專利名稱：振動片、振子、振蕩器以及電子儀器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及例如由石英等制成的振動片、具有該振動片的振子、具備該振子的振蕩器和電子儀器。
背景技術(shù)：
過去，作為振動片的音叉型石英振動片是例如圖17所示地構(gòu)成。
即，音叉型石英振動片10具有基座11以及從該基座11突出地形成的兩根臂部12、13。并且，該兩根臂部12、13上形成有貫通溝槽12a、13a。
也就是說，如圖17的A-A’剖視圖、即圖18所示，臂部12、13上形成有貫通溝槽12a、13a。
在這種臂部12、13上具有貫通溝槽12a、13a的音叉型石英振動片10上，可如圖18所示，在貫通溝槽12a、13a的內(nèi)側(cè)配置激勵電極12c、13c。
因此，與配置在臂部12、13的外側(cè)的激勵電極12d、13d之間可有效地產(chǎn)生電場，電場能夠以良好的效率使臂部12、13振動，故成為振動損耗小的音叉型石英振動片10。
但是，當對這種具有貫通溝槽12a、13a的音叉型石英振動片10施加電壓而使臂部12、13振動時，由于臂部12、13上形成有貫通溝槽12a、13a，故存在臂部12、13整體剛性不足，CI值(晶體阻抗或者等價串聯(lián)電阻)增大的問題。
此外，臂部12、13的振動是如圖19所示地進行的，僅貫通溝槽12a、13a的兩個端部振動，臂部12、13整體不易產(chǎn)生彎曲運動。
這種貫通溝槽12a、13a兩個端部的振動是例如以16kHz附近的頻率振動，與要求音叉型石英振動片10為32.768kHz相比，頻率低很多。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供即使振動臂部上設(shè)有貫通溝槽頻率也不會降低、CI值不會增大的振動片，具有該振動片的振子，具備該振子的振蕩器以及電子儀器。
根據(jù)本發(fā)明，作為最佳實施形式，提供以下(1)～(10)的振動片。
(1)一種具有基座以及從該基座突出地形成的振動臂部的振動片，其特征是，所說振動臂部上形成有貫通溝槽，并且該貫通溝槽內(nèi)設(shè)有剛性增強部。
(2)所說振動片的特征是，所說剛性增強部是橫跨所說貫通溝槽內(nèi)而形成的連接部。
(3)所說振動片的特征是，所說貫通溝槽具有長邊和短邊，所說連接部是橫跨所說長邊之間將二者連接起來的橫撐。
(4)所說振動片的特征是，所說橫撐的厚度方向上的長度與所說貫通溝槽的深度方向上的長度大致相同。
(5)所說振動片的特征是，所說橫撐的厚度方向上的長度短于所說貫通溝槽的深度方向上的長度。
(6)所說振動片的特征是，通過半蝕刻使所說橫撐短于所說貫通溝槽的深度方向上的長度。
(7)所說振動片的特征是，所說橫撐配置有多個。
(8)所說振動片的特征是，所說基座上形成有切入部。
(9)所說振動片的特征是，在所說基座上設(shè)有用來固定該振動片的固定區(qū)域，并且，所說切入部設(shè)在該固定區(qū)域與所說振動臂部之間的基座上。
(10)所說振動片的特征是，所說振動片是由以約32kHz進行振動的石英形成的音叉振動片。


圖1是本發(fā)明的第1實施形式所涉及的音叉型石英振動片的概略圖。
圖2是圖1的A-A’剖視圖。
圖3是圖1的音叉型石英振動片的振動狀態(tài)的概略說明圖。
圖4是示出溝槽深度與頻率等之間的關(guān)系的附圖。
圖5是示出溝槽深度與CI值等之間的關(guān)系的附圖。
