專利名稱：預(yù)防靜電破壞的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是關(guān)于一種預(yù)防靜電破壞的裝置，特別是關(guān)于一種涂布靜電防止劑于集成電路的表面以預(yù)防靜電破壞的自動(dòng)化裝置。
一般而言，集成電路對(duì)靜電的反應(yīng)非常敏感，稍有靜電的累積便可能影響集成電路運(yùn)算的正確性，甚至造成集成電路的永久損壞、因此預(yù)防靜電的累積，對(duì)于集成電路的制造流程而言是一個(gè)很重要的課題。


圖1是一已知的預(yù)防靜電破壞的方法。該方法是將多個(gè)已制成的集成電路13放置于一托盤(pán)11之內(nèi)，而在該托盤(pán)11的兩端綁上兩條靜電帶12。該靜電帶12事先被浸泡于一靜電防止劑中，其目的在保護(hù)托盤(pán)11內(nèi)的多個(gè)集成電路，以避免靜電的累積。
圖1的方法對(duì)于存放于該托盤(pán)11的不同位置的集成電路13均有不相等的靜電防止效力。通常距離該靜電帶12較近的集成電路有較大的靜電防止能力，而距離該靜電帶12較遠(yuǎn)的集成電路有較小的靜電防止能力。另外，該靜電帶12對(duì)于該集成電路的保護(hù)屬于靜態(tài)的保護(hù)，也就是說(shuō)較適合預(yù)防一外在環(huán)境，例如因干燥的空氣，而造成的靜電累積。但對(duì)于一些較動(dòng)態(tài)的情形，例如該集成電路13在封裝測(cè)試和表面粘著的階段時(shí)，通常會(huì)和各種自動(dòng)化機(jī)器手臂接觸磨擦而在瞬間產(chǎn)生很大的靜電，而這些因動(dòng)態(tài)接觸磨擦而造成靜電的累積是已知方式所無(wú)法保護(hù)的。
由以上的敘述可知，現(xiàn)行應(yīng)用于集成電路的靜電保護(hù)方式并不能符合市場(chǎng)的需要。
本實(shí)用新型的目的是為克服目前使用于集成電路的靜電保護(hù)效力不均且無(wú)法克服動(dòng)態(tài)磨擦所產(chǎn)生的靜電破壞的缺點(diǎn)。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供一種預(yù)防靜電破壞的裝置，該裝置在該集成電路的封裝測(cè)試過(guò)程中直接將該靜電防止劑涂布于該集成電路的表面，并通過(guò)該靜電防止劑而阻絕因動(dòng)態(tài)的接觸磨擦而造成的靜電累積。
本實(shí)用新型的預(yù)防靜電破壞的裝置，包含一皮帶、至少一個(gè)滾動(dòng)馬達(dá)、至少一個(gè)噴嘴、至少一個(gè)定量吐出器及至少一個(gè)光電開(kāi)關(guān)。該皮帶的上方用于放置該多個(gè)集成電路。該滾動(dòng)馬達(dá)用于卷動(dòng)該皮帶，并因此而使該多個(gè)集成電路不斷前進(jìn)。該噴嘴用于涂布該靜電防止劑于該多個(gè)集成電路的表面。該定量吐出器用于控制該噴嘴輸出該靜電防止劑的噴出量。該光電開(kāi)關(guān)連接至該噴嘴和該定量吐出器，用于感應(yīng)該多個(gè)集成電路是否即將經(jīng)過(guò)該噴嘴的下方。
本實(shí)用新型將依照后附的附圖來(lái)說(shuō)明，其中圖1是已知的預(yù)防靜電破壞的裝置；及圖2是本實(shí)用新型的預(yù)防靜電破壞的裝置的示意圖。
已知裝置將多個(gè)集成電路13以兩條事先被浸泡于靜電防止劑的靜電帶12保護(hù)，而該已知裝置并不能預(yù)防在測(cè)試過(guò)程中因機(jī)臺(tái)和該集成電路13因接觸磨擦而產(chǎn)生的靜電破壞。為了克服該機(jī)臺(tái)和該集成電路13因接觸磨擦而產(chǎn)生的靜電破壞，最直接的方式就是將該靜電防止劑涂布于該集成電路13的表面。由于該靜電防止劑的保護(hù)作用，在測(cè)試的過(guò)程中該機(jī)臺(tái)和該集成電路13因磨擦而產(chǎn)生的靜電便不容易累積于該集成電路13的表面、而達(dá)到保護(hù)該集成電路13免于遭受靜電破壞的功效。
表1為已知裝置及本實(shí)用新型裝置的克服靜電累積能力的比較結(jié)果，且其測(cè)試環(huán)境是在攝氏22度及濕度55％的環(huán)境下。本實(shí)用新型的發(fā)明人針對(duì)未涂有靜電防止劑的集成電路及涂有靜電防止劑的集成電路各以絨布磨擦約五秒鐘，然后立即量測(cè)該集成電路的殘留靜電，并依此而得到表1的九十六次實(shí)驗(yàn)結(jié)果
表1
經(jīng)由表1的比較結(jié)果，可發(fā)現(xiàn)本實(shí)用新型裝置的克服靜電累積的效力大于已知裝置克服靜電累積的效力。
