專利名稱：運送基片通過基片處理裝置的裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種運送基片通過基片處理裝置用的裝置。
這類用于運送基片特別是CD基片通過冷卻和干燥裝置的裝置是大家所熟悉的?；藭r處于在圓形軌道上移動的籃子內或者處于圓形裝置上相應設計的縫隙內。然而這種旋轉輸送裝置尺寸很大并且需要大的驅動裝置，因此這種已知的裝置造價昂貴。此外，在這種旋轉輸送裝置上基片的裝卸都是很困難的，而且設計費用高。
對于開頭描述的那類裝置，已知有使用一螺旋葉片軸的。它自身旋轉，從而將放在螺旋葉片螺距內的基片同時向前帶動。然而它有這樣的缺點，即螺旋葉片軸和基片之間的相對運動和由此產生的摩擦會造成磨損，從而引起沾污。
在本發(fā)明所依據的DE 43 41 634 A1中，公開了一種用來在一基片處理裝置中輸送盤狀基片的裝置，它配有三條齒帶，借以將基片送過一個處理裝置。這種裝置總是專為用于一種基片形狀和大小而設計的，所以不適用于改變的情況，例如不適用于不同的基片大小。
US 4 947 784公開了一種裝置，用于從第一基片存放器(基片盒)將基片轉移到第二基片存放器(基片舟)。這一種所謂的基片運送裝置既不能配置用來也不適合用來輸送基片通過一個處理裝置。
DE 195 30 858 c1也公開了一個運送裝置，在其上基片借助于一個吸盤而被輸送。在DE 195 29 945 A1所公開的運送裝置上，借助一個內卡爪對扁平的基片實現(xiàn)夾持，其上的卡爪卡入一個設計在基片內區(qū)的孔中并且支撐在內區(qū)孔的邊緣上。
本發(fā)明的任務在于如此改進發(fā)展由DE 43 41 634 A1所公開的一種裝置，即使得該裝置能適合不同的情況，例如能簡單地適合不同大小的基片。
上述任務根據本發(fā)明是通過權利要求1中所述特征加以解決的。通過兩條側輸送帶彼此之間的和/或相對于基本輸送帶的可變間距，該裝置不僅適合于各種情況特別是不同的基片大小，而且對基片的可靠夾持和輸送至關重要的間距能以簡單的方式實現(xiàn)校準。
本發(fā)明的另一個優(yōu)選的實施形式是兩條側輸送帶的輸送平面和底輸送帶的輸送平面之間的角度是可變的。這樣，在輸送帶內被輸送的基片的支點可實現(xiàn)最佳調節(jié)。此外，該裝置可利用簡單的機構來適應不同的基片形狀和大小，不論基片是圓形的還是六角形的。對于六角形基片，兩條側輸送帶的輸送平面和底輸送帶的輸送平面之間的角度最好是90°。
因此本發(fā)明的任務在于提供一種裝置，用來運送基片通過一個基片處理裝置，以之可避免一種旋轉形式的、在一個圓形軌道上實現(xiàn)的基片移動或基片磨損，且其結構簡單、節(jié)省場地、操作容易。
上述任務根據本發(fā)明是通過一條底輸送帶和兩條側輸送帶加以實現(xiàn)的，它們各自都有用于垂直容納基片的凹槽。根據符合本發(fā)明的特征，應用三條輸送帶造成基片直線移動，其優(yōu)點是裝置簡單，節(jié)省場地，且沒有磨損，此外還易于適應任一情況，例如適應任一基片的尺寸。
根據本發(fā)明的一個特別有利的實施例，用于垂直容納基片的凹槽，是設計為齒帶的輸送帶的齒間間隙。這種齒帶的生產成本是很合算的。
為了適配本發(fā)明提出的輸送裝置，側輸送帶相對于底輸送帶的間距是可以改變的。通過調整側輸送帶相對于底輸送帶的間距，即可簡單地使本裝置適應不同的基片大小。
在圓形基片例如CD或DVD的情況下，若兩條側輸送帶的輸送平面與主輸送帶的輸送平面所成的角大于90°則尤其有利。這樣，基片可以簡單放入本發(fā)明的輸送裝置，又可簡單從其中取出，而且在輸送裝置中基片的保持是安全可靠的。
各輸送帶最好分別經過導向和傳動輪來引導，如果各輸送帶或者至少其中一條輸送帶在背向輸送平的一側也就是傳動側，也是設計為齒帶的話，則導向和傳動輪尤其可以是齒輪。輸送帶的雙面齒帶結構因此是很有利的。
本發(fā)明的一個有利的結構形式是三條輸送帶中的每一條都在自己的輸送帶裝置中運行并且利用自己的驅動裝置來驅動。這樣，各個輸送帶裝置都是獨立的單元，因此輸送帶可針對不同的基片進行布置、配合和對準。
很利的一種結構形式是三條輸送帶的驅動互相同步地加以控制。由此不僅使所有三條輸送帶獲得相同的傳動速度，而且使得用于容納基片的凹槽同步對準。代替同步控制，三個輸送裝置或者說三條輸送帶的傳動，也可以通過一個共同的傳動齒輪箱最好是無間隙的傳動齒輪箱來執(zhí)行，以便亦能確保三條傳動帶及其用于容納基片的凹槽的同步運動。該傳動齒輪箱此時可由所有三條輸送帶共用的驅動裝置來驅動。
與基片相接觸的輸送帶或者至少輸送帶的某些部分，最好用一種可避免沾染的特殊材料特別是聚四氟乙烯做成，或者用一種對受沾染不敏感及容易清理的材料做成。
