專利名稱：磁頭組件、磁盤裝置及轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及令用于電腦存儲(chǔ)裝置等的磁盤裝置更高密度化存儲(chǔ)的適合的磁頭組 件、具備該磁頭組件的磁盤裝置及轉(zhuǎn)動(dòng)裝置。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，磁盤裝置上的磁盤的高密度化存儲(chǔ)日益發(fā)展。在磁盤裝置中，在磁盤設(shè)置 有搭載了用以進(jìn)行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)及/或再生的磁頭的滑塊(slider)，該滑塊由磁頭支撐結(jié)構(gòu)支 撐。磁頭支撐結(jié)構(gòu)具有安裝了滑塊的磁頭驅(qū)動(dòng)臂(head actuator arm)，該磁頭驅(qū)動(dòng)臂通過(guò) 音圈電機(jī)(VCM)可轉(zhuǎn)動(dòng)地構(gòu)成。通過(guò)控制該VCM，對(duì)搭載于滑塊的磁頭進(jìn)行定位控制，以使 其位于磁盤上的任意位置上。為了以進(jìn)一步高的密度在磁盤上存儲(chǔ)數(shù)據(jù)，就需要使磁頭在磁盤上的定位更高精 度化。但是，僅僅通過(guò)VCM來(lái)轉(zhuǎn)動(dòng)磁頭驅(qū)動(dòng)臂、定位磁頭，磁頭定位無(wú)法達(dá)到那么高的精度。在特開2002-3M374號(hào)公報(bào)中公開了如下技術(shù)，S卩為了以高精度定位磁頭，通過(guò) 彈性鉸鏈部來(lái)支撐搭載了滑塊的滑塊支撐板使其自由轉(zhuǎn)動(dòng)，在磁頭驅(qū)動(dòng)臂的頂端部設(shè)置薄 膜壓電元件，該薄膜壓電元件向該滑塊支撐板施加轉(zhuǎn)動(dòng)力，從而使磁頭產(chǎn)生微小位移的技 術(shù)(微小位移結(jié)構(gòu))。圖2 是表示該特開2002-3M374號(hào)公報(bào)所記載的微小位移結(jié)構(gòu)的圖，圖22b是 說(shuō)明該微小位移結(jié)構(gòu)上的位移動(dòng)作的圖。如圖2 所示，在該微小位移結(jié)構(gòu)中，彈性配線基板的第1及第2壓電體支撐部 220a及220b上分別搭載有第1及第2薄膜壓電體元件221a及221b。第1及第2壓電體 支撐部220a及220b分別介由越靠近中部越細(xì)窄形狀的彈性鉸鏈部220c及220d與滑塊支 撐板220e相連接。滑塊支撐板220e以支點(diǎn)突起222為中心能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式構(gòu)成，該滑塊 支撐板220e上固定有具有磁頭223的滑塊224。如圖22b所示意性表示的那樣，第1壓電體支撐部220a和第1薄膜壓電體元件 221a構(gòu)成第1梁(beam)Bi，第2壓電體支撐部220b和第2薄膜壓電體元件221b構(gòu)成第2 梁B2，滑塊支撐板220e的頂端部構(gòu)成連桿(link) L，支點(diǎn)突起222構(gòu)成連桿L的轉(zhuǎn)動(dòng)中心 0，滑塊2M構(gòu)成與連桿L 一體的長(zhǎng)度為d的臂Al，在該臂Al的頂端存在磁頭元件223。連 桿L以其兩端相對(duì)于第1梁Bl和第2梁B2可相對(duì)自由轉(zhuǎn)動(dòng)的方式構(gòu)成。第1梁Bl及第2 梁B2能夠自由轉(zhuǎn)動(dòng)是由于存在彈性鉸鏈部220c及220d的緣故。彈性鉸鏈部220c及220d 分別構(gòu)成搖動(dòng)支點(diǎn)Cl及C2。彈性鉸鏈部220c及220d在滑塊224的俯仰方向及滾動(dòng)方向 呈柔軟的構(gòu)成，從而能給予滑塊2M對(duì)于磁盤的良好的懸浮特性。在特開2008-293636號(hào)公報(bào)中公開了如下技術(shù)，S卩在與特開2002-3M374號(hào)公報(bào) 同樣的微小位移結(jié)構(gòu)中，通過(guò)設(shè)置由支撐滑塊支撐板的1對(duì)剛性梁及1對(duì)彈性梁構(gòu)成的外 伸托梁(outrigger)，防止制造工序和施加沖擊力時(shí)發(fā)生的懸梁(suspension)變形及從凹 處(dimple，支點(diǎn)突起)脫離的現(xiàn)象。在特開2001-052456號(hào)公報(bào)中公開了如下技術(shù)，S卩為了以高精度定位磁頭，在由板狀彈性體構(gòu)成的加載梁的頂端部設(shè)置同樣由板狀彈性體構(gòu)成并支撐滑塊搭載部的1對(duì) 板狀臂部，并在該1對(duì)板狀臂部上設(shè)置壓電薄膜，通過(guò)驅(qū)動(dòng)該壓電薄膜使磁頭產(chǎn)生微小位 移。但是，根據(jù)特開2002-3M374號(hào)公報(bào)公開的微小位移結(jié)構(gòu)，在進(jìn)行將滑塊2M向磁 盤上移動(dòng)的加載動(dòng)作及使其從磁盤上脫離的卸載動(dòng)作時(shí)，會(huì)出現(xiàn)以下問(wèn)題。在進(jìn)行滑塊加載動(dòng)作及卸載動(dòng)作時(shí)，需要以良好的精度設(shè)定該滑塊的姿態(tài)角，即 滾動(dòng)方向和俯仰方向的姿態(tài)角，但由于專利文獻(xiàn)1的微小位移結(jié)構(gòu)中的彈性鉸鏈部220c及 220d、是由配線構(gòu)件和涂布樹脂構(gòu)成的，雖有柔軟性但也易變形。因此，難以微調(diào)滑塊姿態(tài) 角并確保穩(wěn)定性，難以規(guī)定姿態(tài)角。另外，將搭載了滑塊的滑塊支撐板按壓于支點(diǎn)突起的預(yù) 壓(preload，內(nèi)應(yīng)力)小，滑塊支撐板與支點(diǎn)突起容易分開，加載及卸載動(dòng)作時(shí)可能引起滑 塊姿態(tài)不穩(wěn)定、從而損傷磁盤。根據(jù)特開2008-293636號(hào)公報(bào)公開的微小位移結(jié)構(gòu)，通過(guò)設(shè)置彈性外伸托梁，能 夠防止施加沖擊時(shí)發(fā)生的懸梁變形和滑塊從凹處脫離的現(xiàn)象，但由于該外伸托梁，滑塊的 微小位移動(dòng)作自身也被限制，損害了磁頭的位移特性。另外，當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)滑塊使其發(fā)生位移時(shí)， 需要使外伸托梁發(fā)生彈性變形，因此就需要較大的驅(qū)動(dòng)力。另外，根據(jù)特開2001-052456號(hào)公報(bào)公開的微小位移結(jié)構(gòu)，雖然只用由彈性體構(gòu) 成的1對(duì)板狀臂部支撐滑塊，但對(duì)于壓電體的彎曲剛性，彈性體的彎曲剛性變大，因而得不 到充分的位移。