專利名稱：提供生產(chǎn)有機發(fā)光二極管裝置的結(jié)合掩模的定位掩模部分的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在生產(chǎn)有機發(fā)光二極管(OLED)的工藝中通過掩模將有機材料沉積在一種基體上。
背景技術(shù)：
在生產(chǎn)有機發(fā)光裝置時，需要多個步驟，其中，將有機層沉積在或覆蓋在一種基體上。重要的是對沉積掩模進行定位，并且正確地安裝，以便進行精確的沉積。所述沉積掩模通常是由一種磁性材料制成的精密掩模，并且這種材料是薄的和可延展的。所述沉積掩模是平板印刷的，并且因為它很薄，因此可以將適當(dāng)厚度的有機材料沉積在或覆蓋在所述基體上。一片沉積掩模的最大尺寸受到生產(chǎn)工藝限制的制約，特別是受到尺寸精確度和總體尺寸的制約?，F(xiàn)有技術(shù)的另一個制約因素是不能更換所述沉積掩模的有缺陷的區(qū)域。所述掩模生產(chǎn)工藝會發(fā)生誤差，并且掩模設(shè)計的尺寸和復(fù)雜性的增加，會導(dǎo)致在生產(chǎn)沉積掩模時產(chǎn)量的降低。需要更精確的、更大格式的精密沉積掩模。還需要一種更換沉積掩模的有缺陷的區(qū)域的方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個目的是提高形成使用沉積掩模的OLED裝置的產(chǎn)量。
本發(fā)明的另一個目的是提供一種可以通過不同的掩模部分同時形成OLED裝置的有機層的結(jié)構(gòu)。
上述目的是通過一種定位裝置而實現(xiàn)的，該裝置能夠使具有多個掩模部分的沉積掩模相對一種基體定位，以便實現(xiàn)將有機材料同時沉積在將要構(gòu)成一種有機發(fā)光裝置一部分的所述基體上，包括(a)一個具有第一組定位銷和第二組定位銷的底座；(b)一個固定在所述底座上的平板；(c)一個具有與所述平板對齊的開口的支架，該支架上設(shè)有相應(yīng)于所述第一組定位銷的位置的第一組定位銷容納孔，以便將該支架可拆卸地安裝在所述底座上；
(d)安裝在所述平板上的多個掩模部分，以便形成所述沉積掩模；(e)接觸所述第二組定位銷和沉積掩模的透明的平板，并且其大小可以露出所述沉積掩模的部分；(f)用于將所述掩模部分相互固定在一起的裝置；和(g)用于將所述沉積掩模固定在所述支架上的裝置。
上述目的還可以通過一種對多個掩模部分進行定位，以便形成一種能更有效地生產(chǎn)有機發(fā)光二極管裝置的掩模的方法而實現(xiàn)，該方法包括以下步驟(a)提供一個具有第一組定位銷和第二組定位銷的底座，并且將一平板固定在一底座上；(b)提供一個具有一與該平板對齊的并且形成有第一組定位銷容納孔的開口；(c)通過將所述第一組定位銷安裝在第一組定位銷容納孔中對所述支架和底座進行定位；(d)將所述多個掩模部分定位在所述平板上；(e)提供一個與所述多個掩模部分上的第二組定位銷對齊的透明的平板，所述透明的平板具有基準(zhǔn)符號；(f)使得所述掩模部分與所述基準(zhǔn)符號正確定位，并且將所述掩模部分固定在所述支架上；和(g)將所述多個掩模部分粘接在一起，以便提供結(jié)合的掩模，每一個掩模部分適用于將有機材料沉積在單一種基體上。
本發(fā)明的一個特征是，通過安裝并固定掩模部分，可以生產(chǎn)出一種結(jié)合的掩模，該掩模具有改善了的沉積掩模的尺寸精確度，該沉積掩模能夠取出并更換掩模部分。本發(fā)明可以生產(chǎn)較大型的沉積掩模。所述掩模部分可以用可去除的粘接劑彼此粘接在一起，并且被安裝在一個支架上。
本發(fā)明的一個優(yōu)點是所述沉積掩模部分可以精確安裝，并且安裝在一個支架上，該支架然后相對所述基體進行定位?？梢詫⒊练e掩模部分結(jié)合在一起，構(gòu)成比一個沉積掩模大的掩模組件。結(jié)合的掩?？梢圆鹦?，以便取出有缺陷的沉積掩模部分。然后可以更換所述沉積掩模部分。由小的部分組成的結(jié)合的沉積掩模生產(chǎn)成本較低。結(jié)合掩模的使用壽命較長，并且可以維修。組裝成的結(jié)合沉積掩模比現(xiàn)有工藝具有更高的精確度。該方法能夠提高產(chǎn)量，并且能夠進行較大的基體的沉積。


