專利名稱：磁頭滑塊的制造方法和復(fù)合型磁頭的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種能在磁性記錄媒體上進(jìn)行高密度的記錄和再現(xiàn)的磁頭滑塊的制造方法。
最近，正在開(kāi)發(fā)一種可在可撓曲的磁性記錄媒體上進(jìn)行磁性記錄的復(fù)合型磁頭。這種復(fù)合型磁頭，是將一個(gè)相對(duì)于磁性記錄媒體，在非接觸狀態(tài)下動(dòng)作的第二磁頭和一個(gè)相對(duì)于磁性記錄媒體，在接觸狀態(tài)下動(dòng)作的第一磁頭，安裝在一個(gè)滑塊上而形成的。
作為第一磁頭，例如，可舉出磁道寬度大的滑動(dòng)式磁頭做例子；而作為第二磁頭，例如，可舉出磁道寬度小的浮起式磁頭做例子。
在具有這種復(fù)合型磁頭的磁性記錄系統(tǒng)中，利用第一磁頭，可以確保對(duì)于現(xiàn)有軟盤(pán)的互換性；同時(shí)，利用第二磁頭，可以進(jìn)行高密度的磁性記錄和再現(xiàn)。
為了在保持對(duì)于軟盤(pán)的互換性的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)高密度的磁性記錄，必須使第二磁頭的間隙和第一磁頭的間隙，互相平行地配置。
現(xiàn)在，參照

圖15來(lái)說(shuō)明現(xiàn)有的復(fù)合型磁頭的制造方法。首先，夾住圖中省略掉的間隙層，通過(guò)將由磁性材料制成的半電磁芯11，12接合，制造第二磁頭1。該第二磁頭1具有接合增強(qiáng)孔19和線圈孔13；而且，規(guī)定間隙寬度的低熔點(diǎn)玻璃16…埋入在該第二磁頭中。
另外，通過(guò)在由非磁性材料制成的塊體2的一個(gè)表面21上，沿著該塊體2的長(zhǎng)度方向，做出多個(gè)插入槽22…；同時(shí)，向著該塊體2的長(zhǎng)度方向延伸，在該一個(gè)表面21上，做出與上述各個(gè)插入槽22…連通的線圈用槽23，制造出滑塊塊體24。
其次，使第二磁頭1…的線圈孔13…和滑塊塊體24的線圈用槽23的位置一致，將第二磁頭1…插入滑塊塊體24的各個(gè)插入槽22…中，制造滑塊的半成品3。
接著，在長(zhǎng)度方向上，等間隔地切斷該滑塊的半成品3，形成滑塊6。再研磨滑塊6的上表面6a和下表面6b，調(diào)整第二磁頭1的間隙深度。
再接著，將第1個(gè)磁頭4安裝在滑塊6的側(cè)壁表面上，在第二磁頭1的線圈孔13中繞線，將各個(gè)磁頭1，4與記錄媒體相對(duì)的表面做成規(guī)定的形狀，即可制造出復(fù)合型磁頭5。
但是，在現(xiàn)有的復(fù)合型磁頭的制造方法中，由于要將第二磁頭1，一個(gè)一個(gè)地插入滑塊塊體24的插入槽22…中，當(dāng)?shù)诙蓬^1…的各個(gè)間隙的平行度稍微有一點(diǎn)偏差時(shí)，要保持所有的第二磁頭1…的間隙互相平行，同時(shí)，將該第二磁頭1…安裝在滑塊塊體24中是比較困難的。因此，當(dāng)將第一磁頭4安裝在切斷滑塊半成品3得出的滑塊6上時(shí)，很難使第二磁頭1的間隙，與第一磁頭的間隙平行。這是一個(gè)問(wèn)題。
