專利名稱：基于網(wǎng)絡(luò)的光掩模數(shù)據(jù)輸入接口和用于制造光掩模的指令生成器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光掩模的制造，更具體地講，涉及到一種基于網(wǎng)絡(luò)的系統(tǒng)，該系統(tǒng)允許遠(yuǎn)程顧客提供圖形設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)和光掩模規(guī)格，并且該系統(tǒng)使用該數(shù)據(jù)生成光掩模制造設(shè)備使用的指令。
背景技術(shù)：
光掩模是構(gòu)成半導(dǎo)體制造的光刻過(guò)程所不可缺少的部分。光掩模是包含有集成電路各層的精確圖像的石英或玻璃板。在光刻膠曝光期間，它們被用于可選地把這些圖像轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體晶片上。
光掩模在它們的設(shè)計(jì)時(shí)需要復(fù)雜的數(shù)學(xué)算法并且使用尖端的制造技術(shù)。為了制造光掩模，諸如芯片制造者這樣的顧客向光掩模制造商提供電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)和光掩模規(guī)格。該數(shù)據(jù)被用于生成適用于制造設(shè)備的格式的光掩模圖形數(shù)據(jù)。然后，每個(gè)光掩模通過(guò)使用光刻技術(shù)而建立。
常規(guī)地，顧客根據(jù)對(duì)其設(shè)計(jì)系統(tǒng)來(lái)說(shuō)是方便于該顧客的格式來(lái)提供數(shù)據(jù)的。該電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)通常都來(lái)自CAD類(lèi)型系統(tǒng)，并給每個(gè)圖形提供一種設(shè)計(jì)。該數(shù)據(jù)可以通過(guò)諸如軟盤(pán)、磁帶、盒式磁帶等各種介質(zhì)、或調(diào)制解調(diào)器連接而交付給制造商。該光掩模規(guī)格可以通過(guò)一些類(lèi)型的物理介質(zhì)采用硬拷貝形式或者電子形式交付給制造商，或以電子方式交付給制造商。不能保證顧客所提供的數(shù)據(jù)是完全的或者保證它最終可制造出光掩模。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)方面是一種基于網(wǎng)絡(luò)的生成供光掩模制造設(shè)備使用的指令的方法。顧客的計(jì)算機(jī)建立到廣域網(wǎng)的遠(yuǎn)程連接，并且該網(wǎng)絡(luò)也可由制造商的本地網(wǎng)絡(luò)訪問(wèn)。把一系列訂單輸入顯示屏下載到顧客計(jì)算機(jī)。這些顯示屏提示顧客輸入光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)，該光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)確定用于至少一個(gè)光掩模的各個(gè)層、圖形、布局、蝕刻數(shù)據(jù)。該光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)被傳送到光掩模制造商的本地網(wǎng)絡(luò)上。該本地網(wǎng)絡(luò)在遠(yuǎn)程連接期間驗(yàn)證該光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)。該本地網(wǎng)絡(luò)還生成響應(yīng)該光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)的兩種類(lèi)型的指令蝕刻指令和設(shè)備控制指令。該蝕刻指令操作來(lái)自該顧客的圖形設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)以便提供蝕刻圖形。蝕刻圖形數(shù)據(jù)和控制指令這兩者可以用電子方式交付給制造設(shè)備。
本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于，本地網(wǎng)絡(luò)直接響應(yīng)顧客提供的光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)而工作。這就不需要光掩模制造商輸入的數(shù)據(jù)。該方法“在線”發(fā)生，其意思是，通過(guò)使用該數(shù)據(jù)的電子傳輸來(lái)接收和處理光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)。該數(shù)據(jù)以希望的格式加以接收，從而不需要對(duì)該命令生成器的輸入進(jìn)行重新格式化。
這種輸入光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)的方法大大地減少了制造光掩模所需要的時(shí)間，例如當(dāng)采用常規(guī)方式手工蝕刻圖形時(shí)，該蝕刻過(guò)程會(huì)花費(fèi)比使用本發(fā)明多達(dá)70倍的時(shí)間。使用本發(fā)明，蝕刻指令可以隨著顧客的訂單數(shù)據(jù)的輸入而被生成。
