專利名稱：基板的法線方位的調(diào)整方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基板的法線方位的調(diào)整方法。
背景技術(shù)：
本發(fā)明是對基板的預(yù)定區(qū)域的法線方位進(jìn)行調(diào)整的方法，舉出能夠具體地應(yīng)用該 方法的事例對背景技術(shù)進(jìn)行說明。近年來，⑶、DVD、HDD等光盤驅(qū)動裝置的薄型化不斷發(fā)展。伴隨與此，構(gòu)成光盤驅(qū) 動裝置的主軸電動機(jī)的薄型化的要求也提高。并且，伴隨著光盤的高容量化，光盤的記錄密 度提高。因此，即便光拾取單元的受光發(fā)光方向與光盤的記錄面或者再現(xiàn)面(以下稱為R/ P面)之間的角度和位置僅微小地偏移，在記錄時或者再現(xiàn)時(以下稱為R/P時)也有可能
產(chǎn)生錯誤。因此，需要對光拾取單元的受光發(fā)光方向與主軸電動機(jī)的旋轉(zhuǎn)軸之間的角度進(jìn)行 調(diào)整(以下將該調(diào)整稱為偏斜調(diào)整)，以使光拾取單元的受光發(fā)光方向與光盤的記錄面之 間所成的角為直角。例如，在日本特開2002-373485號公報中公開有為了容易且正確地修復(fù)光盤搭載 面的平行度而對固定框的適當(dāng)?shù)奈恢谜丈浼す獾募す獬尚?forming)加工。并且，在日本特開2000-094164號公報中公開了電動機(jī)等的軸的傾斜調(diào)整方法。 該方法是如下的方法對安裝于支承基體的軸的安裝基部的附近部照射激光束，使其加熱 熔融，然后進(jìn)行冷卻，通過此時的塑性變形對軸的傾斜進(jìn)行調(diào)整。在日本特開2007-317272號公報中公開了如下的電動機(jī)對設(shè)定于設(shè)在基座部上 的大致平板狀的變位部的外周的被加熱區(qū)域進(jìn)行加熱而使其變形，從而對相對位置進(jìn)行調(diào)
iF. ο專利文獻(xiàn)1 日本特開2002-373485號公報專利文獻(xiàn)2 日本特開2000-094164號公報專利文獻(xiàn)3 日本特開2007-317272號公報但是，在日本特開2002-373485號公報所公開的偏斜(skew)調(diào)整中，根據(jù)激光束 所照射的照射區(qū)域的角度范圍不同，存在變位量出現(xiàn)偏差的情況，期望進(jìn)一步提高調(diào)整精度。日本特開2000-094164號公報所公開的軸的傾斜調(diào)整方法是對壓入的軸的傾斜 進(jìn)行調(diào)整的方法，軸也被加熱、熔融。在日本特開2007-317272號公報所公開的電動機(jī)部件中，示出了遍及大致平板狀 的變位部的外周整體進(jìn)行加熱使其變形，從而對相對位置進(jìn)行調(diào)整的例子。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種采用激光進(jìn)行的基板的法線方位的調(diào)整方法。具體地 說，提供一種能夠高精度地對主軸電動機(jī)基座基板與電動機(jī)的旋轉(zhuǎn)軸之間的垂直度、或者光盤驅(qū)動用電動機(jī)與其旋轉(zhuǎn)軸之間的垂直度進(jìn)行調(diào)整的基板的法線方位的調(diào)整方法。基于本發(fā)明的基板的法線方位的調(diào)整方法，根據(jù)使基板上的某一特定區(qū)域的法線 方位變化的方向和量，對上述特定區(qū)域的周圍的預(yù)定區(qū)域照射會聚的脈沖激光而使其局部 熔融、冷卻，由此使上述特定區(qū)域的法線方位變化，上述基板的法線方位的調(diào)整方法的特征 在于，在照射上述脈沖激光的預(yù)定區(qū)域內(nèi)，使照射上述脈沖激光的部位為多個，根據(jù)使上述法線方位變化的方向決定上述預(yù)定區(qū)域的中心位置和范圍，通過增減上述預(yù)定區(qū)域內(nèi)的照射上述脈沖激光的部位的數(shù)量來增減使上述法線 方位變化的量，對于照射上述脈沖激光的部位的分布密度，在增加上述照射的部位的情況下上述 分布密度增高，在減少上述照射的部位的情況下上述分布密度降低，上述脈沖激光的振蕩條件與使上述法線方位變化的方向和量無關(guān)，實(shí)質(zhì)上是恒定 的。根據(jù)本發(fā)明的采用脈沖激光進(jìn)行的基板的法線方位的調(diào)整方法，能夠?qū)宓奶?定區(qū)域的法線方位進(jìn)行調(diào)整。如果將該調(diào)整方法應(yīng)用于主軸電動機(jī)或光盤用電動機(jī)的軸傾 斜的調(diào)整，則能夠高精度地對基座基板和旋轉(zhuǎn)軸之間的垂直度進(jìn)行調(diào)整。


圖1是示出光盤驅(qū)動裝置的一個實(shí)施方式的示意剖視圖。圖2是橫動單元(traverse unit)的俯視圖。圖3是示出主軸電動機(jī)的一個實(shí)施方式的示意剖視圖。圖4是示出偏斜調(diào)整裝置的一個實(shí)施方式的示意圖。圖5是橫動單元的仰視圖。圖6是圖3中的安裝板的周圍的放大圖。圖7是示出利用加熱部對被加熱區(qū)域進(jìn)行加熱后的形成于安裝板的照射部的示 意剖視圖。圖8是示出橫動單元中的組裝體的俯視圖，是底盤(chassis)的仰視圖。圖9是圖3中的安裝板的周圍的放大圖。圖10是示出對安裝板的被照射區(qū)域中的A相位 D相位的各個范圍照射脈沖激 光時的脈沖激光的角度與照射部的變位量之間的關(guān)系的曲線圖。圖11是示出脈沖激光的發(fā)射數(shù)與照射部的變位量之間的關(guān)系的曲線圖。圖12是示出測定相對于由主軸電動機(jī)的旋轉(zhuǎn)軸、底盤以及保持夾具之間的接觸 面形成的虛擬平面的軸傾斜量的測定裝置的示意圖。圖13是示出橫動單元的制造過程的流程圖。圖14是示出對安裝板照射脈沖激光的狀態(tài)的平面圖，是安裝板的示意仰視圖。圖15是示出主軸電動機(jī)的其他的實(shí)施方式的示意剖視圖。圖16是圖15的主軸電動機(jī)的示意俯視圖。圖17是圖15的主軸電動機(jī)的示意仰視圖。標(biāo)號說明