本發(fā)明是為了解決上述問(wèn)題而提出的，其目的是要提供一種磁頭的制造方法，該方法在提高磁頭間隙相對(duì)于滑塊的方位精度，和第二磁頭的間隙與第一磁頭的間隙的平行度的同時(shí)，還可以提高記錄密度。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用以下的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的磁頭滑塊的制造方法為，在由非磁性材料制成的塊體上，做出至少一個(gè)以上的插入槽，而形成非磁性體塊體；再形成由磁性材料制成的，具有至少一個(gè)以上可以嵌入上述插入槽中的凸起形狀的磁芯半成品的磁性體塊體；將上述磁芯半成品嵌入上述插入槽中，同時(shí)使上述非磁性體塊體和上述磁性體塊體接合，形成復(fù)合塊體；通過(guò)分割上述復(fù)合塊體，將上述磁芯半成品分成兩部分，則由上述磁芯半成品被分成兩部分構(gòu)成的半邊磁芯半成品，形成分別具有露出的分割表面的第一半邊塊體和第二半邊塊體；在上述第一和第二半邊塊體的至少一個(gè)塊體的分割表面上，做出線圈槽，同時(shí)再形成間隙層；通過(guò)將上述各個(gè)分割表面相對(duì)，使上述第一和第二半邊塊體接合，則由上述線圈槽構(gòu)成的線圈孔，從側(cè)面露出，而且，由上述間隙層被夾住在一對(duì)上述半邊磁芯半成品上形成的磁頭，構(gòu)成至少一個(gè)以上這樣形成的滑塊半成品；通過(guò)沿著其長(zhǎng)度方向分割該滑塊半成品，形成具有一個(gè)磁頭的滑塊。
另外，本發(fā)明的磁頭滑塊的制造方法，就是方才所述的磁頭滑塊的制造方法。它具有下列特點(diǎn)，在上述滑塊半成品的上表面上，沿著上述半邊磁芯半成品的長(zhǎng)度方向，做出夾住一對(duì)上述半邊磁芯半成品的兩個(gè)槽，在該兩個(gè)槽中，充入非磁性的玻璃。
又，本發(fā)明的磁頭滑塊的制造方法，就是如上所述的磁頭滑塊的制造方法。它還具有下列特點(diǎn)，通過(guò)研磨上述滑塊半成品的上表面，調(diào)整該上表面和上述線圈孔之間的間隔，從而調(diào)整上述第二磁頭的間隙深度。
圖1為本發(fā)明的實(shí)施例的復(fù)合型磁頭的立體圖；圖2為本發(fā)明的實(shí)施例的復(fù)合型磁頭的平面圖；圖3為本發(fā)明的實(shí)施例的復(fù)合型磁頭的主視圖；圖4為本發(fā)明的實(shí)施例的復(fù)合型磁頭的側(cè)視圖；圖5為本發(fā)明的實(shí)施例的復(fù)合型磁頭的第一磁頭的立體圖6為本發(fā)明的實(shí)施例的復(fù)合型磁頭的第一磁頭的平面圖；圖7為本發(fā)明的實(shí)施例的復(fù)合型磁頭的第一磁頭的主視圖；圖8為本發(fā)明的實(shí)施例的復(fù)合型磁頭的第二磁頭的平面圖；圖9為本發(fā)明的實(shí)施例的復(fù)合型磁頭的第二磁頭的主視圖；圖10為本發(fā)明的實(shí)施例的復(fù)合型磁頭的第二磁頭的側(cè)視圖；圖11為本發(fā)明的實(shí)施例的復(fù)合型磁頭的制造方法的工序圖；圖12為本發(fā)明的實(shí)施例的復(fù)合型磁頭的制造方法的工序圖；圖13為本發(fā)明的實(shí)施例的復(fù)合型磁頭的制造方法的工序圖；圖14為本發(fā)明的實(shí)施例的復(fù)合型磁頭的制造方法的工序圖；圖15為表示現(xiàn)有的復(fù)合型磁頭的制造方法的工序圖。
以下，詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。
如圖1至圖4所示，本發(fā)明的復(fù)合型磁頭31由第二磁頭32，第一磁頭33和由非磁性材料制成的滑塊34(支承體)構(gòu)成。