同時(shí)，本發(fā)明保證讓顧客提供用于制造和統(tǒng)計(jì)所必須的全部信息。信息采用統(tǒng)一的格式加以接收。對(duì)訂單數(shù)據(jù)加以審核以便保證可制造出光掩模。訂單輸入過(guò)程可以很容易地與用于統(tǒng)計(jì)所需的計(jì)費(fèi)系統(tǒng)集成起來(lái)。


圖1A表示按照本發(fā)明的用于獲取光掩模數(shù)據(jù)并生成制造指令的基于網(wǎng)絡(luò)的系統(tǒng)。
圖1B表示圖1A的系統(tǒng)所遵循的方法。
圖1C表示圖1B的訂單輸入步驟。
圖2-7表示與圖1C的訂單輸入步驟相一致的并被下載到該顧客計(jì)算機(jī)的各顯示屏。
圖8表示在圖1B的計(jì)費(fèi)數(shù)據(jù)步驟期間用于輸入計(jì)費(fèi)信息的顯示屏。
圖9表示用于顯示圖1B的驗(yàn)證步驟的結(jié)果的驗(yàn)證屏。
圖10A和10B表示訂單一覽顯示，它被交付給制造廠。
本發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明系統(tǒng)概述圖1A表示按照本發(fā)明的基于網(wǎng)絡(luò)的用于獲得光掩模數(shù)據(jù)并生成制造指令的系統(tǒng)。圖1B表示由圖1A的系統(tǒng)所執(zhí)行的方法。
假設(shè)計(jì)算機(jī)102、108、114和118具有實(shí)現(xiàn)在此所描述的各功能的處理資源和存儲(chǔ)器。還假設(shè)它們具有相關(guān)聯(lián)的程序存儲(chǔ)器，以便存儲(chǔ)那些功能的編程。
如圖1A所表示的，假設(shè)該顧客有顧客計(jì)算機(jī)102以及電路設(shè)計(jì)計(jì)算機(jī)104和電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)庫(kù)106。該顧客的計(jì)算機(jī)設(shè)備可以在該顧客的本地網(wǎng)絡(luò)。
在圖1A所表示的計(jì)算設(shè)備的其它部分是光掩模制造商運(yùn)行的本地網(wǎng)絡(luò)100的設(shè)備。在圖1A的示例中，該設(shè)備的全部都在相同的局域網(wǎng)(LAN)中，但是其它的處理結(jié)構(gòu)也是可行的。
對(duì)于在該計(jì)算機(jī)設(shè)備上的處理任務(wù)的分配，圖1A和1B只是可行的實(shí)施例中的一種。例如，制造商的本來(lái)網(wǎng)絡(luò)100上的計(jì)算機(jī)108、114和118執(zhí)行的各種處理任務(wù)是可以在更少的計(jì)算機(jī)上執(zhí)行的。如另一個(gè)例子，盡管圖1B表示步驟120-124都由單個(gè)接口計(jì)算機(jī)108所執(zhí)行，然而這些步驟也可以在不同的計(jì)算機(jī)設(shè)備上執(zhí)行。盡管下面的描述提到由本地網(wǎng)絡(luò)100的各特定計(jì)算機(jī)來(lái)執(zhí)行某些處理任務(wù)，然而更一般的意思卻是，這些任務(wù)可以考慮由本地網(wǎng)絡(luò)100來(lái)執(zhí)行。
顧客計(jì)算機(jī)102提供通過(guò)遠(yuǎn)程連接對(duì)接口計(jì)算機(jī)108的訪問(wèn)。該網(wǎng)絡(luò)訪問(wèn)可以經(jīng)由任何LAN或WAN。通常該遠(yuǎn)程連接經(jīng)由廣域網(wǎng)(WAN)。例如，該網(wǎng)絡(luò)可以是因特網(wǎng)，并且顧客計(jì)算機(jī)102可以建立到某個(gè)網(wǎng)站的連接。在此所描述的各用戶接口屏幕被下載到顧客計(jì)算機(jī)102上。接口計(jì)算機(jī)108接收該顧客在這些屏上所輸入的光掩模數(shù)據(jù)。各種網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器和其它設(shè)備會(huì)根據(jù)網(wǎng)絡(luò)的類(lèi)型而變化；在圖1A中僅圖示了終端站。在因特網(wǎng)連接的情況下，顧客計(jì)算機(jī)102除了網(wǎng)站瀏覽器之外就不必有其它特殊的編程。
該顧客還有電路設(shè)計(jì)計(jì)算機(jī)104。電路設(shè)計(jì)計(jì)算機(jī)104存儲(chǔ)用于生成顧客集成電路設(shè)計(jì)的編程。計(jì)算機(jī)102和104可以是相同的設(shè)備，不過(guò)計(jì)算機(jī)102通常是PC類(lèi)型的計(jì)算機(jī)，而計(jì)算機(jī)104是UNIX類(lèi)型的工作站。該顧客的電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在顧客設(shè)計(jì)程序庫(kù)的數(shù)據(jù)庫(kù)106中。如圖1B的步驟127所表示的，在制造光掩模之前的某一點(diǎn)上，該設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)被轉(zhuǎn)移到顧客設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)庫(kù)110以便被制造商的本地網(wǎng)絡(luò)所訪問(wèn)。
