濺鍍有緩沖層的基片傳送至第一清邊機(jī)構(gòu)，清 理基片有效區(qū)域外的形成物；(6)將經(jīng)第一清洗機(jī)構(gòu)清理后的基片傳輸至第一旋涂固化機(jī)構(gòu)，旋涂形成軟保護(hù)層并對(duì)軟保護(hù)層進(jìn)行固化；(7)將旋涂有保護(hù)層的基片傳送至第二清 邊機(jī)構(gòu)，清理基片有效區(qū)域外的形成物；(8)將經(jīng)第二清邊機(jī)構(gòu)清理后的基片傳輸至第二 旋涂固化機(jī)構(gòu)，旋涂形成覆蓋層并對(duì)覆蓋層進(jìn)行固化；(9)將旋涂有覆蓋層的基片傳輸至 第三旋涂固化機(jī)構(gòu)，旋涂形成硬保護(hù)層并對(duì)硬保護(hù)層進(jìn)行固化；(10)將旋涂有硬保護(hù)層的 基片傳輸至檢測(cè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)完成后分級(jí)存放。較佳地，所述步驟(3)包括如下步驟(31)將濺鍍有金屬反射層的基片，通過(guò)呈 “V”型的第一機(jī)械手放置于相同的第一染料碗、第二染料碗、第三染料碗及第四染料碗內(nèi)； (32)第一染料碗、第二染料碗、第三染料碗及第四染料碗的下料手分別對(duì)所述染料碗內(nèi)的 基片旋涂染料，形成染料層；(33)將旋涂有染料層的基片傳送到掃描儀并對(duì)所述染料層進(jìn) 行檢測(cè)，將合格基片與不合格基片分別存放；(34)將經(jīng)檢測(cè)合格后的基片傳送到烘烤箱對(duì) 染料層進(jìn)行烘干。較佳地，所述步驟(6)包括如下步驟(61)將經(jīng)第一清洗機(jī)構(gòu)清理后的基片，通 過(guò)第四機(jī)械手放置于相同且對(duì)稱設(shè)置的第一旋涂碗及第四旋涂碗內(nèi)；(62)第一旋涂碗及 第四旋涂碗的下料手分別對(duì)所述旋涂碗內(nèi)的基片旋涂，形成軟保護(hù)層；(63)將旋涂有軟保 護(hù)層的基片經(jīng)第四機(jī)械手放置于相同且對(duì)稱設(shè)置的第一固化單元及第四固化單元內(nèi)；(64) 所述第一固化單元及所述第二固化單元分別對(duì)所述基片的軟保護(hù)層進(jìn)行固化。較佳地，所述步驟(8)包括如下步驟(81)將經(jīng)第二清邊機(jī)構(gòu)清理后的的基片，通 過(guò)第五機(jī)械手放置于相同且對(duì)稱設(shè)置的第二旋涂碗及第五旋涂碗內(nèi)；(82)第二旋涂碗及 第五旋涂碗的下料手分別對(duì)所述旋涂碗內(nèi)的基片旋涂，形成覆蓋層；(83)將旋涂有覆蓋層 的基片經(jīng)第五機(jī)械手放置于相同且對(duì)稱設(shè)置的第二固化單元及第五固化單元內(nèi)；(84)所 述第二固化單元及所述第五固化單元分別對(duì)所述基片的覆蓋層進(jìn)行固化。較佳地，所述步驟(9)包括如下步驟(91)將旋涂有覆蓋層的基片，通過(guò)第六機(jī)械 手放置于相同且對(duì)稱設(shè)置的第三旋涂碗及第六旋涂碗內(nèi)；(92)第三旋涂碗及第六旋涂碗 的下料手分別對(duì)所述旋涂碗內(nèi)的基片旋涂，形成硬保護(hù)層；(93)將旋涂有硬保護(hù)層的基片 經(jīng)第六機(jī)械手放置于第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)上；(94)第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)將旋涂有硬保護(hù)層的基片傳送 到第三固化單元；(95)第三固化單元對(duì)所述基片的硬保護(hù)層進(jìn)行固化。較佳地，本發(fā)明制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)方法的所述步驟(10)之后進(jìn)一步包括 將所述檢測(cè)合格的基片傳送至第三濺鍍站中濺鍍一層防水層的步驟。與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本發(fā)明制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)包括傳輸帶、第一濺 鍍站、第二濺鍍站、染料涂布機(jī)構(gòu)、旋涂固化機(jī)構(gòu)、清邊機(jī)構(gòu)及檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述第一濺鍍站用 于濺鍍金屬反射層，所述第二濺鍍站用于濺鍍緩沖層，所述染料涂布機(jī)構(gòu)用于旋涂染料并 進(jìn)行檢測(cè)和烘干，所述旋涂固化機(jī)構(gòu)用于旋涂保護(hù)層并進(jìn)行固化，所述清邊機(jī)構(gòu)用于清洗 基片周邊多余的材料，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)用于檢測(cè)質(zhì)量；所述清邊機(jī)構(gòu)包括第一清邊機(jī)構(gòu)及第 二清邊機(jī)構(gòu)；所述第一濺鍍站與所述第二濺鍍站之間設(shè)置有所述染料涂布機(jī)構(gòu)，所述第二 濺鍍站與所述旋涂固化機(jī)構(gòu)之間設(shè)置有所述第一清邊機(jī)構(gòu)，所述旋涂固化機(jī)構(gòu)與所述檢測(cè) 機(jī)構(gòu)連接；本發(fā)明制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)時(shí)，采用高精度的旋涂 工藝形成保護(hù)層，并采用紫外光固化保護(hù)層，使保護(hù)層維持原有透光率的同時(shí)，提高保護(hù)層 的硬度，使藍(lán)光刻錄光盤(pán)的耐損抗污性能提高；采用旋涂形成保護(hù)層，使記錄層與讀取裝置 的物鏡更接近，因此對(duì)傾斜角的容差較大，克服盤(pán)片傾斜問(wèn)題，從而減少了盤(pán)片在轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中由于傾斜而造成的讀寫(xiě)失常，使數(shù)據(jù)讀寫(xiě)更加容易，保證藍(lán)光刻錄光盤(pán)的質(zhì)量，由于本發(fā)明制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)工藝簡(jiǎn)單，因此提高藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)效率，降低藍(lán)光 刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)成本。