另外，難以保持加載動(dòng)作及卸載動(dòng)作時(shí)的滑塊的良好的姿態(tài)角。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明是為解決現(xiàn)有技術(shù)的所述問(wèn)題而做出的，其目的在于提供一種不影 響磁頭的位移特性、能實(shí)現(xiàn)滑塊的姿態(tài)角的調(diào)整及穩(wěn)定化，并能以高存儲(chǔ)密度進(jìn)行數(shù)據(jù)的 讀入和讀取的磁頭組件，具備該磁頭組件的磁盤裝置，及轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明，提供一種磁頭組件，具備滑塊，其具有磁頭元件；加載梁；支點(diǎn)，其 設(shè)置于加載梁頂端部；滑塊支撐板，其以使滑塊以該支點(diǎn)為中心自由轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支撐該滑 塊；驅(qū)動(dòng)元件，其給予滑塊支撐板沿著該平面的轉(zhuǎn)動(dòng)力；直線狀的第1連桿部，其在兩端具 有機(jī)械連接于滑塊支撐板的第1頂端連接部及機(jī)械連接于加載梁的第1基端連接部；直線 狀的第2連桿部，其在兩端具有機(jī)械連接于滑塊支撐板的第2頂端連接部及機(jī)械連接于加 載梁的第2基端連接部，其中第1連桿部的延長(zhǎng)線和第2連桿部的延長(zhǎng)線均朝向所述支點(diǎn) 的位置，以相互交叉的方式構(gòu)成。由于第1連桿部的延長(zhǎng)線和第2連桿部的延長(zhǎng)線均朝向支撐滑塊以使其自由轉(zhuǎn)動(dòng) 的支點(diǎn)的位置，以相互交叉的方式構(gòu)成，能夠在滾動(dòng)方向和俯仰方向的得到充分的剛性，并 且能夠在滑塊的偏轉(zhuǎn)方向的轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)作上不給予太多的轉(zhuǎn)動(dòng)負(fù)荷而確保磁頭的位移量。另 外，由于確保了將滑塊按壓于支點(diǎn)突起的預(yù)壓(應(yīng)力)，就能穩(wěn)定地控制滑塊的姿態(tài)角，因 此能避免加載/卸載動(dòng)作時(shí)的磁盤損傷。即，由于對(duì)磁盤進(jìn)行跟蹤修正，因此在對(duì)磁頭進(jìn)行 微小位移控制時(shí)，就能維持該磁頭的高速及高精度應(yīng)答特性。另外，減少了零部件數(shù)目，因 而能夠提供輕量化且小型化的磁頭組件和磁盤裝置。另外，由于滑塊及磁頭支撐板能以支 點(diǎn)突起為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，能大幅度減小在進(jìn)行動(dòng)作時(shí)對(duì)驅(qū)動(dòng)體部分施加的壓力及負(fù)荷，因此能 防止驅(qū)動(dòng)元件的劣化和損傷，因此，能大幅改善磁頭組件的耐久性。
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優(yōu)選地，第1連桿部的延長(zhǎng)線和第2連桿部的延長(zhǎng)線的交叉點(diǎn)實(shí)際上是支點(diǎn)的位置。也優(yōu)選，第1連桿部和第2連桿部是具有難以變形的剛性的連桿構(gòu)造物或具有使 形狀容易變形的彈性的連接構(gòu)造物。還優(yōu)選，第1連桿部和第2連桿部是將與滑塊支撐板一體構(gòu)成的板狀構(gòu)件的一部 分彎曲而形成的。由此，能用簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)形成連桿機(jī)構(gòu)。更優(yōu)選，與滑塊支撐板一體構(gòu)成的板狀構(gòu)件的一部分的彎曲方向?yàn)榕c設(shè)置該板狀 構(gòu)件的驅(qū)動(dòng)元件的面的相反側(cè)的面的方向。通過(guò)向該方向彎曲，不會(huì)發(fā)生由于特定頻率下 的共振而產(chǎn)生振動(dòng)這樣的不便。還優(yōu)選，第1頂端連接部、第1基端連接部、第2頂端連連接部及第2基端連接部 為局部剛性減弱的部分。由此，能夠盡力減小滑塊偏轉(zhuǎn)方向的機(jī)械負(fù)荷，因此能夠順利地對(duì) 磁頭進(jìn)行微小的定位。優(yōu)選地，還具有被加載梁所支撐的有彈性的撓性件，該撓性件以使滑塊支撐板可 轉(zhuǎn)動(dòng)的方式與滑塊支撐板一體構(gòu)成。這種情況下，更優(yōu)選，還具有1對(duì)第1及第2外伸托梁 部，第1及第2外伸托梁部與滑塊支撐板及所述撓性件一體構(gòu)成，并連接撓性件和滑塊支撐 板，第1及第2連桿部分別作為該第1及第2外伸托梁部的一部分而構(gòu)成。還優(yōu)選，驅(qū)動(dòng)元件為固定在撓性件頂端部的至少一個(gè)薄膜壓電體元件。根據(jù)本發(fā)明，進(jìn)一步提供一種具備所述磁頭組件、進(jìn)行動(dòng)作時(shí)該磁頭組件的滑塊 懸浮于其表面的磁盤的磁盤裝置。另外，根據(jù)本發(fā)明，還進(jìn)一步提供如下的轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，具有基體；支點(diǎn)，其設(shè)置于基體 上；支撐板，其以使被轉(zhuǎn)動(dòng)體以該支點(diǎn)為中心自由轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支撐被轉(zhuǎn)動(dòng)體；驅(qū)動(dòng)元件，其 給予支撐板沿著該平面的轉(zhuǎn)動(dòng)力；直線狀的第1連桿部，其在兩端具有機(jī)械連接于支撐板 的第1頂端連接部及機(jī)械連接于基體的第1基端連接部；直線狀的第2連桿部，其在兩端具 有機(jī)械連接于支撐板的第2頂端連接部及機(jī)械連接于基體的第2基端連接部，第1連桿部 的延長(zhǎng)線和第2連桿部的延長(zhǎng)線均朝向支點(diǎn)的位置，以相互交叉的方式構(gòu)成。優(yōu)選地，第1連桿部的延長(zhǎng)線和第2連桿部的延長(zhǎng)線的交叉點(diǎn)實(shí)際上是支點(diǎn)的位 置。本發(fā)明的其他目的及效果從下文的附圖中說(shuō)明的本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方案可以清 楚地了解。