圖6是圖1的音叉型石英振動片的制造工藝的流程圖。
圖7(a)是對圖1的音叉型石英振動片的一種制造工藝加以展示的概略立體圖，(b)是對圖1的音叉型石英振動片的另一種制造工藝加以展示的概略立體圖。
圖8是對圖1的音叉型石英振動片的另一種制造工藝加以展示的概略立體圖。
圖9是第1實施形式的變型例所涉及的音叉型石英振動片的概略立體圖。
圖10(a)是圖1的音叉型石英振動片的另一個變型例的局部概略立體圖，(b)是圖1的音叉型石英振動片的另一個變型例的局部概略立體圖。
圖11是圖9的音叉型石英振動片的制造工藝的流程圖。
圖12(a)是對圖9的音叉型石英振動片的一種工藝加以展示的概略立體圖，(b)是對圖9的音叉型石英振動片的另一種工藝加以展示的概略立體圖。
圖13是對本發(fā)明的第2實施形式所涉及的陶瓷封裝音叉型振子的構(gòu)成加以展示的概略剖視圖。
圖14是本發(fā)明的第3實施形式所涉及的數(shù)字移動電話的電路框圖。
圖15是對本發(fā)明的第4實施形式所涉及的數(shù)字音叉石英振蕩器的構(gòu)成加以展示的概略剖視圖。
圖16是對本發(fā)明的第5實施形式所涉及的缸體型音叉振子的構(gòu)成加以展示的概略剖視圖。
圖17是現(xiàn)有的音叉型石英振動片的概略圖。
圖18是圖17的A-A’向概略剖視圖。
圖19是圖17的臂部的振動的說明圖。
具體實施例方式
對于上述(1)至(10)的各發(fā)明，提供以下最佳實施形式。但本發(fā)明并不限定于這些實施形式。
(11)一種振子，具有基座以及從該基座突出地形成的振動臂部的振動片被收容在封裝殼中，其特征是，在所說振動片的所說振動臂部上形成有貫通溝槽，并且該貫通溝槽內(nèi)設(shè)有剛性增強部。
(12)所說振子的特征是，所說封裝殼呈箱狀形成。
(13)所說振子的特征是，所說封裝殼以所謂的缸體型形成。
(14)一種振蕩器，具有基座以及從該基座突出地形成的振動臂部的振動片和集成電路被收容在封裝殼內(nèi)，其特征是，在所說振動片的所說振動臂部上形成有貫通溝槽，并且該貫通溝槽內(nèi)設(shè)有剛性增強部。
(15)一種電子儀器，屬于移動電話裝置，振動片是具有基座以及從該基座突出地形成的振動臂部的振動片，振子是該振動片被收容在封裝殼內(nèi)的振子，移動電話裝置將該振子連接在控制部上加以使用，其特征是，在所說振動片的所說振動臂部上形成有貫通溝槽，并且該貫通溝槽內(nèi)設(shè)有剛性增強部。
下面，結(jié)合附圖對本發(fā)明的最佳實施形式進行詳細說明。
以下所述的實施形式是本發(fā)明的最佳實施例，因此從技術(shù)上附帶有各種限定，但作為本發(fā)明的范圍，只要在以下的說明中沒有特別對本發(fā)明加以限定的記載，則不受這些實施形式的限定。
圖1是對作為本發(fā)明的第1實施形式所涉及的振動片的音叉型石英振動片100加以展示的附圖。
音叉型石英振動片100例如是將石英的單晶切成所謂的石英Z片而形成。此外，圖1所示音叉型石英振動片100例如是以32.768kHz發(fā)出信號的振動片，故是極為小型的振動片。
這樣的音叉型石英振動片100如圖1所示，具有基座110。并且，從該基座110向圖中的上方突出地配置有作為振動臂部的兩根音叉臂121、122。
此外，在該音叉臂121、122上，如圖1所示地形成有貫通溝槽123、124。
圖2是圖1的B-B’向概略剖視圖。如圖2所示，形成有貫通溝槽123、124。
上述音叉型石英振動片100的基座110如圖1所示，其整體大致呈片狀形成。