圖1是本發(fā)明制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1中A部分的放大示意圖。圖3是圖1中B部分的放大示意圖。圖4是圖1中C部分的放大示意圖。圖5是本發(fā)明制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)方法的流程圖。圖6是圖5中步驟步驟(S003)的子流程圖。圖7是圖5中步驟步驟(S006)的子流程圖。圖8是圖5中步驟步驟(S008)的子流程圖。圖9是圖5中步驟步驟(S009)的子流程圖。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在參考附圖描述本發(fā)明的實(shí)施例，附圖中類(lèi)似的元件標(biāo)號(hào)代表類(lèi)似的元件。如圖1所示，本發(fā)明制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)100與用于注塑基片的注塑機(jī) 10連接，其包括傳輸帶11、第一濺鍍站121、第二濺鍍站122、染料涂布機(jī)構(gòu)13、旋涂固化機(jī) 構(gòu)15、清邊機(jī)構(gòu)14及檢測(cè)機(jī)構(gòu)17，第一濺鍍站121用于濺鍍金屬反射層，第二濺鍍站122 用于濺鍍緩沖層，染料涂布機(jī)構(gòu)13用于旋涂染料并進(jìn)行檢測(cè)和烘干，旋涂固化機(jī)構(gòu)15用于 旋涂保護(hù)層并進(jìn)行固化，清邊機(jī)構(gòu)14用于清洗基片周邊多余的材料，檢測(cè)機(jī)構(gòu)17用于檢測(cè) 質(zhì)量；清邊機(jī)構(gòu)14包括第一清邊機(jī)構(gòu)141及第二清邊機(jī)構(gòu)142 ；第一濺鍍站121通過(guò)傳輸 帶與注塑機(jī)10連接，第一濺鍍站121與第二濺鍍站122之間設(shè)置有染料涂布機(jī)構(gòu)13，第二 濺鍍站122與旋涂固化機(jī)構(gòu)15之間設(shè)置有第一清邊機(jī)構(gòu)141，旋涂固化機(jī)構(gòu)15與檢測(cè)機(jī) 構(gòu)17連接，其中，染料涂布機(jī)構(gòu)13包括第一染料碗131、掃描儀135及烘烤箱136，第一染 料碗131具有下料手，第一染料碗131與第一濺鍍站121連接，掃描儀135連接于第一染料 碗131與烘烤箱136之間，烘烤箱136與第二濺鍍站122連接；旋涂固化機(jī)構(gòu)15包括第一 旋涂固化機(jī)構(gòu)151、第二旋涂固化機(jī)構(gòu)152及第三旋涂固化機(jī)構(gòu)153，第一旋涂固化機(jī)構(gòu)151 與第一清邊機(jī)構(gòu)141連接，第三旋涂固化機(jī)構(gòu)153與檢測(cè)機(jī)構(gòu)17連接元，第一旋涂固化機(jī) 構(gòu)151包括并列設(shè)置的第一旋涂碗151a及第一固化單元151b，第二旋涂固化機(jī)構(gòu)152包括 并列設(shè)置的第二旋涂碗152a及第二固化單元152b，第三旋涂固化機(jī)構(gòu)153包括并列設(shè)置 的第三旋涂碗153a及第三固化單153c，第一旋涂碗151a、第二旋涂碗152a及第三旋涂碗 153a均具有下料手；第二清邊機(jī)構(gòu)142連接于第一旋涂固化機(jī)構(gòu)151與第二旋涂固化機(jī)構(gòu) 152之間。如圖1、圖2所示，本發(fā)明制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)100具有相互平行設(shè)置的 第一冷卻傳輸帶111和第二冷卻傳輸帶112，第一冷卻傳輸帶111與注塑機(jī)10連接，兩冷卻 傳輸帶111、112之間設(shè)置有第一存放軸201，第一濺鍍站121設(shè)置于兩冷卻傳輸帶111、112 的端點(diǎn)處，第一冷卻傳輸帶111與第一存放軸201之間通過(guò)第一單臂手211連接，第一存放軸201與第一濺鍍站121之間通過(guò)第二單臂手212連接，第一濺鍍站121與第二冷卻傳輸帶112之間通過(guò)第三單臂手213連接；第三傳輸帶113包括傳輸帶113a、傳輸帶113b及傳 輸帶113c，傳輸帶113a、傳輸帶113b相互平行且與第二冷卻傳輸帶112垂直，三者之間通 過(guò)第四單臂手214連接，傳輸帶113a、傳輸帶113b與傳輸帶113c之間通過(guò)第五單臂手215 連接；相同的第一下料碗131與第二下料碗132并列設(shè)置于傳輸帶113a —邊，并通過(guò)呈“V” 型的第一機(jī)械手191連接于傳輸帶113a上，相同的第三下料碗133與第四下料碗134并列 設(shè)置于傳輸帶113b —邊，并通過(guò)呈“V”型的第二機(jī)械手192連接于傳輸帶113b上，四個(gè)下 料碗均具有下料手；傳輸帶113c另一端與掃描儀135及第一碟片存放柜221連接，且傳輸 帶113c、掃描儀135及第一碟片存放柜221三者通過(guò)雙臂機(jī)械手連接，第一碟片存放柜221 另一端通過(guò)第六單臂手216與烘烤箱136的一端連接，烘烤箱136的另一端通過(guò)第七單臂 手217與第二碟片存放柜222連接。