圖1是示意性地表示作為本發(fā)明的磁盤裝置的一個(gè)實(shí)施方案，加載/卸載方式的 硬盤驅(qū)動(dòng)器(HDD)裝置的整體構(gòu)成的平面圖。圖2是示意性地表示圖1的實(shí)施方案中磁頭組件的整體構(gòu)成的立體圖。圖3是示意性地表示圖1的實(shí)施方案中磁頭組件的整體構(gòu)成的分解狀態(tài)下的分解 立體圖。圖4是示意性地表示圖1的實(shí)施方案中撓性件(flexure)的具體構(gòu)成的分解狀態(tài) 下的分解立體圖。圖5是示意性地表示圖1的實(shí)施方案中加載梁和撓性件的頂端部分的構(gòu)成的平面圖。圖6是示意性地表示圖1的實(shí)施方案中加載梁和撓性件的頂端部分的構(gòu)成的側(cè)視 圖。圖7是示意性地表示圖1的實(shí)施方案中滑塊的構(gòu)成的立體圖。圖是放大顯示圖1的實(shí)施方案中連桿部構(gòu)成的平面圖。圖8b是放大顯示圖1的實(shí)施方案中連桿部構(gòu)成的側(cè)視圖。圖9是表示圖1的實(shí)施方案中第1及第2薄膜壓電體元件的構(gòu)成的平面圖。圖10是圖9的A-A線剖面圖。圖Ila是示意性地說(shuō)明圖1的實(shí)施方案中連桿部及連接部的構(gòu)成的圖。圖lib是說(shuō)明圖1的實(shí)施方案中連桿部及連接部的動(dòng)作的圖。圖12a是圖1的實(shí)施方案中薄膜壓電體元件的驅(qū)動(dòng)說(shuō)明圖。圖12b是施加于圖12a的薄膜壓電體元件的驅(qū)動(dòng)電壓的波形圖。圖13a是圖1的實(shí)施方案的動(dòng)作說(shuō)明圖。圖13b是圖1的實(shí)施方案的動(dòng)作說(shuō)明圖。圖14a是現(xiàn)有技術(shù)的動(dòng)作說(shuō)明圖。圖14b是現(xiàn)有技術(shù)的動(dòng)作說(shuō)明圖。圖15a是現(xiàn)有技術(shù)的動(dòng)作說(shuō)明圖。圖15b是現(xiàn)有技術(shù)的動(dòng)作說(shuō)明圖。圖16a是用于示意性地說(shuō)明如圖1的實(shí)施方案那樣具有彎曲形成的第1及第2連 桿部的磁頭組件的動(dòng)作的側(cè)視圖。圖16b是用于示意性地說(shuō)明如圖1的實(shí)施方案那樣具有彎曲形成的第1及第2連 桿部的磁頭組件的動(dòng)作的側(cè)視圖。圖17a是表示具有圖16a和圖16b的構(gòu)造的第1及第2連桿部的情況下相對(duì)于頻 率的增益變化的特性圖。圖17b是表示具有圖16a和圖16b的構(gòu)造的第1及第2連桿部的情況下相對(duì)于頻 率的相位變化的特性圖。圖18a是用以示意性說(shuō)明具有在向與圖1的實(shí)施方案情況相反方向彎曲形成的第 1及第2連桿部的磁頭組件的動(dòng)作的側(cè)視圖。圖18b是用以示意性說(shuō)明具有在向與圖1的實(shí)施方案情況相反方向彎曲形成的第 1及第2連桿部的磁頭組件的動(dòng)作的側(cè)視圖。圖19a是表示具有圖18a和圖18b的構(gòu)造的第1及第2連桿部的情況下相對(duì)于頻 率的增益變化的特性圖。圖19b是表示具有圖18a和圖18b的構(gòu)造的第1及第2連桿部的情況下相對(duì)于頻 率的相位變化的特性圖。圖20是示意性地表示本發(fā)明的其他實(shí)施方案的磁頭組件頂端部的構(gòu)成的平面 圖。圖21a是圖20的實(shí)施方案的動(dòng)作說(shuō)明圖。圖21b是圖20的實(shí)施方案的動(dòng)作說(shuō)明圖。圖22a是表示專利文獻(xiàn)1記載的現(xiàn)有的微小位移結(jié)構(gòu)的構(gòu)成的圖。
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圖22b是說(shuō)明表示專利文獻(xiàn)1記載的現(xiàn)有的微小位移結(jié)構(gòu)的位移動(dòng)作的圖。
具體實(shí)施例方式圖1示意性地表示了作為本發(fā)明的磁盤裝置的一個(gè)實(shí)施方案，加載/卸載方式的 HDD裝置的整體構(gòu)成。在該圖中，10為HDD的外殼(housing)，11為通過(guò)主軸電機(jī)(spindle motor)以軸 12為中心轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)的磁盤，13表示在頂端部安裝了具有磁頭元件的滑塊14的磁頭組件，15 表示將該磁頭組件13支撐于頂端部的支撐臂。支撐臂15的后端部安裝有音圈電機(jī)(VCM)的線圈部，其以水平轉(zhuǎn)動(dòng)軸16為中心 能與磁盤11的表面平行地轉(zhuǎn)動(dòng)。VCM包括該線圈部和覆蓋該線圈部的磁體部17。從磁盤 11的數(shù)據(jù)區(qū)域外側(cè)至磁盤11的外側(cè)設(shè)置有斜面機(jī)構(gòu)(ramp mechanism) 18，在該傾斜的表 面上，設(shè)置于磁頭組件13的最頂端的接頭(tab) 21a上移使滑塊14從磁盤11脫離，從而呈 卸載狀態(tài)?；瑝K14的后端面(后緣)具備薄膜磁頭14a(圖幻，該薄膜磁頭由感應(yīng)寫入磁頭 元件，巨磁阻效應(yīng)(GMR)讀取磁頭元件或隧道型巨磁電阻效應(yīng)(TMR)讀取磁頭元件等MR讀 取磁頭元件構(gòu)成。進(jìn)行動(dòng)作時(shí)(磁盤高速轉(zhuǎn)動(dòng)中)，滑塊14與磁盤11表面相向以低懸浮量懸浮，呈 加載狀態(tài)。另一方面，在非進(jìn)行動(dòng)作時(shí)(磁盤處于停止中，起動(dòng)及停止時(shí)的低速轉(zhuǎn)動(dòng)中)，磁 頭組件13的頂端部的接頭21a位于斜面機(jī)構(gòu)18上，從而滑塊14處于卸載狀態(tài)。圖2示意性地表示了圖1的實(shí)施方案中磁頭組件的整體構(gòu)成，圖3示意性地表示 了該磁頭組件的整體構(gòu)成的分解狀態(tài)。如這些圖所示，磁頭組件13作為主要構(gòu)成元件，具備滑塊14，所述滑塊具有基板 20、加載梁21、撓性件22、作為驅(qū)動(dòng)元件的第1及第2薄膜壓電體元件23a及23b、以及磁頭 元件Ha。以矩形形狀構(gòu)成的基板20以安裝于支撐臂15(圖1)的頂端部的方式構(gòu)成。另外， 在圖2中，滑塊14的姿態(tài)角的俯仰方向用Dp表示，滾動(dòng)方向用Dr表示，偏轉(zhuǎn)(yaw)方向用 Dy表示。如圖3所示，加載梁21具備基端部21b，其通過(guò)例如電子束焊接等固定于基板20 上；第1及第2板彈簧部21c及21d，其從該基端部21b尖細(xì)狀延伸；開口部21e，其形成于 第1及第2板彈簧部21c及21d之間；梁主部21f，其與第1及第2板彈簧部21c及21d相 連接、直線且尖細(xì)狀延伸；頂端支撐部21g，其與梁主部21f的頂端相連接；第1及第2限定 部21h及21i，其從頂端支撐部21g的左右兩側(cè)立起。