專利名稱：用于監(jiān)測(cè)堆料機(jī)的操作失效的半導(dǎo)體制造自動(dòng)化系統(tǒng)與方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造自動(dòng)化(此后稱為FA)系統(tǒng)，尤其是涉及用于監(jiān)測(cè)堆料機(jī)(STOCKER)的操作失效的半導(dǎo)體FA系統(tǒng)與方法。
半導(dǎo)體FA系統(tǒng)通常包括至少一個(gè)單元。該單元包括大量半導(dǎo)體制造間格(bay)。一個(gè)半導(dǎo)體制造間格包括處理設(shè)備、堆料機(jī)和自動(dòng)引導(dǎo)運(yùn)輸工具(此后稱為AGV)。處理設(shè)備處理半導(dǎo)體晶片(wafer)以獲得半導(dǎo)體器件。處理設(shè)備包括蝕刻設(shè)備、加熱爐設(shè)備、光刻設(shè)備等。堆料機(jī)暫時(shí)堆放要從半導(dǎo)體制造間格被輸送到另一個(gè)半導(dǎo)體制造間格的半導(dǎo)體晶片(wafer)箱和在處理設(shè)備中被處理的半導(dǎo)體晶片(wafer)盒。半導(dǎo)體晶片(wafer)盒是能夠容納大量半導(dǎo)體晶片的容器。在處理設(shè)備中被處理的半導(dǎo)體晶片(wafer)盒被AGV、一種運(yùn)輸工具和操作員輸送到堆料機(jī)。該運(yùn)輸工具被用來把半導(dǎo)體晶片(wafer)盒從半導(dǎo)體制造間格輸送到另一個(gè)半導(dǎo)體制造間格。
如果堆料機(jī)失效，不可能把半導(dǎo)體晶片(wafer)盒輸送到處理設(shè)備或另一個(gè)半導(dǎo)體制造間格。因此，操作員應(yīng)連續(xù)地檢查堆料機(jī)的操作狀態(tài)以快速向修理工報(bào)告堆料機(jī)的失效。
為檢查堆料機(jī)的操作狀態(tài)，半導(dǎo)體FA系統(tǒng)包括堆料機(jī)監(jiān)測(cè)裝置。堆料機(jī)監(jiān)測(cè)裝置具有一個(gè)單元管理服務(wù)器(此后稱為CMS)和一個(gè)連接于CMS的操作員接口服務(wù)器(此后稱為OIS)。CMS接收與堆料機(jī)相關(guān)的操作信息。OIS在監(jiān)測(cè)器上顯示堆料機(jī)的操作狀態(tài)。
在這種情況下，操作員連續(xù)地觀察OIS的監(jiān)測(cè)器來基于操作信息鑒別出失效的堆料機(jī)。當(dāng)操作員鑒別出失效的堆料機(jī)的狀態(tài)時(shí)，操作員通知修理工堆料機(jī)失效。然后，修理工定位堆料機(jī)的失效的部分并修理堆料機(jī)的該失效部分。
但是，當(dāng)操作員不能很快識(shí)別出失效的堆料機(jī)的狀態(tài)時(shí)，失效的堆料機(jī)被保留很長(zhǎng)時(shí)間，并且因此，半導(dǎo)體的產(chǎn)量嚴(yán)重減少。而且，當(dāng)操作員不夠熟練時(shí)，鑒別出堆料機(jī)的失效的部分所需要的時(shí)間周期被大大延長(zhǎng)了。
因此，在熟練的操作員應(yīng)連續(xù)監(jiān)測(cè)堆料機(jī)的操作狀態(tài)時(shí)，工本增加，從而半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)成本大大提高了。
因此，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種用于監(jiān)測(cè)堆料機(jī)的操作失效的半導(dǎo)體FA系統(tǒng)與方法，在堆料機(jī)失效時(shí)其能夠有效地提供音頻可視警報(bào)信號(hào)。
根據(jù)本發(fā)明的一方面的實(shí)施例，提供一種用于監(jiān)測(cè)用于堆放半導(dǎo)體晶片(wafer)盒的至少一個(gè)堆料機(jī)的操作失效的裝置，其中所述堆料機(jī)被分為若干部分，包括一個(gè)用于響應(yīng)于從所述堆料機(jī)發(fā)出的堆料機(jī)狀態(tài)信號(hào)產(chǎn)生代表所述堆料機(jī)的操作狀態(tài)的堆料機(jī)狀態(tài)信息的產(chǎn)生裝置；一個(gè)用于檢查堆料機(jī)狀態(tài)信息以更新原來存儲(chǔ)的所述堆料機(jī)的操作狀態(tài)的并用于當(dāng)包含在所述堆料機(jī)中的至少一部分失效時(shí)產(chǎn)生警報(bào)信號(hào)的監(jiān)測(cè)裝置；和一個(gè)用于響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)產(chǎn)生音頻可視警報(bào)信號(hào)的警報(bào)裝置。