如圖1、圖3所示，第二碟片存放柜222與第三碟片存放柜223之間設(shè)置有第二濺 鍍站122及第四濺鍍站124，第三碟片存放柜223與第四碟片存放柜224之間設(shè)置有第一 清邊機(jī)構(gòu)141 ；具體地，第二濺鍍站122與第四濺鍍站124對(duì)稱設(shè)置，兩濺鍍站之間還設(shè)置 有第二存放軸202和第三存放軸203，且四者位于同一直線上，第二濺鍍站122與第二存放 軸202之間通過(guò)雙臂機(jī)械手連接，第四濺鍍站124與第三存放軸203之間通過(guò)雙臂機(jī)械手 連接，第二存放軸202和第三存放軸203還分別通過(guò)單臂手與第三碟片存放柜223及第四 碟片存放柜224連接，第一清邊機(jī)構(gòu)141的第一洗邊碗141a及第二洗邊碗141b對(duì)稱設(shè)置， 第一洗邊碗141a、第二洗邊碗141b、第三碟片存放柜223及第四碟片存放柜224之間通過(guò) 呈直角的第三機(jī)械手193連接。如圖1、圖4所示，第一旋涂固化機(jī)構(gòu)151 —端與第四碟片存放柜224連接，另一 端與第二清邊機(jī)構(gòu)142連接，第二清邊機(jī)構(gòu)142通過(guò)第一暫存轉(zhuǎn)盤(pán)181與第二旋涂固化機(jī) 構(gòu)152 —端連接，第二旋涂固化機(jī)構(gòu)152另一端通過(guò)第二暫存轉(zhuǎn)盤(pán)182與第三旋涂固化機(jī) 構(gòu)153連接；具體地，第一旋涂固化機(jī)構(gòu)151具有并列設(shè)置的第一旋涂碗151a及第一固化 單元151b，與之相對(duì)稱且并列設(shè)置的第四旋涂碗151c與第四固化單元151d，第四碟片存放 柜224位于第一旋涂碗151a與第四旋涂碗151c的一側(cè)，第二清邊機(jī)構(gòu)142位于第一固化 單元151b與第四固化單元151d的一側(cè)，第四碟片存放柜224、第一旋涂碗151a及第一固 化單元151b、第四旋涂碗151c及第四固化單元151d、第二清邊機(jī)構(gòu)142通過(guò)位于六者之間 的具有三個(gè)機(jī)械臂的第四機(jī)械手194連接；第二清邊機(jī)構(gòu)142通過(guò)單臂手與第一暫存轉(zhuǎn)盤(pán) 181連接；第二旋涂固化機(jī)構(gòu)152位于第一暫存轉(zhuǎn)盤(pán)181與第二暫存轉(zhuǎn)盤(pán)182之間，且第二 旋涂固化機(jī)構(gòu)152的第二旋涂碗152a及第二固化單元152b并列設(shè)置，第五旋涂碗152c及 第五固化單元152d并列設(shè)置且與第二旋涂碗152a及第二固化單元152b相對(duì)稱，第一暫存 轉(zhuǎn)盤(pán)181、第二旋涂碗152a及第二固化單元152b、第五旋涂碗152c及第五固化單元152d、 第二暫存轉(zhuǎn)盤(pán)182通過(guò)位于六者之間的具有三個(gè)機(jī)械臂的第五機(jī)械手195連接；第三旋涂 固化機(jī)構(gòu)153的第三旋涂碗153a與第六旋涂碗153b對(duì)稱設(shè)置且位于第二暫存轉(zhuǎn)盤(pán)182與 第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)183之間，且四者通過(guò)位于四者之間的具有三個(gè)機(jī)械臂的第六機(jī)械手196連 接，第三固化單元153c連接于第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)183上；第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)183、翻碟機(jī)構(gòu)16、檢測(cè) 機(jī)構(gòu)17及第三溉鍍站123圍成圓弧，在該圓弧的圓心處安裝有第七機(jī)械手197，第七機(jī)械 手197的四個(gè)機(jī)械臂分別對(duì)應(yīng)第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)183、翻碟機(jī)構(gòu)16、檢測(cè)機(jī)構(gòu)17及第三濺鍍站123。 如圖5所示，使用本發(fā)明制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)100制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的 生產(chǎn)方法，包括如下步驟 (S001)注塑成型基片并將所述基片接取至傳輸帶上，傳輸所述基片的同時(shí)對(duì)所述 基片冷卻；(S002)在所述第一濺鍍站中對(duì)經(jīng)冷卻的所述基片濺鍍形成金屬反射層；(S003)將濺鍍有金屬反射層的基片傳送至染料涂布機(jī)構(gòu)，旋涂形成染料層并對(duì)染 料層進(jìn)行檢測(cè)和烘干；(S004)將旋涂有染料層的基片傳送至第二濺鍍站，濺鍍形成緩沖層；(S005)將濺鍍有緩沖層的基片傳送至第一清邊機(jī)構(gòu)，清理基片有效區(qū)域外的形成 物；(S006)將經(jīng)第一清洗機(jī)構(gòu)清理后的基片傳輸至第一旋涂固化機(jī)構(gòu)，旋涂形成軟保 護(hù)層并對(duì)軟保護(hù)層進(jìn)行固化；(S007)將旋涂有保護(hù)層的基片傳送至第二清邊機(jī)構(gòu)，清理基片有效區(qū)域外的形成 物；(S008)將經(jīng)第二清邊機(jī)構(gòu)清理后的基片傳輸至第二旋涂固化機(jī)構(gòu)，旋涂形成覆蓋 層并對(duì)覆蓋層進(jìn)行固化；(S009)將旋涂有覆蓋層的基片傳輸至第三旋涂固化機(jī)構(gòu)，旋涂形成硬保護(hù)層并對(duì) 硬保護(hù)層進(jìn)行固化；(S010)將旋涂有硬保護(hù)層的基片傳輸至檢測(cè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)完成后分級(jí)存 放。