專利名稱：電壓非線性電阻及其制造方法
技術領域：
本發(fā)明是關于電壓非線性電阻及其制造方法，更詳細地說是關于耐熱沖擊特性優(yōu)良、而且抗彎強度高、容易控制非線性電阻電壓的電壓非線性電阻及其制造方法。
作為電壓非線性電阻的代表例，有非線性電阻。非線性電阻，例如為了吸收或者去除電動機等電氣設備中發(fā)生過電壓或噪音等而使用。在特公昭55-49404號公報中公開了以SrTiO3為主成分的非線性電阻，該非線性電阻不僅具有非線性電阻功能，而且也具有電容器功能，因此能夠良好地吸收在電氣設備中有發(fā)生危險的輝光放電、電弧放電、異常電壓和噪聲等。另外，在專利第2944697號公報中，作為控制非線性電阻電壓的溫度依存性的手段，提出了SrTiO3-BaTiO3-CaTiO3系的非線性電阻。
可是，這樣的SrTiO3或者SrTiO3-BaTiO3-CaTiO3系非線性電阻，一般作為用于吸收直流電動機的轉子和電刷之間產生的噪音部件而使用。因此，一般，這些系統(tǒng)的非線性電阻具有環(huán)形形狀，利用軟釬焊進行非線性電阻的電極與轉子的連接。在該軟釬焊作業(yè)時，對于在環(huán)形形狀的非線性電阻產生大的熱沖擊。另外，配合電動機的高輸出化，環(huán)形形狀的非線性電阻也處于變大的傾向，伴隨此，希望提高非線性電阻的耐熱沖擊性。
本發(fā)明是鑒于這樣的現(xiàn)實情況而完成的，目的在于提供耐熱沖擊特性優(yōu)良、而且抗彎強度高、容易控制非線性電阻電壓的電壓非線性電阻及其制造方法。
為了達到上述目的，有關本發(fā)明的第1觀點的電壓非線性電阻的特征是，以含有鈦酸鍶為主成分的陶瓷組合物構成，燒結后的陶瓷組合物中的碳含量是410ppm以下，最好是300ppm以下。
有關本發(fā)明的第2觀點的電壓非線性電阻的特征是，使燒結后的陶瓷組合物中的碳含量是410ppm以下、最好是300ppm以下地選擇添加物質的組成和／或脫脂條件而構成。
碳含量如果過多，在電壓非線性電阻的抗彎強度降低的同時，處于耐熱沖擊特性降低的傾向，這是不好的。
優(yōu)選的燒結后的陶瓷組合物中的碳含量是120ppm以上、進而最好是200ppm以上。如果碳含量過少，就處于難以控制非線性電阻電壓的傾向，這是不好的。
在本發(fā)明中，作為含有鈦酸鍶為主成分的陶瓷組合物，沒有特別的限制，但最好上述陶瓷組合物含有以組成式(Sr(1-x-y)BaxCay)mTiO2+m代表的、x=0．1～0．9、y=0．01～0．5、x+y＜1、0．98≤m≤1．02的主成分，包含選自Nb、Ta和稀土元素組成組中的至少1種的第1元素的氧化物的第1副成分，包含選自Mn、Co、Ni、Cu、Zn和V組成組中的至少1種的第2元素的氧化物的第2副成分，以及包含Si和Al中的至少任一種的第3元素的氧化物的第3副成分。
將上述主成分規(guī)定為100mol％時，以上述第1副成分是0．01～3mol％、最好是0．5～2．0mol％，上述第2副成分是0．005～3mol％、最好是0．02～0．5mol％(但，在以M代表上述第2元素時，是以MO代表其氧化物時的mol數(shù))的范圍，包含在上述陶瓷組合物中。
將上述主成分規(guī)定為100質量％時，以上述第3副成分是0．005～1質量％、最好是0．02～0．1質量％的范圍，包含在上述陶瓷組合物中。
在上述組成式中的x不到0．1或者y不到0．1時，非線性電阻電壓的溫度特性成為負特性，其結果，隨著溫度上升，非線性電阻電壓降低，處于引起短路現(xiàn)象的傾向，這是不好的。另外，如果x超過0．9，就處于不能表現(xiàn)非線性電阻電壓的傾向，這也是不好的。另外，如果y超過0．5，就處于不能表現(xiàn)非線性電阻特性的傾向，這也是不好的。
