專利名稱：濾色器、基板、電光裝置、電子儀器、成膜方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及濾色器及其制造方法、濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板及其制造方法、發(fā)光用基板及其制造方法、發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板及其制造方法、具有上述濾色器或上述發(fā)光用基板的電光機(jī)器及電子儀器和成膜方法和成膜裝置。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，隨著電腦特別是筆記本電腦的進(jìn)步，對(duì)液晶彩色顯示器的需求急劇增加。與此對(duì)應(yīng)地確立以適中的價(jià)格提供漂亮的顯示器的方式就成了當(dāng)務(wù)之急。另外，近年來(lái)，從環(huán)境保護(hù)的觀點(diǎn)考慮，也要求改善或變換為降低環(huán)境負(fù)擔(dān)的工藝。
以往，作為濾色器的1個(gè)制造方法，人們知道的有以下方法。在該方法中，首先，作為遮光材料，利用光刻法和腐蝕法將鉻的薄膜蝕刻成圖形，形成黑矩陣。然后，在利用旋轉(zhuǎn)涂敷法等按各色將紅、綠、籃感光性樹(shù)脂涂敷到該黑矩陣間的間隙后，可以光刻法蝕刻成圖形。這樣，便可構(gòu)成紅、綠、籃著色層(點(diǎn))相鄰地配置的彩色矩陣。在該制造方法中，對(duì)紅、綠、籃各色必須反復(fù)進(jìn)行光刻工序，另外，蝕刻各色的圖形時(shí)要除去不需要的部分，損耗感光性材料，所以，得到的是環(huán)境負(fù)擔(dān)重的成本高的濾色器。
因此，作為解決這樣的制造方法的問(wèn)題的方法，在例如特開(kāi)昭59-75205號(hào)公報(bào)中提案了應(yīng)用噴墨法的方法。在該方法中，在透明基板上將用對(duì)墨水的濕潤(rùn)性低的材料將用以分割著色層的形成區(qū)域的間壁形成為矩陣狀后，通過(guò)使用噴墨法將非感光性色材涂布到間壁內(nèi)，形成著色層。在該制造方法中，可以降低光刻工序的煩雜性，以及降低色材的損耗。以后，又提案和多個(gè)利用噴墨法等液滴材料噴出法涂布非感光性色材的工藝制造濾色器的制造方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的旨在提供包含通過(guò)噴出液滴材料而形成的具有充分的遮光性的遮光區(qū)域和沒(méi)有混色的透過(guò)區(qū)域從而沒(méi)有像素缺陷及色調(diào)模糊的對(duì)比度高的濾色器和發(fā)光用基板。
本發(fā)明的其他目的在于，提供通過(guò)噴出液滴材料可以使色材高精度地附著到指定區(qū)域的濾色器的制造方法以及發(fā)光用基板的制造方法。
本發(fā)明的其他目的在于，提供為了通過(guò)噴出液滴材料使色材高精度地附著到指定區(qū)域而使用的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板及其制造方法和發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板及其制造方法。
另外，本發(fā)明的其他目的在于，提供上述濾色器、發(fā)光用基板或者使用它們用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的液滴材料著落精度的測(cè)定方法。
此外，本發(fā)明的其他目的在于，提供具有上述濾色器或發(fā)光用基板的電光裝置和電子儀器。
此外，本發(fā)明的其他目的在于，提供使用液滴材料的成膜方法和成膜裝置。
1.濾色器和液滴材料著落精度的測(cè)定方法(A)本發(fā)明的濾色器的特征在于具有包括遮光區(qū)域和由上述遮光區(qū)域分割的透過(guò)區(qū)域的像素區(qū)域、位于上述像素區(qū)域以外的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域、設(shè)置在上述遮光區(qū)域的第1遮光層、設(shè)置在上述透過(guò)區(qū)域的色要素、設(shè)置在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域的第2遮光層和用以至少覆蓋上述第2遮光層而設(shè)置在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域的著落精度試驗(yàn)用層，在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中，設(shè)置了由上述第2遮光層分割的評(píng)價(jià)區(qū)域。
在本發(fā)明的濾色器中，所謂像素區(qū)域，就是包含濾色器使用的像素的區(qū)域。另外，所謂著落精度試驗(yàn)用區(qū)域，在濾色器中就是包含不形成像素或者不作為濾色器的像素使用的像素的區(qū)域。另外，所謂評(píng)價(jià)區(qū)域，就是在液滴材料的著落精度試驗(yàn)中成為液滴材料的著落精度的評(píng)價(jià)對(duì)象的區(qū)域。
按照本發(fā)明的濾色器，通過(guò)在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域設(shè)置上述評(píng)價(jià)區(qū)域，可以在上述著落精度試驗(yàn)用層上進(jìn)行液滴材料的著落精度試驗(yàn)，所以，在像素區(qū)域中可以使液滴材料高精度地附著到指定區(qū)域。因此，本發(fā)明的濾色器的特征是，在上述遮光區(qū)域具有充分的遮光性，并且在上述透過(guò)區(qū)域沒(méi)有混色，所以，沒(méi)有像素缺陷及色調(diào)模糊，對(duì)比度高。詳細(xì)情況，在后面所述的本發(fā)明的實(shí)施例中說(shuō)明。
(B)本發(fā)明的濾色器的特征在于具有包括遮光區(qū)域和由上述遮光區(qū)域包圍的透過(guò)區(qū)域的像素區(qū)域、通過(guò)噴出液滴材料而在上述透過(guò)區(qū)域形成的色要素、與上述像素區(qū)域相鄰配置并且具有遮光區(qū)域的周邊區(qū)域和包含在上述周邊區(qū)域中并且通過(guò)由上述周邊區(qū)域的遮光區(qū)域包圍而具有與上述透過(guò)區(qū)域的形狀對(duì)應(yīng)的形狀的評(píng)價(jià)區(qū)域。
按照本發(fā)明的濾色器，通過(guò)設(shè)置上述評(píng)價(jià)區(qū)域，可以在該區(qū)域上進(jìn)行液滴材料的著落精度試驗(yàn)，所以，在上述像素區(qū)域中可以使液滴材料高精度地附著到指定區(qū)域。因此，本發(fā)明的濾色器的特征是，在上述遮光區(qū)域具有充分的遮光性，并且在上述透過(guò)區(qū)域沒(méi)有混色，所以，沒(méi)有像素缺陷及色調(diào)模糊，對(duì)比度高。
(C)本發(fā)明的濾色器的特征在于具有包括遮光區(qū)域和由上述遮光區(qū)域包圍的透過(guò)區(qū)域的像素區(qū)域、通過(guò)噴出液滴材料而在上述透過(guò)區(qū)域形成的色要素、與上述像素區(qū)域相鄰配置并且具有遮光區(qū)域的周邊區(qū)域、包含在上述周邊區(qū)域中并且由上述周邊區(qū)域的遮光區(qū)域包圍的評(píng)價(jià)區(qū)域和用以覆蓋由上述評(píng)價(jià)區(qū)域包圍的區(qū)域而設(shè)置在上述周邊區(qū)域并且具有不沾上述液滴材料的性質(zhì)的層。
按照本發(fā)明的濾色器，通過(guò)設(shè)置用以覆蓋上述評(píng)價(jià)區(qū)域而設(shè)置在上述周邊區(qū)域并且具有不沾上述液滴材料的性質(zhì)的層，可以在該層上進(jìn)行液滴材料的著落精度試驗(yàn)，所以，在上述像素區(qū)域中可以使液滴材料高精度地附著到指定區(qū)域。因此，本發(fā)明的濾色器的特征是，在上述遮光區(qū)域具有充分的遮光性，并且在上述透過(guò)區(qū)域沒(méi)有混色，所以，沒(méi)有像素缺陷及色調(diào)模糊，對(duì)比度高。
(D)本發(fā)明的濾色器的特征在于具有包括遮光區(qū)域和由上述遮光區(qū)域包圍的多個(gè)透過(guò)區(qū)域的像素區(qū)域、通過(guò)噴出液滴材料而在上述透過(guò)區(qū)域形成的色要素、與上述像素區(qū)域相鄰配置并且具有遮光區(qū)域的周邊區(qū)域和包含在上述周邊區(qū)域中并且由上述周邊區(qū)域的遮光區(qū)域包圍的評(píng)價(jià)區(qū)域，排列著上述多個(gè)透過(guò)區(qū)域和上述評(píng)價(jià)區(qū)域。
按照本發(fā)明的濾色器，通過(guò)排列上述多個(gè)透過(guò)區(qū)域和上述評(píng)價(jià)區(qū)域，可以在上述評(píng)價(jià)區(qū)域上進(jìn)行液滴材料的著落精度試驗(yàn)，所以，在上述像素區(qū)域中可以使液滴材料高精度地附著到指定區(qū)域。因此，本發(fā)明的濾色器的特征是，在上述遮光區(qū)域具有充分的遮光性，并且在上述透過(guò)區(qū)域沒(méi)有混色，所以，沒(méi)有像素缺陷及色調(diào)模糊，對(duì)比度高。
另外，使用本發(fā)明的濾色器的液滴材料著落精度的測(cè)定，在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中，通過(guò)使液滴材料著落到上述著落精度試驗(yàn)用層上形成凸?fàn)顚佣M(jìn)行。按照該測(cè)定方法，在本發(fā)明的濾色器中，在設(shè)置在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域的上述著落精度試驗(yàn)用層上形成凸?fàn)顚印?br> 本發(fā)明的濾色器可以實(shí)施以下的(1)～(3)的形式。
(1)構(gòu)成上述像素區(qū)域的上述遮光區(qū)域進(jìn)而包含存儲(chǔ)層，上述存儲(chǔ)層可以設(shè)置在設(shè)置于上述像素區(qū)域中的上述第1遮光層上。
按照該結(jié)構(gòu)，通過(guò)在設(shè)置在上述像素區(qū)域的上述第1遮光層上設(shè)置上述存儲(chǔ)層，可以分別獨(dú)立地設(shè)定遮光功能和色要素的分割功能，所以，可以可靠地發(fā)揮兩者的功能。結(jié)果，本發(fā)明的濾色器就不易發(fā)生由不充分的遮光性或混色而引起的像素缺陷。此外，通過(guò)這樣分割功能，可以從很寬的范圍選擇用于構(gòu)成設(shè)置在上述像素區(qū)域的上述第1遮光層和上述存儲(chǔ)層的最佳的材料，從而有利于降低生產(chǎn)成本。特別是由金屬層構(gòu)成上述第1遮光層時(shí)，用很小的膜厚便可得到均勻而充分的遮光性。
(2)設(shè)置在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域的上述第2遮光層可以具有與設(shè)置在像素區(qū)域的上述第1遮光層相同的圖形。按照該結(jié)構(gòu)，對(duì)本發(fā)明的濾色器的上述著落精度試驗(yàn)用層進(jìn)行液滴材料著落精度試驗(yàn)時(shí)，設(shè)定在上述像素區(qū)域中使液滴材料著落到形成色要素的區(qū)域的情況，便可評(píng)價(jià)液滴材料的著落精度。
(3)在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中，可以設(shè)置游標(biāo)層。按照該結(jié)構(gòu)，對(duì)上述著落精度試驗(yàn)用層進(jìn)行液滴材料著落試驗(yàn)時(shí)，可以根據(jù)在上述著落精度試驗(yàn)用層上形成的液滴材料層與上述游標(biāo)層的線段位置明確地識(shí)別液滴材料的著落位置的偏離。
這時(shí)，可以就游標(biāo)層設(shè)置到上述評(píng)價(jià)區(qū)域內(nèi)的指定的位置。
另外，這時(shí)上述游標(biāo)層可以使用與上述第2遮光層相同的材料形成。
2.濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板和液滴材料著落精度的測(cè)定方法本發(fā)明的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板具有包括遮光層和用以至少覆蓋該遮光層而形成的著落精度試驗(yàn)用層的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域，在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中，設(shè)置了由上述遮光層分割的評(píng)價(jià)區(qū)域。
按照本發(fā)明，在制造濾色器之前，通過(guò)對(duì)本發(fā)明的濾色器用著落精度試驗(yàn)基板進(jìn)行液滴材料著落精度試驗(yàn)，充分確認(rèn)液滴材料的著落精度，在提高著落精度后，便可進(jìn)行實(shí)際制造的濾色器的色要素的形成。這樣，在濾色器的制造中，便可使液滴材料高精度地附著到指定區(qū)域，所以，可以制造在上述遮光區(qū)域具有充分的遮光性、并且在上述透過(guò)區(qū)域沒(méi)有混色、沒(méi)有像素缺陷及色調(diào)模糊、對(duì)比度高的濾色器。
另外，使用本發(fā)明的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的液滴材料的著落精度的測(cè)定，通過(guò)在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中使液滴材料著落到上述著落精度試驗(yàn)用層上形成凸?fàn)顚佣M(jìn)行。按照該測(cè)定方法，在本發(fā)明的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板中，在上述著落精度試驗(yàn)用層上形成凸?fàn)顚印?br> 此外，在本發(fā)明的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板中，可以設(shè)置游標(biāo)層。
這時(shí)，可以就上述游標(biāo)層設(shè)置到上述評(píng)價(jià)區(qū)域內(nèi)的指定的位置。
另外，這時(shí)可以用與上述遮光層相同的材料形成上述游標(biāo)層。
按照上述結(jié)構(gòu)，具有與上述本發(fā)明的濾色器基本上相同的作用和效果。
3.濾色器的制造方法本發(fā)明的濾色器的制造方法的特征在于包括(a)通過(guò)在像素區(qū)域中形成具有指定的矩陣圖形的第1遮光層而設(shè)置包含該第1遮光層的遮光區(qū)域的工序及通過(guò)在位于上述像素區(qū)域以外的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成具有指定的矩陣圖形的第2遮光層而形成由該第2遮光層分割的評(píng)價(jià)區(qū)域的工序、(b)在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中用以至少覆蓋上述第2遮光層而形成著落精度試驗(yàn)用層的工序、(c)在上述像素區(qū)域中，通過(guò)在色要素形成區(qū)域形成色要素而形成由上述遮光區(qū)域分割的透過(guò)區(qū)域的工序。
在本說(shuō)明書(shū)中，所謂色要素形成區(qū)域，就是在上述像素區(qū)域中形成上述色要素的區(qū)域，具體而言，就是在上述像素區(qū)域中由上述遮光區(qū)域分割的區(qū)域。上述遮光區(qū)域主要由上述第1遮光層和根據(jù)需要而設(shè)置的存儲(chǔ)層(后面說(shuō)明)構(gòu)成。
按照本發(fā)明的濾色器的制造方法，可以通過(guò)簡(jiǎn)單的工序制造沒(méi)有像素缺陷及色調(diào)模糊、對(duì)比度高的濾色器。
在本發(fā)明的濾色器的制造方法中，可以實(shí)施以下的(1)～(6)的形式。