滑塊34由具有與記錄媒體相對(duì)的表面55、并支承該第二磁頭32的空氣軸承部分35，和從該空氣軸承部分35突出出來(lái)，支承著第一磁頭33的連接部分57構(gòu)成。
第一磁頭33通過(guò)粘接用玻璃等與滑塊34的連接部分57粘接。
作為第一磁頭，例如，可舉出磁道寬度大的滑動(dòng)式磁頭作為例子；而作為第二磁頭，例如，可舉出磁道寬度小的浮起式磁頭作為例子。
又如圖1至圖4和圖8至圖10所示，第二磁頭32，由支承在滑塊34的空氣軸承部分35的一端上，由磁性材料制成的磁芯36，37；和設(shè)在磁芯36， 37的對(duì)接表面上，從與記錄媒體相對(duì)的表面55露出的間隙G3構(gòu)成。另外，在與記錄媒體相對(duì)的表面55上，做出用于限制間隙G3的磁道寬度的磁道寬度限制槽38，38；將非磁性玻璃39，39充入該磁道寬度限制槽38，38中。
另外，空氣軸承部分35的側(cè)壁表面上設(shè)有線圈孔40。
如圖8至圖10所示，第二磁頭32的磁芯36，37埋入空氣軸承部分35中，線圈孔40被磁芯36，37隔開(kāi)，通過(guò)線圈孔40，可以在磁芯36上繞線。另外，磁芯36，37包圍著線圈孔40，形成大致為環(huán)形的磁路。
圖中沒(méi)有示出的間隙層，被夾住在間隙G3的圈中沒(méi)有示出的兩個(gè)磁性膜上，這些間隙層和磁性膜，又被夾住在磁芯36，37上。間隙層由非磁性材料制成，例如，可以使用SiO2、Al2O3、CrSiO2等。另外，磁性膜使用導(dǎo)磁率比磁芯36，37的導(dǎo)磁率高的軟磁合金制成。例如，在該磁芯36，37為由鐵氧體制成的情況下，作為磁性膜，可使用Fe-(Ta，Hf)-C系合金，F(xiàn)e-Si-Al系合金，F(xiàn)e-Ni合金，和非晶形合金等。
又如圖1至圖4和圖5至圖7所示，第一磁頭33由記錄與再現(xiàn)用磁頭41和消去用的磁頭42構(gòu)成。記錄與再現(xiàn)用磁頭41是由磁性材料制成的記錄與再現(xiàn)用磁芯43和共用磁芯44，以及在各個(gè)磁芯43，44的對(duì)接表面上形成的、從與記錄媒體相對(duì)的表面47露出的間隙G4構(gòu)成的。另外，在該與記錄媒體相對(duì)的表面47上，做出用于限制間隙G4的磁道寬度的槽45，45，將非磁性的玻璃46，46充入槽45，45中。記錄與再現(xiàn)用的磁芯43和共用磁芯44，利用設(shè)置在上述與記錄媒體相對(duì)的表面47的相對(duì)一側(cè)上的接合增強(qiáng)用的玻璃48接合起來(lái)。
消去用的磁頭42，由磁性材料制成的消去用磁芯49和共用磁芯44，以及在各個(gè)磁芯49，44的對(duì)接表面上形成、從該與記錄媒體相對(duì)的表面47上露出的間隙G5，G5構(gòu)成。在該與記錄媒體相對(duì)的表面47上，設(shè)有限制各個(gè)間隙G5，G5的寬度的槽50，50，51。將非磁性玻璃52，52，53充入槽50，50，51中。間隙G5，G5由槽51(非磁性玻璃53)斷開(kāi)，槽51的寬度比間隙G4的寬度小一些，或者與間隙G4的寬度大致相等。
另外，消去用的磁芯49和共用磁芯44，利用設(shè)置在該與記錄媒體相對(duì)的表面47的相對(duì)一側(cè)的接合增強(qiáng)用玻璃48接合起來(lái)。
再者，在第一磁頭33上，設(shè)有將上述記錄與再現(xiàn)用的磁芯43，共用磁芯44和消去用的磁芯49，在磁性方面結(jié)合起來(lái)的背后磁芯58；該磁芯58將該各個(gè)磁芯43，44，49連接起來(lái)。