圖2是本實(shí)用新型的預(yù)防靜電破壞的裝置的示意圖。一皮帶25的上方21用于放置多個(gè)集成電路13，該多個(gè)集成電路13可集中放置于一插盤(pán)11之內(nèi)。本實(shí)用新型的涂布靜電防止劑的動(dòng)作可位于整個(gè)集成電路封閉測(cè)試的任一階段，但從放置于該集成電路封裝之后階段及測(cè)試之前階段為宜。至少一個(gè)滾動(dòng)馬達(dá)22置于該皮帶25的內(nèi)圈的一端，用于卷動(dòng)該皮帶25并從而推動(dòng)該托盤(pán)11于該皮帶的上方行進(jìn)。該皮帶25的內(nèi)圈的另一端則放置一不具有動(dòng)力的滾筒。若該皮帶25相當(dāng)長(zhǎng)以致一個(gè)滾動(dòng)馬達(dá)無(wú)法帶動(dòng)時(shí)，可換掉該滾筒而增加一個(gè)滾動(dòng)馬達(dá)于另一端。該滾動(dòng)馬達(dá)22可被設(shè)定為一間歇性的滾動(dòng)模式，使位于該皮帶上方的該多個(gè)集成電路13可間歇性地前進(jìn)。至少一個(gè)噴嘴23用于涂布該靜電防止劑于該多個(gè)集成電路13表面。該噴嘴23的涂布方式可為噴氣式或液態(tài)流動(dòng)式或其他方式，本實(shí)用新型并未作任何限制。至少一個(gè)定量吐出器24連接至該噴嘴23，用于控制該噴嘴23輸出該靜電防止劑的噴出量。該噴嘴23及該定量吐出器24可采用多組，以平行處理的方式循序涂布該靜電防止劑于位于該托盤(pán)11內(nèi)的該多個(gè)集成電路13的表面，以加快產(chǎn)生率。至少一個(gè)光電開(kāi)關(guān)26連接至該噴嘴23及該定量吐出器24，用于感應(yīng)是否有集成電路13將經(jīng)過(guò)該噴嘴23的下方。若答案是肯定的，則啟動(dòng)該定量吐出器24動(dòng)作，而將該靜電防止劑涂布于該集成電路13的表面。
本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容及技術(shù)特點(diǎn)已公開(kāi)如上，然而本領(lǐng)域的熟練技術(shù)人員仍可能基于本實(shí)用新型的教示及公開(kāi)而作種種不背離本實(shí)用新型精神的替換及修改；因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)不限于實(shí)施例所公開(kāi)的內(nèi)容，而應(yīng)包括各種不背離本實(shí)用新型的替換及修改，并由以下的權(quán)利要求書(shū)所涵蓋。
權(quán)利要求1.一種預(yù)防靜電破壞的裝置，用于在多個(gè)集成電路表面涂布靜電防止劑，其特征是包含一皮帶，該皮帶的上方用于放置該多個(gè)集成電路；至少一個(gè)滾動(dòng)馬達(dá)，用于卷動(dòng)該皮帶，并因此而使該多個(gè)集成電路不斷前進(jìn)；至少一個(gè)噴嘴，用于涂布該靜電防止劑于該多個(gè)集成電路的表面；至少一個(gè)定量吐出器，用于控制該噴嘴輸出該靜電防止劑的噴出量；及至少一個(gè)光電開(kāi)關(guān)，連接至該噴嘴和該定量吐出器，用于感應(yīng)該多個(gè)集成電路是否即將經(jīng)過(guò)該噴嘴的下方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征是，該滾動(dòng)馬達(dá)可被設(shè)定為間歇性地滾動(dòng)，使位于該皮帶上方的該多個(gè)集成電路可循序地接受該噴嘴的涂布。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)一種預(yù)防靜電破壞的裝置,其在集成電路的封裝測(cè)試過(guò)程中宣接將靜電防止劑涂布于該集成電路的表面,并通過(guò)靜電防止劑而阻絕因動(dòng)態(tài)的接觸摩擦而造成的靜電累積。本實(shí)用新型裝置包含一皮帶、至少一個(gè)滾動(dòng)馬達(dá)、至少一個(gè)噴嘴、至少一個(gè)定量吐出器及至少一個(gè)光電開(kāi)關(guān)。該皮帶的上方用于放置該多個(gè)集成電路。該滾動(dòng)馬達(dá)用于卷動(dòng)該皮帶,并因此而使該多個(gè)集成電路不斷前進(jìn)。該噴嘴用于涂布該靜電防止劑于該多個(gè)集成電路的表面。該定量吐出器用于控制該噴嘴輸出該靜電防止劑的噴出量。該光電開(kāi)關(guān)連接至該噴嘴和該定量吐出器,用于感應(yīng)該多個(gè)集成電路是否即將經(jīng)過(guò)該噴嘴的下方。
文檔編號(hào)H01L23/58GK2489471SQ0120086
公開(kāi)日2002年5月1日 申請(qǐng)日期2001年2月15日 優(yōu)先權(quán)日2001年2月15日
發(fā)明者謝來(lái)福, 謝宜璋, 黃清榮, 廖沐盛 申請(qǐng)人:矽統(tǒng)科技股份有限公司