(1)上述工序(b)可以是在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域形成上述著落精度試驗(yàn)用層的同時(shí)，在上述像素區(qū)域中在上述第1遮光層上形成存儲(chǔ)層的工序。按照該制造方法，利用上述存儲(chǔ)層可以使例如紅、綠、籃各色的色劑等液滴材料以沒(méi)有混色的狀態(tài)附著到上述色要素形成區(qū)域，所以，可以得到?jīng)]有色調(diào)模糊等缺陷的對(duì)比度高的濾色器。
(2)進(jìn)而可以包括(d)在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中，使液滴材料著落到上述著落精度試驗(yàn)用層上而形成凸?fàn)顚拥墓ば颉?br> 按照該制造方法，在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中，使凸?fàn)畹囊旱尾牧蠈又涞缴鲜鲋渚仍囼?yàn)用層上進(jìn)行液滴材料的著落精度的評(píng)價(jià)之后，便可在上述像素區(qū)域中，使液滴材料著落到上述色要素形成區(qū)域，形成實(shí)際作為像素使用的色要素。這樣，便可使上述色要素高精度地附著到指定區(qū)域，所以，可以用簡(jiǎn)單的工序制造在遮光區(qū)域具有充分的遮光性并且在透過(guò)區(qū)域沒(méi)有混色、沒(méi)有像素缺陷及色調(diào)模糊、對(duì)比度格外的濾色器。
(3)在上述工序(a)中，上述第1和第2遮光層是在基板上形成金屬層之后，通過(guò)利用光刻法和腐蝕法將該金屬層蝕刻成圖形而形成的。按照該結(jié)構(gòu)，作為上述第1和第2遮光財(cái)富，通過(guò)使用金屬層，用很小的膜厚便可得到充分而均勻的遮光性。該金屬層可以利用蒸發(fā)法、濺射法、化學(xué)鍍膜大等方法形成。
(4)上述工序(a)可以是在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成上述第2遮光層的同時(shí)，在上述評(píng)價(jià)區(qū)域內(nèi)的指定的位置形成游標(biāo)層的工序。
(5)上述工序(b)可以是在上述像素區(qū)域中在上述第1遮光層上形成感光性樹(shù)脂層之后通過(guò)利用先刻法將該感光性樹(shù)脂層蝕刻成圖形而形成上述存儲(chǔ)層的工序。該存儲(chǔ)層不要求遮光層，所以，不必是黑色的，從而可以從一般可以得到的感光性樹(shù)脂組成物中廣泛地進(jìn)行選擇。
(6)上述工序(c)可以是使用液滴材料噴頭使液滴材料附著到上述色要素形成區(qū)域而形成上述色要素的工序。按照該方法，用簡(jiǎn)單而很少的工序便可形成本發(fā)明的濾色器。即，通過(guò)使用液滴材料噴頭噴出液滴材料形成上述色要素，可以減去使用光刻法的蝕刻成形的工序，從而可以簡(jiǎn)化工序。另外，由于使用液滴材料噴頭使液滴材料附著到色要素形成區(qū)域，所以，可以僅向需要的區(qū)域供給液滴材料。因此，不會(huì)像利用光刻法進(jìn)行蝕刻成形那樣除去不需要的部分而損耗色材，從而可以降低濾色器的成本。在本發(fā)明中，上述液滴材料可以供給6～30微微升的微小液滴。通過(guò)控制這樣的微小液滴的滴數(shù)，可以使所希望的量的液滴材料準(zhǔn)確度附著到例如40～100μm角的微細(xì)的區(qū)域。
4.濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造方法本發(fā)明的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造方法的特征在于包括(a)通過(guò)形成具有指定的矩陣圖形的遮光層而形成由該遮光層分割的評(píng)價(jià)區(qū)域的工序、(b)通過(guò)形成著落精度試驗(yàn)用層用以至少覆蓋該遮光層而形成著落精度試驗(yàn)用區(qū)域的工序。
按照本發(fā)明的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造方法，具有與上述本發(fā)明的濾色器的制造方法基本上相同的作用和效果。
在本發(fā)明的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造方法中，可以實(shí)施以下的(1)～(3)的形式。
(1)可以進(jìn)而包括(c)在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中，使液滴材料著落到上述著落精度試驗(yàn)用層上而形成凸?fàn)顚拥墓ば颉?br> (2)在上述工序(a)中，上述遮光層可以在基板上形成金屬層之后，通過(guò)利用光刻法和腐蝕法將該金屬層蝕刻成圖形而形成。
(3)上述工序(a)可以是在形成上述遮光層的同時(shí)在上述評(píng)價(jià)區(qū)域內(nèi)的指定的位置形成游標(biāo)層的工序。
按照上述(1)～(3)所示的制造方法，具有與上述本發(fā)明的濾色器的制造方法基本上相同的作用和效果。此外，通過(guò)在實(shí)際制造的濾色器制造之前進(jìn)行上述(1)所示的方法，可以在本發(fā)明的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板中充分確認(rèn)液滴材料的著落精度而提高著落精度之后進(jìn)行實(shí)際制造的濾色器的色要素的形成。這樣，便可使液滴材料高精度地附著到色要素上，所以，可以制造沒(méi)有像素缺陷及色調(diào)模糊、對(duì)比度高的濾色器。
5.發(fā)光用基板(A)本發(fā)明的發(fā)光用基板的特征在于具有包含存儲(chǔ)區(qū)域和由上述存儲(chǔ)區(qū)域分割的發(fā)光區(qū)域的像素區(qū)域、位于上述像素區(qū)域以外的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域、設(shè)置在上述發(fā)光區(qū)域的功能層和設(shè)置在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域的著落精度試驗(yàn)用層。
在本發(fā)明的發(fā)光用基板中，所謂像素區(qū)域，就是包含在發(fā)光用基板上使用的像素的區(qū)域。另外，在發(fā)光用基板中，所謂著落精度試驗(yàn)用區(qū)域，就是包含不形成像素或者不作為發(fā)光用基板的像素使用的像素的區(qū)域。此外，所謂功能層，就是包含發(fā)光層和根據(jù)需要而設(shè)置的孔穴輸送/注入層的層。
按照本發(fā)明的發(fā)光用基板，通過(guò)具有設(shè)置在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域的著落精度試驗(yàn)用層，可以在上述著落精度試驗(yàn)用層上進(jìn)行液滴材料的著落精度試驗(yàn)，所以，在像素區(qū)域中可以使液滴材料高精度地附著到指定區(qū)域。因此，本發(fā)明的發(fā)光用基板的特征是，在上述存儲(chǔ)區(qū)域具有充分的遮光性，并且在上述發(fā)光區(qū)域沒(méi)有混色，所以，沒(méi)有像素缺陷及色調(diào)模糊，對(duì)比度高。
詳細(xì)情況，在后面所述的本發(fā)明的實(shí)施例中說(shuō)明。
(B)本發(fā)明的發(fā)光用基板的特征在于具有包括分割區(qū)域和由上述分割區(qū)域包圍的發(fā)光區(qū)域的像素區(qū)域、通過(guò)噴出液滴材料而在上述發(fā)光區(qū)域形成的功能層、與上述像素區(qū)域相鄰地配置的周邊區(qū)域、包含在上述周邊區(qū)域中的并且具有與上述發(fā)光區(qū)域的形狀對(duì)應(yīng)的形狀的評(píng)價(jià)區(qū)域和設(shè)置在上述周邊區(qū)域用以覆蓋上述評(píng)價(jià)區(qū)域并且具有不沾上述液滴材料的性質(zhì)的層。
在本發(fā)明的發(fā)光用基板中，所謂評(píng)價(jià)區(qū)域，就是進(jìn)行液滴材料的著落精度試驗(yàn)的區(qū)域。
按照本發(fā)明的發(fā)光用基板，通過(guò)設(shè)置用以覆蓋上述評(píng)價(jià)區(qū)域而設(shè)置在上述周邊區(qū)域并且具有不沾上述液滴材料的性質(zhì)的層，可以在該層上進(jìn)行液滴材料的著落精度試驗(yàn)，所以，在硝酸銀其中中可以使液滴材料高精度地附著到指定區(qū)域。因此，本發(fā)明的發(fā)光用基板的特征是，在上述分割區(qū)域具有充分的遮光性，并且在上述發(fā)光區(qū)域沒(méi)有混色，所以，沒(méi)有像素缺陷及色調(diào)模糊，對(duì)比度高。
(C)本發(fā)明的發(fā)光用基板的特征在于具有包括分割區(qū)域和由上述分割區(qū)域包圍的多個(gè)發(fā)光區(qū)域的像素區(qū)域、通過(guò)噴出液滴材料而在上述發(fā)光區(qū)域形成的功能層、與上述像素區(qū)域相鄰地配置的周邊區(qū)域和包含在上述周邊區(qū)域中的并且具有與上述發(fā)光區(qū)域的形狀對(duì)應(yīng)的形狀的評(píng)價(jià)區(qū)域，排列著上述多個(gè)發(fā)光區(qū)域和上述評(píng)價(jià)區(qū)域。
按照本發(fā)明的發(fā)光用基板，具有上述評(píng)價(jià)區(qū)域，通過(guò)排列上述多個(gè)發(fā)光區(qū)域和上述評(píng)價(jià)區(qū)域，可以在該區(qū)域上進(jìn)行液滴材料的著落精度試驗(yàn)，所以，在像素區(qū)域中可以使液滴材料高精度地附著到指定區(qū)域。因此，本發(fā)明的發(fā)光用基板的特征是，在上述分割區(qū)域具有充分的遮光性，并且在上述發(fā)光區(qū)域沒(méi)有混色，所以，沒(méi)有像素缺陷及色調(diào)模糊，對(duì)比度高。
另外，使用本發(fā)明的發(fā)光用基板的液滴材料的著落精度的測(cè)定，是通過(guò)在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中使液滴材料著落到上述著落精度試驗(yàn)用層上形成凸?fàn)顚佣M(jìn)行的。按照該測(cè)定方法，在本發(fā)明的發(fā)光用基板中，在設(shè)置在上述著落精度試驗(yàn)用其中的上述著落精度試驗(yàn)用層上形成凸?fàn)顚印?br> 在本發(fā)明的發(fā)光用基板中，可以實(shí)施以下的(1)～(5)的形式。
(1)上述功能層可以在一對(duì)電極層之間形成。
(2)上述存儲(chǔ)區(qū)域可以通過(guò)順序集層第1絕緣層和樹(shù)脂層而構(gòu)成。
這時(shí)，上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域包含第2絕緣層，構(gòu)成上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域的上述第2絕緣層形成與在上述像素區(qū)域中構(gòu)成上述存儲(chǔ)區(qū)域的上述第1絕緣層相同的高度，并且，可以具有相同的圖形。
(3)上述像素區(qū)域和上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域分別包含開(kāi)關(guān)元件，在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域形成的開(kāi)關(guān)元件與在上述像素區(qū)域形成的上述開(kāi)關(guān)元件可以具有相同的結(jié)構(gòu)。
(4)在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中，可以設(shè)置游標(biāo)層。
這時(shí)，在上述像素區(qū)域形成的開(kāi)關(guān)元件包含金屬配線層，上述游標(biāo)層可以形成與上述金屬配線層相同的高度。
(5)在設(shè)置在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域的上述著落精度試驗(yàn)用層上可以形成凸?fàn)顚印?br> 按照上述(1)～(5)的形式，具有與上述本發(fā)明的濾色器基本上相同的作用和效果。
6.發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板本發(fā)明的發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的特征在于包括在基板上形成的開(kāi)關(guān)元件、與上述開(kāi)關(guān)元件連接的電極層、具有指定的圖形的存儲(chǔ)絕緣層和在上述電極層上形成的著落精度試驗(yàn)用層。
按照本發(fā)明的發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板，具有與上述本發(fā)明的濾色器用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板基本上相同的作用和效果。
另外，使用本發(fā)明的發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的液滴材料的著落精度的測(cè)定，是通過(guò)使液滴材料著落到上述著落精度試驗(yàn)用層上形成凸?fàn)顚佣M(jìn)行的。按照該測(cè)定方法，在本發(fā)明的發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板中，在上述著落精度試驗(yàn)用層上形成凸?fàn)顚印?br> 此外，在本發(fā)明的發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板中，可以在上述基板上設(shè)置游標(biāo)層。
這時(shí)，上述游標(biāo)層可以由金屬層形成。
按照上述結(jié)構(gòu)，具有與上述本發(fā)明的濾色器用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板基本上相同的作用和效果。
7.發(fā)光用基板的制造方法本發(fā)明的發(fā)光用基板的制造方法的特征在于包括(a)形成像素區(qū)域中形成具有指定的圖形的存儲(chǔ)區(qū)域的工序、(b)在位于上述像素區(qū)域以外的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成著落精度試驗(yàn)用層的工序、(c)在上述像素區(qū)域中，通過(guò)在由上述存儲(chǔ)區(qū)域分割的區(qū)域中形成功能層而形成由上述存儲(chǔ)區(qū)域分割的發(fā)光區(qū)域的工序。
按照本發(fā)明的發(fā)光用基板的制造方法，可以用簡(jiǎn)單的工序制造沒(méi)有像素缺陷及色調(diào)模糊、對(duì)比度高的發(fā)光用基板。
在本發(fā)明的發(fā)光用基板的制造方法中，可以實(shí)施以下的(1)～(6)的形式。
(1)進(jìn)而可以包括(d)在上述像素區(qū)域中形成給上述功能層附加電荷的一對(duì)電極層的工序。
(2)在上述工序(a)中，上述存儲(chǔ)區(qū)域是通過(guò)在第1絕緣層上集層樹(shù)脂層而形成的。
這時(shí)，上述工序(a)包含在上述像素區(qū)域中形成第1絕緣層的同時(shí)在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成第2絕緣層的工序，可以將上述第1絕緣層和上述第2絕緣層形成相同的高度，并且形成相同的圖形。
另外，這時(shí)，在上述工序(a)中，上述樹(shù)脂層可以在上述像素區(qū)域中形成感光性樹(shù)脂層，然后通過(guò)利用光刻法蝕刻成圖形而形成。
此外，這時(shí)，可以將在上述工序(a)中形成上述樹(shù)脂層的工序和在上述工序(b)中形成上述著落精度試驗(yàn)用層的工序用同一工序進(jìn)行。
(3)進(jìn)而可以包括(e)在上述像素區(qū)域和上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中分別形成具有相同結(jié)構(gòu)的開(kāi)關(guān)元件的工序。