其次，參照?qǐng)D11至圖14來(lái)說(shuō)明該復(fù)合型磁頭31的制造方法。
首先，在圖11中，準(zhǔn)備好由非磁性材料制成的長(zhǎng)方形的塊體51，和由磁性材料制成的長(zhǎng)方形的塊體61。
其次，在塊體51的側(cè)壁表面52上，做出多個(gè)插入槽53…。最好，各個(gè)插入槽53…是在沿著塊體51的長(zhǎng)度方向，以給定的間隔做出的同時(shí)，再沿著塊體51的寬度方向延伸做出。另外，最好，各個(gè)插入槽53…的內(nèi)側(cè)壁表面與塊體51的側(cè)壁表面52垂直。
再在塊體51的側(cè)壁表面52上，做出切口部分54。該切口部分54最好是通過(guò)切去該塊體51的側(cè)壁表面52，和與該側(cè)壁表面52連接的底面50二者的接合部分52a而形成，并沿塊體51的長(zhǎng)度方向延伸，與各個(gè)插入槽53…連通。該切口部分54，最好是切至與從側(cè)壁面52開(kāi)始計(jì)算時(shí)，該插入槽53…的深度h2大致相等的深度。另外，切口部分54，最好從底面50切至深度h7。這樣，通過(guò)加工該塊體51，就做出了上述非磁性體的塊體71。
另外，通過(guò)切削塊體61的一個(gè)表面62，形成多個(gè)凸起形狀的磁芯的半成品63…，就做出了具有基底部分64，和從該基底部分64的一個(gè)面65，垂直突出的多個(gè)磁芯半成品63…的磁性體塊體66。
塊體61的寬度h1，最好與插入槽53的深度(從切口部分54的側(cè)壁表面52開(kāi)始計(jì)算的深度)h2相等。另外，最好將該磁芯半成品63…做成與非磁性體塊體71的插入槽53…的形狀一致；特別是，將各個(gè)磁芯半成品63…的間隔做成與插入槽53…的間隔相等，將該磁芯半成品63…的高度h3做成與插入槽53…的高度h4相等，將該磁芯半成品63…的在塊體61上的寬度h5(與塊體61的長(zhǎng)度方向平行的方向上的寬度)，做成與插入槽53…的寬度h6相等?；撞糠?4的厚度h8，最好與切口部分54的深度h7相等。
這樣做出的磁性體塊體66的磁芯半成品63…，可以嵌入非磁性體塊體71的插入槽53…中；而基底部分64可以嵌入上述切口部分54中。
其次，通過(guò)在將多個(gè)磁芯半成品63…嵌入多個(gè)插入槽53…中的同時(shí)，將基底部分64嵌入該切口部分54中，使非磁性體塊體71和磁性體塊體72接合，形成復(fù)合塊體73。
由于磁芯半成品63…和插入槽53…，以及基底部分64和切口部分54，可以如上所述那樣互相嵌合，因此，非磁性體塊體71和磁性體塊體72，幾乎可以無(wú)間隙地相互緊密接合。
因此，復(fù)合塊體73的形狀為長(zhǎng)方體，與塊體51的形狀大致相同。磁芯半成品63…的頂面63a，露出在復(fù)合塊體73的一個(gè)表面74上；而磁性體塊體66的側(cè)壁表面67，露出在復(fù)合塊體73的側(cè)壁表面75上。
接著，在圖12中，將復(fù)合塊體73分割，形成第一半邊塊體81和第二半邊塊體82。
分割復(fù)合塊體73時(shí)，最好是將安裝在該復(fù)合塊體73中的非磁性體塊體66，沿著其長(zhǎng)度方向，分割成兩個(gè)半邊部分。即，分割復(fù)合塊體73時(shí)，第一半邊塊體81和第二半邊塊體82各自的分割表面83，84，與復(fù)合塊體73的側(cè)壁表面75平行。
這樣，通過(guò)分割復(fù)合塊體73，將磁性體塊體66分割成兩個(gè)部分，該磁芯半成品63…被分割形成半邊磁芯半成品63 b和半邊磁芯半成品63c。該半邊磁芯半成品63b，從第一半邊塊體81的分割表面83露出；半邊磁芯半成品63c，則從第二半邊塊體82的分割表面84露出。
