專利名稱：半導(dǎo)體激光泵浦全固態(tài)單縱模激光諧振腔的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于半導(dǎo)體激光泵浦全固態(tài)激光器技術(shù)領(lǐng)域，涉及對小功率輸出的半導(dǎo)體激光泵浦全固態(tài)單縱模激光諧振腔的改進(jìn)。
背景技術(shù)：
如圖1、2、3所示小功率輸出的半導(dǎo)體激光泵浦全固態(tài)單縱模激光諧振腔可采用多種選頻方式如短腔選單縱模方式，如圖1中由半導(dǎo)體激光器1、耦合鏡組2、激光晶體3、端面腔鏡4組成。F-P選單縱模方式，如圖2中由半導(dǎo)體激光器1、耦合鏡組2、激光晶體3、F-P標(biāo)準(zhǔn)具4、端面腔鏡5組成。復(fù)合腔單縱模方式，如圖3中由半導(dǎo)體激光器1、耦合鏡組2、激光晶體3、復(fù)合腔鏡4、端面腔鏡5組成。短腔選單縱模方式要限制腔長，也就是說不僅要限制激光晶體的長度，而且也限制在腔內(nèi)插入其他元器件，故而功率很小且運轉(zhuǎn)形式單一；F-P選單縱模方式中F-P標(biāo)準(zhǔn)具的插入損耗很大，同樣限制激光轉(zhuǎn)換效率；復(fù)合腔選單縱模方式中，復(fù)合腔鏡的一個表面上需鍍制對應(yīng)激光波長的部分反射膜，且對復(fù)合腔鏡和端面腔鏡的安裝精度要求很高，否則容易產(chǎn)生不穩(wěn)定輸出。

發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的是從激光諧振腔總體結(jié)構(gòu)著手解決已有半導(dǎo)體激光泵浦全固態(tài)單縱模激光諧振腔存在的問題，提出一種新的半導(dǎo)體激光泵浦全固態(tài)單縱模激光諧振腔模式，如圖4和圖5所示包括半導(dǎo)體激光器1、耦合鏡組2、激光晶體3、偏振片4、復(fù)合腔鏡5、端面腔鏡6、激光晶體支架7、偏振片支架8、復(fù)合腔鏡架9、耦合腔鏡座10、端面腔鏡架11、殼體12，其特征在于在耦合鏡組2與端面腔鏡6之間置有偏振片4和復(fù)合腔鏡5。
工作過程由半導(dǎo)體激光器發(fā)出泵浦光通過耦合鏡組入射所對應(yīng)的激光晶體，激發(fā)出的熒光在由端面腔鏡構(gòu)成的諧振腔內(nèi)振蕩內(nèi)可產(chǎn)生多縱模激光，激光除中心模之外的多余縱模成分在通過偏振片和復(fù)合腔鏡后被抑制，從而形成半導(dǎo)體激光泵浦全固態(tài)單縱模激光諧振腔。
本實用新型優(yōu)點本實用新型使得諧振腔有效提高光轉(zhuǎn)換效率，提供一種新的半導(dǎo)體激光泵浦全固態(tài)單縱模激光諧振腔模式。
(1)由于本實用新型在腔內(nèi)置有偏振片和復(fù)合腔鏡，采用偏振片和復(fù)合腔鏡綜合選模，則對腔長沒有限制，解決了短腔選單縱模方式限制腔長的問題，提高了激光輸出功率；(2)由于本實用新型采用偏振片與復(fù)合腔鏡的結(jié)構(gòu)，則對復(fù)合腔鏡表面可省去鍍制部分反射膜，提高了生產(chǎn)用料的經(jīng)濟(jì)性；(3)由于本實用新型采用偏振片和復(fù)合腔鏡雙選頻元件的綜合作用，解決背景技術(shù)安裝精度要求很高的問題，提高激光輸出的穩(wěn)定性；(4)由于本實用新型采用偏振片加工費用低于F-P標(biāo)準(zhǔn)具加工費用，可降低生產(chǎn)成本。


圖1背景技術(shù)中短腔選單縱模方式的半導(dǎo)體激光泵浦全固態(tài)單縱模激光諧振腔示意圖；圖背景技術(shù)：
中F-P選單縱模方式的半導(dǎo)體激光泵浦全固態(tài)單縱模激光諧振腔示意圖；圖3背景技術(shù)中復(fù)合腔單縱模方式的半導(dǎo)體激光泵浦全固態(tài)單縱模激光諧振腔示意圖；圖4本實用新型實施例1裝配示意圖圖5本實用新型實施例2裝配示意圖具體實施方式
1如圖4所示包括有半導(dǎo)體激光器1、耦合鏡組2、激光晶體3、偏振片4、復(fù)合腔鏡5、端面腔鏡6、激光晶體支架7、偏振片支架8、復(fù)合腔鏡架9、耦合鏡座10、端面腔鏡架11、殼體12。