(4)進(jìn)而可以包括(f)在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中，使包含液滴材料的液滴著落到上述著落精度試驗(yàn)用層上從而形成凸?fàn)顚拥墓ば颉?br> (5)上述工序(a)可以包含在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成游標(biāo)層的工序。
這時(shí)，在上述工序(e)中，設(shè)置在上述像素區(qū)域的上述開(kāi)關(guān)元件包含金屬配線層，可以將上述游標(biāo)層形成與上述金屬配線層相同的高度。
(6)上述工序(c)可以是使用液滴材料噴頭使液滴材料附著到由上述存儲(chǔ)區(qū)域分割的區(qū)域而形成上述功能層的工序。
按照上述(1)～(6)所示的制造方法，具有與上述本發(fā)明的濾色器的制造方法基本上相同的作用和效果。
8.發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造方法本發(fā)明的發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造方法的特征在于包括(a)在基板上形成開(kāi)關(guān)元件、電極層和具有指定的圖形的絕緣層的工序、(b)在上述電極層上形成著落精度試驗(yàn)用層的工序。
按照本發(fā)明的發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造方法，具有與上述本發(fā)明的濾色器用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造方法基本上相同的作用和效果。
在本發(fā)明的發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造方法中，可以實(shí)施以下的(1)～(4)的形式。
(1)上述工序(b)可以是在上述電極層和上述絕緣層上形成上述著落精度試驗(yàn)用層的工序。
(2)進(jìn)而可以包括(c)使液滴材料著落到上述著落精度試驗(yàn)用層上形成凸?fàn)顚拥墓ば颉?br> (3)上述工序(b)可以是在形成感光性樹(shù)脂層后，通過(guò)利用光刻法蝕刻成圖形而形成上述著落精度試驗(yàn)用層的工序。
(4)上述工序(a)可以包含在上述基板上形成游標(biāo)層的工序。
按照上述(1)～(4)所示的制造方法，具有與上述本發(fā)明的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造方法基本上相同的作用和效果。
9.電光裝置和電子儀器
(1)本發(fā)明的電光裝置的特征在于包括上述本發(fā)明的濾色器、將上述濾色器相隔指定間隔而配置的對(duì)向基板和配置在上述濾色器與上述對(duì)向基板之間的電光材料層。
這時(shí)，作為上述電光材料層，如果使用液晶材料層，就可以構(gòu)成沒(méi)有色調(diào)模糊等像素缺陷的可以進(jìn)行對(duì)比度高的顯示的液晶顯示裝置。
(2)本發(fā)明的電光裝置包含上述本發(fā)明的發(fā)光用基板，構(gòu)成上述發(fā)光用基板的上述功能層可以通過(guò)場(chǎng)致發(fā)光而發(fā)光。
(3)本發(fā)明的電子儀器可以包含上述(1)或(2)所示的本發(fā)明的電光裝置。
按照本發(fā)明的電光裝置和電子儀器，可以反映上述本發(fā)明的濾色器或發(fā)光用基板的作用效果，實(shí)現(xiàn)降低成本，并且可以進(jìn)行沒(méi)有色調(diào)模糊等像素缺陷的對(duì)比度高的顯示。
10.成膜方法(1)本發(fā)明的成膜方法的特征在于包括在位于膜形成區(qū)域以外的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成著落精度確認(rèn)用圖形的工序、在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成用以至少覆蓋上述著落精度試驗(yàn)用圖形的著落精度試驗(yàn)用層的工序、通過(guò)將液滴材料噴出到與上述著落精度試驗(yàn)用層上的上述著落精度確認(rèn)用圖形位置對(duì)應(yīng)的位置而形成凸?fàn)顚拥墓ば蚝透鶕?jù)上述著落精度試驗(yàn)用圖形和上述凸?fàn)顚拥南鄬?duì)位置評(píng)價(jià)著落精度的工序。
按照本發(fā)明的成膜方法，通過(guò)具有根據(jù)上述著落精度確認(rèn)用圖形和上述凸?fàn)顚拥南鄬?duì)位置評(píng)價(jià)著落精度的工序，可以正確地評(píng)價(jià)上述液滴材料的著落精度。這樣，便可獲得精度高的成膜。
(2)另外，本發(fā)明的成膜方法的特征在于包括在位于膜形成區(qū)域以外的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成著落精度確認(rèn)用圖形的工序、在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成用以至少覆蓋上述著落精度試驗(yàn)用圖形的著落精度試驗(yàn)用層的工序、通過(guò)將液滴材料噴出到與上述著落精度試驗(yàn)用層上的上述著落精度確認(rèn)用圖形位置對(duì)應(yīng)的位置而形成多個(gè)凸?fàn)顚拥墓ば蚝透鶕?jù)上述多個(gè)凸?fàn)顚拥南鄬?duì)位置評(píng)價(jià)著落精度的工序。
按照本發(fā)明的成膜方法，通過(guò)具有根據(jù)上述多個(gè)凸?fàn)顚拥南鄬?duì)位置評(píng)價(jià)著落精度的工序，可以正確地評(píng)價(jià)上述液滴材料的著落精度。這樣，便可獲得精度高的成膜。
另外，在上述(1)或(2)的成膜方法中，上述著落精度試驗(yàn)用層可以具有不沾上述液滴材料的性質(zhì)。
11.成膜裝置(1)本發(fā)明的成膜裝置的特征在于具有用于噴出液滴材料的噴嘴，在位于成膜形成區(qū)域以外的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成著落精度確認(rèn)用圖形，在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成用以至少覆蓋上述著落精度確認(rèn)用圖形的著落精度試驗(yàn)用層，通過(guò)從上述噴嘴將液滴材料噴出到與用以至少覆蓋上述著落精度確認(rèn)用圖形而形成的上述著落精度試驗(yàn)用層上的上述著落精度確認(rèn)用圖形位置對(duì)應(yīng)的位置而形成凸?fàn)顚樱鶕?jù)上述著落精度確認(rèn)用圖形和上述凸?fàn)顚拥南鄬?duì)位置評(píng)價(jià)著落精度。
按照本發(fā)明的成膜裝置，通過(guò)根據(jù)上述著落精度確認(rèn)用圖形和上述凸?fàn)顚拥南鄬?duì)位置評(píng)價(jià)著落精度，可以正確地評(píng)價(jià)上述液滴材料的著落精度。這樣，便可獲得精度高的成膜。
(2)另外，本發(fā)明的成膜裝置的特征在于具有用于噴出液滴材料的噴嘴，在位于成膜形成區(qū)域以外的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成著落精度確認(rèn)用圖形，在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成用以至少覆蓋上述著落精度確認(rèn)用圖形的著落精度試驗(yàn)用層，通過(guò)從上述噴嘴將液滴材料噴出到與用以至少覆蓋上述著落精度確認(rèn)用圖形而形成的上述著落精度試驗(yàn)用層上的上述著落精度確認(rèn)用圖形位置對(duì)應(yīng)的位置而形成多個(gè)凸?fàn)顚?，根?jù)上述多個(gè)凸?fàn)顚拥南鄬?duì)位置評(píng)價(jià)著落精度。
按照本發(fā)明的成膜裝置，通過(guò)根據(jù)上述多個(gè)凸?fàn)顚拥南鄬?duì)位置評(píng)價(jià)著落精度，可以正確地評(píng)價(jià)上述液滴材料的著落精度。這樣，便可獲得精度高的成膜。
另外，在上述(1)或(2)的成膜裝置中，上述著落精度試驗(yàn)用層可以具有不沾上述液滴材料的性質(zhì)。
附圖的簡(jiǎn)單說(shuō)明圖1是模式地表示本發(fā)明實(shí)施例1的濾色器的部分平面圖。
圖2是模式地表示沿圖1的A-A線的部分的剖面圖。
圖3(A)～(D)是模式地表示圖1和圖2所示的濾色器的制造工序的部分剖面圖。
圖4(A)～(D)是模式地表示圖1和圖2所示的濾色器的制造工序的部分剖面圖。
圖5是模式地表示通過(guò)圖3和圖4所示的工序而得到的濾色器的部分平面圖，是將圖1的A-A線附近放大的圖。
圖6是模式地表示本發(fā)明實(shí)施例2的濾色器的部分平面圖。
圖7是模式地表示沿圖6的A-A線的部分的部分剖面圖。
圖8(A)～(D)是模式地表示圖6和圖7所示的濾色器的制造工序的部分剖面圖。
圖9(A)～(D)是模式地表示圖6和圖7所示的濾色器的制造工序的部分剖面圖。
圖10是模式地表示通過(guò)圖8和圖9所示的工序而得到的濾色器的部分平面圖，是將圖6的A-A線附近放大的圖。
圖11是模式地表示本發(fā)明實(shí)施例3的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的部分平面圖。
圖12是模式地表示沿圖11的A-A線的部分的部分剖面圖。
圖13是模式地表示通過(guò)實(shí)施例3的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造工序而得到的濾色器的部分平面圖，是將圖11的A-A線附近放大的圖。
圖14是模式地表示作為本發(fā)明實(shí)施例4的電光裝置的一例的液晶顯示裝置的剖面圖。
圖15是模式地表示作為本發(fā)明實(shí)施例5的電光裝置的一例的EL顯示裝置的剖面圖。
圖16是模式地表示圖15所示的發(fā)光用基板的剖面圖。
圖17(A)～(C)是模式地表示圖16所示的發(fā)光用基板的制造工序的部分剖面圖。
圖18(A)～(C)是模式地表示圖16所示的發(fā)光用基板的制造工序的部分剖面圖。
圖19是表示作為本發(fā)明實(shí)施例6的電子儀器的一例的數(shù)碼相機(jī)的斜視圖。
圖20(A)～(C)是表示本發(fā)明實(shí)施例6的電子儀器的應(yīng)用例的圖，(A)是手機(jī)，(B)是手表，(C)是便攜式信息機(jī)器。
圖21是模式地表示本發(fā)明實(shí)施例7的發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的部分平面圖。
發(fā)明的
具體實(shí)施例方式
下面，參照


本發(fā)明實(shí)施例的濾色器及其制造方法、使用上述濾色器的液滴材料著落精度的測(cè)定方法、電光裝置和電子儀器。
實(shí)施例1.
(濾色器)圖1是模式地表示本發(fā)明實(shí)施例1的濾色器的部分平面圖，圖2是模式地表示沿圖1的A-A線的部分的部分剖面圖。
本實(shí)施例的濾色器1000包括透明的基板10、分別在基板10上形成的像素區(qū)域100和周邊區(qū)域。這里，所謂周邊區(qū)域，就是與像素區(qū)域100相鄰地配置的并且包含遮光區(qū)域的區(qū)域。該周邊區(qū)域包含著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200。即，著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200位于像素區(qū)域100以外。在本實(shí)施例中，表示了著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200在像素區(qū)域100的外周邊緣形成的例子，但是，著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200的形成位置不限定該場(chǎng)所。
(1)像素區(qū)域如圖1和圖2所示，像素區(qū)域100包含遮光區(qū)域20和由遮光區(qū)域20分割的透過(guò)區(qū)域30。遮光區(qū)域20是光(可見(jiàn)光)實(shí)際上不透過(guò)的區(qū)域，透過(guò)區(qū)域30是光可以透過(guò)的區(qū)域。在像素區(qū)域100中，如圖1所示，遮光區(qū)域20和透過(guò)區(qū)域30按指定的矩陣圖形排列。
遮光區(qū)域20具有第1遮光層22和在該第1遮光層22上形成的存儲(chǔ)層24。并且，在透過(guò)區(qū)域30設(shè)置了色要素32。色要素32在例如基板10上形成。
下面，先說(shuō)明遮光區(qū)域20。
構(gòu)成遮光區(qū)域20的第1遮光層22在基板10上按指定的矩陣圖形形成。并且，第1遮光層22具有充分的遮光性，可以起黑矩陣的功能，其材質(zhì)等不特別限定，可以使用金屬、樹(shù)脂等。作為第1遮光層22的材質(zhì)，從以很小的膜厚可以得到充分而均勻的遮光性的角度考慮，最好使用金屬。作為第1遮光層22而使用的金屬不特別限定，可以考慮包括成膜和光刻的全部工序的效率而進(jìn)行選擇。作為這樣的金屬，可以使用例如鉻、鎳、鋁等在電子器件加工工藝中使用的金屬。用金屬構(gòu)成第1遮光層22時(shí)，只要其膜厚在0.1μm以上，就可以得到充分的遮光性，進(jìn)而如果考慮金屬層的緊密接觸性和脆性等，最好其膜厚小于0.5μm。
存儲(chǔ)層24在第1遮光層22上形成，具有指定的矩陣圖形。該存儲(chǔ)層24分割形成色要素的區(qū)域，防止相鄰的色要素的色混合(混色)。因此，存儲(chǔ)層24的膜厚為了在形成色要素時(shí)注入的作為色材的液滴材料不會(huì)溢出而根據(jù)該液滴材料層的高度等關(guān)系來(lái)設(shè)定。根據(jù)這樣的觀點(diǎn)，存儲(chǔ)層24最好在例如膜厚1～5μm的范圍內(nèi)形成。
存儲(chǔ)層24由可以進(jìn)行光刻的樹(shù)脂層構(gòu)成。這樣的感光性樹(shù)脂不一定必須是對(duì)水的接觸角大的疏水性優(yōu)異的或者具有遮光性的樹(shù)脂，可以在很寬的范圍內(nèi)進(jìn)行選擇。作為構(gòu)成存儲(chǔ)層24的樹(shù)脂，可以使用包含例如氨基甲酸乙酯樹(shù)脂、丙烯?；鶚?shù)脂、酚醛環(huán)氧樹(shù)脂、カルド樹(shù)脂、聚酰亞銨樹(shù)脂、聚羥基苯乙烯、聚乙烯醇等的感光性樹(shù)脂組成物。
下面，說(shuō)明透過(guò)區(qū)域30。透過(guò)區(qū)域30是由遮光區(qū)域20分割的區(qū)域。在該透過(guò)區(qū)域30中，設(shè)置了色要素32。
色要素32由構(gòu)成光的三原色的具有紅、綠、籃各色的多個(gè)色要素32r、32g、32b構(gòu)成。這些色要素32按照指定的排列例如色帶排列、三角形排列或鑲嵌排列等排列圖形進(jìn)行配置，由連續(xù)的3色的色要素構(gòu)成1像素。該色要素32由例如包含顏料或染料的著色層構(gòu)成。
(2)著落精度試驗(yàn)用區(qū)域著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200包含在上述周邊區(qū)域中。該著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200包含通過(guò)包含在上述周邊區(qū)域中并且由上述周邊區(qū)域的遮光區(qū)域(這里，是第2遮光層122)包圍而具有與透過(guò)區(qū)域30的形狀對(duì)應(yīng)的形狀的區(qū)域。配置了由上述周邊區(qū)域的透過(guò)區(qū)域包圍的區(qū)域。具體而言，著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200如圖2所示的那樣包含第2遮光層122(遮光區(qū)域)和著落精度試驗(yàn)用層26。
