專利名稱：半導(dǎo)體激光模塊、激光單元和拉曼放大器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于光通信中的拉曼(Raman)放大器，和一種用于該拉曼放大器作為泵浦光源(pumping light source)的半導(dǎo)體激光模塊和激光單元。
在DWDM(密集波分多路復(fù)用)之前，拉曼放大作為具有比EDFA更寬頻帶的放大系統(tǒng)而引人注目。拉曼放大是利用下述現(xiàn)象的光信號(hào)放大方法。當(dāng)強(qiáng)光(泵浦光)輸入到光纖上時(shí)，通過(guò)由泵浦光波長(zhǎng)向更長(zhǎng)波長(zhǎng)方的誘發(fā)拉曼散射，在約100nm或其附近(在假定使用1400nm頻帶中的泵浦光時(shí)下降約13THz的頻率)，使增益產(chǎn)生峰值偏移。如果其中可獲得上述增益的波長(zhǎng)帶寬的信號(hào)光被輸入到光纖上并因此被激發(fā)，則放大該信號(hào)光。
雖然拉曼放大具有這種特征以致用于生成的增益的波長(zhǎng)可通過(guò)改變泵浦光波長(zhǎng)來(lái)任意改變，但增益(拉曼增益)小。另外，因?yàn)槭褂玫脑鲆嬗蓮谋闷止獠ㄩL(zhǎng)經(jīng)預(yù)定波長(zhǎng)(拉曼偏移)偏移到更長(zhǎng)波長(zhǎng)方，所以泵浦光波長(zhǎng)的變化提供對(duì)于生成的增益的波長(zhǎng)變化，導(dǎo)致信號(hào)光的放大特性發(fā)生變化。因此，作為用于拉曼放大的泵浦光源，采用具有由光纖光柵穩(wěn)定波長(zhǎng)的高輸出半導(dǎo)體激光模塊。
EDFA具有從1530nm至1610nm或附近的實(shí)際增益波長(zhǎng)帶寬，但拉曼放大幾乎不受波長(zhǎng)帶寬的限制(盡管實(shí)際上考慮使用從1300nm至1650nm的范圍，泵浦光的波長(zhǎng)帶寬在從1200nm至1550nm之范圍)。換言之，如果改變了輸入到光纖上的泵浦光的波長(zhǎng)，則出現(xiàn)的增益從預(yù)定波長(zhǎng)附近的泵浦光波長(zhǎng)偏移到更長(zhǎng)的波長(zhǎng)方，允許在任意波長(zhǎng)下獲得放大增益。因此，在WDM(波分多路復(fù)用)中，信號(hào)光通道數(shù)量還可以增加。
因?yàn)闃?gòu)成光纖的玻璃分子具有不同的振動(dòng)結(jié)構(gòu)，所以上述增益變?yōu)榫哂胁ㄩL(zhǎng)分布的分布增益，例如具有20nm或接近寬度的分布。為了使增益的波長(zhǎng)相關(guān)性在寬的波長(zhǎng)帶寬上平坦，多路復(fù)用大量泵浦光波長(zhǎng)來(lái)適當(dāng)調(diào)整相應(yīng)的泵浦激光的波長(zhǎng)、相同或類似的輸出。在拉曼放大中，通信用的現(xiàn)有光纖可用作放大媒體。對(duì)于100mW的泵浦光輸入，使用中的拉曼增益約小至3dB。因此，需要通過(guò)多路復(fù)用來(lái)獲得強(qiáng)的泵浦光。普遍是將泵浦光多路復(fù)用到總共從500mW至1W或接近的范圍。
在根據(jù)本發(fā)明的第二半導(dǎo)體激光模塊中，上述半導(dǎo)體激光模塊進(jìn)一步具有準(zhǔn)直儀和聚焦透鏡，用于使半導(dǎo)體激光裝置中發(fā)射的光與光纖耦合，該濾光器布置在準(zhǔn)直儀和聚焦透鏡之間。
根據(jù)本發(fā)明的激光單元包括多個(gè)第一或第二半導(dǎo)體激光模塊，和一極化光束組合件，極化組合從該多個(gè)半導(dǎo)體激光模塊中發(fā)射的光根據(jù)本發(fā)明的拉曼放大器具有包括該第一或第二半導(dǎo)體激光模塊和該激光單元之一的泵浦光源。
附圖的簡(jiǎn)要說(shuō)明

圖1說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例1；圖2說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例2；圖3說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例3；圖4說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例4；圖5說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例5；圖6說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例6；圖7說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例7；圖8說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例8；圖9說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的拉曼放大器的實(shí)施例1；圖10說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的拉曼放大器的實(shí)施例2；圖11A是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中濾光器膜(半值全寬度為2nm)的透射光譜(縱坐標(biāo)＝透射率，橫坐標(biāo)＝泵浦光波長(zhǎng))實(shí)例的圖表；圖11B是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中濾光器膜(半值全寬度為3nm)的透射光譜(縱坐標(biāo)＝透射率，橫坐標(biāo)＝泵浦光波長(zhǎng))實(shí)例的圖表；圖12說(shuō)明一種常規(guī)半導(dǎo)體激光模塊；圖13是表示來(lái)自圖12的半導(dǎo)體激光模塊的輸出光的光譜(縱坐標(biāo)＝透射率，橫坐標(biāo)＝泵浦光波長(zhǎng))實(shí)例的圖表。