具體地，上述步驟(S010)之后進(jìn)一步包括將所述檢測(cè)合格的基片傳送至第三濺 鍍站中濺鍍一層防水層的步驟，所述防水層能有效防止水及水汽與基片上的濺鍍層和旋涂 層接觸，從而提高按照本發(fā)明制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)方法所制造出的藍(lán)光刻錄光盤(pán)的穩(wěn) 定性。如圖6-圖9所示，步驟(S003)包括如下步驟(S301)將濺鍍有金屬反射層的基 片，通過(guò)呈“V”型的第一機(jī)械手放置于相同的第一染料碗、第二染料碗、第三染料碗及第四 染料碗內(nèi)；(S302)第一染料碗、第二染料碗、第三染料碗及第四染料碗的下料手分別對(duì)所 述染料碗內(nèi)的基片旋涂染料，形成染料層；(S303)將旋涂有染料層的基片傳送到掃描儀并 對(duì)所述染料層進(jìn)行檢測(cè)，將合格基片與不合格基片分別存放；(S304)將經(jīng)檢測(cè)合格后的基 片傳送到烘烤箱對(duì)染料層進(jìn)行烘干。步驟(S006)包括如下步驟(S601)將經(jīng)第一清洗機(jī)構(gòu)清理后的基片，通過(guò)第四 機(jī)械手放置于相同且對(duì)稱設(shè)置的第一旋涂碗及第四旋涂碗內(nèi)；(S602)第一旋涂碗及第四 旋涂碗的下料手分別對(duì)所述旋涂碗內(nèi)的基片旋涂，形成軟保護(hù)層；(S603)將旋涂有軟保護(hù) 層的基片經(jīng)第四機(jī)械手放置于相同且對(duì)稱設(shè)置的第一固化單元及第四固化單元內(nèi)；(S604) 所述第一固化單元及所述第二固化單元分別對(duì)所述基片的軟保護(hù)層進(jìn)行固化。步驟(S008)包括如下步驟(S801)將經(jīng)第二清邊機(jī)構(gòu)清理后的的基片，通過(guò)第五 機(jī)械手放置于相同且對(duì)稱設(shè)置的第二旋涂碗及第五旋涂碗內(nèi)；(S802)第二旋涂碗及第五 旋涂碗的下料手分別對(duì)所述旋涂碗內(nèi)的基片旋涂，形成覆蓋層；(S803)將旋涂有覆蓋層的基片經(jīng)第五機(jī)械手放置于相同且對(duì)稱設(shè)置的第二固化單元及第五固化單元內(nèi)；(S804)所 述第二固化單元及所述第五固化單元分別對(duì)所述基片的覆蓋層進(jìn)行固化。步驟(S009)包括如下步驟(S901)將旋涂有覆蓋層的基片，通過(guò)第六機(jī)械手放置 于相同且對(duì)稱設(shè)置的第三旋涂碗及第六旋涂碗內(nèi)；(S902)第三旋涂碗及第六旋涂碗的下 料手分別對(duì)所述旋涂碗內(nèi)的基片旋涂，形成硬保護(hù)層；(S903)將旋涂有硬保護(hù)層的基片經(jīng) 第六機(jī)械手放置于第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)上；(S904)第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)將旋涂有硬保護(hù)層的基片傳送 到第三固化單元；(S905)第三固化單元對(duì)所述基片的硬保護(hù)層進(jìn)行固化。
具體地，結(jié)合圖1、圖5，接碟手從注塑機(jī)10接取注塑成型的基片，并放置在第一冷 卻傳輸帶111上，傳輸?shù)耐瑫r(shí)對(duì)基片進(jìn)行冷卻，第一單臂手211從第一冷卻傳輸帶111上拾 起基片并放置在第一存放軸201上，第二單臂手212接取第一存放軸201上的基片并放置 于第一濺鍍站121中，對(duì)基片濺鍍金屬全反射層；濺鍍完成后再由第三單臂手213接取該基 片并放置到第二冷卻傳輸帶112上，對(duì)基片傳輸?shù)耐瑫r(shí)進(jìn)行冷卻，經(jīng)過(guò)第四單臂手214時(shí)， 再由第四單臂手214接取并放置到第三傳輸帶113的傳輸帶113a和傳輸帶113b上，傳輸 過(guò)程中，呈“V”型的第一機(jī)械手191將基片放置在相同的第一下料碗131與第二下料碗132 內(nèi)，呈“V”型的第二機(jī)械手192將基片放置在相同的第三下料碗133與第四下料碗134內(nèi)， 放置完成后四下料碗的下料手分別對(duì)碗內(nèi)的基片下染料，下完染料后，再由第一機(jī)械手191 及第二機(jī)械手192將基片放置到傳輸帶113a、傳輸帶113b上，傳輸過(guò)程中，第五單臂手215 將下完染料的基片轉(zhuǎn)移到傳輸帶113c上傳輸，傳輸中第一雙臂手將傳輸帶113c上的基片 放置到掃描儀135內(nèi)進(jìn)行掃描檢測(cè)，檢測(cè)完成后的基片分級(jí)存放，合格的基片經(jīng)雙臂手放 置到第一碟片存放柜221內(nèi)，第六單臂手216拾起第一碟片存放柜221內(nèi)的基片并傳送到 烘烤箱136的暫存機(jī)構(gòu)上，機(jī)械手接取暫存機(jī)構(gòu)上的基片并將其放置烘烤箱136的拾取手 136a上，然后傳送到烘烤箱136中將基片上的染料烘干；基片上的染料烘干成后經(jīng)拾取手 136b傳輸?shù)降诙娣殴?22內(nèi)，等待濺鍍緩沖層。