在頂端支撐部21g的大致中央部，一體突出形成有支點(diǎn)突起21 j，在加載梁21的頂 端，接頭21a—體地向遠(yuǎn)離基端部21b的方向延伸而形成。旨在限定撓性件22動(dòng)作的第1 及第2限定部21h及21i，從頂端支撐部21g的頂端朝著基端部21b的方向以直線狀延伸。撓性件22具有基板主部22a，其固定于加載梁21的梁主部21f ；外部連接用端子 39a及39b用的端子部22b，其固定于加載梁21的基端部21b ；連接部22c，其以彎曲狀連接 基板主部2 和端子部22b。這些基板主部22a、端子部22b及連接部22c是一體形成的。圖4示意性地表示了撓性件22的具體構(gòu)成的分解狀態(tài)，圖5示意性地表示了加載梁21及撓性件22的頂端部分的構(gòu)成。如圖4所示，撓性件22具有，撓性基板30 ；滑塊支撐板31，其設(shè)置于撓性基板30的 頂端；配線用彈性基板32，其固定于這些撓性基板30及滑塊支撐板31上，并實(shí)施了配線。 撓性基板30和滑塊支撐板31通過(guò)金屬板，優(yōu)選通過(guò)不銹鋼板，互相一體形成。左右對(duì)稱的1對(duì)第1及第2外伸托梁部33a及3 從滑塊支撐板31的后端兩側(cè) 部延伸，該第1及第2外伸托梁部33a及3 終止于撓性基板30。即，該第1及第2外伸 托梁部33a及3 通過(guò)金屬板，優(yōu)選通過(guò)不銹鋼板，與撓性基板30及滑塊支撐板31 —體形 成。該第1及第2外伸托梁部33a及3 規(guī)定滑塊支撐板31的滾動(dòng)方向及俯仰方向 的姿態(tài)角，并發(fā)揮將滑塊支撐板31壓在形成于加載梁21的頂端的支點(diǎn)突起21 j上的作用， 在它們之間，作為外伸托梁的一部分，分別形成有在兩端具有第1頂端連接部33 及第1基 端連接部33 的直線狀第1連桿部33 ，和在兩端具有第2頂端連接部33bi及第2基端連 接部33 的直線狀第2連桿部33b3。另外，該第1連桿部33 和第2連桿部33b3是通過(guò) 直角彎曲構(gòu)成第1及第2外伸托梁部33a及33b的金屬板的一部分而形成。如上所述，滑塊支撐板31介由第1及第2外伸托梁部33a及3 與撓性基板30 相連接，但也可以介由配線用彈性基板32與撓性基板30相連接。如圖5所示，在配線用彈性基板32上形成有用以支撐第1及第2薄膜壓電體元件 23a及23b的第1及第2壓電體支撐部3 及32b，在該第1及第2壓電體支撐部3 及 32b之間形成有狹縫切槽32c。在配線用彈性基板32的與滑塊支撐板31相連接的頂端側(cè) 部分上形成有第1及第2彈性鉸鏈部32d及32e。該第1及第2彈性鉸鏈部32d及32e，是 以具有縮頸、局部窄幅的狀態(tài)形成的，其與撓性件頂端部32f相連接?；瑝K支撐板31與該 撓性件頂端部32f—體固定。這樣，通過(guò)第1及第2彈性鉸鏈部32d及3 部分變細(xì)，滑塊 支撐板31在該平面內(nèi)自由轉(zhuǎn)動(dòng)。第1及第2彈性鉸鏈部32d及3 與分叉狀的第1及第 2壓電體支撐部3 及32b之間形成有加強(qiáng)用的連接加強(qiáng)板3 及34b (圖4)。撓性基板30、滑塊支撐板31、第1及第2外伸托梁部33a及33b、第1及第2連桿 部33 及33b3、連接加強(qiáng)板3 及34b由金屬板構(gòu)件形成，優(yōu)選由不銹鋼構(gòu)件形成。第1及 第2彈性鉸鏈部32d及3 和配線用彈性基板32由聚酰亞胺樹脂等絕緣膜和配線材料構(gòu) 成。該配線用彈性基板32上，以圖案的方式形成有磁頭元件用配線圖案和薄膜壓電體元件 用配線圖案。聚酰亞胺樹脂兼做對(duì)于薄膜壓電體元件用配線圖案和磁頭元件用配線圖案的 絕緣膜。薄膜壓電體元件用配線圖案具有第1薄膜壓電體元件驅(qū)動(dòng)用配線37a、第2薄膜壓 電體元件驅(qū)動(dòng)用配線37b及第3薄膜壓電體元件驅(qū)動(dòng)用配線37c。除此之外，還形成有用于 將滑塊14接地的接地配線37d(圖5)。如圖5所示，作為磁頭元件用配線圖案，形成有沿左側(cè)邊配線的第1及第2磁頭元 件配線3 及35b，和沿右側(cè)邊配線的第3及第4磁頭元件配線35c及35d。這些配線延伸 至撓性件頂端部32f，在此分別與焊盤36a、36b、36c及34d相連接。第3薄膜壓電體元件驅(qū)動(dòng)用配線37c的焊盤38c配置于切槽32c的基部側(cè)端部的 附近，第1薄膜壓電體元件驅(qū)動(dòng)用配線37a的焊盤38a和第2薄膜壓電體元件驅(qū)動(dòng)用配線 37b的焊盤3 配置于焊盤38c的左右兩側(cè)。接地配線37d的焊盤38d配置于切槽32c的頂端側(cè)端部的附近，由此處通過(guò)切槽32c的兩側(cè)與第3薄膜壓電體元件驅(qū)動(dòng)用配線37c的 焊盤38c相連接。第1彈性鉸鏈部32d包括第1磁頭元件配線35a、第2磁頭元件配線3 及彈性基 板32的絕緣膜。第2彈性鉸鏈部3 包括接地配線37d、第3磁頭元件配線35c、第4磁頭 元件配線35d、及彈性基板32的絕緣膜構(gòu)成。主要由撓性基板30、滑塊支撐板31、配線用彈性基板32、連接加強(qiáng)板3 及34b 構(gòu)成的撓性件22是在表面層積并覆蓋薄膜壓電體元件用配線圖案和磁頭元件用配線圖案 的狀態(tài)下，通過(guò)對(duì)作為撓性基板30及滑塊支撐板31的基礎(chǔ)的不銹鋼鋼板進(jìn)行蝕刻處理而 制造的。對(duì)于如此像這樣對(duì)于形成了配線圖案的不銹鋼鋼板，通過(guò)基于蝕刻的整緣加工 (trimming)，使撓性基板30、滑塊支撐板31和連接加強(qiáng)板3 及34b呈現(xiàn)。其結(jié)果，在形態(tài) 上，撓性基板30和滑塊支撐板31呈介由配線用彈性基板32相連接的狀態(tài)。因此，滑塊支 撐板31與撓性基板30，以介由配線用彈性基板32的第1及第2彈性鉸鏈部32d及32e并 可游動(dòng)的狀態(tài)連接，滑塊支撐板31及撓性件頂端部32f在滑塊14的俯仰方向及滾動(dòng)方向 上具有移動(dòng)自由度。俯仰方向是圖2的Dp方向，滾動(dòng)方向是圖2的Dr方向。圖6是示意性地表示本實(shí)施方案的加載梁21及撓性件22的頂端部分的構(gòu)成的 圖。如圖6及圖4所示，在相對(duì)于撓性基板30具有撓性的滑塊支撐板31上，在其中央 部一體形成有滑塊保持部31a，該滑塊保持部31a是通過(guò)折彎加工而形成的。通過(guò)折彎加工 形成的滑塊保持部31a，比滑塊支撐板31的基準(zhǔn)面更向其法線方向突出。另外，滑塊支撐板 31，以包括滑塊14、撓性件頂端部32f及該滑塊支撐板31的滑塊轉(zhuǎn)動(dòng)部的慣性軸與支點(diǎn)突 起21 j相一致的方式來(lái)決定其形狀。