1...光盤驅(qū)動裝置；2...光盤；3、3a...主軸電動機(jī)；31...旋轉(zhuǎn)體；311...軸；
312...轉(zhuǎn)子保持器；312a...載置面；313...轉(zhuǎn)子磁鐵；32...固定體；321...襯套(軸承 部)；322. · ·外殼；326,326a. · ·安裝板；3261. · ·被加熱區(qū)域；3262. · ·照射部；33. · ·夾 緊裝置；4...橫動單元；41...光拾取單元；42...導(dǎo)軌；44...底盤；441...收納開口孔； 442. · ·電動機(jī)安裝部；446,446a. · ·虛擬平面；5. · ·托盤；6. · ·框體Jl. · ·旋轉(zhuǎn)軸;J2 中· ·.心軸；Sl S4. ·.步驟(工序)。
具體實(shí)施例方式[本發(fā)明的調(diào)整方法]以下，參照附圖對基于本發(fā)明的采用脈沖激光進(jìn)行的基板的法線方位的調(diào)整方法 進(jìn)行詳細(xì)說明。首先，對基本技術(shù)進(jìn)行說明。例如，考慮對金屬基板的表面照射脈沖激光而局部地加熱熔融并冷卻的情況。在 該情況下，脈沖激光所照射的部位當(dāng)被加熱而熔融時體積膨脹，從而使脈沖激光所照射的 面凸起變形。此時，加熱熔融的部位由于表面張力而想要鼓起，在基板部件中存在移動的部 分。當(dāng)這種加熱熔融的部位冷卻時會產(chǎn)生拉伸應(yīng)力，最終脈沖激光所照射的面以形成凹陷 的方式變形。由此可以清楚得知，為了對基板的法線方位進(jìn)行調(diào)整，只要對法線方位所傾斜 的方向的180度相反側(cè)的區(qū)域照射脈沖激光即可。脈沖激光所照射的部位成為熔融點(diǎn)。如果該點(diǎn)較大地重疊則變形量變少。因此， 相對于脈沖激光的照射脈沖的法線方位的調(diào)整量并不是定量的。因此，只要使脈沖激光所 照射的部位不重疊即可。另外，在法線方位的調(diào)整量多的情況下，脈沖激光所照射的部位的 間隔變窄，存在其周邊部重疊的情況。如果重疊的僅僅是周邊部的話，則對照射脈沖與法線 方位的調(diào)整量之間的定量性的影響小?？紤]到照射脈沖激光的區(qū)域是特定區(qū)域的整個周圍，因此假定是環(huán)狀的區(qū)域。對 于該假定的環(huán)狀的區(qū)域的半徑方向的寬度，如果考慮具體的基板則限定于某個范圍。如果這樣考慮，則在用于對基板的法線方位進(jìn)行調(diào)整的裝置中，如果具備能夠使 基板以特定區(qū)域的中央作為中心旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)則能夠應(yīng)對。即，與基板的旋轉(zhuǎn)同步地照射脈 沖激光即可。[具體例]作為能夠應(yīng)用本發(fā)明的一個示例，舉出光盤驅(qū)動裝置的基板與旋轉(zhuǎn)軸之間的垂直 度的調(diào)整。因此，首先使用圖1和圖2對光盤驅(qū)動裝置中的一個實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖1是 沿軸向剖切光盤驅(qū)動裝置的一個實(shí)施方式的示意剖視圖?！垂獗P驅(qū)動裝置〉參照圖1，光盤驅(qū)動裝置1由主軸電動機(jī)3、光拾取單元41、一對導(dǎo)軌42、移動機(jī)構(gòu) 43、底盤44、托盤5以及框體6構(gòu)成。參照圖2，主軸電動機(jī)3使圓光盤狀的光盤(未圖示)以預(yù)定的中心軸Jl(以下稱 為旋轉(zhuǎn)軸Jl)為中心旋轉(zhuǎn)。光拾取單元41配置在一對導(dǎo)軌42上，且能夠通過移動機(jī)構(gòu)43 沿著該導(dǎo)軌42移動。一對導(dǎo)軌42沿與旋轉(zhuǎn)軸Jl垂直的方向即徑向延伸。
底盤44固定主軸電動機(jī)3、導(dǎo)軌42以及移動機(jī)構(gòu)43，并收納光拾取單元41。以 下，將固定于底盤44的部件組稱為橫動單元4。托盤5進(jìn)行光盤2的插入和排出，并朝主軸電動機(jī)3引導(dǎo)光盤2?？蝮w6收納上述 的要素。光拾取單元41具備朝光盤2的記錄面放射光的發(fā)光部和對從光盤2的記錄面反 射的光進(jìn)行受光的受光部。當(dāng)載置于托盤5的光盤2移動到與主軸電動機(jī)3的旋轉(zhuǎn)軸Jl同軸的位置時，底盤 44朝上側(cè)移動，由此光盤2被轉(zhuǎn)移到主軸電動機(jī)3。當(dāng)將光盤2排出時，底盤44朝下側(cè)移動，由此，光盤2從主軸電動機(jī)3脫離，并被 轉(zhuǎn)移到托盤5。托盤5移動到框體6的外側(cè)，從而能夠?qū)⒐獗P2取出。<橫動單元的結(jié)構(gòu)>使用圖2和圖5對橫動單元4的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖2是橫動單元4的俯視圖。圖 5是橫動單元4的仰視圖。參照圖2，對于橫動單元4，主軸電動機(jī)3固定于大致平板狀的底盤44的一部分。 在底盤44上形成有用于收納光拾取單元41的收納開口孔441。光拾取單元41能夠沿著以 旋轉(zhuǎn)軸Jl為中心的徑向(圖2中的箭頭4111方向)在該收納開口孔441內(nèi)移動。在收納 開口孔441的周圍的一部分形成有多個電動機(jī)安裝部442，后述的主軸電動機(jī)3的安裝板 326 (參照圖3)固定于電動機(jī)安裝部442。在該情況下，電動機(jī)安裝部442形成有3個。在 電動機(jī)安裝部442分別形成有安裝孔4421。通過分別經(jīng)由各個安裝孔4421緊固螺釘4422，主軸電動機(jī)3被固定于電動機(jī)安裝 部442。在底盤44的外周緣形成有框體安裝部445，該框體安裝部445經(jīng)由減振器(damper) 安裝于框體6(參照圖1)。在該情況下，框體安裝部445形成有3個。在安裝板326具有用 于將該安裝板326安裝于電動機(jī)安裝部442的平面部。