所謂非線性電阻電壓是指對非線性電阻元件外加慢慢增大的電壓，例如流動10mA的電流時的外加電壓。另外，所謂非線性電阻特性是指對非線性電阻元件外加慢慢增大的電壓時，在元件中流過的電流非線性地增大的現(xiàn)象。
作為選自Nb、Ta和稀土元素組成組中的至少1種的第1元素的氧化物，可舉出Nb2O5、Ta2O5、Y2O3、La2O3、CeO4、Pr6O11、Nd2O3、Sm2O3、Eu2O3、Gd2O3、Tb4O7、Dy2O3、Ho2O3、Er2O3、Tm2O3、Yb2O3、Lu2O3。這些氧化物以上述的mol％的范圍包含在組合物中，因此有助于組合物的半導體化。
作為第2副成分，例如可舉出MnO、Co3O4、NiO、Cu2O、ZnO、V2O5等。這些氧化物是有助于非線性電阻電壓和非線性電阻的非線性特性的氧化物。這些氧化物的含量如果過少，非線性電阻電壓和非線性特性就處于顯著地劣化的傾向。如果過多，由于絕緣化，非線性電阻特性顯著地劣化。但是，例如在V2O5的場合，換算成VO5／2求出第2副成分的摩爾數(shù)。
作為第3副成分，可舉出SiO2、Al2O3。這些氧化物是有助于組合物的結晶性的添加物。第3副成分的含量如果過少，燒結體的密度就會降低，處于得不到充分的強度的傾向，如果過多，非線性電阻特性就處于顯著地劣化的傾向。
優(yōu)選的是，上述組合物還含有選自Li、Na、K和Rb組成組中的至少1種以上的第4元素的氧化物的第4副成分。
將上述主成分規(guī)定為100質量％時，上述第4副成分較好以不到0．1質量％，最好以0．05～0．5質量％的范圍含有。
作為第4副成分，例如可舉出Li2O、Na2O、K2O、RbO。這些氧化物是有助于非線性電阻的非線性系數(shù)的氧化物。這些氧化物的含量如果過少，就處于非線性電阻的非線系數(shù)的改善效果小的傾向。如果過多，由于絕緣化，非線性電阻特性顯著地劣化。
本發(fā)明的電壓非線性電阻用組合物是由含有鈦酸鍶作為主成分的陶瓷組合物構成，脫脂后的陶瓷組合物中的碳含量是2100ppm以下。脫脂后的陶瓷組合物中的碳含量如果超過2100ppm，燒結后的陶瓷組合物中的碳含量就難以控制在410ppm以下，在電壓非線性電阻的抗彎強度降低的同時，耐熱沖擊特性處于降低的傾向，這是不好的。
在此情況下，脫脂后的陶瓷組合物中的碳含量最好是180ppm以上。在脫脂后的陶瓷組合物中的碳含量不到180ppm時，燒結后的陶瓷組合物中的碳含量就難以控制在120ppm以上，非線性電阻電壓就處于難以控制的傾向，這是不好的。
本發(fā)明的電壓非線性電阻的制造方法的特征是，使脫脂過程后的陶瓷組合物中的碳含量成為2100ppm以下，最好成為180ppm以上、2100ppm以下地選擇添加物質的組成和／或脫脂過程條件。作為上述脫脂過程條件，脫脂過程最好在還原性氣氛下、中性氣氛下、二氧化碳氣體氣氛下的任一種氣氛下進行。最好是在脫脂過程前的陶瓷組合物中最好含有非晶碳、石墨、碳化物、有機化合物的任一種。
本發(fā)明的電壓非線性電阻，能夠適合作為用于噪音吸收、電壓保護的非線性電阻元件使用。
本發(fā)明可以提供耐熱沖擊特性優(yōu)良、而且抗彎強度高、容易控制非線性電阻電壓的電壓非線性電阻及其制造方法。
以下，根據(jù)實施例詳細地說明本發(fā)明。


圖1是本發(fā)明實施例的非線性電阻的斷面圖。
圖2是用于測定本發(fā)明實施例的非線性電阻的非線性電阻電壓和非線性系數(shù)的電路圖。
圖3是表示本發(fā)明實施例的非線性電阻中的再氧化溫度與非線性電阻電壓的關系的曲線圖。
