專利名稱：具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)一種芯片洗凈設(shè)備，特別是有關(guān)一種具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備。
在現(xiàn)今的半導(dǎo)體制造過程中，芯片洗凈設(shè)備為一使用頻繁且不可缺少的裝置。請參見

圖1的所示，它為常用芯片洗凈設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖，其中儲液槽11是用以儲存洗凈溶液，例如緩沖氧化層蝕刻液(Buffer HF，簡稱BHF或Buffer OxideEtcher，簡稱BOE)，而為能使芯片洗凈設(shè)備的控制器12有效掌握儲液槽11中洗凈溶液的液面高度，而設(shè)置有一壓力式液面?zhèn)鞲衅?3(Pressure Leveling Sensor)，它是將一惰性氣體(通常為氮?dú)?通過所述壓力式液面?zhèn)鞲衅?3后再利用一管路14通入至所述儲液槽11所儲存的液體中，此時(shí)壓力式液面?zhèn)鞲衅?3于管路14中所測量到的氣體氣壓值變化，便可相對應(yīng)得到儲液槽11中所儲存液體液面的高度變化，而能分別發(fā)出代表低液面高度(Low Level)、適當(dāng)液面高度(Fix Level)、高液面高度(High Level)的LL、FL、HL三種液面高度信號至所述控制器12，借此可執(zhí)行如圖2流程圖所示的自動排液與饋液的動作。
當(dāng)芯片洗凈設(shè)備所清洗的芯片數(shù)已達(dá)一預(yù)設(shè)數(shù)目，便表示儲液槽11中的洗凈溶液需要更換，此時(shí)控制器12便向連通于清洗儲液槽11底部的一排液閥15發(fā)出一排液信號，此刻排液閥15開啟，儲液槽11中的洗凈溶液便可排出，在此同時(shí)，壓力式液面?zhèn)鞲衅?3持續(xù)相應(yīng)儲液槽11中所儲存液體液面的高度變化而發(fā)出LL、FL或HL三種液面高度信號至所述控制器12，而當(dāng)控制器12接收到壓力式液面?zhèn)鞲衅?3發(fā)出LL的液面高度信號時(shí)，控制器12便控制所述排液閥15再開啟一段固定時(shí)間(用以確保洗凈溶液完全排凈)后關(guān)閉，然后控制器12再向供液管線(圖中未示出)的控制閥(圖中未示出)發(fā)出饋液信號后，供液管線便開始向儲液槽11內(nèi)供液，直至控制器12接收到壓力式液面?zhèn)鞲衅?3發(fā)出FL的液面高度信號后停止。
而由于上述經(jīng)管路14與所述壓力式液面?zhèn)鞲衅?3再通入至所述儲液槽11的液體中的氣體一般是使用氮?dú)?N2)，且為考慮制作工藝上的潔凈度，所使用的氮?dú)饨詫ｉT經(jīng)過干燥程序，以去除不必要的水氣。因此當(dāng)此干燥氮?dú)獗煌ㄈ胂磧羧芤?，尤其是高濃度飽和的緩沖氧化層蝕刻液(Buffer HF，簡稱BHF或Buffer OxideEtcher，簡稱BOE)等水溶液時(shí)，會產(chǎn)生大量吸水的現(xiàn)象，導(dǎo)致附著于管路14出口處管壁上溶液的水分將因干燥而析出溶質(zhì)，進(jìn)而造成微粒附著于管壁甚至堵塞管路，使得壓力式液面?zhèn)鞲衅?3無法正常工作以檢測到正確的液面高度，因此必須停機(jī)排液以清洗管路堵塞處，這樣既造成如緩沖氧化層蝕刻液等的化學(xué)藥液與時(shí)間的浪費(fèi)，又易造成清洗人員的化學(xué)傷害，而如何克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)便是開發(fā)本發(fā)明的主要目標(biāo)。
本發(fā)明的一目的是提供一種具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，它可避免清洗液和時(shí)間的浪費(fèi)和清洗人員的化學(xué)傷害。