第二基片存放柜222內(nèi)的基片經(jīng)單臂手接取并傳送到第二存放軸202，再由雙臂 機(jī)械手傳送到第二濺鍍站122濺鍍硅材料的緩沖層，濺鍍完成后再由該雙臂機(jī)械手傳送回 第二存放軸202，與此同時(shí)，第二基片存放柜222內(nèi)的基片還可由單臂手接取并傳送到第三 存放軸203，再由雙臂機(jī)械手傳送到第四濺鍍站124濺鍍硅材料的緩沖層，濺鍍完成后再由 該雙臂機(jī)械手傳送回第三存放軸203，兩濺鍍站同時(shí)對(duì)基片進(jìn)行濺鍍，大大縮短兩相鄰基片 之間的等待時(shí)間；第二存放軸202及第三存放軸203上的基片經(jīng)單臂手傳送到第三基片存 放柜223存放；呈直角的第三機(jī)械手193接取第三基片存放柜223內(nèi)的基片并放置于第一 清邊機(jī)構(gòu)141的第一洗邊碗141a及第二洗邊碗141b內(nèi)，清除基片外圍濺鍍范圍之外的區(qū) 域上的材料，兩個(gè)洗邊碗同時(shí)進(jìn)行洗邊可提高第一清邊機(jī)構(gòu)141的清洗速度；基片清洗完 成后，再由第三雙臂機(jī)械手傳輸?shù)降谒幕娣殴?24存放。第四基片存放柜224內(nèi)的基片通過(guò)具有三個(gè)機(jī)械臂的第四機(jī)械手194放置于第一 旋涂固化機(jī)構(gòu)151的第一旋涂碗151a及第四旋涂碗151c中，兩旋涂碗的下料手分別對(duì)碗 內(nèi)的基片旋涂軟保護(hù)層，旋涂完軟保護(hù)層后，第四機(jī)械手194將第一旋涂碗151a及第四旋 涂碗151c中的基片傳送到對(duì)應(yīng)的第一固化單元151b及第四固化單元151d中，在固化單元 中對(duì)基片進(jìn)行UV固化；固化完成后，第四機(jī)械手194再將基片傳送到第二清邊機(jī)構(gòu)142，清 除基片外圍處于濺鍍范圍之外的區(qū)域上的材料，清邊完成后的基片由單臂手傳送到第一暫存轉(zhuǎn)盤(pán)181存放；第一暫存轉(zhuǎn)盤(pán)181內(nèi)的基片通過(guò)具有三個(gè)機(jī)械臂的第五機(jī)械手195傳送 到第二旋涂固化機(jī)構(gòu)152的第二旋涂碗152a及第五旋涂碗152c內(nèi)，兩旋涂碗的下料手分 別對(duì)碗內(nèi)的基片旋涂覆蓋層，旋涂完覆蓋層后，第五機(jī)械手195將第二旋涂碗152a及第五 旋涂碗152c中的基片傳送到對(duì)應(yīng)的第二固化單元152b及第五固化單元152d中，在固化單 元中對(duì)基片進(jìn)行UV固化；固化完成后，第五機(jī)械手195再將基片放置于第二暫存轉(zhuǎn)盤(pán)182 存放；第二暫存轉(zhuǎn)盤(pán)182內(nèi)的基片通過(guò)具有三個(gè)機(jī)械臂的第六機(jī)械手196傳送到第三旋涂 固化機(jī)構(gòu)153的第三旋涂碗153a及第六旋涂碗153b內(nèi)，兩旋涂碗的下料手分別對(duì)碗內(nèi)的 基片旋涂硬保護(hù)層，旋涂完硬保護(hù)層后，第六機(jī)械手196將第三旋涂碗153a及第六旋涂碗 153b內(nèi)的基片傳輸?shù)降谌龝捍孓D(zhuǎn)盤(pán)183存放；第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)183再將基片送到第三旋涂固 化機(jī)構(gòu)的第三固化單元153c內(nèi)進(jìn)行UV固化，固化完成后的基片放置于該第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)183 等待檢測(cè)；第七機(jī)械手197將第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)183內(nèi)的放置于翻碟機(jī)構(gòu)16上，翻碟機(jī)構(gòu)16的 翻碟手對(duì)其進(jìn)行翻轉(zhuǎn)，翻轉(zhuǎn)后的基片再由第四機(jī)械手194傳送到檢測(cè)機(jī)構(gòu)17進(jìn)行檢測(cè)，檢 測(cè)完后檢測(cè)后將合格基片和不合格基片分開(kāi)放置；經(jīng)檢測(cè)合格后的基片還可通過(guò)第四機(jī)械 手194傳送到第三濺鍍站123濺 鍍防水層，濺鍍完防水層后放置到收碟轉(zhuǎn)盤(pán)。本發(fā)明制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)100包括傳輸帶11、第一濺鍍站121、第二濺 鍍站122、染料涂布機(jī)構(gòu)13、旋涂固化機(jī)構(gòu)15、清邊機(jī)構(gòu)14及檢測(cè)機(jī)構(gòu)17，所述第一濺鍍站 121用于濺鍍金屬反射層，所述第二濺鍍站122用于濺鍍緩沖層，所述染料涂布機(jī)構(gòu)13用于 旋涂染料并進(jìn)行檢測(cè)和烘干，所述旋涂固化機(jī)構(gòu)15用于旋涂保護(hù)層并進(jìn)行固化，所述清邊 機(jī)構(gòu)14用于清洗基片周邊多余的材料，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)17用于檢測(cè)質(zhì)量；所述清邊機(jī)構(gòu)14 包括第一清邊機(jī)構(gòu)141及第二清邊機(jī)構(gòu)142 ；所述第一濺鍍站121通過(guò)傳輸帶與所述注塑 機(jī)10連接，所述第一濺鍍站121與所述第二濺鍍站122之間設(shè)置有所述染料涂布機(jī)構(gòu)13， 所述第二濺鍍站122與所述旋涂固化機(jī)構(gòu)15之間設(shè)置有所述第一清邊機(jī)構(gòu)141，所述旋涂 固化機(jī)構(gòu)15與所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)17連接；利用本發(fā)明制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)100制造 藍(lán)光刻錄光盤(pán)時(shí)，采用高精度的旋涂工藝依次形成軟保護(hù)層、覆蓋層及硬保護(hù)層，并采用紫 