并且，該基座110上，如圖1所示，在基座110的兩側(cè)在兩處形成有切入部125。
該切入部125、125的位置如圖1所示，位于音叉臂121、122的貫通溝槽123、124的下端部的下方，固此，該切入部125的存在，不會妨礙音叉臂部121、122的振動。
此外，圖1中以斜線表示的部分是將音叉型石英振動片100固定在封裝殼上時實際進行固定的固定區(qū)域111。
如圖1所示，切入部125的下端部配置在圖1中位于固定區(qū)域111上方處，因此，切入部125不會影響固定區(qū)域111，不會對音叉型石英振動片100固定在封裝殼上的狀態(tài)產(chǎn)生不良影響。
如上所述，基座110上所設(shè)置的切入部125設(shè)置在不會對音叉型石英振動片100的音叉臂121、122的振動產(chǎn)生不良影響的位置上。并且，切入部125還設(shè)置在不會對音叉型石英振動片100固定在封裝殼上的狀態(tài)產(chǎn)生不良影響的位置上。
設(shè)置在這種位置上的切入部125，設(shè)置在音叉臂121、122的溝槽部123、124所在位置下方的基座110一側(cè)。因此，當音叉臂121、122振動時，由于切入部125的存在，經(jīng)溝槽部123、124泄漏的振動，不容易傳遞到基座110的固定區(qū)域111上。
因此，泄漏的振動不容易傳遞到固定區(qū)域111上，不容易產(chǎn)生能量損失，過去，振動片元件之間CI值的分散性，其標準偏差在10KΩ以上，而根據(jù)本發(fā)明，標準偏差大幅度降低到了1KΩ。
另外，由于圖1所示音叉型石英振動片100的音叉臂121、122上，如圖1所示地形成有貫通溝槽123、124。因此，可配置用來使音叉臂123、124振動的激勵電極121a、122a，如圖2所示。
即，不僅能夠在音叉臂123、124的外側(cè)，還能夠在貫通溝槽123、124側(cè)配置激勵電極121a、122a，因此，在被夾在上述激勵電極121a、122a中間的音叉臂123、124部分上，電場能夠以良好的效率分布，有效地產(chǎn)生振動。
因此，如上所述具有貫通溝槽123、124的音叉型石英振動片100成為振動損耗小的高精度的振動片。
如上所述，雖然具有貫通溝槽123、124的音叉型石英振動片100是振動損耗小的高精度的振動片，但由于音叉臂121、122上形成有貫通溝槽123、124，因此，形成有該貫通溝槽123、124的音叉臂121、122的兩側(cè)部分，其剛性總嫌不足。
如上所述，該剛性的不足將導致CI值增大。此外，如圖19所示，當振動片的頻率降低到16kHz程度時，難以產(chǎn)生圖1所示音叉型石英振動片100的原本為32.768kHz的頻率，這是導致振動片不合格的原因之一。
為此，在本實施形式中，在音叉臂121、122上所形成的貫通溝槽123、124內(nèi)，如圖1所示地設(shè)置有橫跨貫通溝槽123、124的長邊之間的、作為剛性增強部的橫撐126、126。該橫撐126、126是與貫通溝槽123、124的短邊大約平行地進行設(shè)置的。
此外，如圖1所示，該橫撐126、126是在貫通溝槽123、124的長邊的大約中央部位將貫通溝槽123、124兩分地進行設(shè)置的。
因此，通過在貫通溝槽123、124上設(shè)置該橫撐126，可使得上述剛性不足的貫通溝槽123、124兩側(cè)的音叉臂121、122部分的剛性得到增強，CI值降低。