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面的實(shí)施例，提供一種半導(dǎo)體制造自動(dòng)(FA)系統(tǒng)，包括至少一個(gè)用于堆放半導(dǎo)體晶片(wafer)盒的堆料機(jī)，其中所述堆料機(jī)被分為若干部分；一個(gè)用于響應(yīng)于從所述堆料機(jī)發(fā)出的堆料機(jī)狀態(tài)信號(hào)產(chǎn)生代表所述堆料機(jī)的操作狀態(tài)的堆料機(jī)狀態(tài)信息的產(chǎn)生裝置；一個(gè)用于檢查堆料機(jī)狀態(tài)信息以更新原來存儲(chǔ)的所述堆料機(jī)的操作狀態(tài)的并用于當(dāng)包含在所述堆料機(jī)中的至少一部分失效時(shí)產(chǎn)生警報(bào)信號(hào)的監(jiān)測(cè)裝置；和一個(gè)用于響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)產(chǎn)生音頻可視警報(bào)信號(hào)的警報(bào)裝置。
根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供一種用于監(jiān)測(cè)用在半導(dǎo)體制造自動(dòng)系統(tǒng)中的堆料機(jī)的操作失效的方法，其中所述堆料機(jī)被分為若干操作部分，包括步驟a)響應(yīng)于從堆料機(jī)發(fā)出的堆料機(jī)狀態(tài)信號(hào)產(chǎn)生代表堆料機(jī)的操作狀態(tài)的堆料機(jī)狀態(tài)信息；b)檢查堆料機(jī)狀態(tài)信息以更新原來存儲(chǔ)的堆料機(jī)的操作狀態(tài)；c)在包含在堆料機(jī)中的至少一部分失效時(shí)產(chǎn)生警報(bào)信號(hào)；和d)響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)產(chǎn)生音頻可視警報(bào)信號(hào)。
本發(fā)明的上述和其它的目標(biāo)和特征從下面的聯(lián)系附圖給出的優(yōu)選實(shí)施例的描述中變得更明顯，其中

圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的包括用于監(jiān)測(cè)堆料機(jī)的操作失效的裝置的半導(dǎo)體FA系統(tǒng)的框圖；圖2是描述圖1所示的傳輸控制部分的框圖；圖3是表示根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的用于監(jiān)測(cè)堆料機(jī)的失效的裝置的框圖；圖4是表示在圖3所示的監(jiān)測(cè)器上顯示的操作員接口屏幕的例示的圖；圖5是表示根據(jù)本發(fā)明的用于監(jiān)測(cè)半導(dǎo)體FA系統(tǒng)中的堆料機(jī)的操作失效的方法的流程圖。
參考圖1，表示出了根據(jù)本發(fā)明的表示包括用于監(jiān)測(cè)堆料機(jī)的操作失效的裝置的半導(dǎo)體FA系統(tǒng)的框圖。如圖所示，半導(dǎo)體FA系統(tǒng)包括至少一個(gè)單元，其具有預(yù)定數(shù)目，例如4個(gè)半導(dǎo)體制造間格。半導(dǎo)體制造間格400被包括在單元中。半導(dǎo)體制造間格400提供有處理設(shè)備(此后稱為EQ)204、堆料機(jī)216和AGV214。EQ204處理半導(dǎo)體晶片以獲得半導(dǎo)體器件。EQ204包括例如蝕刻設(shè)備、光刻設(shè)備、加熱爐設(shè)備等。堆料機(jī)216暫時(shí)存放若干半導(dǎo)體晶片(wafer)盒。各個(gè)半導(dǎo)體晶片(wafer)盒具有預(yù)定數(shù)目的半導(dǎo)體晶片(wafer)，其被稱為一組。半導(dǎo)體晶片(wafer)盒應(yīng)用AGV214可選擇地被傳輸?shù)紼Q204。存放在堆料機(jī)216中的半導(dǎo)體晶片(wafer)盒被傳輸?shù)搅硪粋€(gè)半導(dǎo)體制造間格400。
處理設(shè)備服務(wù)器(此后稱為EQS)202被耦合于通用通信線500，例如由Xerox公司提供的EthernetTM。AGV控制器(此后稱為AGVC)212控制AGV214。
半導(dǎo)體FA系統(tǒng)還包括單元管理部分100、連接于單元管理部分100的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)300、暫時(shí)的存儲(chǔ)單元310、連接于暫時(shí)的存儲(chǔ)單元310的歷史管理部分312和連接于歷史管理部分312的歷史數(shù)據(jù)庫(kù)314。單元管理部分100、歷史管理部分312和歷史數(shù)據(jù)庫(kù)314分別連接于通用通信線500用于它們之間的通信。