本發(fā)明的另一目的是提供一種具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，它可減少所述氣體的不飽和現(xiàn)象，進(jìn)而減少所述氣體進(jìn)入飽和溶液而產(chǎn)生微粒析出堵塞管壁的現(xiàn)象從而防止管壁堵塞。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，它包括一洗凈溶液儲存裝置，儲存一洗凈溶液，當(dāng)所清洗的芯片數(shù)到達(dá)一預(yù)設(shè)數(shù)目，則所述洗凈溶液儲存裝置進(jìn)行一排液動作；一供氣管路，將一氣體通入至所述洗凈溶液中，所述供氣管路中的氣壓，是隨所述洗凈溶液的液面高度而變化；一壓力式液面?zhèn)鞲衅鳎B接于所述供氣管路，相應(yīng)所述供氣管路中的氣壓變化，發(fā)出一液面高度信號至所述洗凈溶液儲存裝置；其特點(diǎn)是，還包括一自動清洗裝置，相應(yīng)所述排液動作的觸發(fā)，使所述供氣管路停止將氣體通入所述洗凈溶液中，而向所述供氣管路提供可溶解堵塞于所述供氣管路中的析出微粒的清洗液以進(jìn)行管壁清洗，并切斷所述壓力式液面?zhèn)鞲衅魉敵鲋了鱿磧羧芤簝Υ嫜b置的所述液面高度信號，而于清洗完畢后使清洗液停止進(jìn)入所述供氣管路而停止管壁清洗，使氣體重新進(jìn)入所述供氣管路并恢復(fù)所述壓力式液面?zhèn)鞲衅飨蛩鱿磧羧芤簝Υ嫜b置輸出的所述液面高度信號，以通過管壁自動清洗而防止管壁堵塞。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，包括一洗凈溶液儲存裝置，它儲存有洗凈芯片所需的洗凈溶液，而當(dāng)所清洗的芯片數(shù)到達(dá)一預(yù)設(shè)數(shù)目時(shí)進(jìn)行一排液動作；一供氣管路，將一氣體通入至洗凈溶液中，所述供氣管路中的氣壓是隨洗凈溶液的液面高度而變化；一壓力式液面?zhèn)鞲衅?，連接于所述供氣管路，相應(yīng)所述供氣管路中的氣壓變化發(fā)出一液面高度信號至所述洗凈溶液儲存裝置；一清洗液管線，連通于通向所述洗凈溶液儲存裝置的供氣管路上，它用于向所述供氣管路供應(yīng)可溶解堵塞于所述供氣管路中的析出微粒的清洗液；以及一杯狀接頭，它用于使所述清洗液管線連通至通向所述洗凈溶液儲存裝置的供氣管路，以儲存所述清洗液并加大所述清洗液與所述氣體的接觸面積，借以減少所述氣體的不飽和現(xiàn)象，進(jìn)而減少所述氣體進(jìn)入飽和溶液而產(chǎn)生微粒析出堵塞管壁的現(xiàn)象。
根據(jù)上述構(gòu)想，本發(fā)明增設(shè)的自動清洗裝置包括下列組件一三通閥、一清洗液管線、一清洗閥、一受控開關(guān)、以及一定時(shí)器。而各組件的作用如下所述三通閥的第一端連接于所述壓力式液面?zhèn)鞲衅?，第二端連接于通向所述儲液槽的供氣管路上，第三端連通至大氣，其并電連接于所述控制器，用以相應(yīng)所述排液信號的觸發(fā)而于第一端與第二端連通的一第一狀態(tài)以及第一端與第三端連通的一第二狀態(tài)間切換，所述清洗液管線是連接于所述三通閥第二端與通向所述儲液槽的供氣管路的間，用以提供一可溶解所述微粒的清洗液至通向所述儲液槽的供氣管路，所述清洗閥是設(shè)置于所述清洗液管線上，用以控制所述清洗液是否進(jìn)入所述通向所述儲液槽的供氣管路；所述受控開關(guān)是電連接于所述壓力式液面?zhèn)鞲衅饕约八隹刂破鳎鄳?yīng)所述排液信號的觸發(fā)而導(dǎo)通或斷路；而所述定時(shí)器是電連接于所述控制器、所述壓力式液面?zhèn)鞲衅?、所述三通閥以及所述清洗閥間，用以受所述控制器所發(fā)出的所述排液信號的觸發(fā)而計(jì)時(shí)一預(yù)設(shè)時(shí)間后，再發(fā)出一停止清洗信號至所述壓力式液面?zhèn)鞲衅?、所述三通閥以及所述清洗閥。
根據(jù)上述構(gòu)想，具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備中所述清洗液管線連接于所述三通閥第二端與通向所述儲液槽的供氣管路間的接頭，其是為一杯狀接頭，用以儲存所述清洗液并加大所述清洗液與所述氣體的接觸面積。
