国产精品1024永久观看,大尺度欧美暖暖视频在线观看,亚洲宅男精品一区在线观看,欧美日韩一区二区三区视频,2021中文字幕在线观看

  • <option id="fbvk0"></option>
    1. <rt id="fbvk0"><tr id="fbvk0"></tr></rt>
      <center id="fbvk0"><optgroup id="fbvk0"></optgroup></center>
      <center id="fbvk0"></center>

      <li id="fbvk0"><abbr id="fbvk0"><dl id="fbvk0"></dl></abbr></li>

      半導(dǎo)體存儲器件及其擦除方法_3

      文檔序號:8283502閱讀:來源:國知局
      ]全局線控制器122可以與全局源極選擇線GSSL、第一全局字線GWLl至第η全局字線GWLn、以及第一全局漏極選擇線⑶SLl和第二全局漏極選擇線⑶SL2耦接。全局源極選擇線GSSL、第一全局字線GWLl至第η全局字線GWLn、以及第一全局漏極選擇線⑶SLl和第二全局漏極選擇線GDSL2可以形成如以上參照圖5所述的全局線GLs。在擦除操作期間,全局線控制器122可以從電壓發(fā)生器130中接收電壓,并且響應(yīng)于控制邏輯150的控制而將電壓傳送至全局線GLs。
      [0070]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例,當(dāng)存儲塊BLKl被配置成以上參照圖5所述的實(shí)施例(BLK1’)時(shí),還可以提供與全局線控制器122耦接的全局管道選擇線,并且第一傳輸晶體管組210還可以包括耦接在圖4中所示的局部管道線LPL、與全局管道選擇線之間的管道傳輸晶體管。
      [0071]圖7是說明在擦除操作期間施加至選中的存儲塊BLKl的電壓的時(shí)序圖。
      [0072]參見圖6和圖7,在第一時(shí)刻Tl處,塊字線電壓Vblk可以被施加至塊字線BLKWL。
      [0073]在第二時(shí)刻T2處,具有高電壓電平的預(yù)電壓Vpre可以被傳送至單元串CSll至CSlm和CS21至CS2m中的存儲器單元的溝道。例如,從電壓發(fā)生器130中產(chǎn)生的預(yù)電壓Vpre可以穿通存儲塊BLKl的體區(qū)和公共源極線CSL,并且被傳送至存儲器單元的溝道。
      [0074]字線電壓Vwl可以被施加至全局字線GWLl至GWLn。字線電壓Vwl可以分別經(jīng)由全局字線GWLl至GWLn傳送至正常傳輸晶體管NPTl至ΝΡΤη。正常傳輸晶體管NPTl至NPTn的柵極可以經(jīng)由塊字線BLKWL來接收塊字線電壓Vblk。字線電壓Vwl可以比塊字線電壓Vblk高。當(dāng)將正常傳輸晶體管NPTl至NPTn的每個(gè)的柵極電壓減去其源極電壓獲得的電壓比相應(yīng)的閾值電壓高時(shí),正常傳輸晶體管NPTl至NPTn中的每個(gè)可以導(dǎo)通。由于施加至正常傳輸晶體管NPTl至NPTn中的每個(gè)的柵極的塊字線電壓Vblk比施加至其源極的電壓(Vwl)低,所以正常傳輸晶體管NPTl至NPTn可以被關(guān)斷。因此,全局字線GWLl至GWLn和局部字線LWLl至LWLn可以彼此電分開,并且局部字線LWLl至LWLn可以被浮置。局部字線LWLl至LWLn的電壓可以被升高施加至存儲器單元的溝道的預(yù)電壓Vpe這么多。
      [0075]在第三時(shí)刻T3處,比預(yù)電壓Vpre高的擦除電壓Vers可以被施加至單元串CSll至CSlm和CS21至CS2m的存儲器單元的溝道。由于局部字線LWLl至LWLn被浮置,所以局部字線LWLl至LWLn的電壓可以進(jìn)一步地增大。