圖7表示了滑塊14，如該圖所示，滑塊14，抗磁效果(MR)讀取磁頭元件及感應(yīng)寫 入磁頭元件等磁頭元件Ha安裝于該陶瓷制滑塊主體14b上，并且，與磁頭元件1 連接的 四個(gè)電極端子14c、14d、He及14f埋入滑塊主體14b中，其一部分呈列狀露出于元件形成 面。滑塊主體14b的上面成為對(duì)由轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)的磁盤11產(chǎn)生的氣流的空氣軸承面14g及14h。 該空氣軸承面14g及14h，使所述氣流沿著滑塊14的俯仰方向(磁盤11的切線方向)通 流，與磁盤11之間形成空氣潤(rùn)滑膜。圖及圖8b放大顯示了本實(shí)施方案的第2外伸托梁部3 的第2連桿部33b3的 構(gòu)成，圖8a為平面圖，圖8b是從箭頭M方向看到的側(cè)視圖。如從圖8a、圖Sb、圖4及圖5也可知的那樣，連接滑塊支撐板31和撓性基板30的 第1及第2外伸托梁部33a及3 是與撓性基板30 —體的，通過(guò)蝕刻等加工方法來(lái)進(jìn)行形 狀加工。其后，第1及第2連桿部33 及33b3在彎曲加工時(shí)，是向與撓性基板30的固定第 1及第2薄膜壓電體元件23a及23b的一側(cè)相反的方向以直角被彎曲。該第1及第2連桿 部33 及33b3分別形成為直線狀。第1連桿部33 兩端的彎曲加工部分構(gòu)成作為搖動(dòng)支 點(diǎn)的第1頂端連接部33 及第1基端連接部33 。第2連桿部33b3兩端的彎曲加工部分， 構(gòu)成作為搖動(dòng)支點(diǎn)的第2頂端連接部33bi及第2基端連接部33lv如圖8b所示，為使彎 曲加工容易進(jìn)行，在第2連桿部33b3兩端的附近事先通過(guò)蝕刻形成貫穿部33b5及33b6。雖 然未圖示，第1連桿33 上也形成有同樣的貫穿部。接著，對(duì)第1及第2薄膜壓電體元件23a及23b的具體構(gòu)造進(jìn)行說(shuō)明。
圖9是平面顯示第1及第2薄膜壓電體元件23a及23b的構(gòu)造。圖10顯示了其 沿A-A線的剖面。但是，在圖10中，為了有助于理解，繪圖時(shí)在厚度方向上的比例尺比實(shí)際 要大。第1及第2薄膜壓電體元件23a及23b，介由切槽32c構(gòu)成分叉狀，只有這些根部 互相連接，分別配置于配線用彈性基板32的第1及第2壓電體支撐部3 及32b上。另外， 該第1及第2薄膜壓電體元件23a及2 被涂布樹脂層94覆蓋。另外，第1及第2薄膜壓 電體元件23a及23b也可以左右分離。如圖10所明示的那樣，第1及第2薄膜壓電體元件23a及23b的構(gòu)造基本相同。 即，第1薄膜壓電體元件23a的薄膜壓電體91的上面及下面分別層積電極9 及93a，第2 薄膜壓電體元件2 的薄膜壓電體92的上面及下面也分別層積電極93d及93c。分別設(shè)置 有用以對(duì)電極93a施加電壓的連接襯墊95b、用以使電極9 接觸地面的連接襯墊95a、用 以對(duì)電極93d施加電壓的連接襯墊95c、用以使電極93c接觸地面的連接襯墊95d。作為薄膜壓電體91及92的構(gòu)成材料可以使用壓電材料。尤其是，優(yōu)選使用具有 鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的壓電材料，例如可以使用，PZT(鈦鋯酸鉛)等鉛類鈣鈦礦等單純鈣鈦礦或，包 含Bi4Ti3O12等層狀鈣鈦礦的復(fù)合鈣鈦礦等。在成膜這些薄膜壓電體時(shí)，為進(jìn)一步提高其配 向性，事先成膜種膜較好。作為種膜，并無(wú)特別限定，但優(yōu)選使用鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的種膜，例如， PLT (摻雜了鑭的鈦酸鉛)JbTiO3 (鈦酸鉛)、SrRu03等發(fā)揮壓電體材料功能的物質(zhì)、不發(fā)揮 壓電體材料功能的物質(zhì)也可以。作為電極93a 93d的構(gòu)成材料可以使用導(dǎo)電材料。尤其是優(yōu)選將由Au、白金族 元素(Pt、Ir、Pd、Os、Ru及他)構(gòu)成的群中的至少一種作為主成分而含有，更優(yōu)選由這些金 屬的單體或含有這些金屬的合金構(gòu)成。另外，也可以由組分不同的兩種以上的薄膜構(gòu)成。薄膜壓電體91及92的分極方向?yàn)閳D10的箭頭P的方向，在連接襯墊9 上施加 正電壓，則薄膜壓電體91在d31方向上收縮(圖9的箭頭D方向)。另外，在連接襯墊95c 上施加正電壓，則薄膜壓電體92在d31方向上伸長(zhǎng)(圖9的箭頭E方向)。如圖5所示，連接襯墊％a通過(guò)線粘合等連接在設(shè)置于撓性件22上的壓電體元件 驅(qū)動(dòng)用配線37a的焊盤38a上，連接襯墊95d通過(guò)線粘合等連接在壓電體元件驅(qū)動(dòng)用配線 37b的焊盤3 上。連接襯墊9 及連接襯墊95c在壓電體驅(qū)動(dòng)用配線37c的焊盤38c上 接觸地面。接著，參照?qǐng)D6，對(duì)將滑塊14安裝于撓性件22的安裝方法進(jìn)行說(shuō)明。位于撓性件22的頂端部的撓性件頂端部32f和滑塊支撐板31 —體固定，滑塊14 安裝于該部分上。即，以在滑塊14的幾何中心(圖芯)抵接在滑塊支撐板31的折彎加工 的滑塊保持部31a上的狀態(tài)，使滑塊14的前端下緣部抵接于滑塊支撐板31的平面部，在這 些抵接處用粘著劑一體固定滑塊14和滑塊支撐板31。通過(guò)調(diào)節(jié)該折彎加工的滑塊保持部 31a的高低差，能自由設(shè)定滑塊14的俯仰方向的傾斜角度。如圖5及圖7所示，用于將磁頭元件用配線35a、35b、35c及35d的端部的焊盤36a、 36b、36c及36d，和與滑塊14上的磁頭元件Ha相連接的電極端子14c、14d、He及14f介 由導(dǎo)電性粘著劑等分別電連接或物理連接。如圖5所示，在第1及第2外伸托梁部33a及3 途中，作為其一部分，分別形成 兩端具有第1頂端連接部33 及第1基端連接部33 的第1連桿部33 ，和兩端具有第2頂端連接部33bi及第2基端連接部33 的第2連桿部33b3。第1連桿部33 和第2連桿 部33b3是將構(gòu)成第1及第2外伸托梁部33a及33b的金屬板的一部分以直角彎曲而形成 的。另一方面，分別構(gòu)成直角彎曲部的第1頂端連接部33 及第1基端連接部33 ，和第2 頂端連接部33bi及第2基端連接部33 構(gòu)成有自由度的關(guān)節(jié)。尤其是在本實(shí)施方案中，第1連桿部33 的延長(zhǎng)線和第2連桿部33b3的延長(zhǎng)線 朝向作為以使滑塊14自由轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支撐的支點(diǎn)的支點(diǎn)突起21j的位置，以互相交叉的方 式構(gòu)成。