同時(shí)，基底部分64也被分割形成半邊基底部分64b和64c。半邊基底部分64b與第一半邊塊體81組合，半邊基底部分64c與第二半邊塊體82組合。
其次，在第一半邊塊體81和第二半邊塊體82的各自的分割表面83，84上，做出線圈槽85，86和接合增強(qiáng)槽87，88。線圈槽85，86比接合增強(qiáng)槽87，88，更靠近復(fù)合塊體73的一個(gè)表面74，74。當(dāng)將第一和第二半邊塊體81，82接合時(shí)，最好使分割表面83，84彼此相對(duì)，使線圈槽85，86和接合增強(qiáng)槽87，88各自的槽的位置大致相同。
另外，在做出線圈槽85，86和接合增強(qiáng)槽87，88時(shí)，必須使埋入第一和第二半邊塊體81，82中的半邊磁芯半成品63b…和半邊磁芯半成品63c…，不被線圈槽85，86和接合增強(qiáng)槽87，88截?cái)?。即，必須使線圈槽85，86和接合增強(qiáng)槽87，88的深度，比半邊磁芯半成品63b…和半邊磁芯半成品63c…的埋入深度(從各個(gè)分割表面83，84開(kāi)始計(jì)算的深度)小。另外，線圈槽85，86也可以只在任意一邊形成。
又，在第一和第一半邊塊體81，82的分割表面83，84，線圈槽85，86和接合增強(qiáng)槽87，88上，分別形成磁性膜89，89；并在這些磁性膜89，89上，層疊由非磁性材料制成的間隙層90，90。間隙層90只在第一和第二半邊塊體81，82中的任一個(gè)上做出也可以。另外，該磁性膜89，89只在第一、第二半邊塊體81，82中的任一個(gè)上形成也可以；完全不形成也可以。
其次，通過(guò)將接合用的非磁性玻璃94充入接合增強(qiáng)槽87，88中，使第一半邊塊體81和第二半邊塊體82接合，而形成滑塊的半成品91。這時(shí)，通過(guò)將線圈槽85，86和接合增強(qiáng)槽87，88，分別做成一整體，則從該滑塊半成品91的側(cè)壁表面開(kāi)始，向著該滑塊半成品91的長(zhǎng)度方向延伸，做出線圈孔40和接合增強(qiáng)孔93。另外，半邊磁芯半成品63b…和半邊磁芯半成品63c…，從線圈孔40和接合增強(qiáng)孔93的內(nèi)周邊表面上露出；間隙層90從線圈孔40的上部的內(nèi)周邊表面40a上露出。
在分割表面83，84相對(duì)接的表面95上，分別在第一和第二半邊塊體81，82上形成的間隙層90，90互相接合。
這樣，半邊磁芯半成品63b…和半邊磁芯半成品63c…，通過(guò)夾緊間隙層90和二個(gè)磁性膜89，89而對(duì)接起來(lái)，形成第二磁頭32的磁芯36…，37…。這些磁芯36，37的對(duì)接表面就成為第二磁頭32的間隙G3。
其次，在圖13上，通過(guò)研磨間隙G3露出的一個(gè)表面96，調(diào)整線圈孔40和該一個(gè)表面96之間的距離，可調(diào)整間隙G3的間隙深度Gd。由于間隙層90露出在一個(gè)表面96和線圈孔40的上部?jī)?nèi)周邊表面40a上，因此，間隙深度Gd與該一個(gè)表面96和線圈孔40之間的間隔相等。由于線圈孔40從滑塊半成品91的側(cè)壁表面露出，因此，可以隨時(shí)測(cè)量該線圈孔40與該一個(gè)表面96之間的間隔，從而調(diào)整間隙的深度Gd。