      [0076]選擇線電壓Vsl可以被施加至全局漏極選擇線⑶SLl和⑶SL2以及全局源極選擇線GSSL。選擇線電壓Vsl可以高于通過將塊字線電壓Vblk減去傳輸晶體管的閾值電壓獲得的電壓。例如,選擇線電壓Vsl可以被設(shè)定成比塊字線電壓Vblk高。漏極傳輸晶體管DPTl和DPT2以及源極傳輸晶體管SPT可以被關(guān)斷,由于通過將其柵極電壓減去其源極電壓獲得的電壓比相應(yīng)的閾值電壓低。結(jié)果,局部漏極選擇線LDSLl和LDSL2以及局部源極選擇線LSSL可以被浮置,并且局部漏極選擇線LDSLl和LDSL2以及局部源極選擇線LSSL的電壓可以被升高施加至存儲器單元的溝道的擦除電壓Vers這么多。
      [0077]在第四時(shí)刻T4處,塊字線BLKWL的電壓可以逐步地增大至預(yù)定的電壓Vs。圖6中所示的塊解碼器121可以響應(yīng)于控制邏輯150而臺階式逐步地增大塊字線BLKWL的電壓。例如,預(yù)定的電壓Vs可以大于字線電壓Vwl和正常傳輸晶體管的閾值電壓之和。
      [0078]施加至正常傳輸晶體管NPTl至NPTn的柵極的電壓可以從塊字線電壓Vblk起逐步地增大。結(jié)果,通過從施加至每個(gè)正常傳輸晶體管的柵極的電壓中減去施加至每個(gè)正常傳輸晶體管的源極的電壓(Vwl)所獲得的電壓可以逐步地降低。因此,在全局字線GWLl至GffLn與局部字線LWLl至LWLn之間流動的電流量可以逐步地增大,并且局部字線LWLl至LffLn的升高電壓可以逐步地降低。
      [0079]通過將預(yù)定的電壓Vs減去字線電壓Vwl獲得的電壓可以高于正常傳輸晶體管的閾值電壓。即,當(dāng)塊字線BLKWL的電壓增大至預(yù)定的電壓Vs時(shí),正常傳輸晶體管可以被完全導(dǎo)通,并且全局字線GWLl至GWLn和局部字線LWLl至LWLn可以彼此電耦接。
      [0080]選擇線電壓Vsl可以被設(shè)定成比預(yù)定的電壓Vs高。即,施加至漏極傳輸晶體管DPTl和DPT2的柵極的預(yù)定的電壓Vs,可以比施加至其源極的電壓(Vsl)低。局部漏極選擇線LDSLl和LDSL2以及局部源極選擇線LSSL仍會被浮置。
      [0081]在第五時(shí)刻T5處,當(dāng)塊字線BLKWL的電壓達(dá)到預(yù)定的電壓Vs時(shí),接地電壓可以被施加至全局字線GWLl至GWLn。因此,接地電壓可以經(jīng)由全局字線GWLl至GWLn傳送至局部字線LWLl至LWLn。
      [0082]由于擦除電壓Vers與傳送至局部字線LWLl至LWLn的電壓之間的差,所以可以擦除儲存在單元串CSll至CSlm和CS21至CS2m的存儲器單元中的數(shù)據(jù)。
      [0083]不同于根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例,當(dāng)全局字線GWLl至GWLn的電壓從字線電壓Vwl急劇地改變成接地電壓、而非逐步地增大塊字線電壓Vblk時(shí),正常傳輸晶體管NPTl至NPTn可以因施加至其柵極的塊字線電壓Vblk與施加至其源極的接地電壓之間的差而導(dǎo)通。因此,局部字線LWLl至LWLn的電壓可以從高電壓急劇地改變成接地電壓。當(dāng)局部字線LWLl至LWLn的電壓在每個(gè)擦除操作中都急劇地改變時(shí),局部字線LWLl至LWLn與溝道之間的電場會急劇地改變,并且存儲器單元會由于電氣過應(yīng)力(例如,存儲器單元的隧道氧化物)而快速地惡化。
      [0084]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例,在塊字線BLKWL與全局接地字線GWLl至GWLn之間的電壓差降低之后,接地電壓可以被施加至全局字線GWLl至GWLn。因此,局部字線LWLl至LffLn的電壓可以逐步地降低。因此,可以防止存儲器單元的惡化。