單元管理部分100包括CMS206、OIS201和數(shù)據(jù)收集服務(wù)器(此后稱為DGS)207。DGS207存儲(chǔ)與實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)300中的組相關(guān)的處理數(shù)據(jù)。CMS206接收與堆料機(jī)216相關(guān)的信息并查看新的信息來檢查是否堆料機(jī)216失效。此后，CMS206更新與堆料機(jī)216相關(guān)的信息并在新的信息的基礎(chǔ)上予先存儲(chǔ)下來。如果堆料機(jī)216失效，CMS206產(chǎn)生預(yù)定的警報(bào)信號(hào)。然后CMS206把更新的信息提供給OIS201并在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)300中存儲(chǔ)更新的信息。
OIS201具有個(gè)人計(jì)算機(jī)(未示出)，用于處理由CMS206提供的信息以及由操作員輸入的操作命令。OIS201具有用于在操作員接口屏幕上顯示堆料機(jī)216的狀態(tài)信息的監(jiān)測(cè)器114。
OIS201存儲(chǔ)堆料機(jī)216的狀態(tài)信息在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)300中。OIS201和CMS206可選擇地取回存儲(chǔ)在實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)庫(kù)300中的堆料機(jī)216的狀態(tài)信息。
堆料機(jī)216與蜂鳴器(未示出)和大量光裝置(未示出)相鄰。而且蜂鳴器和光裝置直接連接于CMS206。蜂鳴器和光裝置由CMS206控制。蜂鳴器產(chǎn)生聲音的警報(bào)信號(hào)并且光裝置產(chǎn)生不同的光警報(bào)信號(hào)。響應(yīng)于從CMS206發(fā)出的警報(bào)信號(hào)，蜂鳴器和光裝置分別產(chǎn)生音頻可視警報(bào)信號(hào)。光裝置分別產(chǎn)生黑、紅、黃和白光信號(hào)。
參考圖2，表示圖1所示的傳輸控制部分的框圖。如圖所示，傳輸控制部分116包括耦合于通用的通信線500的間格內(nèi)控制服務(wù)器(此后稱為ICS)210和堆料機(jī)控制服務(wù)器(此后稱為SCS)218。ICS210把傳輸信息轉(zhuǎn)換為傳輸命令。SCS218響應(yīng)于傳輸命令產(chǎn)生堆料機(jī)控制命令來控制堆料機(jī)216。AGVC212響應(yīng)于傳輸命令產(chǎn)生AGV控制命令來控制AGV214。
參考圖3，表示具有一個(gè)堆料機(jī)的監(jiān)測(cè)裝置的框圖；為了方便起見，在圖3中僅示出一個(gè)堆料機(jī)，實(shí)際上大量堆料機(jī)被連接于堆料機(jī)監(jiān)測(cè)裝置。堆料機(jī)監(jiān)測(cè)裝置包括SCS218、CMS206和OIS201、蜂鳴器330、光裝置340和監(jiān)測(cè)器114。
堆料機(jī)216包括人工端口321和自動(dòng)端口322,用于把半導(dǎo)體晶片(wafer)盒裝載到堆料機(jī)216或把半導(dǎo)體晶片(wafer)盒從堆料機(jī)216卸下來。在這個(gè)實(shí)施例中，人工端口321被分為輸入端口和輸出端口，前者用于裝載半導(dǎo)體晶片(wafer)盒，后者用于卸下半導(dǎo)體晶片(wafer)盒。類似地自動(dòng)端口322被分為用于把半導(dǎo)體晶片(wafer)盒裝載到堆料機(jī)216的輸入端口和用于從堆料機(jī)216卸下半導(dǎo)體晶片(wafer)盒的輸出端口。
堆料機(jī)216還包括自動(dòng)操縱臂323、堆集機(jī)324和多個(gè)檢測(cè)器325。自動(dòng)操縱臂323把半導(dǎo)體晶片(wafer)盒從堆料機(jī)216拉出或把半導(dǎo)體晶片(wafer)盒推入堆料機(jī)216。堆集機(jī)324堆放裝載到人工端口321和自動(dòng)端口322的半導(dǎo)體晶片(wafer)盒。