實施例1作為原料，稱量SrCO3、BaCO3、CaCO3、TiO2、Nb2O5、SiO2，配合成最終得到的組成為(Sr0．35Ba0．35Ca0．3)TiO3+Nb2O5(1．5mol％)+MnO(0．02mol％)+SiO2(0．1質量％)。再者，Nb2O5和MnO的mol％是將(Sr0．35Ba0．35Ca0．3)TiO3規(guī)定為100mol％時的mol％，SiO2的質量％是將(Sr0．35Ba0．35Ca0．3)TiO3規(guī)定為100質量％時的質量％。
接著，使用球磨機將該原料混合10～20小時后，進行脫水并干燥。此后，該原料在1150～1250℃進行假燒結，粗粉碎后，再用球磨機混合10～20小時后，進行脫水并干燥。接著，在該原料中添加1質量％的聚乙烯醇(PVA)作為粘結劑。其結果，原料中的碳含量是2820ppm。接著，將該原料以大約196Mpa的成形壓進行壓制成形，得到外經12．5mm、內徑8mm、厚1mm的圓盤狀預成形體。
然后，進行預成形體的脫脂。如下述的表1所示，在一邊使空氣以2L／min的流量持續(xù)流動，一邊在600℃、12小時的條件下進行脫脂。脫脂后的預成形體中的碳含量是448ppm。接著，如表2所示，在N2(97體積％)+H2(3體積％)的還原性氣氛下、在1380℃將該預成形體燒結2小時，得到半導體燒結體。如表2所示，在燒結后的燒結體中的碳含量是122ppm。
然后進行該燒結體的再氧化處理。如表2所示，再氧化處理條件在空氣中(氧化性氣氛中)，是900℃和4小時。再氧化處理后的燒結體的碳含有率是111ppm。碳含量的測定是，稱量0．2g用瑪瑙研缽粉碎后的試樣后，使用碳·硫分析裝置(堀場制作所制EMIA520)進行。
接著，為了調查這樣得到的燒結體的特性，如圖1所示，在燒結體2的表面涂布銀糊，在600℃進行烘烤形成銀電極4，完成非線性電阻6。
接著，測定該非線性電阻6的非線性電阻電壓V10、非線性系數(shù)α10、耐熱沖擊特性(耐熱特性)和抗彎強度。如圖2所示，將非線性電阻6連接到直流恒電壓電源8上，用電壓計10測定作用在非線性電阻6的兩電極間的電壓的同時，通過在電流計12讀出在非線性電阻6上流過的電流，求出非線性電阻電壓V10。具體地說，在非線性電阻6上流過的電流是10mA時，利用電壓計10讀出作用在非線性電阻6的電極間的電壓，以該值作為非線性電阻電壓V10。
按下述的數(shù)學式(1)求出非線性系數(shù)α10。
α10=log(I10／I1)／log(V10／V1)=1／log(V10／V1)……(1)V10意味著在圖2所示的非線性電阻6上流過I10=10mA的電流時的非線性電阻電壓，V1意味著在圖2所示的非線性電阻6上流過I1=1mA的電流時的非線性電阻電壓。該非線性系數(shù)α10越大，非線性電阻特性越優(yōu)良。
耐熱沖擊特性如以下所示進行。即，對電極形成后的圖1中所示的非線性電阻6，隨著軟釬料一起與加熱到380℃的烙鐵的接觸，進行模擬的軟釬焊。在該軟釬焊處理后，洗凈焊劑，檢查有無裂紋。準備20個每個元件上形成5極的電極的非線性電阻元件，對各試樣，進行5極的軟釬焊，合計進行100極的軟釬焊，以百分率表示100極中發(fā)生裂紋的極數(shù)。
并且，在與上述同樣的條件下制作按照JIS-R1601的棒形的試樣，對該試樣進行按照JIS-R1601的試驗，求出抗彎強度。
測定的結果匯集于表3中。
表1
表2
表3
在表1～3中，*表示本發(fā)明的優(yōu)選范圍以外的數(shù)值。實施例2除了在600℃和2小時的條件下實施脫脂條件以外，與實施例1相同地進行，制作非線性電阻試樣，進行相同的試驗。結果示于表1～3。