構(gòu)成著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200的第2遮光層122，在基板10上按指定的矩陣圖形而形成。第2遮光層122可以具有與構(gòu)成像素區(qū)域100的第1遮光層22相同的圖形。在本實(shí)施例中，第2遮光層122具有與第1遮光層22相同的圖形，并且通過(guò)相同的關(guān)系形成。即，第2遮光層122與第1遮光層22一樣，具有充分的遮光性，可以起黑矩陣的功能，其材質(zhì)等不特別限定，可以使用金屬、樹(shù)脂等材料。
著落精度試驗(yàn)用層26設(shè)置在上述周邊區(qū)域中用以覆蓋由上述周邊區(qū)域的遮光區(qū)域(第2遮光層122)包圍的區(qū)域，并且具有不沾液滴材料的性質(zhì)。該著落精度試驗(yàn)用層26設(shè)置在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中，用以至少覆蓋第2遮光層。在本實(shí)施例的濾色器1000中，著落精度試驗(yàn)用層26在基板10上形成，用以覆蓋第2遮光層122。
著落精度試驗(yàn)用層26是為了使液滴材料著落到其表面，測(cè)定液滴材料的著落精度而使用的。在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中，設(shè)置了由第2遮光層分割的區(qū)域(評(píng)價(jià)區(qū)域)。在本實(shí)施例中，由第1遮光層22分割的區(qū)域和由第2遮光層122分割的區(qū)域(評(píng)價(jià)區(qū)域)具有相同的圖形。
另外，為了可靠地測(cè)定液滴材料的著落精度，著落精度試驗(yàn)用層26的表面必須對(duì)液滴材料具有疏水性。這里，如果具有對(duì)液滴材料的疏水性，就是對(duì)液滴材料的濕潤(rùn)性低。為了使著落精度試驗(yàn)用層26的表面具有對(duì)液滴材料的疏水性，可以用對(duì)液滴材料具有疏水性的材料形成著落精度試驗(yàn)用層26，或者對(duì)著落精度試驗(yàn)用層26的表面進(jìn)行賦予其對(duì)液滴材料的疏水性的表面處理，例如進(jìn)行等離子體處理的表面氟化等處理。在本實(shí)施例中，著落精度試驗(yàn)用層26可以利用與形成像素區(qū)域10的存儲(chǔ)層24相同的材料形成。
著落精度試驗(yàn)用層26不一定必須在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200的整個(gè)區(qū)域中形成，可以僅在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中指示器進(jìn)行液滴材料的著落試驗(yàn)的區(qū)域即著落液滴材料的區(qū)域形成。
(濾色器的制造方法)下面，參照?qǐng)D3～圖5說(shuō)明本實(shí)施例的濾色器的制造方法。圖3和圖4是模式地表示在各工序中與圖1的B-B線對(duì)應(yīng)的部分的層結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖5是模式地表示通過(guò)圖3和圖4所示的工序而得到的濾色器的部分平面圖，是將圖1的A-A線附近放大的圖。
(1)遮光層的形成首先，如圖3(A)所示，在像素區(qū)域100和著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中，在透明的基板10上，利用干式電鍍法例如濺射法、蒸發(fā)法、化學(xué)鍍膜法等堆積膜厚0.1～0.5μm的金屬層220。作為金屬層220的材料，如前所述，可以使用鉻、鎳、鋁等各種金屬。然后，在金屬層220的表面，通過(guò)光刻形成具有指定的圖形的抗蝕層R1。這里，在像素區(qū)域100和著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中，使用具有相同的圖形的掩模進(jìn)行光刻工序。然后，將抗蝕層R1作為掩模進(jìn)行腐蝕，蝕刻成金屬層220的圖形。這樣，如圖3(B)所示，在像素區(qū)域100和著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中，在基板10上分別形成具有指定的矩陣圖形的第1和第2遮光層22和122。這里，第1和第2遮光層22、122具有相同的圖形。
(2)存儲(chǔ)層的形成如圖3(C)所示，在像素區(qū)域100和著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中，在形成第1和第2遮光層22、122的基板10上，形成樹(shù)脂層240。該樹(shù)脂層，可以利用負(fù)片型或正片型的抗蝕劑形成。樹(shù)脂層240由例如氨基甲酸乙酯樹(shù)脂或丙烯?；鶚?shù)脂等各硬化型(負(fù)片型)的感光性樹(shù)脂構(gòu)成。并且，使用光掩模M1進(jìn)行曝光，進(jìn)而通過(guò)進(jìn)行顯影處理而將樹(shù)脂層240蝕刻成圖形。這樣，如圖3(D)所示，在像素區(qū)域100就形成存儲(chǔ)層24，并在形成遮光區(qū)域20的同時(shí)，在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200正形成著落精度試驗(yàn)用層26。關(guān)于存儲(chǔ)層24和著落精度試驗(yàn)用層26的結(jié)構(gòu)，已作了說(shuō)明，所以，此處省略。在該工序中，在像素區(qū)域100按指定的矩陣圖形形成由遮光區(qū)域20分割的色要素形成區(qū)域330。
然后，根據(jù)需要，在后面進(jìn)行的色要素的形成工序之前，進(jìn)行基板10的露出面的表面處理。作為這樣的表面處理，可以使用紫外線照射、等離子體照射和激光照射等方法。通過(guò)進(jìn)行這樣的表面處理，除去附著在基板10的露出面10上的污染物質(zhì)等，減小該表面10a對(duì)的接觸角，從而可以提高液滴材料的濕潤(rùn)性。更具體而言，基板10的露出面10a與存儲(chǔ)層24的表面對(duì)水的接觸角之差最好大于15°。這樣，通過(guò)控制基板10的露出面10a和存儲(chǔ)層24的表面對(duì)水的接觸角，可以使液滴材料以緊密接觸性良好的狀態(tài)附著到色要素形成區(qū)域330的露出面10a上，同時(shí)，利用存儲(chǔ)層24不沾液滴材料的性質(zhì)，防止液滴材料越過(guò)存儲(chǔ)層而發(fā)生溢出。另外，在液滴材料的干燥途中，抑制液滴材料被存儲(chǔ)層拉伸而發(fā)生的膜厚不均勻。
作為表面處理的方法，從適合于工序流水線化的角度考慮，最好使用成串型的等離子體照射方式的表面處理方法。
(3)液滴材料著落精度試驗(yàn)在像素區(qū)域100中形成色要素32之前，在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中，使色要素32形成時(shí)使用的液滴材料著落到著落精度試驗(yàn)用層26上，測(cè)定該液滴材料的著落精度。
在本實(shí)施例中，作為附著液滴材料的方法，應(yīng)用由液滴材料噴頭噴出液滴材料的方法。在像素區(qū)域100中，為了使液滴高精度地著落到例如50μm角的微細(xì)的色要素形成區(qū)域330，最好是應(yīng)用使噴出的液滴微細(xì)化而且可以控制噴出的液滴的數(shù)的液滴材料噴出法。
利用液滴材料噴出法附著液滴材料時(shí)，作為液滴材料未著落到所設(shè)想的物質(zhì)的原因，有液滴材料噴頭被彎曲地設(shè)置、噴出液滴材料時(shí)使用的噴嘴本身發(fā)生了彎曲、液滴材料從噴嘴中彎曲地噴出、基板與液滴材料噴頭的相對(duì)位置發(fā)生了偏離等。使用以下所示的方法，評(píng)價(jià)液滴材料的著落精度，查明這些原因，可以提高液滴材料的著落精度。
首先，如圖4(A)所示，在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中，使液滴材料附著到著落精度試驗(yàn)用層26上，形成凸?fàn)畹囊旱尾牧蠈?20。使凸?fàn)顚?20附著到著落精度試驗(yàn)用層26中未在第2遮光層122上形成的部分。即，使凸?fàn)顚?20在著落精度試驗(yàn)用層26上著落到由第2遮光層122的邊緣部122a包圍的區(qū)域內(nèi)(參見(jiàn)圖5)。如圖5所示，液滴材料的著落精度根據(jù)凸?fàn)顚?20與第2遮光層122的邊緣部122a的相對(duì)位置和/或著落的凸?fàn)顚?20之間的相對(duì)位置等進(jìn)行評(píng)價(jià)。用凸?fàn)顚?20之間的相對(duì)位置進(jìn)行評(píng)價(jià)時(shí)，如圖5所示，在著落精度試驗(yàn)用層26上形成多個(gè)凸?fàn)顚?20，根據(jù)凸?fàn)顚?20之間的相對(duì)位置評(píng)價(jià)著落精度。
在本實(shí)施例中，在像素區(qū)域100和著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中分別以相同的圖形形成第1和第2遮光層22和122。即，由第1和第2遮光層22、122分割的區(qū)域具有相同的圖形。具體而言，如圖4(A)所示，相鄰的第1遮光層22間的寬度ha(色要素形成區(qū)域330的寬度)與相鄰的第2遮光層122間的寬度hb基本上相等。因此，在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中，通過(guò)使凸?fàn)顚?20著落到著落精度試驗(yàn)用層26上曲第2遮光層122的邊緣部122a包圍的區(qū)域內(nèi)，就可以設(shè)想使液滴材料著落到像素區(qū)域100的色要素形成區(qū)域330，從而可以評(píng)價(jià)液滴材料的著落精度。以上液滴材料的著落精度試驗(yàn)的結(jié)果，在著落精度不理想時(shí)，可以根據(jù)需要進(jìn)行提高著落精度的調(diào)整。
(4)色要素的形成接著，形成實(shí)際成為像素的色要素32。首先，如圖4(B)所示，在像素區(qū)域100，通過(guò)使液滴材料附著到由第1遮光層22和存儲(chǔ)層24分割的色要素形成區(qū)域330而形成液滴材料層，來(lái)形成色要素32(32g、32r、32b)。在本實(shí)施例中，作為附著液滴材料的方法，應(yīng)用在前面所述的液滴材料著落精度試驗(yàn)中使用的液滴噴出法。
為了使微細(xì)化的液滴高精度地附著到作為目標(biāo)的位置(基板10的露出面10a)，首先，控制使液滴的尺寸與作為目標(biāo)的色要素形成區(qū)域330的露出面10a的尺寸一致。對(duì)于例如50μm角的色要素形成區(qū)域330，液滴的尺寸最好控制為6～30微微升。此外，如果考慮通過(guò)量，則液滴的尺寸最好是12～20微微升。另外，為了使液滴從液滴材料噴頭正確地噴射到目標(biāo)上，最好控制液滴在噴出的途中不發(fā)生分裂，而且直線前進(jìn)。
在本發(fā)明中，包括在噴出的液滴材料的層附著、干燥、硬化后，為了使膜厚均勻而改善干燥過(guò)程中平坦性的以下的方法。
方法之一，是將高沸點(diǎn)溶劑加到液滴材料中，減緩液滴材料的干燥速度的方法。作為高沸點(diǎn)溶劑，可以使用從乙酸丁基卡必酸酯、甲氧基丁基乙酸酯、乙氧基丁基丙酸酯、甲氧基-2-醛乙酸酯中選擇的至少1種。這樣的溶劑，如果是沸點(diǎn)為150～300℃的溶劑，可以考慮顏料的分散性或染料的溶解性等而在很寬的范圍內(nèi)選擇。
其他方法，就是控制附著的液滴材料的干燥速度的方法。液滴材料在附著之后，從低沸點(diǎn)溶劑開(kāi)始蒸發(fā)，逐漸平坦而粘度上升，含有顏料或染料的樹(shù)脂成分受熱而硬化。干燥條件，根據(jù)鹽材料的特性，可以將自然氛圍中的調(diào)整和40～100℃的預(yù)烘焙中的至少一方與150～300℃的最后的烘焙組合。液滴材料具有固有的粘度、表面張力和流動(dòng)特性。因此，為了得到干燥后的均勻膜厚，根據(jù)一日材料固有的特性選擇上述干燥條件的范圍和組合。干燥硬化條件與液滴材料的特性不匹配時(shí)，色要素的膜厚容易不均勻，從而將成為像素色調(diào)的偏差的原因。
在本實(shí)施例中，色要素32按紅、綠、籃的各色順序形成。這樣的色要素32的形成順序，不特別限定。例如，也可以先形成綠色的色要素32g，然后形成紅的色要素32r或籃的色要素32b，最后形成其余的色的色要素。
如果選擇液滴材料噴出方式的彩色噴頭或多個(gè)噴頭，紅、綠、籃各色的色要素也可以同時(shí)形成。
(5)覆蓋層等的形成如圖4(C)所示，在形成色要素32之后，根據(jù)需要，形成為了獲得平滑表面的覆蓋層40。此外，如圖4(D)所示，在覆蓋層40的表面，根據(jù)需要，通過(guò)形成共同堆積50，可以得到濾色器1000。這些覆蓋層40和共同堆積50，可以根據(jù)應(yīng)用濾色器的電光裝置的結(jié)構(gòu)而設(shè)置。
(作用效果)下面，說(shuō)明本實(shí)施例的濾色器的主要的作用效果。
(a)本實(shí)施例的濾色器在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中，使凸?fàn)畹囊旱尾牧蠈?20著落到著落精度試驗(yàn)用層26上進(jìn)行液滴材料的著落精度的評(píng)價(jià)之后，在像素區(qū)域100中，使液滴材料著落到色要素形成區(qū)域330，形成實(shí)際作為像素使用的色要素32。這樣，就可以使色要素32高精度地附著到指定區(qū)域。
特別是在本實(shí)施例的濾色器中，在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中，設(shè)置了由第2遮光層122分割的區(qū)域(評(píng)價(jià)區(qū)域)。按照該結(jié)構(gòu)，在附著液滴材料層320時(shí)(參見(jiàn)圖4(A))，可以可靠地測(cè)定液滴材料層320的著落精度。結(jié)果，就可以高精度地形成色要素32，所以，在遮光區(qū)域20具有充分的遮光性，并且在透過(guò)區(qū)域30中沒(méi)有混色。因此，沒(méi)有像素缺陷及色調(diào)模糊，并且對(duì)比度高。
(b)通過(guò)設(shè)置第1遮光層22和存儲(chǔ)層24，可以分別獨(dú)立地設(shè)定遮光功能和色要素的分割功能，所以，可以可靠地發(fā)揮兩者的功能。結(jié)果，本實(shí)施例的濾色器就不易發(fā)生由不充分的遮光性和混色引起的像素缺陷。此外，通過(guò)這樣分割功能，可以從很寬的范圍選擇用于構(gòu)成第1遮光層22和存儲(chǔ)層24的最佳的材料，從而有利于降低成本。特別是，由金屬層構(gòu)成第1遮光層22時(shí)，可以用很小的膜厚得到均勻而充分的遮光性。
另外，按照本實(shí)施例的濾色器的制造方法，主要有以下的作用效果。
(a)按照本實(shí)施例的濾色器的制造方法，在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中，使凸?fàn)畹囊旱尾牧蠈?凸?fàn)顚?320著落到著落精度試驗(yàn)用層26上進(jìn)行液滴材料著落精度的評(píng)價(jià)之后，在像素區(qū)域100中，使液滴材料著落到色要素形成區(qū)域330，形成實(shí)際作為像素使用的色要素32。即，可以用簡(jiǎn)便的方法評(píng)價(jià)液滴材料著落精度，并且根據(jù)該評(píng)價(jià)結(jié)果，通過(guò)根據(jù)需要進(jìn)行裝置的調(diào)整等，提高液滴材料著落精度，然后，在像素區(qū)域100中形成色要素32，所以，可以使色要素32高精度地附著到所希望的區(qū)域。這樣，在遮光區(qū)域20中就具有充分的整個(gè)性，并且在透過(guò)區(qū)域30中沒(méi)有混色，所以，可以作成沒(méi)有像素缺陷及色調(diào)模糊而對(duì)比度高的濾色器。
(b)另外，通過(guò)利用液滴材料噴出法形成色要素32，可以減去使用光刻法而蝕刻圖形的工序，從而可以簡(jiǎn)化工序。因此，可以用少的工序形成本實(shí)施例的濾色器。此外，用液滴材料噴出法附著液滴材料，形成色要素32，所以，可以將液滴材料僅供給所需要的色要素形成區(qū)域。因此，不會(huì)像利用光刻法進(jìn)行蝕刻圖形那樣由于除去不需要的部分而浪費(fèi)色材，從而可以降低濾色器的成本。
實(shí)施例2.