圖1是本發(fā)明的用于組裝和沉積的定位裝置的分解示意圖；圖2是圖1所示定位裝置的頂部視圖；圖3是沿圖2中的線3-3的剖視圖；和圖4是可用于圖1所示定位裝置中的具有多個掩模部分的結(jié)合掩模的頂部視圖。
具體實施例方式
圖1表示用于組裝和安裝結(jié)合的沉積掩模12的定位裝置10的分解示意圖。在沉積掩模12上有4個部分12a、12b、12c、12d(參見圖4)。在對沉積掩模12進行定位時，所述掩模部分與支架22上所刻的定位線19對齊。定位裝置10可以將沉積掩模12相對OLED裝置的基體進行定位，以便可以將有機材料同時沉積在將要構(gòu)成有機發(fā)光裝置一部分的所述基體上。定位裝置10包括一個底座14，該底座14具有第一組定位銷16和第二組定位銷18。所示出的定位銷16包括位于底座14相反兩側(cè)的兩個銷。底座14通常是矩形的，而第二組定位銷18位于底座14的3個角上。如圖所示，在所述3個角中的一個上有2個定位銷18a和18b，而在其余2個角上只有1個定位銷18。
通過任何常規(guī)方法將平板20固定在底座14上。通過螺釘將平板20固定在底座14上。不過，為了清楚起見，沒有示出螺釘，而是用孔15表示。該平板20提供有一其上定位有該沉積掩模12的頂部平面支架22通常是矩形的，它具有一個中央開口24。在支架22的4個角的每一個的周圍具有一個切除的部分26。定位銷18插入其中的3個切除的部分26(參見圖2)。
這些切除部分26的作用是有利于在真空室中對支架22進行定位，它可以與真空室中的一個本領(lǐng)域眾所周知的結(jié)構(gòu)接合。將支架22取出，并且用定位銷16安裝在底座14上。定位銷16通過支架22上的孔17a和17b?？?7a具有圓形的截面，而孔17b具有長方形的形狀，以便進行正確定位。沉積掩模12包括安裝在平板20和支架22上的部分12a、12b、12c和12d。安裝一個透明的平板28，使它與第二組定位銷18和沉積掩模12接觸，并且其大小使得它能夠在正確定位時能接觸暴露掩模12的邊緣部分。所述透明的平板28包括電鍍的基準(zhǔn)符號21和27?；鶞?zhǔn)符號21和27是十字線，圖中所示比實際上的基準(zhǔn)線要大?；鶞?zhǔn)符號21和27被用于與沉積掩模12的基準(zhǔn)符號23和29對齊?；鶞?zhǔn)符號27和29的定位形成了掩模部分12a、12b、12c和12d之間的合適的關(guān)系。將沉積掩模12的外露部分固定在支架22上?？梢酝ㄟ^粘接劑或者磁性材料進行固定。
正如在對圖4進行說明時將要詳細披露的，將掩模部分12a、12b、12c、12d彼此固定在一起。
參見圖2和3，它們分別示出了定位裝置10的頂部視圖和沿線3-3的橫剖視圖。具體參見圖3，所示出的底座14、平板20、沉積掩模12和透明的平板28一個放在另一個上面地堆積在一起。所示的支架22的頂部表面與平板20的持平。為了說明清楚起見，沒有示出定位銷16和18。示出了處于定位位置的一個定位銷18。
下面將說明沉積掩模12在定位裝置10中的定位。用定位銷16將支架22安裝在底座14上。定位銷16以這種方式位于底座14上使得支架22只能沿一個方向安裝。當(dāng)支架22安裝在底座14上時，它是以這種方式定位的平板20頂部表面與支架22處于相同高度上。如圖1所示，利用在支架22上所刻的定位線19在平板20和支架22頂部對沉積掩模部分12a、12b、12c和12d進行目測定位，以便完成初步定位。將透明的平板28放置在沉積掩模12上面，并且對著定位銷18、18a和18b。利用相應(yīng)于位于透明的平板28上的基準(zhǔn)21和27的光蝕刻的基準(zhǔn)23和29對沉積掩模部分12a、12b、12c、12d進行手動定位。在定位過程中，透明平板28和定位銷18、18a和18b的關(guān)系必須保持與定位銷18a和18b相對。定位之后，該沉積掩模部分通過使用夾鉗31固定到位。
然后用兩種方法中的一種將沉積掩模12連接在支架22上。在第一種方法中，用粘性條25將沉積掩模12固定在支架22上。只示出了一個粘性條25，不過，通常每一個邊緣要使用2個粘性條，并且它們將沉積掩模12固定在支架22上。然后利用圖3所示的入口位置30將掩模部分12a、12b、12c和12d彼此連接在一起。