實施例3添加1．5質量％的聚乙烯醇(PVA)作為粘結劑，原料中的碳含量是6450ppm，在CO2氣體氛圍下中、600℃和2小時的條件實施脫脂，除此以外，與實施例1相同地進行，制作非線性電阻試樣，進行相同的試驗。但在實施例3中，如表2所示，再氧化條件在800℃～1050℃之間變化，制成數(shù)種試樣。結果示于表1～3和圖3中。在本實施例中，如圖3所示，可以確認，依存于再氧化的溫度，可以將非線性電阻電壓V10控制成大略正比例的關系。非線性電阻電壓V10隨用途而變化，依存于再氧化的溫度，可以將非線性電阻電壓V10控制成大略正比例的關系，是作為非線性電阻所要求特性的重要因素。另外，在本實施例中，具有能夠使起因于再氧化條件的非線性電阻電壓V10的波動減小的優(yōu)點。
參考例1添加0．5質量％的聚乙烯醇(PVA)作為粘結劑，原料中的碳含量是980ppm，在800℃和12小時的條件實施脫脂，除此以外，與實施例1相同地進行，制作非線性電阻試樣，進行相同的試驗。但在參考例1中，如表2所示，使再氧化條件在800℃～1000℃之間變化，制成數(shù)種試樣。結果示于表1～3和圖3中。在參考例1中，如圖3所示，可以確認，依存于再氧化溫度的增加，非線性電阻電壓V10顯著地增大。即可以確認，參考例1與實施例3相比，非線性電阻電壓的控制是困難的。
實施例4添加1．5質量％的聚乙烯醇(PVA)作為粘結劑，原料中的碳含量是6450ppm，在N2氣氛圍下的600℃和2小時的條件下實施脫脂，除此以外，與實施例1相同地進行，制作非線性電阻試樣，進行相同的試驗。結果示于表1～3中。
實施例5
添加1．5質量％的聚乙烯醇(PVA)作為粘結劑，原料中的碳含量是6450ppm，在CO2氣氛圍下、600℃和2小時的條件下實施脫脂，除此以外，與實施例1相同地進行，制作非線性電阻試樣，進行相同的試驗。結果示于表1～3中。
實施例6添加3．2質量％的聚乙烯醇(PVA)作為粘結劑，原料中的碳含量是13800ppm，在600℃和2小時的條件下實施脫脂，除此以外，與實施例1相同地進行，制作非線性電阻試樣，進行相同的試驗。結果示于表1～3中。
比較例1添加3．2質量％的聚乙烯醇(PVA)作為粘結劑，原料中的碳含量是13800ppm，在N2氣氛圍下的600℃和2小時的條件下實施脫脂，除此以外，與實施例1相同地進行，制作非線性電阻試樣，進行相同的試驗。結果示于表1～3中。如表1～3所示，觀察到脫脂后的碳含量比2100ppm多，而且燒結后的碳含量也比410ppm多，耐熱沖擊特性劣化。
比較例2添加3．2質量％的聚乙烯醇(PVA)作為粘結劑，原料中的碳含量是13800ppm，在CO2氣體氛圍下的600℃和2小時的條件下實施脫脂，除此以外，與實施例1相同地進行，制作非線性電阻試樣，進行相同的試驗。結果示于表1～3中。如表1～3所示，觀察到脫脂后的碳含量比2100ppm多，而且燒結后的碳含量也比410ppm多，耐熱沖擊特性劣化。
實施例7添加6質量％的聚乙烯醇(PVA)作為粘結劑，原料中的碳含量是25800ppm，在600℃和2小時的條件下實施脫脂，除此以外，與實施例1相同地進行，制作非線性電阻試樣，進行相同的試驗。結果示于表1～3中。
比較例3添加10質量％的聚乙烯醇(PVA)作為粘結劑，原料中的碳含量是43100ppm，在600℃和2小時的條件下實施脫脂，除此以外，與實施例1相同地進行，制作非線性電阻試樣，進行相同的試驗。結果示于表1～3中。如表1～3所示，觀察到脫脂后的碳含量比2100ppm多，而且燒結后的碳含量也比410ppm多，耐熱沖擊特性劣化。
實施例8添加1．5質量％的聚乙烯醇(PVA)作為粘結劑，同時，添加0．1質量％的非晶態(tài)狀碳，原料中的碳含量是8120ppm，在600℃和2小時的條件下實施脫脂，除此以外，與實施例1相同地進行，制作非線性電阻試樣，進行相同的試驗。結果示于表1～3中。