      [0085]在第六時(shí)刻T6處,擦除電壓Vers可以被阻擋,并且存儲器單元的溝道的電壓可以降低。因此,處于浮置狀態(tài)的局部漏極選擇線LDSLl和LDSL2以及局部源極選擇線LSSL的電壓也可以被降低。
      [0086]在第七時(shí)刻T7處,全局漏極選擇線⑶SLl和⑶SL2以及全局源極選擇線GSSL的電壓可以被改變成接地電壓,并且隨后,塊字線BLKWL的電壓也可以被改變成接地電壓。
      [0087]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例,當(dāng)存儲塊BLKl被配置成如以上參照圖4所述的實(shí)施例(BLK1’)時(shí),也可以采用與全局漏極選擇線⑶SLl和⑶SL2以及全局源極選擇線GSSL大體相同的方式來控制全局管道線。結(jié)果,可以采用與圖7中所示的局部漏極選擇線LDSLl和LDSL2以及局部源極選擇線LSSL大體相同的方式來描述圖4中所示的局部管道線LPL的電壓。
      [0088]圖8是說明施加至執(zhí)行擦除操作的存儲塊的電壓的另一個(gè)實(shí)施例的時(shí)序圖。
      [0089]圖8可以采用除了第四時(shí)刻T4和第五時(shí)刻T5之間的間隔之外與圖7大體相同的方式來描述。在下文中,省略與之前描述的時(shí)序圖共同的內(nèi)容的描述。
      [0090]在第四時(shí)刻T4處,施加至全局字線GWLl至GWLn的字線電壓Vwl可以逐步地降低。例如,圖6中所示的全局線控制器122可以響應(yīng)于控制邏輯150而臺階式逐步地降低全局字線GWLl至GWLn的電壓。塊字線BLKWL的電壓可以保持在塊字線電壓Vblk。
      [0091]通過將施加至正常傳輸晶體管NPTl至NPTn的柵極的塊字線電壓Vblk減去施加至正常傳輸晶體管NPTl至NPTn的源極的電壓獲得的電壓可以逐步地降低。結(jié)果,在全局字線GWLl至GWLn與局部字線LWLl至LWLn之間流動的電流量可以逐步地增大,因而局部字線LWLl至LWLn的升高電壓可以逐步地降低。
      [0092]另夕卜,當(dāng)全局字線GWLl至GWLn的電壓達(dá)到接地電壓時(shí),局部字線LWLl至LWLn的電壓可以具有接地電壓。
      [0093]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例,可以通過逐步地降低施加至全局字線GWLl至GWLn的字線電壓Vwl來降低塊字線BLKWL與全局字線GWLl至GWLn之間的電壓差。
      [0094]圖9是說明根據(jù)施加至執(zhí)行擦除操作的存儲塊的電壓的本發(fā)明的又一個(gè)實(shí)施例的時(shí)序圖。
      [0095]圖9可以采用除了第四時(shí)刻T4與第五時(shí)刻T5之間的間隔之外與圖7大體相同的方式來描述。在下文中,省略與之前描述的時(shí)序圖共同內(nèi)容的描述。
      [0096]在第四時(shí)刻T4處,施加至全局字線GWLl至GWLn的字線電壓Vwl可以逐步地降低。塊字線BLKWL的電壓可以從塊字線電壓Vblk逐步地增大至預(yù)定的電壓Vs。
      [0097]因此,通過將經(jīng)由塊字線BLKWL施加至正常傳輸晶體管NPTl至NPTn的柵極的電壓減去經(jīng)由全局字線GWLl至GWLn施加至正常傳輸晶體管NPTl至NPTn的源極的電壓獲得的電壓可
      當(dāng)前第3頁1 2 3 4 5 
      網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
      • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點(diǎn)贊!
      1