另外，沉積掩模12可以用磁性材料制成。鐵金屬的用量使得由磁鐵在支架22內(nèi)所產(chǎn)生的磁場能將沉積掩模12固定在支架22上，并且以平面形式固定。第二種方法在不希望使用粘接劑時特別適用。不過，在某些場合下，可以同時使用所述第一和第二種方法。
參見圖4，它是沉積掩模12的示意圖。沉積掩模12具有兩個或兩個以上部分。在使用術(shù)語“結(jié)合”時，是指這樣的情況所述掩模部分被彼此固定在一起。粘接材料可以是粘接劑或者可以是一小片粘性材料。掩模部分12a、12b、12c、12d的粘接可以通過可去除的粘接劑實現(xiàn)。可去除的粘接劑可以通過紫外線去掉，以便能夠更換掩模部分12a、12b、12c、12d中的一個或多個。如圖所示，有單片的粘接帶36，由它將4個掩模部分12a、12b、12c、12d固定、粘接或結(jié)合在一起，以便提供一個結(jié)合的沉積掩模12。粘性帶36也可以是能夠去掉的。在沉積掩模12被組裝并且利用定位裝置10安裝在支架22上之后，去掉透明的平板28。將組裝后的沉積掩模12和支架22從底座14上移走。將組裝后的沉積掩模12和支架22放置在一個腔室(未示出)中。
權(quán)利要求
1.一種定位裝置，該裝置能夠使具有多個掩模部分的沉積掩模相對一種基體定位，以便實現(xiàn)將有機材料同時沉積在將要構(gòu)成一種有機發(fā)光裝置一部分的所述基體上，包括(a)一個具有第一組定位銷和第二組定位銷的底座；(b)一個固定在所述底座上的平板；(c)一個具有與所述平板對齊的開口的支架，該支架上設(shè)有相應(yīng)于所述第一組定位銷的位置的第一組定位銷容納孔，以便將該支架可拆卸地安裝在所述底座上；(d)安裝在所述平板上的多個掩模部分，以便形成所述沉積掩模；(e)一透明平板與所述第二組定位銷和沉積掩模的透明的平板接觸，并且其大小可以露出所述沉積掩模的部分；(f)用于將所述掩模部分相互固定在一起的裝置；和(g)用于將所述沉積掩模固定在所述支架上的裝置。
2.一種對多個掩模部分進行定位，以便形成一種能更有效地生產(chǎn)有機發(fā)光二極管裝置的掩模的方法，包括以下步驟(a)提供一個具有第一組定位銷和第二組定位銷的底座，并且將一平板固定在該底座上；(b)提供一個具有一與該平板對齊的并且形成有第一組定位銷容納孔的開口；(c)通過將所述第一組定位銷安裝在第一組定位銷容納孔中對所述支架和底座進行定位；(d)將所述多個掩模部分安裝在所述平板上；(e)提供一個與所述多個掩模部分上的第二組定位銷對齊的透明的平板，所述透明的平板具有基準(zhǔn)符號；(f)使得所述掩模部分與所述基準(zhǔn)符號正確定位，并且將所述掩模部分固定在所述支架上；和(g)將所述多個掩模部分粘接在一起，以便提供結(jié)合的掩模，每一個掩模部分適用于將有機材料沉積在一種基體上。
3.如權(quán)利要求2的方法，其中，所述第一組定位銷包括兩個用于將所述支架相對所述底座和平板定位的分隔的定位銷。
4.如權(quán)利要求2的方法，其中，所述支架包括四個間隔的切除的掩模部分，而所述第二組定位銷通過所述四個切除部分中的三個伸出所述支架表面，與所述平板接合，并且，第二組定位銷中的至少兩個安裝在一個切除的掩模部分上，以便與所述平板的兩個分離的邊緣接合。
5.如權(quán)利要求2的方法，其中，所述支架包括用于對所述沉積掩模的邊緣進行定位的定位線，以便將所述沉積掩模合適地定位在所述平板上。
6.如權(quán)利要求2的方法，其中，所述透明平板和掩模包括基準(zhǔn)符號，該符號在定位時還有利于所述掩模相對所述支架的合適地定位。
7.如權(quán)利要求2的方法，其中，所述掩模部分的粘接是可去除的粘接劑實現(xiàn)的。
8.如權(quán)利要求2的方法，其中，所述可去除的粘接劑可以用紫外線去掉，以便能更換掩模部分。
全文摘要
一種用于使得具有多個掩模部分的沉積掩模相對一種基體定位的定位裝置，以便易于將有機材料同時沉積在將要構(gòu)成一種有機發(fā)光裝置一部分的所述基體上。
文檔編號H01L51/05GK1421937SQ02152619
公開日2003年6月4日 申請日期2002年11月26日 優(yōu)先權(quán)日2001年11月26日
發(fā)明者T·K·克拉克, G·拉杰什瓦爾安 申請人:伊斯曼柯達公司