本發(fā)明的詳細(xì)描述作為泵浦光源而已被用于拉曼放大器的具有光纖光柵的激光模塊具有如下問(wèn)題(1)如在拉曼放大中，放大產(chǎn)生的過(guò)程非常短，如果泵浦光強(qiáng)度波動(dòng)，拉曼增益也波動(dòng)，這表現(xiàn)為信號(hào)光的強(qiáng)度上的波動(dòng)。另外，因?yàn)楸闷止庠肼曌鳛樾盘?hào)光的噪聲而構(gòu)成，所以期望泵浦光的噪聲小。
(2)如果從具有光纖光柵的半導(dǎo)體激光模塊輸出的激光束的激射光譜窄，則由構(gòu)成光纖的玻璃分子的晶格振動(dòng)引起的SBS(受激布里淵(Brilloun)散射)明顯地發(fā)生而作為噪聲的起因之一。
(3)拉曼增益小的拉曼放大需要泵浦光源具有非常高的輸出，而不是僅根據(jù)多個(gè)泵浦模塊的多路復(fù)用狀態(tài)下的整個(gè)光學(xué)輸出，而且還根據(jù)相應(yīng)的單個(gè)泵浦模塊的光學(xué)輸出。
(4)在拉曼放大中，泵浦系統(tǒng)有三種正向泵浦、反向泵浦和雙向泵浦。在當(dāng)前的拉曼放大中，以反向泵浦為主。這是因?yàn)檎虮闷志哂蟹蔷€性的問(wèn)題，泵浦光強(qiáng)度的波動(dòng)問(wèn)題在正向泵浦系統(tǒng)中變得最為明顯，其中弱的信號(hào)與強(qiáng)的泵浦光一起在相同方向上前進(jìn)。因此，期望提供也可應(yīng)用于正向泵浦的穩(wěn)定的泵浦光源。
(5)在拉曼放大中，信號(hào)光的放大是在信號(hào)光和泵浦光在極化方向上相互一致的情況下發(fā)生的，放大增益的極化相關(guān)性構(gòu)成材料問(wèn)題。換言之，是由于材料使得信號(hào)光的極化方向和泵浦光的極化方向之間的偏差之影響下降。因此，有必要去極化從半導(dǎo)體激光裝置中發(fā)射出的激光束，作為基本完整的線性極化光。在反向泵浦中，在傳輸過(guò)程中信號(hào)光的極化是任意產(chǎn)生的，不會(huì)產(chǎn)生實(shí)際問(wèn)題，但在正向泵浦中，其中極化相關(guān)性強(qiáng)，則迫切期望DOP(極化度)變小，例如通過(guò)使用泵浦光的極化組合和極化維護(hù)光纖(PMF)。但是，例如，在去極化時(shí)，其中具有光纖光柵的半導(dǎo)體激光模塊的激射光譜在線寬中較窄，所以激光束具有長(zhǎng)的相干長(zhǎng)度，因此，所連接的用于去極化的PMF(去極化器)具有非常長(zhǎng)的長(zhǎng)度。
本發(fā)明的研究顯示，拉曼放大器的泵浦光源需要具有如下特征(1)至(7)。根據(jù)本發(fā)明，一種半導(dǎo)體激光模塊、激光單元和拉曼放大器適于來(lái)滿足以下所需的特征(1)至(7)。
(1)泵浦光(pumping light)的噪聲小RIN(相對(duì)強(qiáng)度噪聲)應(yīng)具有在預(yù)定頻率范圍內(nèi)的非常低的值。作為一個(gè)實(shí)例，期望在0至26Hz的頻率范圍內(nèi)RIN為-130dB/Hz或更小。
(2)泵浦光的DOP(極化度)小相干長(zhǎng)度有必要小，即在多模式下具有去極化傾向，或因去極化組合而與去極化無(wú)關(guān)。對(duì)于多模式，在激射光譜寬度(從光譜峰值下降3 dB的波長(zhǎng)時(shí)的寬度)中，縱向模式至少為3是足夠的，最好是4至5或更多。
(3)泵浦光的光學(xué)輸出高半導(dǎo)體激光模塊有必要具有50mW或更高的光學(xué)輸出，優(yōu)選的為100mW或更高，更優(yōu)選的為300mW或更高，再優(yōu)選的是400mW或更高。
(4)泵浦光的波長(zhǎng)穩(wěn)定性好在考慮引起增益波長(zhǎng)帶寬的變化的激射波長(zhǎng)中的變化時(shí)，必需有例如通過(guò)DFB激光器(分布式反饋激光器)或DBT激光器(分布式布拉格反射激光器)的波長(zhǎng)穩(wěn)定化技術(shù)。優(yōu)選的是，變化寬度在全部驅(qū)動(dòng)條件(環(huán)境溫度0至75℃，驅(qū)動(dòng)電流0至1A)下是在例如±1nm中。
(5)泵浦光的激射光譜寬度窄至某種程度如果對(duì)應(yīng)的泵浦激光模塊的激射光譜寬度太寬，則波長(zhǎng)組合耦合器的波組合消耗增加、及包含于光譜寬度中的縱向模式之?dāng)?shù)量增加，因此，縱向模式在發(fā)射激光時(shí)工作，產(chǎn)生噪聲和增益變化。激射光譜寬度最好或2nm或更小，或3nm或更小。另一方面，如果它太小，則在電流對(duì)光學(xué)輸出特性中出現(xiàn)彎曲，導(dǎo)致妨礙激光驅(qū)動(dòng)中的控制。
(6)不發(fā)生SBS如果窄的波長(zhǎng)帶寬經(jīng)受高的光學(xué)輸出的集中，例如通過(guò)光纖光柵，則隨著噪聲的增加而發(fā)生SBS。從這點(diǎn)看，泵浦光需要為所謂的多模式，其中，在激射光譜寬度中存在多個(gè)縱向模式，假設(shè)使相應(yīng)縱向模式下的光學(xué)輸出(光強(qiáng)度)不超過(guò)SBS發(fā)生的臨界值。
(7)最好引入光隔離器為了激光器不會(huì)因?yàn)榉瓷浠氐墓舛诓僮髦胁环€(wěn)定，最好引入光隔離器。
根據(jù)本發(fā)明，提供了半導(dǎo)體激光模塊、激光單元和拉曼放大器，適于滿足上述必需特性(1)至(7)。
半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例1圖1表示本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例1。
在本實(shí)施例中，諧振腔5構(gòu)造在形成于半導(dǎo)體激光裝置1的后端面8上的反射膜21和光纖2的輸入端面7(曝露面)或形成于該輸入端面7上的低反射膜30之間。