比較例4添加1．5質量％的聚乙烯醇(PVA)作為粘結劑，同時，添加1質量％的非晶態(tài)狀碳，原料中的碳含量是15420ppm，在600℃和2小時的條件下實施脫脂，除此以外，與實施例1相同地進行，制作非線性電阻試樣，進行相同的試驗。結果示于表1～3中。如表1～3所示，觀察到脫脂后的碳含量比2100ppm多，而且燒結后的碳含量也比410ppm多，耐熱沖擊特性和抗彎強度劣化。
比較例5添加1．5質量％的聚乙烯醇(PVA)作為粘結劑，同時，添加2質量％的非晶態(tài)狀碳，原料中的碳含量是26580ppm，在600℃和2小時的條件下實施脫脂，除此以外，與實施例1相同地進行，制作非線性電阻試樣，進行相同的試驗。結果示于表1～3中。如表1～3所示，觀察到脫脂后的碳含量比2100ppm多，而且燒結后的碳含量也比410ppm多，耐熱沖擊特性和抗彎強度劣化。
實施例9對于原料，不添加PVA，添加0．01質量％的非晶態(tài)狀碳，原料中的碳含量是114ppm，在600℃和2小時的條件下實施脫脂，除此以外，與實施例1相同地進行，制作非線性電阻試樣，進行相同的試驗。結果示于表1～3中。
實施例10對于原料，不添加PVA，添加0．1質量％的非晶態(tài)狀碳，原料中的碳含量是1085ppm，在600℃和2小時的條件下實施脫脂，除此以外，與實施例1相同地進行，制作非線性電阻試樣，進行相同的試驗。結果示于表1～3中。
比較例6對于原料，不添加PVA，添加2質量％的非晶態(tài)狀碳，原料中的碳含量是20259ppm，在600℃和2小時的條件下實施脫脂，除此以外，與實施例1相同地進行，制作非線性電阻試樣，進行相同的試驗。結果示于表1～3中。如表1～3所示，觀察到脫脂后的碳含量比2100ppm多，而且燒結后的碳含量也比410ppm多，耐熱沖擊特性和抗彎強度劣化。
比較例7對于原料，不添加PVA，添加5質量％的非晶態(tài)狀碳，原料中的碳含量是30445ppm，在600℃和2小時的條件下實施脫脂，除此以外，與實施例1相同地進行，制作非線性電阻試樣，進行相同的試驗。結果示于表1～3中。如表1～3所示，觀察到脫脂后的碳含量比2100ppm多，而且燒結后的碳含量也比410ppm多，耐熱沖擊特性和抗彎強度劣化。
實施例11添加1．5質量％的聚乙烯醇(PVA)作為粘結劑，同時，添加0．1質量％的SiC，原料中的碳含量是7870ppm，在600℃和2小時的條件下實施脫脂，除此以外，與實施例1相同地進行，制作非線性電阻試樣，進行相同的試驗。結果示于表1～3中。
實施例12添加1．5質量％的聚乙烯醇(PVA)作為粘結劑，同時，添加0．1質量％的TiC，原料中的碳含量是7060ppm，在600℃和2小時的條件下實施脫脂，除此以外，與實施例1相同地進行，制作非線性電阻試樣，進行相同的試驗。結果示于表1～3中。
實施例13作為原料，稱量SrCO3、BaCO3、CaCO3、TiO2、Nb2O5、Li2O、SiO2，配合成最終得到的組成為(Sr0．35Ba0．35Ca0．3)TiO3+Nb2O5(0．42mo1％)+MnO(0．014mo1％)+Li2O(0．1質量％)+SiO2(O．1質量％)，除此之外，與實施例1相同地進行，制作非線性電阻試樣，進行相同的試驗。結果示于表1～3中。
評價如表1～3所示，本發(fā)明的非線性電阻試樣的非線性電阻系數(shù)α1O是2以上，表示耐熱沖擊特性的不良率是30％以下，抗彎強度是166．7MPa以上，可以確認，作為非線性電阻具有良好的特性。另外，如圖3所示，參考例1和實施例3相比，可以確認如下。即，脫脂后的陶瓷組合物中的碳含量是180ppm以上，燒結后的陶瓷組合物中的碳含量是120ppm以上，容易控制由再氧化處理的溫度引起的非線性電阻電壓。