外光固化各保護(hù)層，使藍(lán)光刻錄光盤(pán)的保護(hù)層維持原有透光率的同時(shí)，提高保護(hù)層的硬度， 使該藍(lán)光刻錄光盤(pán)的耐損抗污性能提高；采用旋涂形成保護(hù)層，使記錄層與讀取裝置的物 鏡更接近，因此對(duì)傾斜角的容差較大，克服盤(pán)片傾斜問(wèn)題，從而減少了盤(pán)片在轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中由 于傾斜而造成的讀寫(xiě)失常，使數(shù)據(jù)讀寫(xiě)更加容易，保證藍(lán)光刻錄光盤(pán)的質(zhì)量，由于本發(fā)明制 造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)100工藝簡(jiǎn)單，因此提高藍(lán)光刻錄光盤(pán)生的生產(chǎn)效率，降低藍(lán) 光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)成本。本發(fā)明所涉及的注塑基片、濺鍍等技術(shù)均為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所熟知，在此不 再做詳細(xì)的說(shuō)明。以上所揭露的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來(lái)限定本發(fā)明之權(quán)利 范圍，因此依本發(fā)明申請(qǐng)專(zhuān)利范圍所作的等同變化，仍屬本發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
一種制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)，其包括傳輸帶、第一濺鍍站、第二濺鍍站、染料涂布機(jī)構(gòu)、旋涂固化機(jī)構(gòu)、清邊機(jī)構(gòu)及檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述第一濺鍍站用于濺鍍金屬反射層，所述第二濺鍍站用于濺鍍緩沖層，所述染料涂布機(jī)構(gòu)用于旋涂染料層并進(jìn)行檢測(cè)和烘干，所述旋涂固化機(jī)構(gòu)用于旋涂保護(hù)層并進(jìn)行固化，所述清邊機(jī)構(gòu)用于清理基片周邊有效區(qū)域外的形成物，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)用于檢測(cè)質(zhì)量；所述清邊機(jī)構(gòu)包括第一清邊機(jī)構(gòu)及第二清邊機(jī)構(gòu)；所述第一濺鍍站與所述第二濺鍍站之間設(shè)置有所述染料涂布機(jī)構(gòu)，所述第二濺鍍站與所述旋涂固化機(jī)構(gòu)之間設(shè)置有所述第一清邊機(jī)構(gòu)，所述旋涂固化機(jī)構(gòu)與所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)連接，其特征在于所述染料涂布機(jī)構(gòu)包括第一染料碗、掃描儀及烘烤箱，所述第一染料碗具有下料手，所述第一染料碗通過(guò)傳輸帶與所述第一濺鍍站連接，所述掃描儀連接于所述第一染料碗與所述烘烤箱之間，所述烘烤箱與所述第二濺鍍站連接；所述旋涂固化機(jī)構(gòu)包括第一旋涂固化機(jī)構(gòu)、第二旋涂固化機(jī)構(gòu)及第三旋涂固化機(jī)構(gòu)，所述第一旋涂固化機(jī)構(gòu)與所述第一清邊機(jī)構(gòu)連接，所述第三旋涂固化機(jī)構(gòu)與所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)連接，所述第一旋涂固化機(jī)構(gòu)包括并列設(shè)置的第一旋涂碗及第一固化單元，所述第二旋涂固化機(jī)構(gòu)包括并列設(shè)置的第二旋涂碗及第二固化單元，所述第三旋涂固化機(jī)構(gòu)包括并列設(shè)置的第三旋涂碗及第三固化單元，所述第一旋涂碗、第二旋涂碗及第三旋涂碗均具有下料手；所述第二清邊機(jī)構(gòu)連接于所述第一旋涂固化機(jī)構(gòu)與所述第二旋涂固化機(jī)構(gòu)之間。
2.如權(quán)利要求1所述的制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于所述染料涂布機(jī) 構(gòu)還包括與所述第一染料碗并排的且具有下料手的第二染料碗，所述第一染料碗與第二染 料碗通過(guò)呈“V”型的第一機(jī)械手與所述傳輸帶連接。
3.如權(quán)利要求2所述的制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于所述染料涂布機(jī) 構(gòu)還包括并排的且具有下料手的第三染料碗及第四染料碗，所述第三染料碗及第四染料碗 與所述第一染料碗及第二染料碗對(duì)稱設(shè)置并通過(guò)呈“V”型的第二機(jī)械手與所述傳輸帶連 接。
4.如權(quán)利要求1所述的制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于所述第一旋涂固 化機(jī)構(gòu)還包括并列設(shè)置的第四旋涂碗及第四固化單元，所述第四旋涂碗及第四固化單元與 所述第一旋涂碗及第一固化單元對(duì)稱設(shè)置且四者之間通過(guò)具有三個(gè)機(jī)械臂的第四機(jī)械手 連接，所述第四旋涂碗具有下料手。
5.如權(quán)利要求1所述的制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于所述第二旋涂固 化機(jī)構(gòu)還包括并列設(shè)置的第五旋涂碗及第五固化單元，所述第五旋涂碗及第五固化單元與 所述第二旋涂碗及第二固化單元對(duì)稱設(shè)置且四者之間通過(guò)具有三個(gè)機(jī)械臂的第五機(jī)械手 連接，所述第五旋涂碗具有下料手。