該半導(dǎo)體激光模塊具有用于監(jiān)視的光電二極管(PD)40、半導(dǎo)體激光裝置1、用于來(lái)自半導(dǎo)體激光裝置1的準(zhǔn)直光束的第一透鏡(準(zhǔn)直儀)3、用于僅傳輸預(yù)定范圍內(nèi)之波長(zhǎng)的光的濾光器(BPF)6、用于聚焦來(lái)自準(zhǔn)直儀3的準(zhǔn)直光的第二透鏡(聚焦透鏡)4、和用于傳輸聚焦透鏡4聚焦的光的光纖2，這些元件按上述順序串聯(lián)排列。
半導(dǎo)體激光裝置1在其后端面8上具有反射膜(HR膜)21，作為具有高至90％或接近的反射率的涂層，在其前端面10上具有低反射膜(AR膜)23，作為具有低反射率的涂層。
AR膜23的反射率設(shè)定在低的值，例如5％或更低，優(yōu)選的為1％或更低，更優(yōu)選的為0.1％或更低。根據(jù)PD40的光接收條件來(lái)對(duì)半導(dǎo)體激光裝置1的HR膜2進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)。但最好提供針對(duì)返回光的對(duì)策，例如在傾斜位置上設(shè)置PD40的光接收面，在HR膜21和PD40之間不形成諧振腔。
第一透鏡3以及第二透鏡4在其上具有AR膜，作為具有反射率為0.5％或更低的涂層。這些透鏡中的每一個(gè)最好是非球面透鏡、球面透鏡、反射率分布式透鏡、平面凸透鏡等之一。
光纖2除了單模光纖(SMF)外，包括PMF。在部分或全部光纖2中采用PMF的情況下，可將PMF的極化保持軸(慢軸、快軸)設(shè)置在激光束之極化面的方向上，使激光束得以傳輸，因?yàn)槭蔷€性極化，或者可以設(shè)置在相對(duì)于極化面的方向的預(yù)定角度，例如45度，以影響去極化而減少激光束的DOP。
光纖2的輸入端面7形成為具有涂覆低反射膜30的反射端面，該膜具有對(duì)激光束的反射率，其范圍是在其中心附近±5nm或更多的波長(zhǎng)范圍、約5％以下及約0.5％以上之范圍內(nèi)，例如光發(fā)射波長(zhǎng)或激光束的激射波長(zhǎng)。
在光纖2的輸入端面7處反射率設(shè)定為接近4％的情況下，光纖2的輸入端面7可以不設(shè)置低反射膜30，但可具有拋光面或曝露的切面，以利用該曝露面處的菲涅爾(Fresnel)反射。
與之相似，通過(guò)將諧振腔5的光纖2端處的反射率設(shè)定在小于5％或更低的值，大于約0.5％，可使光纖2具有高輸出的光輸入，可在諧振腔5處發(fā)射激光。
PD40監(jiān)視半導(dǎo)體激光裝置1之后的輸出光。
自動(dòng)控制該半導(dǎo)體激光模塊的輸出，使得PD40檢測(cè)的光學(xué)輸出保持不變。
圖1中，濾光器6的結(jié)構(gòu)具有襯底20，例如由BK7或石英構(gòu)成，濾光器膜25形成在由傳輸期望波長(zhǎng)的光的電介質(zhì)多層濾光器構(gòu)成的襯底的后表面上；和在前表面上形成的AR膜22。設(shè)計(jì)AR膜22以盡可能具有更好的透射率。
濾光器6以相對(duì)于在第一透鏡3和第二透鏡4之間傳播的光之光軸的預(yù)定傾角(例如1°至5°)傾斜設(shè)置。
雖然濾光器6可設(shè)置在諧振腔5中的任何部位，但最好將該濾光器設(shè)置在作為準(zhǔn)直儀的第一透鏡3和作為聚焦透鏡的第二透鏡4之間，其中，對(duì)濾光器6的輸入角在光束區(qū)的任何點(diǎn)處都保持不變。
優(yōu)選的是，在濾光器6的襯底20上，使得用于光學(xué)濾光器膜25之形成和AR膜22之形成的表面(楔形)不具有在光學(xué)濾光器膜25和AR膜22之間形成的校準(zhǔn)器(etalon)。
在本實(shí)施例中相應(yīng)的膜，例如首先形成的光學(xué)濾光器膜25、HR膜21和AR膜22，這些膜可用由例如Ta2O5/SiO2、TiO2/SiO2或Al2O3/SiO2構(gòu)成的預(yù)定數(shù)量的疊層諧振腔形成，使得關(guān)聯(lián)項(xiàng)(例如疊層的數(shù)量)的設(shè)計(jì)可以相對(duì)于適當(dāng)?shù)脑O(shè)置，例如反射帶寬或傳輸帶寬、反射率或透射率或光譜結(jié)構(gòu)。
如圖11A和圖11B所示，光學(xué)濾光器膜25具有基本為矩形的透射光譜。在圖11A的情況下，透射波長(zhǎng)帶寬在半寬半最大值時(shí)為2nm。在圖11B的情況下，透射波長(zhǎng)帶寬在半寬半最大值時(shí)為3nm。在圖11A和圖11B中，實(shí)線、虛線和點(diǎn)劃線表示濾光器6的傾斜角分別變?yōu)?°、2°和4°時(shí)的透射光譜。這表明，通過(guò)改變?yōu)V光器6的傾斜角，透射光譜改變中心波長(zhǎng)。
通過(guò)使用具有這種基本為矩形的透射光譜結(jié)構(gòu)的光學(xué)濾光器膜25，可控制反饋到半導(dǎo)體激光裝置1的光的光譜，因而促進(jìn)了從半導(dǎo)體激光裝置1輸出的激光束中的多模激光發(fā)射。
通過(guò)設(shè)定相應(yīng)的一個(gè)縱向模式的光強(qiáng)度，以致不超過(guò)SBS發(fā)生臨界值，因而允許抑制因縱向模式導(dǎo)致SBS的發(fā)生。由于允許多個(gè)縱向模式具有分布在其間的高光強(qiáng)度，所以整體上該光輸出可以較高。
因?yàn)榭梢詫?shí)現(xiàn)多個(gè)縱向模式之高水平，所以可以使光的相干長(zhǎng)度變短。因此，在使用去極化器作為PMF時(shí)，降低DOP變得更為方便，使PMF具有短的長(zhǎng)度，例如10nm或之下(常規(guī)結(jié)構(gòu)需要稍小于30nm)。
反射型濾光器要較好地實(shí)現(xiàn)圖11A和圖11B所示的基本為矩形的光譜是非常難的，因此，最好采用像該實(shí)施例那樣的傳輸型濾光器。