另外，通過(guò)研磨與該一個(gè)表面96相對(duì)的另一個(gè)表面97，可以在切削基底部分64(半邊基底部分64b，64c)的同時(shí)，切削接合增強(qiáng)孔93，使接合用的玻璃94露出。這樣，通過(guò)切削基底部分64(半邊基底部分64b，64c)，可分割將由基底部分64(半邊基底部分64b，64c)連接的多個(gè)磁芯36…，37…，截?cái)喑蓡蝹€(gè)的磁頭。
其次，在滑塊半成品91的一個(gè)表面96上，通過(guò)夾住磁頭36…，37…(半邊磁芯半成品63b…，63c…)，做出兩個(gè)限制間隙G3的磁道寬度的磁道寬度限制槽38，38。該磁道寬度限制槽38，38是通過(guò)沿著從該一個(gè)表面96露出的磁芯36，37的長(zhǎng)度方向，研磨至少是該磁芯36，37的一部分，使磁芯36，37的寬度變窄而形成的。這樣，通過(guò)研磨磁芯36，37的一部分，形成磁道寬度限制槽38，38，在對(duì)接表面95上，該磁芯36，37的截面形狀為大致呈凸字形。
再將非磁性玻璃39充入該磁道限制槽38，38。非磁性玻璃39，在熔融狀態(tài)下，埋入磁道寬度限制槽38，38中，再讓它溢出，涂敷在滑塊半成品91的一個(gè)表面96上。
其次，在圖14中，除去溢出在該表面96上的非磁性玻璃39。另外，通過(guò)研磨該滑塊半成品91的一個(gè)表面96，保留磁芯36，37和磁道寬度限制槽38，38的周圍部分，形成上述的空氣軸承部分35…和連接部分57。在該空氣軸承部分35上，做出與記錄媒體相對(duì)的表面55。埋入該磁芯36，37和磁道寬度限制槽38，38中的非磁性玻璃39，39和間隙G3，從該與記錄媒體相對(duì)的表面55露出。另外，沿著滑塊半成品91的長(zhǎng)度方向，在該滑塊半成品91的側(cè)壁表面96上，做出線圈槽56。此外，也有在磁道寬度上，不形成上述磁道寬度限制槽38，38的結(jié)構(gòu)。
接著，在空氣軸承部分35和連接部分57的邊界上，將該滑塊半成品91分割的同時(shí)，通過(guò)切去連接部分57的端部1 00形成滑塊34。
滑塊34是由非磁性材料制成的空氣軸承部分35和連接部分57構(gòu)成的。由磁性材料制成的磁芯36，37，通過(guò)間隙G3對(duì)接形成的第二磁頭32，埋入該空氣軸承部分35中。
其次，通過(guò)粘接用玻璃，將第一磁頭33安裝在滑塊34的連接部分57上，通過(guò)對(duì)各個(gè)磁頭32，33與記錄媒體相對(duì)的表面47，54進(jìn)行拋光處理，做成給定的形狀，即制成了如圖1至圖4所示的復(fù)合型磁頭31。
在上述的復(fù)合型磁頭31的制造方法中，由于形成具有多個(gè)第二磁頭的滑塊半成品91，又再將第一磁頭33安裝在分割該滑塊半成品91而形成的滑塊34(支承體)上，因此，由一個(gè)滑塊半成品91，可以得出多個(gè)復(fù)合型磁頭31，使復(fù)合型磁頭31的生產(chǎn)率提高。
在上述的復(fù)合型磁頭31的制造方法中，由于將由基底部分64分別連接的磁芯半成品63…，插入多個(gè)插入槽53…中，因此，可以在滑塊半成品91上，互相平行地做出所得到的第二磁頭32…的間隙G3…。又由于將第一磁頭33安裝在分割該滑塊半成品91形成的滑塊34上，因此，可以平行地配置第二磁頭32的間隙G3和第一磁頭33的間隙G4、G5、G5。
在上述復(fù)合型磁頭31的制造方法中，由于分割復(fù)合塊體73，形成間隙層90，同時(shí)形成多個(gè)第二磁頭32，因此，在提高第二磁頭32的生產(chǎn)率的同時(shí)，也可以使第二磁頭32的品質(zhì)保持一定。