更具體地，以第1連桿部33 的延長(zhǎng)線和第2連桿部33b3的延長(zhǎng)線的交叉點(diǎn)與 支點(diǎn)突起21j的位置一致的方式構(gòu)成。由此，滑塊支撐板31的瞬間中心與支點(diǎn)突起21 j — 致。其結(jié)果，滑塊支撐板31以支點(diǎn)突起21j為中心轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，在第1連桿部33 和第2連桿 部33b3上只有彎曲負(fù)荷在作用，牽引負(fù)荷近乎不發(fā)生作用。這樣，本實(shí)施方案的滑塊支撐板31與第1及第2彈性鉸鏈部32d及3 均被具有 連桿機(jī)構(gòu)的第1及第2外伸托梁部33a及3 支撐。第1及第2彈性鉸鏈部32d及3 在 滑塊14的滾動(dòng)方向及俯仰方向具有柔軟性，在偏轉(zhuǎn)方向具有高的剛性。另一方面，具有連 桿機(jī)構(gòu)的第1及第2彈性鉸鏈部32d及3 構(gòu)成如下，即其在滑塊14的滾動(dòng)方向及俯仰 方向具有適度的剛性，在偏轉(zhuǎn)方向具有高柔軟性?；瑝K的姿態(tài)角(俯仰方向及滾動(dòng)方向) 通過(guò)第1及第2外伸托梁部33a及3 進(jìn)行調(diào)整。進(jìn)而，該第1及第2外伸托梁部33a及 33b發(fā)揮使滑塊支撐板31向支點(diǎn)突起21 j賦予預(yù)壓(應(yīng)力)的作用。S卩，以加載/卸載動(dòng) 作時(shí)滑塊支撐板與支點(diǎn)突起難以分開的方式構(gòu)成。由此，能使滑塊的姿態(tài)角保持一定，并能 避免加載/卸載動(dòng)作時(shí)與磁盤的沖突。圖Ila是示意性地說(shuō)明本實(shí)施方案的連桿部及連接部的構(gòu)成的圖，圖lib是說(shuō)明 圖Ila的連桿部及連接部的動(dòng)作的圖，圖1 是本實(shí)施方案的薄膜壓電體元件的驅(qū)動(dòng)說(shuō)明 圖，圖12b是對(duì)圖12a的薄膜壓電體元件施加驅(qū)動(dòng)電壓的波形圖，圖13a及圖13b是用以說(shuō) 明本實(shí)施方案的動(dòng)作的圖，圖Ha及圖14b和圖15a及圖1 是用以說(shuō)明現(xiàn)有技術(shù)的動(dòng)作 的圖。以下，用這些圖來(lái)更詳細(xì)地說(shuō)明本實(shí)施方案的磁頭組件的動(dòng)作。如圖Ila及圖lib所示，在本實(shí)施方案中，由第1及第2外伸托梁部33a及3 及 其基部33 及33b4，和第1及第2連桿部33 及33b3構(gòu)成連桿機(jī)構(gòu)。進(jìn)而，以第1連桿部 33 的延長(zhǎng)線和第2連桿部33b3的延長(zhǎng)線的交叉點(diǎn)與支點(diǎn)突起21 j的位置一致的方式構(gòu) 成，使滑塊支撐板31的瞬間中心與支點(diǎn)突起21j —致。這種情況下，第1及第2彈性鉸鏈 部32d及3 分別構(gòu)成搖動(dòng)支點(diǎn)，第1及第2薄膜壓電體元件23a及2 分別構(gòu)成梁。另一方面，如圖1 所示，在第1及第2薄膜壓電體元件23a及2 上，薄膜壓電 體91及92的電極9 及93c接觸地面，在電極93a及93d上施加如圖12b所示那樣的電 壓。將薄膜壓電體91及92的分極方向設(shè)為箭頭P表示的方向，則第1及第2薄膜壓電體 元件23a及2 通過(guò)壓電定數(shù)d31向圖9所示的箭頭D及E的方向伸縮。圖13a表示了對(duì)電極93a及93d沒有施加電壓的狀態(tài)。如圖1 所示，對(duì)電極93a 及93d施加正電壓V1，則第1壓電體元件23a收縮，第2壓電體元件2 伸長(zhǎng)。由此，滑塊 14以支點(diǎn)突起21j為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。此時(shí)，滑塊支撐板31通過(guò)第1及第2外伸托梁部33a及 33b被撓性基板30支撐，其中外伸托梁部33a及3 具有包含第1及第2連桿部33 及 33bs的連桿機(jī)構(gòu)。由于第1及第2連桿部33 及33b3的延長(zhǎng)線的交點(diǎn)與支點(diǎn)突起21 j的 位置吻合，磁頭支撐板31的轉(zhuǎn)動(dòng)的瞬間中心與該支點(diǎn)突起21 j的位置一致。在此，例如，如果將第1及第2薄膜壓電體元件23a及23b的有效長(zhǎng)度設(shè)為2mm，由于磁頭元件14的位移 量最多0. 5 μ m以下，其非常小，因此磁頭支撐板31的轉(zhuǎn)動(dòng)的瞬間中心與支點(diǎn)突起21 j的位 置偏差可以忽視。由此，因第1及第2薄膜壓電體元件23a及2 而對(duì)磁頭支撐板31的轉(zhuǎn) 動(dòng)所產(chǎn)生的機(jī)械負(fù)荷就變得極小。為了進(jìn)一步加深理解，作為比較，將第1及第2外伸托梁部33a'及33b'的第1及 第2連桿部33 '及33b3'作為互相平行的連桿而構(gòu)成的情況表示在圖1 及圖14b中。 這種情況下，由于連桿機(jī)構(gòu)形成平行連桿，第1及第2薄膜壓電體元件23a'及23b'沒有 伸縮自由度，不會(huì)發(fā)生磁頭元件14a的移動(dòng)(另外，在圖中，用X來(lái)表示不做動(dòng)作的情況)。圖15a及圖1 表示了圖1 及圖14b的平行連桿具有彈性時(shí)的構(gòu)成。其是滑塊 支撐板31和撓性基板30由第1及第2外伸托梁部33a “及33b “的具有彈性的第1及 第2連桿部33 "及33b3"連接的構(gòu)成的情況。這種情況下，第1及第2薄膜壓電體元件 23a"及23b “以支點(diǎn)突起21j的位置為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，但需要大量的使具有彈性的第1及第2 連桿部33 "及33b3"伸縮的能量，結(jié)果，磁頭元件14a的位移量減少。這樣，在圖1 及 圖14b和圖15a及圖1 所示的構(gòu)成中，難以確保其性能。第1及第2外伸托梁部33a及3 途中形成的第1連桿部33 及第2連桿部33b3 是將構(gòu)成第1及第2外伸托梁部33a及33b的金屬板的一部分在撓性基板30的固定安裝 有第1及第2薄膜壓電體元件23a及23b的一側(cè)的相反方向上直角彎曲而形成的。通過(guò)使 彎曲方向?yàn)樵摲较?，不?huì)發(fā)生由特定頻率的共振而引起的振動(dòng)這樣的不便。以下對(duì)這一點(diǎn) 進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。圖16a及圖16b示意性地表示了如本實(shí)施方案那樣具有彎曲而形成的第1及第2 連桿部的磁頭組件的動(dòng)作，圖17a及圖17b分別表示了這種情況下的薄膜磁頭14a的相對(duì) 于頻率的增益變化及相對(duì)頻率的位相變化。