濾光器6的使用允許這樣一個(gè)事實(shí)的利用，即，通過(guò)使相對(duì)于從半導(dǎo)體激光裝置1發(fā)射出的光的光軸的傾斜角更大，激射波長(zhǎng)向較短的波長(zhǎng)方偏移，如圖11A和圖11B所示，因此，通過(guò)調(diào)整該傾斜角可調(diào)諧該激射波長(zhǎng)。
此時(shí)，傾斜可以是在從光正常輸入到濾光器6中的位置的任何方向，而如果該傾斜平行或垂直于極化面的方向，則不出現(xiàn)極化相關(guān)性，因此，即使有數(shù)十度的傾斜，也能抑制PDL(極化相關(guān)損耗)的發(fā)生。
作為調(diào)諧激射波長(zhǎng)的方法，除上述內(nèi)容外，還有一實(shí)例，其中，控制光學(xué)濾光器膜25的每一層的厚度，因此，光的透射光譜因?yàn)V光器6中的光學(xué)濾光器膜25處的光的傳輸位置的不同而不同，之后，將濾光器6沿基本垂直于光軸的方向移動(dòng)，以改變將光輸入到濾光器6處的位置，因此改變光學(xué)濾光器膜25中光的傳輸位置，從而調(diào)諧激射波長(zhǎng)。
將濾光器6安裝在其上安裝有半導(dǎo)體激光裝置1的熱電微型組件(thermomodule)上(例如帕爾帖模塊，未圖示)，因此，通過(guò)與受帕爾帖元件之溫度控制的半導(dǎo)體激光裝置1設(shè)置在一起，可消除波長(zhǎng)偏移以及波形的不規(guī)則，而具有穩(wěn)定的特性。還可將濾光器6安裝在除了熱電微型組件外的模塊上，在該模塊上安裝有半導(dǎo)體激光裝置1。
在該半導(dǎo)體激光模塊中，第一透鏡3使來(lái)自半導(dǎo)體激光裝置1的前端面10的發(fā)射光準(zhǔn)直，該光具有濾光器6選擇的波長(zhǎng)，由第二透鏡4聚焦，及被光纖2的輸入端面部分反射，通過(guò)相反路徑，被光學(xué)地反饋到半導(dǎo)體激光裝置1。其余的光輸入到光纖2以進(jìn)行傳輸。
通過(guò)諧振腔5中的光學(xué)反饋和互換，在半導(dǎo)體激光裝置1中產(chǎn)生激射，輸出激光束。濾光器6僅選擇期望的光波長(zhǎng)，該光被光學(xué)地反饋到半導(dǎo)體激光裝置1上，因而該激光束具有穩(wěn)定的波長(zhǎng)特性。光纖2傳輸激光束以用于期望的目的。
在根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊中，可將諧振腔的長(zhǎng)度設(shè)定得短(例如20nm及以下)，可防止在預(yù)定頻率帶寬中因較長(zhǎng)的諧振腔而使噪聲特性可能遭受的惡化。
通過(guò)采用濾光器6，可將光的光譜寬度壓窄，以便獲得增強(qiáng)的光學(xué)輸出和好的波長(zhǎng)穩(wěn)定性。
另外，濾光器6的透射光譜被設(shè)定為預(yù)定結(jié)構(gòu)，因此，來(lái)自半導(dǎo)體激光裝置1的輸出光被允許是多模式的，因此可利用保持的高的光學(xué)輸出來(lái)防止發(fā)生SBS。多模式還有利于DOP的減少。
與之相似，根據(jù)本實(shí)施例的半導(dǎo)體激光模塊基本上適于具有作為用于拉曼放大器的泵浦光源所必需的特性。
半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例2圖2表示本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例2。
在下述實(shí)施例中，用類似的標(biāo)號(hào)來(lái)標(biāo)識(shí)與上一實(shí)施例類似的結(jié)構(gòu)，并省略相關(guān)說(shuō)明。
在該實(shí)施例中，將諧振腔5設(shè)定在反射部件9的反射膜26和光纖2的輸入端面7(曝露面)或形成于輸入端面7上的低反射膜30之間。
半導(dǎo)體激光模塊作為在半導(dǎo)體激光裝置1之后設(shè)置有濾光器6的結(jié)構(gòu)，具有PD40、反射部件9、第四透鏡(準(zhǔn)直儀)16、濾光器6、第三透鏡(聚焦透鏡)15、半導(dǎo)體激光裝置1、第一透鏡3、第二透鏡4和光纖2，這些元件按上述順序連續(xù)排列。
半導(dǎo)體激光裝置1在其前端面10上具有AR膜34，在其后端面8上具有AR膜24，每一個(gè)都作為其上的涂層。AR膜24、34的反射率為例如5％或更低，優(yōu)選地可以為1％或更低，或更優(yōu)選地為0.1％或更低。
在第三透鏡15和第四透鏡16以及第一透鏡3和第二透鏡4在其前表面和后表面上用反射率為例如0.5％或更低的AR膜進(jìn)行涂層。這些透鏡中的每一個(gè)最好是非球面透鏡、球面透鏡、反射率分布透鏡、平面凸透鏡等之一，按需選擇。
濾光器6除設(shè)置在第三透鏡15和第四透鏡16之間外，結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1相同，最好象實(shí)施例1那樣可基于熱電微型組件進(jìn)行溫度控制。
在該半導(dǎo)體激光模塊中，第三透鏡15使來(lái)自半導(dǎo)體激光裝置1的后端面8的發(fā)射光準(zhǔn)直，該光具有濾光器6選擇的波長(zhǎng)，由第四透鏡16聚焦，由反射膜26進(jìn)行光學(xué)反饋。通過(guò)第一透鏡和第四透鏡來(lái)傳輸來(lái)自半導(dǎo)體激光裝置1的前端面10的發(fā)射光，在光纖2的輸入端面7處被部分地在光學(xué)上反饋到半導(dǎo)體激光裝置1上，而其余的光輸入到光纖2以進(jìn)行傳輸。
通過(guò)諧振腔5中的光學(xué)反饋和互換，在半導(dǎo)體激光裝置1中產(chǎn)生激射，輸出激光束。濾光器6僅選擇期望的光波長(zhǎng)，該光被光學(xué)反饋到半導(dǎo)體激光裝置1上，因而激光束具有穩(wěn)定的波長(zhǎng)特性。光纖2傳輸從半導(dǎo)體激光裝置1的前端面10發(fā)射的激光束，以用于期望的目的。
在根據(jù)本實(shí)施例的半導(dǎo)體激光模塊中，可實(shí)現(xiàn)與實(shí)施例1相同的效果。