參照圖5，對于橫動單元4，在底盤44的下表面中，在主軸電動機(jī)3的兩側(cè)，夾著電 動機(jī)安裝部442，分別形成有用于固定導(dǎo)軌42的第一導(dǎo)軌安裝部443、443。在經(jīng)由收納開 口孔441將第一導(dǎo)軌安裝部443、443延長后的位置分別形成有第二導(dǎo)軌安裝部444、444。 通過這些第一導(dǎo)軌安裝部443和第二導(dǎo)軌安裝部444，一對導(dǎo)軌42彼此平行地沿著徑向配 置(參照圖2)。參照圖2，在光拾取單元41上，在與導(dǎo)軌42、42對應(yīng)的位置分別形成有沿著徑向的 貫通孔411、412。導(dǎo)軌42、42貫穿插入于各個貫通孔411、412。由此，光拾取單元41能夠 沿著一對導(dǎo)軌42移動。一對導(dǎo)軌42中的一方是在外周面形成有與形成在貫通孔411內(nèi)周面的內(nèi)螺紋對 應(yīng)的外螺紋的進(jìn)給軸421。一對導(dǎo)軌42中的另一方是與貫通孔412滑動的滑動軸422。參照圖2，移動機(jī)構(gòu)43具備在輸出軸具有齒輪的作為旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源的驅(qū)動電動機(jī) 431，和與驅(qū)動電動機(jī)431的齒輪嚙合的減速齒輪432。驅(qū)動電動機(jī)431的旋轉(zhuǎn)被減速齒輪 432減速后傳遞給進(jìn)給軸421。當(dāng)驅(qū)動電動機(jī)431旋轉(zhuǎn)時，輸出軸的齒輪旋轉(zhuǎn)，從而使減速齒輪432旋轉(zhuǎn)。當(dāng)減速 齒輪432旋轉(zhuǎn)時，進(jìn)給軸421旋轉(zhuǎn)。通過進(jìn)給軸421旋轉(zhuǎn)，與進(jìn)給軸421嚙合的貫通孔411 沿著圖中的箭頭4111的徑向移動。此時，根據(jù)驅(qū)動電動機(jī)431的旋轉(zhuǎn)方向的不同，移動的方向相反。這樣，光拾取單元41沿著箭頭4111方向移動。<主軸電動機(jī)的整體構(gòu)造>使用圖3對能夠應(yīng)用本發(fā)明的主軸電動機(jī)的整體構(gòu)造的一個實(shí)施方式進(jìn)行說明。 圖3是主軸電動機(jī)3的示意剖視圖。參照圖3，主軸電動機(jī)3由以下部件構(gòu)成旋轉(zhuǎn)體31，該旋轉(zhuǎn)體31以旋轉(zhuǎn)軸Jl為 中心旋轉(zhuǎn)；固定體32，該固定體32將旋轉(zhuǎn)體31支承為能夠自由旋轉(zhuǎn)；以及夾緊裝置33，該 夾緊裝置33與旋轉(zhuǎn)體31 —體地旋轉(zhuǎn)，且能夠保持光盤(未圖示)。旋轉(zhuǎn)體31具備軸311，該軸311與旋轉(zhuǎn)軸Jl同軸地配置；轉(zhuǎn)子保持器312，該轉(zhuǎn) 子保持器固定于軸311 ；轉(zhuǎn)子磁鐵313，該轉(zhuǎn)子磁鐵313固定于轉(zhuǎn)子保持器312 ；以及防脫部 件314，該防脫部件314固定于轉(zhuǎn)子保持器312的下表面。轉(zhuǎn)子保持器312通過對薄鋼板進(jìn) 行沖壓加工而形成。固定體32具備襯套321、外殼322、定子323、蓋部件324、止推板325以及安裝板 326。襯套321形成在軸311的徑向?qū)⑤S311支承為能夠自由旋轉(zhuǎn)的軸承部，該襯套321 由浸油的燒結(jié)體形成，且形成大致圓筒形狀。外殼322具有保持襯套321的外周面的內(nèi)周 面。定子323固定于外殼322，并與轉(zhuǎn)子磁鐵313之間形成旋轉(zhuǎn)磁場。蓋部件324封閉外殼322的內(nèi)周面的下端側(cè)。止推板325配置于蓋部件324的上 表面，并在軸向?qū)⑤S311支承為能夠自由旋轉(zhuǎn)。安裝板326固定于蓋部件324的徑向外側(cè) 且在外殼322的內(nèi)周面的下端側(cè)，該安裝板326固定于底盤44，且呈大致平板狀。在安裝板326中的安裝于電動機(jī)安裝部442 (參照圖2)的平面部形成有供蓋部件 324和外殼322的一部分插入的貫通孔。在外殼322的上部形成有凸緣部3221。在凸緣部3221的下側(cè)配置有防脫部件 314，該防脫部件314具有比凸緣部3221的外徑小的內(nèi)徑。由此來限制旋轉(zhuǎn)體31相對于固 定體32的朝向軸向上側(cè)的移動。在外殼322的下端面設(shè)有內(nèi)側(cè)突起部322a和外側(cè)突起部322b。內(nèi)側(cè)突起部322a 固定蓋部件324。外側(cè)突起部322b形成于比內(nèi)側(cè)突起部322a更靠徑向外側(cè)的位置，并固定 安裝板326。內(nèi)側(cè)突起部322a和外側(cè)突起部322b分別形成為朝下側(cè)延伸的大致圓環(huán)形狀。在 比內(nèi)側(cè)突起部322a更靠徑向內(nèi)側(cè)的位置形成有內(nèi)側(cè)接觸面322c，通過使蓋部件324的上表 面與內(nèi)側(cè)接觸面322c接觸來決定蓋部件324的軸向的位置。在比外側(cè)突起部322b更靠徑 向外側(cè)的位置形成有外側(cè)接觸面322d，該外側(cè)接觸面322d用于決定安裝板326的軸向的位置。內(nèi)側(cè)接觸面322c和外側(cè)接觸面322d是分別相對于旋轉(zhuǎn)軸Jl垂直地延伸的大致 環(huán)狀的平面。在安裝板326與外側(cè)接觸面322d接觸的狀態(tài)下，外側(cè)突起部322a朝徑向外 側(cè)塑性變形。由此，安裝板326被夾在外側(cè)接觸面322d與外側(cè)突起部322a之間，從而安裝 板326被固定于外殼322的下端面。即，安裝板326被斂縫固定于外殼322。對于蓋部件324也同樣，內(nèi)側(cè)突起部322a朝徑向內(nèi)側(cè)塑性變形。由此，蓋部件324 被夾在內(nèi)側(cè)接觸面322c與內(nèi)側(cè)接觸面322a之間，從而蓋部件324被固定于外殼322的下 端面。即，蓋部件324被斂縫固定于外殼322。