6.如權(quán)利要求1所述的制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于所述第三旋涂固 化機(jī)構(gòu)還包括與所述第三旋涂碗對(duì)稱設(shè)置并具有下料手的第六旋涂碗，所述第三旋涂碗、 第三固化單元及第六旋涂碗之間通過(guò)具有三個(gè)機(jī)械臂的第六機(jī)械手連接。
7.如權(quán)利要求6所述的制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于還包括第三暫存 轉(zhuǎn)盤(pán)，所述第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)連接于所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)和對(duì)稱設(shè)置的第三旋涂碗及第六旋涂碗之 間，所述第三旋涂碗、第六旋涂碗及所述第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)通過(guò)所述第六機(jī)械手連接，所述第三固化單元連接于所述第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)上。
8.如權(quán)利要求1所述的制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于還包括第一暫存 轉(zhuǎn)盤(pán)及第二暫存轉(zhuǎn)盤(pán)，所述第一暫存轉(zhuǎn)盤(pán)連接于所述第二清邊機(jī)構(gòu)與所述第二旋涂固化機(jī) 構(gòu)之間，所述第二暫存轉(zhuǎn)盤(pán)連接于所述第二旋涂固化機(jī)構(gòu)與所述第三旋涂固化機(jī)構(gòu)之間， 所述第一暫存轉(zhuǎn)盤(pán)、第二旋涂固化機(jī)構(gòu)及第二暫存轉(zhuǎn)盤(pán)之間通過(guò)所述第五機(jī)械手連接，所 述第二暫存轉(zhuǎn)盤(pán)與第三旋涂固化機(jī)構(gòu)之間通過(guò)第六機(jī)械手連接。
9.如權(quán)利要求1所述的制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于所述第一清邊機(jī) 構(gòu)包括相互對(duì)稱設(shè)置的第一洗邊碗及第二洗邊碗，所述第一洗邊碗與第二洗邊碗通過(guò)呈直 角的第三機(jī)械手連接于所述第二濺鍍站與所述第一旋涂固化機(jī)構(gòu)之間。
10.如權(quán)利要求1所述的制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于還包括用于翻轉(zhuǎn) 碟片的翻碟機(jī)構(gòu)，所述翻碟機(jī)構(gòu)與所述第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)連接，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)與所述翻碟機(jī)構(gòu) 連接。
11.如權(quán)利要求1所述的制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于還包括用于濺鍍 防水層的第三濺鍍站，所述第三濺鍍站、檢測(cè)機(jī)構(gòu)、翻碟機(jī)構(gòu)及第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)通過(guò)具有四個(gè) 機(jī)械臂的第七機(jī)械手連接，所述第七機(jī)械手的四個(gè)機(jī)械臂分別對(duì)應(yīng)第三濺鍍站、檢測(cè)機(jī)構(gòu)、 翻碟機(jī)構(gòu)及第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)。
12.如權(quán)利要求1所述的制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于還包括與所述第 二濺鍍站對(duì)稱設(shè)置的第四濺鍍站。
13.一種使用如權(quán)利要求1所述的制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的 生產(chǎn)方法，其特征在于，包括如下步驟(1)注塑成型基片并將所述基片接取至傳輸帶上，傳輸所述基片的同時(shí)對(duì)所述基片冷卻；(2)在所述第一濺鍍站中對(duì)經(jīng)冷卻的所述基片濺鍍形成金屬反射層；(3)將濺鍍有金屬反射層的基片傳送至染料涂布機(jī)構(gòu)，旋涂形成染料層并對(duì)染料層進(jìn) 行檢測(cè)和烘干；(4)將旋涂有染料層的基片傳送至第二濺鍍站，濺鍍形成緩沖層；(5)將濺鍍有緩沖層的基片傳送至第一清邊機(jī)構(gòu)，清理基片有效區(qū)域外的形成物；(6)將經(jīng)第一清洗機(jī)構(gòu)清理后的基片傳輸至第一旋涂固化機(jī)構(gòu)，旋涂形成軟保護(hù)層并 對(duì)軟保護(hù)層進(jìn)行固化；(7)將旋涂有保護(hù)層的基片傳送至第二清邊機(jī)構(gòu)，清理基片有效區(qū)域外的形成物；(8)將經(jīng)第二清邊機(jī)構(gòu)清理后的基片傳輸至第二旋涂固化機(jī)構(gòu)，旋涂形成覆蓋層并對(duì) 覆蓋層進(jìn)行固化；(9)將旋涂有覆蓋層的基片傳輸至第三旋涂固化機(jī)構(gòu)，旋涂形成硬保護(hù)層并對(duì)硬保護(hù) 層進(jìn)行固化；(10)將旋涂有硬保護(hù)層的基片傳輸至檢測(cè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)完成后分級(jí)存放。