檢測(cè)器325檢測(cè)包含在堆料機(jī)216中的各個(gè)部件321到323的移動(dòng)性。檢測(cè)器325被放置在部件321到324處。檢測(cè)器325還提供代表包含在堆料機(jī)216到SCS218中的部件321到324的操作狀態(tài)的堆料機(jī)狀態(tài)信號(hào)。SCS218控制部件321到324的操作。SCS218監(jiān)測(cè)部件321到324的操作狀態(tài)。為監(jiān)測(cè)部件321到324的操作狀態(tài)，SCS218接收來自檢測(cè)器325的堆料機(jī)狀態(tài)信號(hào)。然后SCS218響應(yīng)于堆料機(jī)狀態(tài)信號(hào)產(chǎn)生代表各個(gè)部件321到324的操作狀態(tài)的堆料機(jī)狀態(tài)信息。堆料機(jī)狀態(tài)信息包括代表堆料機(jī)216的識(shí)別信息。堆料機(jī)狀態(tài)信息還包括代表包含在堆料機(jī)216中的部件321到324的各種標(biāo)識(shí)信息和代表部件321到324是否失效的標(biāo)記。堆料機(jī)狀態(tài)信息包括標(biāo)記“M”，“A”，“R”，“S”和“0”。例如，“M”表示失效的人工端口的標(biāo)記。“A”表示失效的自動(dòng)端口的標(biāo)記?！癛”表示失效的自動(dòng)操縱臂的標(biāo)記?！癝”表示失效的堆料機(jī)的標(biāo)記。當(dāng)包含在堆料機(jī)216中的部件321到324沒有失效時(shí)，所有的標(biāo)記以“0”表示。
堆料機(jī)狀態(tài)信息從SCS218傳送到CMS206。CMS206通過檢查堆料機(jī)狀態(tài)信息來確認(rèn)是否堆料機(jī)216的一些部件失效了來查看包含在堆料機(jī)216中的部件321到324的工作狀態(tài)。如果堆料機(jī)216的一些部件失效了，CMS206產(chǎn)生警報(bào)信號(hào)。
參考圖4，表示在圖3所示的監(jiān)測(cè)器上顯示的操作員接口屏幕的例示的圖。警報(bào)信號(hào)從CMS206發(fā)出到耦合于監(jiān)測(cè)器114的OIS201。當(dāng)人工端口321已經(jīng)失效，監(jiān)測(cè)器114響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)在操作員接口屏幕的顯示空間114d上顯示標(biāo)記“M”。當(dāng)自動(dòng)端口322已經(jīng)失效，監(jiān)測(cè)器114響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)在操作員接口屏幕的顯示空間114d上顯示標(biāo)記“A”。當(dāng)自動(dòng)操縱臂323已經(jīng)失效，監(jiān)測(cè)器114響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)在操作員接口屏幕的顯示空間114d上顯示標(biāo)記“R”。當(dāng)堆集機(jī)324已經(jīng)失效，監(jiān)測(cè)器114響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)在操作員接口屏幕的顯示空間114d上顯示標(biāo)記“S”。監(jiān)測(cè)器114在操作員接口屏幕的顯示空間114a上顯示堆料機(jī)序號(hào)例如“S341”。監(jiān)測(cè)器114在操作員接口屏幕的顯示空間114b上顯示堆料機(jī)名稱例如“ CMS341”。監(jiān)測(cè)器114在操作員接口屏幕的顯示空間114f上顯示堆料機(jī)模式例如“01”或“02”，其中堆料機(jī)模式“01”表示在線模式，堆料機(jī)模式“02”表示離線模式。
而且，監(jiān)測(cè)器114在操作員接口屏幕的顯示空間114c上顯示堆放在堆料機(jī)216中的半導(dǎo)體晶片(wafer)盒表。當(dāng)包含在堆料機(jī)216中的部件沒有失效時(shí)，監(jiān)測(cè)器114在操作員接口屏幕的顯示空間114e上顯示綠光信號(hào)。
當(dāng)包含在堆料機(jī)216中的人工端口321失效時(shí)，監(jiān)測(cè)器114在操作員接口屏幕的顯示空間114e上顯示白光信號(hào)。當(dāng)包含在堆料機(jī)216中的自動(dòng)端口322失效時(shí)，監(jiān)測(cè)器114在操作員接口屏幕的顯示空間114e上顯示黃光信號(hào)。當(dāng)包含在堆料機(jī)216中的機(jī)器臂323失效時(shí)，監(jiān)測(cè)器114在操作員接口屏幕的顯示空間114e上顯示紅光信號(hào)。當(dāng)包含在堆料機(jī)216中的堆集機(jī)324失效時(shí)，監(jiān)測(cè)器114在操作員接口屏幕的顯示空間114e上顯示黑光信號(hào)。