因此，安裝板326與外殼322之間的固定以及蓋部件324與外殼322之間的固定不使用用于進(jìn)行固定的部件，能夠通過廉價的方法固 定。結(jié)果，能夠提供廉價的電動機(jī)。夾緊裝置33具備中心殼331、調(diào)芯爪331a、爪部件332以及彈性部件333。中心殼331在徑向與形成于光盤2的中心開口部21(參照圖1)的內(nèi)周面對置，且 配置在比該中心開口部21更靠內(nèi)側(cè)的位置。調(diào)芯爪331a與中心殼331設(shè)置成一體。調(diào)芯 爪33Ia朝徑向外側(cè)按壓中心開口部21的內(nèi)周面，由此對光盤2的中心開口部21的中心和 中心殼331的中心進(jìn)行調(diào)整。爪部件332按壓中心開口部21的上端緣，能夠在保持光盤2 的徑向自由移動。彈性部件333朝徑向外側(cè)對爪部件332施力。在本實(shí)施方式中，調(diào)芯爪331a與中心殼311設(shè)置成一體，且在周方向離開地設(shè)有 3個。爪部件332配置于在周方向相鄰的調(diào)芯爪331a之間，且設(shè)有3個。彈性部件333采 用沿徑向伸縮的螺旋彈簧。在轉(zhuǎn)子保持器312的徑向外側(cè)的上表面形成有用于載置光盤2的下表面的載置面 312a。在本實(shí)施方式中，載置面312a通過呈圓環(huán)狀地配置摩擦系數(shù)比轉(zhuǎn)子保持器312的上 表面的摩擦系數(shù)大的橡膠等樹脂材料而形成。通過在轉(zhuǎn)子保持器312的上表面形成載置面 312a，無需利用另外的部件形成用于載置光盤2的轉(zhuǎn)臺。結(jié)果，能夠削減部件數(shù)量，并且能 夠使主軸電動機(jī)的軸向薄型化。由于轉(zhuǎn)子保持器312通過沖壓加工形成，因此能夠廉價地 制造。以下，采用作為應(yīng)用于主軸電動機(jī)的軸傾斜的調(diào)整的情況下的具體例的偏斜調(diào)整 對基于本發(fā)明的基板的法線方位的調(diào)整方法進(jìn)行說明。<偏斜調(diào)整裝置和測定裝置>使用圖4至圖12對主軸電動機(jī)、光盤驅(qū)動裝置中的偏斜調(diào)整裝置和偏斜調(diào)整方法 進(jìn)行說明。圖4是示出本發(fā)明中的偏斜調(diào)整裝置7的一個實(shí)施方式的示意圖。參照圖4對偏斜調(diào)整裝置7進(jìn)行說明。偏斜調(diào)整裝置7具備保持部71、測量部72、 加熱部73、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)74、移動機(jī)構(gòu)75以及控制部76。保持部71保持組裝體ASl。此處，組裝體ASl是指將橫動單元4中的主軸電動機(jī) 3和底盤44組裝在一起的狀態(tài)的部件。測量部72測量底盤44上的多個測量位置處的中心 軸J2方向的高度。加熱部73對由保持部71保持的安裝板326進(jìn)行加熱。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)74使 組裝體ASl與保持部71 一起旋轉(zhuǎn)。移動機(jī)構(gòu)75使保持部71相對于加熱部73相對移動。 控制部76對上述結(jié)構(gòu)進(jìn)行控制。此處，中心軸J2是旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)74的旋轉(zhuǎn)中心。底盤44以中心軸J2和接觸位置Jla 大致相同的方式相對于保持部71配置，上述接觸位置Jla是主軸電動機(jī)3的軸311與止推 板325 (參照圖3)接觸的接觸位置。在本實(shí)施方式中，保持部71設(shè)有3個。圖5是從下側(cè)觀察橫動單元4的平面圖。在偏斜調(diào)整裝置7中，組裝體ASl在使底盤44的電動機(jī)安裝部442中的主軸電動 機(jī)3所安裝的一側(cè)朝向軸向的上側(cè)的狀態(tài)下由保持部71保持。由此來決定底盤44相對于 保持部71的軸向位置。測量部72配置在保持部71的上側(cè)。保持部71的上側(cè)是主軸電動 機(jī)3相對于底盤44安裝的一側(cè)。測量部72測量距離基準(zhǔn)位置(基準(zhǔn)平面)的軸向的高度。所謂基準(zhǔn)位置(基準(zhǔn)平面)是指連結(jié)保持部71與底盤44的下表面中的同一高度的平面接觸的各個接觸面(圖 5中的Z1、Z2、Z3)的虛擬平面446 (參照圖5)。在保持部71的下側(cè)配置有加熱部73 (參照圖4)。所謂保持部71的下側(cè)是指主軸 電動機(jī)3所安裝的一側(cè)的相反側(cè)，是指底盤44的下表面?zhèn)?。進(jìn)而，加熱部73通過從安裝板 326的下表面?zhèn)染植康卣丈涿}沖狀的脈沖激光來對安裝板326進(jìn)行加熱。移動機(jī)構(gòu)75與虛 擬平面446平行，且是使底盤44與保持部71 一起在彼此垂直的兩個方向移動的所謂的XY 工作臺。在偏斜調(diào)整裝置7中，由保持部71保持的組裝體ASl以中心軸J2為中心通過旋 轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)74以一定速度旋轉(zhuǎn)。在組裝體ASl通過旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)74旋轉(zhuǎn)的同時，在安裝板326的 下表面?zhèn)?，對主軸電動機(jī)3的安裝板326中的微小的照射區(qū)域照射來自加熱部73的脈沖狀 的激光。由此，以預(yù)定的照射角度范圍對主軸電動機(jī)3的安裝板326的下表面?zhèn)?參照圖 1)中的形成于比外殼322的外側(cè)突起部322b更靠徑向外側(cè)的位置的環(huán)狀的區(qū)域3261 (參 照圖6)照射脈沖激光。通過照射脈沖激光，該區(qū)域3261被加熱。在以下的說明中，將區(qū)域 3261稱為“被加熱區(qū)域3261”。