根據(jù)上述構(gòu)想，具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備中儲存于所述儲液槽中洗凈溶液為一緩沖氧化層蝕刻液(Buffer HF，簡稱BHF或Buffer Oxide Etcher，簡稱BOE)。
根據(jù)上述構(gòu)想，具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備中所述氣體為一惰性氣體。
根據(jù)上述構(gòu)想，具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備中所述惰性氣體為氮?dú)?N2)、空氣或氬氣(Ar)。
根據(jù)上述構(gòu)想，具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備中所述氣體經(jīng)過干燥處理。
根據(jù)上述構(gòu)想，具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備中所述清洗液為水(H2O)。
根據(jù)上述構(gòu)想，具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備中所述受控開關(guān)為一繼電器(Relay)。
由于本發(fā)明的芯片洗凈設(shè)備增設(shè)有一自動清洗裝置，它可于所述芯片洗凈設(shè)備更換洗凈溶液的空檔進(jìn)行所述供氣管路管壁的清洗，并可避免所述供氣管路的出口管壁遭微粒的阻塞；它還可在適當(dāng)時(shí)機(jī)進(jìn)行管壁清洗，而在不影響所述芯片洗凈設(shè)備工作的前提下實(shí)現(xiàn)防止管壁堵塞的功能。
為更清楚理解本發(fā)明的目的、特點(diǎn)和上述及其他的優(yōu)點(diǎn)，下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。
圖1是為現(xiàn)有的芯片洗凈設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是為現(xiàn)有的芯片洗凈設(shè)備進(jìn)行自動排液與饋液的動作流程圖；圖3是本發(fā)明的一較佳實(shí)施例的芯片洗凈設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本發(fā)明一較佳實(shí)施例進(jìn)行自動排液、饋液與自動清洗管壁以防止管壁堵塞的動作流程圖。
請參見圖3，它是本發(fā)明的一較佳實(shí)施例的芯片洗凈設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，它包括有以儲液槽21、控制器24與排液閥25所構(gòu)成的洗凈溶液儲存裝置、排液閥供氣管路22、壓力式液面?zhèn)鞲衅?3以及自動清洗裝置。所述儲液槽21中儲存有洗凈芯片所需的洗凈溶液，例如緩沖氧化層蝕刻液(Buffer HF，簡稱BHF或Buffer Oxide Etcher，簡稱BOE)。所述供氣管路22將一種惰性氣體通入至所述儲液槽21所儲存的緩沖氧化層蝕刻液中，其中所述供氣管路22中的氣壓是隨所述儲液槽21中洗凈溶液的液面高度而變化，因此可與所述壓力式液面?zhèn)鞲衅?3配合檢測所述儲液槽21中洗凈溶液的液面高度。所述壓力式液面?zhèn)鞲衅?3于檢測所述供氣管路22中的氣壓變化后，發(fā)出一液面高度信號，例如代表低液面高度(LL)、適當(dāng)液面高度(FL)或高液面高度(HL)三種不同液面高度的信號，至所述控制器24，使所述控制器24可隨時(shí)監(jiān)控所述儲液槽21的液面高度，以作任何必要的相應(yīng)措施。另外，所述控制器24還于所述芯片洗凈設(shè)備所清洗的芯片數(shù)到達(dá)一預(yù)設(shè)數(shù)目時(shí)，發(fā)出一排液信號至所述排液閥25，使之開啟排液以更換芯片清洗液。本發(fā)明的自動清洗裝置便于此時(shí)進(jìn)行管壁清洗動作。