接口計(jì)算機(jī)108存儲(chǔ)編程以便通過(guò)網(wǎng)絡(luò)連接從顧客接收光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)。換句話說(shuō)，是使用具有特定格式而組織的數(shù)據(jù)的訂單輸入形式來(lái)在線地從顧客接收光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)。該數(shù)據(jù)可立即用于在制造商的本地網(wǎng)絡(luò)的其它計(jì)算設(shè)備上。接口計(jì)算機(jī)108還存儲(chǔ)使用光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)的編程以便設(shè)計(jì)滿足所有的制造需求以及顧客的規(guī)格的一個(gè)或多個(gè)光掩模。圖1B的步驟120-124表示由接口計(jì)算機(jī)108所執(zhí)行的訂單輸入過(guò)程和其它過(guò)程。
計(jì)算機(jī)108把光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)庫(kù)112。該數(shù)據(jù)被命令生成器114所訪問(wèn)，該命令生成器114用于生成被交付給光掩模蝕刻設(shè)備的指令。具體地講，命令生成器114生成被交付到蝕刻機(jī)116的蝕刻指令。蝕刻機(jī)116還從數(shù)據(jù)庫(kù)110接收?qǐng)D形設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)并生成蝕刻圖形數(shù)據(jù)。該命令生成器114還生成控制指令，該控制指令指明在哪里和如何寫(xiě)圖形。
該蝕刻圖形數(shù)據(jù)和控制指令被交付到可由制造設(shè)備訪問(wèn)的存儲(chǔ)器，該制造設(shè)備產(chǎn)生用于集成電路的每個(gè)層的光掩模。在如今的制造環(huán)境下，制造設(shè)備是計(jì)算機(jī)控制的光刻設(shè)備。
計(jì)費(fèi)文件生成器118被用于把光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)耦合到制造商的計(jì)費(fèi)系統(tǒng)。它選擇合適的數(shù)據(jù)并采用可以被計(jì)費(fèi)系統(tǒng)所使用的格式來(lái)安排該數(shù)據(jù)。
光掩模規(guī)格的在線輸入圖1C表示在圖1B的步驟121期間所執(zhí)行的系列步驟。在該步驟期間，接口計(jì)算機(jī)108使用形式類(lèi)型訂單輸入接口來(lái)接收光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)。如在下面所解釋的，假設(shè)該計(jì)算機(jī)已經(jīng)通過(guò)訪問(wèn)網(wǎng)絡(luò)從而下載了各用戶接口屏。這些屏在顧客計(jì)算機(jī)102上顯示，并且指導(dǎo)該顧客來(lái)輸入光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)。
圖1C的步驟131-136中的每一步都與不同的用戶接口屏幕相關(guān)聯(lián)。這些屏幕表示在圖2-7。為了提交一份光掩模訂單，該顧客連續(xù)訪問(wèn)這些屏幕，并且按照每個(gè)屏的提示來(lái)輸入數(shù)據(jù)。
顯示屏采用這樣的方式安排，該形式以允許計(jì)算機(jī)108生成那份訂單的合適指令的形式把數(shù)據(jù)交付給接口計(jì)算機(jī)108。這些屏幕具有各種接口特征，這些接口特征對(duì)于那些使用窗口式操作系統(tǒng)的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)是非常熟悉的。這些特征包括數(shù)據(jù)輸入框、下拉菜單以及選擇按鈕和欄。幫助圖標(biāo)允許顧客查看幫助信息。
圖2表示登錄屏幕20，它是顧客所看到的第一個(gè)屏幕。當(dāng)通過(guò)因特網(wǎng)進(jìn)行訪問(wèn)時(shí)，在響應(yīng)顧客輸入的光掩模制造商的URL時(shí)該屏幕就被顯示。
每份訂單要求顧客首先要有一個(gè)帳戶。新顧客鏈接21允許該顧客建立帳戶并由此來(lái)接收用戶名和口令。此時(shí)，該顧客還可以建立通過(guò)網(wǎng)絡(luò)訪問(wèn)顧客設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)庫(kù)110。這樣允許該顧客把電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)從顧客的數(shù)據(jù)庫(kù)106以電子方式轉(zhuǎn)移到制造商維護(hù)的數(shù)據(jù)庫(kù)110。如下面所解釋的，這種轉(zhuǎn)移不必通過(guò)用來(lái)建立訂單所使用的同一個(gè)網(wǎng)絡(luò)連接來(lái)實(shí)現(xiàn)。
為輸入訂單，用戶被提示要輸入用戶名和口令。菜單22允許用戶請(qǐng)求建立一份新訂單。
圖3A和3B表示通用的工具數(shù)據(jù)屏幕30。在屏幕30頂部的導(dǎo)航欄30a告訴顧客在設(shè)計(jì)過(guò)程中的當(dāng)前位置，并允許顧客在所有的屏幕之間航行。