圖6是將圖3的主軸電動機(jī)3中的安裝板326的周圍放大后的放大圖。圖7是示 出利用加熱部73對被加熱區(qū)域3261進(jìn)行加熱后的形成于安裝板326的照射部3262的示 意剖視圖。參照圖6和圖7，被加熱區(qū)域3261從安裝板326的下表面?zhèn)缺患訜?，由此，被加?區(qū)域3261熔融，并暫時隨著朝下表面?zhèn)?圖7的下方)塑性變形而膨脹。然后，隨著溫度 下降，被加熱區(qū)域3261收縮，并朝圖7的上方變形。這是因?yàn)槌c加熱時的變形方向的相 反的方向變形。結(jié)果，如圖7中的雙點(diǎn)劃線所示，由被加熱區(qū)域3261包圍的大致平板狀的部位 3262關(guān)于中心軸J2朝與加熱部73側(cè)相反的一側(cè)變位。在以下的說明中，將安裝板326的部位3262稱為“照射部3262”。圖8是示出本發(fā)明的橫動單元4中的組裝體的圖，是從底盤44的下側(cè)觀察的平面 圖。參照圖8，連結(jié)3個電動機(jī)安裝部442而成的第二虛擬平面446a的重心Pl設(shè)在與 主軸電動機(jī)3的旋轉(zhuǎn)軸Jl不同的位置。并且，形成被加熱區(qū)域3261的安裝板326的下表 面是以中心軸Jl為中心在周方向不對稱的形狀。因此，被加熱區(qū)域3261 (參照圖6和圖7) 的強(qiáng)度在周方向不同。因此，即便在周方向以恒定的輸出照射脈沖激光，被加熱區(qū)域3261 的照射部3262的變形量也根據(jù)所照射的周方向的位置而不同。圖9是將圖3中的主軸電動機(jī)3中的安裝板的周圍放大后的放大圖。因此，如圖9所示，以旋轉(zhuǎn)軸Jl為中心在周方向?qū)⒅鬏S電動機(jī)3中的被加熱區(qū)域 3261 (參照圖6和圖7)4等分，并設(shè)各個相位為A相位、B相位、C相位、D相位(與圖9中 的A D對應(yīng))。對這些A相位 D相位的各個相位照射使照射角度范圍變化的脈沖激光。 由此，能夠作成A相位 D相位的各個范圍中的脈沖激光的照射角度的范圍與照射部3262 的變位量之間的關(guān)系的數(shù)據(jù)。圖10是示出照射范圍的角度與照射部3262的變位量(角度)之間的關(guān)系的曲線 圖。所謂照射角度的范圍是指當(dāng)對安裝板326的被加熱區(qū)域3261中的A相位 D相位的各個范圍照射脈沖激光時的脈沖激光的以中心軸J2為中心的圓弧狀的角度。此處，所謂A 相位 D相位是指以中心軸J2 (或者是旋轉(zhuǎn)軸Jl)為中心在周方向90度等間隔地設(shè)定的位 置，以該位置為中心在周方向的兩側(cè)分別照射脈沖激光的照射角度范圍的一半的量。在本 實(shí)施方式中，以A相位 D相位的各個范圍作為中心在周方向以大致90度照射脈沖激光。如從圖10所看出的那樣，在對A相位 D相位的各個范圍照射脈沖激光的照射角 度中，在照射角度的范圍為60度 120度或240度以上的范圍中，各個照射部3262的變位 量的差變大。與此相對，在照射角度的范圍為大致180度的情況下，照射部3262的變位量的 差最少。因此，在A相位 D相位的各個范圍中，通過在大致180度的范圍照射脈沖激光， 能夠使照射部3262的變位量大致恒定。即，可以使照射脈沖激光的預(yù)定區(qū)域?yàn)橐蕴囟▍^(qū)域 的中央作為中心的大致半周。在對圓形基板的中心照射脈沖激光的情況下，并不是如上的結(jié)果，推測任何相位 的變位量的差都少。由于在該實(shí)驗(yàn)中采用的基板形成為圖9所示的形狀，因此照射脈沖激 光的區(qū)域的周邊的形狀根據(jù)相位不同而不同，即基板的周緣在周方向的剛性不同，因此推
測變位量會產(chǎn)生差。圖11是示出脈沖激光的發(fā)射數(shù)與照射部3262的變位量(調(diào)整量(角度))之間 的關(guān)系的曲線圖。如圖11所示，可以看出，照射部3262的變化量大致與脈沖激光的發(fā)射數(shù) 成比例地變化。由此，通過控制脈沖激光的發(fā)射數(shù)，能夠定量地控制照射部3262的變位量。 此處，所謂脈沖激光的發(fā)射數(shù)是指在脈沖激光的照射角度范圍內(nèi)照射脈沖激光的次數(shù)。例 如，在脈沖激光的發(fā)射數(shù)為30的情況下，如果脈沖激光的照射角度范圍為大致180度，則每 隔大致6度照射脈沖激光。<主軸電動機(jī)的旋轉(zhuǎn)軸的軸傾斜量的測定方法>其次，使用圖12對主軸電動機(jī)3的旋轉(zhuǎn)軸Jl相對于虛擬平面446(參照圖5)的 軸傾斜量的測定方法進(jìn)行說明。該虛擬平面446是利用保持部71與組裝體ASl的底盤44 之間的接觸面形成的虛擬平面。圖12是示出用于測定主軸電動機(jī)3的旋轉(zhuǎn)軸Jl相對于虛擬平面446的軸傾斜量 的測定裝置8的示意圖。測定裝置8具備自動準(zhǔn)直儀(autocollimatoiOSl ；保持夾具82，該保持夾具82 與底盤44中的保持部71所接觸的位置接觸；以及偽光盤(dummy disc) 83，該偽光盤83反 射來自自動準(zhǔn)直儀81的光。保持夾具82通過與底盤44的同一部位接觸而形成虛擬平面 446。底盤44與偏斜調(diào)整裝置7的保持部71接觸。自動準(zhǔn)直儀81具備進(jìn)行光的發(fā)光和受光的透鏡部811和顯示該透鏡部811的發(fā) 光和受光的數(shù)據(jù)的顯示器812。首先，預(yù)先利用主軸電動機(jī)3使偽光盤83旋轉(zhuǎn)。從自動準(zhǔn) 直儀81的透鏡部811以與虛擬平面446垂直的方式朝偽光盤83發(fā)出的光被偽光盤83反 射，并再次由受光部811受光。此時，根據(jù)透鏡部811的發(fā)光位置和受光位置之間的偏移的 數(shù)據(jù)計(jì)算出主軸電動機(jī)的旋轉(zhuǎn)軸的軸傾斜量和方向，并顯示在顯示器812中。<橫動單元4的制造方法>使用圖13對本發(fā)明中的橫動單元4的制造方法進(jìn)行說明。圖13是示出本發(fā)明的 制造的流程的流程圖。在本實(shí)施例中，特別對橫動單元4的制造的流程進(jìn)行說明。