14.如權(quán)利要求13所述的制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)方法，其特征在于，所述步驟(3)包 括如下步驟(31)將濺鍍有金屬反射層的基片，通過(guò)呈“V”型的第一機(jī)械手放置于相同的第一染料 碗、第二染料碗、第三染料碗及第四染料碗內(nèi)；(32)第一染料碗、第二染料碗、第三染料碗及第四染料碗的下料手分別對(duì)所述染料碗 內(nèi)的基片旋涂染料，形成染料層；(33)將旋涂有染料層的基片傳送到掃描儀并對(duì)所述染料層進(jìn)行檢測(cè)，將合格基片與不 合格基片分別存放；(34)將經(jīng)檢測(cè)合格后的基片傳送到烘烤箱對(duì)染料層進(jìn)行烘干。
15.如權(quán)利要求13所述的制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)方法，其特征在于，所述步驟(6)包 括如下步驟(61)將經(jīng)第一清洗機(jī)構(gòu)清理后的基片，通過(guò)第四機(jī)械手放置于相同且對(duì)稱設(shè)置的第一 旋涂碗及第四旋涂碗內(nèi)；(62)第一旋涂碗及第四旋涂碗的下料手分別對(duì)所述旋涂碗內(nèi)的基片旋涂，形成軟保護(hù)層；(63)將旋涂有軟保護(hù)層的基片經(jīng)第四機(jī)械手放置于相同且對(duì)稱設(shè)置的第一固化單元 及第四固化單元內(nèi)；(64)所述第一固化單元及所述第二固化單元分別對(duì)所述基片的軟保護(hù)層進(jìn)行固化。
16.如權(quán)利要求13所述的制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)方法，其特征在于，所述步驟(8)包 括如下步驟(81)將經(jīng)第二清邊機(jī)構(gòu)清理后的的基片，通過(guò)第五機(jī)械手放置于相同且對(duì)稱設(shè)置的第 二旋涂碗及第五旋涂碗內(nèi)；(82)第二旋涂碗及第五旋涂碗的下料手分別對(duì)所述旋涂碗內(nèi)的基片旋涂，形成覆蓋層；(83)將旋涂有覆蓋層的基片經(jīng)第五機(jī)械手放置于相同且對(duì)稱設(shè)置的第二固化單元及 第五固化單元內(nèi)；(84)所述第二固化單元及所述第五固化單元分別對(duì)所述基片的覆蓋層進(jìn)行固化。
17.如權(quán)利要求13所述的制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)方法，其特征在于，所述步驟(9)包 括如下步驟(91)將旋涂有覆蓋層的基片，通過(guò)第六機(jī)械手放置于相同且對(duì)稱設(shè)置的第三旋涂碗及 第六旋涂碗內(nèi)；(92)第三旋涂碗及第六旋涂碗的下料手分別對(duì)所述旋涂碗內(nèi)的基片旋涂，形成硬保護(hù)層；(93)將旋涂有硬保護(hù)層的基片經(jīng)第六機(jī)械手放置于第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)上；(94)第三暫存轉(zhuǎn)盤(pán)將旋涂有硬保護(hù)層的基片傳送到第三固化單元；(95)第三固化單元對(duì)所述基片的硬保護(hù)層進(jìn)行固化。
18.如權(quán)利要求13所述的制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)方法，其特征在于，所述步驟(10) 之后進(jìn)一步包括將所述檢測(cè)合格的基片傳送至第三濺鍍站中濺鍍一層防水層的步驟。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種制造藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)系統(tǒng)，包括傳輸帶、第一濺鍍站、第二濺鍍站、染料涂布機(jī)構(gòu)、旋涂固化機(jī)構(gòu)、清邊機(jī)構(gòu)及檢測(cè)機(jī)構(gòu)，清邊機(jī)構(gòu)包括第一清邊機(jī)構(gòu)及第二清邊機(jī)構(gòu)；第一濺鍍站與第二濺鍍站之間設(shè)置有染料涂布機(jī)構(gòu)，第二濺鍍站與旋涂固化機(jī)構(gòu)之間設(shè)置有第一清邊機(jī)構(gòu)，旋涂固化機(jī)構(gòu)與檢測(cè)機(jī)構(gòu)連接，其旋涂固化機(jī)構(gòu)包括第一旋涂固化機(jī)構(gòu)、第二旋涂固化機(jī)構(gòu)及第三旋涂固化機(jī)構(gòu)，第一旋涂固化機(jī)構(gòu)與第一清邊機(jī)構(gòu)連接，第二清邊機(jī)構(gòu)連接于第一旋涂固化機(jī)構(gòu)與第二旋涂固化機(jī)構(gòu)之間，第三旋涂固化機(jī)構(gòu)與檢測(cè)機(jī)構(gòu)連接；該系統(tǒng)大大提高了藍(lán)光刻錄光盤(pán)的質(zhì)量且降低生產(chǎn)成本。另，本發(fā)明還公開(kāi)了一種藍(lán)光刻錄光盤(pán)的生產(chǎn)方法。
文檔編號(hào)G11B7/26GK101814302SQ20091024691
公開(kāi)日2010年8月25日 申請(qǐng)日期2009年12月1日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月1日
發(fā)明者楊明生, 范繼良 申請(qǐng)人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司