半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例3圖3表示本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例3。
在該實(shí)施例中，將諧振腔5設(shè)定在反射部件9的反射膜26和形成于半導(dǎo)體激光裝置1的前端面10上的AR膜34之間。
根據(jù)本實(shí)施例的半導(dǎo)體激光模塊在結(jié)構(gòu)上對(duì)根據(jù)實(shí)施例2的半導(dǎo)體激光模塊進(jìn)行了一點(diǎn)修改。即，形成于半導(dǎo)體激光裝置1的前端面10上的AR膜34的反射率被設(shè)定為2％-5％或附近之范圍，在光纖2的輸入端面上形成反射率為例如1％或更小的AR膜27。諧振腔5如所述那樣形成于反射部件9的反射涂層26和形成于半導(dǎo)體激光裝置1的前端面上的AR膜34之間。因?yàn)楣飧綦x器12可插入設(shè)置在諧振腔5的光纖2處的第一和第二透鏡3、4之間，所以不必在路徑上切割光纖2來(lái)插入光隔離器12。
用于并入半導(dǎo)體激光裝置1、第一透鏡3和第二透鏡4的外殼也可并入光隔離器12，以使半導(dǎo)體激光模塊的整體結(jié)構(gòu)被縮小。極化相關(guān)光隔離器的使用使半導(dǎo)體激光模塊的價(jià)格便宜。
另外，可實(shí)現(xiàn)與實(shí)施例1和2的半導(dǎo)體激光模塊相同的效果。
半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例4圖4表示本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例4。
根據(jù)本實(shí)施例的半導(dǎo)體激光模塊在結(jié)構(gòu)上對(duì)根據(jù)實(shí)施例3的半導(dǎo)體激光模塊進(jìn)行了一點(diǎn)改變。即，實(shí)施例3中的濾光器6和反射部件9彼此形成一體。換言之，提供反射部件9(濾光器6)，其中，襯底20在后面?zhèn)染哂行纬捎谄渖锨曳瓷渎食^(guò)例如90％的反射涂層28，在前面?zhèn)染哂行纬捎谄渖系墓鈱W(xué)濾光器膜25。因?yàn)榉瓷渫繉?8和光學(xué)濾光器膜25設(shè)置為不平行，所以可防止其間形成校準(zhǔn)器。
另外，可實(shí)現(xiàn)與實(shí)施例3的半導(dǎo)體激光模塊相同的效果。
半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例5圖5表示本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例5。
根據(jù)本實(shí)施例的半導(dǎo)體激光模塊在結(jié)構(gòu)上對(duì)根據(jù)實(shí)施例3的半導(dǎo)體激光模塊進(jìn)行了一點(diǎn)改變。即，采用反射率分布透鏡17和反射涂層9來(lái)替代實(shí)施例3中的第四透鏡16和反射部件9。
通過(guò)采用反射率分布透鏡17，可實(shí)現(xiàn)小型半導(dǎo)體激光模塊。
另外，可實(shí)現(xiàn)與實(shí)施例3的半導(dǎo)體激光模塊相同的效果。
半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例6圖6表示本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例6。
根據(jù)本實(shí)施例的半導(dǎo)體激光模塊在結(jié)構(gòu)上對(duì)根據(jù)實(shí)施例2的半導(dǎo)體激光模塊進(jìn)行了一點(diǎn)改變。即，采用隅角棱鏡13來(lái)替代實(shí)施例2中的第四透鏡16和反射部件9的組合。
這種用法之所以是優(yōu)選的，就在于可以容易地對(duì)準(zhǔn)隅角棱鏡13之中心，即使在發(fā)生隅角棱鏡13的位置偏離時(shí)，光耦合效率的惡化也很小。
另外，可實(shí)現(xiàn)與實(shí)施例2的半導(dǎo)體激光模塊相同的效果。
半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例7圖7表示本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例7。
根據(jù)本實(shí)施例的半導(dǎo)體激光模塊在結(jié)構(gòu)上對(duì)根據(jù)實(shí)施例3的半導(dǎo)體激光模塊進(jìn)行了一點(diǎn)改動(dòng)。即，采用隅角棱鏡13來(lái)替代實(shí)施例3中的第四透鏡16和反射部件9的組合。
通過(guò)使用隅角棱鏡13，可達(dá)到與實(shí)施例6相同的效果。
另外，可實(shí)現(xiàn)與實(shí)施例3的半導(dǎo)體激光模塊相同的效果。
半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例8圖8表示本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施例8。
在本實(shí)施例中，諧振腔5設(shè)置在透鏡光纖31的反射涂層32和形成于半導(dǎo)體激光裝置1的前端面10上的AR膜34之間。
半導(dǎo)體激光模塊如具有設(shè)置在半導(dǎo)體激光裝置1之后的濾光器6的構(gòu)造一樣，具有PD40、位于路徑上的具有濾光器6的透鏡光纖31、半導(dǎo)體激光裝置1、第一透鏡3、光隔離器12、第二透鏡4、和光纖2，這些元件按上述順序連續(xù)排列。
半導(dǎo)體激光裝置1在其前端面10上具有作為其上涂層的AR膜34。在其后端面8上形成AR膜24。前端面上的AR膜34的反射率設(shè)定在例如2％-5％內(nèi)。后端面上的AR膜24的反射率為例如1％或更小，最好是0.1％或更小。