(濾色器)圖6是模式地表示本發(fā)明實(shí)施例2的濾色器的部分平面圖，圖7是模式地表示沿圖7的A-A線的部分的部分剖面圖。
本實(shí)施例的濾色器1001除了在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中在攪拌10上形成游標(biāo)層28外，具有與圖1～圖5所示的濾色器相似的結(jié)構(gòu)。在濾色器1001中，對(duì)于具有實(shí)際上與實(shí)施例1的濾色器1000相同的功能的部分標(biāo)以相同的符號(hào)，并省略其詳細(xì)的說(shuō)明。
如圖6和圖7所示，游標(biāo)層28在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中，在由第2遮光層122分割的區(qū)域(評(píng)價(jià)區(qū)域)內(nèi)形成。在圖6中，游標(biāo)層28的平面形狀為十字形，但是，游標(biāo)層28的平面形狀不限定如此，可以是圓形、三角形、矩形等各種各樣的形狀。在游標(biāo)層28上，形成著落精度試驗(yàn)用層26。
在游標(biāo)層28上形成著落精度試驗(yàn)用層26和凸?fàn)顚?20時(shí)，如果游標(biāo)層28可以從凸?fàn)顚?20的設(shè)置面?zhèn)茸R(shí)別，其材質(zhì)等就不特別限定，可以使用金屬、樹(shù)脂等。與第1和第2遮光層22、122用同一工序形成游標(biāo)層28時(shí)，可以用與第1和第2遮光層22、122相同的材料形成。
(濾色器的制造方法)下面，參照?qǐng)D8～圖10說(shuō)明本實(shí)施例的濾色器1001的制造方法。圖8和圖9是模式地表示在各工序中與圖6的B-B線對(duì)應(yīng)的部分的層結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖10是模式地表示通過(guò)圖8和圖9所示的工序而得到的濾色器的部分平面圖，是將圖6的A-A線附近放大的圖。在各制造工序中，對(duì)于實(shí)際上與實(shí)施例1的濾色器1000的制造工序相同的部分，省略詳細(xì)的說(shuō)明。
(1)遮光層和游標(biāo)層的形成在本實(shí)施例中，用同一工序形成第1和第2遮光層22、122和游標(biāo)層28。首先，如圖8(A)所示，在像素其中100和著落精度試驗(yàn)用其中200中，在透明的基板10上堆積金屬層220后，利用光刻法在金屬層220的表面形成具有指定的圖形的抗蝕層R2。然后，將該抗蝕層R2作為掩模進(jìn)行腐蝕，將金屬層220蝕刻圖形，如圖8(B)所示，在像素區(qū)域100中，在基板10上形成具有指定的矩陣圖形的第1遮光層22，同時(shí)，在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中，形成第2遮光層122和游標(biāo)層28。在該工序中，游標(biāo)層28在由第2遮光層122分割的區(qū)域(評(píng)價(jià)區(qū)域)內(nèi)形成。
(2)存儲(chǔ)層的形成以下所示的工序與實(shí)施例1的濾色器的制造工序相同。即，如圖8(C)所示，在像素區(qū)域100和著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中，在形成第1和第2遮光層22、122的基板10上形成樹(shù)脂層240后，通過(guò)使用光掩模M1進(jìn)行曝光并進(jìn)而進(jìn)行顯影處理，將樹(shù)脂層240蝕刻成圖形，如圖8(D)所示，在像素區(qū)域100上形成存儲(chǔ)層24從而形成遮光區(qū)域20，同時(shí)，在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200形成著落精度試驗(yàn)用層26。此外，在該工序中，按指定的矩陣圖形形成由遮光區(qū)域20分割的色要素形成區(qū)域330。然后，根據(jù)需要，在后面進(jìn)行的色要素的形成工序之前進(jìn)行基板表面的表面處理。
(3)液滴材料著落精度試驗(yàn)其次，在像素區(qū)域100中形成色要素32之前，在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中，使形成色要素32時(shí)使用的液滴材料著落到著落精度試驗(yàn)用層26上，測(cè)定液滴材料的著落精度。在本實(shí)施例中，也和實(shí)施例1一樣，應(yīng)用液滴材料噴出法形成色要素32。即，在本實(shí)施例中，使用和實(shí)施例1相同的方法，在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中測(cè)定液滴材料著落精度。
首先，如圖9(A)所示，在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中，使液滴材料附著到著落精度試驗(yàn)用層26上，形成凸?fàn)畹囊旱尾牧蠈?20。如前所述，液滴材料的著落精度根據(jù)凸?fàn)顚?20與第2遮光層122的邊緣部122a(參見(jiàn)圖10)的相對(duì)位置和著落的凸?fàn)顚?29之間的相對(duì)位置等進(jìn)行評(píng)價(jià)。此外，在本實(shí)施例的濾色器1001中，由于在基板10上形成了游標(biāo)層28，所以，如圖5所示，根據(jù)凸?fàn)顚?20與游標(biāo)層28的相對(duì)位置可以明確地識(shí)別液滴材料的著落位置的偏離。
以上的液滴材料著落精度試驗(yàn)的結(jié)果，著落精度不理想時(shí)，根據(jù)需要，在進(jìn)行用于提高著落精度的調(diào)整之后，如圖9(B)～圖9(D)所示，進(jìn)行和實(shí)施例1的濾色器的制造工序相同的工序，制造濾色器1001。
本實(shí)施例的濾色器1001除了上述實(shí)施例1的濾色器1000的作用效果外，由于在基板10上形成了游標(biāo)層28，所以，根據(jù)凸?fàn)顚?20與游標(biāo)層28的相對(duì)位置可以明確地識(shí)別液滴材料的著落精度的偏離。
實(shí)施例3.
圖11是模式地表示本發(fā)明實(shí)施例3的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的部分平面圖，圖12是模式地表示沿圖11的A-A線的部分的剖面圖。
本實(shí)施例的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1002具有與構(gòu)成上述實(shí)施例2的濾色器1001的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200相似的結(jié)構(gòu)。即，在液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1002上，不樹(shù)脂圖6所示的像素區(qū)域100，全面形成在圖6中所說(shuō)的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200。在濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1002中，對(duì)于具有實(shí)際上與實(shí)施例2的濾色器1001相同功能的部分標(biāo)以相同的符號(hào)，并省略其詳細(xì)的說(shuō)明。
濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1002包含著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200。該著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200包含遮光層122和為了覆蓋遮光層122而形成的著落精度試驗(yàn)用層26。該液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1002是為了進(jìn)行液滴材料的著落精度試驗(yàn)而作成的。在著落精度試驗(yàn)基板1002上設(shè)置的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中，和實(shí)施例1的濾色器1000的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200(參見(jiàn)圖2)一樣，設(shè)置了由遮光層122分割的區(qū)域(評(píng)價(jià)區(qū)域)。在濾色器的制造工序中，在實(shí)際制造濾色器之前，使用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1002進(jìn)行色要素形成時(shí)的液滴材料的著落精度試驗(yàn)。
液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1002除了不形成像素區(qū)域這一點(diǎn)外，具有與實(shí)際制造的濾色器相同的結(jié)構(gòu)。即，液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1002使用與實(shí)際制造的濾色器相同的基板而作成，并且具有與在實(shí)際制造的濾色器上形成的遮光層相同圖形的遮光層122。另外，在由基板10上的遮光層122包圍的區(qū)域內(nèi)形成游標(biāo)層28，此外，在基板10上形成了著落精度試驗(yàn)用層26。
(濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造方法)濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1002，可以通過(guò)與在實(shí)施例2的濾色器1001中形成著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200的工序相同的工序進(jìn)行制造。另外，在本實(shí)施例中，液滴材料的著落精度試驗(yàn)可以通過(guò)與實(shí)施例2的圖9所示的工序相同的工序進(jìn)行。這時(shí)，如前所述，對(duì)液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1002的液滴材料的著落精度試驗(yàn)，在實(shí)際制造的濾色器的制造之前進(jìn)行。
圖13是模式地表示液滴材料著落精度試驗(yàn)之后的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1002的部分平面圖，是將圖11的A-A線的附近放大的圖。
液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1002具有與實(shí)際制造的濾色器相同的結(jié)構(gòu)，所以，可以和對(duì)實(shí)際制造的濾色器進(jìn)行試驗(yàn)一樣進(jìn)行著落精度試驗(yàn)。此外，按照本實(shí)施例，在制造濾色器之前，對(duì)作為試驗(yàn)專用基板的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1002進(jìn)行液滴材料著落精度試驗(yàn)。該液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1002形成與實(shí)際制造的濾色器相同圖形的第2遮光層122，所以，預(yù)先對(duì)該液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1002進(jìn)行試驗(yàn)，可以在充分確認(rèn)液滴材料的著落精度并提高著落精度之后進(jìn)行實(shí)際制造的濾色器的色要素的形成。這樣，就可以制造沒(méi)有像素缺陷和色調(diào)模糊并且對(duì)比度高的濾色器。
實(shí)施例4.
(電光學(xué)裝置)圖14作為組裝了實(shí)施例1的濾色器1000的電光裝置的一例，表示彩色液晶顯示裝置的剖面圖。在圖14中，僅表示出了濾色器1000中的像素區(qū)域100部分。
彩色液晶顯示裝置1100，通常是將濾色器1000與對(duì)向基板80相互組合并通過(guò)將液晶組成物70封入到兩者之間而構(gòu)成。在液晶顯示裝置1000的一邊的基板80的內(nèi)側(cè)面上，TFT(薄膜晶體管)元件(圖中未示出)和像素電極52形成為矩陣狀。另外，作為另一邊的基板，為了在與像素電極52相對(duì)的位置排列紅、綠、籃的色要素32而設(shè)置了濾色器1000。在基板80與濾色器1000相對(duì)的面上，形成取向膜60和62。這些取向膜60、62進(jìn)行摩擦處理，可以使液晶分子沿一定方向排列。另外，在基板80和濾色器1000的外側(cè)的面上，分別設(shè)置偏振片90和92。另外，作為后照燈，通常使用熒光燈(圖中未示出)與散射板的組合，通過(guò)使液晶組成物起改變光的透過(guò)率的光快門的功能而進(jìn)行顯示。
在本實(shí)施例中，表示了將實(shí)施例1的濾色器1000組裝到液晶顯示裝置中的例子，但是，也可以組裝實(shí)施例2的濾色器1001取代濾色器1000而作成液晶顯示裝置。
實(shí)施例5.
(發(fā)光用基板和電光裝置)圖15表示發(fā)光用基板1003和作為組裝了發(fā)光用基板1003的電光裝置的一例的彩色EL顯示裝置1200的剖面圖。另外，圖16是模式地表示圖15所示的發(fā)光用基板1003的平面圖。在本實(shí)施例中，說(shuō)明發(fā)光用基板1003是彩色發(fā)光用基板的情況。具有和實(shí)施例1的濾色器1000相同的結(jié)構(gòu)，對(duì)于具有相同的作用和效果的部分標(biāo)以相同的符號(hào)，并省略其說(shuō)明。
如圖15所示，彩色EL顯示裝置1200包括基板112和設(shè)置在基板112上的發(fā)光用基板1003。
首先，說(shuō)明發(fā)光用基板1003的概要。如圖15和圖16所示，發(fā)光用基板1003包含像素區(qū)域110和周邊區(qū)域。這里，所謂周邊區(qū)域，就是與像素區(qū)域110相鄰地配置的區(qū)域。該周邊區(qū)域包含著落精度試驗(yàn)用區(qū)域210。即，著落精度試驗(yàn)用區(qū)域210位于像素區(qū)域110以外。該著落精度試驗(yàn)用區(qū)域210包含在上述周邊區(qū)域中，并且包含具有與發(fā)光區(qū)域230的形狀對(duì)應(yīng)的形狀的評(píng)價(jià)區(qū)域。下面，先說(shuō)明像素區(qū)域110。
(1)像素區(qū)域如圖15和圖16所示，像素區(qū)域110包含存儲(chǔ)區(qū)域(分割區(qū)域)220和發(fā)光區(qū)域230。該存儲(chǔ)區(qū)域220和發(fā)光區(qū)域230在基板111上形成。另外，發(fā)光區(qū)域230由存儲(chǔ)區(qū)域220所分割。具體而言，如圖16所示，在像素區(qū)域110中，發(fā)光區(qū)域230由存儲(chǔ)區(qū)域220所分割。
另外，像素區(qū)域110進(jìn)而包含在基板111上形成的開(kāi)關(guān)元件202。
基板111是支持體，同時(shí)起取出光的面的功能。因此，基板111要考慮光的透過(guò)性和熱的穩(wěn)定性而進(jìn)行選擇。作為基板111所使用的透明基板材料，可以是例如玻璃基板和透明塑料等。
作為開(kāi)關(guān)元件202，可以是例如TFT元件。相鄰的開(kāi)關(guān)元件202由絕緣層221所分離。
發(fā)光區(qū)域230包含功能層和由第1及第2電極層227、229構(gòu)成的一對(duì)電極層。上述功能層包含發(fā)光層和根據(jù)需要而設(shè)置的孔穴輸送/注入層。在本實(shí)施例的發(fā)光用基板1003中，上述功能層包含發(fā)光層42(42g、42r、42b)和孔穴輸送/注入層204。