參考圖5，表示根據(jù)根據(jù)本發(fā)明的用于監(jiān)測(cè)半導(dǎo)體FA系統(tǒng)中的堆料機(jī)的操作失效的方法的流程圖。
在步驟S910，CMS206接收從SCS218發(fā)出的堆料機(jī)狀態(tài)信息。
在步驟S920，CMS206響應(yīng)于堆料機(jī)狀態(tài)信息確定是否包含在堆料機(jī)216中的一些部件失效。
在步驟S922，如果包含在堆料機(jī)216中的一些部件失效，CMS206產(chǎn)生一警報(bào)信號(hào)以打開蜂鳴器330。
在步驟S924，CMS206更新原來存儲(chǔ)的堆料機(jī)狀態(tài)信息并提供更新的堆料機(jī)狀態(tài)信息給OIS201。在這種情況下，與包含在堆料機(jī)216中的部件321到324相關(guān)的標(biāo)記在OIS201中被更新。
在步驟S930，CMS206確定標(biāo)記類型以查看更新的堆料機(jī)狀態(tài)信息。
在步驟S932，如果包含在更新的堆料機(jī)狀態(tài)信息中的標(biāo)記是“S”，CMS206打開黑光裝置。
在步驟S934，如果包含在更新的堆料機(jī)狀態(tài)信息中的標(biāo)記是“R”，CMS206打開紅光裝置。
在步驟S936，如果包含在更新的堆料機(jī)狀態(tài)信息中的標(biāo)記是“A”，CMS206打開黃光裝置。
在步驟S938，如果包含在更新的堆料機(jī)狀態(tài)信息中的標(biāo)記是“M”，CMS206打開白光裝置。根據(jù)堆料機(jī)216的操作狀態(tài)，兩個(gè)或多個(gè)光裝置可同時(shí)被打開。當(dāng)包含在堆料機(jī)216中的人工端口321失效時(shí)，監(jiān)測(cè)器114在操作員接口屏幕的顯示空間114e上顯示白光信號(hào)。當(dāng)包含在堆料機(jī)216中的自動(dòng)端口322失效時(shí)，監(jiān)測(cè)器114在操作員接口屏幕的顯示空間114e上顯示黃光信號(hào)。當(dāng)包含在堆料機(jī)216中的機(jī)器臂323失效時(shí)，監(jiān)測(cè)器114在操作員接口屏幕的顯示空間114e上顯示紅光信號(hào)。當(dāng)包含在堆料機(jī)216中的堆集機(jī)324失效時(shí)，監(jiān)測(cè)器114在操作員接口屏幕的顯示空間114e上顯示黑光信號(hào)。
在步驟S940，CMS206更新與包含在堆料機(jī)216中的部件321到324相關(guān)的標(biāo)記為“0”。
在步驟S960，CMS206確定是否保留有一些其它的要被監(jiān)測(cè)的堆料機(jī)216。如果保留有一些其它的要被監(jiān)測(cè)的堆料機(jī)216，則重復(fù)步驟S910到S960。
根據(jù)本發(fā)明，用于監(jiān)測(cè)堆料機(jī)的方法通過產(chǎn)生與堆料機(jī)216的失效相關(guān)的音頻可視警報(bào)信號(hào)降低不必要的工本。而且由于操作員接口屏幕有效地顯示包含在堆料機(jī)中的失效的部件，修理失效的堆料機(jī)需要的時(shí)間周期被降低了。因此，半導(dǎo)體產(chǎn)量大大提高。
盡管本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例為了圖示的目的進(jìn)行了公開，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員將理解在不脫離本發(fā)明的權(quán)利要求的精神和實(shí)質(zhì)的情況下可能進(jìn)行各種修改、添加和替代。
權(quán)利要求
1．一種用于監(jiān)測(cè)用于堆放半導(dǎo)體晶片盒的至少一個(gè)堆料機(jī)的操作失效的裝置，其中所述堆料機(jī)被分為若干部分，包括一個(gè)用于響應(yīng)于從所述堆料機(jī)發(fā)出的堆料機(jī)狀態(tài)信號(hào)產(chǎn)生代表所述堆料機(jī)的操作狀態(tài)的堆料機(jī)狀態(tài)信息的產(chǎn)生裝置；一個(gè)用于檢查堆料機(jī)狀態(tài)信息以更新原來存儲(chǔ)的所述堆料機(jī)的操作狀態(tài)的并用于當(dāng)包含在所述堆料機(jī)中的至少一部分失效時(shí)產(chǎn)生警報(bào)信號(hào)的監(jiān)測(cè)裝置；和一個(gè)用于響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)產(chǎn)生音頻可視警報(bào)信號(hào)的警報(bào)裝置。