訂單拷貝框31允許顧客在進(jìn)展中重新加載一份訂單或者根據(jù)老訂單建立新訂單。這樣就減少顧客重新輸入在新訂單可重用的數(shù)據(jù)的必要了。
顧客信息框32提示顧客輸入相關(guān)的聯(lián)系信息。質(zhì)量控制框33提供了用于諸如模到模、手動(dòng)、模到數(shù)據(jù)庫(kù)的質(zhì)量控制類(lèi)型的下拉菜單。文檔框34提供用于選擇文檔的下拉菜單。
層和圖形框35提示該用戶命名器件，并指定層數(shù)和圖形數(shù)。工具和材料框37提供產(chǎn)品類(lèi)型、玻璃類(lèi)型、玻璃尺寸和厚度以及涂層的下拉菜單。還可以輸入反射率規(guī)格。薄膜框36允許顧客指令指定薄膜數(shù)據(jù)。還可以輸入各種步進(jìn)數(shù)據(jù)。
“建立并向前”按鈕38提示顧客保存在屏幕30上所輸入的信息并進(jìn)展到下一屏幕。在屏幕30上所輸入的信息被轉(zhuǎn)移到后續(xù)的屏幕。
圖4表示層數(shù)據(jù)屏幕40，層數(shù)據(jù)屏幕40提示顧客輸入每一層的數(shù)據(jù)。屏幕40有僅一層的層數(shù)據(jù)行41。附加層的附加行41會(huì)被顯示，從而就有與在屏幕30的框35中所指定的層一樣多的行41。對(duì)于每一層，都提示顧客要輸入標(biāo)題、條形碼、套刻容差(registerationtolerance)以及其它的層信息。
圖5表示圖形數(shù)據(jù)屏幕50。對(duì)在屏幕30中所指定的每個(gè)圖形都顯示一組圖形數(shù)據(jù)行51。在組51的第一行上，顧客輸入圖形名，該圖形名標(biāo)識(shí)該圖形為主要、測(cè)試、框架、或其它圖形類(lèi)型，顧客還指明該圖形是否要蝕刻。在組51的后續(xù)行上，對(duì)于每一層，顧客要指明布局?jǐn)?shù)量、布局位置以及其它蝕刻數(shù)據(jù)。臨界尺度(CD)數(shù)據(jù)允許制造商審核光掩模是否滿足顧客的規(guī)格。盡管在圖的例子中僅有單獨(dú)一層(以及因此在組51只有兩行)，但是可為附加層生成附加行。
圖6表示圖形布局屏幕60。使用屏幕60，顧客指明在哪里布置每個(gè)圖形。如行61所指示的，圖形數(shù)據(jù)從屏幕50被轉(zhuǎn)移，從而使屏幕60通過(guò)每一層和每一層上的每個(gè)圖形而向前推進(jìn)。
圖7表示圖形蝕刻屏幕70。數(shù)據(jù)再次從前一屏幕被轉(zhuǎn)移。盡管圖7表示單個(gè)圖形的數(shù)據(jù)輸入，但是行71可隨數(shù)據(jù)輸入框?yàn)槊總€(gè)圖形重復(fù)。數(shù)據(jù)庫(kù)輸入行72提示顧客要輸入用于標(biāo)識(shí)和定位顧客數(shù)據(jù)庫(kù)10中的圖形數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)。屏幕70上的附加框73提示顧客輸入比例、GDS、以及窗口限制數(shù)據(jù)。
訂單輸入之外的處理再次參考圖1A和1B，圖解了除了顧客訂單輸入(步驟121)之外的各種步驟。如下面所解釋的，這些步驟與訂單輸入同時(shí)發(fā)生或在其后發(fā)生。
步驟125在步驟121之后發(fā)生。顧客在訂單輸入過(guò)程期間輸入的數(shù)據(jù)作為光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)在光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)庫(kù)112中。
步驟122從顧客接收計(jì)費(fèi)數(shù)據(jù)。該步驟可以發(fā)生在與步驟121相同的網(wǎng)絡(luò)連接期間。在本說(shuō)明書(shū)的該例子中，計(jì)費(fèi)數(shù)據(jù)屏幕緊隨屏幕70之后。
圖8表示計(jì)費(fèi)數(shù)據(jù)屏幕80，該屏幕用于接收步驟122的計(jì)費(fèi)數(shù)據(jù)。顧客被提示要輸入用于光掩模的計(jì)費(fèi)的各種信息。
步驟123是驗(yàn)證步驟，它可以在步驟121期間或其后執(zhí)行。即，步驟123可以在顧客仍然處于在線狀態(tài)的同時(shí)執(zhí)行。在步驟123，接口計(jì)算機(jī)108處理訂單數(shù)據(jù)以便確保它是有效的。驗(yàn)證技術(shù)的例子包括確保顧客在步驟120期間已經(jīng)輸入了所有要求的數(shù)據(jù)。如另一個(gè)例子，可以檢查顧客數(shù)據(jù)以便確保所指定的圖形適合于該層。該驗(yàn)證的詳細(xì)描述在下面闡述。
圖9表示驗(yàn)證屏幕90。屏幕90指示步驟123已經(jīng)被執(zhí)行了。如果步驟123的驗(yàn)證測(cè)試中的某一測(cè)試已失敗，則會(huì)在屏幕90以不同的消息通知顧客，并給顧客返回到導(dǎo)致驗(yàn)證失敗的數(shù)據(jù)的屏幕，從而可以糾正錯(cuò)誤。
圖10A和10B表示訂單一覽屏幕100，它被交付到要生產(chǎn)光掩模的工廠。訂單一覽可以被發(fā)送到顧客計(jì)算機(jī)102。屏幕100可以用電子方式交付或者打印并以硬拷貝的形式交付。