另外，在上述復(fù)合型磁頭31的制造方法中，由于在第一和第二半邊塊體81，82的分割表面83，84上，做出線圈槽85，86和接合增強(qiáng)槽87，88，而將這些塊體81，82接合，形成滑塊半成品91；因此，可以很容易地在滑塊半成品91上，做出線圈孔40，同時(shí)，可以利用埋入接合增強(qiáng)槽87，88中的接合用玻璃，將這些塊體81，82緊固地接合在一起。
在上述的復(fù)合型磁頭31的制造方法中，由于通過(guò)夾住半邊磁芯半成品，形成一對(duì)限制間隙G3的磁道寬度的磁道寬度限制槽38，38；因此，可以縮短磁道寬度限制槽38，38的長(zhǎng)度，和減小這些槽38，38的間隔，從而縮小間隙G3的磁道寬度，可使第二磁頭32的記錄密度提高。
另外，在上述復(fù)合型磁頭31的制造方法中，當(dāng)研磨滑塊半成品91的一個(gè)表面96，調(diào)整第二磁頭32的間隙深度Gd時(shí)，由于可以確認(rèn)該一個(gè)表面96和線圈孔40的間隔，并加以調(diào)整，因此，可以高精度地調(diào)整間隙的深度Gd。
另外，在上述的復(fù)合型磁頭的制造方法中，第一磁頭和第二磁頭組成復(fù)合型的磁頭；但不僅局限于此，例如，也可以只將第二磁頭安裝在滑塊上而形成磁頭滑塊。
如以上詳細(xì)說(shuō)明的那樣，在本發(fā)明的復(fù)合型磁頭的制造方法中，由于將由基底部分分別連接的磁芯半成品插入多個(gè)插入槽中，因此，可以在滑塊半成品上互相平行地形成所得出的第二磁頭的各個(gè)間隙。又由于將第一磁頭安裝在分割該滑塊半成品而形成的滑塊(支承體)上，因此，可以平行地配置第二磁頭的間隙和第一磁頭的間隙。
另外，在本發(fā)明的磁頭滑塊的制造方法中，由于通過(guò)分割復(fù)合塊體，形成間隙層，可以同時(shí)形成多個(gè)具有由間隙層形成的間隙的磁頭；因此，可以提高磁頭的生產(chǎn)率，同時(shí)，使第二磁頭的品質(zhì)保持一定。
又，在本發(fā)明的磁頭滑塊的制造方法中，由于在第一和第二半邊塊體的各個(gè)分割表面上，分別做出線圈槽和接合增強(qiáng)槽，將這些塊體接合，形成滑塊半成品；因此，很容易在該滑塊半成品上，做出線圈孔，同時(shí)，可以利用埋入該接合增強(qiáng)槽中的接合用玻璃，牢固地將這些塊體接合起來(lái)。
在本發(fā)明的磁頭滑塊的制造方法中，由于可以通過(guò)夾住半邊磁芯半成品，形成一對(duì)限制間隙的磁道寬度的磁道寬度限制槽，因此，可以縮短該磁道寬度限制槽的長(zhǎng)度，可以縮小這些槽的間隔，從而可以減小該間隙的磁道寬度，提高磁頭的記錄密度。
另外，由于是在將半邊磁芯半成品對(duì)接以后，再做出上述的磁道寬度限制槽，因此，可以可靠地進(jìn)行磁頭磁芯的調(diào)整，使它們排列在一直線上。
再者，在本發(fā)明的磁頭滑塊的制造方法中，由于當(dāng)研磨滑塊半成品的一個(gè)表面，調(diào)整磁頭間隙的深度時(shí)，可以測(cè)量該一個(gè)表面與線圈孔之間的間隔并進(jìn)行調(diào)整，因此，可以高精度地調(diào)整間隙深度。
權(quán)利要求