在透鏡結(jié)構(gòu)中加工透鏡光纖31，在其前端面上具有形成于該端面上的AR膜33，在其后端處垂直于有透鏡的光纖的縱向進(jìn)行切割，以使AR膜32形成于其上。在前端上的透鏡結(jié)構(gòu)可以是根據(jù)從半導(dǎo)體激光裝置1發(fā)射出的光的部分結(jié)構(gòu)所選擇的一種適當(dāng)?shù)慕Y(jié)構(gòu)，例如楔形結(jié)構(gòu)或圓頭(ball-pointed)結(jié)構(gòu)。AR膜33的反射率例如為1％或更小，而AR膜32的反射率例如為90％或更大。
透鏡光纖31在縱向上具有切割部，其中插入濾光器6。
在本實(shí)施例中濾光器6的插入設(shè)置在垂直于該透鏡光纖的光軸的方向上，但最好設(shè)置成傾斜。
在該半導(dǎo)體激光模塊中，在透鏡光纖31中傳輸從半導(dǎo)體激光裝置1的后端面8發(fā)射的光，其中，它具有由濾光器6選擇的波長(zhǎng)，由反射涂層32將其一部分光學(xué)反饋到半導(dǎo)體激光裝置1，而其余的光由PD40接收。
另一方面，第一透鏡3使從半導(dǎo)體激光裝置1的前端面10發(fā)射的光準(zhǔn)直，由第二透鏡4聚焦，并被輸入至光纖2以進(jìn)行傳輸。
通過(guò)諧振腔5中的光學(xué)反饋和互換，在半導(dǎo)體激光裝置1中產(chǎn)生激射，輸出激光束。濾光器6僅選擇期望的光波長(zhǎng)，該光被光學(xué)反饋到半導(dǎo)體激光裝置1上，因而該激光束具有穩(wěn)定的波長(zhǎng)特性。光纖2傳輸從半導(dǎo)體激光裝置1的前端面10發(fā)射的激光束，以用于期望的目的。
在根據(jù)本實(shí)施例的半導(dǎo)體激光模塊中，也可實(shí)現(xiàn)與根據(jù)實(shí)施例1的半導(dǎo)體激光模塊相同的效果，另外，還可將光隔離器12設(shè)置在第一透鏡3和第二透鏡4之間。
值得注意的是，在除了本實(shí)施例的其它實(shí)施例中，象第一透鏡3和第二透鏡4之組合或第三透鏡15和第四透鏡16之組合這樣的光學(xué)耦合系統(tǒng)，可用在其端部的透鏡結(jié)構(gòu)中加工的光纖和插入其路徑中的濾光器6的組合來(lái)適當(dāng)?shù)卮妗?br> 拉曼放大器的實(shí)施例1圖9表示拉曼放大器100的一個(gè)實(shí)施例，其中，將上述任一實(shí)施例中描述的半導(dǎo)體激光模塊用作泵浦光源模塊。在圖9中，拉曼放大器100被構(gòu)造成正向泵浦型光學(xué)放大器，具有多個(gè)用于輸出不同波長(zhǎng)光的激光單元101、用于執(zhí)行來(lái)自激光單元101的輸出光的波長(zhǎng)組合的WDM耦合器102、用于傳輸組合了波長(zhǎng)的光的光纖103、和設(shè)置在光纖103中的極化相關(guān)型光隔離器104。
每個(gè)激光單元101具有上述任一實(shí)施例中所述的半導(dǎo)體激光模塊105、用于傳輸從半導(dǎo)體激光模塊105中輸出的光的光纖106、作為PMF插入光纖106中的去極化器107、和控制器108。
根據(jù)控制器108對(duì)半導(dǎo)體激光裝置的操作控制，例如對(duì)注入電流或帕爾帖模塊溫度的控制，每個(gè)激光單元101的半導(dǎo)體激光模塊105適于來(lái)輸出不同于其它激光單元101的特定波長(zhǎng)的激光束。
例如，去極化器107可以是位于光纖106之至少一部分處的PMF，具有相對(duì)于從半導(dǎo)體激光模塊105輸出的激光束之極化面傾斜45度的適當(dāng)軸。通過(guò)這種設(shè)置，在DOP中可減少?gòu)陌雽?dǎo)體激光模塊105輸出的激光束，而不被極化。
光隔離器104傳遞從半導(dǎo)體激光模塊105輸出的激光束，而切斷至半導(dǎo)體激光模塊105的返回光。但在半導(dǎo)體激光模塊105具有并入的光隔離器的情況下，不必使用同軸的光隔離器104。
在具有這種結(jié)構(gòu)的拉曼放大器100中，由相應(yīng)激光單元101中的去極化器107在DOP中減少?gòu)陌雽?dǎo)體激光模塊105中輸出的激光束，由WDM耦合器102組合在不同波長(zhǎng)光之間，通過(guò)光纖103、經(jīng)過(guò)光隔離器104而被傳輸?shù)絎MD耦合器109，因此，所傳輸光被輸入到傳輸信號(hào)光的光纖110。
在光纖110中，被傳輸?shù)男盘?hào)光被輸入激光(泵浦光)進(jìn)行拉曼放大。
在根據(jù)本實(shí)施例的拉曼放大器100中，通過(guò)使用根據(jù)上述任一實(shí)施例的激光單元101和半導(dǎo)體激光模塊105，可具有高的拉曼增益，并在光纖110中具有被抑制的SBS。需要作為去極化器107而用于DOP減少的PMF可以短，以使激光單元101和拉曼放大器100的尺寸變小。反射預(yù)定波長(zhǎng)光的濾光器的使用使拉曼增益滿足波長(zhǎng)穩(wěn)定性。
拉曼放大器的實(shí)施例2圖10表示拉曼放大器的另一個(gè)實(shí)施例，其中，將上述的半導(dǎo)體激光模塊用作泵浦光源模塊。在圖10中，拉曼放大器111被構(gòu)造成正向泵浦型光學(xué)放大器，具有多個(gè)用于輸出不同波長(zhǎng)光的激光單元101、用于執(zhí)行從激光單元101輸出的光的波長(zhǎng)組合的WDM耦合器102、用于傳輸組合了波長(zhǎng)的光的光纖103、和設(shè)置在光纖103中的極化相關(guān)型光隔離器104。
每個(gè)激光單元101具有兩個(gè)上述任一實(shí)施例中所述的半導(dǎo)體激光模塊105、用于分別傳輸從半導(dǎo)體激光模塊105中輸出的激光束的光纖106、用于執(zhí)行激光束的極化組合的PBC(極化光束組合器)112、用于傳輸極化組合光束的光纖106、和構(gòu)成本發(fā)明中控制裝置的控制器108。