此外，由于設(shè)置了橫撐126，音叉臂121、122的振動的應力能夠通過橫撐126進行傳遞。這樣，如圖3所示，音叉臂121、122整體易于產(chǎn)生彎曲運動。而且，由于易于產(chǎn)生該彎曲運動，頻率不會降低，例如作為音叉型石英振動片100，能夠產(chǎn)生32.768kHz的振動，CI值也降低。
下面，對于貫通溝槽123、124上設(shè)有橫撐和未設(shè)有橫撐的兩種情況，就與頻率和CI值之間的關(guān)系進行具體的說明。
圖4是示出音叉臂121、122上所形成的溝槽的深度與頻率之間的關(guān)系的附圖。圖4中，虛線所表示的是未形成有橫撐的狀態(tài)下，隨著溝槽的深度的增加，頻率發(fā)生的變化。此外還示出，當溝槽深度為45μm時溝槽貫通。
由圖示可知，未形成有橫撐時，隨著溝槽深度的加深，頻率呈現(xiàn)下降趨勢，特別是在溝槽貫通的45μm處，頻率急劇降低。
而在該溝槽貫通的狀態(tài)下，圖中的C所示為配置有橫撐時的點。
由圖示可知，通過設(shè)置橫撐，頻率從22kHz以下提高到了26kHz以上。該橫撐相對于音叉臂121、122的厚度90μm是以5μm的厚度進行設(shè)置的。
因此，若使該橫撐的厚度如圖1所示與音叉臂121、122相同，則頻率將進一步提高，更接近圖1所示音叉型石英振動片100的振動頻率32.768kHz。
圖5是示出音叉臂121、122上所形成的溝槽的深度與CI值之間的關(guān)系的附圖。圖5中，虛線所表示的是在未形成有橫撐的狀態(tài)下，隨著溝槽的深度的增加，CI值發(fā)生的變化。此外還示出，深度為45μm時溝槽貫通。
由圖示可知，未形成有橫撐時，隨著溝槽深度的加深，CI值呈現(xiàn)下降趨勢，特別是在溝槽貫通的45μm處，CI值急劇增大。
而在該溝槽貫通的狀態(tài)下，圖中的d所示為設(shè)置有橫撐時的點。
由圖示可知，通過設(shè)置橫撐，CI值從140.0kΩ以上降低到了在允許范圍之內(nèi)的100kΩ以下。
該橫撐與圖4同樣，也是相對于音叉臂121、122的厚度90μm以5μm厚度設(shè)置的。
因此，若使該橫撐的厚度如圖1所示與音叉臂121、122相同，則CI值將進一步降低，成為精度更高的音叉型石英振動片100。
本實施形式的音叉型石英振動片100如上構(gòu)成，而下面就其制造工藝進行說明。
圖6是對圖1所示音叉型石英振動片100的制造工藝的特征部分加以展示的流程圖。
即，首先，如ST1所示，形成音叉型石英振動片的外形與貫通溝槽的抗蝕劑圖案。之后，如ST2所示，進行音叉型石英振動片的外形與貫通溝槽部分的Au·Cr的蝕刻。圖7(a)示出該狀態(tài)。
之后，如圖6的ST3所示，進行音叉型石英振動片的外形和貫通溝槽的石英部分的蝕刻。圖7(b)示出該狀態(tài)。
然后，如ST4所示，將Au·Cu剝離。圖8示出該狀態(tài)，形成了圖1所示的音叉型石英振動片100。之后，如ST5所示，形成電極而制造出具備電極的音叉型石英振動片100。
如上所述，可通過與通常的光刻工藝相同的工藝很容易地在音叉臂121、122的貫通溝槽123、124上形成橫撐126。
圖9是示出第1實施形式的變型例所涉及的音叉型石英振動片200的附圖。本變型例所涉及的音叉型石英振動片200與圖1的音叉型石英振動片100相比，只是橫撐226的構(gòu)成不同，因此，凡與圖1的音叉型石英振動片100相同的構(gòu)成部分，賦予相同的編號并省略其說明，下面，圍繞不同點進行說明。