另外，圖18a及圖18b示意性地表示了具有向 與本實(shí)施方案的情況相反的方向彎曲而形成的第1及第2連桿部的磁頭組件的動(dòng)作，圖19a 及圖1%分別表示了這種情況下的薄膜磁頭的相對(duì)于頻率的增益變化及相對(duì)于頻率的位 相變化。如圖16a及圖1 所示，像本實(shí)施方案那樣，當(dāng)?shù)?連桿部33 (第2連桿部3北3) 的彎曲方向與撓性基板30的固定安裝有第1薄膜壓電體元件23a (第2薄膜壓電體元件 23b)的一側(cè)方向相反時(shí)，伴隨著薄膜壓電體91(92)的伸長(zhǎng)及收縮，第1薄膜壓電體元件 23a (第2薄膜壓電體元件23b)例如向箭頭F3方向伸長(zhǎng)，則由于雙壓電晶片的效果，其向 箭頭Fl方向彎曲。此時(shí)，第1連桿部33 (第2連桿部3北3)也向與其相同方向的箭頭F2 方向彎曲。這時(shí)，如圖17a及圖17b所示，薄膜磁頭1 的增益及位相上沒有出現(xiàn)異常的峰 值。另一方面，如圖18a及圖18b所示，具有向與本實(shí)施方案相反方向彎曲的第1連桿 部(第2連桿部)的情況下，伴隨著薄膜壓電體的伸長(zhǎng)及收縮，第1薄膜壓電體元件(第2 薄膜壓電體元件)例如，在箭頭G3方向上伸長(zhǎng)，則由于雙壓電晶片的效果，其向箭頭Fl方 向彎曲。此時(shí)，第1連桿部(第2連桿部)向與其相反方向的箭頭G2方向彎曲。這時(shí)，如 圖19a及圖19b所示，薄膜磁頭的增益及位相在特定頻率上出現(xiàn)異常峰值。因此，優(yōu)選地，通過(guò)將構(gòu)成第1及第2外伸托梁部33a及33b的金屬板的一部分向 與撓性基板30的固定安裝有第1及第2薄膜壓電體元件23a及23b的一側(cè)相反的方向直角彎曲來(lái)形成第1連桿部33 及第2連桿部33b3。如上所說(shuō)明的那樣，若根據(jù)本實(shí)施方案，則第1連桿部33 的延長(zhǎng)線和第2連桿部 33bs的延長(zhǎng)線的交叉點(diǎn)與支點(diǎn)突起21 j的位置相一致，由此，使滑塊支撐板31的轉(zhuǎn)動(dòng)的瞬 間中心與支點(diǎn)突起21 j的位置相一致。因此，能夠在滾動(dòng)方向及俯仰方向得到足夠的剛性， 并且能夠?qū)瑝K14在偏轉(zhuǎn)方向上的轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)作不給予轉(zhuǎn)動(dòng)負(fù)荷而確保磁頭元件14a的位移 量。另外，通過(guò)確保將搭載滑塊14的滑塊支撐板31按壓在支點(diǎn)突起21 j的預(yù)壓(應(yīng)力)， 能夠?qū)崿F(xiàn)滑塊14姿態(tài)角的穩(wěn)定化，并且，能調(diào)整滑塊14的滾動(dòng)方向和俯仰方向的姿態(tài)，能 夠避免加載/卸載動(dòng)作時(shí)磁盤的損傷。即，由于對(duì)磁盤11進(jìn)行跟蹤修正，因此對(duì)磁頭元件 Ha進(jìn)行微小位移控制時(shí)，能維持該磁頭元件14a的高速及高精度應(yīng)答特性。另外，減少了 零部件數(shù)目，因而能夠提供輕量化及小型化的磁頭組件及磁盤裝置。另外，由于滑塊14及 磁頭支撐板31以支點(diǎn)突起21 j為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，大幅度減輕了動(dòng)作時(shí)向壓電體部分的施加的壓 力及負(fù)荷，能夠防止薄膜壓電元件的劣化和損傷，因此，大幅度改善磁頭組件的耐久性。圖20示意性地表示了本發(fā)明的其他實(shí)施方案的磁頭組件的頂端部的構(gòu)成，圖21a 及圖21b是說(shuō)明本實(shí)施方案的動(dòng)作的圖。在本實(shí)施方案中，對(duì)與圖2(或圖5)的實(shí)施方案 同樣的構(gòu)成要素使用相同的符號(hào)，另外，省略其說(shuō)明。如這些圖所示，在本實(shí)施方案中，只設(shè)置有單一的薄膜壓電體元件23。只通過(guò)形 成于支點(diǎn)突起21 j左側(cè)的第1彈性鉸鏈部32d形成磁頭元件用配線圖案。當(dāng)然，也可以只 通過(guò)第2彈性鉸鏈部3 形成磁頭元件用配線圖案。與圖2(或圖幻的實(shí)施方案相同，以 第1連桿部33 的延長(zhǎng)線與第2連桿部33b3的延長(zhǎng)線交叉的點(diǎn)與支點(diǎn)突起21 j的位置相 一致的方式構(gòu)成，由此，滑塊支撐板31的轉(zhuǎn)動(dòng)的瞬間中心與支點(diǎn)突起21j的位置相一致。在單一的薄膜壓電體元件23的電極上施加電壓，如圖21b所示，薄膜壓電體元件 23收縮時(shí)，通過(guò)基于第1及第2連桿部33 及33b3和磁頭支撐板31的連桿機(jī)構(gòu)，磁頭支 撐板31以支點(diǎn)突起21j為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。與圖2(或圖5)的實(shí)施方案的情況相同，第1及第2 連桿部33 及33b3是提高了在伸縮方向的剛性的構(gòu)造。本實(shí)施方案的作用效果與圖2(或圖5)的實(shí)施方案的情況相同，但在本實(shí)施方案 中，能進(jìn)一步用一個(gè)高價(jià)的薄膜壓電體元件構(gòu)成，因此能實(shí)現(xiàn)成本的大幅度降低。另外，在所述的實(shí)施方案中，以薄膜壓電體元件為驅(qū)動(dòng)元件，但本發(fā)明的驅(qū)動(dòng)元件 并不限于此，可使用通過(guò)其他制造方法得到的2維壓電元件，即所謂的體型(bulk type)壓 電元件，更進(jìn)一步也可以使用靜電容量型驅(qū)動(dòng)元件。另外，在這些實(shí)施方案中，第1連桿部及第2連桿部作為具有難以變形的剛性的連 桿構(gòu)造物而構(gòu)成，但在該第1連桿部及第2連桿部作為具有易于變形的彈性的連桿構(gòu)造物 而構(gòu)成的情況下，如果第1連桿部的延長(zhǎng)線和及第2連桿部的延長(zhǎng)線均朝向支撐滑塊自由 轉(zhuǎn)動(dòng)的支點(diǎn)的位置以相互交叉的方式構(gòu)成，也能在滾動(dòng)方向及俯仰方向得到足夠的剛性， 并且能夠在滑塊的偏轉(zhuǎn)方向的轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)作不給予太多的轉(zhuǎn)動(dòng)負(fù)荷而在一定程度上確保磁頭 的位移量。進(jìn)而，所述實(shí)施方案涉及磁頭組件及磁盤裝置，但本發(fā)明也適用于轉(zhuǎn)動(dòng)磁頭以外 的各種被轉(zhuǎn)動(dòng)體的轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)。以上所述的實(shí)施方案都是用來(lái)列舉說(shuō)明本發(fā)明的內(nèi)容的，本發(fā)明并不限定于此， 本發(fā)明能夠以其他各種變形方式及變化方式實(shí)施。因此，本發(fā)明的范圍只由權(quán)利要求書的范圍及其等同范圍限定。