在步驟124，選擇訂單輸入數(shù)據(jù)的某些項(xiàng)并安排用于計(jì)費(fèi)系統(tǒng)。例如，訂單數(shù)據(jù)可以格式化成“半文件”，它與訂單信息用的半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)相一致。專門(mén)的計(jì)費(fèi)數(shù)據(jù)生成器118可以用于該任務(wù)。然而，如在上面結(jié)合圖1A和1B所聲明的，由本地網(wǎng)絡(luò)100的計(jì)算設(shè)備所執(zhí)行的處理任務(wù)的劃分可以在本發(fā)明的不同實(shí)施例中有變化。
步驟126隨著顧客數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)(在步驟121期間)而被執(zhí)行。在步驟126期間，命令生成器114接收輸入到屏幕70的蝕刻數(shù)據(jù)。它使用該數(shù)據(jù)以及存儲(chǔ)在其程序存儲(chǔ)器中的蝕刻算法來(lái)生成蝕刻指令。
對(duì)于有些制造系統(tǒng)，用于特定組圖形的蝕刻指令指的是“cinc文件”。下述的指令代表一部分cinc文件，這些指令描述單個(gè)圖形。
<pre listing-type="program-listing"><![CDATA[！Fracture_1clearAllocate_rects 500000Allocate_traps 500000Allocate_space 20000000Format MEBESMebes MACHINE 3Compact FLYRule PARAGONBorder OUTSIDEInput $INPUT_PATH/JEFF.GDSResolution 0Structure MAINLayers 1，3，5，7Limits(-12000，-15000，12000，15000)Scale 1Output $OUTPUT_PATH/dpi000000_22.cfltDo]]></pre>
完整的cinc文件會(huì)為每個(gè)圖形提供相似的描述。
蝕刻指令的自動(dòng)生成消除了與手工輸入相關(guān)聯(lián)的錯(cuò)誤。這些蝕刻指令可以隨著顧客輸入圖形和蝕刻數(shù)據(jù)而“在線”生成。如在上面結(jié)合圖1A和1B所聲明的，這些蝕刻指令是結(jié)合顧客的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)使用的，以便生成可以被制造設(shè)備識(shí)別的光掩模圖形。
在步驟127，命令生成器114從數(shù)據(jù)庫(kù)112接收光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)。它使用該數(shù)據(jù)來(lái)為制造設(shè)備生成指令。所得到的結(jié)果是一組計(jì)算機(jī)指令，這些計(jì)算機(jī)指令將使圖形被寫(xiě)到光掩模板上。這些指令有時(shí)是指“工作平臺(tái)”。
在步驟128，把顧客電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)交付到制造商。如果該設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)是以電子形式發(fā)送的，則它可以通過(guò)與用于訂單輸入的網(wǎng)絡(luò)的那個(gè)連接不同的連接來(lái)發(fā)送。例如，可以使用保密的FTP文件傳輸。該設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在顧客庫(kù)110中。
光掩模規(guī)格和計(jì)費(fèi)數(shù)據(jù)的驗(yàn)證如在上面所陳述的，在步驟123，顧客的光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)可以在線驗(yàn)證，即當(dāng)在它被輸入時(shí)就進(jìn)行驗(yàn)證。
下述的驗(yàn)證過(guò)程是在步驟123期間所執(zhí)行的一組任務(wù)的一個(gè)例子。如下面所表示的，許多驗(yàn)證任務(wù)是能夠加以分類(lèi)的。某些任務(wù)確定是否輸入了規(guī)定的數(shù)據(jù)。另一些任務(wù)確定數(shù)據(jù)是否采用指定的格式，即小數(shù)范圍。其它任務(wù)確定數(shù)據(jù)是否滿足指定尺度判據(jù)，諸如圖形是否適于掩?；蛘卟季质欠駥?duì)準(zhǔn)。
對(duì)于在圖3A-9所表示每一個(gè)的屏幕，進(jìn)行下述驗(yàn)證任務(wù)通用工具數(shù)據(jù)屏幕30驗(yàn)證要存在顧客姓名器件名稱層數(shù)圖形數(shù)驗(yàn)證在整數(shù)范圍層數(shù)(1-99)圖形數(shù)(1-99)驗(yàn)證在小數(shù)范圍反射率(0.0-100)特殊驗(yàn)證Email地址層數(shù)據(jù)屏幕40驗(yàn)證要存在層名特殊驗(yàn)證層名要驗(yàn)證是唯一的圖形數(shù)據(jù)屏幕50驗(yàn)證要存在每層的圖形布局?jǐn)?shù)驗(yàn)證在整數(shù)范圍每層圖形布局?jǐn)?shù)(0-99)驗(yàn)證在小數(shù)范圍地址單位(0.0-10.0)最終CD尺寸(任意小數(shù))CD公差(0.0-1000.0)圖形布局屏幕60驗(yàn)證為小數(shù)布局X(任意小數(shù))布局Y(任意小數(shù))圖形蝕刻屏幕70