圖9的音叉型石英振動片200的橫撐226，其形成的厚度薄于音叉臂121、122。即，橫撐226僅在未及貫通溝槽123、124的上端部及下端部的中央部位形成。
除了圖9所示的橫撐226之外，也可以如圖10(a)、(b)所示構(gòu)成橫撐326、426。圖10是對橫撐326、426及其附近部分加以展示的概略立體圖。
在本變型例的場合，以下述半蝕刻工藝進行制造。圖11是對圖9及圖10所示音叉型石英振動片200的制造工藝的特征部分加以展示的流程圖。
圖11中的ST6至ST8與上述圖6的ST1至ST3相同。此外。圖11的ST12和ST13與圖6的ST4和ST5相同。
即，圖11的流程圖中，ST9至ST11插在圖6的ST3和ST4之間。因此，下面對該ST9至ST11進行說明。
該ST9至ST11為上述橫撐226等的半蝕刻工藝。即，形成橫撐等的抗蝕劑圖案(ST9)，之后，進行橫撐等的Au·Cr的蝕刻(ST10)。圖12(a)示出該狀態(tài)。
之后，進行橫撐等的石英的蝕刻(ST11)，該石英的蝕刻應與圖9所示的橫撐226的深度相符。
因此，在形成圖10(a)或圖10(b)的橫撐326、426的形狀的場合，應與它們的形狀相符地進行半蝕刻。
然后，與圖6同樣地進行Au·Cr剝離(圖11、ST12)，制造出圖9所示的音叉型石英振動片200。并且，經(jīng)過電極形成(圖11、ST13)工藝，制造出具備電極的音叉型石英振動片200等。
圖13是示出作為本發(fā)明的第2實施形式所涉及的振子的陶瓷封裝音叉型振子300的附圖。
該陶瓷封裝音叉型振子300使用的是上述第1實施形式的音叉型石英振動片100。因此，對于音叉型石英振動片100的構(gòu)成及作用等，使用相同的編號并省略其說明。
圖13是對陶瓷封裝音叉型振子300的構(gòu)成加以展示的概略剖視圖。如圖13所示，陶瓷封裝音叉型振子300具有內(nèi)部具有空間的箱狀的封裝殼310。
該封裝殼310在其底部具備主體部311。該主體部311例如由氧化鋁等陶瓷等形成。
在主體部311上設(shè)有封閉部312，該封閉部312由與主體部311相同的材料形成。此外，在該封閉部312的上端部上載置有蓋體313，由上述主體部311、封閉部312以及蓋體313形成了中空的箱體。
在如上形成的封裝殼310的主體部311上設(shè)有封裝殼側(cè)電極314。在該封裝殼側(cè)電極314上，經(jīng)導電性粘接劑固定形成有電極的音叉型石英振動片100的基座110的固定區(qū)域111。
該音叉型石英振動片100具有圖1所示的構(gòu)成，故而是頻率不會降低、CI值不會增大的高精度的振動片。
圖14是對作為本發(fā)明的第3實施形式所涉及的電子儀器的數(shù)字移動電話400加以展示的概略圖。
該數(shù)字移動電話400使用的是上述第2實施形式的陶瓷封裝音叉型振子300和音叉型石英振動片100。
因此，對于陶瓷封裝音叉型振子300和音叉型石英振動片100的構(gòu)成、作用等，使用相同的編號并省略其說明。
圖14所示為數(shù)字移動電話400的電路框圖，如圖14所示，以數(shù)字移動電話400發(fā)送信號的場合，當使用者將自己的聲音輸入麥克風時，信號經(jīng)過脈寬調(diào)制·編碼電路和調(diào)制器/解調(diào)器電路，從發(fā)送電路、天線開關(guān)經(jīng)發(fā)送天線發(fā)送信號。