如圖3所示，本發(fā)明一較佳實(shí)施例中，所述自動清洗裝置包括一三通閥26、一清洗閥27、一清洗液管線28、一受控開關(guān)29、以及一定時(shí)器30。所述三通閥26的第一端連接于所述壓力式液面?zhèn)鞲衅?3，第二端連接于通向所述儲液槽的供氣管路22上，而第三端連通至大氣。本發(fā)明的芯片洗凈設(shè)備如何實(shí)現(xiàn)防止管壁堵塞與自動清洗的功效，則請參見圖4所示的流程圖。
當(dāng)所述芯片洗凈設(shè)備所清洗的芯片數(shù)到達(dá)一預(yù)設(shè)數(shù)目時(shí)，控制器24便發(fā)出一排液信號至所述排液閥25，使之開啟以進(jìn)行排液動作，此時(shí)排液信號也觸發(fā)所述定時(shí)器30開始計(jì)時(shí)一段預(yù)設(shè)時(shí)間，并通過所述定時(shí)器30傳送至所述三通閥26、清洗閥27以及受控開關(guān)29，使所述清洗閥27開啟，所述三通閥26由第一狀態(tài)(第一端連接至第二端)切換至第二狀態(tài)(第一端連接至第三端)，并使所述受控開關(guān)29呈斷路，這樣，所述清洗液管線28中的清洗液便可進(jìn)入所述供氣管路22進(jìn)行管壁清洗。另外，為了防止清洗液倒灌回壓力式液面?zhèn)鞲衅?3并避免過多的氣體破壞壓力式液面?zhèn)鞲衅?3，在所述控制器24發(fā)出所述排液信號時(shí)，也同時(shí)截?cái)嗨鰤毫κ揭好鎮(zhèn)鞲衅?3輸出至所述控制器的所述液面高度信號，以防止控制器產(chǎn)生誤動作。在所述定時(shí)器30自所述排液信號觸發(fā)起所延遲的所述段預(yù)設(shè)時(shí)間后，即管壁清洗完畢后，所述定時(shí)器30發(fā)出一停止清洗信號以關(guān)閉所述清洗閥27，將所述三通閥26切換至第一狀態(tài)以及導(dǎo)通所述受控開關(guān)29，此時(shí)，清洗液便停止進(jìn)入供氣管路22，而氣體恢復(fù)進(jìn)入所述供氣管路22，同時(shí)所述壓力式液面?zhèn)鞲衅?3也恢復(fù)輸出至液面高度信號所述控制器24。這樣便達(dá)成一個(gè)循環(huán)的管壁自動清洗。
為實(shí)現(xiàn)更佳的自動清洗效能，所述清洗液管線28連通至通向所述儲液槽21的供氣管路22上的接頭較佳是一杯狀接頭31。因?yàn)楫?dāng)清洗閥27關(guān)閉，清洗液停止進(jìn)入供氣管路22時(shí)，清洗液將留存于管線中，而杯狀接頭31可用以儲存所述清洗液并加大所述清洗液與所述氣體的接觸面積，由于氣體于定溫下的蒸汽壓為定值，清洗液將揮發(fā)至氣體中，借以減少所述氣體的不飽和現(xiàn)象，進(jìn)而減少所述氣體進(jìn)入飽和溶液而產(chǎn)生微粒析出堵塞管壁的現(xiàn)象。
另外，在配合芯片洗凈溶液運(yùn)作的氣體方面，對常用的例如緩沖氧化層蝕刻液(Buffer HF，簡稱BHF或Buffer Oxide Etcher，簡稱BOE)的清洗液而言，供氣管路22所提供的惰性氣體可為經(jīng)過干燥過程的氮?dú)?N2)、空氣或氬氣(Ar)。在此情形下，通過所述清洗液管線28提供至所述供氣管路22用以清洗管壁的清洗液可為水(H2O)。所述受控開關(guān)29可采用繼電器(Relay)。當(dāng)然，本發(fā)明也適用于任何使用壓力式液面?zhèn)鞲衅?3進(jìn)行液面監(jiān)控而具有管壁堵塞困擾的芯片洗凈設(shè)備上。
權(quán)利要求