驗(yàn)證在小數(shù)范圍蝕刻數(shù)據(jù)比例(0.0-10000.0)特殊驗(yàn)證蝕刻數(shù)據(jù)庫(kù)名是有效文件名的為合格蝕刻頂部結(jié)構(gòu)要驗(yàn)證為有效文件名窗口限值的右上X減去左下X的絕對(duì)值要驗(yàn)證為小于或等于玻璃的寬度窗口限值的右上Y減去左下Y的絕對(duì)值要驗(yàn)證為小于或等于玻璃的高度的合格計(jì)費(fèi)數(shù)據(jù)屏幕80特殊驗(yàn)證帳戶管理email、計(jì)費(fèi)信息emai、以及運(yùn)送email要驗(yàn)證以確保它們都是有效的email地址驗(yàn)證屏幕90顧客姓名器件聯(lián)系姓名聯(lián)系電話聯(lián)系傳真聯(lián)系email產(chǎn)品類(lèi)型玻璃類(lèi)型玻璃尺寸/厚度玻璃涂層缺陷判據(jù)繪圖尺寸層數(shù)圖形數(shù)驗(yàn)證屏幕字段訂單業(yè)務(wù)信息郵局號(hào)碼計(jì)費(fèi)地址計(jì)費(fèi)城市計(jì)費(fèi)州計(jì)費(fèi)國(guó)家計(jì)費(fèi)郵編計(jì)費(fèi)聯(lián)系計(jì)費(fèi)聯(lián)系電話計(jì)費(fèi)聯(lián)系傳真計(jì)費(fèi)聯(lián)系email運(yùn)送地址運(yùn)送城市運(yùn)送州運(yùn)送國(guó)家運(yùn)送郵編運(yùn)送聯(lián)系運(yùn)送聯(lián)系電話運(yùn)送傳真運(yùn)送聯(lián)系email獲取層數(shù)通孔層并驗(yàn)證每層獲取層屬性陣列驗(yàn)證屏幕字段層信息掩模標(biāo)題條形碼文本(如果根據(jù)前面的信息是需要的)掩模奇偶性標(biāo)題奇偶性下一層驗(yàn)證圖形數(shù)據(jù)圖形名稱要求的蝕刻判定是否需要蝕刻驗(yàn)證屏幕字讀昂蝕刻信息注意這些僅是頂部字段，而不依賴于層數(shù)據(jù)庫(kù)名頂部結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)比例窗口限值-LLX
窗口限值-LLY窗口限值-URX窗口限值-URY獲取并驗(yàn)證圖形陣列初始化總體布局驗(yàn)證圖形陣列數(shù)據(jù)(圖形和蝕刻)驗(yàn)證圖形信息地址單位最終CD尺寸CD數(shù)字化數(shù)字化數(shù)據(jù)品質(zhì)驗(yàn)證蝕刻信息GDS層輸入圖形文件名獲取并驗(yàn)證布局?jǐn)?shù)驗(yàn)證布局?jǐn)?shù)據(jù)獲取布局屬性形成錯(cuò)誤消息的根驗(yàn)證屏幕字段布局信息X值Y值下一布局如果圖形層布局?jǐn)?shù)＞0則結(jié)束下一圖形層下一圖形盡管已經(jīng)詳細(xì)地描述了本發(fā)明，但是應(yīng)該理解，可以進(jìn)行各種改變、替換和改造而不背離由所附的權(quán)利要求書(shū)限定的本發(fā)明的實(shí)質(zhì)和保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種生成供光掩模制造設(shè)備使用的指令的計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)，包括接口計(jì)算機(jī)，該接口計(jì)算機(jī)可以被遠(yuǎn)程顧客計(jì)算機(jī)通過(guò)遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)連接而訪問(wèn)，并且在該網(wǎng)絡(luò)連接期間，該接口計(jì)算機(jī)運(yùn)行時(shí)執(zhí)行下述任務(wù)從顧客計(jì)算機(jī)接收光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)，驗(yàn)證該光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)以及把驗(yàn)證結(jié)果下載到該顧客計(jì)算機(jī)上；其中，該光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)至少要識(shí)別用于至少一個(gè)光掩模的各層、圖形、布局以及蝕刻數(shù)據(jù)；與接口計(jì)算機(jī)通信的光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)庫(kù)，它運(yùn)行時(shí)用于存儲(chǔ)該光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)；與光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)庫(kù)通信的命令生成器，它運(yùn)行時(shí)用于響應(yīng)該光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)以生成蝕刻指令和控制指令；用于存儲(chǔ)光掩模設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的顧客設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)庫(kù)；用于接收蝕刻指令和設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)并使用該數(shù)據(jù)來(lái)生成蝕刻圖形數(shù)據(jù)的蝕刻機(jī)。