而由他人的電話發(fā)送來的信號經(jīng)天線進行接收，經(jīng)過天線開關(guān)、信號濾波器，從接收電路輸入調(diào)制器/解調(diào)器電路。之后，經(jīng)過調(diào)制或解調(diào)的信號經(jīng)脈寬調(diào)制·編碼電路，變成聲音從揚聲器輸出。
其中，設(shè)置有對天線開關(guān)和調(diào)制器/解調(diào)器電路等進行控制的控制器。
該控制器除了進行上述控制之外，還要對作為顯示部的LCD和作為輸入數(shù)字等的輸入部的按鍵以及RAM、ROM等進行控制，因此要求其精度要高。
為了滿足上述要求，使用了上述陶瓷封裝音叉型振子300。
該陶瓷封裝音叉型振子300由于具有圖1所示的音叉型石英振動片100，故而是頻率不會降低、CI值不會增大的高精度的振動片。
因此，裝有該陶瓷封裝音叉型振子300的數(shù)字移動電話400是具有頻率不會降低、CI值不會增大的高精度的振動片的、高性能的數(shù)字移動電話。
圖15是對作為本發(fā)明的第4實施形式所涉及的振蕩器的數(shù)字音叉石英振蕩器500加以展示的附圖。
該數(shù)字音叉石英振蕩器500，其諸多部分的構(gòu)成與上述第2實施形式的陶瓷封裝音叉型振子300相同。因此，對于陶瓷封裝音叉型振子300和音叉型石英振動片100的構(gòu)成、作用等，使用相同的編號并省略其說明。
圖15所示數(shù)字音叉石英振蕩器500，是在圖13所示陶瓷封裝音叉振子300的音叉型石英振動片100的下方處，在主體部311上如圖15所示地配置集成電路510而成。
即，作為數(shù)字音叉石英振蕩器500，當配置在其內(nèi)部的音叉型石英振動片100振動時，該振動將輸入集成電路510，之后，取出既定的頻率信號，從而發(fā)揮振蕩器的功能。
即，數(shù)字音叉石英振蕩器500中所收容的音叉型石英振動片100，其構(gòu)成如圖1所示，因此，成為具有頻率不會降低、CI值不會增大的高精度振動片的、高精度的振蕩器。
圖16是對本發(fā)明的第5實施形式所涉及的缸體型音叉振子600加以展示的附圖。
該缸體型音叉振子600使用了上述第1實施形式的音叉型石英振動片100。因此，對于音叉型石英振動片100的構(gòu)成、作用等，使用相同的編號并省略其說明。
圖16是對缸體型音叉振子600的構(gòu)成加以展示的概略圖。
如圖16所示，缸體型音叉振子600具有用來在其內(nèi)部容納音叉型石英振動片100的金屬制造的帽630。將該帽630擠壓到座620上，使其內(nèi)部保持真空狀態(tài)。
此外，配置有用來對被收容在帽630內(nèi)的音叉型石英振動片100進行保持的兩根引線610。
當對這樣的缸體型音叉振子600從外部通入電流等時，音叉型石英振動片100的音叉臂121、122振動，發(fā)揮振子的功能。
此時，音叉型石英振動片100如圖1所示地構(gòu)成，因而是頻率不會降低、CI值不會增大的高精度的振動片，因此裝有該振動片的缸體型音叉振子600也是小型的、高性能的振子。
此外，在上述各實施形式和變型例中，是對于橫撐126在各貫通溝槽123、124上各自配置一個的例子進行了說明，但并不限定于此，也可以在各個貫通溝槽123、124上分別配置多個橫撐126。
另外，在上述各實施形式中，是以32.768kHz的音叉型石英振動片為例進行了說明，但顯然，也能夠應用于15kHz至155kHz的音叉型石英振動片中。
顯然，上述實施形式所涉及的音叉型石英振動片100不僅能夠應用于上述例子中，而且還能夠應用于其它電子儀器、移動式信息終端、以及電視機、影像設(shè)備、收錄機、個人計算機等內(nèi)裝時鐘的設(shè)備以及鐘表中。