首先，主軸電動機(jī)3被安裝于通過沖壓加工形成的底盤44的電動機(jī)安裝部442(步驟Si)。在本實(shí)施方式中，主軸電動機(jī)3通過基于螺釘?shù)木o固而被固定于電動機(jī)安 裝部442。接著，在將主軸電動機(jī)3組裝于底盤44的組裝體ASl的狀態(tài)下，利用測定裝置8測 定主軸電動機(jī)3的旋轉(zhuǎn)軸Jl相對于虛擬平面446的軸傾斜量和周方向的位置(步驟S2)。首先，使底盤44與測定裝置8的保持夾具82接觸，并將底盤44保持于保持夾具 82。此時，通過連結(jié)保持夾具82與底盤44之間的接觸面而形成虛擬平面446。以該虛擬平 面446作為基準(zhǔn)平面。其次，將偽光盤83裝配于主軸電動機(jī)3。進(jìn)而，自動準(zhǔn)直儀81的透鏡部811配置 在標(biāo)準(zhǔn)光盤83的上側(cè)，以使光照射至偽光盤83的上表面。該透鏡部811設(shè)定成與虛擬平 面446垂直。進(jìn)而，在主軸電動機(jī)3的旋轉(zhuǎn)軸Jl相對于虛擬平面446的軸傾斜量在預(yù)先設(shè)定的 設(shè)定容許范圍內(nèi)的情況下(是)，前進(jìn)至圖13中的步驟S4即導(dǎo)軌42的安裝工序。另一方面，在主軸電動機(jī)3的旋轉(zhuǎn)軸Jl相對于虛擬平面446的軸傾斜量在預(yù)先設(shè) 定的設(shè)定容許量的范圍外的情況(否)下，進(jìn)行調(diào)整主軸電動機(jī)3的旋轉(zhuǎn)軸Jl的軸傾斜量 的偏斜調(diào)整(圖13中的步驟S3)。為了進(jìn)行偏斜調(diào)整，可以按照以下的步驟預(yù)先決定脈沖激光的照射條件。(1)準(zhǔn)備多個將主軸電動機(jī)和底盤組裝在一起而成的組裝體，使照射角度范圍和 發(fā)射數(shù)變化并對該組裝體照射脈沖激光。(2)求出照射角度和發(fā)射數(shù)與照射部3262的變位量之間的定量關(guān)系。(3)根據(jù)以上的結(jié)果決定最佳的照射角度范圍和發(fā)射數(shù)。在本實(shí)施例中，最佳的脈沖激光的照射角度范圍如圖10所示為大致180度。并且， 脈沖激光的發(fā)射數(shù)與照射部3262的變位量之間的定量關(guān)系如圖11所示。對利用圖13中的步驟S2測定的主軸電動機(jī)3的旋轉(zhuǎn)軸Jl的軸傾斜量與圖11進(jìn) 行比較，選擇最佳的脈沖激光的發(fā)射數(shù)。進(jìn)而，以主軸電動機(jī)3的旋轉(zhuǎn)軸Jl的軸傾斜的周 方向的位置作為中心，遍及大致180度的范圍照射脈沖激光。即，從主軸電動機(jī)3的旋轉(zhuǎn)軸 Jl的軸傾斜的周方向的位置朝周方向兩側(cè)大致90度的范圍照射脈沖激光(參照圖14)。由 此，對主軸電動機(jī)3的旋轉(zhuǎn)軸Jl的軸傾斜量進(jìn)行調(diào)整。
0128]此處，參照圖14，被加熱區(qū)域3261在旋轉(zhuǎn)軸Jl的軸傾斜方向側(cè)呈大致180度的 圓弧狀地被照射。由此，旋轉(zhuǎn)軸Jl的軸傾斜方向側(cè)的安裝板326朝軸向上側(cè)變位。伴隨與 此，外殼322也朝軸向上側(cè)變位。進(jìn)而，保持外殼322的襯套321的貫通孔的內(nèi)周面相對于 軸傾斜方向相對于中心軸Jl朝相反側(cè)變位。伴隨著該外殼322的變位，襯套321也同樣相 對于軸傾斜方向相對于中心軸J2朝相反側(cè)變位。因此，由襯套321的內(nèi)周面支承的軸311同樣相對于軸傾斜方向相對于中心軸J2 朝相反側(cè)變位。結(jié)果，由于軸311與旋轉(zhuǎn)軸Jl同軸，因此旋轉(zhuǎn)軸Jl被調(diào)整至預(yù)先設(shè)定的設(shè) 定容許范圍內(nèi)。外殼322、襯套321以及軸311參照圖3。進(jìn)而，再次進(jìn)行圖13中的步驟S2即利用測定裝置8測定主軸電動機(jī)3的旋轉(zhuǎn)軸 Jl相對于虛擬平面446的軸傾斜量和位置。由此，再次對主軸電動機(jī)3的旋轉(zhuǎn)軸Jl相對于 虛擬平面446的軸傾斜量與預(yù)先設(shè)定的設(shè)定容許量的范圍進(jìn)行比較。進(jìn)而，在主軸電動機(jī) 3的旋轉(zhuǎn)軸Jl相對于虛擬平面446的軸傾斜量在設(shè)定容許量的范圍外的情況下，再次進(jìn)行圖13中的步驟S3即偏斜調(diào)整。在圖13中的步驟S3即偏斜調(diào)整結(jié)束后，偽光盤83被從主軸電動機(jī)3取下。進(jìn)而， 將預(yù)先安裝有光拾取單元41的一對導(dǎo)軌42安裝于底盤44的第一導(dǎo)軌安裝部443和第二 導(dǎo)軌安裝部444 (圖13中的步驟S4)。此處，同時將移動機(jī)構(gòu)43安裝于底盤44。由此來組 裝橫動單元4。在基于本發(fā)明的偏斜調(diào)整中，將脈沖激光的照射區(qū)域特定為特定的角度范圍，因 此，能夠縮小由脈沖激光的照射產(chǎn)生的變位量的偏差。因此，能夠高精度地對旋轉(zhuǎn)軸Jl相 對于基準(zhǔn)平面即虛擬平面446的軸傾斜量及其方向進(jìn)行管理。由此，能夠?qū)M動單元4中的主軸電動機(jī)3的旋轉(zhuǎn)軸Jl和光拾取單元41的發(fā)光 方向調(diào)整為大致平行。即，能夠使主軸電動機(jī)3的旋轉(zhuǎn)軸Jl與光拾取單元41的發(fā)光方向 在預(yù)先設(shè)定的相對傾斜量的范圍內(nèi)。因此，能夠使光拾取單元41的發(fā)光方向和光盤2的記 錄面高精度地垂直。結(jié)果，能夠提供一種能夠充分地防止由旋轉(zhuǎn)軸的傾斜產(chǎn)生的記錄再現(xiàn) 錯誤的光盤驅(qū)動裝置。進(jìn)一步，能夠提供一種能夠降低由主軸電動機(jī)的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的振動的 光盤驅(qū)動裝置。采用了基于本發(fā)明的偏斜調(diào)整裝置7的旋轉(zhuǎn)軸Jl的軸傾斜的調(diào)整方法能夠高精 度地調(diào)整旋轉(zhuǎn)軸Jl相對于虛擬平面446的軸傾斜量。