2.權(quán)利要求1的網(wǎng)絡(luò)，其中，該遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)連接是互聯(lián)網(wǎng)連接。
3.權(quán)利要求1的網(wǎng)絡(luò)，其中，顧客設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)庫(kù)具有以電子形式從顧客接收設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的通信接口。
4.權(quán)利要求3的方法，其中，設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)是在光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)同一個(gè)網(wǎng)絡(luò)連接期間被接收的。
5.權(quán)利要求1的網(wǎng)絡(luò)，還包括計(jì)費(fèi)數(shù)據(jù)生成器，它從光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)中選擇計(jì)費(fèi)數(shù)據(jù)，并采用適合于計(jì)費(fèi)系統(tǒng)的格式安排計(jì)費(fèi)數(shù)據(jù)。
6.權(quán)利要求5的網(wǎng)絡(luò)，其中，該計(jì)費(fèi)數(shù)據(jù)生成器把該計(jì)費(fèi)數(shù)據(jù)安排為半文件。
7.權(quán)利要求1的網(wǎng)絡(luò)，其中，命令生成器運(yùn)行時(shí)還把控制指令交付到可由制造設(shè)備訪問(wèn)的存儲(chǔ)器。
8.權(quán)利要求1的網(wǎng)絡(luò)，其中，蝕刻機(jī)運(yùn)行時(shí)還把蝕刻圖形數(shù)據(jù)交付到可由制造設(shè)備訪問(wèn)的存儲(chǔ)器。
9.權(quán)利要求1的網(wǎng)絡(luò)，其中，蝕刻指令采用cinc文件的形式。
10.權(quán)利要求1的網(wǎng)絡(luò)，其中，接口計(jì)算機(jī)通過(guò)確定數(shù)據(jù)是否已經(jīng)按照指定的格式輸入來(lái)驗(yàn)證該光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)。
11.權(quán)利要求1的網(wǎng)絡(luò)，其中，接口計(jì)算機(jī)通過(guò)確定格數(shù)據(jù)是否與尺度判據(jù)一致來(lái)驗(yàn)證該光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)。
12.權(quán)利要求1的網(wǎng)絡(luò)，其中，接口計(jì)算機(jī)通過(guò)驗(yàn)證蝕刻數(shù)據(jù)來(lái)驗(yàn)證光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)。
13.一種生成由光掩模制造設(shè)備所使用的指令的基于網(wǎng)絡(luò)的方法，包括如下步驟通過(guò)遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)連接把一系列顯示屏幕下載到顧客計(jì)算機(jī)上，每個(gè)網(wǎng)絡(luò)屏幕運(yùn)行時(shí)提示顧客輸入光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)；其中，光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)至少要識(shí)別用于至少一個(gè)光掩模的層、圖形、布局以及蝕刻數(shù)據(jù)；通過(guò)遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)連接，在光掩模制造商的本地網(wǎng)絡(luò)上的本地計(jì)算設(shè)備上，從顧客計(jì)算機(jī)接收光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)；以及使用本地計(jì)算設(shè)備執(zhí)行下述任務(wù)在遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)連接期間驗(yàn)證光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)；響應(yīng)光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)生成蝕刻指令；從顧客接收?qǐng)D形設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；使用蝕刻指令以及圖形設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)生成蝕刻圖形數(shù)據(jù)；以及生成用于制造設(shè)備的控制指令。