1.一種具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，包括一洗凈溶液儲存裝置，儲存一洗凈溶液，當(dāng)所清洗的芯片數(shù)到達(dá)一預(yù)設(shè)數(shù)目，則所述洗凈溶液儲存裝置進(jìn)行一排液動作；一供氣管路，將一氣體通入至所述洗凈溶液中，所述供氣管路中的氣壓，是隨所述洗凈溶液的液面高度而變化；一壓力式液面?zhèn)鞲衅?，連接于所述供氣管路，相應(yīng)所述供氣管路中的氣壓變化，發(fā)出一液面高度信號至所述洗凈溶液儲存裝置；其特征在于，還包括一自動清洗裝置，相應(yīng)所述排液動作的觸發(fā)，使所述供氣管路停止將氣體通入所述洗凈溶液中，而向所述供氣管路提供可溶解堵塞于所述供氣管路中的析出微粒的清洗液以進(jìn)行管壁清洗，并切斷所述壓力式液面?zhèn)鞲衅魉敵鲋了鱿磧羧芤簝Υ嫜b置的所述液面高度信號，而于清洗完畢后使清洗液停止進(jìn)入所述供氣管路而停止管壁清洗，使氣體重新進(jìn)入所述供氣管路并恢復(fù)所述壓力式液面?zhèn)鞲衅飨蛩鱿磧羧芤簝Υ嫜b置輸出的所述液面高度信號，以通過管壁自動清洗而防止管壁堵塞。
2.如權(quán)利要求1所述的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，其特征在于，所述洗凈溶液儲存裝置包括一儲液槽，用以儲存洗凈溶液；一控制器，電連接于所述壓力式液面?zhèn)鞲衅?，用以接收所述液面高度信號，以及相?yīng)所述芯片洗凈設(shè)備所清洗的芯片數(shù)到達(dá)所述預(yù)設(shè)數(shù)目而發(fā)出一排液信號；以及一排液閥，電連接于所述控制器，相應(yīng)所述排液信號的觸發(fā)而關(guān)閉或開啟，用以完成所述排液動作。
3.如權(quán)利要求2所述的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，其特征在于，所述自動清洗裝置包括一三通閥，其第一端連接于所述壓力式液面?zhèn)鞲衅?，第二端連接于通向所述儲液槽的供氣管路，第三端連通至大氣，它電連接于所述控制器，用以相應(yīng)所述排液信號的觸發(fā)而于第一端與第二端連通的一第一狀態(tài)以及第一端與第三端連通的一第二狀態(tài)間切換；一清洗液管線，連接于所述三通閥第二端與通向所述儲液槽的供氣管路之間，它用以提供一可溶解所述微粒的清洗液至通向所述儲液槽的供氣管路；一清洗閥，設(shè)置于所述清洗液管線上，用以控制所述清洗液是否進(jìn)入所述通向所述儲液槽的供氣管路；一受控開關(guān)，電連接于所述壓力式液面?zhèn)鞲衅饕约八隹刂破鳎鄳?yīng)所述排液信號的觸發(fā)而導(dǎo)通或斷路；以及一定時(shí)器，電連接于所述控制器、所述壓力式液面?zhèn)鞲衅?、所述三通閥以及所述清洗閥之間，用以受所述控制器所發(fā)出的所述排液信號的觸發(fā)而計(jì)時(shí)一預(yù)設(shè)時(shí)間后，再發(fā)出一停止清洗信號至所述壓力式液面?zhèn)鞲衅?、所述三通閥以及所述清洗閥，進(jìn)而當(dāng)所述控制器發(fā)出所述排液信號以觸發(fā)所述排液閥開啟而排出所述儲液槽所儲存的液體時(shí)，使所述排液信號觸發(fā)所述清洗閥開啟、所述三通閥切換至第二狀態(tài)以及所述受控開關(guān)斷路，用以使清洗液進(jìn)入通向所述儲液槽的供氣管路進(jìn)行管壁清洗、防止清洗液進(jìn)入所述壓力式液面?zhèn)鞲衅饕约敖財(cái)嗨鰤毫κ揭好鎮(zhèn)鞲衅魉敵鲋了隹刂破鞯乃鲆好娓叨刃盘?，并于所述預(yù)設(shè)時(shí)間過后關(guān)閉所述清洗閥、將所述三通閥切換至第一狀態(tài)以及所述受控開關(guān)導(dǎo)通，用以使清洗液停止進(jìn)入通向所述儲液槽的供氣管路而停止管壁清洗、使氣體進(jìn)入通向所述儲液槽的供氣管路以及恢復(fù)所述壓力式液面?zhèn)鞲衅魉敵鲋了隹刂破鞯乃鲆好娓叨刃盘枺苑乐构鼙诙氯?br> 4.如權(quán)利要求3所述的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，其特征在于，所述清洗液管線連接于所述三通閥第二端與通向所述儲液槽的供氣管路間的接頭，所述接頭為一杯狀接頭，用以儲存所述清洗液并加大所述清洗液與所述氣體的接觸面積。