半導(dǎo)體激光器1采用808nm波長輸出的半導(dǎo)體激光器；耦合鏡組2采用自聚焦透鏡，用膠固定在鋁合金制成的耦合鏡座10之上；激光晶體3采用NdYVO4晶體制成，其朝腔內(nèi)一側(cè)表面鍍制對應(yīng)激光波長的抗反膜，其基頻激光波長選擇1064nm、透過率T＞99.7％，而朝腔外一側(cè)表面鍍制對應(yīng)基頻激光波長的高反膜和對應(yīng)泵光波長的抗反膜，其基頻激光波長選擇1064nm、反射率R＞99.7％，泵光波長808nm、透過率T＞85％；用膠固定在鋁合金制成的激光晶體支架7之上；，偏振片4采用K9玻璃制成，以與光軸呈布魯斯特角，用膠固定在鋁合金制成的偏振片支架8；偏振片4還可由激光晶體或調(diào)Q開關(guān)晶體或倍頻晶體或其他光學(xué)晶體玻璃材料做成。
復(fù)合腔鏡5采用KTP倍頻晶體制成，一側(cè)表面鍍制對應(yīng)激光波長的抗反膜，其基頻激光波長選擇1064nm、透過率T＞99.7％，另一側(cè)表面鍍制SiO2保護(hù)膜，鍍制SiO2保護(hù)膜表面構(gòu)成復(fù)合腔鏡，用膠固定在鋁合金制成的復(fù)合腔鏡架9之上；復(fù)合腔鏡5還可由激光晶體或調(diào)Q開關(guān)晶體或倍頻晶體或其他光學(xué)晶體玻璃材料做成。
端面腔鏡6采用凹面腔鏡結(jié)構(gòu)，朝腔內(nèi)凹面表面鍍制對應(yīng)基頻激光波長的高反膜和對應(yīng)倍頻光波長的抗反膜，其基頻激光波長選擇1064nm、反射率R＞99.7％，倍頻光波長532nm、透過率T＞85％；、表面可加工成球面或非球面，用膠固定在鋁合金制成的端面腔鏡架11上；半導(dǎo)體激光器1、激光晶體支架7、偏振片支架8、復(fù)合腔鏡架9、耦合鏡座10、端面腔鏡架11都固定在鋁合金制成的殼體12之中。
具體實施方式
2如圖5所示包括有半導(dǎo)體激光器1、耦合鏡組2、激光晶體3、偏振片4、復(fù)合腔鏡5、端面腔鏡6、激光晶體支架7、偏振片支架8、復(fù)合腔鏡架9、耦合鏡座10、端面腔鏡架11、殼體12。
半導(dǎo)體激光器1采用808nm波長輸出的半導(dǎo)體激光器陣列器件；耦合鏡組2采用柱透鏡，用膠固定在鋁合金制成的耦合鏡座10上；激光晶體3采用NdYAG晶體制成，一側(cè)表面鍍制對應(yīng)激光波長的抗反膜，其激光波長選擇946nm、反射率R＞99.7％，另一側(cè)表面不鍍膜且與光軸呈布魯斯特角起到偏振片4作用，激光晶體3用導(dǎo)熱膠固定在鋁合金制成的激光晶體支架7即偏振片支架8之上；復(fù)合腔鏡5采用LBO倍頻晶體制成，一側(cè)表面鍍制對應(yīng)激光波長的抗反膜，其基頻激光波長選擇946nm、透過率T＞99.7％，另一側(cè)表面鍍制SiO2保護(hù)膜，鍍制SiO2保護(hù)膜表面構(gòu)成復(fù)合腔鏡，用膠固定在鋁合金制成的復(fù)合腔鏡架9之上；端面腔鏡6采用CrYAG制成，朝腔內(nèi)凹面表面鍍制對應(yīng)基頻激光波長的高反膜和對應(yīng)倍頻光波長的抗反膜，其基頻激光波長選擇946nm、反射率R＞99.7％，倍頻光波長473nm、透過率T＞85％、表面可加工成球面或非球面，用膠固定在鋁合金制成的端面腔鏡架11之上；半導(dǎo)體激光器1、激光晶體支架7即偏振片支架8、復(fù)合腔鏡架9、耦合鏡座10、端面腔鏡架11都固定在鋁合金制成的殼體12之中。
權(quán)利要求1.半導(dǎo)體激光泵浦全固態(tài)單縱模激光諧振腔包括有半導(dǎo)體激光器1、耦合鏡組2、激光晶體3、端面腔鏡6、激光晶體支架7、偏振片支架8、復(fù)合腔鏡架9、耦合腔鏡座10、端面腔鏡架11、殼體12，其特征在于還包括有偏振片4和復(fù)合腔鏡5，在耦合鏡組2與端面腔鏡6之間置有偏振片4和復(fù)合腔鏡5。
專利摘要本實用新型是半導(dǎo)體激光泵浦全固態(tài)單縱模激光諧振腔,包括:半導(dǎo)體激光器、耦合鏡組、激光晶體、偏振片、復(fù)合腔鏡、端面腔鏡、激光晶體支架、偏振片支架、復(fù)合腔鏡架、輸出腔鏡座、端面腔鏡架、殼體,在諧振腔體內(nèi)同時含有偏振片和復(fù)合腔鏡二種選縱模器件。本實用新型由于沒有對腔長的限制,可提高輸出功率;由于復(fù)合腔鏡可利用腔內(nèi)不鍍抗反膜表面制成,提高生產(chǎn)用料的經(jīng)濟(jì)性;由于采用雙選頻元件綜合作用,可提高輸出穩(wěn)定性;由于偏振片加工費用低于F－P標(biāo)準(zhǔn)具加工費用,可降低生產(chǎn)成本。
文檔編號H01S3/08GK2507167SQ0123423
公開日2002年8月21日 申請日期2001年8月23日 優(yōu)先權(quán)日2001年8月23日
發(fā)明者葉子青, 鄭權(quán) 申請人:中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所