此外，本發(fā)明并不限定于上述實施形式，在不超出權(quán)利要求的范圍內(nèi)可以進行各種變更。并且，對于上述實施形式的構(gòu)成，可以將其一部分省略，也可以改為以上未述及的其它任意的組合。
如以上所說明的，根據(jù)本發(fā)明，能夠提供即使振動臂部上設(shè)置有貫通溝槽，頻率也不會降低、CI值也不會增大的振動片，具有該振動片的振子，以及具備該振子的振蕩器以及移動電話裝置。
權(quán)利要求
1.一種具有基座以及從該基座突出地形成的振動臂部的振動片，其特征是，所說振動臂部上形成有貫通溝槽，并且該貫通溝槽內(nèi)設(shè)有剛性增強部。
2.如權(quán)利要求1所說的振動片，其特征是，所說剛性增強部是橫跨所說貫通溝槽內(nèi)而形成的連接部。
3.如權(quán)利要求2所說的振動片，其特征是，所說貫通溝槽具有長邊和短邊，所說連接部是橫跨所說長邊之間將二者連接起來的橫撐。
4.如權(quán)利要求3所說的振動片，其特征是，所說橫撐的厚度方向上的長度與所說貫通溝槽的深度方向上的長度大致相同。
5.如權(quán)利要求3所說的振動片，其特征是，所說橫撐的厚度方向上的長度短于所說貫通溝槽的深度方向上的長度。
6.如權(quán)利要求5所說的振動片，其特征是，通過半蝕刻使所說橫撐短于所說貫通溝槽的深度方向上的長度。
7.如權(quán)利要求3所說的振動片，其特征是，所說橫撐設(shè)有多個。
8.如權(quán)利要求1所說的振動片，其特征是，所說基座上形成有切入部。
9.如權(quán)利要求8所說振動片，其特征是，在所說基座上設(shè)有用來固定該振動片的固定區(qū)域，并且，所說切入部設(shè)在該固定區(qū)域與所說振動臂部之間的基座上。
10.如權(quán)利要求1至9之一的權(quán)利要求所說的振動片，其特征是，所說振動片是由以約32kHz進行振動的石英形成的音叉振動片。
11.一種振子，具有基座以及從該基座突出地形成的振動臂部的振動片被收容在封裝殼中，其特征是，在所說振動片的所說振動臂部上形成有貫通溝槽，并且該貫通溝槽內(nèi)設(shè)有剛性增強部。
12.如權(quán)利要求11所說的振子，其特征是，所說封裝殼呈箱狀形成。
13.如權(quán)利要求11所說的振子，其特征是，所說封裝殼以所謂的缸體型形成。
14.一種振蕩器，具有基座以及從該基座突出地形成的振動臂部的振動片和集成電路被收容在封裝殼內(nèi)，其特征是，在所說振動片的所說振動臂部上形成有貫通溝槽，并且該貫通溝槽內(nèi)設(shè)有剛性增強部。
15.一種電子儀器，屬于移動電話裝置，振動片是具有基座以及從該基座突出地形成的振動臂部的振動片，振子是該振動片被收容在封裝殼內(nèi)的振子，移動電話裝置將該振子連接在控制部上加以使用，其特征是，在所說振動片的所說振動臂部上形成有貫通溝槽，并且該貫通溝槽內(nèi)設(shè)有剛性增強部。
全文摘要
一種振動片,具有基座以及從該基座突出地形成的振動臂部,在所說振動臂部上形成有貫通溝槽,并且在該貫通溝槽內(nèi)設(shè)有剛性增強部,因此能夠提供頻率不會降低、CI值不會增大的振動片。
文檔編號H01L41/09GK1374153SQ0210673
公開日2002年10月16日 申請日期2002年3月4日 優(yōu)先權(quán)日2001年3月2日
發(fā)明者坂田淳一郎, 北村文孝, 棚谷英雄 申請人:精工愛普生株式會社