14.權(quán)利要求13的方法，其中，遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)連接是互聯(lián)網(wǎng)連接。
15.權(quán)利要求13的方法，其中，本地計(jì)算設(shè)備以電子形式從顧客接收?qǐng)D形設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)。
16.權(quán)利要求15的方法，其中，設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)是在與光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)同一個(gè)的網(wǎng)絡(luò)連接期間接收的。
17.權(quán)利要求13的方法，其中，下載步驟還實(shí)現(xiàn)下載一個(gè)屏幕顯示以便在運(yùn)行時(shí)提示使用輸入計(jì)費(fèi)數(shù)據(jù)，以及還包括如下步驟，以適合于計(jì)費(fèi)系統(tǒng)的格式安排計(jì)費(fèi)數(shù)據(jù)，并把計(jì)費(fèi)數(shù)據(jù)交付到計(jì)費(fèi)系統(tǒng)。
18.權(quán)利要求13的方法，其中，屏幕包括至少一個(gè)層數(shù)據(jù)屏幕和圖形數(shù)據(jù)屏幕，以及其中，圖形數(shù)據(jù)屏幕根據(jù)提供給層數(shù)據(jù)屏的數(shù)據(jù)列出各層。
19.權(quán)利要求13的方法，其中，各個(gè)屏幕至少包括層數(shù)據(jù)屏幕和圖形布局屏幕，并且其中，圖形布局屏幕根據(jù)提供給層數(shù)據(jù)屏幕的數(shù)據(jù)列出各層。
20.權(quán)利要求13的方法，其中，各個(gè)屏幕至少包括圖形數(shù)據(jù)屏幕和蝕刻屏幕，并且其中，蝕刻屏幕根據(jù)提供給圖形數(shù)據(jù)屏幕的數(shù)據(jù)列出各圖形。
21.權(quán)利要求13的方法，其中，本地計(jì)算設(shè)備還把蝕刻圖形數(shù)據(jù)和控制指令交付給制造設(shè)備。
22.權(quán)利要求13的方法，其中，本地計(jì)算設(shè)備包括接口計(jì)算機(jī)、命令生成器、以及在至少一臺(tái)計(jì)算機(jī)上實(shí)現(xiàn)的蝕刻機(jī)。
23.權(quán)利要求13的方法，其中，本地計(jì)算設(shè)備還生成由制造商計(jì)費(fèi)系統(tǒng)所使用的計(jì)費(fèi)文件。
24.權(quán)利要求13的方法，其中，本地計(jì)算設(shè)備通過(guò)確定數(shù)據(jù)是否已經(jīng)采用指定的格式輸入來(lái)驗(yàn)證光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)。
25.權(quán)利要求13的方法，其中，本地計(jì)算設(shè)備通過(guò)確定數(shù)據(jù)是否與尺度判據(jù)一致來(lái)驗(yàn)證光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)。
26.權(quán)利要求13的方法，其中，本地計(jì)算設(shè)備通過(guò)驗(yàn)證蝕刻數(shù)據(jù)來(lái)驗(yàn)證光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)。
全文摘要
一種用于根據(jù)顧客輸入的光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)而生成用在光掩模制造設(shè)備的指令的計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)。通常通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)連接將一系列訂單輸入屏下載到遠(yuǎn)程顧客的計(jì)算機(jī)上。該顧客被提示要輸入光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)，該光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)被交付到制造商的本地網(wǎng)絡(luò)的計(jì)算機(jī)設(shè)備中。該制造商的計(jì)算設(shè)備驗(yàn)證光掩模規(guī)格數(shù)據(jù)，并使用該數(shù)據(jù)來(lái)生成蝕刻指令和設(shè)備控制指令。該蝕刻指令與來(lái)自顧客的圖形設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)一起被發(fā)送到蝕刻機(jī)，它用于提供蝕刻圖形數(shù)據(jù)。然后，可以把該控制指令和蝕刻圖形數(shù)據(jù)電子交付到該制造設(shè)備。
文檔編號(hào)H01L21/027GK1452749SQ01815170
公開(kāi)日2003年10月29日 申請(qǐng)日期2001年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2000年7月5日
發(fā)明者T·T·科格德?tīng)? J·S·徹普, J·E·根特里 申請(qǐng)人:杜邦光掩公司