根據(jù)控制器108對(duì)半導(dǎo)體激光裝置的操作控制，例如對(duì)注入電流或帕爾帖(Peltier)模塊溫度的控制，每個(gè)激光單元101的多個(gè)半導(dǎo)體激光模塊105適于輸出具有不同波長(zhǎng)的激光束。
光隔離器104傳遞從半導(dǎo)體激光模塊105輸出的激光束，而切斷至半導(dǎo)體激光模塊105的返回光。但在半導(dǎo)體激光模塊105具有并入的光隔離器的情況下，不必使用同軸的光隔離器104。
在具有這種結(jié)構(gòu)的拉曼放大器111中，從半導(dǎo)體激光模塊105中輸出的激光束進(jìn)入PBC的112中，其中，這些激光束在波長(zhǎng)相同和極化面不同的極化光之間進(jìn)行組合，具有減少的極化度，在合成的光進(jìn)入組合其波長(zhǎng)的WDM耦合器102中以前，通過(guò)光纖103、經(jīng)過(guò)光隔離器104而被傳輸?shù)絎DM耦合器109，因而所傳輸?shù)墓獗惠斎氲絺鬏斝盘?hào)光的光纖110。
在光纖110中，被傳輸?shù)男盘?hào)光由輸入激光(泵浦光)進(jìn)行拉曼放大。
在拉曼放大器111中，通過(guò)使用根據(jù)上述任一實(shí)施例的激光單元101和半導(dǎo)體激光模塊105，可具有高的拉曼增益，并在光纖110中具有被抑制的SBS。反射預(yù)定波長(zhǎng)光的濾光器的使用使拉曼增益滿足波長(zhǎng)穩(wěn)定性。
值得注意的是，本發(fā)明不限于上述實(shí)施例，在本發(fā)明概述的范圍內(nèi)可進(jìn)行不同的改變和修改。
拉曼放大器的實(shí)施例3雖然上述實(shí)施例中對(duì)本發(fā)明特別適用的正向泵浦系統(tǒng)的拉曼放大器進(jìn)行了描述，但本發(fā)明不限于那些內(nèi)容，也可優(yōu)選地應(yīng)用于反向泵浦系統(tǒng)或雙向泵浦系統(tǒng)。
本發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，泵浦光源導(dǎo)向模塊、激光單元和使用其中之一的拉曼放大器具有如下效果1.通過(guò)使用濾光器，作為諧振腔的共振器可具有僅存在該濾光器的透射波長(zhǎng)帶寬內(nèi)的增益，諧振腔的共振波長(zhǎng)固定且穩(wěn)定。
2.利用諧振腔的共振波長(zhǎng)的固定和泵浦光之強(qiáng)度的穩(wěn)定，拉曼增益也穩(wěn)定，并可用于正向泵浦。
3.在使用具有基本為矩形形式(寬波長(zhǎng)帶寬)的透射光譜的濾光器的情況下，激射光譜的包跡包括多個(gè)輸出光的縱向模式。因此可在多個(gè)縱向模式之間分配激射的整個(gè)光學(xué)輸出，每個(gè)單縱向模式的光強(qiáng)度下降。因此，減少了SBS，可阻止噪聲的增大。
4.由于激射光譜的包跡包括半導(dǎo)體激光裝置的多個(gè)縱向模式，激射后的激光束具有減少的相干長(zhǎng)度。因此，與常規(guī)激光源相比，用于去極化的PMF之所需長(zhǎng)度可以為更短。
5.在光投射端的光反饋部的反射率可降低，因此，可增強(qiáng)光纖所獲得的泵浦光的強(qiáng)度。
6.在光學(xué)反饋部是光纖的輸入端面7的情況下，與其中將光纖光柵(諧振腔的一個(gè)反射端面)設(shè)置在比光纖的輸入端面7距離更遠(yuǎn)處的常規(guī)激光源相比，可以將該諧振腔的端面至端面的距離變短，使諧振腔的體積小，并降低噪音。
7.可調(diào)整濾光器6的傾斜角，在某種程度上調(diào)整共振波長(zhǎng)。
8.在光隔離器的使用中，幾乎沒(méi)有反射的返回光，具有穩(wěn)定的激光器操作。
9.基于熱電微型組件可對(duì)濾光器進(jìn)行溫度控制，以具有穩(wěn)定的特性。
10.不管驅(qū)動(dòng)條件如何，可實(shí)現(xiàn)恒定共振波長(zhǎng)的保持，降低噪聲，不會(huì)因布里淵散射而引起噪聲增加，并促進(jìn)去極化。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體激光模塊，包括半導(dǎo)體激光裝置；由所包含的至少一個(gè)光反饋裝置形成的諧振腔；位于該諧振腔前端的光纖；及其中，在該諧振腔中布置有用于傳輸預(yù)定范圍內(nèi)波長(zhǎng)的光的濾光器。
2.一種半導(dǎo)體激光模塊，包括半導(dǎo)體激光裝置；由所包含的至少一個(gè)光反饋裝置形成的諧振腔；位于該諧振腔前端的光纖；及其中，準(zhǔn)直儀和聚焦透鏡用于使由該半導(dǎo)體激光裝置發(fā)射的光與該光纖耦合，在該諧振腔中布置有用于傳輸預(yù)定范圍內(nèi)波長(zhǎng)的光的濾光器，該濾光器布置在準(zhǔn)直儀和聚焦透鏡之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體激光模塊，其中，該濾光器具有基本為矩形形式的透射光譜。
4.根據(jù)權(quán)利要求2的半導(dǎo)體激光模塊，其中，該濾光器具有基本為矩形形式的透射光譜。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體激光模塊，其中，該濾光器具有用于傳輸期望波長(zhǎng)的電介質(zhì)多層濾光器。
6.根據(jù)權(quán)利要求2的半導(dǎo)體激光模塊，其中，該濾光器具有用于傳輸期望波長(zhǎng)的電介質(zhì)多層濾光器。
7.根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體激光模塊，其中，該濾光器的設(shè)置傾斜于光軸。
8.根據(jù)權(quán)利要求2的半導(dǎo)體激光模塊，其中，該濾光器的設(shè)置傾斜于光軸。