因此，特別適合作為在主軸電動機(jī)3 中采用沖壓加工的轉(zhuǎn)子保持器312的情況下的調(diào)整方法。另外，沖壓加工在提高加工精度 的方面存在極限。進(jìn)一步，特別適合作為在主軸電動機(jī)3中采用將安裝板326和外殼322斂縫在一 起的固定體32的情況下的調(diào)整方法。安裝板326和外殼322的斂縫構(gòu)造會對旋轉(zhuǎn)軸Jl的 軸傾斜產(chǎn)生特別強(qiáng)的影響。這些主軸電動機(jī)3被搭載于光盤驅(qū)動裝置1。<組裝主軸電動機(jī)后的狀態(tài)下的偏斜調(diào)整>使用圖15至圖17對組裝主軸電動機(jī)后的狀態(tài)下的偏斜調(diào)整進(jìn)行說明。圖15是 示出本發(fā)明的主軸電動機(jī)的其他的實(shí)施方式的沿軸向剖切的示意剖視圖。圖16是從軸向 上側(cè)觀察圖15的主軸電動機(jī)的平面圖。圖17是從軸向下側(cè)觀察圖15的主軸電動機(jī)的平 面圖。圖15至圖17中的主軸電動機(jī)3a除了安裝板326a以外都使用與主軸電動機(jī)3中的 部件相同的部件。以下，省略對與主軸電動機(jī)3中的部件相同的部件的說明，對安裝板326a的形狀 進(jìn)行說明。主軸電動機(jī)3a的安裝板326a具備第一平面部326al、折彎部326a2以及第二平面 部326a3。第一平面部326al固定有外殼322，且大致呈圓形狀。折彎部326a2從第一平面 部326al被向上側(cè)折彎。第二平面部326a3與折彎部326a2連續(xù)，形成與第一平面部326al 平行的平面，且形成有安裝于底盤(未圖示)的多個安裝部326a4。在本實(shí)施方式中，安裝部326a4設(shè)有3處。折彎部326a2形成于第一平面部326al 的外周緣的周方向的一部分。并且，作為主軸電動機(jī)3a的基準(zhǔn)的平面是連結(jié)多個安裝部326a4而形成的虛擬平 面446b (參照圖17)。進(jìn)而，測定主軸電動機(jī)3a的旋轉(zhuǎn)軸Jl相對于虛擬平面446b的軸傾 斜量。由此，由于多個安裝部326a4直接安裝于底盤，因此是決定主軸電動機(jī)3a相對于底盤的位置或傾斜的重要的部位。因此，通過以利用多個安裝部326a4形成的虛擬平面446b 作為基準(zhǔn)平面，能夠進(jìn)行高精度的偏斜調(diào)整。并且，由于折彎部326a2在安裝板326a形成于第一平面部326al的外周緣的周方 向的一部分，因此第一平面部326al的以旋轉(zhuǎn)軸Jl作為中心的周方向的強(qiáng)度不均勻。此處，被脈沖激光照射的被加熱區(qū)域3261和照射部3262是與主軸電動機(jī)3中的 被加熱區(qū)域3261和照射部3262相同的位置。與上述偏斜調(diào)整同樣，主軸電動機(jī)3a的偏斜調(diào)整進(jìn)行以下工序預(yù)先設(shè)定加熱部 即脈沖激光的照射角度范圍的工序；以及相對于所設(shè)定的脈沖激光的照射角度范圍，得到 變更脈沖激光的發(fā)射數(shù)的情況下的脈沖激光的發(fā)射數(shù)與照射部的變位量之間的關(guān)系的數(shù) 據(jù)的工序。進(jìn)而，在測定了主軸電動機(jī)3a的旋轉(zhuǎn)軸Jl相對于虛擬平面446b的軸傾斜量以 及方向的基礎(chǔ)上，以該軸傾斜的方向作為中心照射脈沖激光。由此，能夠使主軸電動機(jī)3a 與虛擬平面446b高精度地垂直。在設(shè)定脈沖激光的照射角度范圍的工序中，首先分割安裝板326a的第一平面部 326al的強(qiáng)度不同的多個范圍(在本實(shí)施方式中分割成4個范圍)。進(jìn)而，對分割成的各個 范圍照射使照射角度范圍多次變更的脈沖激光，并收集測定變位量的數(shù)據(jù)。根據(jù)收集到的 數(shù)據(jù)設(shè)定各個范圍的照射部的變位量中的偏差最少的脈沖激光的照射角度范圍。在本實(shí)施 例中，脈沖激光的照射角度范圍為大致180度。其次，在使脈沖激光的發(fā)射數(shù)變更的情況下，在得到發(fā)射數(shù)與照射部的變位量之 間的關(guān)系的工序中，對所設(shè)定的脈沖激光的照射角度范圍照射使發(fā)射數(shù)變化的脈沖激光。 由此，能夠得到脈沖激光的發(fā)射數(shù)的變更與照射部的變位量之間的關(guān)系的定量數(shù)據(jù)。根據(jù)該數(shù)據(jù)測定主軸電動機(jī)3a相對于虛擬平面446b的軸傾斜量和方向，然后，設(shè) 定最適合修正該軸傾斜量的脈沖激光的發(fā)射數(shù)并照射脈沖激光。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)主軸電動 機(jī)3a的高精度的偏斜調(diào)整。以上對本發(fā)明的各種實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但是，本發(fā)明并不限定于上述的實(shí)施 方式，能夠在本發(fā)明的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變形。例如，上述實(shí)施方式中的偏斜調(diào)整在組裝體ASl的狀態(tài)下進(jìn)行，但是，本發(fā)明并不 限定于此。也可以在組裝橫動單元4之后進(jìn)行偏斜調(diào)整。例如，在上述的實(shí)施方式中的偏斜調(diào)整方法中，當(dāng)設(shè)定脈沖激光的照射角度范圍 時，設(shè)定為以旋轉(zhuǎn)軸Jl為中心將安裝板326、326a的范圍分割成4個范圍，但是，本發(fā)明并 不限定于此。作為安裝板的范圍，也可以不是4個范圍，而是多個范圍。例如，安裝板326、326a并不限定于上述的實(shí)施方式。例如，也可以利用同一部件 構(gòu)成底盤和安裝板，并作為安裝基座。