5.如權(quán)利要求3所述的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，其特征在于，所述受控開關(guān)為一繼電器(Relay)。
6.如權(quán)利要求1所述的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，其特征在于，儲存于所述洗凈溶液儲存裝置中的洗凈溶液為一緩沖氧化層蝕刻液(Buffer HF，簡稱BHF或Buffer Oxide Etcher，簡稱BOE)。
7.如權(quán)利要求1所述的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，其特征在于，所述氣體為一種惰性氣體。
8.如權(quán)利要求7所述的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，其特征在于，所述氣體是為氮?dú)?N2)。
9.如權(quán)利要求7所述的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，其特征在于，所述氣體為空氣。
10.如權(quán)利要求7所述的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，其特征在于，所述氣體為一氬氣(Ar)
11.如權(quán)利要求1所述的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，其特征在于，所述氣體經(jīng)過干燥處理。
12.如權(quán)利要求1所述的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，其特征在于，所述清洗液為水(H2O)。
13.一種具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，包括一洗凈溶液儲存裝置，它儲存有洗凈芯片所需的洗凈溶液，而當(dāng)所清洗的芯片數(shù)到達(dá)一預(yù)設(shè)數(shù)目時(shí)進(jìn)行一排液動作；一供氣管路，將一氣體通入至洗凈溶液中，所述供氣管路中的氣壓是隨洗凈溶液的液面高度而變化；一壓力式液面?zhèn)鞲衅?，連接于所述供氣管路，相應(yīng)所述供氣管路中的氣壓變化發(fā)出一液面高度信號至所述洗凈溶液儲存裝置；一清洗液管線，連通于通向所述洗凈溶液儲存裝置的供氣管路上，它用于向所述供氣管路供應(yīng)可溶解堵塞于所述供氣管路中的析出微粒的清洗液；以及一杯狀接頭，它用于使所述清洗液管線連通至通向所述洗凈溶液儲存裝置的供氣管路，以儲存所述清洗液并加大所述清洗液與所述氣體的接觸面積，借以減少所述氣體的不飽和現(xiàn)象，進(jìn)而減少所述氣體進(jìn)入飽和溶液而產(chǎn)生微粒析出堵塞管壁的現(xiàn)象。
14.如權(quán)利要求13所述的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，其特征在于，所述洗凈溶液儲存裝置包括一儲液槽，用以儲存洗凈溶液；一控制器，電連接于所述壓力式液面?zhèn)鞲衅鳎靡越邮账鲆好娓叨刃盘?，以及相?yīng)所述芯片洗凈設(shè)備所清洗的芯片數(shù)到達(dá)所述預(yù)設(shè)數(shù)目而發(fā)出一排液信號；以及一排液閥，電連接于所述控制器，相應(yīng)所述排液信號的觸發(fā)而關(guān)閉或開啟，用以完成所述排液動作。
15.如權(quán)利要求14所述的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，其特征在于，還包括一三通閥，其第一端連接于所述壓力式液面?zhèn)鞲衅鳎诙诉B接于通向所述儲液槽的供氣管路上，第三端連通至大氣，它并電連接于所述控制器，用以相應(yīng)所述排液信號的觸發(fā)而于第一端與第二端連通的一第一狀態(tài)以及第一端與第三端連通的一第二狀態(tài)間切換；一清洗閥，設(shè)置于所述清洗液管線上，用以控制所述清洗液是否進(jìn)入通向所述儲液槽的供氣管路；一受控開關(guān)，電連接于所述壓力式液面?zhèn)鞲衅饕约八隹刂破?