2．根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述警報(bào)裝置包括一個(gè)用于響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)產(chǎn)生音頻警報(bào)信號(hào)的音頻警報(bào)裝置；和一個(gè)用于響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)產(chǎn)生多個(gè)可視警報(bào)信號(hào)的可視警報(bào)裝置。
3．根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其中所述音頻警報(bào)裝置包括一個(gè)用于響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)產(chǎn)生警報(bào)的蜂鳴器。
4．根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中所述可視警報(bào)裝置包括響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)用于照射光信號(hào)的多個(gè)光裝置。
5．根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其中所述堆料機(jī)包括用于把半導(dǎo)體晶片盒裝載到所述堆料機(jī)或把半導(dǎo)體晶片盒從所述堆料機(jī)卸下來的大量人工和自動(dòng)端口裝置；一個(gè)用于將半導(dǎo)體晶片盒從所述堆料機(jī)拉出或把半導(dǎo)體晶片盒推入所述堆料機(jī)的自動(dòng)操縱臂裝置；一個(gè)堆放半導(dǎo)體晶片盒的堆集裝置。檢測(cè)所述人工和自動(dòng)端口裝置、所述自動(dòng)操縱臂裝置、所述堆集裝置的每一個(gè)的移動(dòng)性以對(duì)所述產(chǎn)生裝置提供堆料機(jī)狀態(tài)信號(hào)的多個(gè)檢測(cè)裝置。
6．根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，還包括一個(gè)耦合于所述檢測(cè)裝置的，用于顯示堆料機(jī)狀態(tài)信息的操作員接口裝置。
7．根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其中堆料機(jī)狀態(tài)信息包括代表所述堆料機(jī)的標(biāo)識(shí)信息；標(biāo)識(shí)信息代表包含在所述堆料機(jī)的至少一個(gè)部件；一個(gè)標(biāo)記代表是否包含在所述堆料機(jī)的至少一個(gè)部件失效。
8．根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其中標(biāo)記包括第一、第二、第三和第四標(biāo)記。
9．根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中第一標(biāo)記代表人工端口裝置失效的標(biāo)記；第二標(biāo)記代表自動(dòng)端口裝置失效的標(biāo)記；第三標(biāo)記代表所述自動(dòng)操縱臂失效的標(biāo)記；第四標(biāo)記代表所述堆集裝置失效的標(biāo)記。
10．根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其中所述操作員接口裝置包括第一顯示空間，用于在所述人工端口裝置失效時(shí)顯示白光信號(hào)；第二顯示空間，用于在所述自動(dòng)端口裝置失效時(shí)顯示黃光信號(hào)；第三顯示空間，用于在所述自動(dòng)操縱臂裝置失效時(shí)顯示紅光信號(hào)；第四顯示空間，用于在所述堆集裝置失效時(shí)顯示黑光信號(hào)。
11．根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其中所述光裝置包括第一光裝置，用于響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)照射白光信號(hào)；第二光裝置，用于響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)照射黃光信號(hào)；第三光裝置，用于響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)照射紅光信號(hào)；第四光裝置，用于響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)照射黑光信號(hào)。