權(quán)利要求
1.一種磁頭組件，具有， 滑塊，其具有磁頭元件； 加載梁；支點(diǎn)，其設(shè)置于該加載梁頂端部；滑塊支撐板，其以使所述滑塊以所述支點(diǎn)為中心自由轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支撐所述滑塊； 驅(qū)動(dòng)元件，其給予該滑塊支撐板沿著該平面的轉(zhuǎn)動(dòng)力；直線狀的第1連桿部，其在兩端具有機(jī)械連接于所述滑塊支撐板的第1頂端連接部及 機(jī)械連接于所述加載梁的第1基端連接部；直線狀的第2連桿部，其在兩端具有機(jī)械連接于所述滑塊支撐板的第2頂端連接部及 機(jī)械連接于所述加載梁的第2基端連接部，所述第1連桿部的延長(zhǎng)線和所述第2連桿部的延長(zhǎng)線均朝向所述支點(diǎn)的位置，以相互 交叉的方式構(gòu)成。
2.權(quán)利要求1所述的磁頭組件，所述第1連桿部的延長(zhǎng)線及所述第2連桿部的延長(zhǎng)線 的交叉點(diǎn)實(shí)際上是所述支點(diǎn)的位置。
3.權(quán)利要求1所述的磁頭組件，所述第1連桿部及所述第2連桿部為具有使形狀難以 變形的剛性的連桿構(gòu)造物。
4.權(quán)利要求1所述的磁頭組件，所述第1連桿部及所述第2連桿部為具有使形狀容易 變形的彈性的連桿構(gòu)造物。
5.權(quán)利要求1所述的磁頭組件，所述第1連桿部及所述第2連桿部是將與所述滑塊支 撐板一體構(gòu)成的板狀構(gòu)件的一部分彎曲而形成的。
6.權(quán)利要求5所述的磁頭組件，與所述滑塊支撐板一體構(gòu)成的所述板狀構(gòu)件的一部分 的彎曲方向?yàn)榕c該板狀構(gòu)件的設(shè)置有所述驅(qū)動(dòng)元件的面的相反側(cè)的面的方向。
7.權(quán)利要求5所述的磁頭組件，所述第1頂端連接部、所述第1基端連接部、所述第2 頂端連接部、及所述第2基端連接部為局部剛性減弱的部分。
8.權(quán)利要求1所述的磁頭組件，還具有被所述加載梁支撐的有彈性的撓性件，該撓性 件以使所述滑塊支撐板能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式與該滑塊支撐板一體構(gòu)成。
9.權(quán)利要求8所述的磁頭組件，還具有1對(duì)第1及第2外伸托梁部，所述第1及第2 外伸托梁部與所述滑塊支撐板及所述撓性件一體構(gòu)成，并連接所述撓性件和所述滑塊支撐 板，所述第1及第2連桿部分別作為該第1及第2外伸托梁部的一部分而構(gòu)成。
10.權(quán)利要求8所述的磁頭組件，所述驅(qū)動(dòng)元件為固定在撓性件頂端部的至少一個(gè)薄 膜壓電體元件。
11.一種磁盤裝置，其特征在于具備磁頭組件、及進(jìn)行動(dòng)作時(shí)該磁頭組件的滑塊懸浮于 其表面的磁盤，所述磁頭組件具有，滑塊，其具有磁頭元件； 加載梁；支點(diǎn)，其設(shè)置于該加載梁頂端部；滑塊支撐板，其以使所述滑塊以所述支點(diǎn)為中心自由轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支撐所述滑塊； 驅(qū)動(dòng)元件，其給予該滑塊支撐板沿著該平面的轉(zhuǎn)動(dòng)力；直線狀的第1連桿部，其在兩端具有機(jī)械連接于所述滑塊支撐板的第1頂端連接部及機(jī)械連接于所述加載梁的第1基端連接部；直線狀的第2連桿部，其在兩端具有機(jī)械連接于所述滑塊支撐板的第2頂端連接部及 機(jī)械連接于所述加載梁的第2基端連接部，所述第1連桿部的延長(zhǎng)線和所述第2連桿部的延長(zhǎng)線均朝向所述支點(diǎn)的位置，以相互 交叉的方式構(gòu)成。
12.—種轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，具有基體；支點(diǎn)，其設(shè)置于該基體上；支撐板，其以使被轉(zhuǎn)動(dòng)體以該支點(diǎn)為中心自由轉(zhuǎn) 動(dòng)的方式支撐所述被轉(zhuǎn)動(dòng)體；驅(qū)動(dòng)元件，其給予該支撐板沿著該平面的轉(zhuǎn)動(dòng)力；直線狀的 第1連桿部，其在兩端具有機(jī)械連接于所述支撐板的第1頂端連接部及機(jī)械連接于所述基 體的第1基端連接部；直線狀的第2連桿部，其在兩端具有機(jī)械連接于所述支撐板的第2頂 端連接部及機(jī)械連接于所述基體的第2基端連接部，所述第1連桿部的延長(zhǎng)線和所述第2 連桿部的延長(zhǎng)線均朝向所述支點(diǎn)的位置，以相互交叉的方式構(gòu)成。
13.權(quán)利要求12所述的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第1連桿部的延長(zhǎng)線和所述第2連桿部的延長(zhǎng) 線的交叉點(diǎn)實(shí)際上是所述支點(diǎn)的位置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種磁頭組件，其具備滑塊，其具有磁頭元件；加載梁；支點(diǎn)，其設(shè)置于加載梁頂端部；滑塊支撐板，其以使滑塊以該支點(diǎn)為中心自由轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支撐該滑塊；驅(qū)動(dòng)元件，其給予滑塊支撐板沿著該平面的轉(zhuǎn)動(dòng)力；直線狀的第1連桿部，其在兩端具有機(jī)械連接于滑塊支撐板的第1頂端連接部及機(jī)械連接于加載梁的第1基端連接部；直線狀的第2連桿部，其在兩端具有機(jī)械連接于滑塊支撐板的第2頂端連接部及機(jī)械連接于加載梁的第2基端連接部，其中第1連桿部的延長(zhǎng)線和第2連桿部的延長(zhǎng)線均朝向所述支點(diǎn)的位置，以相互交叉的方式構(gòu)成。
文檔編號(hào)G11B5/60GK102087856SQ20101057269
公開日2011年6月8日 申請(qǐng)日期2010年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月3日
發(fā)明者桑島秀樹 申請(qǐng)人:Tdk株式會(huì)社, 新科實(shí)業(yè)有限公司