，它相?yīng)所述排液信號的觸發(fā)而導(dǎo)通或斷路；以及一定時(shí)器，電連接于所述控制器、所述壓力式液面?zhèn)鞲衅鳌⑺鋈ㄩy以及所述清洗閥之間，用以受所述控制器所發(fā)出的所述排液信號的觸發(fā)而計(jì)時(shí)一預(yù)設(shè)時(shí)間后，再發(fā)出一停止清洗信號至所述壓力式液面?zhèn)鞲衅?、所述三通閥以及所述清洗閥，進(jìn)而當(dāng)所述控制器發(fā)出所述排液信號以觸發(fā)所述排液閥開啟而排出所述儲液槽所儲存的液體時(shí)，使所述排液信號可觸發(fā)所述清洗閥開啟、所述三通閥切換至第二狀態(tài)以及所述受控開關(guān)斷路，用以使清洗液進(jìn)入所述通向所述儲液槽的供氣管路進(jìn)行管壁清洗、防止清洗液進(jìn)入所述壓力式液面?zhèn)鞲衅饕约敖財(cái)嗨鰤毫κ揭好鎮(zhèn)鞲衅魉敵鲋了隹刂破鞯乃鲆好娓叨刃盘?，并于所述預(yù)設(shè)時(shí)間過后關(guān)閉所述清洗閥、將所述三通閥切換至第一狀態(tài)以及所述受控開關(guān)導(dǎo)通，用以使清洗液停止進(jìn)入通向所述儲液槽的供氣管路而停止管壁清洗、使氣體進(jìn)入通向所述儲液槽的供氣管路以及恢復(fù)所述壓力式液面?zhèn)鞲衅魉敵鲋了隹刂破鞯乃鲆好娓叨刃盘枺苑乐构鼙诙氯?br> 16.如權(quán)利要求13所述的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，其特征在于，儲存于所述洗凈溶液儲存裝置中的洗凈溶液為一種緩沖氧化層蝕刻液(BufferHF，簡稱BHF或Buffer Oxide Etcher，簡稱BOE)。
17.如權(quán)利要求13所述的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，其特征在于，所述氣體為一惰性氣體。
18.如權(quán)利要求17所述的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，其特征在于，所述惰性氣體是為氮?dú)?N2)。
19.如權(quán)利要求17所述的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，其特征在于，所述氣體為空氣。
20.如權(quán)利要求17所述的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，其特征在于，所述氣體為一氬氣(Ar)。
21.如權(quán)利要求13所述的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，其特征在于，所述氣體經(jīng)過干燥處理。
22.如權(quán)利要求13所述的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，其特征在于，所述清洗液為水(H2O)。
23.如權(quán)利要求13所述的具有防止管壁堵塞功能的芯片洗凈設(shè)備，其特征在于，所述受控開關(guān)為一繼電器(Relay)。
全文摘要
一種芯片洗凈設(shè)備,它增設(shè)有一自動清洗裝置,可相應(yīng)排液動作的觸發(fā)使供氣管路停止將氣體通入洗凈溶液,而將可溶解供氣管路中的析出微粒的清洗液供入供氣管路以進(jìn)行管壁清洗,并切斷壓力式液面?zhèn)鞲衅鬏敵鲋料磧羧芤簝Υ嫜b置的液面高度信號,而于清洗完畢后使清洗液停止進(jìn)入供氣管路而停止管壁清洗,使氣體重新進(jìn)入供氣管路,并恢復(fù)壓力式液面?zhèn)鞲衅魉敵鲋了鱿磧羧芤簝Υ嫜b置的液面高度信號,以通過管壁自動清洗而防止管壁堵塞。
文檔編號H01L21/02GK1379447SQ0111683
公開日2002年11月13日 申請日期2001年4月10日 優(yōu)先權(quán)日2001年4月10日
發(fā)明者施本成 申請人:華邦電子股份有限公司