12．一種半導(dǎo)體FA系統(tǒng)，包括至少一個(gè)用于堆放半導(dǎo)體晶片盒的堆料機(jī)，其中所述堆料機(jī)被分為若干部分；一個(gè)用于響應(yīng)于從所述堆料機(jī)發(fā)出的堆料機(jī)狀態(tài)信號(hào)產(chǎn)生代表所述堆料機(jī)的操作狀態(tài)的堆料機(jī)狀態(tài)信息的產(chǎn)生裝置；一個(gè)用于檢查堆料機(jī)狀態(tài)信息以更新原來存儲(chǔ)的所述堆料機(jī)的操作狀態(tài)的并用于當(dāng)包含在所述堆料機(jī)中的至少一部分失效時(shí)產(chǎn)生警報(bào)信號(hào)的監(jiān)測(cè)裝置；和一個(gè)用于響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)產(chǎn)生音頻可視警報(bào)信號(hào)的警報(bào)裝置。
13．根據(jù)權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體FA系統(tǒng)，還包括多個(gè)半導(dǎo)體處理裝置，每一個(gè)執(zhí)行預(yù)定的半導(dǎo)體處理，其中預(yù)定的半導(dǎo)體處理被應(yīng)用于包含在半導(dǎo)體晶片盒中的半導(dǎo)體晶片；及一個(gè)傳輸裝置，用于把半導(dǎo)體晶片盒從每一個(gè)半導(dǎo)體處理裝置傳輸?shù)剿龆蚜蠙C(jī)或從所述堆料機(jī)傳輸?shù)矫恳粋€(gè)半導(dǎo)體處理裝置。
14．根據(jù)權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體FA系統(tǒng)，其中所述警報(bào)裝置包括一個(gè)用于響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)產(chǎn)生音頻警報(bào)信號(hào)的音頻警報(bào)裝置；和一個(gè)用于響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)產(chǎn)生多個(gè)可視警報(bào)信號(hào)的可視警報(bào)裝置。
15．根據(jù)權(quán)利要求14所述的半導(dǎo)體FA系統(tǒng)，其中所述音頻警報(bào)裝置包括一個(gè)用于響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)產(chǎn)生警報(bào)的蜂鳴器。
16．根據(jù)權(quán)利要求15所述的半導(dǎo)體FA系統(tǒng)，其中所述可視警報(bào)裝置包括響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)用于照射光信號(hào)的多個(gè)光裝置。
17．根據(jù)權(quán)利要求16所述的半導(dǎo)體FA系統(tǒng)，其中所述堆料機(jī)包括用于把半導(dǎo)體晶片盒裝載到所述堆料機(jī)或把半導(dǎo)體晶片盒從所述堆料機(jī)卸下來的大量人工和自動(dòng)端口裝置；一個(gè)用于將半導(dǎo)體晶片盒從所述堆料機(jī)拉出或把半導(dǎo)體晶片盒推入所述堆料機(jī)的自動(dòng)操縱臂裝置；一個(gè)堆放半導(dǎo)體晶片盒的堆集裝置。檢測(cè)所述人工和自動(dòng)端口裝置、所述自動(dòng)操縱臂裝置、所述堆集裝置的每一個(gè)的移動(dòng)性以對(duì)所述產(chǎn)生裝置提供堆料機(jī)狀態(tài)信號(hào)的檢測(cè)裝置。
18．一種用于監(jiān)測(cè)用在半導(dǎo)體制造自動(dòng)系統(tǒng)中的堆料機(jī)的操作失效的方法，其中所述堆料機(jī)被分為若干部分，包括步驟a)響應(yīng)于從堆料機(jī)發(fā)出的堆料機(jī)狀態(tài)信號(hào)產(chǎn)生代表堆料機(jī)的操作狀態(tài)的堆料機(jī)狀態(tài)信息；b)檢查堆料機(jī)狀態(tài)信息以更新原來存儲(chǔ)的堆料機(jī)的操作狀態(tài)；c)當(dāng)包含在堆料機(jī)中的至少一部分失效時(shí)產(chǎn)生警報(bào)信號(hào)；和d)響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)產(chǎn)生音頻可視警報(bào)信號(hào)。