為了在本發(fā)明提出的輸送裝置即三條輸送帶上裝卸基片，最好采用吸盤夾緊器和/或內卡緊器，內卡緊器例如卡緊在CD的內孔邊緣上。此種卡緊器構造簡單并能防止處理過程后基片再受沾染。
本發(fā)明提出的輸送裝置尤其與基片干燥器或冷卻器相結合時具有特殊的優(yōu)點，這種干燥器和冷卻器主要用在CD生產中。
關于基片應可理解為一切圓片狀的被處理物，即不僅指的是各類CD包括音響-CD，只讀存儲器-CD，所謂的可錄CD(CDR)，數(shù)字式影碟(DVD)等，而且指的是生產半導體元器件、顯示裝置等用的掩模。
下面將參照附圖并就一個實施例對本發(fā)明做更詳細的說明。附圖表示

圖1本發(fā)明提出的與用于干燥CD的干燥裝置相配套的輸送裝置側視圖，圖2圖1所示裝置的俯視圖，圖3沿著圖1中所示的切線III-III的放大斷面圖，圖4沿著圖1中所示切線IV-IV的放大斷面圖。
如各圖所示，本發(fā)明提出的裝置具有一個帶有一條底輸送帶2的第一輸送帶裝置1，一個帶有一條側輸送帶4的第二輸送帶裝置3，和一個帶有另一條側輸送帶6的第三輸送帶裝置5。輸送帶2，4，6都具有用于容納基片7的凹槽或者說齒帶的齒隙，在所有三條輸送帶上都設有齒帶。特別如圖1和圖4所示，輸送帶2，4，6的驅動是借助一個共同的驅動裝置8來實現(xiàn)的，該驅動裝置經過一傳動帶9來驅動傳動齒輪箱10，后者本身同步帶動三條輸送帶2，4，6。
根據所示本發(fā)明提出的用于干燥基片的運送裝置結構形式，配置了一個覆蓋著運送裝置長度大部分的通風機11，借此既可將由通風機11加熱的空氣也可將由外部導入的已加熱的空氣吹向連續(xù)地或間歇地送到輸送帶2，4，6上的基片7上以用于干燥。使用過的干燥空氣從出口11，12處的干燥箱中排出。
本發(fā)明已根據一個優(yōu)選的實施例加以說明了。然而對專家來說還可有許多變體和發(fā)展，但不因此脫離本發(fā)明的構思。例如輸送帶單元1，3，5可設計成彼此獨立的，因此它們在位置上可互相改變，以便能將同一輸送裝置用于不同基片7。從所述的實施例來說，基片7是圓形的，并且側輸送帶4，6與底輸送帶2的輸送平面形成一個大于90°的角，因此基片7以基片圓盤下半部的三個點被穩(wěn)妥地支持著。對于較大的圓形基片7，側輸送帶單元3，5僅進一步向外錯移，并且也可改變側輸送帶單元與底輸送帶2所成的角，以便仍可確?；@得一個盡可能的最佳支撐。在基片是正方形或矩形的情況下，側輸送帶單元是如此布置或回轉的，使得側輸送帶4，6垂直于底輸送帶2的輸送帶平面定位。
權利要求
1.運送基片通過基片處理裝置用的裝置，配有一條底輸送帶(2)和兩條側輸送帶(4，6)，它們各自具有用于垂直容納基片(7)的凹槽，其特征在于側輸送帶(4，6)彼此之間的間距和/或與底輸送帶(2)的間距是可變的。
2.如權利要求1中所述的裝置，其特征在于至少一條側輸送帶(4，6)的輸送平面與底輸送帶(2)的輸送平面之間所成的角是可改變的。
3.如權利要求1或2中所述的裝置，其特征在于凹槽是設計為齒帶的輸送帶(2，4，6)的齒間間隙。
4.如以上權利要求之一中所述的裝置，其特征在于兩條側輸送帶(4，6)的輸送平面與底輸送帶(2)的輸送平面形成一個大于90°的角。
5.如以上權利要求之一中所述裝置，其特征在于各輸送帶分別經過轉向輪和傳動輪或傳動輥帶動。
6.如以上權利要求之一中所述的裝置，其特征在于三條輸送帶(2，4，6)中的任一條都在自己的輸送帶單元(1，3，5)中運行，并用自己的驅動裝置驅動。
7.如權利要求6中所述的裝置，其特征在于三個輸送帶單元(2，4，6)的驅動是彼此同步控制的。
8.如權利要求6中所述的裝置，其特征在于三個輸送帶單元(1，3，5)的驅動機構是通過一個共同的傳動齒輪箱(10)連接起來的。
9.如以上權利要求之一中所述的裝置，其特征在于至少和基片(7)接觸的輸送帶(2，4，6)的部分是用聚四氟乙烯做成的。
10.如以上權利要求之一中所述的裝置，其特征在于至少配有一個用于裝卸基片(7)的吸盤。
11.如以上權利要求之一中所述的裝置，其特征在于至少配有一個用于裝卸基片(7)的內卡緊器。
12.如以上權利要求之一中所述的裝置，其特征在于基片處理裝置是一個基片干燥器或冷卻器(11，12，13)。
全文摘要
運送基片(7)通過基片處理裝置(11)用的裝置,所配的一條底輸送帶(2)和兩條側輸送帶(4,6)各自都具有用于垂直容納基片(7)的凹槽,因此該裝置的構造特別簡單而靈活。
文檔編號G11B9/00GK1252892SQ98804234
公開日2000年5月10日 申請日期1998年4月9日 優(yōu)先權日1997年4月17日
發(fā)明者K·維伯爾, B·瑪納爾 申請人:施蒂格哈馬技術股份公司