發(fā)光層42在基板111上按指定的矩陣圖形排列，并且由存儲(chǔ)區(qū)域220所分割。另外，如圖15所示，發(fā)光層42在第1電極層227與第2電極層229之間形成。在本實(shí)施例中，發(fā)光層42由具有構(gòu)成光的三原色的紅、綠、籃的各色的多個(gè)發(fā)光層42r、42g、42b構(gòu)成。這些發(fā)光層42按指定的排列例如條紋排列、三角排列或鑲嵌排列等排列圖形而配置，由連續(xù)的3色的色要素構(gòu)成1像素。另外，在本實(shí)施例中，發(fā)光層42由可以通過(guò)場(chǎng)致發(fā)光而發(fā)光的材料形成。
如圖15所示，在本實(shí)施例的發(fā)光用基板1003中，可以在第1電極層227與發(fā)光層42之間形成孔穴輸送/注入層204。這里，所謂孔穴輸送/注入層，就是從陽(yáng)極向發(fā)光層輸送孔穴或可以有效地注入孔穴的層。
存儲(chǔ)區(qū)域220主要是為了分割發(fā)光層42而形成的。作為存儲(chǔ)區(qū)域42，可以使用由存儲(chǔ)絕緣層(第1絕緣層)222和樹(shù)脂層224構(gòu)成的集層體。存儲(chǔ)絕緣層222由例如氧化硅層構(gòu)成。樹(shù)脂層224由例如聚酰亞銨構(gòu)成。存儲(chǔ)絕緣層222集層在絕緣層221上，樹(shù)脂層224在存儲(chǔ)絕緣層222上形成。另外，存儲(chǔ)絕緣層222作為存儲(chǔ)區(qū)域220的結(jié)構(gòu)要素將發(fā)光區(qū)域230分割，同時(shí)具有將相鄰的第1電極層227之間分離的功能。
第1和第2電極層227、229是為了向發(fā)光層42供給電荷而設(shè)置的。在本實(shí)施例中，第1電極層227是陽(yáng)極，第2電極層229是陰極。第1電極層227可以使用功函數(shù)大的(例如4eV以上)金屬、合金、導(dǎo)電性化合物或這些物質(zhì)的混合物。例如，用ITO、CuI、SnO2、ZnO等透明的導(dǎo)電材料構(gòu)成第1電極層227。另外，作為第2電極層229，可以使用電子注入性金屬、合金導(dǎo)電性化合物和這些物質(zhì)的混合物。
(2)著落精度試驗(yàn)用區(qū)域著落精度試驗(yàn)用區(qū)域210包含在上述周邊區(qū)域中。該著落精度試驗(yàn)用區(qū)域210包括包含在上述周邊區(qū)域中的并且具有與發(fā)光區(qū)域230的形狀對(duì)應(yīng)的形狀的區(qū)域。排列著具有與上述發(fā)光區(qū)域230的形狀對(duì)應(yīng)的形狀的區(qū)域。具體而言，如圖15所示，在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域210中，形成了著落精度試驗(yàn)用層226。另外，在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域210中，和像素區(qū)域110一樣，形成了在基板111上形成的存儲(chǔ)絕緣層(第2絕緣層)222、主要在存儲(chǔ)絕緣層222上形成的并且與開(kāi)關(guān)元件202連接的第1電極層227和將相鄰的第1電極層227分離的存儲(chǔ)絕緣層222。
著落精度試驗(yàn)用層226設(shè)置在上述周邊區(qū)域中用以覆蓋具有與發(fā)光區(qū)域230的形狀對(duì)應(yīng)的形狀的區(qū)域，并且具有不沾液滴材料的性質(zhì)。該著落精度試驗(yàn)用層226可以由與構(gòu)成像素區(qū)域110的存儲(chǔ)區(qū)域220的樹(shù)脂層224相同的材料形成。例如，該樹(shù)脂層224由聚酰亞銨樹(shù)脂形成時(shí)，著落精度試驗(yàn)用層226同樣也可以由聚酰亞銨樹(shù)脂形成。
另外，構(gòu)成著落精度試驗(yàn)用區(qū)域210的存儲(chǔ)絕緣層(第2絕緣層)222在像素區(qū)域110中可以用與構(gòu)成存儲(chǔ)區(qū)域220的存儲(chǔ)絕緣層(第1絕緣層)222相同的工序形成。即，構(gòu)成著落精度試驗(yàn)用區(qū)域210的第1存儲(chǔ)絕緣層222，在像素區(qū)域110中從基板112開(kāi)始形成與構(gòu)成存儲(chǔ)區(qū)域220的第2存儲(chǔ)絕緣層222相同的高度，并且可以具有相同的圖形。
此外，在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域210形成的開(kāi)關(guān)元件202可以用和在像素區(qū)域119形成的開(kāi)關(guān)元件202相同的工序形成，并且可以具有相同的結(jié)構(gòu)。
另外，在本實(shí)施例的發(fā)光用基板1003中，如圖15所示，在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域210中，在基板111上形成游標(biāo)層228。該游標(biāo)層228具有與在上述實(shí)施例2中構(gòu)成濾色器的游標(biāo)層相同的作用和效果。在本實(shí)施例的發(fā)光用基板1003中，該游標(biāo)層228形成從基板112開(kāi)始與構(gòu)成開(kāi)關(guān)元件202的金屬配線層(圖中未示出)相同的高度。這時(shí)，游標(biāo)層228可以由與該金屬配線層相同的材料形成。例如，該金屬配線層由鉻或鋁構(gòu)成時(shí)，游標(biāo)層228也可以由鉻或鋁形成。
(設(shè)備的動(dòng)作)下面，說(shuō)明形成了圖15所示的發(fā)光用基板1003的彩色EL顯示裝置1200的動(dòng)作和作用。
通過(guò)將指定的電壓加到第1電極層(陽(yáng)極)227和第2電極層(陰極)229上，分別從陰極229向發(fā)光層42內(nèi)注入電子，而從陽(yáng)極227向發(fā)光層42內(nèi)注入孔穴。在發(fā)光層42內(nèi)，通過(guò)電子與孔穴復(fù)合，生成激發(fā)子，該激發(fā)子去激時(shí)，就發(fā)生熒光或磷光等。
(發(fā)光用基板的制造方法)下面，參照?qǐng)D17和圖18說(shuō)明本實(shí)施例的發(fā)光用基板1003的制造方法。圖17(A)～(C)和圖18(A)～(C)都是模式地表示圖16所示的發(fā)光用基板1003的制造工序的部分剖面圖，是表示沿圖16的CC面切斷的剖面的圖。
(1)遮光層的形成首先，如圖17(A)所示，在像素區(qū)域110和著落精度試驗(yàn)用區(qū)域210中，在基板111上用眾所周知的方法順序形成開(kāi)關(guān)元件202、將相鄰的開(kāi)關(guān)元件202分離的絕緣層221、第1電極層227和具有指定的圖形的存儲(chǔ)絕緣層(第1和第2絕緣層)222。這里，如圖17(A)所示，在第1電極層227形成前在絕緣層221的指定的區(qū)域(位于開(kāi)關(guān)元件202上的區(qū)域)形成開(kāi)口部之后，通過(guò)在該絕緣層221上形成第1電極層227，使開(kāi)關(guān)元件202與第1電極層227電氣連接。另外，在后面所述的工序中，如圖16所示，在不形成存儲(chǔ)絕緣層222的部分形成發(fā)光區(qū)域230。
然后，在整個(gè)面上形成感光性樹(shù)脂層(圖中未示出)之后，通過(guò)利用光刻法蝕刻成圖形，在像素區(qū)域110中，通過(guò)在存儲(chǔ)絕緣層222上形成樹(shù)脂層224而形成存儲(chǔ)區(qū)域220，同時(shí)在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域210中，在存儲(chǔ)絕緣層222和第1電極層227上形成著落精度試驗(yàn)用層226。另外，通過(guò)形成存儲(chǔ)區(qū)域220，在后面所述的工序中，在形成發(fā)光區(qū)域230的區(qū)域形成開(kāi)口部。即，該開(kāi)口部成為功能層形成區(qū)域430。即，該功能層形成區(qū)域430是由存儲(chǔ)區(qū)域220所分割的區(qū)域，是在后面所述的工序中形成功能層(發(fā)光層42和孔穴輸送/注入層204)的區(qū)域。
(2)孔穴輸送/注入層的形成然后，如圖17(B)和圖17(C)所示，應(yīng)用在液滴材料噴出方式中使用的液滴材料噴頭500的液滴材料噴出法，在功能層形成區(qū)域430形成孔穴輸送/注入層204。作為用于形成孔穴輸送/注入層204的材料502，可以使用例如聚亞乙基二氧基噻吩與聚苯乙烯磺酸酯的混合物。在本實(shí)施例中，形成與各彩色點(diǎn)相同材質(zhì)的孔穴輸送/注入層，但是，也可以根據(jù)情況對(duì)各發(fā)光層使用適合于發(fā)光層的孔穴輸送/注入材料形成孔穴輸送/注入層。
(3)液滴材料著落精度試驗(yàn)在像素區(qū)域110中形成發(fā)光層42之前，在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域210中，使這些發(fā)光層42形成時(shí)使用的液滴材料著落到著落精度試驗(yàn)用層226上，測(cè)定該液滴材料的著落精度。
在本實(shí)施例中，和上述孔穴輸送/注入層204形成時(shí)使用的方法一樣，應(yīng)用液滴材料噴出法形成發(fā)光層42。
利用液滴材料噴出法附著液滴材料時(shí)，如前所述，液滴材料未著落到設(shè)想的物質(zhì)的原因，有液滴材料噴頭被彎曲地設(shè)置、噴出液滴材料時(shí)使用的噴嘴本身發(fā)生了彎曲、液滴材料從噴嘴中彎曲地噴出、基板與液滴材料噴頭的相對(duì)位置發(fā)生了偏離等。使用以下所示的方法，評(píng)價(jià)液滴材料的著落精度，查明這些原因，可以提高液滴材料的著落精度。
首先，如圖18(A)所示，在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域210中，使液滴材料附著到著落精度試驗(yàn)用層226上，形成凸?fàn)畹囊旱尾牧蠈?20。這里，使凸?fàn)顚?20著落到著落精度試驗(yàn)用層226中位于存儲(chǔ)區(qū)域222上的區(qū)域即位于存儲(chǔ)區(qū)域222的邊緣部222a的內(nèi)側(cè)的區(qū)域內(nèi)(參見(jiàn)圖16)。如圖16所示，液滴材料的著落精度根據(jù)凸?fàn)顚?20與存儲(chǔ)區(qū)域222的邊緣部222a的相對(duì)位置和/或著落的凸?fàn)顚?20之間的相對(duì)位置進(jìn)行評(píng)價(jià)。用凸?fàn)顚?20之間的相對(duì)位置進(jìn)行評(píng)價(jià)時(shí)，如圖16所示，在著落精度試驗(yàn)用層226上形成多個(gè)凸?fàn)顚?20，根據(jù)凸?fàn)顚?20之間的相對(duì)位置評(píng)價(jià)著落精度。
在本實(shí)施例中，在像素區(qū)域110和著落精度試驗(yàn)用區(qū)域210中，分別用相同的圖形形成存儲(chǔ)絕緣層222。因此，在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域210中，在著落精度試驗(yàn)用層226上，通過(guò)使凸?fàn)顚?20著落到由存儲(chǔ)區(qū)域222的邊緣部222a包圍的區(qū)域內(nèi)，設(shè)想液滴材料著落到像素區(qū)域110的功能層形成區(qū)域430的情況，就可以評(píng)價(jià)液滴材料的著落精度。
以上的液滴材料著落精度試驗(yàn)的結(jié)果，在著落精度不理想時(shí)，根據(jù)需要進(jìn)行用于提高著落精度的調(diào)整。
(4)發(fā)光層的形成然后，形成實(shí)際成為像素的發(fā)光層42(42g、42r、42b)。首先，如圖18(B)所示，利用液滴材料噴出法分別將紅色發(fā)光層用液滴材料、綠色發(fā)光層用液滴材料和藍(lán)色發(fā)光層用液滴材料涂布到孔穴輸送/注入層204上。然后，除去溶劑，并在氮?dú)夥諊羞M(jìn)行熱處理，使液滴材料組成物硬化或共扼化，如圖18(C)所示的那樣形成紅、綠、籃的三原色的紅色發(fā)光層42r、綠色發(fā)光層42g和藍(lán)色發(fā)光層42b。通過(guò)熱處理而共扼化的發(fā)光層對(duì)溶劑是不溶的。通過(guò)以上的工序，就形成了圖15所示的發(fā)光區(qū)域230。
按照這樣的液滴材料噴出法，可以簡(jiǎn)便地在短時(shí)間內(nèi)形成微細(xì)的圖形。另外，通過(guò)改變液滴材料的固體成分的濃度和噴出量，就可以硅膜厚。
另外，在形成發(fā)光層42之前，可以使用氧氣和碳氟化合物等離子體對(duì)孔穴輸送/注入層204進(jìn)行連續(xù)的等離子體處理。這樣，在孔穴輸送/注入層204上就形成氟化物層，電離電位升高，從而可以提供孔穴注入效率優(yōu)異的有機(jī)EL基板。
根據(jù)發(fā)光材料的種類，可以利用液滴材料噴出法形成有機(jī)發(fā)光層中的1騷或2色，而用先有的涂布方法形成其他2色或1色。按照該方法，即使是不太適合于液滴材料噴出法的發(fā)光材料，通過(guò)與液滴材料噴出法可以使用的其他有機(jī)發(fā)光材料組合，也可以形成全彩色的有機(jī)EL基板，所以，這就增加了元件設(shè)計(jì)的自由度。作為液滴材料噴出法以外的涂布方法，有印刷法、轉(zhuǎn)印法、浸漬法、旋轉(zhuǎn)涂敷法、澆鑄法、毛細(xì)管法、滾動(dòng)涂敷法、條型碼法等。
(5)第2電極層的形成如圖15所示，作為陰極，形成第2電極層229。作為第2電極層229，可以使用金屬薄膜。作為構(gòu)成第2電極層229的金屬，有例如鎂、銀、鋁、鋰等。另外，除此之外，也可以使用功函數(shù)小的材料，例如，可以使用堿金屬或鉀等堿金屬和包含這些堿金屬的合金。另外，也可以應(yīng)用金屬的氟化物。這樣的第2電極層229可以利用蒸發(fā)法和濺射法等形成。
此外，也可以在第2電極層229上形成保護(hù)膜。通過(guò)形成保護(hù)膜，可以防止第2電極層229和各發(fā)光層42的劣化、損傷和剝離等。
作為這樣的保護(hù)膜的構(gòu)成材料，有環(huán)氧樹(shù)脂、丙烯?；鶚?shù)脂、液體玻璃等。另外，作為保護(hù)膜的形成方法，有例如旋轉(zhuǎn)涂敷法、澆鑄法、浸漬法、條型碼法、滾動(dòng)涂敷法、毛細(xì)管法等。
第2電極層229可以根據(jù)應(yīng)用發(fā)光體的電光裝置的結(jié)構(gòu)而設(shè)置。然后，通過(guò)在指定位置切斷發(fā)光用基板1003，形成多個(gè)發(fā)光體。
在上述制造方法中，作為各層的材質(zhì)，可以使用眾所周知的物質(zhì)。另外，作為孔穴輸送/注入層、發(fā)光層等的材料，可以使用本申請(qǐng)人在特愿平11-134320號(hào)公報(bào)和特愿平11-250486號(hào)公報(bào)所記載的材料。
另外，在上述制造方法中，說(shuō)明了用液滴材料噴出法形成構(gòu)成彩色點(diǎn)的孔穴輸送/注入層和發(fā)光層的例子，但是，也可以僅僅是發(fā)光層?；蛘?，也可以進(jìn)而設(shè)置電子輸送/注入層。
另外，和實(shí)施例3的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板一樣，也可以形成本實(shí)施例的發(fā)光用基板1003中不形成像素區(qū)域110的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板(參見(jiàn)后面所述的實(shí)施例7)。按照該發(fā)光用基板的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板，通過(guò)對(duì)包含圖形與實(shí)際制造的發(fā)光用基板相同的第1電極層227和第2電極層229的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板進(jìn)行液滴材料著落精度試驗(yàn)，可以充分確認(rèn)液滴材料的著落精度，并在提高著落精度之后，可以形成實(shí)際制造的發(fā)光用基板的發(fā)光層。這樣，便可制造沒(méi)有像素缺陷和色調(diào)模糊并且對(duì)比度高的發(fā)光用基板。
實(shí)施例6.