19．根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中所述步驟d)還包括步驟d1)響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)產(chǎn)生音頻警報(bào)信號(hào)；d2)響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)產(chǎn)生多個(gè)音頻警報(bào)信號(hào)。
20．根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中所述步驟d1)還包括響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)通過使用蜂鳴器產(chǎn)生作為音頻警報(bào)信號(hào)的步驟。
21．根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其中所述步驟d2)還包括響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)通過使用多個(gè)光裝置照射作為可視警報(bào)信號(hào)的光信號(hào)步驟。
22．根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，還包括步驟e)顯示堆料機(jī)狀態(tài)信息。
23．根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，其中堆料機(jī)狀態(tài)信息包括代表堆料機(jī)的標(biāo)識(shí)信息；標(biāo)識(shí)信息代表包含在所述堆料機(jī)的至少一個(gè)部件；一個(gè)標(biāo)記代表是否包含在所述堆料機(jī)的至少一個(gè)部件失效。
24．根據(jù)權(quán)利要求23所述的方法，其中標(biāo)記包括第一、第二、第三和第四標(biāo)記。
25．根據(jù)權(quán)利要求24所述的方法，其中第一標(biāo)記代表人工端口裝置失效的標(biāo)記；第二標(biāo)記代表自動(dòng)端口裝置失效的標(biāo)記；第三標(biāo)記代表所述自動(dòng)操縱臂失效的標(biāo)記；第四標(biāo)記代表所述堆集失效的標(biāo)記。
26．根據(jù)權(quán)利要求25所述的方法，其中所述步驟e)包括步驟e1)當(dāng)人工端口裝置失效時(shí)顯示白光信號(hào)；e2)當(dāng)自動(dòng)端口裝置失效時(shí)顯示黃光信號(hào)；e3)當(dāng)自動(dòng)操縱臂裝置失效時(shí)顯示紅光信號(hào)；e4)當(dāng)堆集裝置失效時(shí)顯示黑光信號(hào)。
27．根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其特征在于所述步驟d2)包括步驟d2-a)響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)照射白光信號(hào)；d2-b)響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)照射黃光信號(hào)；d2-c)響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)照射紅光信號(hào)；d2-d)響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)照射黑光信號(hào)。
全文摘要
一種用于監(jiān)測(cè)用在半導(dǎo)體制造自動(dòng)系統(tǒng)中的堆料機(jī)的操作失效的方法,其中所述堆料機(jī)被分為若干操作部分。包括步驟:a)響應(yīng)于從堆料機(jī)發(fā)出的堆料機(jī)狀態(tài)信號(hào)產(chǎn)生代表堆料機(jī)的操作狀態(tài)的堆料機(jī)狀態(tài)信息;b)檢查堆料機(jī)狀態(tài)信息以更新原來存儲(chǔ)的堆料機(jī)的操作狀態(tài);c)在包含在堆料機(jī)中的至少一部分失效時(shí)產(chǎn)生警報(bào)信號(hào);和d)響應(yīng)于警報(bào)信號(hào)產(chǎn)生音頻可視警報(bào)信號(hào)。該方法在堆料機(jī)失效時(shí)可有效地提供音頻可視警報(bào)信號(hào)。
文檔編號(hào)H01L21/02GK1279423SQ0011846
公開日2001年1月10日 申請(qǐng)日期2000年6月30日 優(yōu)先權(quán)日1999年6月30日
發(fā)明者李昌俊, 徐慶鎮(zhèn) 申請(qǐng)人:現(xiàn)代電子產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社