1.一種磁頭滑塊的制造方法，其特征為，在由非磁性材料制成的塊體上，做出至少一個(gè)以上的插入槽，而形成非磁性體塊體；再形成由磁性材料制成的，具有至少一個(gè)以上可以嵌入上述插入槽中的凸起形狀的磁芯半成品的磁性體塊體；將上述磁芯半成品嵌入上述插入槽中，同時(shí)使上述非磁性體塊體和上述磁性體塊體接合，形成復(fù)合塊體；通過(guò)分割上述復(fù)合塊體，將上述磁芯半成品分成兩部分，則由上述磁芯半成品被分成兩部分構(gòu)成的半邊磁芯半成品，形成分別具有露出的分割表面的第一半邊塊體和第二半邊塊體；在上述第一和第二半邊塊體的至少一個(gè)塊體的分割表面上，做出線圈槽，同時(shí)再形成間隙層；通過(guò)將上述各個(gè)分割表面相對(duì)，使上述第一和第二半邊塊體接合，則由上述線圈槽構(gòu)成的線圈孔，從側(cè)面露出，而且，由上述間隙層被夾住在兩個(gè)上述半邊磁芯半成品上形成的磁頭，構(gòu)成至少一個(gè)以上這樣形成的滑塊半成品；通過(guò)沿著其長(zhǎng)度方向分割該滑塊半成品，形成具有一個(gè)磁頭的滑塊。
2.一種復(fù)合型磁頭的制造方法，其特征為，當(dāng)制造第一磁頭和第二磁頭支承在一個(gè)支承體上的復(fù)合型磁頭時(shí)，在由非磁性材料制成的塊體上，做出至少一個(gè)以上的插入槽，而形成非磁性體塊體；再形成由磁性材料制成的，具有至少一個(gè)以上可以嵌入上述插入槽中的凸起形狀的磁芯半成品的磁性體塊體；將上述磁芯半成品嵌入上述插入槽中，同時(shí)使上述非磁性體塊體和上述磁性體塊體接合，形成復(fù)合塊體；通過(guò)分割上述復(fù)合塊體，將上述磁芯半成品分成兩部分，則由上述磁芯半成品被分成兩部分構(gòu)成的半邊磁芯半成品，形成分別具有露出的分割表面的第一半邊塊體和第二半邊塊體；在上述第一和第二半邊塊體的至少一個(gè)塊體的分割表面上，做出線圈槽，同時(shí)再形成間隙層；通過(guò)將上述各個(gè)分割表面相對(duì)，使上述第一和第二半邊塊體接合，則由上述線圈槽構(gòu)成的線圈孔，從側(cè)面露出，而且，由上述間隙層被夾住在兩個(gè)上述半邊磁芯半成品上形成的磁頭，構(gòu)成至少一個(gè)以上這樣形成的滑塊半成品；通過(guò)沿著其長(zhǎng)度方向，分割該滑塊半成品，形成具有一個(gè)第二磁頭的滑塊；將上述第一磁頭安裝在該滑塊的側(cè)壁表面上。
3.如權(quán)利要求1所述的磁頭滑塊的制造方法，其特征為，在上述滑塊半成品的上表面上，沿著上述半邊磁芯半成品的長(zhǎng)度方向，做出夾住上述半邊磁芯半成品的一對(duì)槽，在該一對(duì)槽中，充入非磁性玻璃。
4.如權(quán)利要求3所述的磁頭滑塊的制造方法，其特征為，通過(guò)研磨上述滑塊半成品的上表面，調(diào)整該上表面和上述線圈孔之間的間隔，從而調(diào)整上述磁頭的間隙深度。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種提高第二和第一磁頭各自間隙的平行度,同時(shí)提高記錄密度的復(fù)合型磁頭的制造方法。它是將磁芯半成品嵌入插入槽中,同時(shí)將基底嵌入切口部分,使非磁性塊體和磁性塊體接合形成復(fù)合塊體;然后,將其分割成第一和第二半邊塊體;在各半邊塊體的至少一個(gè)塊體的分割表面上形成間隙層后,使第一和第二半邊塊體接合,形成多個(gè)第二磁頭的滑塊半成品;沿滑塊半成品的長(zhǎng)度方向分割成滑塊;再將第一磁頭安裝在滑塊的側(cè)壁表面上。
文檔編號(hào)G11B21/21GK1250207SQ99119680
公開(kāi)日2000年4月12日 申請(qǐng)日期1999年9月27日 優(yōu)先權(quán)日1998年10月2日
發(fā)明者羽賀, 富美昭 申請(qǐng)人:阿爾卑斯電氣株式會(huì)社