下面，作為本發(fā)明的電光裝置給出使用液晶顯示裝置的電子儀器的例子。
(1)數(shù)碼相機(jī)下面，說(shuō)明將本發(fā)明實(shí)施例4的液晶顯示裝置110應(yīng)用于取景器的數(shù)碼相機(jī)。圖19是表示該數(shù)碼相機(jī)的結(jié)構(gòu)的斜視圖，此外，也簡(jiǎn)單地表示出了與外部機(jī)器的連接。
通常的相機(jī)，是利用被攝體的光像使膠卷曝光，與此相反，數(shù)碼相機(jī)2000則利用CCD(Charge Coupled Device)等攝像元件將被攝體的光像進(jìn)行光電變換，生成攝像信號(hào)。這里，在數(shù)碼相機(jī)2000的機(jī)殼2202的背面(在圖19中是前面?zhèn)?，設(shè)置了上述液晶顯示裝置1000的液晶顯示屏，根據(jù)CCD的攝像信號(hào)進(jìn)行顯示。因此，液晶顯示裝置1100起顯示被攝體的取景器的功能。另外，在機(jī)殼2202的前面?zhèn)?在圖19中是背面?zhèn)?，設(shè)置了包括光學(xué)透鏡及CCD等的受光單元2204。
這里，在攝影者確認(rèn)液晶顯示裝置1100顯示的被攝體像而按下快門按鈕2206時(shí)，該時(shí)刻CCD的攝像信號(hào)就向電路板2208的存儲(chǔ)器傳輸并存儲(chǔ)。另外，在該數(shù)碼相機(jī)2000上，在機(jī)殼2202的側(cè)面，設(shè)置了視頻信號(hào)輸出端子2212和數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子2214。并且，如圖19所示，根據(jù)需要可以將電視監(jiān)視器2300與前者的視頻信號(hào)輸出端子2212連接，另外，也可以將電腦2400與后者的數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子2214連接。此外，通過(guò)指定的操作而存儲(chǔ)到電路板2208的存儲(chǔ)器中的攝像信號(hào)向電視監(jiān)視器2300或電腦2400輸出。
(2)手機(jī)、其他電子儀器圖20(A)、(B)、(C)是表示使用作為本發(fā)明的電光裝置的液晶顯示裝置的其他電子儀器的例子的外觀圖。圖20(A)是手機(jī)3000，在其前面上方具有液晶顯示裝置1100。圖20(B)是手表4000，在其本體的前面中央設(shè)置了使用液晶顯示裝置1100的顯示部。圖20(C)是便攜式信息機(jī)器5000，具有由液晶顯示裝置1100構(gòu)成的顯示部和輸入部5100。
這些電子儀器除了液晶顯示裝置1100外，沒(méi)有詳細(xì)圖示，但是，都包括顯示信息輸出源、顯示信息處理電路、時(shí)鐘發(fā)生電路等各種各樣的電路和由向這些電路供電的電源電路等構(gòu)成的顯示信號(hào)生成部。在顯示部，根據(jù)例如是便攜式信息機(jī)器5000時(shí)從輸入部5100輸入的信息等，通過(guò)供給由顯示信號(hào)生成部生成的顯示信號(hào)而形成顯示圖像。
作為組裝了本發(fā)明的液晶顯示裝置1100的電子儀器，不限于數(shù)碼相機(jī)、手機(jī)、手表和便攜式信息機(jī)器，也可以是電子記事簿、呼機(jī)、POS終端、IC卡、迷你光盤機(jī)、液晶投影儀、多媒體對(duì)應(yīng)的電腦(PC)和工程技術(shù)工作站(EWS)、筆記本電腦、文字處理器、電視、取景器型或監(jiān)視器直視型的攝像機(jī)、計(jì)算器、汽車駕駛導(dǎo)向裝置、具有觸摸屏的裝置、時(shí)鐘等各種各樣的電子儀器。
液晶顯示屏，按驅(qū)動(dòng)方式說(shuō)，可以使用顯示屏本身不使用開(kāi)關(guān)元件的單純矩陣液晶顯示屏及靜態(tài)驅(qū)動(dòng)液晶顯示屏、使用以TFT(薄膜晶體管)為代表的三端開(kāi)關(guān)元件或以TFD(薄膜二極管)為代表的二端開(kāi)關(guān)元件的有源矩陣液晶顯示屏，按電光特性說(shuō)，可以使用TN型、STN型、賓主型、相轉(zhuǎn)移型、強(qiáng)電介質(zhì)型等各種類型的液晶顯示屏。
本發(fā)明的裝置，已按照幾個(gè)特定的實(shí)施例進(jìn)行了說(shuō)明，但是，本發(fā)明在其主旨的范圍內(nèi)可以有各種變形。例如，在上述實(shí)施例中，作為電光裝置的圖像顯示單元(電光顯示部)，說(shuō)明了使用本發(fā)明實(shí)施例4的液晶顯示裝置1100的情況，但是，本發(fā)明不限定此種情況，例如，也可以使用本發(fā)明實(shí)施例5的EL顯示裝置1200。另外，可以將本發(fā)明的電光裝置應(yīng)用于使用薄型的示波管或液晶色盤等的小型電視、場(chǎng)致發(fā)光、等離子體顯示器、CRT顯示器、FED(Field EmissionDisplay)顯示屏、電泳顯示器裝置等各種電光裝置。
實(shí)施例7.
(發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板)圖21是模式地表示本發(fā)明實(shí)施例7的發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試基板1004的部分平面圖。
本實(shí)施例的發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1004具有與構(gòu)成上述實(shí)施例5的發(fā)光用基板1003的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域210(參見(jiàn)圖15)近似的結(jié)構(gòu)。即，在圖21所示的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1004上，不設(shè)置圖15所示的像素區(qū)域100，而在整個(gè)面上形成在圖15中所說(shuō)的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域210。在發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1004中，對(duì)于具有實(shí)際上與實(shí)施例5的發(fā)光用基板1003相同功能的部分標(biāo)以相同的符號(hào)，并省略其詳細(xì)的說(shuō)明。
發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1004包含在基板111上形成的開(kāi)關(guān)元件202、電極227、存儲(chǔ)絕緣層222和著落精度試驗(yàn)用層226。電極227與開(kāi)關(guān)元件202連接，著落精度試驗(yàn)用層226在電極227上形成。存儲(chǔ)絕緣層226具有指定的圖形，并且具有將相鄰的電極227分離的功能。
該液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1004是為了進(jìn)行液滴材料的著落精度試驗(yàn)而作成的。即，在發(fā)光用基板的制造工序中，在實(shí)際制造發(fā)光用基板之前，使用該液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1004進(jìn)行功能層形成時(shí)的液滴材料的著落精度試驗(yàn)。
液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1004除了不形成像素區(qū)域這一點(diǎn)外，具有與實(shí)際制造的發(fā)光用基板相同的結(jié)構(gòu)。即，液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1004使用與實(shí)際制造的發(fā)光用基板相同的基板作成。存儲(chǔ)絕緣層226和電極227具有與在實(shí)際制造的發(fā)光用基板上形成的圖15所示的發(fā)光用基板1003的存儲(chǔ)絕緣層226和電極227相同的圖形。另外，在基板111上，形成由金屬層構(gòu)成的游標(biāo)層228。該游標(biāo)層228和圖15所示的發(fā)光用基板1003一樣，可以從基板112開(kāi)始形成與將構(gòu)成開(kāi)關(guān)元件202的金屬配線層(圖中未示出)相同的高度。
(發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造方法)發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1004，可以用和在實(shí)施例5的發(fā)光用基板1003中形成著落精度試驗(yàn)用區(qū)域210的工序相同的工序進(jìn)行制造。另外，在本實(shí)施例中，液滴材料的著落精度試驗(yàn)可以用和實(shí)施例5的圖18(A)所示的工序相同的工序進(jìn)行。這時(shí)，如前所述，對(duì)液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1004的液滴材料的著落精度試驗(yàn)，在實(shí)際制造的發(fā)光用基板制造之前進(jìn)行。
該液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1004具有與實(shí)際制造的發(fā)光用基板相同的結(jié)構(gòu)，所以，可以和對(duì)實(shí)際制造的發(fā)光用基板進(jìn)行試驗(yàn)一樣進(jìn)行著落精度試驗(yàn)。此外，按照本實(shí)施例，在制造發(fā)光用基板之前，對(duì)作為試驗(yàn)專用基板的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1004進(jìn)行液滴材料著落精度試驗(yàn)。試驗(yàn)的結(jié)果，和圖15所示的發(fā)光用基板一樣，在著落精度試驗(yàn)用層226上，形成凸?fàn)顚?在圖21中未示出)。
該液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1004形成圖形與實(shí)際制造的發(fā)光用基板相同的存儲(chǔ)絕緣層222和電極層227，所以，對(duì)該液滴材料著落精度試驗(yàn)基板1004可以預(yù)先進(jìn)行試驗(yàn)，充分確認(rèn)液滴材料的著落精度，在提高著落精度之后，可以進(jìn)行實(shí)際制造的發(fā)光用基板的功能層的形成。這樣，便可制造沒(méi)有像素缺陷和色調(diào)模糊并且對(duì)比度高的發(fā)光用基板。
權(quán)利要求
1.一種濾色器，其特征在于具有包括遮光區(qū)域和由上述遮光區(qū)域分割的透過(guò)區(qū)域的像素區(qū)域、位于上述像素區(qū)域以外的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域、設(shè)置在上述遮光區(qū)域的第1遮光層、設(shè)置在上述透過(guò)區(qū)域的色要素、設(shè)置在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域的第2遮光層和用以至少覆蓋上述第2遮光層而設(shè)置在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域的著落精度試驗(yàn)用層，在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中，設(shè)置了由上述第2遮光層分割的評(píng)價(jià)區(qū)域。
2.按權(quán)利要求1所述的濾色器，其特征在于構(gòu)成上述像素區(qū)域的上述遮光區(qū)域進(jìn)而包含存儲(chǔ)層，上述存儲(chǔ)層設(shè)置在設(shè)置于上述像素區(qū)域的上述第1遮光層上。
3.按權(quán)利要求1或2所述的濾色器，其特征在于設(shè)置在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域的上述第2遮光層具有與設(shè)置在上述像素區(qū)域的上述第1遮光層相同的圖形。
4.按權(quán)利要求1～3的任一權(quán)項(xiàng)所述的濾色器，其特征在于在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中，設(shè)置了游標(biāo)層。
5.按權(quán)利要求4所述的濾色器，其特征在于上述游標(biāo)層設(shè)置在上述評(píng)價(jià)區(qū)域內(nèi)的指定的位置。
6.按權(quán)利要求4或5所述的濾色器，其特征在于上述游標(biāo)層由與上述第2遮光層相同的材料構(gòu)成。
7.按權(quán)利要求1～6的任一權(quán)項(xiàng)所述的濾色器，其特征在于在設(shè)置在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域的上述命中精度試驗(yàn)用層上，形成凸?fàn)顚印?br> 8.一種液滴材料著落精度的測(cè)定方法，其特征在于使用權(quán)利要求1～6的任一權(quán)項(xiàng)所述的濾色器，在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中，使液滴材料著落到上述著落精度試驗(yàn)用層上，形成凸?fàn)顚印?br> 9.一種濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板，其特征在于具有包含遮光層和用以至少覆蓋該遮光層而形成的著落精度試驗(yàn)用層的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域，在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中，設(shè)置了由上述遮光層分割的評(píng)價(jià)區(qū)域。
10.按權(quán)利要求9所述的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板，其特征在于進(jìn)而設(shè)置了游標(biāo)層。
11.按權(quán)利要求9或10所述的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板，其特征在于上述游標(biāo)層設(shè)置在上述評(píng)價(jià)區(qū)域內(nèi)的指定的位置。
12.按權(quán)利要求10或11所述的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板，其特征在于上述游標(biāo)層由與上述遮光層相同的材料構(gòu)成。
13.按權(quán)利要求9～12的任一權(quán)項(xiàng)所述的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板，其特征在于在上述著落精度試驗(yàn)用層上形成凸?fàn)顚印?br> 14.一種液滴材料著落精度的測(cè)定方法，其特征在于使用權(quán)利要求9～12的任一權(quán)項(xiàng)所述的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板，使液滴材料著落到上述著落精度試驗(yàn)用層上，形成凸?fàn)顚印?br> 15.一種濾色器的制造方法，其特征在于包括(a)通過(guò)在像素區(qū)域中形成具有指定的矩陣圖形的第1遮光層而設(shè)置包含該第1遮光層的遮光區(qū)域的工序及通過(guò)在位于上述像素區(qū)域以外的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成具有指定的矩陣圖形的第2遮光層而形成由該第2遮光層分割的評(píng)價(jià)區(qū)域的工序、(b)在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中用以至少覆蓋上述第2遮光層而形成著落精度試驗(yàn)用層的工序、(c)在上述像素區(qū)域中，通過(guò)在色要素形成區(qū)域形成色要素而形成由上述遮光區(qū)域分割的透過(guò)區(qū)域的工序。
16.按權(quán)利要求15所述的濾色器的制造方法，其特征在于上述工序(b)是在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域形成上述著落精度試驗(yàn)用層的同時(shí)，在上述像素區(qū)域中在上述第1遮光層上形成存儲(chǔ)層的工序。
17.按權(quán)利要求15或16所述的濾色器的制造方法，其特征在于進(jìn)而包括(d)在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中，使液滴材料著落到上述著落精度試驗(yàn)用層上而形成凸?fàn)顚拥墓ば颉?br> 18.按權(quán)利要求15～17的任一權(quán)項(xiàng)所述的濾色器的制造方法，其特征在于在上述工序(a)中，上述第1和第2遮光層是在基板上形成金屬層之后，通過(guò)利用光刻法和腐蝕法將該金屬層蝕刻成圖形而形成的。
19.按權(quán)利要求15～18的任一權(quán)項(xiàng)所述的濾色器的制造方法，其特征在于上述工序(a)是在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成上述第2遮光層的同時(shí)，在上述評(píng)價(jià)區(qū)域內(nèi)的指定的位置形成游標(biāo)層的工序。
20.按權(quán)利要求16～19的任一權(quán)項(xiàng)所述的濾色器的制造方法，其特征在于上述工序(b)是在上述像素區(qū)域中在上述第1遮光層上形成感光性樹(shù)脂層之后通過(guò)利用光刻法將該感光性樹(shù)脂層蝕刻成圖形而形成上述存儲(chǔ)層的工序。
21.按權(quán)利要求15～20的任一權(quán)項(xiàng)所述的濾色器的制造方法，其特征在于上述工序(c)是使用液滴材料噴頭使液滴材料附著到上述色要素形成區(qū)域而形成上述色要素的工序。
22.一種濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造方法，其特征在于包括(a)通過(guò)形成具有指定的矩陣圖形的遮光層而形成由該遮光層分割的評(píng)價(jià)區(qū)域的工序、(b)通過(guò)形成著落精度試驗(yàn)用層用以至少覆蓋該遮光層而形成著落精度試驗(yàn)用區(qū)域的工序。
23.按權(quán)利要求22所述的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造方法，其特征在于進(jìn)而包括(c)在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中，使液滴材料著落到上述著落精度試驗(yàn)用層上而形成凸?fàn)顚拥墓ば颉?br> 24.按權(quán)利要求22或23所述的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造方法，其特征在于在上述工序(a)中，上述遮光層是在基板上形成金屬層之后，通過(guò)利用光刻法和腐蝕法將該金屬層蝕刻成圖形而形成的。