圖1是本發(fā)明實施例的非線性電阻的斷面圖。
圖2是用于測定本發(fā)明實施例的非線性電阻的非線性電阻電壓和非線性系數(shù)的電路圖。
圖3是表示本發(fā)明實施例的非線性電阻中的再氧化溫度與非線性電阻電壓關系的曲線圖。
圖中的符號2-燒結體、4-電極、6-非線性電容器、8-直流恒電壓電源、10-電壓計、12-電流計。
權利要求
1．電壓非線性電阻，其特征在于，由含有鈦酸鍶作為主成分的陶瓷組合物構成，燒結后的陶瓷組合物中的碳含量是410ppm以下。
2．權利要求1所述的電壓非線性電阻，其特征在于，燒結后的陶瓷組合物中的碳含量是120ppm以上。
3．權利要求1或2所述的電壓非線性電阻，其特征在于，所述的陶瓷組合物含有以組成式(Sr(1-x-y)BaxCay)mTiO2+m表示的、x=0．1～0．9、y=0．01～0．5、x+y＜1、0．98≤m≤1．02的主成分，和包含選自Nb、Ta和稀土元素組成組中的至少1種的第1元素的氧化物的第1副成分，和包含選自Mn、Co、Ni、Cu、Zn和V組成組中的至少1種的第2元素的氧化物的第2副成分，以及包含Si和Al中的至少一種的第3元素的氧化物的第3副成分；將上述主成分規(guī)定為100mol％時，以上述第1副成分是0．01～3mol％，上述第2副成分是0．005～3mol％(但，在以M代表上述第2元素時，是以MO代表其氧化物時的mol數(shù))的范圍，包含在上述陶瓷組合物中；將上述主成分規(guī)定為100質量％時，以上述第3副成分是0．005～1質量％的范圍，包含在上述陶瓷組合物中。
4．權利要求3所述的電壓非線性電阻，其特征在于，還含有第4副成分，該副成分包含選自Li、Na、k和Rb組成組中的至少1種以上的第4元素氧化物；將上述主成分規(guī)定為100質量％時，上述第4副成分以不足0．1質量％的范圍含有。
5．電壓非線性電阻用組合物，其特征在于，由含有鈦酸鍶作為主成分的陶瓷組合物構成，脫脂后的陶瓷組合物中的碳含量是2100ppm以下。
6．權利要求5所述的電壓非線性電阻用組合物，其特征在于，脫脂后的陶瓷組合物中的碳含量是180ppm以上。
7．電壓非線性電阻，其特征在于，使燒結后的陶瓷組合物中的碳含量為410ppm以下地選擇添加物質的組成和／或脫脂條件而構成。
8．電壓非線性電阻的制造方法，其特征在于，使脫脂工序后的陶瓷組合物中的碳含量為2100ppm以下地選擇添加物質的組成和／或脫脂條件。
9．權利要求8所述的電壓非線性電阻的制造方法，其特征在于，使脫脂工序后的陶瓷組合物中的碳含量為180ppm以上地選擇添加物質的組成和／或脫脂條件。
10．權利要求8或9所述的電壓非線性電阻的制造方法，其特征在于，作為上述脫脂過程條件，脫脂過程在還原性氣氛、中性氣氛、二氧化氣體氣氛中的任一種氣氛下進行。
11．權利要求8～10中的任一項所述的電壓非線性電阻的制造方法，其特征在于，在脫脂過程前的陶瓷組合物中含有非晶碳、石墨、碳化物、有機化合物中的任一種。
全文摘要
提供了耐熱沖擊特性優(yōu)良、而且抗彎強度高、容易控制非線性電阻電壓的電壓非線性電阻及其制造方法。是由含有以鈦酸鍶為主成分的陶瓷組合物構成的、燒結后的陶瓷組合物中的碳含量是410ppm以下的電壓非線性電阻。最好燒結后的陶瓷組合物中的碳含量是120ppm以上。另外,最好脫脂后的陶瓷組合物中的碳含量是2100ppm以下。
文檔編號H01CGK1292557SQ00130998
公開日2001年4月25日 申請日期2000年10月3日 優(yōu)先權日1999年10月4日
發(fā)明者佐藤茂樹, 野村武史 申請人:Tdk株式會社