例如，在上述的實(shí)施方式的光盤驅(qū)動裝置1中，利用托盤5輸送光盤2，但是，本發(fā) 明并不限定于此。例如，也可以通過在光盤驅(qū)動裝置的框體的插入和排出光盤的開口孔的 兩側(cè)設(shè)置輥來輸送光盤。以上敘述的光盤驅(qū)動裝置是驅(qū)動光盤的裝置。在光盤驅(qū)動裝置中，安裝板326多 為鋼板。光盤驅(qū)動裝置并不限定于此，也可以是硬盤驅(qū)動裝置。在該情況下，安裝電動機(jī)的 基板多為鑄鋁制。鑄鋁制基板也能夠應(yīng)用本發(fā)明。在以上的說明中，以光盤驅(qū)動裝置為例對本發(fā)明進(jìn)行了說明。但是，本發(fā)明并不限定于此，脈沖激光的振蕩條件與基板的法線方位的變化方向和量無關(guān)、是恒定的，能夠進(jìn)行 基板的法線方位的調(diào)整，是一種操作性好的方法。產(chǎn)業(yè)上的利用可能性本發(fā)明不用變更脈沖激光的振蕩條件就能夠使基板的法線方位變化。因此，不僅 能夠應(yīng)用于上述的光盤驅(qū)動裝置的安裝板中的法線方位的調(diào)整、主軸電動機(jī)的軸傾斜的調(diào) 整，而且能夠應(yīng)用于各種基板的法線方位的調(diào)整。
權(quán)利要求
一種基板的法線方位的調(diào)整方法，根據(jù)使基板上的某一特定區(qū)域的法線方位變化的方向和量，對所述特定區(qū)域的周圍的預(yù)定區(qū)域照射會聚的脈沖激光而使其局部熔融、冷卻，由此使所述特定區(qū)域的法線方位變化，所述基板的法線方位的調(diào)整方法的特征在于在照射所述脈沖激光的預(yù)定區(qū)域內(nèi)，使照射所述脈沖激光的部位為多個，根據(jù)使所述法線方位變化的方向決定所述預(yù)定區(qū)域的中心位置和范圍，通過增減所述預(yù)定區(qū)域內(nèi)的照射所述脈沖激光的部位的數(shù)量來增減使所述法線方位變化的量，對于照射所述脈沖激光的部位的分布密度，在增加所述照射的部位的情況下所述分布密度增高，在減少所述照射的部位的情況下所述分布密度降低，所述脈沖激光的振蕩條件與使所述法線方位變化的方向和量無關(guān)，實(shí)質(zhì)上是恒定的。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板的法線方位的調(diào)整方法，其特征在于預(yù)先掌握對所述預(yù)定區(qū)域照射所述脈沖激光的部位的數(shù)量與所述特定區(qū)域的法線變 化的方向和量之間的關(guān)系，基于所述關(guān)系，根據(jù)使所述法線方位變化的量決定照射所述脈沖激光的部位的數(shù)量。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板的法線方位的調(diào)整方法，其特征在于 所述預(yù)定區(qū)域以特定區(qū)域的中央附近作為中心，且大致呈環(huán)狀， 多個所述照射部位位于所述大致呈環(huán)狀的預(yù)定區(qū)域內(nèi)，所述照射部位的分布密度通過特定區(qū)域的中央與照射位置之間的距離以及彼此鄰接 的照射部位之間的距離來加以控制。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板的法線方位的調(diào)整方法，其特征在于 所述預(yù)定區(qū)域是以特定區(qū)域的中央作為中心的一定的角度范圍。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板的法線方位的調(diào)整方法，其特征在于 所述預(yù)定區(qū)域以所述特定區(qū)域的中央作為中心遍及大致半周擴(kuò)展。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的基板的法線方位的調(diào)整方法，其特征在于 所述基板由通過所述脈沖激光的局部照射產(chǎn)生的加熱、冷卻而引起變形的材料形成。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板的法線方位的調(diào)整方法，其特征在于 所述基板為鋁合金或者鋼板。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板的法線方位的調(diào)整方法，其特征在于 所述基板是主軸電動機(jī)的基座基板。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板的法線方位的調(diào)整方法，其特征在于所述基座基板具有固定主軸電動機(jī)的軸承部的平面，所述平面的周緣在周方向剛性不同。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板的法線方位的調(diào)整方法，其特征在于 所述基板是光盤驅(qū)動器用電動機(jī)的基座基板。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板的法線方位的調(diào)整方法，其特征在于在基板的法線方位的調(diào)整方法中，在照射脈沖激光的預(yù)定區(qū)域內(nèi)，使照射上述脈沖激光的部位為多個，根據(jù)使上述法線方位變化的方向決定上述預(yù)定區(qū)域的中心位置和范圍，通過增減上述預(yù)定區(qū)域內(nèi)的照射上述脈沖激光的部位的數(shù)量來增減使上述法線方位變化的量，對于照射上述脈沖激光的部位的分布密度，在增加上述照射的部位的情況下上述分布密度增高，在減少上述照射的部位的情況下上述分布密度降低，上述脈沖激光的振蕩條件與使上述法線方位變化的方向和量無關(guān)，實(shí)質(zhì)上是恒定的。
文檔編號G11B33/02GK101933091SQ20098010342
公開日2010年12月29日 申請日期2009年3月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月11日
發(fā)明者岡山佳樹, 塚本博則, 濱田勝俊 申請人:日本電產(chǎn)株式會社