25.按權(quán)利要求22～24的任一權(quán)項(xiàng)所述的濾色器用液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造方法，其特征在于上述工序(a)是在形成上述遮光層的同時(shí)在上述評(píng)價(jià)區(qū)域內(nèi)的指定的位置形成游標(biāo)層的工序。
26.一種發(fā)光用基板，其特征在于具有包含存儲(chǔ)區(qū)域和由上述存儲(chǔ)區(qū)域分割的發(fā)光區(qū)域的像素區(qū)域、位于上述像素區(qū)域以外的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域、設(shè)置在上述發(fā)光區(qū)域的功能層和設(shè)置在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域的著落精度試驗(yàn)用層。
27.按權(quán)利要求26所述的發(fā)光用基板，其特征在于上述功能層在一對(duì)電極層之間形成。
28.按權(quán)利要求26或27所述的發(fā)光用基板，其特征在于上述存儲(chǔ)區(qū)域由第1絕緣層和樹(shù)脂層順序集層而構(gòu)成。
29.按權(quán)利要求28所述的發(fā)光用基板，其特征在于上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域包含第2絕緣層，構(gòu)成上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域的上述第2絕緣層，高度與在上述像素區(qū)域中構(gòu)成上述存儲(chǔ)區(qū)域的上述第1絕緣層相同并且具有相同的圖形。
30.按權(quán)利要求26～29的任一權(quán)項(xiàng)所述的發(fā)光用基板，其特征在于上述像素區(qū)域和上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域分別包含開(kāi)關(guān)元件，在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域形成的開(kāi)關(guān)元件和在上述像素區(qū)域形成的開(kāi)關(guān)元件具有相同的結(jié)構(gòu)。
31.按權(quán)利要求26～30的任一權(quán)項(xiàng)所述的發(fā)光用基板，其特征在于在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中，設(shè)置了游標(biāo)層。
32.按權(quán)利要求31所述的發(fā)光用基板，其特征在于在上述像素區(qū)域形成的開(kāi)關(guān)元件包含金屬配線層，上述游標(biāo)層的高度與上述金屬配線層相同。
33.按權(quán)利要求26～32的任一權(quán)項(xiàng)所述的發(fā)光用基板，其特征在于在設(shè)置在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域的上述著落精度試驗(yàn)用層上，形成凸?fàn)顚印?br> 34.一種發(fā)光用基板的液滴材料著落精度的測(cè)定方法，其特征在于使用權(quán)利要求26～33的任一權(quán)項(xiàng)所述的發(fā)光用基板，在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中，使液滴材料著落到上述著落精度試驗(yàn)用層上，形成凸?fàn)顚印?br> 35.一種發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板，其特征在于包括在基板上形成的開(kāi)關(guān)元件、與上述開(kāi)關(guān)元件連接的電極層、具有指定的圖形的存儲(chǔ)絕緣層和在上述電極層上形成的著落精度試驗(yàn)用層。
36.按權(quán)利要求35所述的發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板，其特征在于在上述基板上設(shè)置了游標(biāo)層。
37.按權(quán)利要求35或36所述的發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板，其特征在于上述游標(biāo)層由金屬層構(gòu)成。
38.按權(quán)利要求34～37的任一權(quán)項(xiàng)所述的發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板，其特征在于在上述著落精度試驗(yàn)用層上形成凸?fàn)顚印?br> 39.一種液滴材料著落精度的測(cè)定方法，其特征在于使用權(quán)利要求34～37的任一權(quán)項(xiàng)所述的發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板，使液滴材料著落到上述著落精度試驗(yàn)用層上，形成凸?fàn)顚印?br> 40.一種發(fā)光用基板的制造方法，其特征在于包括(a)形成像素區(qū)域中形成具有指定的圖形的存儲(chǔ)區(qū)域的工序、(b)在位于上述像素區(qū)域以外的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成著落精度試驗(yàn)用層的工序、(c)在上述像素區(qū)域中，通過(guò)在由上述存儲(chǔ)區(qū)域分割的區(qū)域中形成功能層而形成由上述存儲(chǔ)區(qū)域分割的發(fā)光區(qū)域的工序。
41.按權(quán)利要求40所述的發(fā)光用基板的制造方法，其特征在于進(jìn)而包括(d)在上述像素區(qū)域中形成給上述功能層附加電荷的一對(duì)電極層的工序。
42.按權(quán)利要求41或42所述的發(fā)光用基板的制造方法，其特征在于在上述工序(a)中，上述存儲(chǔ)區(qū)域是通過(guò)在第1絕緣層上集層樹(shù)脂層而形成的。
43.按權(quán)利要求42所述的發(fā)光用基板的制造方法，其特征在于上述工序(a)包含在上述像素區(qū)域中形成第1絕緣層的同時(shí)在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成第2絕緣層的工序，將上述第1絕緣層和上述第2絕緣層形成相同的高度，并且形成相同的圖形。
44.按權(quán)利要求42或43所述的發(fā)光用基板的制造方法，其特征在于在上述工序(a)中，上述樹(shù)脂層是在上述像素區(qū)域中形成感光性樹(shù)脂層，然后通過(guò)利用光刻法蝕刻成圖形而形成的。
45.按權(quán)利要求42～44的任一權(quán)項(xiàng)所述的發(fā)光用基板的制造方法，其特征在于在上述工序(b)中，上述著落精度試驗(yàn)用層是在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成感光性樹(shù)脂層，然后通過(guò)利用光刻法蝕刻成圖形而形成的。
46.按權(quán)利要求42～45的任一權(quán)項(xiàng)所述的發(fā)光用基板的制造方法，其特征在于將在上述工序(a)中形成上述樹(shù)脂層的工序和在上述工序(b)中形成上述著落精度試驗(yàn)用層的工序用同一工序進(jìn)行。
47.按權(quán)利要求40～46的任一權(quán)項(xiàng)所述的發(fā)光用基板的制造方法，其特征在于進(jìn)而包括(e)在上述像素區(qū)域和上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中分別形成具有相同結(jié)構(gòu)的開(kāi)關(guān)元件的工序。
48.按權(quán)利要求40～47的任一權(quán)項(xiàng)所述的發(fā)光用基板的制造方法，其特征在于進(jìn)而包括(f)在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中，使包含液滴材料的液滴著落到上述著落精度試驗(yàn)用層上從而形成凸?fàn)顚拥墓ば颉?br> 49.按權(quán)利要求40～48的任一權(quán)項(xiàng)所述的發(fā)光用基板的制造方法，其特征在于上述工序(a)包含在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成游標(biāo)層的工序。
50.按權(quán)利要求49所述的發(fā)光用基板的制造方法，其特征在于在上述工序(e)中，設(shè)置在上述像素區(qū)域的上述開(kāi)關(guān)元件包含金屬配線層，將上述游標(biāo)層形成與上述金屬配線層相同的高度。
51.按權(quán)利要求40～50的任一權(quán)項(xiàng)所述的發(fā)光用基板的制造方法，其特征在于上述工序(c)是使用液滴材料噴頭使液滴材料附著到由上述存儲(chǔ)區(qū)域分割的區(qū)域而形成上述功能層的工序。
52.一種發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造方法，其特征在于包括(a)在基板上形成開(kāi)關(guān)元件、電極層和具有指定的圖形的絕緣層的工序、(b)在上述電極層上形成著落精度試驗(yàn)用層的工序。
53.按權(quán)利要求52所述的發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造方法，其特征在于上述工序(b)是在上述電極層和上述絕緣層上形成上述著落精度試驗(yàn)用層的工序。
54.按權(quán)利要求52或53所述的發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造方法，其特征在于進(jìn)而包括(c)使液滴材料著落到上述著落精度試驗(yàn)用層上形成凸?fàn)顚拥墓ば颉?br> 55.按權(quán)利要求52～54的任一權(quán)項(xiàng)所述的發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造方法，其特征在于上述工序(b)是在形成感光性樹(shù)脂層后，通過(guò)利用光刻法蝕刻成圖形而形成上述著落精度試驗(yàn)用層的工序。
56.按權(quán)利要求52～55的任一權(quán)項(xiàng)所述的發(fā)光用基板用的液滴材料著落精度試驗(yàn)基板的制造方法，其特征在于上述工序(a)包含在上述基板上形成游標(biāo)層的工序。
57.一種電光裝置，其特征在于包括權(quán)利要求1～7的任一權(quán)項(xiàng)所述的濾色器、將上述濾色器相隔指定間隔而配置的對(duì)向基板和配置在上述濾色器與上述對(duì)向基板之間的電光材料層。
58.按權(quán)利要求57所述的電光裝置，其特征在于上述電光材料層是液晶材料層。
59.一種電光裝置，其特征在于包含權(quán)利要求26～33的任一權(quán)項(xiàng)所述的發(fā)光用基板，構(gòu)成上述發(fā)光用基板的上述功能層可以利用場(chǎng)致發(fā)光而發(fā)光。
60.一種電子儀器，其特征在于包含權(quán)利要求57～59的任一權(quán)項(xiàng)所述的電光裝置。
61.一種濾色器，其特征在于具有包括遮光區(qū)域和由上述遮光區(qū)域包圍的透過(guò)區(qū)域的像素區(qū)域、通過(guò)噴出液滴材料而在上述透過(guò)區(qū)域形成的色要素、與上述像素區(qū)域相鄰配置并且具有遮光區(qū)域的周邊區(qū)域和包含在上述周邊區(qū)域中并且通過(guò)由上述周邊區(qū)域的遮光區(qū)域包圍而具有與上述透過(guò)區(qū)域的形狀對(duì)應(yīng)的形狀的評(píng)價(jià)區(qū)域。
62.一種濾色器，其特征在于具有包括遮光區(qū)域和由上述遮光區(qū)域包圍的透過(guò)區(qū)域的像素區(qū)域、通過(guò)噴出液滴材料而在上述透過(guò)區(qū)域形成的色要素、與上述像素區(qū)域相鄰配置并且具有遮光區(qū)域的周邊區(qū)域、包含在上述周邊區(qū)域中并且由上述周邊區(qū)域的遮光區(qū)域包圍的評(píng)價(jià)區(qū)域和設(shè)置在上述周邊區(qū)域用以覆蓋上述評(píng)價(jià)區(qū)域并且具有不沾上述液滴材料的性質(zhì)的層。
63.一種濾色器，其特征在于具有包括遮光區(qū)域和由上述遮光區(qū)域包圍的多個(gè)透過(guò)區(qū)域的像素區(qū)域、通過(guò)噴出液滴材料而在上述透過(guò)區(qū)域形成的色要素、與上述像素區(qū)域相鄰配置并且具有遮光區(qū)域的周邊區(qū)域和包含在上述周邊區(qū)域中并且由上述周邊區(qū)域的遮光區(qū)域包圍的評(píng)價(jià)區(qū)域，排列著上述多個(gè)透過(guò)區(qū)域和上述評(píng)價(jià)區(qū)域。
64.一種發(fā)光用基板，其特征在于具有包括分割區(qū)域和由上述分割區(qū)域包圍的發(fā)光區(qū)域的像素區(qū)域、通過(guò)噴出液滴材料而在上述發(fā)光區(qū)域形成的功能層、與上述像素區(qū)域相鄰地配置的周邊區(qū)域、包含在上述周邊區(qū)域中的并且具有與上述發(fā)光區(qū)域的形狀對(duì)應(yīng)的形狀的評(píng)價(jià)區(qū)域和設(shè)置在上述周邊區(qū)域用以覆蓋上述評(píng)價(jià)區(qū)域并且具有不沾上液滴材料的性質(zhì)的層。
65.一種發(fā)光用基板，其特征在于具有包括分割區(qū)域和由上述分割區(qū)域包圍的多個(gè)發(fā)光區(qū)域的像素區(qū)域、通過(guò)噴出液滴材料而在上述發(fā)光區(qū)域形成的功能層、與上述像素區(qū)域相鄰地配置且具有遮光區(qū)域的周邊區(qū)域和包含在上述周邊區(qū)域中的并且具有與上述發(fā)光區(qū)域的形狀對(duì)應(yīng)的形狀的評(píng)價(jià)區(qū)域，排列著上述多個(gè)發(fā)光區(qū)域和上述評(píng)價(jià)區(qū)域。
66.一種成膜方法，其特征在于包括在位于膜形成區(qū)域以外的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成著落精度確認(rèn)用圖形的工序、在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成用以至少覆蓋上述著落精度試驗(yàn)用圖形的著落精度試驗(yàn)用層的工序、通過(guò)將液滴材料噴出到與上述著落精度試驗(yàn)用層上的上述著落精度確認(rèn)用圖形位置對(duì)應(yīng)的位置而形成凸?fàn)顚拥墓ば蚝透鶕?jù)上述著落精度確認(rèn)用圖形和上述凸?fàn)顚拥南鄬?duì)位置評(píng)價(jià)著落精度的工序。
67.按權(quán)利要求66所述的成膜方法，其特征在于上述著落精度試驗(yàn)用層具有不沾上述液滴材料的性質(zhì)。
68.一種成膜方法，其特征在于包括在位于膜形成區(qū)域以外的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成著落精度確認(rèn)用圖形的工序、在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成用以至少覆蓋上述著落精度試驗(yàn)用圖形的著落精度試驗(yàn)用層的工序、通過(guò)將液滴材料噴出到與上述著落精度試驗(yàn)用層上的上述著落精度確認(rèn)用圖形位置對(duì)應(yīng)的位置而形成多個(gè)凸?fàn)顚拥墓ば蚝透鶕?jù)上述多個(gè)凸?fàn)顚拥南鄬?duì)位置評(píng)價(jià)著落精度的工序。
69.按權(quán)利要求68所述的成膜方法，其特征在于上述著落精度試驗(yàn)用層具有不沾上述液滴材料的性質(zhì)。
70.一種成膜裝置，其特征在于具有用于噴出液滴材料的噴嘴，在位于成膜形成區(qū)域以外的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成著落精度確認(rèn)用圖形，在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成用以至少覆蓋上述著落精度確認(rèn)用圖形的著落精度試驗(yàn)用層，通過(guò)從上述噴嘴將液滴材料噴出到與用以至少覆蓋上述著落精度確認(rèn)用圖形而形成的上述著落精度試驗(yàn)用層上的上述著落精度確認(rèn)用圖形位置對(duì)應(yīng)的位置而形成凸?fàn)顚樱鶕?jù)上述著落精度確認(rèn)用圖形和上述凸?fàn)顚拥南鄬?duì)位置評(píng)價(jià)著落精度。
71.按權(quán)利要求70所述的成膜裝置，其特征在于上述著落精度試驗(yàn)用層具有不沾上述液滴材料的性質(zhì)。
72.一種成膜裝置，其特征在于具有用于噴出液滴材料的噴嘴，在位于成膜形成區(qū)域以外的著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成著落精度確認(rèn)用圖形，在上述著落精度試驗(yàn)用區(qū)域中形成用以至少覆蓋上述著落精度確認(rèn)用圖形的著落精度試驗(yàn)用層，通過(guò)從上述噴嘴將液滴材料噴出到與用以至少覆蓋上述著落精度確認(rèn)用圖形而形成的上述著落精度試驗(yàn)用層上的上述著落精度確認(rèn)用圖形位置對(duì)應(yīng)的位置而形成多個(gè)凸?fàn)顚?，根?jù)上述多個(gè)凸?fàn)顚拥南鄬?duì)位置評(píng)價(jià)著落精度。
73.按權(quán)利要求72所述的成膜裝置，其特征在于上述著落精度試驗(yàn)用層具有不沾上述液滴材料的性質(zhì)。
全文摘要
提供包含具有充分的遮光性的遮光區(qū)域和沒(méi)有混色的透過(guò)區(qū)域、沒(méi)有像素缺陷及色調(diào)模糊的對(duì)比度高的濾色器。本發(fā)明的濾色器1000包含像素區(qū)域100和著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200。像素區(qū)域100包括遮光區(qū)域20和由遮光區(qū)域分割的透過(guò)區(qū)域30。在遮光區(qū)域20上設(shè)置了第1遮光層22。透過(guò)區(qū)域30設(shè)置了色要素32。著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200位于像素區(qū)域20以外，包含第2遮光層122和用以至少覆蓋第2遮光區(qū)域122而設(shè)置的著落精度試驗(yàn)用層26。在著落精度試驗(yàn)用區(qū)域200中，設(shè)置了由第2遮光區(qū)域122分割的評(píng)價(jià)區(qū)域。
文檔編號(hào)H01L27/146GK1393704SQ0212437
公開(kāi)日2003年1月29日 申請(qǐng)日期2002年6月24日 優(yōu)先權(quán)日2001年6月25日
發(fā)明者木口浩史, 片上悟, 伊藤達(dá)也, 有賀久 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社