9.根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體激光模塊，其中，位于該諧振腔的光纖側(cè)的光學(xué)反饋部具有5％或更低的反射率。
10.根據(jù)權(quán)利要求2的半導(dǎo)體激光模塊，其中，位于該諧振腔的光纖側(cè)的光學(xué)反饋部具有5％或更低的反射率。
11.根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體激光模塊，其中，在熱電微型組件上對(duì)該濾光器進(jìn)行溫度控制。
12.根據(jù)權(quán)利要求2的半導(dǎo)體激光模塊，其中，在熱電微型組件上對(duì)該濾光器進(jìn)行溫度控制。
13.根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體激光模塊，其中，該濾光器的構(gòu)造用于通過(guò)旋轉(zhuǎn)來(lái)調(diào)諧傳輸波長(zhǎng)。
14.根據(jù)權(quán)利要求2的半導(dǎo)體激光模塊，其中，該濾光器的構(gòu)造用于通過(guò)旋轉(zhuǎn)來(lái)調(diào)諧傳輸波長(zhǎng)。
15.根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體激光模塊，其中，至少一個(gè)光學(xué)反饋裝置是形成于該半導(dǎo)體激光裝置的前端面或后端面上的反射涂層。
16.根據(jù)權(quán)利要求2的半導(dǎo)體激光模塊，其中，至少一個(gè)光學(xué)反饋裝置是形成于該半導(dǎo)體激光裝置的前端面或后端面上的反射涂層。
17.根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體激光模塊，其中，至少一個(gè)光學(xué)反饋裝置是該光纖之輸入端面的曝露面或形成于所述輸入端面上的反射涂層。
18.根據(jù)權(quán)利要求2的半導(dǎo)體激光模塊，其中，至少一個(gè)光學(xué)反饋裝置是該光纖之輸入端面的曝露面或形成于所述輸入端面上的反射涂層。
19.根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體激光模塊，其中，至少一個(gè)光學(xué)反饋裝置是反射部件。
20.根據(jù)權(quán)利要求2的半導(dǎo)體激光模塊，其中，至少一個(gè)光學(xué)反饋裝置是反射部件。
21.根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體激光模塊，其中，至少一個(gè)光學(xué)反饋裝置是隅角棱鏡。
22.根據(jù)權(quán)利要求2的半導(dǎo)體激光模塊，其中，至少一個(gè)光學(xué)反饋裝置是隅角棱鏡。
23.根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體激光模塊，其中，光隔離器被布置于該諧振腔和該光纖的輸入端面之間。
24.根據(jù)權(quán)利要求2的半導(dǎo)體激光模塊，其中，光隔離器被布置于該諧振腔和該光纖的輸入端面之間。
25.根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體激光模塊，其中，該濾光器被插入透鏡光纖內(nèi)。
26.根據(jù)權(quán)利要求2的半導(dǎo)體激光模塊，其中，該濾光器被插入透鏡光纖內(nèi)。
27.根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體激光模塊，其中，設(shè)置有用于減少激光束之極化度的去極化器。
28.根據(jù)權(quán)利要求2的半導(dǎo)體激光模塊，其中，設(shè)置有用于減少激光束之極化度的去極化器。
29.一種激光單元，包括多個(gè)根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體激光模塊，和極化光束組合件，用于極化組合從該多個(gè)半導(dǎo)體激光模塊中發(fā)射的光。
30.一種激光單元，包括多個(gè)根據(jù)權(quán)利要求2的半導(dǎo)體激光模塊，和極化光束組合件，用于極化組合從該多個(gè)半導(dǎo)體激光模塊中發(fā)射的光。
31.一種拉曼放大器，包括根據(jù)權(quán)利要求1的半導(dǎo)體激光模塊作為泵浦光源。
32.一種拉曼放大器，包括根據(jù)權(quán)利要求2的半導(dǎo)體激光模塊作為泵浦光源。
33.一種拉曼放大器，包括根據(jù)權(quán)利要求29的激光單元作為泵浦光源。
34.一種拉曼放大器，包括根據(jù)權(quán)利要求30的激光單元作為泵浦光源。
全文摘要
一種半導(dǎo)體激光模塊,含有半導(dǎo)體激光裝置、由所包括的至少一個(gè)光學(xué)反饋裝置形成的諧振腔、和位于該諧振腔前端的光纖,其中,在該諧振腔中布置有用于傳輸預(yù)定范圍內(nèi)波長(zhǎng)的光的濾光器。上述半導(dǎo)體激光模塊進(jìn)一步具有準(zhǔn)直儀和聚焦透鏡,用于使從該半導(dǎo)體激光裝置中發(fā)射的光與該光纖耦合,該濾光器被布置在準(zhǔn)直儀和聚焦透鏡之間。該濾光器具有用于傳輸期望波長(zhǎng)的電介質(zhì)多層濾光器。根據(jù)本發(fā)明的一種激光單元包括多個(gè)上述的半導(dǎo)體激光模塊,和一極化組合件,極化組合從該多個(gè)半導(dǎo)體激光模塊中發(fā)射的光。根據(jù)本發(fā)明的拉曼放大器具有配置有該半導(dǎo)體激光模塊和該激光單元的泵浦光源。
文檔編號(hào)H01S3/30GK1357951SQ0113456
公開(kāi)日2002年7月10日 申請(qǐng)日期2001年11月2日 優(yōu)先權(quán)日2000年11月2日
發(fā)明者松浦寬, 味村裕, 愛(ài)清武, 清水健男 申請(qǐng)人:古河電氣工業(yè)株式會(huì)社